JP3667325B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線透過像により検査対象物の検査を行うX線検査装置に関し、とくに1次元検出器を用いて搬送される対象物の2次元透過画像を得るX線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
産業用X線検査装置は、製品の欠陥や異物の混入を非破壊、非接触で検査する手段として広く用いられ、近年では検査対象物をコンベアで搬送して、流れ作業的に検査を行うX線検査装置の利用が増加傾向にある。
これは、図4に示すように、ベルトコンベア上の被検査品を挟んで、X線源と、搬送方向に直角に配列されたラインセンサとを配置し、搬送される被検査品のX線透過像を連続的に撮影して、この透過像を合成して得られる2次元画像から、欠陥や異物の存在を判定するものである。
【0003】
このような検査装置においては、局部的に詳細な観察を行うためにX線透過像の倍率を拡大する機能を必要とする場合が少くない。X線透過像の倍率は、X線源からラインセンサまでの距離Aを、X線源から被検査品までの距離Bで除したA/Bの比により定まる。従来の装置では、倍率を変更するのにX線源かラインセンサのいずれか一方を移動させていた。X線源を非検査品に近づけて倍率を拡大する方法は、前述のAとBがともに小さくなるので拡大効果が小さい。そのためラインセンサを遠ざけることにより倍率を拡大するのが一般的であった。
【0004】
しかし、X線の線量は、X線源からセンサまでの距離の2乗に反比例するため、上述の方法で倍率を拡大すると、センサへのX線量が過少になって、鮮明な画像を得るのが難しくなるという問題があった。
特許文献1には、この問題を回避するために、X線源とラインセンサの位置を固定したまま、コンベアの高さを変えて倍率を変更する装置が開示されている。しかし、この方法では、コンベアの高さの変更に大がかりな装置を必要とし、検査するワークを変えたときにこれに合わせて検査ラインを調整することは容易でない。また、コンベア高さの変更に時間を要するため、通常の流れ作業による検査において、疑わしい対象物があった場合に画像を拡大し詳細に検査したいという要請に応えることはできない。
【0005】
一方、プリント基板等の検査を目的とするマイクロフォーカスX線源を用いたX線検査装置では、移動するコンベアではなく固定したステージに被検査品を載置してステージを上下に移動することにより倍率を変えて検査を行う。この検査は主に配線接続部の欠陥の有無を調べるものであるが、垂直方向からの透過像だけでは検査対象部が他の部品と重なって判定しやすい透過像が得られない場合があり、ステージを前後左右に移動させて、被検査品の観察位置を変えて検査することが必要である。
しかし、図4に示すような搬送式の検査装置において、X線の照射角を変えるため、コンベアの位置を左右に変化させることは簡単でない。
【0006】
【特許文献1】
特開昭62−64977号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、コンベアなどで搬送される検査対象物を挟んで配置されたX線源と1次元ラインセンサにより2次元X線透過画像を得るX線検査装置において、簡単な機構を用いて、X線源とラインセンサの相対的位置関係を一定に保ったまま、拡大倍率また観察方向を可変にする手段を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のX線検査装置の第1は、軸に沿ってX線検出素子列を備えたラインディテクタとX線放射源を備え、これらX線放射源とラインディテクタの間を搬送される対象物をそのX線透過画像に基づいて検査するX線検査装置であって、X線放射源とラインディテクタの移動機構を備え、移動機構はこの両者の相対位置を一定に保ってX線放射源と対象物との間の距離を変えるものであり、移動機構によりX線透過画像の倍率を調整することを特徴とする。
【0009】
上記の移動機構は、X線放射源とラインディテクタを一体に取り付けたフレームをラインディテクタの軸と直角な方向に移動させる案内機構と、フレームを案内機構に従って往復動させる駆動機構を備えたものであってもよい。
これにより、X線放射源とラインディテクタの位置関係を常に一定に保ちつつ、高さが不変のコンベア上の対象物とX線放射源の距離を任意に変えることができ、簡単な機構で拡大倍率を可変にすることができる。この構成によれば、如何なる倍率でも画質が低下することがないため、異物等の検出限界サイズを従来の方式よりも大幅に小さくすることが可能になる。
【0010】
本発明のX線検査装置の第2は、上記第1発明の構成に加えて、X線放射源とラインディテクタの傾動機構を備え、傾動機構はこの両者の相対位置を一定に保って、両者の中心を結ぶ直線がコンベアの搬送方向の前後に傾斜するように両者を移動させるものであり、傾動機構により対象物へのX線の入射方向を変えて見る方向を変えた検査を行なうことを特徴とするX線検査装置である。
【0011】
この装置において、上記の傾動機構は、X線放射源とラインディテクタを一体に取り付けたフレーム、このフレームを支持する支柱、またはそのような支柱が立設された基台のいずれかをコンベアの搬送方向に直角な水平支軸で回転可能に支持する支持機構と、このフレーム、支柱または基台を支軸を中心にして搬送方向の前後に傾斜させる傾斜駆動機構を備えたものであってもよい。
これにより、コンベアで搬送される対象物に対して容易にX線の照射方向を変えて検査を行うことができ、X線の照射方向を変えても、X線源とラインディテクタの相対位置は一定に保たれているから、画像の鮮明さは低下することがない。
【0012】
本発明のX線検査装置の第3は、上記第1発明または第2発明の構成に加えて、X線放射源を移動させる第2の移動機構を備えたX線検査装置であって、この第2の移動機構が、X線放射源をラインディテクタに平行に移動させることを特徴とするものである。
この装置において、上記第2の移動機構は、ラインディテクタの軸と平行に取り付けた案内ガイドと案内ガイドに沿って移動するスライダからなる案内機構と、このスライダと固定的に接続した駒部材をコンベアの搬送方向に直角な水平線上で往復動させる駆動機構を備えたものであってもよい。スライダにX線放射源を搭載して、移動した後でもX線がラインディテクタに入射するようにする。
【0013】
第2発明の装置がX線の照射方向を主にコンベアの搬送方向の前後に傾斜させるものであるのに対して、この第3発明の装置は、X線の照射方向を搬送方向の左右に傾斜させて対象物の左右から観察したX線透過像を得るものである。この装置では、X線放射源と対象物とラインディテクタの距離比が変化しないので、X線の照射方向を変えても画像の倍率が変化せず対応関係が混乱なく理解できる。
上記第1から第3発明のいずれにおいても、X線放射源はマイクロフォーカスX線源であってもよい。マイクロフォーカスX線源は点光源と擬制することができるので、X線放射源の位置が変化したときも対応関係が分かり易く、ボケの小さい鮮明な画像を得ることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、実施例の図面に基いて本発明のX線検査装置を詳細に説明する。
図1は、本発明の1実施例であるX線検査装置の構成を示す斜視図である。この装置はX線源1、ラインディテクタ2、フレーム4、1対の支柱5、フレーム4を昇降させる昇降駆動機構6及び画像処理装置(図示していない)等から構成されている。X線源1とラインディテクタ2は、コンベアベルト7を挟んで対向して配置されている。ラインディテクタ2のX線検出素子列3は、コンベアの搬送方向に垂直に配置されている。検査対象物8はコンベアベルト7に搭載され搬送される。ラインディテクタ2はX線検出素子列3により検出されるライン状のX線透過プロフィールを連続的に取得し、画像処理装置により2次元画像として表示する。
【0015】
本発明のX線検査装置は、X線源1とラインディテクタ2の両者間の距離及び相対的姿勢など相対的位置関係を一定に保ったまま、X線源1と検査対象物8との距離を変えることができるようにし、これにより拡大倍率を可変にすることが特徴である。本実施例においては、X線源1とラインディテクタ2が取り付けられたフレーム4を、昇降駆動機構6により支柱5に沿って上下動させることにより、これを実現している。
【0016】
昇降駆動機構6は、支柱5に沿って立設されたボールネジ9と、正逆回転可能なモーター10等から構成されている。ボールネジ9は、下端を軸受11で支承され、上部をフレーム4の下部に取り付けた駒部材12により支持され、モーター10によりプーリー13を介して回転駆動され、フレーム4を上下に昇降させる。また、1対の支柱5の内側側面に案内溝14が形成され、これに嵌合するリブがフレーム4の両側面外側に形成されて、フレーム4をスムーズに上下動させるように構成されている。フレーム4の案内機構として市販のリニアガイドを利用してもよい。
【0017】
本発明のX線検査装置は上記のように構成されているため、X線源1と検査対象物8との間隔を変えても、X線源1とラインディテクタ2の位置関係は、常に一定に保たれている。ラインディテクタのみ上下動させて、倍率を変更する従来の方式では、倍率を変える際にX線の線量が変化し、かつラインディテクタの中央部と周辺部でX線源との相対距離が変化して、画面全体で良好な透過像を得ることが難しかった。これに対し本発明の装置では、如何なる倍率でも画質が低下することなく鮮明な透過像を得ることができる。また、X線源とディテクタの一方のみを動かすより倍率調整範囲が大きくなる。そのため、金属等の異物検査において、検出可能な限界サイズが従来の方式よりも大幅に小さくなる。
【0018】
本発明において、昇降駆動機構6は本実施例の構成に限定される必要はなく、例えば、モーターを用いずハンドルにより手動で昇降させてもよい。さらに必ずしも両側に支柱を設ける必要なく、1本の支柱で片持ちでフレーム4を支持してもよい。
搬送式のX線検査装置は、1次元のラインディテクタを用いることができ、大型の2次元検出器を用いるよりも、設備コストを大幅に安価にできる。この方式で、従来は画像の鮮明さを維持して倍率を任意に可変にすることが難しかったが、本発明は簡単な機構でこの課題を解決するものであり、その意義が大きい。また、搬送機械を動かして対象物とX線源やラインディテクタまでの距離を調整するものと比較すると、小さな部分を僅かに駆動することによって目的を達成するので、経済的に極めて有利である。
【0019】
図2は、本発明の第2の実施例であるX線検査装置の構成を示す斜視図である。この装置も、検査対象物8を挟んで、対向してX線源1とラインディテクタ2をフレーム4に取り付け、このフレームを昇降させて拡大倍率を可変にすることや、フレームの昇降駆動機構6の構成などは、図1の装置と同様である。
しかしこの装置は、上記の構成に加えて、フレーム4自体をコンベアの搬送方向前後に傾斜させる機構を有することを特徴とする。本実施例の装置では、X線源1とラインディテクタ2の相対位置を一定に保った状態で、検査対象物8に対する観察方向を変化させることができる。本実施例においては、支柱5をコンベアの搬送方向に傾斜させることによってフレーム4の傾斜を実現し、X線源を傾けて見る方向を変化させている。
【0020】
本実施例において1対の支柱5の下端部には、搬送方向に直交する水平な支軸16が取り付けられ、この支軸16は、一対の軸受17により、回転可能に支持されている。支柱5は基台15に立設されており、基台15の一端には、基台15を支軸16を中心として回転傾斜させる傾斜駆動機構18が設けられている。傾斜駆動機構18は、支柱19に沿って立設されたボールネジ20と、このネジを駆動する正逆回転可能なモーター21とから構成されている。ボールネジ20は、その下端及び上部を軸受22で固定され、モーター21により直接またはプーリーを介して回転駆動される。このボールネジ20の回転により、これに取り付けた駒部材23が上下動し、この駒部材23の運動はクランク24を介して、基台15の端部を上下動させる。
【0021】
これにより、支柱5はコンベアの搬送方向前後に傾斜するため、フレーム4の面が検査対象物8を切断する角度が変化し、X線の照射方向が搬送方向前後に傾斜することになる。
このようにX線の照射方向を変えても、X線源1とラインディテクタ2の相対位置は一定に保たれているから、画像の鮮明さは低下することがない。また、画質を維持して任意に拡大倍率を変えられることも図1の装置と同様である。したがって、マイクロフォーカスX線源を用いることにより、この装置をプリント基板等の配線欠陥の検査に用いることもできる。これにより、従来の同様な精密検査の装置に比して、設備コストの大幅な低減や作業能率の向上が可能になる。
【0022】
本実施例の装置において、傾斜駆動機構18を図2の例に限定する必要はなく、たとえばボールネジに変えて油圧により昇降させてもよい。また、支軸16は支柱5の真下に配置しないで基台15の適当な位置に設けてもよい。あるいは、基台15の端部に蝶番様の回転支持具を設けて支柱5の傾斜を可能にすることもできる。さらに、支軸16を所定の角度範囲内で直接回転駆動して、支柱5が傾斜するような機構にしてもよい。さらに、支柱5は直立したままフレーム4のみ傾斜するような機構を設けてもよい。たとえば、フレームを外枠と内枠の2重構造にし、外枠を支柱5に沿って昇降させると共に、内枠は外枠に対し回転可能に支持して、この内枠にX線源とラインディテクタを取り付け、内枠のみ回転させて、X線の照射方向が傾斜するような構成にすることができる。
【0023】
図3は、本発明の第3の実施例であるX線検査装置の斜視図である。
本実施例の装置も、X線源1とラインディテクタ2を取り付けたフレーム4を昇降させることにより、拡大倍率を可変にする点は図1に示した第1実施例の装置と同じであるが、これに加えて、X線源1とラインディテクタ2の中央部との距離を一定に保ったまま、X線源1をコンベアの搬送方向と直角な左右の方向に移動可能としていることが特徴である。X線放射源1をほぼ点光源と見なすことができて、X線放射源1からX線が図中下方にほぼ均等に放射するようになっている。
【0024】
本実施例の装置では、フレーム4の上部梁を直線状の案内ガイド25とし、X線源1を左右に駆動する横行駆動機構26が設けられている。X線源1は、案内ガイド25に沿って移動するスライダ27に取り付けられていて、横行駆動機構26により駆動される。
本実施例の装置では、X線源1を左右に移動させて、X線放射源1が検査対象物8の直上から脇にずれれば、検査対象物8の斜め上方から観察したX線透過像を得ることができる。なお、X線放射源1が左右に移動しても、検査対象物8のX線透過像が形成されるラインディテクタ2上の位置とX線放射源1との垂直距離、およびX線放射源1と検査対象物8の垂直距離は変わらないので、検査対象物8のX線透過像の倍率は変化しない。
【0025】
マイクロフォーカスX線源を用いることによって、左右に大きく移動させてもX線放射源1の姿勢を変化させることなく、いろいろな方向から見たX線透過像が全て同じ倍率で観察できる。
なお、第2実施例の傾斜駆動機構を有する装置に、本実施例の横行駆動機構を組み込むことも容易であるから、X線源の検査対象物に対する照射角を、コンベアの搬送方向に対し、前後左右任意に傾斜させることが可能となる。これにより、コンベヤなどを使った搬送式のX線検査装置の機能をさらに拡充することができる。
【0026】
【発明の効果】
本発明により、搬送式のX線検査装置において、簡単な機構を用いて、X線源とラインセンサの相対的位置関係を一定に保ったまま拡大倍率を可変にすることが可能になった。これにより、拡大倍率を変えてもX線透過画像の画質が低下することがないため、異物等の検出限界サイズを従来よりも大幅に小さくすることができる。
また本発明によれば、コンベアで搬送される対象物に対して容易にX線の照射方向を変えて検査を行うことができ、X線の照射方向を変えても画像の鮮明さは低下することがない。そのため、本発明の装置は、マイクロフォーカスX線源を用いてプリント基板等の検査を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例であるX線検査装置の構成を示す斜視図である。
【図2】本発明の第2実施例であるX線検査装置の構成を示す斜視図である。
【図3】本発明の第3実施例であるX線検査装置の構成を示す斜視図である。
【図4】従来のX線検査装置の例を示す概念図である。
【符号の説明】
1 X線源1
2 ラインディテクタ
3 X線検出素子列
4 フレーム
5 支柱
6 昇降駆動機構
7 コンベアベルト
8 検査対象物
9 ボールネジ
10 モーター
11 軸受
12 駒部材
13 プーリー
14 案内溝
15 基台
16 支軸
17 軸受
18 傾斜駆動機構
19 支柱
20 ボールネジ
21 モーター
22 軸受
23 駒部材
24 クランク
25 案内ガイド
26 横行駆動機構
27 スライダ
29 ボールネジ
30 モーター
31 駒部材
Claims (4)
- 軸に沿ってX線検出素子列を備えたラインディテクタとX線放射源を備え、該X線放射源と該ラインディテクタの間に設置されたコンベヤに搬送される対象物をそのX線透過像を連続的に撮影し合成して得られる2次元画像に基づいて検査するX線検査装置であって、前記X線放射源と前記ラインディテクタの移動機構および傾動機構を備え、該移動機構は前記X線放射源と前記ラインディテクタを一体に取付けたフレームを前記ラインディテクタの軸に直角な方向に移動させる案内機構と、該フレームを前記案内機構に従って移動させる駆動機構を備え、前記X線放射源と前記ラインディテクタの相対位置を一定に保ちながら前記X線放射源と前記対象物との間の距離を変えるものであり、前記傾動機構は前記X線放射源と前記ラインディテクタの相対位置を一定保ちながら両者の中心を結ぶ直線が前記対象物の搬送方向の前後方向に傾斜するように移動させて固定するものであり、前記移動機構によりX線透過画像の倍率を調整すると共に前記傾動機構により前記対象物へのX線の入射方向を変えて検査が行えることを特徴とするX線検査装置。
- 前記傾動機構が、前記X線放射源と前記ラインディテクタを一体に取付けたフレーム、該フレームを支持する支柱または該支柱が立設された基台のいずれかを前記搬送方向に直角な水平支軸で回転可能に支持する支持機構と、前記のフレーム、支柱または基台を前記支軸を中心にして前記搬送方向の前後に傾斜させる傾斜駆動機構とを備えていることを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。
- 軸に沿ってX線検出素子列を備えたラインディテクタとX線放射源を備え、該X線放射源と該ラインディテクタの間に設置されたコンベヤに搬送される対象物をそのX線透過像を連続的に撮影し合成して得られる2次元画像に基づいて検査するX線検査装置であって、前記X線放射源と前記ラインディテクタを一体に移動する第1の移動機構と前記X線放射源を前記ラインディテクタに対して移動する第2の移動機構を備え、前記第1移動機構は前記X線放射源と前記ラインディテクタを一体に取付けたフレームを前記ラインディテクタの軸に直角な方向に移動させる案内機構と、該フレームを前記案内機構に従って移動させる駆動機構を備え、前記X線放射源と前記ラインディテクタの相対位置を一定に保ちながら前記X線放射源と前記対象物との間の距離を変えてX線透過画像の倍率を調整し、前記第2移動機構は前記X線放射源を前記ラインディテクタと平行に移動させて前記対象物へのX線の入射方向を変えることを特徴とするX線検査装置。
- 前記X線放射源が、マイクロフォーカスX線源であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のX線検査装置。
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