JP3708811B2

JP3708811B2 - Computer integrated production system and parallel monitoring device for serial communication applied thereto

Info

Publication number: JP3708811B2
Application number: JP2000312631A
Authority: JP
Inventors: 文猶李; 俊宏劉; 建榮黄; 少貢張; 秦周
Original assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Current assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority date: 2000-10-12
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2005-10-19
Anticipated expiration: 2020-10-12
Also published as: JP2002132592A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコンピュータ統合生産技術(CIM, Computer Integrated Manufacturing)に関し、特に半導体装置通信規定(SECS, Semiconductor Equipment Communication Standard)に適用するコンピュータ統合生産システムにおけるパススルーの拡張コンピュータ統合ユニット(Extended Computer Integrated Unit) に故障が発生した場合、その接続する設備ユニットを直接ホストコンピュータに接続することによって、それぞれの設備ユニット上で行われるプロセスが拡張コンピュータ統合ユニットの故障による停止を防ぎうるコンピュータ総合生産システム及びそれに適用する直列通信用並列モニタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ統合生産技術は、目前のコンピュータ制御の自動化工程を介して、全体生産能率の向上に半導体製造工場で広汎的に応用される。通常の半導体製造プロセスは、複数の製造ステップに工程を分割し、それぞれの異なる設備ユニット上にて行われる故、これらの設備ユニット上にて行われる製造ステップを統合的に制御するためのコンピュータ統合生産技術が用いられ、それぞれの設備ユニットをホストコンピュータに接続し、前記ホストコンピュータを用いて全工程の統合制御が行われる。従来のコンピュータ統合生産システムは、ホストコンピュータと、各設備ユニット間のデータ通信にＳＥＣＳ通信規定を用い、ホストコンピュータはＳＥＣＳ通信用線路を介して工程制御用パラメータを各設備ユニットに伝送し、各設備ユニットからも同一のＳＥＣＳ通信用線路を介して工程状態データを回送し、ホストコンピュータの統合制御に供する。
【０００３】
図10は、従来技術における周知コンピュータ統合生産システムの基本構成を示すシステムブロック図である。前記コンピュータ統合生産システムは、ホストコンピュータ10一基と、設備ユニット21、22の二基（実際のコンピュータ統合生産システムには数十基の設備ユニットを備えることも可能であるが、図面の簡略化及び説明の方便上，設備ユニットは、二基のみを示す）を備え、前記ホストコンピュータ10が前記設備ユニット21、22における工程の進行状況をモニタして制御する故、ホストコンピュータ10と第１の制御対象の設備ユニット21との間に第１のSECS直列通信用線路21a を設けると共に、ホストコンピュータ10と第２の制御対象の設備ユニット22との間に第２のSECS直列通信用線路22a を設ける。前記第１のSECS直列通信用線路21a を介してホストコンピュータ10が工程制御用パラメータを第１の設備ユニット21に伝送し、且つ、前記第１の設備ユニット21から工程状況データをホストコンピュータ10宛に回送させ、第２のSECS直列通信用線路22a を介してホストコンピュータ10が工程制御用パラメータを第２の設備ユニット22に伝送し、第２の設備ユニット22から工程状況データをホストコンピュータ10宛に回送する。
【０００４】
しかし、前記コンピュータ統合生産システムに於ける欠点は、構成状態の修正に於ける生産ストップ、又は、元構成システムの破壊による生産不可がある故、ホストコンピュータ10に於いて元構成状態を変えずにモニタ制御の機能増加を要する場合の問題が生じる。
【０００５】
図11は、前記問題の解決方法を掲示した説明用のブロック図である。当該方法は、ホストコンピュータ10と、各設備ユニット間にパススルー構成の拡張コンピュータ統合ユニット30を接続する方法であって、拡張コンピュータ統合ユニット30（例えば、小型コンピュータ等のホストコンピュータ10以外の独立データ処理装置）をSECS直列通信用線路20a ，30a 等により、それぞれの設備ユニット20と、ホストコンピュータ10とを接続し、前記拡張コンピュータ統合ユニット30が接続する前記設備ユニット20に於いて行われる工程の関連資料をモニタ制御することでホストコンピュータ10のモニタ制御能力を拡張し、前記コンピュータ統合生産システムの全体能力向上に協力させうる。
【０００６】
然るに、図12が示すように、前記解決方法の問題点は、前記拡張コンピュータ統合ユニット30に故障状態が生じる場合、それが操作システム或いは停電事故によつて発生するかに係わることなくＳＥＣＳ直列通信用線路20a ，30a の中断となり、当該設備ユニット20上に於いて行われるプロセスが中断する。尚、コンピュータ統合生産システム中の各設備ユニット20上に於いて行われるプロセスは、連続プロセス内の一ステップでもある故、如何なる一基の設備ユニットにおけるプロセス中断が全体工程の進度に影響することとなる。
【０００７】
前記問題の解決は、各拡張コンピュータ統合ユニット30内にソフトウェアモニタプログラム(software-moniter program)を増設して、前記設備ユニット20と前記拡張コンピュータ統合ユニット30間の通信内容を読み取り、前記拡張コンピュータ統合ユニット30が正常に動作しているか否かを判断し、若し、拡張コンピュータ統合ユニット30が停止状態であれば、即時に、前記ソフトウェアモニタプログラムが設備ユニット20をホストコンピュータ10との直接接続に切替る故、線路の中断が無くなる。しかし、当該解決方法の問題点は、その使用するソフトウェアモニタプログラムの開発に際して、プログラマーがＳＥＣＳ通信規定、及び拡張コンピュータ統合ユニットと、各形態の設備ユニット間の通信内容を完全に理解していなければならない。従って、この開発作業に手間がかかり、且つ、設計されたソフトウェアモニタプログラムは、通常は特定型式の設備ユニットのみに適用可能であるが他の型式の設備ユニットには適用できず、又、停電状態が生じた場合においても、目的効果の発揮ができないという問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点に鑑み、拡張コンピュータ統合ユニットに故障が発生した場合、その接続した設備ユニットを直接ホストコンピュータに接続することにより、それぞれの設備ユニット上で行われるプロセスを直接ホストコンピュータで制御することによって、作業の中断を防ぎうるコンピュータ統合生産システムにおける直列通信用並列モニタ装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、拡張コンピュータ統合ユニットに故障が発生した場合においても、その切替機能を発揮することによって、接続された設備ユニットを即時ホストコンピュータに直接接続しうるコンピュータ統合生産システムの直列通信用並列モニタ装置を提供することにある。
更に、本発明の他の目的は、通信内容が互いに異なる各型式の設備ユニットに適用するコンピュータ統合生産システムの直列通信用並列モニタ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的に基づいて提供する第１発明の直列通信用並列モニタ装置は、少なくとも一基の設備ユニットと、該設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタしつつ前記設備ユニットを制御する少なくとも一基のホストコンピュータと、前記設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタし、モニタ結果を前記ホストコンピュータへ与える少なくとも一基の拡張コンピュータ統合ユニットとを含み、前記ホストコンピュータと、前記拡張コンピュータ統合ユニット及び前記設備ユニット間を直列通信インターフェースを介して互いにデータ通信を行い、前記ホストコンピュータと、前記設備ユニット上にそれぞれの直列通信ポートを少なくとも一つ備え、しかも、前記拡張コンピュータ統合ユニットに、第１の連通ポートと第２の連通ポートを備えるコンピュータ統合生産システムに適用する直列通信用並列モニタ装置であって、
(a) 、前記ホストコンピュータ上の通信ポートに接続する為の第１の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第２の連通ポートと接続する為の第２の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第１の連通ポートと接続する為の第３の接続ポート及び前記設備ユニットの通信ポートに接続する為の第４の接続ポートとを有し、
(b) 、第１の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第１の接続ポートに接続させ、第２の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第３の接続ポートに接続させると共に、前記第１の切替位置または前記第２の切替位置に切替自在の切替モジユールを有し、
(c) 、前記拡張コンピュータ統合ユニットの正常動作状態又は故障状態を検知し、前記拡張コンピュータ統合ユニットが正常動作状態の場合は、前記切替モジユールを前記第２の切替位置に位置させて前記設備ユニットを前記拡張コンピュータ統合ユニットに接続させると共に、前記ホストコンピュータに連通し、前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態の場合は、前記切替モジユールを前記第１の切替位置に位置させて前記設備ユニットを直接前記ホストコンピュータに接続する制御用ロジック装置を備え、前記制御用ロジック装置は、計時手段を有し、前記拡張コンピュータ統合ユニットを経由する前記ホストコンピュータと前記設備ユニットとの間の通信内容の内の前記ホストコンピュータからの要求信号それぞれに対する前記設備ユニットからの回答時間が前記計時手段が算出する基準参考時間を越えるか否かを継続的に検出することにより、前記回答時間が前記基準参考時間を越える場合に前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定することを特徴とする。
【００１０】
第２発明に係る直列通信用並列モニタ装置は、第１発明において、前記ホストコンピュータ及び前記設備ユニット上の直列通信ポートが半導体装置通信規定(SECS)の直列通信ポートであることを特徴とする。
【００１１】
第３発明に係る直列通信用並列モニタ装置は、第１発明において、前記切替モジユールに複数の継電器を含むことを特徴とする。
【００１３】
第４発明に係る直列通信用並列モニタ装置は、第１発明において、前記拡張コンピュータ統合ユニットは、前記ホストコンピュータ以外の独立するコンピュータ装置であることを特徴とする。
【００１４】
第５発明に係るコンピュータ統合生産システムは、少なくとも一基の設備ユニットと、該設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタしつつ前記設備ユニットを制御する少なくとも一基のホストコンピュータと、前記設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタし、モニタ結果を前記ホストコンピュータへ与える少なくとも一基の拡張コンピュータ統合ユニットとを含むコンピュータ統合生産システムであって、
(a) 、一つの直列通信ポートを備えるホストコンピュータを少なくとも１基と、
(b) 、一つの直列通信ポートを備える設備ユニットを少なくとも１基と、
(c) 、第１の連通ポート及び第２の連通ポートを備える拡張コンピュータ統合ユニットを少なくとも１基、及び
(d) 、直列通信用並列モニタ装置を少なくとも１基を含み、
前記直列通信用並列モニタ装置は、
(d1)、前記ホストコンピュータ上の通信ポートとの接続に用いる第１の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第２の連通ポートとの接続に用いる第２の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第１の連通ポートとの接続に用いる第３の接続ポートと、前記設備ユニット上の通信ポートとの接続に用いる第４の接続ポートとを有し、
(d2)、第１の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第１の接続ポートに接続させ、第２の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第３の接続ポートに接続させると共に、前記第１の切替位置または前記第２の切替位置に切替自在の切替モジユールを有し、
(d3)、計時手段を有し、前記拡張コンピュータ統合ユニットを経由する前記ホストコンピュータと前記設備ユニットとの間の通信内容の内の前記ホストコンピュータからの要求信号それぞれに対する前記設備ユニットからの回答時間が前記計時手段が算出する基準参考時間を越えるか否かを継続的に検出することにより、前記回答時間が前記基準参考時間を越える場合に前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定し、
前記拡張コンピュータ統合ユニットが正常動作状態の場合は、前記切替モジユールを前記第２の切替位置に位置させて前記設備ユニットを前記拡張コンピュータ統合ユニットに接続させると共に、前記ホストコンピュータに連通し、
前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定された場合は、前記切替モジユールを前記第１の切替位置に位置させて前記設備ユニットを直接前記ホストコンピュータに接続することを特徴とする。
【００１５】
第６発明に係るコンピュータ統合生産システムは、第５発明において、前記ホストコンピュータ及び前記設備ユニット上の直列通信ポートが半導体装置通信規定(SECS)の直列通信ポート、または、特別通信規定の直列通信ポートであることを特徴とする。
【００１６】
第７発明に係るコンピュータ統合生産システムは、第５発明において、前記拡張コンピュータ統合ユニットは、前記ホストコンピュータ以外の独立するコンピュータ装置であることを特徴とする。
【００１８】
第８発明に係るコンピュータ統合生産システムは、第５発明において、前記切替モジユールに複数の継電器を含むことを特徴とする。
【００２１】
具体的に述べれば、拡張コンピュータ統合ユニットに故障発生の場合は、本発明の直列通信用並列モニタ装置が、設備ユニットを直接ホストコンピュータとの連続に切替え、設備ユニットにおける進行中の工程制御をホストコンピュータの直接制御に転嫁する故作業の中断を避けることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の直列通信用並列モニタ装置を用いたコンピュータ統合生産システムの基本構成を示すブロック図である。図１が示すように、コンピュータ統合生産システムは、ホストコンピュータ10と、設備ユニット20と、拡張コンピュータ統合ユニット30及び本発明が提供する直列通信用並列モニタ装置100 を含む。
【００２３】
ホストコンピュータ10には、図面内のHOST.SECS で表示された標準化直列通信ポート、例えば、半導体装置通信規定(SECS)の通信用ポートを有し、設備ユニット20にも、同様に図面内のEQU.SECSで表示されたSECS直列通信ポートを有し、拡張コンピュータ統合ユニット30にSECS直列通信ポートの第１連通ポートＰ1 及び第２連通ポートＰ2 を備える。
【００２４】
本発明の直列通信用並列モニタ装置100 は少なくとも４つの外部接続用の接続ポートＣ1 、Ｃ2 、Ｃ3 及びＣ4 を備える。第１の接続ポートＣ1 はホストコンピュータ10上のHOST.SECS 直列通信ポートに、第２の接続ポートＣ2 は拡張コンピュータ統合ユニット30上の第２連通ポートＰ2 に、第３の接続ポートＣ3 は拡張コンピュータ統合ユニット30上の第１連通ポートＰ1 に、第４の接続ポートＣ4 は設備ユニット20上のEQU.SECS直列通信ポートにそれぞれ接続されている。
【００２５】
本発明の直列通信用並列モニタ装置100 は、拡張コンピュータ統合ユニット30が正常状態で動作している場合、第１の接続ポートＣ1 に第２の接続ポートＣ2 が接続されると共に、第３の接続ポートＣ3 に第４の接続ポートＣ4 が接続される。即ち、図１に破線で示すように、Ｃ1 →Ｃ2 間及びＣ3 →Ｃ4 間が接続される。これにより、設備ユニット20が拡張コンピュータ統合ユニット30に接続されると共に、拡張コンピュータ統合ユニット30を介してホストコンピュータ10に連通する。逆に、拡張コンピュータ統合ユニット30に故障発生の場合は、直列通信用並列モニタ装置100 が前記状態を検出して、即時、図２に破線で示すように、正常状態時のＣ1 →Ｃ2 間及びＣ3 →Ｃ4 間の接続を切断し、第１の接続ポートＣ1 と第４の接続ポートＣ4 とを接続する。これにより、設備ユニット20が直接ホストコンピュータ10に接続された状態となり、拡張コンピュータ統合ユニット30の故障状態時において、設備ユニット20が進行中の工程制御をホストコンピュータ10に転嫁する故、中断によるコンピュータ統合生産システムにおける全体工程の進度に影響がない。
【００２６】
図３は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 の内部構成を示す回路ブロック図である。図３が示すように、直列通信用並列モニタ装置100 上の第１の接続ポートＣ1 は、ホストコンピュータ10上の一対の直列信号線(HOST.TX, HOST.RX)に接続される。尚、HOST.TX は、ホストコンピュータ10のデータ出力線であって、HOST.RX は、ホストコンピュータ10のデータ入力線である。第２の接続ポートＣ2 は、拡張コンピュータ統合ユニット30上の第２の連通ポートＰ2 の一対直列信号線(PASSTHROUGH. TX2, PASSTHROUGH. RX2)との接続に用いられ、PASSTHROUGH. TX2は、第２の連通ポートＰ2 のデータ出力線であって、 PASSTHROUGH. RX2 は、第２の連通ポートＰ2 のデータ入力線である。第３の接続ポートＣ3 は、拡張コンピュータ統合ユニット30上の第１の連通ポートＰ1 の一対直列信号線(PASSTHROUGH. TX1 PASSTHROUGH. RX1)との接続に用いられ、PASSTHROUGH. TX1は、第１の連通ポートＰ1 のデータ出力線を代表し、 PASSTHROUGH. RX1 は、第１の連通ポートＰ1 のデータ入力線を代表し、尚、第４の接続ポートＣ4 は設備ユニット20上の一対直列信号線(EQUIPMENT.RX, EQUIPMENT.TX)との接続に用いられ、EQUIPMENT.TXは、設備ユニット20のデータ出力線を代表し、 EQUIPMENT.RX は、設備ユニット20のデータ入力線を代表する。
【００２７】
尚、直列通信用並列モニタ装置100 の内部回路構成に一組の切替モジュール101 、102 及び制御用ロジック装置110 を備える。切替モジュール101 及び102 は、複数の切替ユニットで形成され、制御用ロジック装置110 の制御により回路を第１の切替位置SP1 或いは第２の切替位置SP2 に切替自在であり、制御用ロジック装置110 が拡張コンピュータ統合ユニット30の正常動作を検出した場合、切替モジュール101 及び102 を第２の切替位置SP2 に切替え、制御用ロジック装置110 が拡張コンピュータ統合ユニット30の故障発生を検出した場合に切替モジュール101 及び102 を第１の切替位置SP1 に切替る。
【００２８】
制御用ロジック装置110 における拡張コンピュータ統合ユニット30の正常動作状態又は故障状態の検出方法は、全ての直列信号線(HOST.TX, HOST.RX)、(PASS-TROUGH. TX2, PASSTHROUGH. RX2)、(PASSTHROUGH.TX1, PASSTHROUGH. RX1) 及び(EQUIPMENT.RX, EQUIPMENT.TX)上のデータ通信が正常に進行されているか否かを検査する。例えば、要求信号に対する回答時間が所定時間以上であるかを継続的に検査し、若し、拡張コンピュータ統合ユニット30が故障状態であると判定した場合、即時に切替可能信号を切替モジュール101 及び102 に出力して、切替モジュール101 及び102 を第１の切替位置SP1 に切替る。
【００２９】
また、図３が示すように、切替モジュール101 及び102 が第２の切替位置SP2 に切替えられた場合は、設備ユニット20の直列信号線 EQUIPMENT.RX とEQUIPMENT.TXを拡張コンピュータ統合ユニット30のそれぞれの直列信号線 PASSTHROUGH.TX1と PASS-THROUGH. RX1に接続すると共に、ホストコンピュータ10の直列信号線 HOST.TXとHOST. RXを拡張コンピュータ統合ユニット30のそれぞれの直列信号線 PASSTROUGH. TX2とPASSTHROUGH. RX2に接続する。従って、設備ユニット20は、拡張コンピュータ統合ユニット30の第１の連通ポートＰ1 に接続されると共に、ホストコンピュータ10を拡張コンピュータ統合ユニット30の第２の連通ポートＰ2 に接続する。よって、設備ユニット20は、拡張コンピュータ統合ユニット30に接続され、同時に、拡張コンピュータ統合ユニット30を介してホストコンピュータ10に連通する。
【００３０】
逆に、切替モジュール101 及び102 が第１の切替位置SP1 に切替えられた場合は、図４が示すように、設備ユニット20の直列信号線 EQUIPMENT.RX とEQUIPMENT.TXをホストコンピュータ10のそれぞれの直列信号線 HOST.TXとHOST. RXに接続させ、この接続により設備ユニット20を直接ホストコンピュータ10に接続させ、設備ユニット20をホストコンピュータ10が直接制御する形態を形成する。
【００３１】
直列通信用並列モニタ装置100 内の切替モジュール101 及び102 には、電子型スイッチ又は継電器等を用いることができるが、継電器を用いることが最も好ましい。継電器を用いた実施方式において、それぞれの継電器に電源が供給された場合（即ち、継電器の動作位置）に第２の切替位置SP2 に切替えられるように設定し、無電源供給時（即ち、継電器のリリース位置）に第１の切替位置SP1 に切替えられるように設定する。尚、拡張コンピュータ統合ユニット30のシステム電源Ｖ_CCを直列通信用並列モニタ装置100 の電源とする。この実施方式は、拡張コンピュータ統合ユニット30のシステム電源Ｖ_CCが停電になれば、それぞれの継電器が直ちに第１の切替位置SP1 へリリースして、設備ユニット20をホストコンピュータ10との直接接続に切り替える。
【００３２】
依って、拡張コンピュータ統合ユニット30が正常動作の場合は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 が設備ユニット20を拡張コンピュータ統合ユニット30に接続させ、拡張コンピュータ統合ユニット30を介してホストコンピュータ10と連通する。しかし、拡張コンピュータ統合ユニット30に故障発生の場合は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 が直ちに、設備ユニット20をホストコンピュータ10に直接接続させて、設備ユニット20が進行中の工程制御をホストコンピュータ10に転嫁する故、工程における中断がない。
【００３３】
図５に本発明の直列通信用並列モニタ装置100 の制御用ロジック装置 110 の構成を示す。制御用ロジック装置 110 は、九つのユニットに分割され、ＣＰＵ 40 と、通信モニタ装置45、通信状態指示装置55と、回路状態指示装置65と、警報装置75と、切替回路50と、リセット装置60と、計時装置70及び電源調整装置80を備える。ＣＰＵ 40 は、決定及び分析に用いられ、通信モニタ装置45は、通信回路上の通信データ読み取りに用いられ、通信状態指示装置55は、現状通信状態を表示し、回路状態指示装置65は、現状回路の切替状態指示に用いられる。よって、本発明において、拡張コンピュータ統合ユニット30を切り離した場合、警報装置75によって警報ベルを鳴動させ、機械式回路選択器である切替回路50が、リセット装置60によって、切替形式（拡張コンピュータ統合ユニット 30が切離された状態）を解除し、システムの操作状態を一般形式（拡張コンピュータ統合ユニット 30と、ホストコンピュータ10及び設備ユニット 20が接続している状態）に戻す。計時装置70が本発明の基準参考時間を算出し、電源調整装置80で入力される本発明の電圧は、ＤＣ９〜２４Ｖの弾力的な範囲を有し、且つ、入力電圧の極性を考慮する必要もない。
【００３４】
図６は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 を複数ホストコンピュータ及び複数設備ユニットのコンピュータ統合生産システムに用いた基本構成を示すブロック図である。
図６が示すように、コンピュータ統合生産システムに、複数基のホストコンピュータ10と、複数基の設備ユニット20及び複数の拡張コンピュータ統合ユニット30を含み、各ホストコンピュータ10と、その接続する設備ユニット20及び拡張コンピュータ統合ユニット30の間に直列通信用並列モニタ装置100 を接続する。前記コンピュータ統合生産システム内の何れかの拡張コンピュータ統合ユニット30に故障停止状態が発生した場合、その拡張コンピュータ統合ユニット 30 に接続する直列通信用並列モニタ装置100 が作用して、その直列通信用並列モニタ装置 100 に接続する設備ユニット20をその直列通信用並列モニタ装置 100 が接続されたホストコンピュータ10に直接接続する。よって、図６が示すようにコンピュータ統合生産システムの何れの設備ユニット20に於いて行われる工程も、それぞれの設備ユット 20 が接続する拡張コンピュータ統合ユニット30に故障停止状態が発生した場合にも中断することがなく、全工程に影響することがない。
【００３５】
図７は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 を少なくとも２個以上のマルチ通信ポートのモニタ及び制御に用いた場合のシステムを示すブロック図である。図７内の直列通信用並列モニタ装置100 は、マルチ通信ポートを備える直列通信システム85と86のモニタ及び制御に用いられる。
【００３６】
図８及び９は、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 が少なくとも二つ以上の区域ネットワークのホストコンピュータ系統に適用された場合のブロック図である。図中の区域ネットワーク90内に少なくともホストコンピュータ10と11を有し、実施中のホストコンピュータ10が故障で通信不能に、又は、予備用ホストコンピュータ11が設備ユニット21との直列通信に介入する場合、図９が示すように、本発明の直列通信用並列モニタ装置100 がシステムのホストコンピュータ切替えを行い、ホストコンピュータ10との接続を切断する。
以上の記述は、本発明のより良き実施例及びその応用状態のみを開示するものであって、発明の実質技術内容の範囲を拘束するものではない。本発明の実質技術内容は、広義的に定義された首記の特許請求範囲内に開示する請求項による故、如何なる他人が完成しうる技術実態又はその方法が、首記の特許請求範囲に掲示するものと完全に相同、或いは、その一部分が同効果の変更であれば、前記特許請求範囲に含まれることをも主張する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のコンピュータ統合生産システムを示すブロック図である。
【図２】図１に示すコンピュータ統合生産システムに於ける拡張コンピュータ統合ユニットに故障が発生した場合のシステム接続状態を示すブロック図である。
【図３】本発明の直列通信用並列モニタ装置の内部回路構成を示す回路ブロック図である。
【図４】図３に示す直列通信用並列モニタ装置の拡張コンピュータ統合ユニットに故障が発生した場合の切替状態を示すブロック図である。
【図５】本発明の直列通信用並列モニタ装置の制御用ロジック装置の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の直列通信用並列モニタ装置を複数ホストコンピュータ及び複数設備ユニットのコンピュータ統合生産システムに用いた基本構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の直列通信用並列モニタ装置を少なくとも２個以上のマルチ通信ポートのモニタ及び制御に用いた場合のシステムを示すブロック図である。
【図８】本発明の直列通信用並列モニタ装置100 が少なくとも二つ以上の区域ネットワークのホストコンピュータ系統に適用された場合のブロック図である。
【図９】図８における実施中のホストコンピュータに故障が発生した場合、または、予備ホストコンピュータが通信権を獲得した場合の接続状態を示すブロック図である。
【図１０】従来技術における周知コンピュータ統合生産システムの基本構成を示すシステムブロック図である。
【図１１】従来技術における周知拡張コンピュータ統合ユニットを備えるコンピュータ統合生産システムの基本構成を示すブロック図である。
【図１２】図11の従来技術におけるコンピュータ統合生産システムの拡張コンピュータ統合ユニットに故障が発生した場合のシステム状態を示すブロック図である。
【符号の説明】
10，11 ホストコンピュータ
20，21，22 設備ユニット
20a 設備ユニット20のSECS直列通信用線路
21a 設備ユニット21のSECS直列通信用線路
22a 設備ユニット22のSECS直列通信用線路
30 拡張コンピュータ統合ユニット
30a 拡張コンピュータ統合ユニット30のSECS直列通信用線路
40 ＣＰＵ
45 通信モニタ装置
50 切替回路
55 通信状態指示装置
60 リセット装置
65 回路状態指示装置
70 計時装置
75 警報装置
80 電源調整装置
85，86 直列通信システム
90 区域ネットワーク
100 直列通信用並列モニタ装置
101 ，102 切替モジュール
110 制御用ロジック装置
Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 ，Ｃ4 接続ポート
Ｐ1 ，Ｐ2 連通ポート[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to computer integrated manufacturing (CIM), and particularly to a pass-through extended computer integrated unit in a computer integrated manufacturing system applied to a semiconductor equipment communication standard (SECS). When a failure occurs, by connecting the equipment unit to be connected directly to the host computer, the process performed on each equipment unit can prevent the expansion computer integrated unit from being stopped due to the failure, and the computer integrated production system is applied to the system The present invention relates to a parallel monitoring device for serial communication.
[0002]
[Prior art]
Computer integrated production technology is widely applied in semiconductor manufacturing factories to improve overall production efficiency through the immediate computer controlled automation process. Since the normal semiconductor manufacturing process divides the process into a plurality of manufacturing steps and is performed on each different equipment unit, computer integration for comprehensively controlling the manufacturing steps performed on these equipment units Production technology is used, each equipment unit is connected to a host computer, and integrated control of all processes is performed using the host computer. A conventional computer integrated production system uses SECS communication regulations for data communication between a host computer and each equipment unit, and the host computer transmits process control parameters to each equipment unit via the SECS communication line. The process state data is also forwarded from the unit via the same SECS communication line and used for integrated control of the host computer.
[0003]
FIG. 10 is a system block diagram showing a basic configuration of a known computer integrated production system in the prior art. The computer integrated production system includes one host computer 10 and two equipment units 21 and 22 (the actual computer integrated production system may include several tens of equipment units, but the drawings are simplified. And, for convenience of explanation, the equipment unit includes only two units), and the host computer 10 monitors and controls the progress of the process in the equipment units 21 and 22. the first SECS serial communication line 21a is provided between the equipment unit 21 of the controlled system, the host computer 10 the second SECS serial communication line 22a between the second control object equipment unit 22 Provide. The host computer 10 transmits the process control parameters to the first equipment unit 21 via the first SECS serial communication line 21a, and the process status data from the first equipment unit 21 to the host computer 10. And the host computer 10 transmits the process control parameters to the second equipment unit 22 via the second SECS serial communication line 22a, and the process status data from the second equipment unit 22 to the host computer 10. Forward to.
[0004]
However, the disadvantage of the computer integrated production system is that the host computer 10 does not change the original configuration state because there is a production stop due to the modification of the configuration state or the production cannot be performed due to the destruction of the original configuration system. A problem arises when it is necessary to increase the function of monitor control.
[0005]
FIG. 11 is an explanatory block diagram showing a solution to the problem. This method is a method of connecting an extended computer integrated unit 30 having a pass-through configuration between a host computer 10 and each equipment unit, and includes an extended computer integrated unit 30 (for example, independent data processing other than the host computer 10 such as a small computer). The apparatus) is connected to each equipment unit 20 and the host computer 10 by SECS serial communication lines 20a, 30a, etc. By monitoring and controlling the materials, the monitor control capability of the host computer 10 can be expanded to cooperate in improving the overall capability of the computer integrated production system.
[0006]
However, as FIG. 12 shows, the problem with the solution is that if a fault condition occurs in the extended computer integrated unit 30, it does not matter whether it occurs due to an operating system or a power failure, and SECS serial communication. The service lines 20a and 30a are interrupted, and the process performed on the equipment unit 20 is interrupted. In addition, since the process performed on each equipment unit 20 in the computer integrated production system is one step in a continuous process, the process interruption in any one equipment unit affects the progress of the whole process. Become.
[0007]
To solve the problem, a software monitor program (software-moniter program) is added to each expansion computer integration unit 30 to read the communication contents between the equipment unit 20 and the expansion computer integration unit 30 , and the expansion computer integration It is determined whether the unit 30 is operating normally. If the extended computer integrated unit 30 is stopped, the software monitor program immediately connects the equipment unit 20 to the host computer 10. Since the switching is performed, the line is not interrupted. However, problems of the solution is in the development of software monitor program to its use, the programmer SECS communication provisions, and the extended Computer integrated unit, Kere such not fully understand the contents of communication between the form of equipment units I must. Therefore, it takes effort to this development work, and the software monitor program designed typically but is applicable only to equipment units of a particular type can not be applied to equipment units other types, also power outage Even when this occurs, there is a problem that the intended effect cannot be exhibited.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the problems of the prior art, an object of the present invention is to perform a process performed on each equipment unit by connecting the connected equipment unit directly to a host computer when a failure occurs in the extended computer integrated unit. It is intended to provide a parallel monitoring device for serial communication in a computer integrated production system that can prevent interruption of work by directly controlling a computer with a host computer.
Another object of the present invention is to provide a computer integrated production system capable of directly connecting a connected equipment unit to an immediate host computer by exerting a switching function even when a failure occurs in the extended computer integrated unit. It is to provide a parallel monitoring device for serial communication.
Still another object of the present invention is to provide a parallel monitoring device for serial communication of a computer integrated production system applied to each type of equipment unit having different communication contents.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The parallel monitoring device for serial communication according to the first aspect of the present invention provided on the basis of the object includes at least one equipment unit and at least one host that controls the equipment unit while monitoring the progress of the process in the equipment unit. A computer and at least one extended computer integrated unit for monitoring a progress of a process in the equipment unit and providing a monitoring result to the host computer, between the host computer, the extended computer integrated unit and the equipment unit Are connected to each other via a serial communication interface, and each of the host computer and the equipment unit includes at least one serial communication port, and the expansion computer integrated unit includes a first communication port and a first communication port. 2 communication ports A parallel monitor device for serial communication to be applied to obtain a computer integrated manufacturing system,
(a) a first connection port for connection to a communication port on the host computer, a second connection port for connection to a second communication port on the expansion computer integrated unit, and the expansion computer A third connection port for connecting to the first communication port on the integrated unit and a fourth connection port for connecting to the communication port of the equipment unit;
(b) The fourth connection port is connected to the first connection port when switched to the first switching position, and the fourth connection port is switched to when switched to the second switching position. A switching module that is connected to the third connection port and is switchable to the first switching position or the second switching position;
(c) detecting a normal operation state or a failure state of the extended computer integrated unit, and when the extended computer integrated unit is in a normal operating state, the switching module is positioned at the second switching position to Is connected to the extended computer integrated unit and communicated with the host computer, and when the extended computer integrated unit is in a failure state, the switching module is positioned at the first switching position and the equipment unit is directly connected to the host computer. A control logic device connected to a host computer, the control logic device having a timing means, and the communication contents between the host computer and the equipment unit via the extended computer integrated unit The above setting for each request signal from the host computer. When the response time exceeds the reference reference time by continuously detecting whether the response time from the preparation unit exceeds the reference reference time calculated by the timing means , the extended computer integrated unit is in a failure state. It is determined that it is.
[0010]
A parallel monitoring device for serial communication according to a second invention is characterized in that, in the first invention, the serial communication port on the host computer and the equipment unit is a serial communication port of a semiconductor device communication standard (SECS).
[0011]
A parallel monitoring device for serial communication according to a third invention is characterized in that, in the first invention, the switching module includes a plurality of relays.
[0013]
A parallel monitoring device for serial communication according to a fourth invention is characterized in that, in the first invention, the extended computer integrated unit is an independent computer device other than the host computer.
[0014]
A computer integrated production system according to a fifth invention comprises at least one equipment unit, at least one host computer for controlling the equipment unit while monitoring the progress of the process in the equipment unit, and the process in the equipment unit. A computer integrated production system including at least one extended computer integrated unit that monitors the progress of the system and provides the monitoring result to the host computer,
(a) at least one host computer having one serial communication port;
(b) at least one equipment unit having one serial communication port;
(c) at least one extended computer integrated unit comprising a first communication port and a second communication port; and
(d) including at least one parallel monitoring device for serial communication;
The parallel monitoring device for serial communication,
(d1) a first connection port used for connection with a communication port on the host computer, a second connection port used for connection with a second communication port on the expansion computer integrated unit, and the expansion computer A third connection port used for connection with the first communication port on the integrated unit, and a fourth connection port used for connection with the communication port on the equipment unit;
(d2) The fourth connection port is connected to the first connection port when switched to the first switching position, and the fourth connection port is switched to when switched to the second switching position. A switching module that is connected to the third connection port and is switchable to the first switching position or the second switching position;
(d3) a response time from the facility unit for each of the request signals from the host computer in communication contents between the host computer and the facility unit via the extended computer integrated unit, having time measuring means By continuously detecting whether or not the reference time calculated by the timing means is exceeded, it is determined that the extended computer integrated unit is in a failure state when the response time exceeds the reference reference time,
When the extended computer integrated unit is in a normal operation state, the switching module is positioned at the second switching position to connect the facility unit to the extended computer integrated unit and communicate with the host computer.
When it is determined that the extended computer integrated unit is in a failure state , the facility module is directly connected to the host computer with the switching module positioned at the first switching position.
[0015]
The computer integrated production system according to a sixth aspect of the present invention is the computer integrated production system according to the fifth aspect , wherein the serial communication port on the host computer and the equipment unit is a serial communication port of a semiconductor device communication standard (SECS) or a serial communication port of a special communication standard It is characterized by being.
[0016]
The computer integrated production system according to a seventh aspect of the present invention is the computer integrated production system according to the fifth aspect , wherein the extended computer integrated unit is an independent computer device other than the host computer.
[0018]
The computer integrated production system according to an eighth invention is characterized in that, in the fifth invention , the switching module includes a plurality of relays.
[0021]
Specifically, in the event of a failure in the extended computer integrated unit, the parallel monitoring device for serial communication of the present invention switches the equipment unit directly to the host computer directly and controls the ongoing process control in the equipment unit. It is possible to avoid interruption of late work that is passed on to direct computer control.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a block diagram showing a basic configuration of a computer integrated production system using the parallel monitor device for serial communication of the present invention. As shown in FIG. 1, the computer integrated production system includes a host computer 10, an equipment unit 20, an extended computer integrated unit 30, and a parallel communication monitoring device 100 for serial communication provided by the present invention.
[0023]
The host computer 10 has a standardized serial communication port indicated by HOST.SECS in the drawing, for example, a communication port of the semiconductor device communication standard (SECS), and the equipment unit 20 similarly has an EQU in the drawing. The extended computer integrated unit 30 has a first communication port P1 and a second communication port P2 of the SECS serial communication port.
[0024]
For serial communication parallel monitor apparatus 100 of the present invention is Ru with a connection port C1, C2, C3 and C4 of the at least four external connections. The HOST.SECS serial communication port on the first connection port C1 the host computer 10, the second connection port C2 and the second connecting port on the expansion computer integrated unit 30 P2, the third connection port C3 is extended Computer the first communication port P1 on the integrated unit 30, the fourth connection port C4 are connected to EQU.SECS serial communications port on the equipment unit 20.
[0025]
When the expansion computer integrated unit 30 is operating in a normal state, the parallel communication device 100 for serial communication of the present invention is connected to the first connection port C1 with the second connection port C2 and the third connection. The fourth connection port C4 is connected to the port C3. That is, as indicated by broken lines in FIG. 1, the connection between C1 and C2 and between C3 and C4 are connected . As a result, the facility unit 20 is connected to the extended computer integrated unit 30 and communicates with the host computer 10 via the extended computer integrated unit 30. Conversely, if a failure occurs in the extended computer integrated unit 30 for serial communication parallel monitor device 100 detects the state immediately, as indicated by a broken line in FIG. 2, between C1 → C2 and the normal state The connection between C3 and C4 is disconnected, and the first connection port C1 and the fourth connection port C4 are connected. As a result, the equipment unit 20 is directly connected to the host computer 10, and when the extended computer integrated unit 30 is in a failure state , the equipment unit 20 transfers the ongoing process control to the host computer 10. there is no effect on the progress of the entire process of definitive to integrated production system.
[0026]
FIG. 3 is a circuit block diagram showing the internal configuration of the parallel monitoring device 100 for serial communication of the present invention. As shown in FIG. 3, the first connection port C 1 on the serial communication parallel monitoring device 100 is connected to a pair of serial signal lines (HOST.TX, HOST.RX) on the host computer 10. HOST.TX is a data output line of the host computer 10, and HOST.RX is a data input line of the host computer 10. The second connection port C2 is used for connection with a pair of serial signal lines (PASSTHROUGH.TX2, PASSTHROUGH.RX2) of the second communication port P2 on the extended computer integrated unit 30, and PASSTHROUGH.TX2 is connected to the second connection port C2. A data output line of the communication port P2, and PASSTHROUGH.RX2 is a data input line of the second communication port P2. The third connection port C3 is used to connect the pair of serial signal lines (PASSTHROUGH.TX1 PASSTHROUGH.RX1) of the first communication port P1 on the extended computer integrated unit 30. PASSTHROUGH.TX1 Representing the data output line of port P1, PASSTHROUGH.RX1 represents the data input line of the first communication port P1, and the fourth connection port C4 is a pair of serial signal lines (EQUIPMENT. RX, EQUIPMENT.TX), where EQUIPMENT.TX represents the data output line of the equipment unit 20, and EQUIPMENT.RX represents the data input line of the equipment unit 20.
[0027]
Note that a set of switching modules 101 and 102 and a control logic device 110 are provided in the internal circuit configuration of the parallel monitoring device 100 for serial communication. The switching modules 101 and 102 are formed of a plurality of switching units, and the circuit can be switched to the first switching position SP1 or the second switching position SP2 under the control of the control logic device 110. The control logic device 110 When the normal operation of the extended computer integrated unit 30 is detected, the switching modules 101 and 102 are switched to the second switching position SP2, and when the control logic device 110 detects the failure of the extended computer integrated unit 30, the switching module 101 And 102 are switched to the first switching position SP1.
[0028]
The detection method of the normal operation state or the failure state of the extended computer integrated unit 30 in the control logic device 110 includes all serial signal lines (HOST.TX, HOST.RX), (PASS-TROUGH.TX2, PASSTHROUGH.RX2), Check whether data communication on (PASSTHROUGH.TX1, PASSTHROUGH.RX1) and (EQUIPMENT.RX, EQUIPMENT.TX) is proceeding normally. For example, it is continuously checked whether the response time to the request signal is equal to or longer than a predetermined time, and if it is determined that the extended computer integrated unit 30 is in a failure state, the switchable signals 101 and 102 are immediately switched. And the switching modules 101 and 102 are switched to the first switching position SP1.
[0029]
As shown in FIG. 3, when the switching modules 101 and 102 are switched to the second switching position SP2, the serial signal lines EQUIPMENT.RX and EQUIPMENT.TX of the equipment unit 20 are respectively connected to the extended computer integrated unit 30. Connect the serial signal lines PASSTHROUGH.TX1 and PASS-THROUGH.RX1 and connect the serial signal lines HOST.TX and HOST.RX of the host computer 10 to the serial signal lines PASSTROUGH.TX2 and PASSTHROUGH. Connect to RX2. Accordingly, the facility unit 20 is connected to the first communication port P1 of the expansion computer integrated unit 30 and connects the host computer 10 to the second communication port P2 of the expansion computer integrated unit 30. Therefore, the facility unit 20 is connected to the extended computer integrated unit 30 and simultaneously communicates with the host computer 10 via the extended computer integrated unit 30.
[0030]
Conversely, when the switching modules 101 and 102 are switched to the first switching position SP1, as shown in FIG. 4, the serial signal lines EQUIPMENT.RX and EQUIPMENT.TX of the equipment unit 20 are connected to the host computers 10 respectively. The serial signal lines HOST.TX and HOST.RX are connected, and by this connection, the equipment unit 20 is directly connected to the host computer 10, and the equipment unit 20 is directly controlled by the host computer 10.
[0031]
The switching module 101 and 102 of the serial communication for parallel monitoring device 100 and may Rukoto using an electronic switch or relay and the like, it is most preferable to use a relay. In the embodiment method using the relay, when power is supplied to each of the relays (i.e., the operating position of the relay) is set to so that is switched to the second switching position SP2, the time of no power supply (i.e., relay set to the release position) of the so that is switched to the first switching position SP1. The system power supply V _CC of the extended computer integrated unit 30 is used as the power supply for the parallel monitor device 100 for serial communication. In this implementation method, when the system power supply V _CC of the extended computer integrated unit 30 is out of power, each relay immediately releases to the first switching position SP1 to switch the equipment unit 20 to the direct connection with the host computer 10. .
[0032]
Therefore, when the extended computer integrated unit 30 is operating normally, the parallel monitoring device 100 for serial communication of the present invention connects the equipment unit 20 to the extended computer integrated unit 30 and the host computer 10 via the extended computer integrated unit 30. Communicate with. However, in the event of a failure in the extended computer integrated unit 30, the parallel monitoring device for serial communication 100 of the present invention immediately connects the equipment unit 20 directly to the host computer 10 so that the equipment unit 20 can carry out ongoing process control. Since it is passed on to the host computer 10, there is no interruption in the process.
[0033]
FIG. 5 shows a configuration of the control logic device 110 of the serial communication parallel monitoring device 100 of the present invention. The control logic device 110 is divided into nine units. The CPU 40, the communication monitor device 45, the communication state instruction device 55, the circuit state instruction device 65, the alarm device 75, the switching circuit 50, and the reset device 60. And a time measuring device 70 and a power supply adjusting device 80. The CPU 40 is used for determination and analysis, the communication monitoring device 45 is used for reading communication data on the communication circuit, the communication status indicating device 55 displays the current communication status, and the circuit status indicating device 65 is used for the current status. Used to instruct circuit switching status. Therefore, in the present invention, when the extended computer integrated unit 30 is disconnected, the alarm bell is sounded by the alarm device 75, and the switching circuit 50, which is a mechanical circuit selector, is switched by the reset device 60 (the extended computer integrated unit). 30 is disconnected), and the system operation state is returned to the general form (a state in which the extended computer integrated unit 30 , the host computer 10 and the equipment unit 20 are connected). The time measuring device 70 calculates the reference reference time of the present invention, and the voltage of the present invention input by the power supply adjusting device 80 has an elastic range of 9 to 24 VDC, and it is necessary to consider the polarity of the input voltage Nor.
[0034]
FIG. 6 is a block diagram showing a basic configuration in which the parallel communication monitoring device 100 for serial communication of the present invention is used in a computer integrated production system of a plurality of host computers and a plurality of equipment units.
As shown in FIG. 6, the computer integrated production system includes a plurality of host computers 10, a plurality of equipment units 20 and a plurality of extended computer integrated units 30, and each host computer 10 and the equipment units 20 connected thereto. And the parallel monitor device 100 for serial communication is connected between the extended computer integrated unit 30. If a fault stop state either the extended computer integrated unit 30 in the computer integrated manufacturing system occurs, the parallel monitor device 100 for serial communication to connect to its expanded computer integrated unit 30 acts, parallel for the serial communication directly connecting equipment unit 20 connected to the monitor apparatus 100 to the host computer 10 that a serial communication parallel monitor device 100 is connected. Therefore, as shown in FIG. 6, the process performed in any equipment unit 20 of the computer integrated production system is interrupted even if a failure stop state occurs in the extended computer integrated unit 30 to which each equipment unit 20 is connected. It does not affect the entire process.
[0035]
FIG. 7 is a block diagram showing a system when the parallel monitoring device 100 for serial communication of the present invention is used for monitoring and controlling at least two or more multi-communication ports. The parallel monitoring device 100 for serial communication in FIG. 7 is used for monitoring and controlling serial communication systems 85 and 86 having multiple communication ports.
[0036]
FIGS. 8 and 9 are block diagrams when the parallel monitoring device 100 for serial communication of the present invention is applied to a host computer system of at least two or more area networks. When there are at least the host computers 10 and 11 in the area network 90 in the figure, and the host computer 10 being implemented becomes faulty and cannot communicate, or the spare host computer 11 intervenes in serial communication with the equipment unit 21 As shown in FIG. 9, the parallel communication monitoring device 100 for serial communication according to the present invention switches the host computer of the system and disconnects the connection with the host computer 10.
The above description discloses only better embodiments of the present invention and their application states, and does not constrain the scope of the substantial technical contents of the present invention. Since the technical contents of the present invention are based on the claims disclosed in the broadly defined opening claims, the technical actual state or method that can be completed by any other person is displayed in the appended claims. It is also claimed that if it is completely homologous to what is to be done, or a part thereof is a change in the same effect, it is included in the claims.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a computer integrated production system of the present invention.
2 is a block diagram showing a system connection state when a failure occurs in an extended computer integrated unit in the computer integrated production system shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is a circuit block diagram showing an internal circuit configuration of the parallel monitor device for serial communication according to the present invention.
4 is a block diagram showing a switching state when a failure occurs in the extended computer integrated unit of the parallel monitoring device for serial communication shown in FIG. 3; FIG.
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a control logic device of the parallel monitor device for serial communication of the present invention.
FIG. 6 is a block diagram showing a basic configuration in which the parallel monitoring device for serial communication of the present invention is used in a computer integrated production system of a plurality of host computers and a plurality of equipment units.
FIG. 7 is a block diagram showing a system when the parallel monitoring device for serial communication of the present invention is used for monitoring and controlling at least two or more multi-communication ports.
FIG. 8 is a block diagram when the parallel communication device 100 for serial communication of the present invention is applied to a host computer system of at least two or more area networks.
9 is a block diagram showing a connection state when a failure occurs in the host computer being implemented in FIG. 8 or when a spare host computer has acquired the communication right.
FIG. 10 is a system block diagram showing a basic configuration of a known computer integrated production system in the prior art.
FIG. 11 is a block diagram showing a basic configuration of a computer integrated production system including a known extended computer integration unit in the prior art.
12 is a block diagram showing a system state when a failure occurs in the extended computer integrated unit of the computer integrated production system in the prior art of FIG.
[Explanation of symbols]
10, 11 Host computer
20, 21, 22 Equipment unit
20a SECS serial communication line for equipment unit 20
21a SECS serial communication line for equipment unit 21
22a SECS line for equipment unit 22
30 Extended computer integration unit
30a SECS serial communication line of expansion computer integrated unit 30
40 CPU
45 Communication monitoring device
50 switching circuit
55 Communication status indicator
60 Reset device
65 Circuit status indicator
70 timing device
75 Alarm device
80 Power conditioner
85,86 serial communication system
90 area network
100 Parallel monitoring device for serial communication
101,102 switching module
110 Logic device for control C1, C2, C3, C4 connection port P1, P2 communication port

Claims

少なくとも一基の設備ユニットと、該設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタしつつ前記設備ユニットを制御する少なくとも一基のホストコンピュータと、前記設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタし、モニタ結果を前記ホストコンピュータへ与える少なくとも一基の拡張コンピュータ統合ユニットとを含み、
前記ホストコンピュータと、前記拡張コンピュータ統合ユニット及び前記設備ユニット間を直列通信インターフェースを介して互いにデータ通信を行い、
前記ホストコンピュータと、前記設備ユニット上にそれぞれの直列通信ポートを少なくとも一つ備え、しかも、
前記拡張コンピュータ統合ユニットに、第１の連通ポートと第２の連通ポートを備えるコンピュータ統合生産システムに適用する直列通信用並列モニタ装置であって、
(a) 、前記ホストコンピュータ上の通信ポートに接続する為の第１の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第２の連通ポートと接続する為の第２の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第１の連通ポートと接続する為の第３の接続ポート及び前記設備ユニットの通信ポートに接続する為の第４の接続ポートとを有し、
(b) 、第１の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第１の接続ポートに接続させ、第２の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第３の接続ポートに接続させると共に、前記第１の切替位置または前記第２の切替位置に切替自在の切替モジユールを有し、
(c) 、前記拡張コンピュータ統合ユニットの正常動作状態又は故障状態を検知し、前記拡張コンピュータ統合ユニットが正常動作状態の場合は、前記切替モジユールを前記第２の切替位置に位置させて前記設備ユニットを前記拡張コンピュータ統合ユニットに接続させると共に、前記ホストコンピュータに連通し、前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態の場合は、前記切替モジユールを前記第１の切替位置に位置させて前記設備ユニットを直接前記ホストコンピュータに接続する制御用ロジック装置を備え、
前記制御用ロジック装置は、計時手段を有し、前記拡張コンピュータ統合ユニットを経由する前記ホストコンピュータと前記設備ユニットとの間の通信内容の内の前記ホストコンピュータからの要求信号それぞれに対する前記設備ユニットからの回答時間が前記計時手段が算出する基準参考時間を越えるか否かを継続的に検出することにより、前記回答時間が前記基準参考時間を越える場合に前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定すること
を特徴とする直列通信用並列モニタ装置。At least one equipment unit, at least one host computer for controlling the equipment unit while monitoring the progress of the process in the equipment unit, and monitoring the progress of the process in the equipment unit, Including at least one extended computer integration unit for providing to the host computer;
The host computer, the extended computer integrated unit and the equipment unit perform data communication with each other via a serial communication interface,
At least one serial communication port on each of the host computer and the equipment unit;
A parallel monitoring device for serial communication applied to a computer integrated production system including a first communication port and a second communication port in the extended computer integrated unit,
(a) a first connection port for connection to a communication port on the host computer, a second connection port for connection to a second communication port on the expansion computer integrated unit, and the expansion computer A third connection port for connecting to the first communication port on the integrated unit and a fourth connection port for connecting to the communication port of the equipment unit;
(b) The fourth connection port is connected to the first connection port when switched to the first switching position, and the fourth connection port is switched to when switched to the second switching position. A switching module that is connected to the third connection port and is switchable to the first switching position or the second switching position;
(c) detecting a normal operation state or a failure state of the extended computer integrated unit, and when the extended computer integrated unit is in a normal operating state, the switching module is positioned at the second switching position to Is connected to the extended computer integrated unit and communicated with the host computer, and when the extended computer integrated unit is in a failure state, the switching module is positioned at the first switching position and the equipment unit is directly connected to the host computer. A control logic device connected to the host computer is provided.
The control logic device includes a timing unit, and the equipment unit for each request signal from the host computer in communication contents between the host computer and the equipment unit via the extended computer integrated unit. If the response time exceeds the reference reference time by continuously detecting whether the response time exceeds the reference reference time calculated by the timing means , the extended computer integrated unit is in a failure state A parallel monitoring device for serial communication, characterized in that determination is made .

前記ホストコンピュータ及び前記設備ユニット上の直列通信ポートが半導体装置通信規定(SECS)の直列通信ポートであることを特徴とする請求項１に記載の直列通信用並列モニタ装置。 2. The parallel monitoring device for serial communication according to claim 1, wherein the serial communication port on the host computer and the equipment unit is a serial communication port of a semiconductor device communication standard (SECS).

前記切替モジユールに複数の継電器を含むことを特徴とする請求項１に記載の直列通信用並列モニタ装置。 The parallel monitoring device for serial communication according to claim 1, wherein the switching module includes a plurality of relays.

前記拡張コンピュータ統合ユニットは、前記ホストコンピュータ以外の独立するコンピュータ装置であることを特徴とする請求項１に記載の直列通信用並列モニタ装置。 The parallel monitor device for serial communication according to claim 1, wherein the extended computer integrated unit is an independent computer device other than the host computer.

少なくとも一基の設備ユニットと、該設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタしつつ前記設備ユニットを制御する少なくとも一基のホストコンピュータと、前記設備ユニットにおける工程の進行状況をモニタし、モニタ結果を前記ホストコンピュータへ与える少なくとも一基の拡張コンピュータ統合ユニットとを含むコンピュータ統合生産システムであって、
(a) 、前記少なくとも１基のホストコンピュータは一つの直列通信ポートを有し、
(b) 、前記少なくとも１基の設備ユニットは一つの直列通信ポートを有し、
(c) 、前記少なくとも１基の拡張コンピュータ統合ユニットは第１の連通ポート及び第２の連通ポートを有し、
(d) 、前記直列通信用並列モニタ装置は、
(d1)、前記ホストコンピュータ上の通信ポートとの接続に用いる第１の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第２の連通ポートとの接続に用いる第２の接続ポートと、前記拡張コンピュータ統合ユニット上の第１の連通ポートとの接続に用いる第３の接続ポートと、前記設備ユニット上の通信ポートとの接続に用いる第４の接続ポートとを有し、
(d2)、第１の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第１の接続ポートに接続させ、第２の切替位置に切替えられた場合に前記第４の接続ポートを前記第３の接続ポートに接続させると共に、前記第１の切替位置または前記第２の切替位置に切替自在の切替モジユールを有し、
(d3)、計時手段を有し、前記拡張コンピュータ統合ユニットを経由する前記ホストコンピュータと前記設備ユニットとの間の通信内容の内の前記ホストコンピュータからの要求信号それぞれに対する前記設備ユニットからの回答時間が前記計時手段が算出する基準参考時間を越えるか否かを継続的に検出することにより、前記回答時間が前記基準参考時間を越える場合に前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定し、
前記拡張コンピュータ統合ユニットが正常動作状態の場合は、前記切替モジユールを前記第２の切替位置に位置させて前記設備ユニットを前記拡張コンピュータ統合ユニットに接続させると共に、前記ホストコンピュータに連通し、
前記拡張コンピュータ統合ユニットが故障状態であると判定された場合は、前記切替モジユールを前記第１の切替位置に位置させて前記設備ユニットを直接前記ホストコンピュータに接続することを
特徴とするコンピュータ統合生産システム。At least one equipment unit, at least one host computer for controlling the equipment unit while monitoring the progress of the process in the equipment unit, and monitoring the progress of the process in the equipment unit, A computer integrated production system comprising at least one extended computer integration unit for providing to a host computer,
(a) the at least one host computer has one serial communication port;
(b) the at least one equipment unit has one serial communication port;
(c) the at least one extended computer integrated unit has a first communication port and a second communication port;
(d) the parallel monitoring device for serial communication is:
(d1) a first connection port used for connection with a communication port on the host computer, a second connection port used for connection with a second communication port on the expansion computer integrated unit, and the expansion computer A third connection port used for connection with the first communication port on the integrated unit, and a fourth connection port used for connection with the communication port on the equipment unit;
(d2) The fourth connection port is connected to the first connection port when switched to the first switching position, and the fourth connection port is switched to when switched to the second switching position. A switching module that is connected to the third connection port and is switchable to the first switching position or the second switching position;
(d3) a response time from the facility unit for each of the request signals from the host computer in communication contents between the host computer and the facility unit via the extended computer integrated unit, having time measuring means By continuously detecting whether or not the reference time calculated by the timing means is exceeded, it is determined that the extended computer integrated unit is in a failure state when the response time exceeds the reference reference time,
When the extended computer integrated unit is in a normal operation state, the switching module is positioned at the second switching position to connect the facility unit to the extended computer integrated unit and communicate with the host computer.
When it is determined that the extended computer integrated unit is in a failure state , the switching module is positioned at the first switching position, and the equipment unit is directly connected to the host computer. system.

前記ホストコンピュータ及び前記設備ユニット上の直列通信ポートが半導体装置通信規定(SECS)の直列通信ポート、または、特別通信規定の直列通信ポートであることを特徴とする請求項５に記載のコンピュータ統合生産システム。6. The integrated computer production according to claim 5 , wherein the serial communication port on the host computer and the equipment unit is a serial communication port of a semiconductor device communication standard (SECS) or a serial communication port of a special communication standard. system.

前記拡張コンピュータ統合ユニットは、前記ホストコンピュータ以外の独立するコンピュータ装置であることを特徴とする請求項５に記載のコンピュータ統合生産システム。6. The computer integrated production system according to claim 5 , wherein the extended computer integrated unit is an independent computer device other than the host computer.

前記切替モジユールに複数の継電器を含むことを特徴とする請求項５に記載のコンピュータ統合生産システム。6. The computer integrated production system according to claim 5 , wherein the switching module includes a plurality of relays.