JP3690646B2 - 光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信モジュール等に用いられる光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関し、より詳細には、光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板上に光導波路からなる種々の機能を持つ光導波路回路が製作されている。そのような光導波路回路には、例えば、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ（Arrayed Waveguide Grating ：導波路型回折格子）・マッハツェンダ型干渉計光回路等がある。
【０００３】
また、基板内の光導波路回路に、ＳＯＡ（Semiconductor Optical Amplifier ：半導体光増幅素子）や非線形光導波路素子、ＬＤ（Laser Diode ：レーザダイオード）・ＰＤ（Photodiode：フォトダイオード）・ＯＥＩＣ（Opto-Electronic Integrated Circuit：光電子集積回路）等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路もある。
【０００４】
これらの光導波路回路と外部との光信号の入出力を行なうためには、基板端部に配置された光導波路の各入出力ポートに対応させて光ファイバが接続される。
【０００５】
この際、複数の光ファイバを支持基板に整列させた光ファイバアレイ等を用い、光導波路基板の各光信号入出力用端部（光導波路の各入出力ポート）に、光軸を調整して対向させて、両者を紫外線硬化型接着剤等で接合されていた。また、この光ファイバアレイとそれに対応する各光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かして、出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるようにして光軸を調整することが行なわれていた。
【０００６】
なお、光導波路回路を構成する光導波路としては、例えば石英ガラス基板やシリコン基板上に火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッドおよびコア部を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部を形成した光導波路等がある。
【０００７】
また、これら無機系材料による光導波路に代えて、低温形成が可能な有機系材料による光導波路も検討されている。この光導波路に利用される有機系材料としては、例えばＰＭＭＡ（ポリメチルメタアクリレート）樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）樹脂・フッ素樹脂等が検討されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ・マッハツェンダ型干渉計光回路等は複数の入出力ポートを持つが、意図的にあるいは製造上のばらつきにより出力光の強度がポートによって異なっていたり、また、ＡＷＧやマッハツェンダ型干渉計光回路等では波長選択性があるために特定の波長の光のみが特定の出力ポートから出力されたりすること等があることから、光導波路回路の出力ポートから出力される出力光は不均一であることが普通である。
【０００９】
従って、光ファイバアレイと光導波路回路基板の光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する際に、出力ポートから出力される出力光が不均一であるときには、それぞれの出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整するアルゴリズムが複雑となり、光軸調整に時間がかかったり精度が悪化したりする等の問題点があった。
【００１０】
また、基板内の光導波路回路にＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路基板においては、入力ポートから入射した光はこれらデバイスに光接続されているため必ずしも出力ポートから出力されるものではないことから、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する方法が利用できないという問題点があった。
【００１１】
さらに、２つの光ファイバアレイと光導波路回路基板とを接続する場合には、２つの光ファイバアレイをそれぞれ光軸を合わせて接合する必要があり、１つずつの光ファイバアレイを独立に接続することができないという問題点もあった。
【００１２】
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、光ファイバアレイを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造は、基板上に、複数の光導波路で構成され、前記基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、前記光入力ポートおよび光出力ポートが配置された前記基板の前記同じ側の端部に前記光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、前記光導波路回路の前記光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する前記光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことから、光導波路回路の機能にかかわらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイを光導波路回路基板に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００１８】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができるものとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造について図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。図１において、１は光導波路回路が形成される基板、２は基板１上に形成され、基板１の端部に光入出力ポートを有する光導波路回路を形成する複数の光導波路のコア部、３はコア部２の周囲に形成された光導波路のクラッド部である。これらコア部２およびクラッド部３により光導波路回路が形成されている。４は、基板１の端部にコア部２の光入出力ポートと所定の位置関係で配置した光入力ポートおよび光出力ポートを有する光軸調整用光導波路のコア部であり、ここでは光導波路回路のクラッド部３と同じクラッド部中に光導波路回路の両側にそれぞれ形成した例を示している。すなわち、この例では光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板１の異なる側の端部、ここでは対向する２辺側の端部に配置するとともに、光軸調整用光導波路のコア部４を２つ形成している。これらにより、光導波路回路基板５が構成されている。
【００２１】
また、６は光ファイバアレイの支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートに対応するように支持基板６上に配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応するように、支持基板６上に光ファイバ７に対して前記所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバである。これらにより、光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２２】
なお、10は、基板１上に搭載されて光導波路回路に組み込まれる、ＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスである。
【００２３】
本参考例の光導波路回路基板５と光ファイバアレイ９との接続構造によれば、このような光導波路回路の光入出力ポートに対して所定の位置関係で光入力ポートおよび光出力ポートを配列して成る光軸調整用光導波路を形成した光導波路回路基板５に対し、光導波路回路の光入出力ポートに対応する光ファイバ７と光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバ８を所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイ９を、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸と光軸調整用光ファイバ８の光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。これにより、光導波路回路の機能にかかわらず、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれに対応する光軸調整用光ファイバ８との光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光導波路のコア部２の光入出力ポートとそれに対応する光ファイバ７とについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことができる。
【００２４】
そして、図１に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板の異なる側の端部、ここでは基板１の対向する２辺側の端部にそれぞれ配置するとともに、光軸調整用光導波路を光導波路回路の両側に１つずつ、計２つ形成している。これにより、基板１（光導波路回路基板５）の異なる側の端部にそれぞれ接続される光ファイバアレイ９を、同時に正確な光軸合わせを行なって光導波路回路基板５に接続させることができる。
【００２５】
また、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を、図２に図１と同様の平面図で示す。図２において図１と同様の箇所には同じ符号を付してあり、１は基板、２は光導波路のコア部、３は光導波路のクラッド部であり、これらにより光導波路回路基板５が構成されている。なお、図２において光デバイスは図示していない。また、６は支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートと対応して配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４と対応させて光ファイバ７と所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバであり、これらにより光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２６】
そして、図２に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部、ここでは基板１の１辺側の端部に配置している。これにより、光導波路回路基板５に対して１つの光ファイバアレイ９を正確に光軸調整して接続することができ、光導波路回路基板５に単一の光ファイバアレイ９を接続する場合に好適なものとなる。
【００２７】
このように基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部に光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを配置する場合には、光軸調整用光ファイバ８から光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートに入射した光がこのコア部４を伝搬して光ファイバアレイ９の別の光軸調整用光ファイバ８への光出力ポートに出力されるように、例えば図２に示すように光軸調整用光導波路のコア部４を配置する。その際、コア部４が他の光導波路回路を横切る場合には、光軸調整用光導波路と他の光導波路回路との間で光結合が生じて光信号の乗り移りやクロストークが生じないように、その交差角度を十分大きくする必要がある。例えばシングルモード光導波路の場合であれば、一般的には交差角度が20度程度以上あれば問題ないものとできる。また、他の光導波路回路を横切ることがないように、光導波路回路および光デバイスを迂回するように光軸調整用光導波路のコア部４を配置したり、コア部４をコア部２と立体的に交差させて、十分な間隔を持って他の光導波路回路を横切るように配置しても良い。
【００２９】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造において、基板１は光集積回路基板や光電子混在基板等の光信号を扱う基板として使用される種々の基板であり、例えばシリコン基板やアルミナ基板・ガラスセラミックス基板・多層セラミック電気回路基板・プラスチック電気配線基板等が使用できる。
【００３０】
基板１上に形成される光導波路は、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路であり、その形成材料としては、シリカやニオブ酸リチウム等の無機系材料、あるいはＰＭＭＡ樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ樹脂・フッ素樹脂等の有機系材料を用いれば良い。
【００３１】
光導波路の作製方法としては、例えば、まずクラッド部３のうち下部クラッド層を形成する。有機系材料を用いる場合には上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液を基板１にスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成する。
【００３２】
コア部２は下部クラッド層上に上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成した後、フォトリソグラフィやＲＩＥ等の周知の薄膜微細加工技術を用いて所定の形状で形成すればよい。ここで、コア部２は下部クラッド層よりも高い屈折率を有する材料とする。
【００３３】
次に、コア部２を形成した後に、上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより、クラッド部３のうち上部クラッド層を被覆形成する。
【００３４】
または、火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッド部３およびコア部２を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部３とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部２を形成して作製した光導波路等を用いてもよい。
【００３５】
ここで、コア部３の高さや幅・屈折率、下部クラッド層の厚さ・屈折率、上部クラッド層の厚さ・屈折率などは、周知の光導波路理論を用いて所望の仕様で設計すればよい。
【００３６】
以上のようにして、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路を作製する。このとき、光軸調整用光導波路のコア部４は、例えば図２に示すように、基板１の１つの端部に接続される光ファイバアレイ９に、それぞれ光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポート（光入力ポート・光出力ポート）が２つ接続されるように配置する。これにより、基板１の端部において光ファイバアレイ９がそれぞれ光軸調整用光導波路のコア部４の２つの接続ポートで光軸合わせを行なって接続することができ、光導波路回路基板５に対する光ファイバアレイ９の傾きも所定の状態に調整して両者を精度良く接続することができる。
【００３７】
光ファイバアレイ９は、ガラス基板やセラミック基板に切削により等ピッチで溝を形成した基板やシリコン基板に周知の微細加工技術によって溝を形成した基板等の支持基板６を用いて、その表面に形成した保持溝に光ファイバ７および光軸調整用光ファイバ８を載置し固定することによって作製すればよい。
【００３８】
ここで、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致させておく。さらに、前述のように、１つの光ファイバアレイ９に光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポートをコア部２および光ファイバ７に対して所定の位置関係で２つ設置して、２つの接続ポートでもって、光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイ９と出力側の光ファイバアレイ９とをそれぞれ動かして、出力される光の強度が最大値をとるようにしてコア部４の光軸と光ファイバ８の光軸とが合うように位置を調整すれば、つまり、１つの光ファイバアレイ９の２つの接続ポートでもって光軸を合わせれば、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致しているので、これら他の接続ポートについても同時に光軸を合わせることができる。
【００３９】
【実施例】
次に、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造について具体例を説明する。
【００４０】
＜参考例＞
図３に図１および図２と同様の平面図で示すように、厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部２がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、２個の方向性結合器を２本の直線光導波路で連結してなるマッハツェンダ形光干渉計から成る光回路を作製した。ここで、２個の方向性結合器は、いわゆる３ｄＢカップラーとして機能するように結合部の長さおよび間隔を設定した。
【００４１】
２個の方向性結合器を連結する２本の直線光導波路の間には、光デバイスとして２個の非線形光導波路素子10をそれぞれ実装した。また、非線形光導波路素子10の制御用光信号を入射するための光導波路もそれぞれ形成した。
【００４２】
さらに、この光導波路回路基板５に光ファイバアレイ９を接続する際の光軸調整用光導波路のコア部４をマッハツェンダ光回路の両側面のクラッド部３中に形成した。各光入出力ポートのコア中心すなわち光軸の間隔は約250 μｍとした。
【００４３】
また、光軸は同水準とした。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４４】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４５】
２つの光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の両端に配置して、一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８のコア部にそれぞれ波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して、もう一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８に接続して２つの光パワーメータに導いた。２つのパワーメータでそれぞれの光強度をモニタしながら光強度が最大となるように２つの光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００４６】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の光入出力ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となって、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００４７】
＜実施例＞
厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、図２に示したような、４本の直線状光導波路のコア部２と光ファイバアレイ９の光ファイバ７とを接続する際の、光軸調整用光導波路を形成した。この光軸調整用光導波路のコア部４は、半径５ｍｍの２つの曲り部によって４本の直線光導波路のコア部２と交差するようにして、基板１の同じ側の端部に光入力ポートと光出力ポートとを配置した。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４８】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４９】
そして、図２のように光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の端部に配置して、光ファイバアレイ９の最も外側の１つの光軸調整用光ファイバ８に波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して光ファイバアレイ９の別の最外側の光ファイバ８に接続して、光パワーメータに導いた。このようにしてパワーメータでその光強度をモニタしながら、光強度が最大となるように光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００５０】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の接続ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となり、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００５１】
以上により、本発明によれば、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。また、光導波路回路基板と１つの光ファイバアレイとを接続する場合であっても、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。
【００５２】
なお、本発明は以上の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更・改良を加えることは何ら差し支えない。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを調整して合わせて接合することから、光導波路回路の機能に関わらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の他の光導波路の光入出力ポートについても、すなわち光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光導波路回路基板に光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００５５】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【図２】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図３】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【符号の説明】
１・・・基板
２・・・光導波路のコア部
３・・・光導波路のクラッド部
４・・・光軸調整用光導波路のコア部
５・・・光導波路回路基板
６・・・支持基板
７・・・光ファイバ
８・・・光軸調整用光ファイバ
９・・・光ファイバアレイ
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信モジュール等に用いられる光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関し、より詳細には、光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板上に光導波路からなる種々の機能を持つ光導波路回路が製作されている。そのような光導波路回路には、例えば、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ（Arrayed Waveguide Grating ：導波路型回折格子）・マッハツェンダ型干渉計光回路等がある。
【０００３】
また、基板内の光導波路回路に、ＳＯＡ（Semiconductor Optical Amplifier ：半導体光増幅素子）や非線形光導波路素子、ＬＤ（Laser Diode ：レーザダイオード）・ＰＤ（Photodiode：フォトダイオード）・ＯＥＩＣ（Opto-Electronic Integrated Circuit：光電子集積回路）等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路もある。
【０００４】
これらの光導波路回路と外部との光信号の入出力を行なうためには、基板端部に配置された光導波路の各入出力ポートに対応させて光ファイバが接続される。
【０００５】
この際、複数の光ファイバを支持基板に整列させた光ファイバアレイ等を用い、光導波路基板の各光信号入出力用端部（光導波路の各入出力ポート）に、光軸を調整して対向させて、両者を紫外線硬化型接着剤等で接合されていた。また、この光ファイバアレイとそれに対応する各光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かして、出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるようにして光軸を調整することが行なわれていた。
【０００６】
なお、光導波路回路を構成する光導波路としては、例えば石英ガラス基板やシリコン基板上に火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッドおよびコア部を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部を形成した光導波路等がある。
【０００７】
また、これら無機系材料による光導波路に代えて、低温形成が可能な有機系材料による光導波路も検討されている。この光導波路に利用される有機系材料としては、例えばＰＭＭＡ（ポリメチルメタアクリレート）樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）樹脂・フッ素樹脂等が検討されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ・マッハツェンダ型干渉計光回路等は複数の入出力ポートを持つが、意図的にあるいは製造上のばらつきにより出力光の強度がポートによって異なっていたり、また、ＡＷＧやマッハツェンダ型干渉計光回路等では波長選択性があるために特定の波長の光のみが特定の出力ポートから出力されたりすること等があることから、光導波路回路の出力ポートから出力される出力光は不均一であることが普通である。
【０００９】
従って、光ファイバアレイと光導波路回路基板の光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する際に、出力ポートから出力される出力光が不均一であるときには、それぞれの出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整するアルゴリズムが複雑となり、光軸調整に時間がかかったり精度が悪化したりする等の問題点があった。
【００１０】
また、基板内の光導波路回路にＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路基板においては、入力ポートから入射した光はこれらデバイスに光接続されているため必ずしも出力ポートから出力されるものではないことから、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する方法が利用できないという問題点があった。
【００１１】
さらに、２つの光ファイバアレイと光導波路回路基板とを接続する場合には、２つの光ファイバアレイをそれぞれ光軸を合わせて接合する必要があり、１つずつの光ファイバアレイを独立に接続することができないという問題点もあった。
【００１２】
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、光ファイバアレイを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造は、基板上に、複数の光導波路で構成され、前記基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、前記光入力ポートおよび光出力ポートが配置された前記基板の前記同じ側の端部に前記光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、前記光導波路回路の前記光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する前記光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことから、光導波路回路の機能にかかわらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイを光導波路回路基板に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００１８】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができるものとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造について図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。図１において、１は光導波路回路が形成される基板、２は基板１上に形成され、基板１の端部に光入出力ポートを有する光導波路回路を形成する複数の光導波路のコア部、３はコア部２の周囲に形成された光導波路のクラッド部である。これらコア部２およびクラッド部３により光導波路回路が形成されている。４は、基板１の端部にコア部２の光入出力ポートと所定の位置関係で配置した光入力ポートおよび光出力ポートを有する光軸調整用光導波路のコア部であり、ここでは光導波路回路のクラッド部３と同じクラッド部中に光導波路回路の両側にそれぞれ形成した例を示している。すなわち、この例では光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板１の異なる側の端部、ここでは対向する２辺側の端部に配置するとともに、光軸調整用光導波路のコア部４を２つ形成している。これらにより、光導波路回路基板５が構成されている。
【００２１】
また、６は光ファイバアレイの支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートに対応するように支持基板６上に配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応するように、支持基板６上に光ファイバ７に対して前記所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバである。これらにより、光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２２】
なお、10は、基板１上に搭載されて光導波路回路に組み込まれる、ＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスである。
【００２３】
本参考例の光導波路回路基板５と光ファイバアレイ９との接続構造によれば、このような光導波路回路の光入出力ポートに対して所定の位置関係で光入力ポートおよび光出力ポートを配列して成る光軸調整用光導波路を形成した光導波路回路基板５に対し、光導波路回路の光入出力ポートに対応する光ファイバ７と光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバ８を所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイ９を、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸と光軸調整用光ファイバ８の光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。これにより、光導波路回路の機能にかかわらず、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれに対応する光軸調整用光ファイバ８との光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光導波路のコア部２の光入出力ポートとそれに対応する光ファイバ７とについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことができる。
【００２４】
そして、図１に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板の異なる側の端部、ここでは基板１の対向する２辺側の端部にそれぞれ配置するとともに、光軸調整用光導波路を光導波路回路の両側に１つずつ、計２つ形成している。これにより、基板１（光導波路回路基板５）の異なる側の端部にそれぞれ接続される光ファイバアレイ９を、同時に正確な光軸合わせを行なって光導波路回路基板５に接続させることができる。
【００２５】
また、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を、図２に図１と同様の平面図で示す。図２において図１と同様の箇所には同じ符号を付してあり、１は基板、２は光導波路のコア部、３は光導波路のクラッド部であり、これらにより光導波路回路基板５が構成されている。なお、図２において光デバイスは図示していない。また、６は支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートと対応して配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４と対応させて光ファイバ７と所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバであり、これらにより光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２６】
そして、図２に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部、ここでは基板１の１辺側の端部に配置している。これにより、光導波路回路基板５に対して１つの光ファイバアレイ９を正確に光軸調整して接続することができ、光導波路回路基板５に単一の光ファイバアレイ９を接続する場合に好適なものとなる。
【００２７】
このように基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部に光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを配置する場合には、光軸調整用光ファイバ８から光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートに入射した光がこのコア部４を伝搬して光ファイバアレイ９の別の光軸調整用光ファイバ８への光出力ポートに出力されるように、例えば図２に示すように光軸調整用光導波路のコア部４を配置する。その際、コア部４が他の光導波路回路を横切る場合には、光軸調整用光導波路と他の光導波路回路との間で光結合が生じて光信号の乗り移りやクロストークが生じないように、その交差角度を十分大きくする必要がある。例えばシングルモード光導波路の場合であれば、一般的には交差角度が20度程度以上あれば問題ないものとできる。また、他の光導波路回路を横切ることがないように、光導波路回路および光デバイスを迂回するように光軸調整用光導波路のコア部４を配置したり、コア部４をコア部２と立体的に交差させて、十分な間隔を持って他の光導波路回路を横切るように配置しても良い。
【００２９】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造において、基板１は光集積回路基板や光電子混在基板等の光信号を扱う基板として使用される種々の基板であり、例えばシリコン基板やアルミナ基板・ガラスセラミックス基板・多層セラミック電気回路基板・プラスチック電気配線基板等が使用できる。
【００３０】
基板１上に形成される光導波路は、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路であり、その形成材料としては、シリカやニオブ酸リチウム等の無機系材料、あるいはＰＭＭＡ樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ樹脂・フッ素樹脂等の有機系材料を用いれば良い。
【００３１】
光導波路の作製方法としては、例えば、まずクラッド部３のうち下部クラッド層を形成する。有機系材料を用いる場合には上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液を基板１にスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成する。
【００３２】
コア部２は下部クラッド層上に上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成した後、フォトリソグラフィやＲＩＥ等の周知の薄膜微細加工技術を用いて所定の形状で形成すればよい。ここで、コア部２は下部クラッド層よりも高い屈折率を有する材料とする。
【００３３】
次に、コア部２を形成した後に、上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより、クラッド部３のうち上部クラッド層を被覆形成する。
【００３４】
または、火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッド部３およびコア部２を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部３とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部２を形成して作製した光導波路等を用いてもよい。
【００３５】
ここで、コア部３の高さや幅・屈折率、下部クラッド層の厚さ・屈折率、上部クラッド層の厚さ・屈折率などは、周知の光導波路理論を用いて所望の仕様で設計すればよい。
【００３６】
以上のようにして、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路を作製する。このとき、光軸調整用光導波路のコア部４は、例えば図２に示すように、基板１の１つの端部に接続される光ファイバアレイ９に、それぞれ光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポート（光入力ポート・光出力ポート）が２つ接続されるように配置する。これにより、基板１の端部において光ファイバアレイ９がそれぞれ光軸調整用光導波路のコア部４の２つの接続ポートで光軸合わせを行なって接続することができ、光導波路回路基板５に対する光ファイバアレイ９の傾きも所定の状態に調整して両者を精度良く接続することができる。
【００３７】
光ファイバアレイ９は、ガラス基板やセラミック基板に切削により等ピッチで溝を形成した基板やシリコン基板に周知の微細加工技術によって溝を形成した基板等の支持基板６を用いて、その表面に形成した保持溝に光ファイバ７および光軸調整用光ファイバ８を載置し固定することによって作製すればよい。
【００３８】
ここで、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致させておく。さらに、前述のように、１つの光ファイバアレイ９に光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポートをコア部２および光ファイバ７に対して所定の位置関係で２つ設置して、２つの接続ポートでもって、光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイ９と出力側の光ファイバアレイ９とをそれぞれ動かして、出力される光の強度が最大値をとるようにしてコア部４の光軸と光ファイバ８の光軸とが合うように位置を調整すれば、つまり、１つの光ファイバアレイ９の２つの接続ポートでもって光軸を合わせれば、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致しているので、これら他の接続ポートについても同時に光軸を合わせることができる。
【００３９】
【実施例】
次に、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造について具体例を説明する。
【００４０】
＜参考例＞
図３に図１および図２と同様の平面図で示すように、厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部２がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、２個の方向性結合器を２本の直線光導波路で連結してなるマッハツェンダ形光干渉計から成る光回路を作製した。ここで、２個の方向性結合器は、いわゆる３ｄＢカップラーとして機能するように結合部の長さおよび間隔を設定した。
【００４１】
２個の方向性結合器を連結する２本の直線光導波路の間には、光デバイスとして２個の非線形光導波路素子10をそれぞれ実装した。また、非線形光導波路素子10の制御用光信号を入射するための光導波路もそれぞれ形成した。
【００４２】
さらに、この光導波路回路基板５に光ファイバアレイ９を接続する際の光軸調整用光導波路のコア部４をマッハツェンダ光回路の両側面のクラッド部３中に形成した。各光入出力ポートのコア中心すなわち光軸の間隔は約250 μｍとした。
【００４３】
また、光軸は同水準とした。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４４】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４５】
２つの光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の両端に配置して、一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８のコア部にそれぞれ波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して、もう一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８に接続して２つの光パワーメータに導いた。２つのパワーメータでそれぞれの光強度をモニタしながら光強度が最大となるように２つの光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００４６】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の光入出力ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となって、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００４７】
＜実施例＞
厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、図２に示したような、４本の直線状光導波路のコア部２と光ファイバアレイ９の光ファイバ７とを接続する際の、光軸調整用光導波路を形成した。この光軸調整用光導波路のコア部４は、半径５ｍｍの２つの曲り部によって４本の直線光導波路のコア部２と交差するようにして、基板１の同じ側の端部に光入力ポートと光出力ポートとを配置した。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４８】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４９】
そして、図２のように光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の端部に配置して、光ファイバアレイ９の最も外側の１つの光軸調整用光ファイバ８に波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して光ファイバアレイ９の別の最外側の光ファイバ８に接続して、光パワーメータに導いた。このようにしてパワーメータでその光強度をモニタしながら、光強度が最大となるように光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００５０】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の接続ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となり、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００５１】
以上により、本発明によれば、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。また、光導波路回路基板と１つの光ファイバアレイとを接続する場合であっても、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。
【００５２】
なお、本発明は以上の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更・改良を加えることは何ら差し支えない。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを調整して合わせて接合することから、光導波路回路の機能に関わらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の他の光導波路の光入出力ポートについても、すなわち光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光導波路回路基板に光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００５５】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【図２】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図３】 本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【符号の説明】
１・・・基板
２・・・光導波路のコア部
３・・・光導波路のクラッド部
４・・・光軸調整用光導波路のコア部
５・・・光導波路回路基板
６・・・支持基板
７・・・光ファイバ
８・・・光軸調整用光ファイバ
９・・・光ファイバアレイ
Claims (1)
- 基板上に、複数の光導波路で構成され、前記基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、前記光入力ポートおよび光出力ポートが配置された前記基板の前記同じ側の端部に前記光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、前記光導波路回路の前記光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する前記光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことを特徴とする光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造。
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