JP3655994B2

JP3655994B2 - Dust removal equipment

Info

Publication number: JP3655994B2
Application number: JP06007198A
Authority: JP
Inventors: 和彦河地; 久美子矢之目
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1998-03-11
Filing date: 1998-03-11
Publication date: 2005-06-02
Anticipated expiration: 2018-03-11
Also published as: JPH11253897A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置に使用されるガラス基板等の製造工程時に、ガラス基板等の表面に付着した塵を除去することができる除塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４Ａおよび図５は、従来の除塵装置を側面から見た断面図および平面図である。
図４Ａに示す除塵装置２０は、四角柱状のクリーニング用のヘッド部２ａ，２ｂが並列して形成され、その長手方向の一面がガラス基板（ワーク）１の面に対向して配置されている。ガラス基板１と対向する面には、それぞれスリット３ａ，３ｂが長手方向に直線状に形成されている。なおガラス基板１は、除塵装置２０に対して矢印Ｗ方向へ進行する。
【０００３】
除塵装置２０は、ガラス基板１に対してガラス基板１の下流側からエアーを吹付けて上流側でそのエアーを吸い込み、ガラス基板１上の塵を除去できるように形成されている。
すなわち、除塵装置２０の下流側に形成されたヘッド部２ａは、エアーを噴出させることができるエアー排出室Ｐを有し、上流側に形成されたヘッド部２ｂは、前記ヘッド部２ａから排出されたエアーを吸い込むことが可能なエアー吸引室Ｖを有している。
【０００４】
上記のような除塵装置２０を使用することにより、図４Ａの実線矢印Ｆ１で示されるようなエアーの流れが形成され、ガラス基板１上に付着した塵を浮かせて除去できるようになっている。
さらに、ヘッド部２ａの内部には超音波発生装置５が取付けられている。この超音波発生装置５は、超音波を発生させることができ、ここで発生した超音波をエアーに当てることによってエアーを振動させ、塵を除去する効果を高めている。
【０００５】
また、ヘッド部２ａ，２ｂには、エアーを排出および吸引させるための装置として、図５に示すようなブロアユニット６が配管７，８を用いて接続されている。またブロアユニット６には、フィルターが取付けられており、常にクリーンなエアーがエアー排出室Ｐからガラス基板１上に吹付けられるようになっている。
【０００６】
図４Ｂは、従来の除塵装置３０の他の形態を示す。この除塵装置３０は、３つのクリーニング用のヘッド部２ａ，２ｂ，２ｃにより形成されている。ガラス基板１の進行方向Ｗに対して一番下流側にエアー排出室Ｐが形成され、その上流側にエアー吸引室Ｖ、そしてその上流側にエアー排出室Ｐがそれぞれ連続して形成されている。また、上記と同様にクリーニング用のヘッド部２ａ，２ｃの内部には超音波発生装置５，５が形成され、ここで発生した超音波をエアーに当てて振動させることができるようになっている。
また、その他の従来の除塵装置としては、図４Ａに示す除塵装置２０を２台連結したタイプの装置も使用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の装置では、以下に示す問題があった。
図４Ａと図５に示す除塵装置２０では、ガラス基板１に向けてヘッド部２ａからエアーを吹付け、それによってガラス基板１上から剥離された塵の一部が、ヘッド部２ｂによりすべての塵を吸引することができず、前記塵がヘッド部２ｂの上流側へと逃げてしまい（点線矢印方向Ｆ１ａ）、ガラス基板１上から剥離した塵を再び剥離しなければならず洗浄効率が悪く、またヘッド部２ａによるエアーの排出圧力によって塵を再び周囲に撒き散らすことになるという問題があった。
【０００８】
また、図４Ｂに示す除塵装置３０を使用した場合には、ヘッド部２ａおよび２ｃのエアーの排出によって剥離された塵は、その中間に位置するヘッド部２ｂによって吸引される。しかし、すべて吸引できずにヘッド部２ｃの上流側へと漏れたり（Ｆ２）、あるいはヘッド部２ｃで剥離された塵が、ヘッド部２ｂではすべて吸引できずにヘッド部２ａの下流側に漏れてしまい（Ｆ２）、すでにきれいになったガラス基板１表面が再び汚れてしまうという問題があった。
【０００９】
さらに、図４Ａに示す除塵装置２０を２台組合わせたタイプの除塵装置では、下流側の１台目の除塵装置２０で塵の除去が行なわれ、続いて上流側に形成された除塵装置２０で前回除去できなかった塵の除去が行なわれるが、この場合も図４Ａに示す除塵装置２０と同様に、ガラス基板１から剥離された塵がすべて吸引できずに上流側の２台目の除塵装置２０のヘッド部２ｂの上流側に漏れてしまうという問題があった。
【００１０】
すなわち、前記した２台組合わせたタイプの除塵装置では、各除塵装置２０，２０にブロアユニットが接続され、どちらの除塵装置も装置が有している１００％の出力でエアーの排出が行われる。したがって、上流側に形成された２台目の除塵装置２０で再度塵を除去しようとしても、ヘッド部２ａのエアーの排出力が大きすぎて、ガラス基板１から剥がされた塵が除塵装置２０の上流側に漏れ出てしまうためであった。
またガラス基板１とヘッド部２ａ，２ｂ，２ｃとのギャップを調整する場合には、ガラス基板を載せるステージの高さ調整および平行出しを行なわなければならず、非常に手間のかかるものであった。
【００１１】
またガラス基板１は通常帯電しているため、ガラス基板１には静電気により塵が付着している。このため除塵装置２０，３０の上流側にイオンを発生させることができる除電装置が設置されているが、ガラス基板１とヘッド部２ｂ，２ｃとの隙間からエアーが吹き出すと、そのエアーの風圧によって、発生したイオンが流されてガラス基板上に到達できず、除電効果が悪くなるという問題もあった。
また、図４Ｂに示す除塵装置３０では、ブロアユニット６が１台で形成されているためヘッド部２ｃのエアーの排出力を弱めようとするとヘッド部２ａの排出力まで弱くなってしまうという問題がある。
【００１２】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、ステージを調整せず且つ除電装置に悪影響を与えずしかも塵を含んだエアーを周囲に撒き散らさずに、ワーク上の塵を完全に除去することができる除塵装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の除塵装置は、エアーを排出させるエアー排出室とエアーを吸引するエアー吸引室とを設け、ワーク表面に付着した塵にエアーを吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を吸引し、ワーク表面を洗浄する除塵装置において、
エアー排出室とエアー吸引室とが設けられたクリーニングヘッドを複数組設け、ワーク進行方向に対して上流側に位置するエアー排出室のエアー排出力を下流側に位置するエアー排出室のエアー排出力よりも弱くしたことを特徴とするものである。
【００１４】
上記のように上流側のエアー排出室の圧力を下流側より弱く設定することにより、通常の圧力でエアーを排出するよりも、下流側で除去しきれずに残った塵を周囲に撒き散らさずに確実に取り込むことができる。
【００１５】
すなわち、上流側のエアー排出室の圧力を通常の圧力に設定すると、下流側で除去しきれなかった塵がさらに前回と同等の圧力でエアーが排出されて塵をさらに周囲に撒き散らすという問題が発生するが、上流側のエアー排出室の圧力を下流側のエアーの排出室の圧力より弱めることにより、前述した問題が解決される。
【００１６】
この場合の手段としては、エアー排出室側の経路のいずれかにバルブを設け、エアーをリークさせるようにすることができる。例えば、エアーの排出および吸引を行なうユニットとエアー排出室とを接続する配管部分にバルブを設けてもよい。
【００１７】
上記のように形成することにより、除塵装置自体を大幅に設計変更することもなく安価に形成でき且つ容易にエアー排出室の圧力を変更することができる。また、ワークとクリーニングヘッドとの間のギャップから漏れるエアーの漏れ量を調節するために、ステージの高さ調整や平行出しという面倒な作業を行なう必要がない。
【００１８】
上記においては、下流側にエアー排出室および上流側にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘッドを連続して２組設けてもよい。あるいは、一方にエアー排出室および他方にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘッドを連続して２組設け且つ前記エアー吸引室同士が向かい合うように配置してもよい。
【００１９】
この場合も同様に上流側のエアー排出室の圧力を下流側のエアー排出室の圧力よりも弱めに設定する。これによって、ワークとクリーニングヘッドとの隙間から塵を含んだエアーが漏れることを防止できる。
【００２０】
また、クリーニングヘッドの上流側には、ワーク表面に静電気の影響で付着した塵を除去するための除電装置が取付けられているが、この除電装置が取付けられている場合でも、ワークとクリーニングヘッドとの隙間からエアーがほとんど漏れないようにすることによって除電装置から発生するイオンが流され、イオンがワークに到達できず除電効果が低下するといったことが防止される。
【００２１】
また、各エアー排出室のエアー吹出口が、対になっているエアー吸引室の方向に斜めに形成されていることが好ましい。
【００２２】
上記手段により、ワーク表面に付着した塵を効率良く剥がすことができ、よって洗浄効果を上げることができ、しかも排出されたエアーがクリーニングヘッド外へ漏れてしまうことが防止される。
【００２３】
なお、エアー排出室のエアー吹出口に超音波発生装置を設けてもよい。この場合超音波をエアーに当ててエアーを振動させ、この振動したエアーを塵に当てることにより、ワーク表面に付着した塵をさらに確実に除去することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の除塵装置について図面を参照して説明する。
図１は本発明の除塵装置１０を示す平面図、図２はクリーニングヘッド２を示す断面図である。この除塵装置１０は、液晶表示装置に使用されるガラス基板の製造工程においてガラス基板１上に付着した塵を除去するために使用される。
除塵装置１０は、２つの除塵装置が組み合わされて形成されたものであり、一方の除塵装置１０Ａは、クリーニング用のヘッド部２ａ，２ｂ、ブロアユニット６および前記ヘッド部２ａ，２ｂとブロアユニット６とを結ぶ配管７，８により形成されている。もう一方の除塵装置１０Ｂは、ヘッド部２ｃ，２ｄ、ブロアユニット６、前記ヘッド部２ｃ，２ｄとブロアユニット６とを結ぶ配管７，８およびバルブ１１により形成されている。
【００２５】
除塵装置１０Ａのヘッド部２ａ，２ｂは、四角柱状の筐体により形成され、その内部が完全にエアーの流れが遮断されてヘッド部２ａおよび２ｂの２部屋に仕切られている。前記ヘッド部２ａは、エアーを排出する側のヘッドであり、ヘッド部２ａの下面すなわちガラス基板１と対向する面の長手方向に沿って直線状にスリット３ａが形成されている。また、ヘッド部２ｂも上記ヘッド部２ａと同様にガラス基板１と対向する面側にスリット３ｂが形成されている。
スリット３ａは、図２に示すように、ガラス基板（ワーク）１の進行方向Ｗに対して上流方向側へ斜めに切欠きが形成されている。また、スリット３ｂは、ヘッド２ａからのエアーを吸い込み易いようにガラス基板１の進行方向Ｗに対して下流方向側へ斜めに切欠きが形成されている。
【００２６】
ヘッド部２ａ，２ｂはそれぞれ配管７，８に接続され、さらに前記配管７，８はブロアユニット６に接続されている。
ブロアユニット６は、エアーの排出および吸引を行なう装置であり、エアーを排出させる側（Ｐ：プレッシャー側）は、ブロアユニット６で生成されたエアーが配管７を通りヘッド部２ａ内に送り込まれる。またこのときクリーンなエアーを送り込むために、ブロアユニット６には塵等を除去できるフィルターが設けられている。
【００２７】
一方エアーを吸入する側（Ｖ：バキューム側）は、ヘッド部２ｂで吸引された塵を含んだエアーが配管８を通りブロアユニット６へ吸い込まれる。
これら除塵装置１０Ａおよび１０Ｂは、図２に示すように並列に配置されて形成されている。
除塵装置１０Ｂは、前記除塵装置１０Ａと同様な装置で形成され、さらにこの装置に配管７の経路上にバルブ１１が設けられている。このバルブ１１は、ブロアユニット６から送られてきたエアーを一部外部に開放することによってプレッシャー側のヘッド部２ｃから排出されるエアーの圧力を弱めることができるようになっている。
【００２８】
また各除塵装置１０Ａ，１０Ｂの各ヘッド部２ａ，２ｃ内には、超音波発生装置５，５が設けられ、この超音波発生装置５，５によって発生した超音波をエアーに当ててエアーを振動させ、この振動したエアーをガラス基板１表面に吹付けることによってガラス基板１上の塵を取り除き易いようになっている。
上記のように本発明の除塵装置１０は、２台の除塵装置１０Ａおよび１０Ｂを連結して形成し、かつ上流側の除塵装置１０Ｂのプレッシャー側にバルブ１１を設けることにより、下流側の除塵装置１０Ａのプレッシャー側のエアーの圧力より弱くできるように形成されている。
【００２９】
上記の除塵装置１０を使用してガラス基板１上に付着した塵を取り除く際のエアーの流れについて説明する。
図２に示されているように、本発明の除塵装置１０は、ステージ１２上に載置されたガラス基板１の進行方向Ｗに対して下流側からヘッド部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが順番に形成されている。
一番下流側のヘッド部２ａからは通常の圧力のエアーが排出されるが、このときヘッド部２ａの開口部に形成されたスリット３ａが上流側に向けて斜めに切り欠かれているため、エアーは上流方向に斜めに吹付けられる（矢印Ｆ１）。
【００３０】
ヘッド部２ａから排出されたエアーは、ガラス基板１上の塵を剥離しながら矢印Ｆ１で示されるエアーの流れに沿って上流方向へと流れる。上流方向へ流れたエアーは、前記ヘッド部２ａに隣接して形成されているヘッド部２ｂのスリット３ｂの開口部から吸引される。
しかしながら、このヘッド部２ｂにおいて前記で剥離された塵をすべて取り込むことはできず、その一部がさらに上流側へ、ヘッド部２ａから排出されるエアーの圧力によって漏れ出てしまう（矢印Ｆ４）。
【００３１】
この場合、ヘッド部２ｂの上流側へエアーが漏れ出ないようにヘッド部２ａから排出されるエアーの排出力を弱めてしまうと、洗浄効果が低下するため好ましくない。そのため、ヘッド部２ａの排出力は通常の出力で行なうことが好ましい。
上記で一部取り込むことができなかった塵は、さらに上流側に形成された除塵装置１０Ｂによって取除かれる。この除塵装置１０Ｂのヘッド部２ｃからは、除塵装置１０Ａから排出されるエアーよりも弱い圧力を有するエアーが排出される。
【００３２】
この場合のエアーの排出圧力の調整は、配管７に形成されたバルブ１１を調節することにより行なう。エアーの排出圧力をより低く設定したい場合にはバルブをさらに開放しエアーをより多くリークさせることにより、ヘッド部２ｄからの吸引量を低下させずにヘッド部２ｃからの排出圧力を調節することができる。
前記除塵装置１０Ａで取除くことができなかった一部の塵はエアーと共に、前記ヘッド部２ｃの排出圧力によりさらに上流側へと送られ、ヘッド部２ｄによって前記ヘッド部２ｂで回収できなかった塵と共に吸引される（矢印Ｆ３）。
【００３３】
図３は、本発明の除塵装置の他の実施の形態を示す断面図である。
図３に示す除塵装置１５は、上記した除塵装置１０と同様に２台の除塵装置１５Ａ，１５Ｂを組合わせて形成されている。この除塵装置１５は、上流側の除塵装置１５Ｂのプレッシャー側のヘッド部２ｃとバキューム側のヘッド部２ｄの位置を逆にして形成されている。
この除塵装置１５では、ヘッド部２ａから排出されたエアーは塵と共にヘッド部２ｂで吸引される（矢印Ｆ１）が、ヘッド部２ｂで回収しきれずに残った塵がさらに上流側へと押し出される（矢印Ｆ４）。除塵装置１５Ａで漏れ出てきた塵は、除塵装置１５Ｂにおけるヘッド部２ｃのエアーによって剥離された塵と共にヘッド部２ｄで吸引される。
【００３４】
この場合、除塵装置１５Ａ側から漏れてきた塵は、除塵装置１５Ｂにおいて排出される側のエアーがリークされているため、そのエアー排出の圧力によって再び下流側に押し戻されることがなく、最終的に塵はすべてヘッド部２ｄで吸引されて除去される。
またこの除塵装置１５に形成されるスリット３ａ，３ｄは上流側に向いて斜めに切り欠かれて形成され、スリット３ｂ，３ｃは下流側に向いて斜めに切り欠かれて形成されている。
【００３５】
この場合、スリット３ｃは、下流方向に斜めに切り欠かれていることにより排出されたエアーによって塵がヘッド部２ｃの上流側へ流れ出てしまうことが抑えられる。また、スリット３ａは上流側に斜めに切り欠かれていることにより、剥離された塵がすでに洗浄された下流側のガラス基板１上に撒き散らされることが防止される。
スリットの形状は、ガラス基板１上から剥離された塵を吸引し易いようにエアーの吸引側の開口部を排出側よりも大きく形成してもよい。
【００３６】
また、除塵装置１０Ａ，１５Ａのエアー排出側にもバルブ１１を設け、より細かいエアーの排出圧の制御を行なってもよい。
本発明の除塵装置は、エアー排出室およびエアー吸引室を有する除塵装置を２台並べて形成することが洗浄面およびコスト面からみて好ましい。
【００３７】
【実施例】
以下、本発明の除塵装置を使用した場合のエアー漏れの効果について詳述する。
［実施例および比較例］
図２で示される除塵装置１０を使用し、クリーニングヘッド２とガラス基板１（ワーク）との隙間Ｑから漏れる風速が０．４ｍ／ｓ（Ｖ２）以下となるように設定した場合の、クリーニングヘッド２とガラス基板１とのギャップと、バルブ１１からリークさせるエアーの風速との関係を測定した。このときのガラス基板１とクリーニングヘッド２とのギャップをＬとし、バルブ１１においてリークさせる風速をＶ１とした。その結果を図６に示す。
【００３８】
また比較例として、図２に示す除塵装置１０を使用し、バルブ１１からエアーをリークさせないようにした場合の、クリーニングヘッド２とガラス基板１とのギャップＬと、クリーニングヘッド２とガラス基板１との隙間Ｑから漏れるエアーの風速Ｖ２との関係を測定した。その結果を図７に示す。
図７の比較例に示すように、エアーをリークさせない場合はギャップＬが大きくなるにつれてエアー漏れの風速Ｖ２が大きくなり、ガラス基板１から剥離した塵を周囲に撒き散らし且つ除電装置にも悪影響を与えるという問題が発生した。
【００３９】
図６に示す実施例においては、バルブからエアーをリークさせることによりたとえギャップＬが大きくなったとしても隙間Ｑからのエアー漏れの風速Ｖ２を０．４ｍ／ｓというほとんど無風状態に近い風速に維持することができ、塵を周囲に撒き散らしたり、除電装置に悪影響を与えることがなかった。また、上記隙間Ｑから漏れる風速Ｖ２を０．４ｍ／ｓ以下に設定することにより、除電装置の設置場所付近では０．２５ｍ／ｓというほとんど無風状態となり好ましい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の除塵装置は、塵を周囲に撒き散らさず且つ除電装置の除電効果を損なうことなく、液晶表示装置に使用されるガラス基板等のワークを洗浄することに優れているものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の除塵装置の全体を示す平面図、
【図２】本発明の除塵装置にかかるクリーニングヘッド部を示す断面図、
【図３】本発明の除塵装置の他の実施の形態を示す断面図、
【図４】Ａ，Ｂは従来の除塵装置を構造別に示す断面図、
【図５】図４Ａに示す除塵装置の平面図、
【図６】本発明の除塵装置にかかるバルブからエアーをリークさせる風速Ｖ１とギャップＬとの関係を示すグラフ、
【図７】バルブからエアーをリークさせない場合の、エアー漏れの風速Ｖ２とギャップＬとの関係を示すグラフ、
【符号の説明】
１ガラス基板
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄヘッド部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄスリット
５超音波発生装置
６ブロアユニット
７，８配管
１０，１５除塵装置
１１バルブ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a dust removing device that can remove dust attached to the surface of a glass substrate or the like during a manufacturing process of the glass substrate or the like used in a liquid crystal display device.
[0002]
[Prior art]
4A and 5 are a cross-sectional view and a plan view of a conventional dust remover as viewed from the side.
In the dust removing device 20 shown in FIG. 4A, square columnar head portions 2a and 2b for cleaning are formed in parallel, and one surface in the longitudinal direction thereof is arranged to face the surface of the glass substrate (workpiece) 1. On the surface facing the glass substrate 1, slits 3a and 3b are formed linearly in the longitudinal direction, respectively. The glass substrate 1 advances in the arrow W direction with respect to the dust removing device 20.
[0003]
The dust removing device 20 is formed so as to be able to remove dust on the glass substrate 1 by blowing air from the downstream side of the glass substrate 1 to the glass substrate 1 and sucking the air on the upstream side.
That is, the head portion 2a formed on the downstream side of the dust removing device 20 has an air discharge chamber P that can eject air, and the head portion 2b formed on the upstream side is discharged from the head portion 2a. It has an air suction chamber V capable of sucking air.
[0004]
By using the dust removing device 20 as described above, an air flow as shown by a solid arrow F1 in FIG. 4A is formed, and dust attached to the glass substrate 1 can be lifted and removed.
Further, an ultrasonic generator 5 is attached inside the head portion 2a. The ultrasonic generator 5 can generate an ultrasonic wave, and by applying the ultrasonic wave generated here to the air, the air is vibrated to enhance the effect of removing dust.
[0005]
Further, a blower unit 6 as shown in FIG. 5 is connected to the head portions 2 a and 2 b using pipes 7 and 8 as a device for discharging and sucking air. Further, a filter is attached to the blower unit 6 so that clean air is always blown from the air discharge chamber P onto the glass substrate 1.
[0006]
FIG. 4B shows another form of the conventional dust removing device 30. The dust removing device 30 is formed by three cleaning head portions 2a, 2b, and 2c. An air discharge chamber P is formed on the most downstream side with respect to the traveling direction W of the glass substrate 1, an air suction chamber V is formed on the upstream side, and an air discharge chamber P is formed on the upstream side. . Similarly to the above, ultrasonic generators 5 and 5 are formed inside the cleaning head portions 2a and 2c, and the generated ultrasonic waves can be vibrated by being applied to air. .
As another conventional dust removing device, a device of a type in which two dust removing devices 20 shown in FIG. 4A are connected is also used.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional apparatus described above has the following problems.
In the dust removing device 20 shown in FIGS. 4A and 5, air is blown from the head portion 2 a toward the glass substrate 1, so that a part of the dust peeled off from the glass substrate 1 is all collected by the head portion 2 b. The dust has escaped to the upstream side of the head portion 2b (dotted arrow direction F1a), the dust peeled off from the glass substrate 1 has to be peeled again, and the cleaning efficiency is poor. In addition, there is a problem that dust is scattered again around by the discharge pressure of the air by the head portion 2a.
[0008]
Further, when the dust removing device 30 shown in FIG. 4B is used, the dust separated by the discharge of air from the head portions 2a and 2c is sucked by the head portion 2b located in the middle thereof. However, all of them cannot be sucked and leak to the upstream side of the head part 2c (F2), or dust peeled off by the head part 2c cannot be sucked by the head part 2b and leaks to the downstream side of the head part 2a. As a result (F2), there is a problem that the surface of the glass substrate 1 that has already been cleaned becomes dirty again.
[0009]
Furthermore, in the type of dust removing device in which two dust removing devices 20 shown in FIG. 4A are combined, dust is removed by the first dust removing device 20 on the downstream side, and then the dust removing device 20 formed on the upstream side. In this case, as in the dust removing device 20 shown in FIG. 4A, all the dust peeled off from the glass substrate 1 cannot be sucked and the second upstream dust removing device is removed. There was a problem of leaking to the upstream side of the head portion 2b of the device 20.
[0010]
That is, in the dust removing device of the type that combines two units as described above, a blower unit is connected to each dust removing device 20, 20, and both the dust removing devices discharge air at 100% output. . Therefore, even if it tries to remove dust again with the second dust removing device 20 formed on the upstream side, the air discharging force of the head portion 2a is too large, and the dust removed from the glass substrate 1 is removed from the dust removing device 20. This was because it leaked upstream.
Further, when adjusting the gap between the glass substrate 1 and the head portions 2a, 2b, 2c, the height of the stage on which the glass substrate is placed must be adjusted and parallelized, which is very time-consuming. .
[0011]
Further, since the glass substrate 1 is normally charged, dust adheres to the glass substrate 1 due to static electricity. For this reason, although the static elimination apparatus which can generate | occur | produce ion is installed in the upstream of the dust removal apparatuses 20 and 30, when air blows off from the clearance gap between the glass substrate 1 and the head parts 2b and 2c, by the wind pressure of the air There is also a problem that the generated ions are flowed and cannot reach the glass substrate, and the effect of eliminating static electricity is deteriorated.
Further, in the dust removing device 30 shown in FIG. 4B, since the blower unit 6 is formed as a single unit, there is a problem that when the air discharging force of the head portion 2c is weakened, the discharging force of the head portion 2a is weakened. is there.
[0012]
The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and does not adjust the stage, does not adversely affect the static eliminator, and does not scatter dust-containing air around the work. An object of the present invention is to provide a dust removing device that can completely remove the dust.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
The dust removing device of the present invention is provided with an air discharge chamber for discharging air and an air suction chamber for sucking air, and blows air to dust adhering to the work surface to float the dust, and then sucks the dust, In the dust remover that cleans the surface,
A plurality of cleaning heads with air discharge chambers and air suction chambers are provided, and the air discharge force of the air discharge chamber located on the upstream side with respect to the workpiece traveling direction is the air discharge force of the air discharge chamber located on the downstream side. It is characterized by being weaker than.
[0014]
By setting the pressure of the air discharge chamber on the upstream side to be weaker than that on the downstream side as described above, it is possible to prevent the remaining dust from being removed on the downstream side from being scattered around the environment rather than discharging air at normal pressure. Can be taken in reliably.
[0015]
That is, if the pressure in the upstream air discharge chamber is set to a normal pressure, the dust that could not be removed on the downstream side will be further discharged with the same pressure as the previous time, and the dust will be scattered further to the surroundings. Although it occurs, the above-mentioned problem is solved by making the pressure of the upstream air discharge chamber weaker than the pressure of the downstream air discharge chamber.
[0016]
As a means in this case, a valve can be provided in any of the paths on the air discharge chamber side to leak the air. For example, a valve may be provided in a pipe portion that connects a unit that discharges and sucks air and an air discharge chamber.
[0017]
By forming as described above, the dust removing device itself can be formed at a low cost without significantly changing the design, and the pressure of the air discharge chamber can be easily changed. In addition, in order to adjust the amount of air leaking from the gap between the workpiece and the cleaning head, there is no need to perform troublesome operations such as adjusting the height of the stage and parallelism.
[0018]
In the above, two sets of cleaning heads each having an air discharge chamber on the downstream side and an air suction chamber on the upstream side may be provided in succession. Alternatively, two sets of cleaning heads each having an air discharge chamber on one side and an air suction chamber on the other side may be provided in succession so that the air suction chambers face each other.
[0019]
In this case as well, the pressure in the upstream air discharge chamber is set to be lower than the pressure in the downstream air discharge chamber. Accordingly, it is possible to prevent air containing dust from leaking through the gap between the workpiece and the cleaning head.
[0020]
Also, on the upstream side of the cleaning head, a static eliminator is attached to remove dust adhering to the work surface due to the effect of static electricity. Even when this static eliminator is attached, the workpiece and the cleaning head By preventing the air from leaking from the gap, ions generated from the static eliminator flow, and the ions cannot reach the workpiece and the static elimination effect is reduced.
[0021]
Moreover, it is preferable that the air outlet of each air discharge chamber is formed obliquely in the direction of the paired air suction chamber.
[0022]
By the above means, dust adhering to the work surface can be efficiently peeled off, so that the cleaning effect can be improved, and the discharged air is prevented from leaking out of the cleaning head.
[0023]
In addition, you may provide an ultrasonic generator in the air blower outlet of an air discharge chamber. In this case, the dust attached to the workpiece surface can be more reliably removed by applying ultrasonic waves to the air to vibrate the air and applying the vibrated air to the dust.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the dust removing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing a dust removing device 10 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cleaning head 2. The dust removing device 10 is used for removing dust adhering to the glass substrate 1 in the manufacturing process of the glass substrate used in the liquid crystal display device.
The dust removing device 10 is formed by combining two dust removing devices, and one dust removing device 10A includes cleaning head portions 2a and 2b, a blower unit 6, and the head portions 2a and 2b and the blower unit 6. Are formed by pipes 7 and 8. The other dust removing device 10B is formed by head portions 2c, 2d, a blower unit 6, pipes 7, 8 connecting the head portions 2c, 2d and the blower unit 6, and a valve 11.
[0025]
The head portions 2a and 2b of the dust removing apparatus 10A are formed by a quadrangular columnar casing, and the interior thereof is completely cut off from the air flow and partitioned into two chambers of the head portions 2a and 2b. The head portion 2a is a head that discharges air, and slits 3a are linearly formed along the longitudinal direction of the lower surface of the head portion 2a, that is, the surface facing the glass substrate 1. The head portion 2b is also formed with a slit 3b on the surface facing the glass substrate 1 in the same manner as the head portion 2a.
As shown in FIG. 2, the slit 3 a is formed with a notch obliquely toward the upstream side with respect to the traveling direction W of the glass substrate (work) 1. Further, the slit 3b is formed with a notch obliquely toward the downstream side with respect to the traveling direction W of the glass substrate 1 so that air from the head 2a can be easily sucked.
[0026]
The head portions 2 a and 2 b are connected to pipes 7 and 8, respectively, and the pipes 7 and 8 are connected to the blower unit 6.
The blower unit 6 is a device that discharges and sucks air. On the air discharge side (P: pressure side), the air generated by the blower unit 6 passes through the pipe 7 and is fed into the head portion 2a. At this time, in order to send clean air, the blower unit 6 is provided with a filter capable of removing dust and the like.
[0027]
On the other hand, on the air suction side (V: vacuum side), air containing dust sucked by the head portion 2 b passes through the pipe 8 and is sucked into the blower unit 6.
These dust removing devices 10A and 10B are arranged in parallel as shown in FIG.
The dust removing device 10B is formed by the same device as the dust removing device 10A, and a valve 11 is provided on the route of the pipe 7 in this device. The valve 11 can weaken the pressure of the air discharged from the pressure-side head portion 2c by partially releasing the air sent from the blower unit 6 to the outside.
[0028]
In addition, ultrasonic generators 5 and 5 are provided in the head portions 2a and 2c of the dust removing apparatuses 10A and 10B. The ultrasonic waves generated by the ultrasonic generators 5 and 5 are applied to the air to vibrate the air. The dust on the glass substrate 1 can be easily removed by blowing the vibrated air onto the surface of the glass substrate 1.
As described above, the dust removing device 10 of the present invention is formed by connecting two dust removing devices 10A and 10B, and by providing the valve 11 on the pressure side of the upstream dust removing device 10B, the downstream dust removing device. It is formed so as to be weaker than the pressure of air on the pressure side of 10A.
[0029]
The flow of air when the dust attached on the glass substrate 1 is removed using the dust removing device 10 will be described.
As shown in FIG. 2, in the dust removing apparatus 10 of the present invention, the head portions 2a, 2b, 2c, and 2d are sequentially arranged from the downstream side with respect to the traveling direction W of the glass substrate 1 placed on the stage 12. Is formed.
Normal pressure air is discharged from the head portion 2a on the most downstream side, but at this time, the slit 3a formed in the opening of the head portion 2a is cut obliquely toward the upstream side, Air is blown obliquely in the upstream direction (arrow F1).
[0030]
The air discharged from the head portion 2a flows in the upstream direction along the air flow indicated by the arrow F1 while peeling the dust on the glass substrate 1. The air flowing in the upstream direction is sucked from the opening of the slit 3b of the head part 2b formed adjacent to the head part 2a.
However, it is not possible to take in all the dust separated in the head portion 2b, and a part of the dust leaks further upstream due to the pressure of the air discharged from the head portion 2a (arrow F4).
[0031]
In this case, if the discharge force of the air discharged from the head part 2a is weakened so that the air does not leak to the upstream side of the head part 2b, the cleaning effect is lowered, which is not preferable. For this reason, it is preferable that the discharging force of the head portion 2a is performed with a normal output.
The dust that could not be partially captured in the above is removed by the dust removing device 10B formed further upstream. From the head portion 2c of the dust removing device 10B, air having a pressure weaker than that of air discharged from the dust removing device 10A is discharged.
[0032]
In this case, the air discharge pressure is adjusted by adjusting a valve 11 formed in the pipe 7. When it is desired to set the air discharge pressure lower, the valve is further opened to leak more air, thereby adjusting the discharge pressure from the head part 2c without reducing the suction amount from the head part 2d. it can.
Part of the dust that could not be removed by the dust removing device 10A is sent to the upstream side by the discharge pressure of the head part 2c together with air, and the dust that could not be recovered by the head part 2b by the head part 2d. And sucked together (arrow F3).
[0033]
FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the dust removing apparatus of the present invention.
The dust remover 15 shown in FIG. 3 is formed by combining two dust removers 15A and 15B in the same manner as the dust remover 10 described above. The dust removing device 15 is formed by reversing the positions of the pressure side head portion 2c and the vacuum side head portion 2d of the upstream dust removing device 15B.
In the dust removing device 15, the air discharged from the head portion 2a is sucked together with dust by the head portion 2b (arrow F1), but the dust remaining without being collected by the head portion 2b is further pushed out to the upstream side ( Arrow F4). The dust leaking out by the dust removing device 15A is sucked by the head portion 2d together with the dust separated by the air of the head portion 2c in the dust removing device 15B.
[0034]
In this case, the dust leaked from the dust removing device 15A side is not pushed back to the downstream side again by the pressure of the air discharge because the air discharged from the dust removing device 15B is leaked, and finally All dust is sucked and removed by the head portion 2d.
In addition, the slits 3a and 3d formed in the dust removing device 15 are formed by being cut obliquely toward the upstream side, and the slits 3b and 3c are formed by being cut obliquely toward the downstream side.
[0035]
In this case, the slit 3c is prevented from flowing out to the upstream side of the head part 2c by the air discharged by being obliquely cut away in the downstream direction. Further, the slit 3a is cut obliquely to the upstream side, so that the separated dust is prevented from being scattered on the glass substrate 1 on the downstream side that has already been cleaned.
As for the shape of the slit, the opening on the air suction side may be formed larger than the discharge side so that dust peeled off from the glass substrate 1 can be easily sucked.
[0036]
Further, a valve 11 may be provided on the air discharge side of the dust removing devices 10A and 15A to perform finer control of the air discharge pressure.
In the dust removing apparatus of the present invention, it is preferable from the viewpoint of cleaning and cost that two dust removing apparatuses having an air discharge chamber and an air suction chamber are arranged side by side.
[0037]
【Example】
Hereinafter, the effect of air leakage when the dust removing apparatus of the present invention is used will be described in detail.
[Examples and Comparative Examples]
The cleaning head when the dust removing device 10 shown in FIG. 2 is used and the wind speed leaking from the gap Q between the cleaning head 2 and the glass substrate 1 (work) is set to 0.4 m / s (V2) or less. The relationship between the gap between 2 and the glass substrate 1 and the wind speed of air leaking from the bulb 11 was measured. At this time, the gap between the glass substrate 1 and the cleaning head 2 was L, and the wind speed at which the valve 11 leaked was V1. The result is shown in FIG.
[0038]
As a comparative example, when the dust removing device 10 shown in FIG. 2 is used and air is not leaked from the valve 11, the gap L between the cleaning head 2 and the glass substrate 1, the cleaning head 2 and the glass substrate 1 The relationship with the wind velocity V2 of air leaking from the gap Q was measured. The result is shown in FIG.
As shown in the comparative example of FIG. 7, when the air is not leaked, the air velocity V2 of the air leak increases as the gap L increases, and the dust peeled off from the glass substrate 1 is scattered around and has an adverse effect on the static eliminator. The problem of giving occurred.
[0039]
In the embodiment shown in FIG. 6, even if the gap L is increased by leaking air from the valve, the wind speed V2 of air leakage from the gap Q is maintained at a wind speed of 0.4 m / s, which is close to a windless state. The dust could not be scattered around the environment and the static eliminator was not adversely affected. Moreover, it is preferable that the wind speed V2 leaking from the gap Q is set to 0.4 m / s or less, so that a windless state of almost 0.25 m / s is obtained in the vicinity of the installation place of the static eliminator.
[0040]
【The invention's effect】
The dust removing device of the present invention is excellent in cleaning a workpiece such as a glass substrate used in a liquid crystal display device without scattering dust around and without deteriorating the charge removing effect of the charge removing device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing the entire dust removing apparatus of the present invention,
FIG. 2 is a sectional view showing a cleaning head portion according to the dust removing apparatus of the present invention;
FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the dust removing apparatus of the present invention;
FIGS. 4A and 4B are cross-sectional views showing conventional dust removing devices according to structure,
FIG. 5 is a plan view of the dust removing device shown in FIG. 4A;
FIG. 6 is a graph showing a relationship between a wind speed V1 for leaking air from a valve according to the dust removing apparatus of the present invention and a gap L;
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the air velocity V2 and the gap L when air is not leaked from the valve;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2a, 2b, 2c, 2d Head part 3a, 3b, 3c, 3d Slit 5 Ultrasonic generator 6 Blower unit 7, 8 Piping 10, 15 Dust removal apparatus 11 Valve

Claims

エアーを排出させるエアー排出室とエアーを吸引するエアー吸引室とを設け、ワーク表面に付着した塵にエアーを吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を吸引し、ワーク表面を洗浄する除塵装置において、
エアー排出室とエアー吸引室とが設けられたクリーニングヘッドを複数組設け、ワーク進行方向に対して上流側に位置するエアー排出室のエアー排出力を下流側に位置するエアー排出室のエアー排出力よりも弱くしたことを特徴とする除塵装置。In a dust removal device that has an air discharge chamber that discharges air and an air suction chamber that sucks air, blows air to dust adhering to the workpiece surface, floats the dust, and then sucks the dust and cleans the workpiece surface ,
A plurality of cleaning heads with air discharge chambers and air suction chambers are provided, and the air discharge force of the air discharge chamber located on the upstream side with respect to the workpiece traveling direction is the air discharge force of the air discharge chamber located on the downstream side. A dust removing device characterized by weakening.

エアー排出室側の経路のいずれかにバルブを設け、エアーをリークさせた請求項１記載の除塵装置。The dust removing apparatus according to claim 1, wherein a valve is provided in any of the paths on the air discharge chamber side to leak air.

下流側にエアー排出室および上流側にエアー吸入室が設けられたクリーニングヘッドを連続して２組設けた請求項１または２記載の除塵装置。3. The dust removing apparatus according to claim 1, wherein two sets of cleaning heads each having an air discharge chamber on the downstream side and an air suction chamber on the upstream side are provided in succession.

一方にエアー排出室および他方にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘッドを連続して２組設け且つ前記エアー吸引室同士が向かい合うように配置された請求項１または２記載の除塵装置。The dust removing device according to claim 1 or 2, wherein two sets of cleaning heads each having an air discharge chamber on one side and an air suction chamber on the other side are provided in succession and are arranged so that the air suction chambers face each other.

各エアー排出室のエアー吹出口が、対になっているエアー吸引室の方向に斜めに形成された請求項１ないし４のいずれかに記載の除塵装置。The dust removing device according to any one of claims 1 to 4, wherein an air outlet of each air discharge chamber is formed obliquely in a direction of a pair of air suction chambers.