JP3654763B2 - Substrate processing equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理液供給ノズルから基板に処理液を供給して基板に所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の円形の基板に処理液を供給して所定の処理を行うために基板処理装置が用いられている。基板処理装置には、基板表面にレジスト液を供給して回転塗布する回転式の塗布装置がある。
【0003】
図7は従来の回転式の塗布装置の概略断面図である。塗布装置では、モータ1の回転軸2の先端に取り付けられた基板保持部3に基板Wが保持され、基板Wの中央上方のレジストノズル9からレジスト液が基板Wの表面に吐出される。そして、基板保持部3を高速回転することによりレジスト液が基板Wの全面に塗り広げられ、薄いレジスト膜が形成される。
【0004】
レジスト膜が形成された基板Wは、基板搬送手段に周辺部を把持されて種々の基板処理装置間を搬送される。上記のように、レジスト膜は基板Wの周辺部にまで塗り広げられている。このため、基板搬送手段により基板の周辺部を把持すると周辺部のレジストが剥離して飛散し、基板中央部のレジスト膜表面を汚染したり、他の基板の表面を汚染したりして、基板処理の歩留まりを低下させる場合がある。
【0005】
この対策として、基板Wの周辺部に塗り広げられたレジスト膜を環状に除去するエッジリンス処理が行われている。エッジリンス処理では、エッジクリーナノズル10がカップ4の外部の待機位置からカップ4内の基板Wの外周部の上方位置に移動する。そして、基板保持部3により基板Wを回転させながら基板Wの外周部にエッジクリーナノズル10からエッジリンス液を吐出して基板Wの外周部のレジスト膜を除去する。
【0006】
図8はエッジリンス処理の模式図である。エッジリンス液41により除去すべきレジスト膜40の幅は数mm程度である。このため、エッジクリーナノズル10の吐出部11の内径を0.2〜0.3mm程度と微小にする必要があり、吐出部11は細い針状に形成されている。そして、エッジリンス液41を基板Wの外方側に向けて噴出するようにエッジクリーナノズル10の吐出部11が基板Wの表面に対して傾けて配置される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
図7に示すように、エッジクリーナノズル10はカップ4の外部の空間に静止して待機する。このため、塗布装置の保守作業時に、カップ4を作業者が上方に持ち上げて取り外す際に、エッジクリーナノズル10の吐出部11に手やカップ4を誤って衝突させる場合がある。吐出部11は注射針のような細管状に形成されており、手やカップ4等が衝突すると容易に折れ曲がってしまう。吐出部11が折れ曲がった状態でエッジリンス液41を吐出すると、エッジリンス液が所望の部分に供給されず、エッジリンス処理が不良となる。特に、吐出部11が基板Wの中央側に曲げられた場合には、エッジリンス液41がレジスト膜40上に吐出され、レジスト膜40を部分的に溶解してしまう。このため、レジスト膜40に多量の不良箇所が発生し、製造歩留まりが大幅に低下して大きな損害が生じるおそれがある。
【0008】
本発明の目的は、処理液供給ノズルの先端部の折れ曲がりによる処理不良を防止することが可能な基板処理装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第1の発明に係る基板処理装置は、基板に処理液を供給して所定の処理を行う基板処理であって、基板を保持する基板保持手段と、基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、基板保持手段に保持された基板の上方の位置と基板の上方から外れた待機位置とに移動可能に設けられ、基板保持手段に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、待機位置において、処理液供給ノズルの先端部の変形を検出する検出手段とを備えたものである。
【0010】
第1の発明に係る基板処理装置においては、基板保持手段に保持され回転駆動される基板に処理液供給ノズルから処理液が供給されて所定の処理が行われる。また、処理液供給ノズルの待機位置には検出手段が設けられている。検出手段は、異物の衝突等によって処理液供給ノズルの先端部が変形した場合に、処理液供給ノズルの先端部の変形を検出する。このため、処理液供給ノズルの先端部の変形に速やかに対処することが可能となり、先端部が変形した処理液供給ノズルが基板の上方の位置で不所望の方向に処理液を供給して基板に処理不良が生じることが防止される。
【0011】
第2の発明に係る基板処理装置は、第1の発明に係る基板処理装置の構成において、検出手段が、処理液供給ノズルの先端部の変形を光学的に検出する光学センサを備えたものである。
【0012】
この場合には、光学センサにより処理液供給ノズルの先端部の変形が検出され、それによって処理液供給ノズルから不所望の方向に処理液が供給されて基板に処理不良が生じることが防止される。
【0013】
第3の発明に係る基板処理装置は、第1または第2の発明に係る基板処理装置の構成において、検出手段が処理液供給ノズルの先端部の変形を検出したことに応答して警報を出力する警報出力手段をさらに備えたものである。
【0014】
この場合、警報出力手段が警報を出力することによって作業者が迅速に処理液供給ノズルの先端部の変形を察知することが可能となり、変形した処理液供給ノズルの動作によって基板の処理不良が生じることを未然に防止できるとともに、処理液供給ノズルの補修等の作業を迅速に行うことが可能となる。
【0015】
第4の発明に係る基板処理装置は、第1〜第3のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成において、処理液供給ノズルの先端部の周囲を取り囲むように設けられたカバー部材をさらに備えたものである。
【0016】
第4の発明に係る基板処理装置においては、処理液供給ノズルに設けられたカバー部材によって作業者の手や基板処理装置の部品等の異物が直接処理液供給ノズルの先端部に衝突することが防止される。これにより、処理液供給ノズルの先端部が変形する事故が未然に防止され、処理液供給ノズルの先端部の変形による基板の処理不良の発生を防止することができる。
【0017】
第5の発明に係る基板処理装置は、第4の発明に係る基板処理装置の構成において、処理液供給ノズルの先端部が細管状吐出部からなり、カバー部材が、細管状吐出部の先端が突出する開口端部を有する円筒状部材からなるものである。
【0018】
この場合、円筒状部材の先端から細管状吐出部の先端を突出させることにより処理液の吐出を可能とするとともに、円筒状部材により細管状吐出部の周囲を防護することにより異物の衝突による処理液供給ノズルの細管状吐出部の折れ曲がり事故を未然に防止することができる。
【0019】
第6の発明に係る基板処理装置は、第1〜第5のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成において、待機位置に設けられ、待機状態の処理液供給ノズルの周囲を取り囲む防護部材をさらに備えたものである。
【0020】
第6の発明に係る基板処理装置においては、待機位置に防護部材が設けられている。防護部材は処理液供給ノズルの周囲を取り囲むように設けられており、待機状態の処理液供給ノズルに異物が直接衝突することを防止する。これにより、処理液供給ノズルの先端部が折り曲げられる事故を未然に防止し、処理液供給ノズルの先端部の変形に起因する基板の処理不良を防止することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の第1の実施例による回転式の塗布装置の平面図であり、図2は図1の塗布装置の断面図である。
【0022】
図1および図2において、塗布装置は、垂直方向に配設された回転軸2を有するモータ1および回転軸2の先端部に接続された基板保持部3を有する。基板保持部3は基板Wを真空吸着して基板Wを水平姿勢に保持する。
【0023】
基板保持部3の周囲には、基板Wに供給された処理液が外方へ飛散することを防止するために中空のカップ4が設けられている。
【0024】
基板保持部3の上方には、レジスト液を基板W上に吐出するレジストノズル9が上下動可能にかつ基板Wの上方位置とカップ4の外側の待機位置との間で移動可能に設けられている。
【0025】
また、基板保持部3の外周部の上方には、基板Wの周辺部にエッジリンス液を吐出するエッジクリーナノズル10が基板Wの外周部の上方の位置とカップ4の外方の待機位置との間で移動可能に設けられている。このエッジクリーナノズル10はカップ4の外側に設けられたノズル駆動部23により駆動される。
【0026】
図3はエッジクリーナノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。ノズル駆動部23は、正逆回転可能なモータ18と、モータ18の回転軸に連結された回転軸19を備える。回転軸19には支持ブラケット20および支持ブロック21が取り付けられている。支持ブラケット20は回転軸19とともに回転可能に取り付けられ、かつエアシリンダ22のロッドに連結されている。これにより、モータ18の回動とともに回動し、エアシリンダ22のロッドの伸縮により上下方向に移動する。
【0027】
支持ブロック21は回動軸17の下端を支持し、モータ18の回転軸19に沿って上下動可能に設けられている。そして、回転軸19の回動とともに回動することによって回動軸17を回転軸19の回転中心の周りに回動し、さらにエアシリンダ22の伸縮による支持ブラケット20の上下移動に伴って回動軸17を上下移動させる。
【0028】
回転軸19の上端には、原点センサ27が取り付けられている。原点センサ27はエッジクリーナノズル10を保持して回動するアーム16の原点位置(待機位置)および基板Wの外周部の上方の位置への移動を検出する。
【0029】
アーム16の一端は回動軸17に固定されている。またアーム16の他端には支持フレーム15が取り付けられている。さらに、支持フレーム15の先端部には取り付けブラケット15aによりエッジクリーナノズル10が取り付けられている。
【0030】
エッジクリーナノズル10はノズル支持部12および細管状の吐出部11を有する。ノズル支持部12にはリンス液供給源(図示せず)からエッジリンス液をエッジクリーナノズル10に導くリンス液供給管13が接続されている。リンス液供給管13の途中にはエッジリンス液の供給動作を開閉するエアバルブ14が設けられている。
【0031】
エッジクリーナノズル10の待機位置には透過型の光学センサ25が取り付けられている。透過型の光学センサ25は光を出射する投光器25aと投光器25aから出射された光を受光する受光器25bとを備える。この光学センサ25は、エッジクリーナノズル10の吐出部11が正常な状態において投光器25aから出射された光がエッジクリーナノズル10の吐出部11により遮られるように配置される。光学センサ25の検出信号は制御器26に出力される。
【0032】
エッジクリーナノズル10の吐出部11が正常な場合、光学センサ25の投光器25aから出射された光は吐出部11により遮られる。このため、受光器25bの受光量は小さくなり、受光量に応じた検出信号が制御器26に出力される。
【0033】
また、エッジクリーナノズル10の吐出部11に変形が生じた場合、光学センサ25の投光器25aから出射された光はエッジクリーナノズル10の吐出部11に遮られることなく受光器25bに入射する。このため、受光器25bの受光量が大きくなり、受光量に応じた検出信号が制御器26に出力される。
【0034】
制御器26は受光器25bからの検出信号に基づいてエッジクリーナノズル10の吐出部11の変形の有無を判定する。そして、吐出部11が変形したと判定した場合、警報部28を駆動して警報音を発する。あるいは、表示装置(図示せず)にエッジクリーナノズル10の吐出部11の変形の発生を表示させる。
【0035】
このエッジクリーナノズル10の変形の有無の検出動作はエッジクリーナノズル10が待機位置へ復帰する度に行われる。エッジクリーナノズル10の待機位置への移動は原点センサ27により検出される。制御器26は原点センサ27からの出力によりエッジクリーナノズル10が待機位置に復帰したことを検出すると、復帰の検出信号をトリガーとして光学センサ25を駆動してエッジクリーナノズル10の変形の検出動作を行う。
【0036】
なお、エッジクリーナノズル10の変形の検出動作は、エッジクリーナノズル10が待機位置に待機している間の所定のタイミングで行ってもよく、また、基板Wの外周上方位置への移動開始直前に行ってもよい。
【0037】
このように、光学センサ25を用いてエッジクリーナノズル10の変形の有無を検出するように構成したことにより、エッジクリーナノズル10の吐出部11の折れ曲がりの検出が可能となり、それによって速やかに対処することが可能となる。
【0038】
本実施例において、基板保持部3が本発明の基板保持手段に相当し、モータ1が駆動手段に相当し、エッジクリーナノズル10が処理液供給ノズルに相当し、光学センサ25が検出手段に相当し、警報部28が警報出力手段に相当する。なお、光学センサ25は透過型に限らず、反射型など他の種類のセンサを用いることも可能である。
【0039】
図4は本発明の第2の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルの斜視図である。第2の実施例による塗布装置では、エッジクリーナノズル10の針状の吐出部11を保護する保護カバー29が取り付けられている。保護カバー29は円筒状に形成され、保護カバー29の開口端部から吐出部11が僅かに突出する長さに形成されている。保護カバー29の開口端部から突出した吐出部11の長さdは約3mmに設定されている。保護カバー29は、保守作業時等に作業者の手や他の部品が直接吐出部11に衝突することを防止する。これにより、剛性の低い針状の吐出部11が折れ曲がることが防止される。
【0040】
本実施例において、保護カバー29が本発明のカバー部材に相当する。
図5は本発明の第3の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。第3の実施例による塗布装置では、待機位置におけるエッジクリーナノズル10の周囲に防護カバー30が設けられている。防護カバー30はエッジクリーナノズル10の周囲を取り囲む箱型形状に形成され、エッジクリーナノズル10の回動方向に開口部30aを有している。
【0041】
待機位置においてエッジクリーナノズル10の周囲を防護カバー30で取り囲むことにより、保守作業時等に作業者の手や部品等が直接エッジクリーナノズル10の吐出部11に衝突することが防止される。これにより、エッジクリーナノズル10の吐出部11の折れ曲がり等の事故が防止される。
【0042】
なお、防護カバー30は箱型形状に限らず、エッジクリーナノズルの周囲を取り囲む任意の形状に形成することができる。また、本実施例においては、防護カバー30が本発明の防護部材に相当する。
【0043】
さらに、図6は本発明の第4の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。第4の実施例による塗布装置では、エッジクリーナノズル10の待機位置に待機ポット31が設けられている。待機ポット31はエッジクリーナノズル10の先端部分を収納する空間を有している。この空間は有機溶剤雰囲気に保持されている。待機ポット31は、待機中のエッジクリーナノズル10の吐出部の先端が乾燥してエッジリンス液が固化することを防止するとともに、エッジクリーナノズル10の吐出部11を保護する働きをなす。すなわち、待機ポット31を設けることにより剛性の低いエッジクリーナノズル10の吐出部11は待機ポット31内に保持される。このため、作業時に、作業者の手や部品等が衝突してエッジクリーナノズル10の吐出部11が折れ曲がることが防止される。
【0044】
本実施例においては、待機ポット31が本発明のカバー部材に相当する。
なお、上記第1〜第4の実施例では、塗布装置のエッジクリーナノズル10の吐出部11を保護する構造について説明したが、これらの構造はエッジクリーナノズル10に限定されるものではなく、ノズル先端部の剛性が低くかつ異物が衝突しやすい位置に設けられた他のノズルに対しても適用することが可能である。
【0045】
また、各実施例の保護構造は、適宜組み合わせて用いることができる。たとえば、第1の実施例における光学センサ25は第2の実施例における保護カバー29および第3の実施例における防護カバー30にそれぞれ組み合わせて用いることができる。また、第2の実施例における保護カバー29は第3の実施例における防護カバー30または第4の実施例における待機ポット31と組み合わせて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による回転式の塗布装置の平面図である。
【図2】図1の塗布装置の断面図である。
【図3】図1の塗布装置におけるエッジリンスノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。
【図4】本発明の第2の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルの斜視図である。
【図5】本発明の第3の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。
【図6】本発明の第4の実施例による塗布装置のエッジクリーナノズルおよびノズル駆動部の斜視図である。
【図7】従来の塗布装置の断面図である。
【図8】図7の塗布装置におけるエッジリンス処理の模式図である。
【符号の説明】
1 モータ
2 回転軸
3 基板保持部
4 カップ
10 エッジクリーナノズル
11 吐出部
12 ノズル支持部
15 支持フレーム
16 アーム
17 回動軸
18 モータ
19 回転軸
25 光学センサ
26 制御器
27 原点センサ
28 警報部
29 保護カバー
30 防護カバー
31 待機ポット
41 エッジリンス液[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate processing apparatus that supplies a processing liquid to a substrate from a processing liquid supply nozzle and performs a predetermined processing on the substrate.
[0002]
[Prior art]
A substrate processing apparatus is used to supply a processing liquid to a circular substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a photomask, or a glass substrate for an optical disk to perform a predetermined process. As the substrate processing apparatus, there is a rotary coating apparatus that supplies a resist solution to a substrate surface and spin-coats.
[0003]
FIG. 7 is a schematic sectional view of a conventional rotary coating apparatus. In the coating apparatus, the substrate W is held by the
[0004]
The substrate W on which the resist film is formed is transported between various substrate processing apparatuses with the peripheral portion held by the substrate transport means. As described above, the resist film is spread to the periphery of the substrate W. For this reason, if the peripheral part of the substrate is gripped by the substrate transporting means, the resist in the peripheral part is peeled off and scattered, contaminating the resist film surface in the central part of the substrate or contaminating the surface of another substrate. Processing yield may be reduced.
[0005]
As a countermeasure against this, an edge rinse process for removing the resist film spread around the periphery of the substrate W in an annular shape is performed. In the edge rinse process, the
[0006]
FIG. 8 is a schematic diagram of the edge rinse process. The width of the
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
As shown in FIG. 7, the
[0008]
An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of preventing a processing failure due to bending of a tip portion of a processing liquid supply nozzle.
[0009]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
A substrate processing apparatus according to a first aspect of the present invention is a substrate process for supplying a processing liquid to a substrate and performing a predetermined process, a substrate holding means for holding the substrate, a driving means for rotationally driving the substrate holding means, A processing liquid supply nozzle that is provided so as to be movable between a position above the substrate held by the substrate holding means and a standby position deviated from above the substrate, and that supplies processing liquid to the substrate held by the substrate holding means; And detecting means for detecting the deformation of the tip of the treatment liquid supply nozzle at the position.
[0010]
In the substrate processing apparatus according to the first aspect of the invention, the processing liquid is supplied from the processing liquid supply nozzle to the substrate held and rotated by the substrate holding means, and a predetermined process is performed. A detection means is provided at the standby position of the processing liquid supply nozzle. The detecting means detects the deformation of the front end portion of the processing liquid supply nozzle when the front end portion of the processing liquid supply nozzle is deformed due to a collision of foreign matter or the like. For this reason, it becomes possible to quickly cope with the deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle, and the processing liquid supply nozzle with the deformed tip supplies the processing liquid in an undesired direction at a position above the substrate. It is possible to prevent processing failures from occurring.
[0011]
A substrate processing apparatus according to a second aspect of the present invention is the substrate processing apparatus according to the first aspect, wherein the detection means includes an optical sensor that optically detects the deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle. is there.
[0012]
In this case, the deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle is detected by the optical sensor, thereby preventing the processing liquid from being supplied from the processing liquid supply nozzle in an undesired direction and causing a processing failure on the substrate. .
[0013]
A substrate processing apparatus according to a third invention outputs an alarm in response to the detection means detecting the deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle in the configuration of the substrate processing apparatus according to the first or second invention. Alarm output means is further provided.
[0014]
In this case, the alarm output means outputs an alarm, so that the operator can quickly detect the deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle, and the processing failure of the substrate occurs due to the operation of the deformed processing liquid supply nozzle. This can be prevented and work such as repair of the treatment liquid supply nozzle can be performed quickly.
[0015]
A substrate processing apparatus according to a fourth aspect of the present invention is the substrate processing apparatus according to any one of the first to third aspects, further comprising a cover member provided so as to surround the periphery of the tip of the processing liquid supply nozzle. It is provided.
[0016]
In the substrate processing apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the cover member provided on the processing liquid supply nozzle may cause foreign matters such as an operator's hand or a component of the substrate processing apparatus to directly collide with the tip of the processing liquid supply nozzle. Is prevented. As a result, an accident in which the tip of the processing liquid supply nozzle is deformed can be prevented in advance, and a substrate processing failure due to deformation of the tip of the processing liquid supply nozzle can be prevented.
[0017]
A substrate processing apparatus according to a fifth aspect of the present invention is the substrate processing apparatus according to the fourth aspect of the present invention, wherein the tip of the processing liquid supply nozzle is formed of a thin tubular discharge portion, and the cover member is formed of a tip of the thin tubular discharge portion. It consists of a cylindrical member having an open end that projects.
[0018]
In this case, the treatment liquid can be discharged by projecting the tip of the thin tubular discharge portion from the tip of the cylindrical member, and the treatment by the collision of the foreign matter by protecting the periphery of the thin tubular discharge portion by the cylindrical member. It is possible to prevent an accident in which the thin tube discharge portion of the liquid supply nozzle is bent.
[0019]
A substrate processing apparatus according to a sixth aspect of the present invention is the substrate processing apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the protective member is provided at the standby position and surrounds the periphery of the processing liquid supply nozzle in the standby state. In addition.
[0020]
In the substrate processing apparatus according to the sixth aspect of the present invention, the protection member is provided at the standby position. The protective member is provided so as to surround the periphery of the processing liquid supply nozzle, and prevents foreign matter from directly colliding with the processing liquid supply nozzle in the standby state. As a result, it is possible to prevent an accident in which the front end portion of the processing liquid supply nozzle is bent, and it is possible to prevent a substrate processing failure due to deformation of the front end portion of the processing liquid supply nozzle.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a plan view of a rotary coating apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the coating apparatus of FIG.
[0022]
1 and 2, the coating apparatus includes a
[0023]
A
[0024]
Above the
[0025]
Further, above the outer peripheral portion of the
[0026]
FIG. 3 is a perspective view of the edge cleaner nozzle and the nozzle driving unit. The
[0027]
The
[0028]
An
[0029]
One end of the
[0030]
The edge
[0031]
A transmission type
[0032]
When the
[0033]
When the
[0034]
The controller 26 determines whether or not the
[0035]
The operation of detecting whether or not the edge
[0036]
The detection operation of the deformation of the edge
[0037]
As described above, since the
[0038]
In this embodiment, the
[0039]
FIG. 4 is a perspective view of an edge cleaner nozzle of a coating apparatus according to a second embodiment of the present invention. In the coating apparatus according to the second embodiment, a
[0040]
In this embodiment, the
FIG. 5 is a perspective view of an edge cleaner nozzle and a nozzle driving unit of a coating apparatus according to a third embodiment of the present invention. In the coating apparatus according to the third embodiment, a
[0041]
By surrounding the periphery of the edge
[0042]
The
[0043]
Further, FIG. 6 is a perspective view of an edge cleaner nozzle and a nozzle driving unit of a coating apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. In the coating apparatus according to the fourth embodiment, a
[0044]
In this embodiment, the
In the first to fourth embodiments, the structure for protecting the
[0045]
Further, the protective structures of the respective embodiments can be used in appropriate combination. For example, the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a rotary coating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the coating apparatus of FIG.
FIG. 3 is a perspective view of an edge rinse nozzle and a nozzle driving unit in the coating apparatus of FIG. 1;
FIG. 4 is a perspective view of an edge cleaner nozzle of a coating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view of an edge cleaner nozzle and a nozzle driving unit of a coating apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view of an edge cleaner nozzle and a nozzle driving unit of a coating apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional coating apparatus.
8 is a schematic diagram of edge rinse processing in the coating apparatus of FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (6)
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、
前記基板保持手段に保持された基板の上方の位置と基板の上方から外れた待機位置とに移動可能に設けられ、前記基板保持手段に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、
前記待機位置において、前記処理液供給ノズルの先端部の変形を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。A substrate processing apparatus for supplying a processing liquid to a substrate and performing a predetermined process,
Substrate holding means for holding the substrate;
Driving means for rotationally driving the substrate holding means;
A treatment liquid supply nozzle that is movably provided between a position above the substrate held by the substrate holding means and a standby position that is off the upper side of the substrate, and that supplies a treatment liquid to the substrate held by the substrate holding means; ,
A substrate processing apparatus comprising: a detecting unit that detects a deformation of a tip of the processing liquid supply nozzle at the standby position.
前記カバー部材は、前記細管状吐出部が突出する開口端部を有する円筒状部材からなることを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。The tip of the treatment liquid supply nozzle is composed of a thin tubular discharge part,
The substrate processing apparatus according to claim 4, wherein the cover member is a cylindrical member having an opening end portion from which the thin tubular discharge portion projects.
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