JP3665462B2 - 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 - Google Patents
液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3665462B2 JP3665462B2 JP00354298A JP354298A JP3665462B2 JP 3665462 B2 JP3665462 B2 JP 3665462B2 JP 00354298 A JP00354298 A JP 00354298A JP 354298 A JP354298 A JP 354298A JP 3665462 B2 JP3665462 B2 JP 3665462B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cell gap
- point
- liquid crystal
- crystal panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのセルギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを検査する検査装置及び方法、並びに液晶パネルのセルギャップを測定するセルギャップ測定装置及び方法の技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルは、液晶セル内の液晶層の各画素における光の透過率(以下、単に“透過率”という)を変化させることによりパネル全体として画像を表示する。ここで、液晶セル内の液晶層の厚み(以下、“セルギャップ”と称する)が2次元的広がりを持つパネル面内の各位置で異なる(即ち、“セルギャップむら”がある)と、同じ液晶配向状態における透過率の値や液晶印加電圧に対する透過率の変化特性が各位置で異なってしまう。すると、このセルギャップむらに応じて各画素における表示品質に差が出て、液晶パネル全体として画質が低下してしまう。このため、この種の液晶パネルの製品化の際には、例えばパネル表面の中央部と端部との間でのセルギャップむらが、画質維持のために必要な許容範囲を超えてしまう場合には、当該液晶パネルは不良品であると判定するセルギャップむら検査が必要となる。
【0003】
他方で、液晶パネルの伝統的な製品検査として、液晶パネルの表面全体における輝度むら検査がある。この輝度むら検査では、液晶パネルの表面全体をCCDカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部における輝度を検出して検出値を数値比較したり、或いは、検出された各輝度をディスプレイ画面上にて2次元表示して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネルの各画素における輝度とセルギャップとの間には比較的リニアに近い関係があるとされており、このため従来は、液晶パネルのセルギャップむら検査方法においては、上述の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部と端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセルギャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か(即ち、セルギャップむらが大きいために不良品であるか否か)を検査している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
一般的な或いは実用化されている液晶パネルのセルギャップの値は、4μm程度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギャップの検査方法によれば、3.5μm程度より小さいギャップや4.5μmよりも大きいギャップについては、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係となっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範囲に入っているか否かを精度良く判定できる。
【0005】
しかしながら、この約4±0.5μmの範囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しない。或いは、この約4±0.5μmの範囲内のセルギャップに対して輝度が極小となる個所(即ち、輝度が小さくなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所)が存在する。このため、特に実用上必要な約4±0.5μmの範囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむらを精度良く検査することは根本的に困難であるという問題点がある。
【0006】
本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり、高精度の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法、並びに高精度のセルギャップ測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【0008】
請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出手段により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、本願発明者らの研究によると、セルギャップに対するRの光量(Rの透過率)の変化特性と、セルギャップに対するGの光量(Gの透過率)の変化特性とは相異なり、一般にはセルギャップが約4.2μm程度のところを境に、これよりもセルギャップが小さい範囲では、セルギャップに対するRの光量の変化率の方が、セルギャップに対するGの光量の変化率よりも大きくなり、Rの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。これに対して、約4.2μm程度よりもセルギャップが大きい範囲では、セルギャップに対するGの光量の変化率の方が、セルギャップに対するRの光量の変化率よりも大きくなり、Gの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。従って、上述のように比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々との間における光量の差が、出力手段によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【0009】
この結果、セルギャップむらの指標値として出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0010】
請求項2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記出力手段は、前記RGB別の受光信号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの表面全体について擬似カラー化して2次元表示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする。
【0011】
請求項2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、カラー表示手段により、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネルの表面全体について擬似カラー化されて2次元表示される。従って、液晶パネルの中央部と端部における(光量の差に対応する)セルギャップの差を、カラー表示手段の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【0012】
請求項3に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項1又は2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする。
【0013】
請求項3に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、判定手段により、第1の点と第2の点夫々との間における検査用色の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かが判定される。従って、液晶パネルの中央部と端部における(光量の差に対応する)セルギャップの差を自動的に数値比較できる。例えば、光量の差が許容範囲内にあれば、自動的に良品であるとの判定結果が出力され、光量の差が許容範囲内になければ、自動的に不良品であるとの判定結果が下される。
【0014】
請求項4に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【0015】
請求項4に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出工程により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々との間における光量の差が、出力工程によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【0016】
この結果、前述した本発明のセルギャップむら検査装置の場合と同様に、検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0017】
請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【0018】
請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出手段により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較手段により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点と第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【0019】
この結果、セルギャップの大小に応じて、より適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0020】
請求項6に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置において、前記記憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して出力するようにプログラムされたPROM(プログラマブル読み出し専用メモリ)から構成されていることを特徴とする。
【0021】
請求項6に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、ルックアップテーブルはPROMに格納されており、当該PROMにより検査用色の光量に対応するセルギャップの値が、このルックアップテーブルから読み出されて出力される。このようにPROMから構成された記憶手段及び出力手段により、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【0022】
請求項7に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【0023】
請求項7に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出工程により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較工程により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点と第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【0024】
この結果、前述した本発明のセルギャップ測定装置の場合と同様に、セルギャップの大小に応じて、より適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0025】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされよう。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0027】
(第1の実施の形態)
図1に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。
【0028】
図1において、検査装置100は、受光素子の一例としてのカラーCCDカメラ1と、パソコン(パーソナルコンピュータ)10と、カラーモニター20とを備えて構成されている。
【0029】
カラーCCDカメラ1は、所定の撮影用台上の、面状光源の一例としてのバックライト110上に置かれた液晶パネル101の表面全体を撮像し、RGB別の受光信号を出力するように構成されている。
【0030】
パソコン10は、カラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号線が夫々接続される外部入力端子11と、外部入力端子11を介してカラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号が夫々入力されるインターフェースボード12と、フロッピーディスク13aから検査及び測定用プログラムや後述のルックアップテーブルを読み込んだり、フロッピーディスク13aに各種の検査及び測定結果データを格納したりするFD(フロッピーディスク)ドライブ13と、後述の検査及び測定用プログラムが実行されるCPU(中央演算装置)15とを備えて構成されている。
【0031】
CPU15は、フロッピーディスク13aから読み込まれるか或いは内蔵ハードディスクに格納された検査及び制御用プログラムにしたがって検出手段の一例として機能して、カラーCCDカメラ1により撮像された液晶パネル101の液晶面101aにおいて、図2に示すように中央に位置する第1の点P1と四隅に夫々位置する4つの第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量をRGB別の受光信号から夫々検出する。
【0032】
再び図1において、CPU15は、検査及び制御用プログラムにしたがって比較手段の一例としても機能して、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1のみ)について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定するように構成されている。即ちRの透過率(光量)>Gの透過率(光量)の場合には、Rを検査用色として設定し、Rの透過率(光量)<Gの透過率(光量)の場合には、Gを検査用色として設定し、両者が等しい場合は(極めて希ではあるが)、R又はGを検査用色として設定するように構成されている。
【0033】
そして、CPU15は、検査及び制御用プログラムにしたがってカラーモニター20と共に出力手段の一例としても機能して、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量の差を、セルギャップむらの指標値として夫々出力する。
【0034】
他方で、フロッピーディスク13a及びFDドライブ13から記憶手段の一例が構成されており、フロッピーディスク13aには、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、CPU15により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、CPU15によりフロッピーディスク13aに格納されたルックアップテーブルからFDドライブ13を介して読み出される。このように読み出された第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップの値が、セルギャップ測定値として夫々出力される。
【0035】
ここで、液晶パネル101において一対の基板間に挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berremanの4×4マトリクス法で計算することが出来る。また、液晶パネル101の一対の基板の対向面に夫々設けられた配向膜の配向方向及び液晶の性質により規定される液晶のツイスト角が90°であるTN(ツイステッドネマチック)モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次に示すように、簡単に計算できる。
【0036】
即ち、ノーマリーブラックモードの時、液晶セルの透過率は
T=Sin2(π/2×(1+u2)1/2)/(1+u2)
但し、u=2Δnd/λ (n:屈折率、d:セルギャップ、λ:波長)
また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過率は
T=1−{Sin2(π/2×(1+u2)1/2)/(1+u2)}
で計算できる。
【0037】
このような計算に基づきシミュレーションされるか或いは実験的に得られる液晶パネル101のセルギャップとRGB各色の透過率(光量)との関係を図3の特性図に示す。
【0038】
図3に示すように、セルギャップdに対するRの透過率(光量)の変化特性、Gの透過率(光量)の変化特性、及びBの透過率(光量)の変化特性は、相異なる。そして、セルギャップdが約4.2μm程度のところを境に、これよりもセルギャップdが小さい範囲では、セルギャップdに対するRの光量の変化率の方が、セルギャップdに対するGの光量の変化率よりも大きくなっており、Rの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応することが分かる。これに対して、約4.2μm程度よりもセルギャップdが大きい範囲では、セルギャップdに対するGの光量の変化率の方が、セルギャップdに対するRの光量の変化率よりも大きくなり、Gの光量の方がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応することが分かる。また、Bの光量については、セルギャップdが約3μm程度のところに極小値を持ち、約4.6μm程度の所に極大値を持つので、Bの透過率からセルギャップを特定することは理論上も(実際上も)不可能であることが分かる。
【0039】
従って、上述のように検査及び測定プログラムにしたがって比較手段として機能するCPU15により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【0040】
そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における光量の差が、CPU15により計算されて、カラーモニター20の画面の上に例えば、セルギャップむらの指標値として表示される。
【0041】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップむらの指標値としてカラーモニター20の画面上に表示された光量(透過率)の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲(例えば、±0.数μm程度)に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル101が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0042】
更に、本実施の形態では特に、例えば図3に示したようなRの透過率(光量)とセルギャップdとの関係及びBの透過率(光量)とセルギャップdとの関係を示すルックアップテーブルが、フロッピーディスク13aに予め格納されている。そして、CPU15により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、このルックアップテーブルから読み出され、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値(合計5点おけるセルギャップ測定値)として夫々出力される。
【0043】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップdの大小に応じて、より適切なRの光量(透過率)又はGの光量(透過率)を用いて、第1の点P1及び第2の点P2〜P5におけるセルギャップdを夫々精度良く測定できる。
【0044】
本実施の形態では特に、出力手段として機能するCPU15及びカラーモニター20は、RGB別の受光信号のうち検査用色の受光信号の出力レベルを液晶パネル101の表面全体について擬似カラー化して2次元表示するように構成されている。図4にこのような擬似カラー化した2次元表示の一例を示す。
【0045】
図4に示すように、カラーモニター20の画面20aには、例えば、液晶パネル101の表面の中央に位置する第1の点P1におけるセルギャップの値を基準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所を赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇所を黄色として、しかも第1の点P1におけるセルギャップの値からの差を色濃度に対応するようにした擬似カラー表面102が表示されている。
【0046】
この結果、検査装置100によれば、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を、カラーモニター20の画面20a上における色の差として視覚的に認識できる。
【0047】
更に本実施の形態では、検査及び測定用プログラムに従って、CPU15は判定手段の一例としても機能し、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定する。判定結果としては、各点間のセルギャップ夫々について、表示画面上に判定結果を示す欄を設けておき、この欄に“良品”或いは“不良品”の如きテキストデータを表示する。或いは、一つでも許容範囲内にない光量の差が存在する場合に、液晶パネル101全体に対する判定結果として、“不良品”の如きテキストデータを表示してもよい。尚、図4に示した表示画面20a内の左上領域には、このような判定結果として、“不良品”とのテキストデータ20bが表示されている。
【0048】
このように本実施の形態の検査装置100によれば、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を自動的に数値比較できるだけでなく、自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力されるので便利である。
【0049】
尚、CPU2において、Rの光量とGの光量を比較した結果、Gの光量の方がRの光量よりも小さくない場合に、Gの光量を検査用色として設定したが、この場合にも、Rの光量を検査用色として設定して、Rの光量を用いてセルギャップむら検査やセルギャップ測定を行うようにしてもよい。
【0050】
次に、本実施の形態の検査装置100を用いたセルギャップむら検査及びセルギャップ測定の手順について説明する。尚、検査装置100にロードされるフロッピーディスク13aには、前述のR及びGの各光量に対応する各セルギャップの値を示すルックアップテーブルが予め格納されているものとする。
【0051】
先ず、実際に液晶パネル101を撮像する前に、カラーCCDカメラ1のホワイトバランスをとる。この処理は液晶パネル101を撮影用台上のバックライト110上に載せる前に、バックライト110だけを撮影用台上に載せて、RGB別に受光信号を得て、これら各受光信号の出力レベルが相互に同じになるように各色のゲインを設定する。このようにホワイトバランスを採れば、色温度の高低に拘わらず受光信号中の光源むらやレンズむらを補正できる。
【0052】
次に、液晶パネル101を撮影用台上のバックライト110上に載せて、カラーCCDカメラ1により、液晶パネル101の表面全体が撮像され、RGB別の受光信号が出力される。すると、この撮像された表面の第1の点P1と第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量が、パソコン10により、RGB別の受光信号から夫々検出され、続いて、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1)について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。このように検査用色として設定されるR又はGは、前述のようにその光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【0053】
次に、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における光量の差が、カラーモニター20の画面上にセルギャップむらの指標値として夫々表示される。
【0054】
これと並行して、検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、フロッピーディスク13aに格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値(5つの測定値)として夫々出力される。
【0055】
そして、検査者は、セルギャップの大小に応じてより適切なRの光量又はGの光量についての光量の差をカラーモニター20上で見た後、この表示された光量の差が、許容範囲に入っているか否かを判断する。
【0056】
以上により、当該検査された液晶パネル101がセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0057】
また、セルギャップの大小に応じてより適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0058】
尚、本実施の形態では特に、前述のようにカラーモニター20の画面20a上には、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネル101の表面全体について擬似カラー化されて2次元表示される(図4参照)。従って、これを見た検査者は、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を、カラーモニター20の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【0059】
また、本実施の形態では特に、前述のようにパソコン10により、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色の光量の差が、許容範囲内にあるか否かが自動的に判定されて、判定結果がカラーモニター20の画面20a上に表示される。従って、検査者は、検査された液晶パネル101がセルギャップむらについて良品であるか不良品であるかを自ら判断することなく簡単に知ることが出来るので便利である。
【0060】
(第2の実施の形態)
図5に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。尚、図5において、図1に示した第1の実施の形態の場合と同じ構成要素については同じ参照符号を付し、その説明は省略する。
【0061】
図5において、検査装置200は、カラーCCDカメラ1と、A/D変換器31と、RG比較及び選択器33と、PROM(R)35と、PROM(G)36と、入力切り換えスイッチ37と、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38とを備えて構成されている。
【0062】
A/D変換器31は、カラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号が夫々入力されると、これらを夫々AD変換してRGB別のデジタル信号を出力する。そして、 A/D変換器31は、R及びGのデジタル信号を常にRG比較及び選択器33に通すように構成されている。
【0063】
RG比較及び選択器33は、検査及び制御用ロジックにしたがって検出手段及び比較手段の一例として機能して、AD変換されたRGB別のデジタル信号から液晶パネル101の液晶面101aにおいて図2に示した第1の点P1と4つの第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量を夫々検出する。更に、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1のみ)について検出されたRの光量(透過率)とGの光量(透過率)との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定するように構成されている。
【0064】
PROM(R)35は、記憶手段の一例を構成しており、Rの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにPROM(R)35は、プログラムされている。
【0065】
PROM(G)36は、記憶手段の一例を構成しており、Gの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにPROM(G)36は、プログラムされている。
【0066】
そして、このように読み出された第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値のうちのRG比較及び選択器33により設定された検査用色(即ちR又はG)に対応する一方が、入力切り換えスイッチ37を介して、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38に入力される。
【0067】
ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38は、このように入力された、検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値を、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。同時に、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38は、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量に基づくセルギャップの差を、セルギャップむらの指標値として、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。
【0068】
従って、第1の実施の形態の場合と同様に、RG比較及び選択器33により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。この結果、本実施の形態によれば、セルギャップdの大小に応じて、より適切なRの光量(透過率)又はGの光量(透過率)を用いて、第1の点P1及び第2の点P2〜P5におけるセルギャップdを迅速に且つ精度良く測定できる。更に、セルギャップむらの指標値としてギャップ測定及びギャップむら検査出力器38から出力されたセルギャップの差が、予め設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル101が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを迅速に且つ精度良く検査できる。
【0069】
尚、以上説明した第1及び第2の実施の形態においては、カラーCCDカメラ1の分光特性の違いや撮影用台上に載せられるバックライト110の色温度の違い等により図3に示したような特性は変動する。従って、図3に示したような一つの特性について前述のルックアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の際に、カラーCCDカメラ1の分光特性やバックライト110の色温度等のパラメータの相違に応じてルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値に対して補正を加えるのが好ましい。このような補正は、例えば、第1の実施の形態の場合であれば、CPU2を制御する検査及び測定用プログラムの中に、ルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値と上記分光特性等のパラメータとを入力とする所定関数を用いた補正用プログラムを組み込んでおけばよい。或いは、第2の実施の形態の場合であれば、PROM(R)35やPROM(G)36の中にこのような補正用プログラムを組み込んでおけばよい。更に、カラーCCDカメラ1のレンズのシェージング(周辺の輝度むら)、液晶の材質等に対する補正を行うようにしてもよい。
【0070】
また、受光素子の一例としてカラーCCDカメラについて説明したが、その他の固体撮像素子、テレビカメラ、光ファイバなどを受光素子として用いることも可能である。特に、NTSC方式やPAL方式などのテレビカメラを受光素子として用いた場合には、NTSC信号やPAL信号に含まれるRやGの色差信号を抽出して受光信号として本発明を適用すれば、色差信号に基づいてセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。更に、透過光のみならず液晶パネルからの反射光を受光する構成としても、透過光を用いた場合と同様にセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。
【0071】
以上説明したように、第1及び第2の実施の形態によれば、高精度で液晶パネルのセルギャップむらを検査することができ、且つ高精度でセルギャップを測定することができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法によれば、液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。また、検査用色の受光信号の出力レベルを擬似カラー化して2次元表示することにより、セルギャップむらを視覚的に認識できる。更に、検査用色の光量の差が許容範囲内にあるか否かを判定することにより、液晶パネルが良品であるか不良品であるかを自動的に判定できる。
【0073】
本発明の液晶パネルのセルギャップ測定装置及び方法によれば、R又はGの光量を用いることにより、液晶パネルのセルギャップを精度良く測定することが出来る。更に、ルックアップテーブルをPROMに格納することにより、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による検査装置の第1の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【図2】 図1の検査装置により検査される液晶パネルの斜視図である。
【図3】 液晶パネルにおけるセルギャップと各色の透過率(光量)との関係を示す特性図である。
【図4】 図1の検査装置に備えられたカラーモニターの表示画面の一例を示す平面図である。
【図5】 本発明による検査装置の第2の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…カラーCCDカメラ
10…パソコン
11…外部入力端子
12…インターフェースボード
13…FDドライブ
13a…フロッピーディスク
15…CPU
20…カラーモニター
20a…表示画面
31…A/D変換器
33…RG比較及び選択器
35…PROM(R)
36…PROM(G)
37…入力切り換えスイッチ
38…ギャップ測定及びギャップむら検査出力器
100…検査装置
110…バックライト
101…液晶パネル
101a…液晶パネルの表面
200…検査装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのセルギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを検査する検査装置及び方法、並びに液晶パネルのセルギャップを測定するセルギャップ測定装置及び方法の技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルは、液晶セル内の液晶層の各画素における光の透過率(以下、単に“透過率”という)を変化させることによりパネル全体として画像を表示する。ここで、液晶セル内の液晶層の厚み(以下、“セルギャップ”と称する)が2次元的広がりを持つパネル面内の各位置で異なる(即ち、“セルギャップむら”がある)と、同じ液晶配向状態における透過率の値や液晶印加電圧に対する透過率の変化特性が各位置で異なってしまう。すると、このセルギャップむらに応じて各画素における表示品質に差が出て、液晶パネル全体として画質が低下してしまう。このため、この種の液晶パネルの製品化の際には、例えばパネル表面の中央部と端部との間でのセルギャップむらが、画質維持のために必要な許容範囲を超えてしまう場合には、当該液晶パネルは不良品であると判定するセルギャップむら検査が必要となる。
【0003】
他方で、液晶パネルの伝統的な製品検査として、液晶パネルの表面全体における輝度むら検査がある。この輝度むら検査では、液晶パネルの表面全体をCCDカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部における輝度を検出して検出値を数値比較したり、或いは、検出された各輝度をディスプレイ画面上にて2次元表示して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネルの各画素における輝度とセルギャップとの間には比較的リニアに近い関係があるとされており、このため従来は、液晶パネルのセルギャップむら検査方法においては、上述の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部と端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセルギャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か(即ち、セルギャップむらが大きいために不良品であるか否か)を検査している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
一般的な或いは実用化されている液晶パネルのセルギャップの値は、4μm程度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギャップの検査方法によれば、3.5μm程度より小さいギャップや4.5μmよりも大きいギャップについては、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係となっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範囲に入っているか否かを精度良く判定できる。
【0005】
しかしながら、この約4±0.5μmの範囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しない。或いは、この約4±0.5μmの範囲内のセルギャップに対して輝度が極小となる個所(即ち、輝度が小さくなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所)が存在する。このため、特に実用上必要な約4±0.5μmの範囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむらを精度良く検査することは根本的に困難であるという問題点がある。
【0006】
本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり、高精度の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法、並びに高精度のセルギャップ測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【0008】
請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出手段により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、本願発明者らの研究によると、セルギャップに対するRの光量(Rの透過率)の変化特性と、セルギャップに対するGの光量(Gの透過率)の変化特性とは相異なり、一般にはセルギャップが約4.2μm程度のところを境に、これよりもセルギャップが小さい範囲では、セルギャップに対するRの光量の変化率の方が、セルギャップに対するGの光量の変化率よりも大きくなり、Rの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。これに対して、約4.2μm程度よりもセルギャップが大きい範囲では、セルギャップに対するGの光量の変化率の方が、セルギャップに対するRの光量の変化率よりも大きくなり、Gの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。従って、上述のように比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々との間における光量の差が、出力手段によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【0009】
この結果、セルギャップむらの指標値として出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0010】
請求項2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記出力手段は、前記RGB別の受光信号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの表面全体について擬似カラー化して2次元表示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする。
【0011】
請求項2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、カラー表示手段により、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネルの表面全体について擬似カラー化されて2次元表示される。従って、液晶パネルの中央部と端部における(光量の差に対応する)セルギャップの差を、カラー表示手段の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【0012】
請求項3に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項1又は2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする。
【0013】
請求項3に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、判定手段により、第1の点と第2の点夫々との間における検査用色の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かが判定される。従って、液晶パネルの中央部と端部における(光量の差に対応する)セルギャップの差を自動的に数値比較できる。例えば、光量の差が許容範囲内にあれば、自動的に良品であるとの判定結果が出力され、光量の差が許容範囲内になければ、自動的に不良品であるとの判定結果が下される。
【0014】
請求項4に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【0015】
請求項4に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出工程により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々との間における光量の差が、出力工程によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【0016】
この結果、前述した本発明のセルギャップむら検査装置の場合と同様に、検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0017】
請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【0018】
請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出手段により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較手段により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点と第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【0019】
この結果、セルギャップの大小に応じて、より適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0020】
請求項6に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置において、前記記憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して出力するようにプログラムされたPROM(プログラマブル読み出し専用メモリ)から構成されていることを特徴とする。
【0021】
請求項6に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、ルックアップテーブルはPROMに格納されており、当該PROMにより検査用色の光量に対応するセルギャップの値が、このルックアップテーブルから読み出されて出力される。このようにPROMから構成された記憶手段及び出力手段により、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【0022】
請求項7に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【0023】
請求項7に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのRGB別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量が、検出工程により、RGB別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第1の点と第2の点とのうちの一点について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較工程により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点と第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【0024】
この結果、前述した本発明のセルギャップ測定装置の場合と同様に、セルギャップの大小に応じて、より適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0025】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされよう。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0027】
(第1の実施の形態)
図1に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。
【0028】
図1において、検査装置100は、受光素子の一例としてのカラーCCDカメラ1と、パソコン(パーソナルコンピュータ)10と、カラーモニター20とを備えて構成されている。
【0029】
カラーCCDカメラ1は、所定の撮影用台上の、面状光源の一例としてのバックライト110上に置かれた液晶パネル101の表面全体を撮像し、RGB別の受光信号を出力するように構成されている。
【0030】
パソコン10は、カラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号線が夫々接続される外部入力端子11と、外部入力端子11を介してカラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号が夫々入力されるインターフェースボード12と、フロッピーディスク13aから検査及び測定用プログラムや後述のルックアップテーブルを読み込んだり、フロッピーディスク13aに各種の検査及び測定結果データを格納したりするFD(フロッピーディスク)ドライブ13と、後述の検査及び測定用プログラムが実行されるCPU(中央演算装置)15とを備えて構成されている。
【0031】
CPU15は、フロッピーディスク13aから読み込まれるか或いは内蔵ハードディスクに格納された検査及び制御用プログラムにしたがって検出手段の一例として機能して、カラーCCDカメラ1により撮像された液晶パネル101の液晶面101aにおいて、図2に示すように中央に位置する第1の点P1と四隅に夫々位置する4つの第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量をRGB別の受光信号から夫々検出する。
【0032】
再び図1において、CPU15は、検査及び制御用プログラムにしたがって比較手段の一例としても機能して、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1のみ)について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定するように構成されている。即ちRの透過率(光量)>Gの透過率(光量)の場合には、Rを検査用色として設定し、Rの透過率(光量)<Gの透過率(光量)の場合には、Gを検査用色として設定し、両者が等しい場合は(極めて希ではあるが)、R又はGを検査用色として設定するように構成されている。
【0033】
そして、CPU15は、検査及び制御用プログラムにしたがってカラーモニター20と共に出力手段の一例としても機能して、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量の差を、セルギャップむらの指標値として夫々出力する。
【0034】
他方で、フロッピーディスク13a及びFDドライブ13から記憶手段の一例が構成されており、フロッピーディスク13aには、R及びGの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、CPU15により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点と第2の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、CPU15によりフロッピーディスク13aに格納されたルックアップテーブルからFDドライブ13を介して読み出される。このように読み出された第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップの値が、セルギャップ測定値として夫々出力される。
【0035】
ここで、液晶パネル101において一対の基板間に挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berremanの4×4マトリクス法で計算することが出来る。また、液晶パネル101の一対の基板の対向面に夫々設けられた配向膜の配向方向及び液晶の性質により規定される液晶のツイスト角が90°であるTN(ツイステッドネマチック)モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次に示すように、簡単に計算できる。
【0036】
即ち、ノーマリーブラックモードの時、液晶セルの透過率は
T=Sin2(π/2×(1+u2)1/2)/(1+u2)
但し、u=2Δnd/λ (n:屈折率、d:セルギャップ、λ:波長)
また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過率は
T=1−{Sin2(π/2×(1+u2)1/2)/(1+u2)}
で計算できる。
【0037】
このような計算に基づきシミュレーションされるか或いは実験的に得られる液晶パネル101のセルギャップとRGB各色の透過率(光量)との関係を図3の特性図に示す。
【0038】
図3に示すように、セルギャップdに対するRの透過率(光量)の変化特性、Gの透過率(光量)の変化特性、及びBの透過率(光量)の変化特性は、相異なる。そして、セルギャップdが約4.2μm程度のところを境に、これよりもセルギャップdが小さい範囲では、セルギャップdに対するRの光量の変化率の方が、セルギャップdに対するGの光量の変化率よりも大きくなっており、Rの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応することが分かる。これに対して、約4.2μm程度よりもセルギャップdが大きい範囲では、セルギャップdに対するGの光量の変化率の方が、セルギャップdに対するRの光量の変化率よりも大きくなり、Gの光量の方がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応することが分かる。また、Bの光量については、セルギャップdが約3μm程度のところに極小値を持ち、約4.6μm程度の所に極大値を持つので、Bの透過率からセルギャップを特定することは理論上も(実際上も)不可能であることが分かる。
【0039】
従って、上述のように検査及び測定プログラムにしたがって比較手段として機能するCPU15により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【0040】
そして、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における光量の差が、CPU15により計算されて、カラーモニター20の画面の上に例えば、セルギャップむらの指標値として表示される。
【0041】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップむらの指標値としてカラーモニター20の画面上に表示された光量(透過率)の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲(例えば、±0.数μm程度)に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル101が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0042】
更に、本実施の形態では特に、例えば図3に示したようなRの透過率(光量)とセルギャップdとの関係及びBの透過率(光量)とセルギャップdとの関係を示すルックアップテーブルが、フロッピーディスク13aに予め格納されている。そして、CPU15により設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、このルックアップテーブルから読み出され、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値(合計5点おけるセルギャップ測定値)として夫々出力される。
【0043】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップdの大小に応じて、より適切なRの光量(透過率)又はGの光量(透過率)を用いて、第1の点P1及び第2の点P2〜P5におけるセルギャップdを夫々精度良く測定できる。
【0044】
本実施の形態では特に、出力手段として機能するCPU15及びカラーモニター20は、RGB別の受光信号のうち検査用色の受光信号の出力レベルを液晶パネル101の表面全体について擬似カラー化して2次元表示するように構成されている。図4にこのような擬似カラー化した2次元表示の一例を示す。
【0045】
図4に示すように、カラーモニター20の画面20aには、例えば、液晶パネル101の表面の中央に位置する第1の点P1におけるセルギャップの値を基準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所を赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇所を黄色として、しかも第1の点P1におけるセルギャップの値からの差を色濃度に対応するようにした擬似カラー表面102が表示されている。
【0046】
この結果、検査装置100によれば、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を、カラーモニター20の画面20a上における色の差として視覚的に認識できる。
【0047】
更に本実施の形態では、検査及び測定用プログラムに従って、CPU15は判定手段の一例としても機能し、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定する。判定結果としては、各点間のセルギャップ夫々について、表示画面上に判定結果を示す欄を設けておき、この欄に“良品”或いは“不良品”の如きテキストデータを表示する。或いは、一つでも許容範囲内にない光量の差が存在する場合に、液晶パネル101全体に対する判定結果として、“不良品”の如きテキストデータを表示してもよい。尚、図4に示した表示画面20a内の左上領域には、このような判定結果として、“不良品”とのテキストデータ20bが表示されている。
【0048】
このように本実施の形態の検査装置100によれば、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を自動的に数値比較できるだけでなく、自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力されるので便利である。
【0049】
尚、CPU2において、Rの光量とGの光量を比較した結果、Gの光量の方がRの光量よりも小さくない場合に、Gの光量を検査用色として設定したが、この場合にも、Rの光量を検査用色として設定して、Rの光量を用いてセルギャップむら検査やセルギャップ測定を行うようにしてもよい。
【0050】
次に、本実施の形態の検査装置100を用いたセルギャップむら検査及びセルギャップ測定の手順について説明する。尚、検査装置100にロードされるフロッピーディスク13aには、前述のR及びGの各光量に対応する各セルギャップの値を示すルックアップテーブルが予め格納されているものとする。
【0051】
先ず、実際に液晶パネル101を撮像する前に、カラーCCDカメラ1のホワイトバランスをとる。この処理は液晶パネル101を撮影用台上のバックライト110上に載せる前に、バックライト110だけを撮影用台上に載せて、RGB別に受光信号を得て、これら各受光信号の出力レベルが相互に同じになるように各色のゲインを設定する。このようにホワイトバランスを採れば、色温度の高低に拘わらず受光信号中の光源むらやレンズむらを補正できる。
【0052】
次に、液晶パネル101を撮影用台上のバックライト110上に載せて、カラーCCDカメラ1により、液晶パネル101の表面全体が撮像され、RGB別の受光信号が出力される。すると、この撮像された表面の第1の点P1と第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量が、パソコン10により、RGB別の受光信号から夫々検出され、続いて、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1)について、Rの光量とGの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するR又はGが、検査用色として設定される。このように検査用色として設定されるR又はGは、前述のようにその光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【0053】
次に、このように設定された検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における光量の差が、カラーモニター20の画面上にセルギャップむらの指標値として夫々表示される。
【0054】
これと並行して、検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、フロッピーディスク13aに格納されたルックアップテーブルから読み出され、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値(5つの測定値)として夫々出力される。
【0055】
そして、検査者は、セルギャップの大小に応じてより適切なRの光量又はGの光量についての光量の差をカラーモニター20上で見た後、この表示された光量の差が、許容範囲に入っているか否かを判断する。
【0056】
以上により、当該検査された液晶パネル101がセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【0057】
また、セルギャップの大小に応じてより適切なRの光量又はGの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【0058】
尚、本実施の形態では特に、前述のようにカラーモニター20の画面20a上には、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネル101の表面全体について擬似カラー化されて2次元表示される(図4参照)。従って、これを見た検査者は、液晶パネル101の中央部と端部におけるセルギャップdの差を、カラーモニター20の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【0059】
また、本実施の形態では特に、前述のようにパソコン10により、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色の光量の差が、許容範囲内にあるか否かが自動的に判定されて、判定結果がカラーモニター20の画面20a上に表示される。従って、検査者は、検査された液晶パネル101がセルギャップむらについて良品であるか不良品であるかを自ら判断することなく簡単に知ることが出来るので便利である。
【0060】
(第2の実施の形態)
図5に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。尚、図5において、図1に示した第1の実施の形態の場合と同じ構成要素については同じ参照符号を付し、その説明は省略する。
【0061】
図5において、検査装置200は、カラーCCDカメラ1と、A/D変換器31と、RG比較及び選択器33と、PROM(R)35と、PROM(G)36と、入力切り換えスイッチ37と、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38とを備えて構成されている。
【0062】
A/D変換器31は、カラーCCDカメラ1からのRGB別の受光信号が夫々入力されると、これらを夫々AD変換してRGB別のデジタル信号を出力する。そして、 A/D変換器31は、R及びGのデジタル信号を常にRG比較及び選択器33に通すように構成されている。
【0063】
RG比較及び選択器33は、検査及び制御用ロジックにしたがって検出手段及び比較手段の一例として機能して、AD変換されたRGB別のデジタル信号から液晶パネル101の液晶面101aにおいて図2に示した第1の点P1と4つの第2の点P2〜P5とにおけるRの光量及びGの光量を夫々検出する。更に、第1の点P1と第2の点P2〜P5とのうちの一点(例えば、第1の点P1のみ)について検出されたRの光量(透過率)とGの光量(透過率)との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定するように構成されている。
【0064】
PROM(R)35は、記憶手段の一例を構成しており、Rの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにPROM(R)35は、プログラムされている。
【0065】
PROM(G)36は、記憶手段の一例を構成しており、Gの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにPROM(G)36は、プログラムされている。
【0066】
そして、このように読み出された第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおけるセルギャップ測定値のうちのRG比較及び選択器33により設定された検査用色(即ちR又はG)に対応する一方が、入力切り換えスイッチ37を介して、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38に入力される。
【0067】
ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38は、このように入力された、検査用色(即ちR又はG)の第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々とにおける光量に対応するセルギャップdの値を、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。同時に、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器38は、第1の点P1と第2の点P2〜P5夫々との間における検査用色(R又はG)の光量に基づくセルギャップの差を、セルギャップむらの指標値として、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。
【0068】
従って、第1の実施の形態の場合と同様に、RG比較及び選択器33により検査用色として設定されるR又はGは、その光量がセルギャップdの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。この結果、本実施の形態によれば、セルギャップdの大小に応じて、より適切なRの光量(透過率)又はGの光量(透過率)を用いて、第1の点P1及び第2の点P2〜P5におけるセルギャップdを迅速に且つ精度良く測定できる。更に、セルギャップむらの指標値としてギャップ測定及びギャップむら検査出力器38から出力されたセルギャップの差が、予め設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル101が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを迅速に且つ精度良く検査できる。
【0069】
尚、以上説明した第1及び第2の実施の形態においては、カラーCCDカメラ1の分光特性の違いや撮影用台上に載せられるバックライト110の色温度の違い等により図3に示したような特性は変動する。従って、図3に示したような一つの特性について前述のルックアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の際に、カラーCCDカメラ1の分光特性やバックライト110の色温度等のパラメータの相違に応じてルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値に対して補正を加えるのが好ましい。このような補正は、例えば、第1の実施の形態の場合であれば、CPU2を制御する検査及び測定用プログラムの中に、ルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値と上記分光特性等のパラメータとを入力とする所定関数を用いた補正用プログラムを組み込んでおけばよい。或いは、第2の実施の形態の場合であれば、PROM(R)35やPROM(G)36の中にこのような補正用プログラムを組み込んでおけばよい。更に、カラーCCDカメラ1のレンズのシェージング(周辺の輝度むら)、液晶の材質等に対する補正を行うようにしてもよい。
【0070】
また、受光素子の一例としてカラーCCDカメラについて説明したが、その他の固体撮像素子、テレビカメラ、光ファイバなどを受光素子として用いることも可能である。特に、NTSC方式やPAL方式などのテレビカメラを受光素子として用いた場合には、NTSC信号やPAL信号に含まれるRやGの色差信号を抽出して受光信号として本発明を適用すれば、色差信号に基づいてセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。更に、透過光のみならず液晶パネルからの反射光を受光する構成としても、透過光を用いた場合と同様にセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。
【0071】
以上説明したように、第1及び第2の実施の形態によれば、高精度で液晶パネルのセルギャップむらを検査することができ、且つ高精度でセルギャップを測定することができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法によれば、液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。また、検査用色の受光信号の出力レベルを擬似カラー化して2次元表示することにより、セルギャップむらを視覚的に認識できる。更に、検査用色の光量の差が許容範囲内にあるか否かを判定することにより、液晶パネルが良品であるか不良品であるかを自動的に判定できる。
【0073】
本発明の液晶パネルのセルギャップ測定装置及び方法によれば、R又はGの光量を用いることにより、液晶パネルのセルギャップを精度良く測定することが出来る。更に、ルックアップテーブルをPROMに格納することにより、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による検査装置の第1の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【図2】 図1の検査装置により検査される液晶パネルの斜視図である。
【図3】 液晶パネルにおけるセルギャップと各色の透過率(光量)との関係を示す特性図である。
【図4】 図1の検査装置に備えられたカラーモニターの表示画面の一例を示す平面図である。
【図5】 本発明による検査装置の第2の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…カラーCCDカメラ
10…パソコン
11…外部入力端子
12…インターフェースボード
13…FDドライブ
13a…フロッピーディスク
15…CPU
20…カラーモニター
20a…表示画面
31…A/D変換器
33…RG比較及び選択器
35…PROM(R)
36…PROM(G)
37…入力切り換えスイッチ
38…ギャップ測定及びギャップむら検査出力器
100…検査装置
110…バックライト
101…液晶パネル
101a…液晶パネルの表面
200…検査装置
Claims (7)
- 面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、
該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、
前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力手段と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップむら検査装置。 - 前記出力手段は、前記RGB別の受光信号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの表面全体について擬似カラー化して2次元表示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置。
- 前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置。
- 面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、
該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、
前記第1の点と前記第2の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力工程と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップむら検査方法。 - 面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出手段と、
該検出手段により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較手段と、
前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、
前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手段と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップ測定装置。 - 前記記憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して出力するようにプログラムされたPROM(プログラマブル読み出し専用メモリ)から構成されていることを特徴とする請求項5に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置。
- 面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのR(赤色)G(緑色)B(青色)別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第1の点と四隅に夫々位置する4つの第2の点とにおけるRの光量及びGの光量を前記RGB別の受光信号から夫々検出する検出工程と、
該検出工程により前記第1の点と前記第2の点とのうちの一点について検出されたRの光量とGの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するR又はGを検査用色として設定する比較工程と、
前記第1の点と前記第2の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記R及びGの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出して、前記第1の点と前記第2の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力工程と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップ測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00354298A JP3665462B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00354298A JP3665462B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11201865A JPH11201865A (ja) | 1999-07-30 |
JP3665462B2 true JP3665462B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=11560312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00354298A Expired - Fee Related JP3665462B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3665462B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5168049B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2013-03-21 | オムロン株式会社 | 画像処理方法および画像処理装置 |
EP2478410A4 (en) * | 2009-09-15 | 2013-02-27 | Nds Surgical Imaging Llc | METHOD AND SYSTEM FOR CORRECTION, MEASUREMENT AND DISPLAY OF IMAGES |
US8952980B2 (en) | 2010-08-09 | 2015-02-10 | Gsi Group, Inc. | Electronic color and luminance modification |
CN105509627B (zh) * | 2015-12-28 | 2018-08-28 | 南京沃联科技有限公司 | 一种高度检测治具 |
-
1998
- 1998-01-09 JP JP00354298A patent/JP3665462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11201865A (ja) | 1999-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lane et al. | Calibration of a polarization image sensor and investigation of influencing factors | |
KR100681990B1 (ko) | 액정 표시 패널의 검사 방법 및 검사 장치 | |
CN112885289B (zh) | 一种显示屏的校准方法及设备 | |
JP3245731B2 (ja) | フラットパネル・ディスプレイ検査システム | |
JPH10332533A (ja) | 複屈折評価装置 | |
KR19990083242A (ko) | 표시 장치 및 표시 장치 보정 시스템 | |
CN113848044B (zh) | 一种显示屏亮色度一致性检测方法 | |
JP3665462B2 (ja) | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 | |
JP3803999B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP3343445B2 (ja) | Lcdパネル画質検査装置 | |
JP3589001B2 (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
JP3528564B2 (ja) | 液晶パネルのセルギャップ検査装置及び方法 | |
JP3062711B2 (ja) | 液晶表示パネルの点灯輝度測定方法 | |
CN114453280B (zh) | 一种显示面板缺陷检测方法 | |
JP3711813B2 (ja) | 液晶パネルのセル厚測定方法及びセル厚測定装置 | |
JPH09210852A (ja) | カラー表示素子の検査方法 | |
Leroux | New uniformity measurement method for LCD panels | |
JPH05181125A (ja) | 画像検査装置 | |
KR0174940B1 (ko) | 에이엠에이 프로젝터 검사방법 | |
JPH0293871A (ja) | 均一性検査方法 | |
TW200841028A (en) | Inspection method for display panels | |
CN117672161A (zh) | 一种显示器的亮色度补偿装置及方法 | |
CN116540960A (zh) | 均匀度调整方法、均匀度调整装置及使用其的电子装置 | |
JP2009236678A (ja) | 位相差測定装置及び位相差測定方法 | |
KR20230001044A (ko) | 투과율 자동 검사 장치 및 투과율 자동 검사 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |