JP3713987B2 - 外部共振器型光源 - Google Patents
外部共振器型光源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3713987B2 JP3713987B2 JP33442098A JP33442098A JP3713987B2 JP 3713987 B2 JP3713987 B2 JP 3713987B2 JP 33442098 A JP33442098 A JP 33442098A JP 33442098 A JP33442098 A JP 33442098A JP 3713987 B2 JP3713987 B2 JP 3713987B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- mirror
- semiconductor laser
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0811—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
- H01S3/0812—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection using a diffraction grating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
- H01S5/143—Littman-Metcalf configuration, e.g. laser - grating - mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光コヒーレント通信・計測技術分野で使用する外部共振器型光源に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の外部共振器型光源について、図4及び図5を参照しながら説明する。
図4は、従来技術における外部共振器型光源の一例(リトローの光学方式)を示すブロック図、図5は、図4の外部共振器型光源の出力光のスペクトルを示す図である。
【0003】
図4において、1は半導体レーザ(以下、半導体レーザをLDと略称する)、2は回折格子、5、6、7はレンズ、8は光アイソレータ、10は光ファイバである。
LD1の一方の端面1a(回折格子2側の端面)には、LD両端面でのファブリペロ共振を避けるため、反射防止膜1Aが施されている。
この反射防止膜1Aが施された端面1aからの出射光は、レンズ6により平行光に変換されて、回折格子2に入射する。そして、回折格子2に入射した光のうち、回折格子2で波長選択された光のみが、向きを180゜変えて進行し、レンズ6によって集光されて、LD1に帰還する。即ち、LD1の端面1bと回折格子2とにより外部共振器が構成されて、レーザ発振するようになっている。
一方、LD1の端面1bからの出射光は、レンズ5により平行光に変換され、光アイソレータ8を通過して、レンズ7により集光された後、光ファイバ10により出力光として取り出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の外部共振器型光源においては、図5に示すように、回折格子2において選択された単一の波長のレーザ光の他に、LD1から直接レンズ5側に出射した広波長帯域の自然放出光が上記出力光に含まれてしまい、純粋な波長を出力光として取り出すことができなかった。
具体的には、上記従来例の場合、サイドモード抑圧比(単一波長のレーザ光と広波長帯域の自然放出光のパワーの比)が40〜50dB程度であった。
【0005】
また、上記のような一般的なリトローの光学方式による外部共振器型光源では、波長掃引に際して、モードホップが生じて光出力が変動してしまうという問題点があった。
【0006】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、自然放出光の極めて少ない純粋な波長を出力光として取り出すことが可能であると共に、モードホップの発生を防止して光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能な外部共振器型光源を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、
一方の端面に反射防止膜が施された半導体レーザと、
該半導体レーザの反射防止膜側の端面からの出射光を平行光に変換するレンズと、
該レンズで変換された平行光を波長選択して前記半導体レーザに帰還させる回折格子と、
前記半導体レーザのもう一方の端面からの出射光を平行光に変換するレンズと、
該レンズで変換された平行光を集光するレンズと、
該レンズで集光された光を第1の出力光として取り出す第1の光ファイバと、
前記回折格子で波長選択された回折光を反射するためのミラーと、
前記回折格子と前記半導体レーザとの間に配置され、回折格子から半導体レーザに帰還する回折光を分岐させる光分岐素子と、
を備え、
前記回折格子で波長選択された回折光を、一旦前記ミラーに垂直に当て再び前記回折格子に戻した後、回折格子で再度波長選択されて波長選択性が高められた回折光を前記光分岐素子により分岐して、該分岐した一方の光を前記半導体レーザに帰還させるとともに、該分岐したもう一方の光を第2の出力光として、前記波長選択性が高められた回折光を第2の光ファイバにより取り出す構成とし、
その取り出された第2の出力光の一部をパワー測定するパワーモニタを備えた。
【0008】
請求項1記載の発明によれば、回折格子で波長選択された回折光を、一旦ミラーに垂直に当て再び回折格子に戻した後、回折格子から半導体レーザに帰還し回折格子で再度波長選択されて波長選択性が高められた回折光を光分岐素子により分岐して、該分岐した一方の光を第2の出力光として、波長選択性が高められた回折光を第2の光ファイバにより取り出す構成としたため、回折格子による波長選択性をさらに高めることが可能であり、出力光に含まれる、半導体レーザからの自然放出光成分を減少させることができる。即ち、自然放出光の極めて少ない純粋な波長を出力光として取り出すことが可能になる。
【0011】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の外部共振器型光源において、前記ミラーを回転可能な回転機構を備えた構成とした。
【0012】
請求項2記載の発明によれば、ミラーを回転可能な回転機構を備えたため、ミラーの回転角に対応した波長掃引が可能になる。
【0013】
請求項3記載の発明は、請求項2記載の外部共振器型光源において、前記半導体レーザの反射防止膜を施していない側の端面の、前記回折格子に対する光学的位置を起点にして光軸に対し垂直に延ばした線と、前記回折格子の回折面の延長線との交点を前記ミラーの回転中心に一致させると共に、前記ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過するように前記ミラーを配置した構成とした。
【0014】
請求項3記載の発明によれば、半導体レーザの反射防止膜を施していない側の端面の、回折格子に対する光学的位置を起点にして光軸に対し垂直に延ばした線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。
【0015】
請求項4記載の発明は、請求項1〜3の何れか一項に記載の外部共振器型光源において、前記光分岐素子が、無偏向ビームスプリッタにより構成されている。
【0016】
請求項4記載の発明によれば、回折格子から半導体レーザに帰還する回折光が無偏向ビームスプリッタによって分岐され、該分岐された一方の光が出力光として取り出される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図1〜図3の図面を参照しながら説明する。
【0018】
図1は、本発明を適用した外部共振器型光源の一例を示すブロック図である。図2は、図1の外部共振器型光源を構成するミラーの配置及び動作を説明する図である。また、図3は、図1の外部共振器型光源の出力光のスペクトルを示す図である。
【0019】
この実施の形態の外部共振器型光源は、図1に示すように、LD1、回折格子2、ミラー3、光分岐素子としての無偏光ビームスプリッタ4、レンズ5、6、7、13、光アイソレータ8、12、三角プリズム11等により構成されている。そして、LD1の一方の端面1a(回折格子2側の端面)には、反射防止膜1Aが施されている。
【0020】
図1の外部共振器型光源において、LD1の端面1aから出射した光はレンズ6により平行光にされ、無偏光ビームスプリッタ4を通過した後、回折格子2に入射する。
ここで、無偏光ビームスプリッタ4は、透過率80%(反射率20%)のものを使用しているため、無偏光ビームスプリッタ4に入射した光の80%が回折格子2に入射することになる。
そして、回折格子2に入射して波長選択された回折光は、一旦ミラー3に垂直に入射してミラー3で全反射した後、回折格子2に戻るようになっている。即ち、2回の回折格子2による波長選択により、波長選択性が高められている。
【0021】
こうして波長選択された光は、再度、無偏光ビームスプリッタ4に入射して、入射した光の80%が透過し、20%が反射する。
無偏光ビームスプリッタ4を透過した光は、そのまま直進し、レンズ6により集光されて、LD1に帰還する。即ち、LD1の端面1bと回折格子2とにより外部共振器が構成されて、レーザ発振するようになっている。
一方、無偏光ビームスプリッタ4で反射した光は、三角プリズム11で向きを90゜変えて進行し、光アイソレータ12を通過して、レンズ13により集光された後、光ファイバ15から出力光として外部に取り出される。出力光の一部(例えば、5%)は、パワーモニター14による現在パワーの測定に用いられる。
【0022】
こうして光ファイバ15より取り出された出力光は、LD1の内部で発生した自然放出光成分が回折格子2において波長選択されているため、図3に示すように、選択波長以外の成分は極めて低く、そのサイドモード抑圧比が60dBを超える値となる。
なお、LD1の端面1bからの出射光は、従来と同様、レンズ5により平行光に変換され、光アイソレータ8を通過して、レンズ7により集光された後、光ファイバ10から出力光として取り出される。なお、出力光の一部は、波長モニター(図示省略)による現在波長の測定に用いられる。
【0023】
また、図1の外部共振器型光源には、ミラー3を回転可能な回転機構(図示省略)が設けられていて、この回転機構によるミラー3の回転により波長掃引が可能となっている。
ここで、ミラー3の回転中心は、図2に示すように、回折格子2に対するLD1の端面1bの光学的位置C1(レンズ6及びLD1の光軸方向の長さを空気換算した場合の、回折格子2に対する端面1bの位置)を起点にして光軸に対し垂直に延ばした線分L1と、回折格子2の回折面の延長線L2との交点Cに一致している。
また、ミラー3は、その反射面の延長線L3が交点Cを通過するように配置されている。
このようなミラー3、回折格子2及びLD1の配置は、「Novel geometry for single-mode scanning of tunable lasers, Karen Liu & Michael G.Littman/March 1981/Vol.6 No.3/Optics Letters p117〜p118」において開示されており、この配置によれば、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能となっている。
【0024】
以上のように、この実施の形態の外部共振器型光源によれば、回折格子2とLD1との間に無偏光ビームスプリッタ4を設け、回折格子2からLD1に帰還する回折光を無偏光ビームスプリッタ4により分岐して、該分岐した一方の光を出力光として取り出す構成としたため、出力光に含まれる、LD1からの自然放出光成分を減少させることが可能になる。即ち、自然放出光の極めて少ない純粋な波長を出力光として取り出すことが可能になる。
また、回折格子2に対するLD1の端面1bの光学的位置C1を起点にして光軸に対し垂直に延ばした線分L1と、回折格子2の回折面の延長線L2との交点Cをミラー3の回転中心に一致させると共に、ミラー3の反射面の延長線L3が交点Cを通過するようにミラー3を配置したため、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。
【0025】
なお、以上の実施の形態例においては、光分岐素子として無偏光ビームスプリッタ4を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、回折格子2からLD1に帰還する回折光を分岐して、該分岐した一方の光を出力光として取り出すことが可能であればどのようなものとしてもよい。
また、ミラー3を回転する回転機構としては、例えば、交点Cを軸心として回転自在に保持されたサインバーと、このサインバーを回転させる駆動手段(例えば、直動モータなど)と、により構成することができる。この場合、ミラー3は、その反射面の延長線L3が交点Cを通過するように、上記サインバーに配設される。
また、無偏光ビームスプリッタ4の透過率等も任意であり、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【0026】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、回折格子で波長選択された回折光を反射するためのミラーと、回折格子で波長選択された回折光を、一旦ミラーに垂直に当て再び回折格子に戻した後、回折格子から半導体レーザに帰還し回折格子で再度波長選択されて波長選択性が高められた回折光を光分岐素子により分岐して、該分岐した一方の光を第2の出力光として、波長選択性が高められた回折光を第2の光ファイバにより取り出す構成としたため、回折格子による波長選択性をさらに高めることが可能であり、出力光に含まれる、半導体レーザからの自然放出光成分を減少させることができる。即ち、自然放出光の極めて少ない純粋な波長を出力光として取り出すことが可能になる。
【0028】
請求項2記載の発明によれば、ミラーを回転可能な回転機構を備えたため、ミラーの回転角に対応した波長掃引が可能になる。
【0029】
請求項3記載の発明によれば、半導体レーザの反射防止膜を施していない側の端面の、回折格子に対する光学的位置を起点にして光軸に対し垂直に延ばした線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。
【0030】
請求項4記載の発明によれば、回折格子から半導体レーザに帰還する回折光が無偏向ビームスプリッタによって分岐され、該分岐された一方の光が出力光として取り出される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した外部共振器型光源の一例を示すブロック図である。
【図2】図1の外部共振器型光源を構成するミラーの配置及び動作を説明する図である。
【図3】図1の外部共振器型光源の出力光のスペクトルを示す図である。
【図4】従来技術における外部共振器型光源の一例(リトローの光学方式)を示すブロック図である。
【図5】図4の外部共振器型光源の出力光のスペクトルを示す図である。
【符号の説明】
1 半導体レーザ
1A 反射防止膜
2 回折格子
3 ミラー
4 無偏光ビームスプリッタ(光分岐素子)
5、6、7、13 レンズ
8、12 光アイソレータ
10、15 光ファイバ
11 三角プリズム
14 波長モニタ
Claims (4)
- 一方の端面に反射防止膜が施された半導体レーザと、
該半導体レーザの反射防止膜側の端面からの出射光を平行光に変換するレンズと、
該レンズで変換された平行光を波長選択して前記半導体レーザに帰還させる回折格子と、
前記半導体レーザのもう一方の端面からの出射光を平行光に変換するレンズと、
該レンズで変換された平行光を集光するレンズと、
該レンズで集光された光を第1の出力光として取り出す第1の光ファイバと、
前記回折格子で波長選択された回折光を反射するためのミラーと、
前記回折格子と前記半導体レーザとの間に配置され、回折格子から半導体レーザに帰還する回折光を分岐させる光分岐素子と、
を備え、
前記回折格子で波長選択された回折光を、一旦前記ミラーに垂直に当て再び前記回折格子に戻した後、回折格子で再度波長選択されて波長選択性が高められた回折光を前記光分岐素子により分岐して、該分岐した一方の光を前記半導体レーザに帰還させるとともに、該分岐したもう一方の光を第2の出力光として、前記波長選択性が高められた回折光を第2の光ファイバにより取り出す構成とし、
その取り出された第2の出力光の一部をパワー測定するパワーモニタを備えたことを特徴とする外部共振器型光源。 - 前記ミラーを回転可能な回転機構を備えたことを特徴とする請求項1記載の外部共振器型光源。
- 前記半導体レーザの反射防止膜を施していない側の端面の、前記回折格子に対する光学的位置を起点にして、光軸に対し垂直に延ばした線と、前記回折格子の回折面の延長線との交点を前記ミラーの回転中心に一致させると共に、
前記ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過するように前記ミラーを配置したことを特徴とする請求項2記載の外部共振器型光源。 - 前記光分岐素子は、無偏向ビームスプリッタにより構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の外部共振器型光源。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33442098A JP3713987B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型光源 |
CA002290063A CA2290063C (en) | 1998-11-25 | 1999-11-19 | External cavity type light source |
EP99123032A EP1005122A1 (en) | 1998-11-25 | 1999-11-19 | External cavity type light source |
US09/447,559 US6407869B1 (en) | 1998-11-25 | 1999-11-23 | External cavity type light source |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33442098A JP3713987B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000164979A JP2000164979A (ja) | 2000-06-16 |
JP3713987B2 true JP3713987B2 (ja) | 2005-11-09 |
Family
ID=18277184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33442098A Expired - Fee Related JP3713987B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型光源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6407869B1 (ja) |
EP (1) | EP1005122A1 (ja) |
JP (1) | JP3713987B2 (ja) |
CA (1) | CA2290063C (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002190642A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Ando Electric Co Ltd | 波長可変光源 |
JP5196459B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2013-05-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 広帯域波長可変レーザ光発生装置 |
JP2003234527A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Acterna R & D Kk | 波長可変光源装置 |
JP4947367B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2012-06-06 | 横河電機株式会社 | 外部共振器型の波長可変光源 |
JP6368250B2 (ja) | 2012-02-14 | 2018-08-01 | テラダイオード, インコーポレーテッド | 二次元マルチビームのスタビライザーおよびコンバイニングシステムおよび方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8807385D0 (en) * | 1988-03-29 | 1988-05-05 | British Telecomm | Semiconductor device assembly |
CA2114226A1 (en) | 1991-07-26 | 1993-02-18 | George Anthony Rakuljic | Photorefractive systems and methods |
JPH06140717A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-05-20 | Ando Electric Co Ltd | 外部共振器型半導体レーザ光源 |
JPH07240558A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Ando Electric Co Ltd | 波長可変半導体レーザ光源 |
US5559816A (en) | 1994-10-26 | 1996-09-24 | Lambda Physik Gesellschaft Zur Herstellung Von Lasern Mbh | Narrow-band laser apparatus |
JPH09199808A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-07-31 | Fujitsu Ltd | 位相共役波の発生装置、波長変換方法、光分散補償方法及び多波長光発生装置 |
DE19544897C2 (de) * | 1995-12-01 | 2000-10-12 | Hannover Laser Zentrum | Modensprungfrei abstimmbares Halbleiter-Lasersystem |
EP0921614B1 (en) * | 1997-12-09 | 2001-03-14 | Hewlett-Packard Company | Low noise and wide power range laser source |
JP3197869B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2001-08-13 | アンリツ株式会社 | 波長可変レーザ光源装置 |
-
1998
- 1998-11-25 JP JP33442098A patent/JP3713987B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-11-19 CA CA002290063A patent/CA2290063C/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-11-19 EP EP99123032A patent/EP1005122A1/en not_active Withdrawn
- 1999-11-23 US US09/447,559 patent/US6407869B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2290063C (en) | 2002-05-14 |
EP1005122A1 (en) | 2000-05-31 |
US6407869B1 (en) | 2002-06-18 |
JP2000164979A (ja) | 2000-06-16 |
CA2290063A1 (en) | 2000-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7843976B2 (en) | Compact multimode laser with rapid wavelength scanning | |
JP2008529068A5 (ja) | ||
US20010026574A1 (en) | External resonator type laser light source | |
JP3713987B2 (ja) | 外部共振器型光源 | |
JP3654401B2 (ja) | 外部共振器型光源 | |
EP1005117B1 (en) | External cavity type tunable semiconductor laser source | |
JP2002190642A (ja) | 波長可変光源 | |
US20010026563A1 (en) | External resonator type laser light source | |
JP2001308455A (ja) | 波長可変光源及び光部品損失計測装置 | |
JP2005142197A (ja) | 波長可変光源 | |
JP2002189236A (ja) | 光波長変換モジュール | |
JPH09129982A (ja) | 外部共振器型ld光源 | |
JP4303427B2 (ja) | 波長安定化レーザ及び光波長変換モジュール | |
JPH04105382A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP4338003B2 (ja) | 波長安定化レーザ | |
JPH051989B2 (ja) | ||
JP2000353854A (ja) | 外部共振器型波長可変光源 | |
JP3422804B2 (ja) | レーザ発振器のスペクトル線幅制御装置 | |
JPH03185887A (ja) | 外部共振器型半導体レーザ発振器 | |
JP2000183453A (ja) | 外部共振器型光源 | |
JP2002116412A (ja) | 携帯型レーザ装置 | |
JP2005033126A (ja) | 波長安定化フィルターを用いたレーザー | |
JPH0216969B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040506 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041019 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041104 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20041220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050407 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050407 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080902 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090902 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100902 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110902 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110902 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120902 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130902 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |