JP3665462B2 - Apparatus and method for inspecting cell gap unevenness of liquid crystal panel, and apparatus and method for measuring cell gap - Google Patents

Apparatus and method for inspecting cell gap unevenness of liquid crystal panel, and apparatus and method for measuring cell gap Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのセルギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを検査する検査装置及び方法、並びに液晶パネルのセルギャップを測定するセルギャップ測定装置及び方法の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルは、液晶セル内の液晶層の各画素における光の透過率（以下、単に“透過率”という）を変化させることによりパネル全体として画像を表示する。ここで、液晶セル内の液晶層の厚み（以下、“セルギャップ”と称する）が２次元的広がりを持つパネル面内の各位置で異なる（即ち、“セルギャップむら”がある）と、同じ液晶配向状態における透過率の値や液晶印加電圧に対する透過率の変化特性が各位置で異なってしまう。すると、このセルギャップむらに応じて各画素における表示品質に差が出て、液晶パネル全体として画質が低下してしまう。このため、この種の液晶パネルの製品化の際には、例えばパネル表面の中央部と端部との間でのセルギャップむらが、画質維持のために必要な許容範囲を超えてしまう場合には、当該液晶パネルは不良品であると判定するセルギャップむら検査が必要となる。
【０００３】
他方で、液晶パネルの伝統的な製品検査として、液晶パネルの表面全体における輝度むら検査がある。この輝度むら検査では、液晶パネルの表面全体をＣＣＤカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部における輝度を検出して検出値を数値比較したり、或いは、検出された各輝度をディスプレイ画面上にて２次元表示して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネルの各画素における輝度とセルギャップとの間には比較的リニアに近い関係があるとされており、このため従来は、液晶パネルのセルギャップむら検査方法においては、上述の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部と端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセルギャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か（即ち、セルギャップむらが大きいために不良品であるか否か）を検査している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
一般的な或いは実用化されている液晶パネルのセルギャップの値は、４μｍ程度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギャップの検査方法によれば、３．５μｍ程度より小さいギャップや４．５μｍよりも大きいギャップについては、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係となっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範囲に入っているか否かを精度良く判定できる。
【０００５】
しかしながら、この約４±０．５μｍの範囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しない。或いは、この約４±０．５μｍの範囲内のセルギャップに対して輝度が極小となる個所（即ち、輝度が小さくなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所）が存在する。このため、特に実用上必要な約４±０．５μｍの範囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむらを精度良く検査することは根本的に困難であるという問題点がある。
【０００６】
本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり、高精度の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法、並びに高精度のセルギャップ測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここで、本願発明者らの研究によると、セルギャップに対するＲの光量（Ｒの透過率）の変化特性と、セルギャップに対するＧの光量（Ｇの透過率）の変化特性とは相異なり、一般にはセルギャップが約４．２μｍ程度のところを境に、これよりもセルギャップが小さい範囲では、セルギャップに対するＲの光量の変化率の方が、セルギャップに対するＧの光量の変化率よりも大きくなり、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。これに対して、約４．２μｍ程度よりもセルギャップが大きい範囲では、セルギャップに対するＧの光量の変化率の方が、セルギャップに対するＲの光量の変化率よりも大きくなり、Ｇの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する。従って、上述のように比較手段により検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。そして、このように設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々との間における光量の差が、出力手段によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【０００９】
この結果、セルギャップむらの指標値として出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００１０】
請求項２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記出力手段は、前記ＲＧＢ別の受光信号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの表面全体について擬似カラー化して２次元表示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、カラー表示手段により、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネルの表面全体について擬似カラー化されて２次元表示される。従って、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に対応する）セルギャップの差を、カラー表示手段の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【００１２】
請求項３に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１又は２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置において、前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項３に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置によれば、判定手段により、第１の点と第２の点夫々との間における検査用色の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かが判定される。従って、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に対応する）セルギャップの差を自動的に数値比較できる。例えば、光量の差が許容範囲内にあれば、自動的に良品であるとの判定結果が出力され、光量の差が許容範囲内になければ、自動的に不良品であるとの判定結果が下される。
【００１４】
請求項４に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。そして、このように設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々との間における光量の差が、出力工程によりセルギャップむらの指標値として夫々出力される。
【００１６】
この結果、前述した本発明のセルギャップむら検査装置の場合と同様に、検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００１７】
請求項５に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較手段により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【００１９】
この結果、セルギャップの大小に応じて、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【００２０】
請求項６に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置は上記課題を解決するために請求項５に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置において、前記記憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して出力するようにプログラムされたＰＲＯＭ（プログラマブル読み出し専用メモリ）から構成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項６に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置によれば、ルックアップテーブルはＰＲＯＭに格納されており、当該ＰＲＯＭにより検査用色の光量に対応するセルギャップの値が、このルックアップテーブルから読み出されて出力される。このようにＰＲＯＭから構成された記憶手段及び出力手段により、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【００２２】
請求項７に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法は上記課題を解決するために、面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
請求項７に記載の液晶パネルのセルギャップ測定方法によれば、受光素子により、面状光源上に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここで、前述したように、比較手段により検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、比較工程により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力される。
【００２４】
この結果、前述した本発明のセルギャップ測定装置の場合と同様に、セルギャップの大小に応じて、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【００２５】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされよう。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
（第１の実施の形態）
図１に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。
【００２８】
図１において、検査装置１００は、受光素子の一例としてのカラーＣＣＤカメラ１と、パソコン（パーソナルコンピュータ）１０と、カラーモニター２０とを備えて構成されている。
【００２９】
カラーＣＣＤカメラ１は、所定の撮影用台上の、面状光源の一例としてのバックライト１１０上に置かれた液晶パネル１０１の表面全体を撮像し、ＲＧＢ別の受光信号を出力するように構成されている。
【００３０】
パソコン１０は、カラーＣＣＤカメラ１からのＲＧＢ別の受光信号線が夫々接続される外部入力端子１１と、外部入力端子１１を介してカラーＣＣＤカメラ１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されるインターフェースボード１２と、フロッピーディスク１３ａから検査及び測定用プログラムや後述のルックアップテーブルを読み込んだり、フロッピーディスク１３ａに各種の検査及び測定結果データを格納したりするＦＤ（フロッピーディスク）ドライブ１３と、後述の検査及び測定用プログラムが実行されるＣＰＵ（中央演算装置）１５とを備えて構成されている。
【００３１】
ＣＰＵ１５は、フロッピーディスク１３ａから読み込まれるか或いは内蔵ハードディスクに格納された検査及び制御用プログラムにしたがって検出手段の一例として機能して、カラーＣＣＤカメラ１により撮像された液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて、図２に示すように中央に位置する第１の点Ｐ１と四隅に夫々位置する４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの光量及びＧの光量をＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する。
【００３２】
再び図１において、ＣＰＵ１５は、検査及び制御用プログラムにしたがって比較手段の一例としても機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例えば、第１の点Ｐ１のみ）について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定するように構成されている。即ちＲの透過率（光量）＞Ｇの透過率（光量）の場合には、Ｒを検査用色として設定し、Ｒの透過率（光量）＜Ｇの透過率（光量）の場合には、Ｇを検査用色として設定し、両者が等しい場合は（極めて希ではあるが）、Ｒ又はＧを検査用色として設定するように構成されている。
【００３３】
そして、ＣＰＵ１５は、検査及び制御用プログラムにしたがってカラーモニター２０と共に出力手段の一例としても機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光量の差を、セルギャップむらの指標値として夫々出力する。
【００３４】
他方で、フロッピーディスク１３ａ及びＦＤドライブ１３から記憶手段の一例が構成されており、フロッピーディスク１３ａには、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、ＣＰＵ１５により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、ＣＰＵ１５によりフロッピーディスク１３ａに格納されたルックアップテーブルからＦＤドライブ１３を介して読み出される。このように読み出された第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップの値が、セルギャップ測定値として夫々出力される。
【００３５】
ここで、液晶パネル１０１において一対の基板間に挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berremanの４×４マトリクス法で計算することが出来る。また、液晶パネル１０１の一対の基板の対向面に夫々設けられた配向膜の配向方向及び液晶の性質により規定される液晶のツイスト角が９０°であるＴＮ（ツイステッドネマチック）モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次に示すように、簡単に計算できる。
【００３６】
即ち、ノーマリーブラックモードの時、液晶セルの透過率は
Ｔ＝Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１＋ｕ2）
但し、ｕ＝２Δｎｄ／λ （ｎ：屈折率、ｄ：セルギャップ、λ：波長）
また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過率は
Ｔ＝１−｛Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１＋ｕ2）｝
で計算できる。
【００３７】
このような計算に基づきシミュレーションされるか或いは実験的に得られる液晶パネル１０１のセルギャップとＲＧＢ各色の透過率（光量）との関係を図３の特性図に示す。
【００３８】
図３に示すように、セルギャップｄに対するＲの透過率（光量）の変化特性、Ｇの透過率（光量）の変化特性、及びＢの透過率（光量）の変化特性は、相異なる。そして、セルギャップｄが約４．２μｍ程度のところを境に、これよりもセルギャップｄが小さい範囲では、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率の方が、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率よりも大きくなっており、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応することが分かる。これに対して、約４．２μｍ程度よりもセルギャップｄが大きい範囲では、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率の方が、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率よりも大きくなり、Ｇの光量の方がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反応することが分かる。また、Ｂの光量については、セルギャップｄが約３μｍ程度のところに極小値を持ち、約４．６μｍ程度の所に極大値を持つので、Ｂの透過率からセルギャップを特定することは理論上も（実際上も）不可能であることが分かる。
【００３９】
従って、上述のように検査及び測定プログラムにしたがって比較手段として機能するＣＰＵ１５により検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【００４０】
そして、このように設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における光量の差が、ＣＰＵ１５により計算されて、カラーモニター２０の画面の上に例えば、セルギャップむらの指標値として表示される。
【００４１】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップむらの指標値としてカラーモニター２０の画面上に表示された光量（透過率）の差が、予め経験上または計算上設定された所定の許容範囲（例えば、±０．数μｍ程度）に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル１０１が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００４２】
更に、本実施の形態では特に、例えば図３に示したようなＲの透過率（光量）とセルギャップｄとの関係及びＢの透過率（光量）とセルギャップｄとの関係を示すルックアップテーブルが、フロッピーディスク１３ａに予め格納されている。そして、ＣＰＵ１５により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、このルックアップテーブルから読み出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップ測定値（合計５点おけるセルギャップ測定値）として夫々出力される。
【００４３】
この結果、本実施の形態によれば、セルギャップｄの大小に応じて、より適切なＲの光量（透過率）又はＧの光量（透過率）を用いて、第１の点Ｐ１及び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけるセルギャップｄを夫々精度良く測定できる。
【００４４】
本実施の形態では特に、出力手段として機能するＣＰＵ１５及びカラーモニター２０は、ＲＧＢ別の受光信号のうち検査用色の受光信号の出力レベルを液晶パネル１０１の表面全体について擬似カラー化して２次元表示するように構成されている。図４にこのような擬似カラー化した２次元表示の一例を示す。
【００４５】
図４に示すように、カラーモニター２０の画面２０ａには、例えば、液晶パネル１０１の表面の中央に位置する第１の点Ｐ１におけるセルギャップの値を基準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所を赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇所を黄色として、しかも第１の点Ｐ１におけるセルギャップの値からの差を色濃度に対応するようにした擬似カラー表面１０２が表示されている。
【００４６】
この結果、検査装置１００によれば、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセルギャップｄの差を、カラーモニター２０の画面２０ａ上における色の差として視覚的に認識できる。
【００４７】
更に本実施の形態では、検査及び測定用プログラムに従って、ＣＰＵ１５は判定手段の一例としても機能し、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光量の差が、予め設定された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定する。判定結果としては、各点間のセルギャップ夫々について、表示画面上に判定結果を示す欄を設けておき、この欄に“良品”或いは“不良品”の如きテキストデータを表示する。或いは、一つでも許容範囲内にない光量の差が存在する場合に、液晶パネル１０１全体に対する判定結果として、“不良品”の如きテキストデータを表示してもよい。尚、図４に示した表示画面２０ａ内の左上領域には、このような判定結果として、“不良品”とのテキストデータ２０ｂが表示されている。
【００４８】
このように本実施の形態の検査装置１００によれば、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセルギャップｄの差を自動的に数値比較できるだけでなく、自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力されるので便利である。
【００４９】
尚、ＣＰＵ２において、Ｒの光量とＧの光量を比較した結果、Ｇの光量の方がＲの光量よりも小さくない場合に、Ｇの光量を検査用色として設定したが、この場合にも、Ｒの光量を検査用色として設定して、Ｒの光量を用いてセルギャップむら検査やセルギャップ測定を行うようにしてもよい。
【００５０】
次に、本実施の形態の検査装置１００を用いたセルギャップむら検査及びセルギャップ測定の手順について説明する。尚、検査装置１００にロードされるフロッピーディスク１３ａには、前述のＲ及びＧの各光量に対応する各セルギャップの値を示すルックアップテーブルが予め格納されているものとする。
【００５１】
先ず、実際に液晶パネル１０１を撮像する前に、カラーＣＣＤカメラ１のホワイトバランスをとる。この処理は液晶パネル１０１を撮影用台上のバックライト１１０上に載せる前に、バックライト１１０だけを撮影用台上に載せて、ＲＧＢ別に受光信号を得て、これら各受光信号の出力レベルが相互に同じになるように各色のゲインを設定する。このようにホワイトバランスを採れば、色温度の高低に拘わらず受光信号中の光源むらやレンズむらを補正できる。
【００５２】
次に、液晶パネル１０１を撮影用台上のバックライト１１０上に載せて、カラーＣＣＤカメラ１により、液晶パネル１０１の表面全体が撮像され、ＲＧＢ別の受光信号が出力される。すると、この撮像された表面の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの光量及びＧの光量が、パソコン１０により、ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出され、続いて、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例えば、第１の点Ｐ１）について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。このように検査用色として設定されるＲ又はＧは、前述のようにその光量がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【００５３】
次に、このように設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における光量の差が、カラーモニター２０の画面上にセルギャップむらの指標値として夫々表示される。
【００５４】
これと並行して、検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセルギャップの値が、フロッピーディスク１３ａに格納されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップ測定値（５つの測定値）として夫々出力される。
【００５５】
そして、検査者は、セルギャップの大小に応じてより適切なＲの光量又はＧの光量についての光量の差をカラーモニター２０上で見た後、この表示された光量の差が、許容範囲に入っているか否かを判断する。
【００５６】
以上により、当該検査された液晶パネル１０１がセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００５７】
また、セルギャップの大小に応じてより適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。
【００５８】
尚、本実施の形態では特に、前述のようにカラーモニター２０の画面２０ａ上には、検査用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネル１０１の表面全体について擬似カラー化されて２次元表示される（図４参照）。従って、これを見た検査者は、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセルギャップｄの差を、カラーモニター２０の画面上における色の差として視覚的に認識できる。
【００５９】
また、本実施の形態では特に、前述のようにパソコン１０により、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色の光量の差が、許容範囲内にあるか否かが自動的に判定されて、判定結果がカラーモニター２０の画面２０ａ上に表示される。従って、検査者は、検査された液晶パネル１０１がセルギャップむらについて良品であるか不良品であるかを自ら判断することなく簡単に知ることが出来るので便利である。
【００６０】
（第２の実施の形態）
図５に、本発明によるセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップむら検査装置の全体構成を示す。尚、図５において、図１に示した第１の実施の形態の場合と同じ構成要素については同じ参照符号を付し、その説明は省略する。
【００６１】
図５において、検査装置２００は、カラーＣＣＤカメラ１と、Ａ／Ｄ変換器３１と、ＲＧ比較及び選択器３３と、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５と、ＰＲＯＭ（Ｇ）３６と、入力切り換えスイッチ３７と、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器３８とを備えて構成されている。
【００６２】
Ａ／Ｄ変換器３１は、カラーＣＣＤカメラ１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されると、これらを夫々ＡＤ変換してＲＧＢ別のデジタル信号を出力する。そして、 Ａ／Ｄ変換器３１は、Ｒ及びＧのデジタル信号を常にＲＧ比較及び選択器３３に通すように構成されている。
【００６３】
ＲＧ比較及び選択器３３は、検査及び制御用ロジックにしたがって検出手段及び比較手段の一例として機能して、ＡＤ変換されたＲＧＢ別のデジタル信号から液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて図２に示した第１の点Ｐ１と４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの光量及びＧの光量を夫々検出する。更に、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例えば、第１の点Ｐ１のみ）について検出されたＲの光量（透過率）とＧの光量（透過率）との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定するように構成されている。
【００６４】
ＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、記憶手段の一例を構成しており、Ｒの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、プログラムされている。
【００６５】
ＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、記憶手段の一例を構成しており、Ｇの各光量に夫々対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納されている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格納されたルックアップテーブルから読み出されるようにＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、プログラムされている。
【００６６】
そして、このように読み出された第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップ測定値のうちのＲＧ比較及び選択器３３により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）に対応する一方が、入力切り換えスイッチ３７を介して、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器３８に入力される。
【００６７】
ギャップ測定及びギャップむら検査出力器３８は、このように入力された、検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値を、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。同時に、ギャップ測定及びギャップむら検査出力器３８は、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光量に基づくセルギャップの差を、セルギャップむらの指標値として、表示画面や紙面上に出力するように構成されている。
【００６８】
従って、第１の実施の形態の場合と同様に、ＲＧ比較及び選択器３３により検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。この結果、本実施の形態によれば、セルギャップｄの大小に応じて、より適切なＲの光量（透過率）又はＧの光量（透過率）を用いて、第１の点Ｐ１及び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけるセルギャップｄを迅速に且つ精度良く測定できる。更に、セルギャップむらの指標値としてギャップ測定及びギャップむら検査出力器３８から出力されたセルギャップの差が、予め設定された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該検査された液晶パネル１０１が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを迅速に且つ精度良く検査できる。
【００６９】
尚、以上説明した第１及び第２の実施の形態においては、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性の違いや撮影用台上に載せられるバックライト１１０の色温度の違い等により図３に示したような特性は変動する。従って、図３に示したような一つの特性について前述のルックアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の際に、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性やバックライト１１０の色温度等のパラメータの相違に応じてルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値に対して補正を加えるのが好ましい。このような補正は、例えば、第１の実施の形態の場合であれば、ＣＰＵ２を制御する検査及び測定用プログラムの中に、ルックアップテーブルから読み出した各セルギャップ値と上記分光特性等のパラメータとを入力とする所定関数を用いた補正用プログラムを組み込んでおけばよい。或いは、第２の実施の形態の場合であれば、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５やＰＲＯＭ（Ｇ）３６の中にこのような補正用プログラムを組み込んでおけばよい。更に、カラーＣＣＤカメラ１のレンズのシェージング（周辺の輝度むら）、液晶の材質等に対する補正を行うようにしてもよい。
【００７０】
また、受光素子の一例としてカラーＣＣＤカメラについて説明したが、その他の固体撮像素子、テレビカメラ、光ファイバなどを受光素子として用いることも可能である。特に、ＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方式などのテレビカメラを受光素子として用いた場合には、ＮＴＳＣ信号やＰＡＬ信号に含まれるＲやＧの色差信号を抽出して受光信号として本発明を適用すれば、色差信号に基づいてセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。更に、透過光のみならず液晶パネルからの反射光を受光する構成としても、透過光を用いた場合と同様にセルギャップを測定したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが可能である。
【００７１】
以上説明したように、第１及び第２の実施の形態によれば、高精度で液晶パネルのセルギャップむらを検査することができ、且つ高精度でセルギャップを測定することができる。
【００７２】
【発明の効果】
本発明の液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法によれば、液晶パネルがセルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査できる。また、検査用色の受光信号の出力レベルを擬似カラー化して２次元表示することにより、セルギャップむらを視覚的に認識できる。更に、検査用色の光量の差が許容範囲内にあるか否かを判定することにより、液晶パネルが良品であるか不良品であるかを自動的に判定できる。
【００７３】
本発明の液晶パネルのセルギャップ測定装置及び方法によれば、Ｒ又はＧの光量を用いることにより、液晶パネルのセルギャップを精度良く測定することが出来る。更に、ルックアップテーブルをＰＲＯＭに格納することにより、セルギャップの測定を迅速に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による検査装置の第１の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【図２】 図１の検査装置により検査される液晶パネルの斜視図である。
【図３】 液晶パネルにおけるセルギャップと各色の透過率（光量）との関係を示す特性図である。
【図４】 図1の検査装置に備えられたカラーモニターの表示画面の一例を示す平面図である。
【図５】 本発明による検査装置の第２の実施の形態の全体構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１…カラーＣＣＤカメラ
１０…パソコン
１１…外部入力端子
１２…インターフェースボード
１３…ＦＤドライブ
１３ａ…フロッピーディスク
１５…ＣＰＵ
２０…カラーモニター
２０ａ…表示画面
３１…Ａ／Ｄ変換器
３３…ＲＧ比較及び選択器
３５…ＰＲＯＭ（Ｒ）
３６…ＰＲＯＭ（Ｇ）
３７…入力切り換えスイッチ
３８…ギャップ測定及びギャップむら検査出力器
１００…検査装置
１１０…バックライト
１０１…液晶パネル
１０１ａ…液晶パネルの表面
２００…検査装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of an inspection apparatus and method for inspecting whether or not the cell gap unevenness of a liquid crystal panel is within an allowable range, and a cell gap measurement apparatus and method for measuring a cell gap of a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
The liquid crystal panel displays an image as a whole panel by changing the light transmittance (hereinafter simply referred to as “transmittance”) in each pixel of the liquid crystal layer in the liquid crystal cell. Here, the thickness of the liquid crystal layer in the liquid crystal cell (hereinafter referred to as “cell gap”) is different at each position in the panel surface having a two-dimensional extension (that is, there is “cell gap unevenness”) and the same. The transmittance value in the liquid crystal alignment state and the transmittance change characteristic with respect to the liquid crystal applied voltage are different at each position. Then, there is a difference in display quality in each pixel according to this cell gap unevenness, and the image quality of the entire liquid crystal panel is degraded. For this reason, when this type of liquid crystal panel is commercialized, for example, if the cell gap unevenness between the center and the edge of the panel surface exceeds the allowable range necessary for maintaining the image quality. Therefore, it is necessary to inspect the cell gap for determining that the liquid crystal panel is defective.
[0003]
On the other hand, as a traditional product inspection of a liquid crystal panel, there is a luminance unevenness inspection on the entire surface of the liquid crystal panel. In this brightness unevenness inspection, the entire surface of the liquid crystal panel is photographed with a CCD camera, and the brightness at the center and end of the liquid crystal panel is detected and the detected values are compared numerically, or each detected brightness is displayed. Two-dimensional display on the screen for visual comparison. Here, in particular, it is said that there is a relatively linear relationship between the luminance and the cell gap in each pixel of the liquid crystal panel. Whether or not the difference in cell gap of the liquid crystal panel exceeds a predetermined allowable range based on the difference in luminance between the center portion and the end portion of the liquid crystal panel by applying the luminance unevenness inspection method (that is, the cell gap unevenness is large) Therefore, it is inspected whether or not it is a defective product.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The cell gap value of a general or practical liquid crystal panel is often about 4 μm. According to the research by the inventors of the present application, according to the above-described conventional method for inspecting the cell gap of the liquid crystal panel based on the luminance, the luminance of the gap smaller than about 3.5 μm and the gap larger than 4.5 μm And the cell gap are in a relatively linear relationship, and it can be accurately determined whether or not the cell gap is within a predetermined allowable range based on the luminance.
[0005]
However, in this range of about 4 ± 0.5 μm, the luminance does not change much even if the cell gap changes. Alternatively, there is a portion where the luminance is minimized with respect to the cell gap within the range of about 4 ± 0.5 μm (that is, a portion where the luminance is reduced and the change rate of the luminance is reduced). For this reason, there is a problem that it is fundamentally difficult to accurately inspect the cell gap unevenness based on the difference in luminance, particularly within the range of about 4 ± 0.5 μm that is practically necessary.
[0006]
The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a highly accurate cell gap unevenness inspection apparatus and method for a liquid crystal panel, and a highly accurate cell gap measurement apparatus and method.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, a liquid crystal panel cell gap nonuniformity inspection apparatus according to claim 1 has a planar light source and R (red) G (green) from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source. ) B (blue) R at a light receiving element that receives another light and outputs a light reception signal, and a first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and four second points located at four corners, respectively. Detecting means for detecting the light quantity of G and the light quantity of G from the respective RGB received light signals, and the R light quantity and G detected at one of the first point and the second point by the detecting means. Comparing means for comparing R and G corresponding to the light quantity that is not smaller and a color for inspection, and for the inspection between the first point and the second point, respectively. The difference in the amount of color light as an index value for cell gap unevenness Characterized by comprising an output means for outputting.
[0008]
According to the cell gap unevenness inspection apparatus of the liquid crystal panel according to the first aspect, the RGB light from the liquid crystal panel placed on the planar light source is received by the light receiving element. Then, the light quantity of R and the light quantity of G at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points located at the four corners are respectively detected from the received light signals for each RGB by the detection means. Detected. Subsequently, the comparison unit compares the magnitude of the R light quantity and the G light quantity for one of the first point and the second point, and R or G corresponding to the smaller light quantity is Set as inspection color. According to the study by the present inventors, the change characteristic of the R light quantity (R transmittance) with respect to the cell gap is different from the change characteristic of the G light quantity (G transmittance) with respect to the cell gap. With the cell gap of about 4.2 μm as a boundary, in the range where the cell gap is smaller than this, the rate of change of the R light quantity relative to the cell gap is greater than the rate of change of the G light quantity relative to the cell gap. Therefore, the amount of R light reacts more sensitively to the increase and decrease of the cell gap. On the other hand, in the range where the cell gap is larger than about 4.2 μm, the rate of change in the amount of G light with respect to the cell gap is larger than the rate of change in the amount of R light with respect to the cell gap. Reacts more sensitively to changes in the cell gap. Therefore, R or G set as the inspection color by the comparison unit as described above is a color whose light amount reacts more sensitively to the increase or decrease of the cell gap. Then, the difference in the amount of light between the first point and the second point of the inspection color (that is, R or G) set in this way is output as an index value of the cell gap unevenness by the output means. The
[0009]
As a result, depending on whether or not the difference in the amount of light output as the index value of the cell gap unevenness is within a predetermined allowable range set in advance by experience or calculation, the inspected liquid crystal panel relates to the cell gap unevenness. Whether it is a good product or a defective product can be inspected with high accuracy.
[0010]
The cell gap unevenness inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 2 is a liquid crystal panel unevenness inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 1, wherein the output means is configured to receive the received light signals for each of RGB. Of these, color display means for two-dimensionally displaying the output level of the light-receiving signal for the inspection color in a pseudo color for the entire surface of the liquid crystal panel is provided.
[0011]
According to the cell gap unevenness inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 2, the output level of the light reception signal of the inspection color is pseudo-colored and displayed two-dimensionally on the entire surface of the liquid crystal panel by the color display means. . Therefore, the difference in cell gap (corresponding to the difference in light amount) between the center and the edge of the liquid crystal panel can be visually recognized as a color difference on the screen of the color display means.
[0012]
In order to solve the above-described problem, the liquid crystal panel cell gap unevenness inspection apparatus according to claim 3 is the liquid crystal panel cell gap unevenness inspection apparatus according to claim 1, wherein the first point and the second point It is further characterized by further comprising determination means for determining whether or not the difference in the amount of light of the inspection color between points is within a preset allowable range.
[0013]
According to the cell gap unevenness inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 3, a difference between the light amounts of the inspection colors between the first point and the second point is determined by the determination unit. It is determined whether it is within the range. Therefore, it is possible to automatically numerically compare the difference in cell gap (corresponding to the difference in light amount) between the central portion and the end portion of the liquid crystal panel. For example, if the difference in the light quantity is within the allowable range, a determination result that is non-defective is automatically output. If the difference in the light quantity is not within the allowable range, the determination result that is automatically defective is automatically output. Be defeated.
[0014]
In order to solve the above-mentioned problem, the method for inspecting the cell gap unevenness of the liquid crystal panel according to claim 4 provides R (red) G (green) B (blue) from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source. Receiving light and outputting a light receiving signal, and R light quantity and G light quantity at a first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and four second points located at four corners, respectively. Detecting from the R, G, and B received light signals respectively, and the magnitude of the R light quantity and G light quantity detected at one of the first point and the second point by the detection process. The comparison step of comparing and setting R or G corresponding to the light amount that is not smaller as the inspection color, and the difference in the light amount of the inspection color between the first point and the second point, respectively. Outputs that are output as index values for cell gap unevenness Characterized in that a degree.
[0015]
According to the method for inspecting the cell gap unevenness of the liquid crystal panel according to the fourth aspect, the RGB light from the liquid crystal panel placed on the planar light source is received by the light receiving element. Then, the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points located at the four corners are respectively detected from the received light signals for each RGB by the detection process. Detected. Subsequently, the magnitude of the R light amount and the G light amount is compared for one point of the first point and the second point by the comparison step, and R or G corresponding to the light amount that is not smaller is Set as inspection color. Then, the difference in the amount of light between the first point and the second point of the inspection color (that is, R or G) set in this way is output as an index value of the cell gap unevenness by the output step. The
[0016]
As a result, as in the case of the cell gap unevenness inspection apparatus of the present invention described above, it is possible to accurately inspect whether the inspected liquid crystal panel is a good product or a defective product with respect to the cell gap unevenness.
[0017]
In order to solve the above problems, a cell gap measuring device for a liquid crystal panel according to claim 5 is a planar light source, and R (red) G (green) from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source. B (blue) R of light receiving element that receives another light and outputs a light receiving signal, and a first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and four second points located respectively at the four corners Detecting means for detecting the amount of light and the amount of G light from the respective RGB received light signals, and the amount of R and G detected by the detecting means for one of the first point and the second point; Comparing means for comparing R and G corresponding to the light quantity which is not smaller as a light quantity and a value for the cell gap for each light quantity of R and G are set in advance. Memory to store the lookup table The cell gap value corresponding to the light amount of the inspection color at each of the first stage and the second point is read from the look-up table, and the first point and the second point Output means for outputting each cell gap measurement value at each point.
[0018]
According to the cell gap measuring device for a liquid crystal panel according to claim 5, RGB light from the liquid crystal panel placed on the planar light source is received by the light receiving element. Then, the light quantity of R and the light quantity of G at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points located at the four corners are respectively detected from the received light signals for each RGB by the detection means. Detected. Subsequently, the comparison unit compares the magnitude of the R light quantity and the G light quantity for one of the first point and the second point, and R or G corresponding to the smaller light quantity is Set as inspection color. Here, as described above, R or G set as the inspection color by the comparison means is a color whose light amount reacts more sensitively to increase or decrease of the cell gap. On the other hand, the storage means stores a lookup table in which each value of the cell gap for each of the R and G light amounts is set in advance. Then, the value of the cell gap corresponding to the light quantity at each of the first point and the second point of the inspection color (that is, R or G) set by the comparison unit is obtained from the lookup table stored in the storage unit. It is read out and output as cell gap measurement values at the first point and the second point, respectively.
[0019]
As a result, according to the size of the cell gap, the cell gap can be accurately measured using a more appropriate R light amount or G light amount.
[0020]
6. The liquid crystal panel cell gap measuring device according to claim 6, wherein the liquid crystal panel cell gap measuring device according to claim 5 stores the look-up table in the liquid crystal panel cell gap measuring device. And a PROM (programmable read-only memory) programmed to read out and output the value of the cell gap corresponding to the light amount of the inspection color from the lookup table. .
[0021]
According to the cell gap measuring device for a liquid crystal panel according to claim 6, the look-up table is stored in the PROM, and the value of the cell gap corresponding to the light quantity of the inspection color is calculated from the look-up table by the PROM. Read and output. Thus, the cell gap can be quickly measured by the storage means and the output means constituted by the PROM.
[0022]
In order to solve the above-mentioned problem, the method for measuring a cell gap of a liquid crystal panel according to claim 7 is provided for each of R (red), G (green), and B (blue) from the surface of the liquid crystal panel placed on a planar light source. A light receiving process for receiving light and outputting a light reception signal, and a light quantity of R and a light quantity of G at a first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and four second points located at four corners, respectively. A detection step for detecting each of the received light signals for each of RGB and a magnitude of the R light amount and the G light amount detected at one of the first point and the second point by the detection step are compared. A comparison step of setting R or G corresponding to the light quantity that is not smaller as the inspection color, and the cell gap corresponding to the light quantity of the inspection color at each of the first point and the second point. For each light quantity of R and G An output step of reading each value of the cell gap from a look-up table preset and stored in a storage means and outputting each value as a cell gap measurement value at each of the first point and the second point; It is provided with.
[0023]
According to the cell gap measuring method of the liquid crystal panel according to the seventh aspect, the RGB light from the liquid crystal panel placed on the planar light source is received by the light receiving element. Then, the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points located at the four corners are respectively detected from the received light signals for each RGB by the detection process. Detected. Subsequently, the magnitude of the R light amount and the G light amount is compared for one point of the first point and the second point by the comparison step, and R or G corresponding to the light amount that is not smaller is Set as inspection color. Here, as described above, R or G set as the inspection color by the comparison means is a color whose light amount reacts more sensitively to increase or decrease of the cell gap. On the other hand, the storage means stores a lookup table in which each value of the cell gap for each of the R and G light amounts is set in advance. Then, the value of the cell gap corresponding to the light quantity at each of the first point and the second point of the inspection color (that is, R or G) set by the comparison process is obtained from the lookup table stored in the storage unit. It is read out and output as cell gap measurement values at the first point and the second point, respectively.
[0024]
As a result, as in the case of the cell gap measuring apparatus of the present invention described above, the cell gap can be accurately measured using a more appropriate amount of R or G according to the size of the cell gap.
[0025]
Such an operation and other advantages of the present invention will become apparent from the embodiments described below.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0027]
(First embodiment)
FIG. 1 shows the overall configuration of a cell gap unevenness inspection apparatus that also has the function of a cell gap measurement apparatus according to the present invention.
[0028]
In FIG. 1, an inspection apparatus 100 includes a color CCD camera 1 as an example of a light receiving element, a personal computer (PC) 10, and a color monitor 20.
[0029]
The color CCD camera 1 is configured to take an image of the entire surface of the liquid crystal panel 101 placed on a backlight 110 as an example of a planar light source on a predetermined imaging stand and output a received light signal for each RGB. Has been.
[0030]
The personal computer 10 receives an RGB input light signal from the color CCD camera 1 and an RGB input light signal from the color CCD camera 1 via the external input terminal 11. An interface board 12, an FD (floppy disk) drive 13 for reading an inspection and measurement program and a lookup table described later from the floppy disk 13a, and storing various inspection and measurement result data on the floppy disk 13a, and an after-mentioned disk And a CPU (Central Processing Unit) 15 for executing the inspection and measurement program.
[0031]
On the liquid crystal surface 101a of the liquid crystal panel 101 imaged by the color CCD camera 1, the CPU 15 functions as an example of a detection unit that is read from the floppy disk 13a or stored in the internal hard disk. As shown in FIG. 2, the R light quantity and the G light quantity at the first point P1 located at the center and the four second points P2 to P5 located at the four corners are detected from the received light signals for each RGB.
[0032]
In FIG. 1 again, the CPU 15 also functions as an example of a comparison unit in accordance with the inspection and control program, and selects one point (for example, the first point) between the first point P1 and the second points P2 to P5. (P1 only) is configured to compare the magnitude of the detected R light quantity with the G light quantity, and to set R or G corresponding to the smaller light quantity as the inspection color. That is, when R transmittance (light amount)> G transmittance (light amount), R is set as an inspection color, and when R transmittance (light amount) <G transmittance (light amount), When G is set as the inspection color and both are equal (although very rare), R or G is set as the inspection color.
[0033]
The CPU 15 also functions as an example of an output unit together with the color monitor 20 in accordance with the inspection and control program, and the inspection color (R or R) between the first point P1 and the second points P2 to P5. The difference in the amount of light G) is output as an index value for cell gap unevenness.
[0034]
On the other hand, the floppy disk 13a and the FD drive 13 constitute an example of a storage means, and each value of the cell gap for each light quantity of R and G is preset in the floppy disk 13a. Is stored. The CPU 15 stores the value of the cell gap corresponding to the light quantity at the first point and the second point of the inspection color (that is, R or G) set by the CPU 15 in the floppy disk 13a. Data is read from the table via the FD drive 13. The cell gap values read out in this way at the first point P1 and the second points P2 to P5 are output as cell gap measurement values, respectively.
[0035]
Here, propagation of light in the liquid crystal sandwiched between the pair of substrates in the liquid crystal panel 101 can be generally calculated by Berreman's 4 × 4 matrix method. In the case of a TN (twisted nematic) mode in which the liquid crystal twist angle is 90 °, which is defined by the alignment direction of the alignment films provided on the opposing surfaces of the pair of substrates of the liquid crystal panel 101 and the properties of the liquid crystal, It can be easily calculated by the Gooch-Tarry equation as shown below.
[0036]
That is, in the normally black mode, the transmittance of the liquid crystal cell is
T = Sin 2 (Π / 2 × (1 + u 2 ) 1/2 ) / (1 + u 2 )
Where u = 2Δnd / λ (n: refractive index, d: cell gap, λ: wavelength)
In the normally white mode, the transmittance of the liquid crystal cell is
T = 1- {Sin 2 (Π / 2 × (1 + u 2 ) 1/2 ) / (1 + u 2 )}
It can be calculated with
[0037]
The relationship between the cell gap of the liquid crystal panel 101 and the transmittance (light quantity) of each color of RGB, which is simulated or experimentally obtained based on such calculation, is shown in the characteristic diagram of FIG.
[0038]
As shown in FIG. 3, the change characteristic of R transmittance (light quantity), the change characteristic of G transmittance (light quantity), and the change characteristic of B transmittance (light quantity) with respect to the cell gap d are different. When the cell gap d is about 4.2 μm and the cell gap d is smaller than this, the rate of change of the R light quantity with respect to the cell gap d is greater than the G light quantity with respect to the cell gap d. The rate of change is larger than the rate of change, and it can be seen that the amount of R light reacts more sensitively to the increase and decrease of the cell gap. On the other hand, in the range where the cell gap d is larger than about 4.2 μm, the change rate of the G light amount with respect to the cell gap d is larger than the change rate of the R light amount with respect to the cell gap d. It can be seen that the amount of light reacts more sensitively to the increase and decrease of the cell gap d. Further, regarding the light quantity of B, since the cell gap d has a minimum value at about 3 μm and has a maximum value at about 4.6 μm, specifying the cell gap from the B transmittance is theoretically. It turns out that it is impossible (above).
[0039]
Therefore, as described above, R or G set as a test color by the CPU 15 functioning as a comparison means in accordance with the test and measurement program as described above is a color whose light amount reacts more sensitively to the increase or decrease of the cell gap d. It becomes.
[0040]
Then, the CPU 15 calculates the light amount difference between the first point P1 and the second points P2 to P5 of the inspection color (that is, R or G) set in this way, and the color monitor 20 Is displayed as an index value of cell gap unevenness, for example.
[0041]
As a result, according to the present embodiment, the difference in the amount of light (transmittance) displayed on the screen of the color monitor 20 as the index value of the cell gap unevenness is a predetermined allowable range set in advance by experience or calculation. Whether or not the inspected liquid crystal panel 101 is a non-defective product or a defective product with respect to the cell gap unevenness can be accurately inspected depending on whether or not (for example, about ± 0.00 μm).
[0042]
Further, in the present embodiment, for example, as shown in FIG. 3, for example, the relationship between the R transmittance (light amount) and the cell gap d and the lookup showing the relationship between the B transmittance (light amount) and the cell gap d are shown. A table is stored in advance in the floppy disk 13a. The value of the cell gap d corresponding to the amount of light at the first point P1 and the second points P2 to P5 of the inspection color (that is, R or G) set by the CPU 15 is read from this lookup table. And output as cell gap measurement values (cell gap measurement values at a total of 5 points) at the first point P1 and the second points P2 to P5, respectively.
[0043]
As a result, according to the present embodiment, depending on the size of the cell gap d, the first point P1 and the second point P2 can be obtained using a more appropriate amount of R light (transmittance) or G light amount (transmittance). The cell gap d at the points P2 to P5 can be measured with high accuracy.
[0044]
In particular, in this embodiment, the CPU 15 and the color monitor 20 functioning as output means perform two-dimensional display by pseudo-coloring the output level of the light-receiving signal for the inspection color among the light-receiving signals for RGB for the entire surface of the liquid crystal panel 101. Is configured to do. FIG. 4 shows an example of such a pseudo-colored two-dimensional display.
[0045]
As shown in FIG. 4, the screen 20a of the color monitor 20 has a cell gap smaller than that on the basis of the cell gap value at the first point P1 located at the center of the surface of the liquid crystal panel 101, for example. A pseudo color surface 102 is displayed in which the portion is red, the portion having a larger cell gap is yellow, and the difference from the cell gap value at the first point P1 corresponds to the color density. .
[0046]
As a result, according to the inspection apparatus 100, the difference in the cell gap d between the central portion and the end portion of the liquid crystal panel 101 can be visually recognized as a color difference on the screen 20a of the color monitor 20.
[0047]
Furthermore, in this embodiment, according to the inspection and measurement program, the CPU 15 also functions as an example of a determination unit, and an inspection color (R or G) between the first point P1 and the second points P2 to P5. ) Is automatically determined whether or not the difference in light quantity is within a preset allowable range. As the determination result, a column indicating the determination result is provided on the display screen for each cell gap between each point, and text data such as “good” or “defective” is displayed in this column. Alternatively, text data such as “defective product” may be displayed as a determination result for the entire liquid crystal panel 101 when there is a difference in the amount of light that is not within the allowable range. In the upper left area of the display screen 20a shown in FIG. 4, text data 20b “defective product” is displayed as such a determination result.
[0048]
As described above, according to the inspection apparatus 100 of the present embodiment, not only the difference between the cell gaps d at the center and the end of the liquid crystal panel 101 can be automatically compared, but also automatically a good product or a defective product. This is convenient because the determination result is output.
[0049]
Note that the CPU 2 sets the G light amount as the inspection color when the G light amount is not smaller than the R light amount as a result of comparing the R light amount and the G light amount. The R light amount may be set as an inspection color, and the cell gap unevenness inspection or the cell gap measurement may be performed using the R light amount.
[0050]
Next, a procedure for cell gap unevenness inspection and cell gap measurement using the inspection apparatus 100 of the present embodiment will be described. It is assumed that the floppy disk 13a loaded in the inspection apparatus 100 stores in advance a lookup table indicating the values of the cell gaps corresponding to the R and G light quantities.
[0051]
First, the white balance of the color CCD camera 1 is taken before the liquid crystal panel 101 is actually imaged. In this process, before the liquid crystal panel 101 is placed on the backlight 110 on the photographing stand, only the backlight 110 is placed on the photographing stand, light reception signals are obtained for each of RGB, and the output level of each light reception signal is set. Set the gain of each color so that they are the same. By adopting white balance in this way, it is possible to correct light source unevenness and lens unevenness in the received light signal regardless of the color temperature.
[0052]
Next, the liquid crystal panel 101 is placed on the backlight 110 on the photographing stand, and the entire surface of the liquid crystal panel 101 is imaged by the color CCD camera 1, and received light signals for RGB are output. Then, the R light amount and the G light amount at the first point P1 and the second points P2 to P5 on the imaged surface are detected from the received light signals for each of RGB by the personal computer 10, and then For one point P1 and the second points P2 to P5 (for example, the first point P1), the light quantity of R and the light quantity of G are compared, and corresponds to the light quantity that is not small. R or G is set as the inspection color. As described above, R or G set as the inspection color is a color that reacts more sensitively to the increase or decrease of the cell gap d as described above.
[0053]
Next, the difference in light quantity between the first point P1 and the second points P2 to P5 of the inspection color (that is, R or G) set in this way is displayed on the screen of the color monitor 20 as a cell. Each is displayed as an index value of gap unevenness.
[0054]
In parallel with this, the value of the cell gap corresponding to the amount of light at the first point P1 and the second points P2 to P5 of the inspection color (that is, R or G) is stored in the floppy disk 13a. It is read from the uptable and output as cell gap measurement values (five measurement values) at the first point P1 and the second points P2 to P5, respectively.
[0055]
Then, the inspector views the difference in light quantity for the more appropriate light quantity R or G light quantity on the color monitor 20 according to the size of the cell gap, and then the displayed light quantity difference falls within the allowable range. Judge whether it is in or not.
[0056]
As described above, it is possible to accurately inspect whether the inspected liquid crystal panel 101 is a good product or a defective product with respect to the cell gap unevenness.
[0057]
In addition, the cell gap can be accurately measured using a more appropriate amount of R light or G light depending on the size of the cell gap.
[0058]
In the present embodiment, in particular, as described above, the output level of the light-receiving signal for the inspection color is pseudo-colored and two-dimensionally displayed on the entire surface of the liquid crystal panel 101 on the screen 20a of the color monitor 20 as described above. (See FIG. 4). Therefore, the inspector who sees this can visually recognize the difference in the cell gap d between the central portion and the end portion of the liquid crystal panel 101 as the color difference on the screen of the color monitor 20.
[0059]
In the present embodiment, in particular, whether the difference in the amount of light of the inspection color between the first point P1 and the second points P2 to P5 is within the allowable range by the personal computer 10 as described above. No is automatically determined and the determination result is displayed on the screen 20a of the color monitor 20. Therefore, it is convenient for the inspector to easily know whether or not the inspected liquid crystal panel 101 is a non-defective product or a defective product with respect to the cell gap unevenness.
[0060]
(Second Embodiment)
FIG. 5 shows the overall configuration of a cell gap unevenness inspection apparatus that also has the function of the cell gap measurement apparatus according to the present invention. In FIG. 5, the same components as those in the first embodiment shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
[0061]
In FIG. 5, the inspection apparatus 200 includes a color CCD camera 1, an A / D converter 31, an RG comparison and selection unit 33, a PROM (R) 35, a PROM (G) 36, and an input changeover switch 37. , And a gap measurement and gap nonuniformity inspection output device 38.
[0062]
When the RGB received light signals from the color CCD camera 1 are respectively input, the A / D converter 31 performs AD conversion on these signals and outputs digital signals for RGB. The A / D converter 31 is configured to always pass the R and G digital signals to the RG comparison / selector 33.
[0063]
The RG comparison / selector 33 functions as an example of detection means and comparison means in accordance with the inspection and control logic, and is shown in FIG. 2 on the liquid crystal surface 101a of the liquid crystal panel 101 from the digital signals for RGB converted by AD conversion. The R light amount and the G light amount at the first point P1 and the four second points P2 to P5 are detected, respectively. Furthermore, the R light amount (transmittance) and G light amount (transmittance) detected for one point (for example, only the first point P1) of the first point P1 and the second points P2 to P5, And R or G corresponding to the light quantity that is not smaller is set as the inspection color.
[0064]
The PROM (R) 35 constitutes an example of a storage unit, and stores a lookup table in which each value of the cell gap for each light quantity of R is set in advance. Then, the PROM (R) 35 is programmed so that the value of the cell gap d corresponding to the light quantity at each of the first point P1 and the second points P2 to P5 is read from the stored lookup table. Yes.
[0065]
The PROM (G) 36 constitutes an example of a storage unit, and stores a lookup table in which each value of the cell gap for each light quantity of G is set in advance. Then, the PROM (G) 36 is programmed so that the value of the cell gap d corresponding to the light quantity at each of the first point P1 and the second points P2 to P5 is read from the stored lookup table. Yes.
[0066]
Then, the RG comparison of the cell gap measurement values at the first point P1 and the second points P2 to P5 read out in this way and the inspection color set by the selector 33 (that is, R or G). ) Is input to the gap measurement and gap nonuniformity inspection output unit 38 via the input changeover switch 37.
[0067]
The gap measurement and gap nonuniformity inspection output unit 38 receives the cell gap corresponding to the light quantity at the first point P1 and the second points P2 to P5 of the inspection color (that is, R or G) thus input. The value of d is configured to be output on a display screen or paper. At the same time, the gap measurement and gap nonuniformity inspection output unit 38 calculates the cell gap difference based on the amount of the inspection color (R or G) between the first point P1 and the second points P2 to P5. An index value for gap unevenness is output on a display screen or paper.
[0068]
Therefore, as in the case of the first embodiment, R or G set as an inspection color by the RG comparison and selector 33 is a method in which the amount of light reacts more sensitively to the increase or decrease of the cell gap d. It becomes the color. As a result, according to the present embodiment, depending on the size of the cell gap d, the first point P1 and the second point P2 can be obtained using a more appropriate amount of R light (transmittance) or G light amount (transmittance). The cell gap d at the points P2 to P5 can be measured quickly and accurately. Further, the liquid crystal panel inspected according to whether or not the difference between the cell gaps output from the gap measurement and gap unevenness inspection output unit 38 as an index value of the cell gap unevenness is within a predetermined allowable range set in advance. It is possible to quickly and accurately inspect whether 101 is a non-defective product or a defective product with respect to cell gap unevenness.
[0069]
In the first and second embodiments described above, as shown in FIG. 3 due to the difference in the spectral characteristics of the color CCD camera 1 and the difference in the color temperature of the backlight 110 mounted on the photographing stand. The characteristics vary. Therefore, the aforementioned look-up table for one characteristic as shown in FIG. 3 is prepared in advance, and parameters such as the spectral characteristics of the color CCD camera 1 and the color temperature of the backlight 110 are set during actual inspection. It is preferable to correct each cell gap value read from the lookup table according to the difference. Such correction is performed, for example, in the case of the first embodiment, in the inspection and measurement program for controlling the CPU 2, the cell gap values read from the look-up table and the parameters such as the spectral characteristics described above. It is sufficient to incorporate a correction program using a predetermined function that receives and as inputs. Alternatively, in the case of the second embodiment, such a correction program may be incorporated in the PROM (R) 35 or PROM (G) 36. Further, correction of the shading of the lens of the color CCD camera 1 (peripheral luminance unevenness), the material of the liquid crystal, and the like may be performed.
[0070]
Although a color CCD camera has been described as an example of a light receiving element, other solid-state imaging elements, television cameras, optical fibers, and the like can be used as the light receiving elements. In particular, when a television camera of the NTSC system or the PAL system is used as a light receiving element, the color difference can be obtained by extracting the R or G color difference signals included in the NTSC signal or the PAL signal and applying the present invention as the light receiving signal. It is possible to measure the cell gap based on the signal and to output an index value indicating cell gap unevenness. Furthermore, even when the reflected light from the liquid crystal panel is received as well as the transmitted light, it is possible to measure the cell gap and output the index value indicating the unevenness of the cell gap as in the case of using the transmitted light. .
[0071]
As described above, according to the first and second embodiments, the cell gap unevenness of the liquid crystal panel can be inspected with high accuracy, and the cell gap can be measured with high accuracy.
[0072]
【The invention's effect】
According to the cell gap unevenness inspection apparatus and method of the present invention, it is possible to accurately inspect whether the liquid crystal panel is non-defective or defective with respect to the cell gap unevenness. In addition, the cell gap unevenness can be visually recognized by pseudo-coloring the output level of the light reception signal of the inspection color and displaying it two-dimensionally. Furthermore, it is possible to automatically determine whether the liquid crystal panel is a non-defective product or a defective product by determining whether or not the difference in the amount of light of the inspection color is within an allowable range.
[0073]
According to the apparatus and method for measuring the cell gap of the liquid crystal panel of the present invention, the cell gap of the liquid crystal panel can be accurately measured by using the light quantity of R or G. Further, the cell gap can be measured quickly by storing the lookup table in the PROM.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a first embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a liquid crystal panel inspected by the inspection apparatus of FIG.
FIG. 3 is a characteristic diagram showing a relationship between a cell gap and transmittance (light quantity) of each color in a liquid crystal panel.
4 is a plan view showing an example of a display screen of a color monitor provided in the inspection apparatus of FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a block diagram showing an overall configuration of a second embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.
[Explanation of symbols]
1. Color CCD camera
10 ... PC
11 ... External input terminal
12 ... Interface board
13 ... FD drive
13a ... floppy disk
15 ... CPU
20. Color monitor
20a ... display screen
31 ... A / D converter
33 ... RG comparison and selector
35 ... PROM (R)
36 ... PROM (G)
37 ... Input selector switch
38 ... Gap measurement and gap unevenness inspection output device
100: Inspection device
110 ... Backlight
101 ... LCD panel
101a ... The surface of the liquid crystal panel
200: Inspection device

Claims (7)

面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段と、
該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、
前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力手段と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップむら検査装置。A planar light source;
A light receiving element that receives R (red), G (green), and B (blue) light from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source, and outputs a light reception signal;
Detecting means for detecting the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points respectively located at the four corners from the received light signals for each of RGB;
R or G corresponding to the light quantity that is not smaller is compared with the magnitude of the light quantity of R and the light quantity of G detected at one of the first point and the second point by the detecting means. Comparison means to set as inspection color,
A liquid crystal panel cell comprising: output means for outputting a difference in light quantity of the inspection color between each of the first point and the second point as an index value of cell gap unevenness; Gap unevenness inspection device. 前記出力手段は、前記ＲＧＢ別の受光信号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの表面全体について擬似カラー化して２次元表示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置。The output means includes color display means for performing two-dimensional display by pseudo-coloring the output level of the inspection light reception signal among the RGB light reception signals for the entire surface of the liquid crystal panel. The apparatus for inspecting cell gap unevenness of a liquid crystal panel according to claim 1. 前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置。The apparatus further comprises determination means for determining whether or not a difference in light amount of the inspection color between the first point and the second point is within a preset allowable range. The apparatus for inspecting unevenness in a cell gap of a liquid crystal panel according to claim 1 or 2. 面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出工程と、
該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較工程と、
前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力する出力工程と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップむら検査方法。A light receiving process for receiving R (red), G (green), and B (blue) different light from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source, and outputting a received light signal;
A detection step of detecting the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points respectively located at the four corners from the received light signals for each of RGB,
R or G corresponding to the smaller light quantity is compared with the magnitude of the R light quantity and G light quantity detected for one of the first point and the second point in the detection step. Comparison process to set as inspection color,
A liquid crystal panel cell comprising: an output step for outputting a difference in light quantity of the inspection color between each of the first point and the second point as an index value of cell gap unevenness; Gap unevenness inspection method. 面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段と、
該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、
前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、
前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手段と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップ測定装置。A planar light source;
A light receiving element that receives R (red), G (green), and B (blue) light from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source, and outputs a light reception signal;
Detecting means for detecting the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points respectively located at the four corners from the received light signals for each of RGB;
R or G corresponding to the light quantity that is not smaller is compared with the magnitude of the light quantity of R and the light quantity of G detected at one of the first point and the second point by the detecting means. Comparison means to set as inspection color,
Storage means for storing a lookup table in which each value of the cell gap for each light quantity of R and G is preset;
The cell gap value corresponding to the light quantity of the inspection color at each of the first point and the second point is read from the lookup table, and the first point and the second point are respectively read A cell gap measuring device for a liquid crystal panel, comprising output means for outputting each of the measured cell gap values in the liquid crystal panel. 前記記憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出して出力するようにプログラムされたＰＲＯＭ（プログラマブル読み出し専用メモリ）から構成されていることを特徴とする請求項５に記載の液晶パネルのセルギャップ測定装置。The storage means and the output means store the lookup table and are programmed to read out and output the cell gap value corresponding to the light quantity of the inspection color from the lookup table (programmable PROM). 6. The cell gap measuring device for a liquid crystal panel according to claim 5, wherein the cell gap measuring device comprises a read-only memory. 面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力する受光工程と、
該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出工程と、
該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する比較工程と、
前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力工程と
を備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャップ測定方法。A light receiving process for receiving R (red), G (green), and B (blue) different light from the surface of the liquid crystal panel placed on the planar light source, and outputting a received light signal;
A detection step of detecting the R light amount and the G light amount at the first point located at the center of the surface of the liquid crystal panel and the four second points respectively located at the four corners from the received light signals for each of RGB,
R or G corresponding to the smaller light quantity is compared with the magnitude of the R light quantity and G light quantity detected for one of the first point and the second point in the detection step. Comparison process to set as inspection color,
The cell gap value corresponding to the light amount of the inspection color at each of the first point and the second point is set in advance as the cell gap value corresponding to the R and G light amounts, respectively. And an output step of reading out from the look-up table stored in the storage means and outputting each as a cell gap measurement value at each of the first point and the second point. Cell gap measurement method.
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