JP3646704B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、IC、LSI等の半導体部品、その他の電子部品をフィルムキャリアに搭載して実装するTAB(Tape Automated Bonding)技術に関し、特に電子部品を搭載するためのフィルムキャリア及びそれに電子部品を搭載してパッケージ化した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
最近の液晶表示装置には、LCDセルにその駆動回路を接続するために、駆動用ICを搭載した所謂TABパッケージを用いたTAB方式や、ガラス基板に駆動用ICを直接接続するCOG(chip on glass)方式が一般に採用されている。特に、TABパッケージは、他のパッケージに比して小型かつ薄型であり、高密度実装に適していること、フィルムキャリアテープ上で電気的検査が可能なこと、折り曲げて実装できること等の利点を有することから、液晶表示装置だけでなく様々な電子機器に採用されている。
【0003】
従来のTABパッケージは、図9に示すように、ポリイミド等からなるフィルムキャリア31に搭載するICチップ32の寸法よりも大きい寸法のデバイスホール33を設け、該デバイスホール内に突出するインナリード34を前記チップの電極にバンプ35を介して接続し、かつ、前記インナリード間のクロストーク及び前記インナリードとICチップとの接触を防止し、信頼性を高めるために、保護樹脂36でインナリード4及びICチップ2表面を被覆している。前記電極またはバンプは、片持ち式のインナリードの長さをできるだけ短くするために、通例ICチップの周縁に沿って配置される。また、特に大型で多数の電極を有する半導体素子を搭載するために、例えば特開昭63−95639号公報に開示されるように、デバイスホール内に延出するリードサポート部をフィルムキャリアに設け、その上に一部のリードを延長させた構造が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のTABパッケージは、デバイスホールの内周とICチップの周縁との間に空隙が存在し、この領域のインナリードを露出させないために保護樹脂を形成するので、パッケージの外形寸法が搭載するICチップの寸法よりも相当大きくなり、実装面積を大きくしていた。また、フィルムキャリア上に支持される配線パターンは、接続する半導体部品の微小化、その電極やリードの狭ピッチ化によりファイン化し、その配線距離が長くなって引き回しに大きな面積が必要となっている。このため、1個のICチップを搭載するために使用するフィルムキャリアの面積が大きくなり、パッケージ全体の寸法がより一層大きくなって実装面積を大きくし、電子機器の小型化の要請に反するという問題があった。
【0005】
特に液晶表示装置の場合には、図10に示すように、それぞれに駆動用IC37を搭載した複数のTABパッケージ38をLCDセル39の外周に沿って接続し、更にその外側に駆動回路を構成するプリント回路基板40が接続される。装置全体の寸法に対する表示面積を大きくするためには、所謂額縁部分を小さくしなければならない。額縁部分の幅Wを小さくするためには、TABパッケージ38を接続する前記LCDセルの外周部分41及びプリント回路基板40の幅w1、w2をそれぞれ小さくすると共に、TABパッケージ8を小型化し、その幅w3を狭くする必要がある。そのために、先ず駆動用ICを小型にその幅をできる限り狭く設計するが限界があり、上述した従来構造のTABパッケージでは、それ以上の小型化が困難であり、額縁部分の幅Wを十分に縮小できないという問題があった。他方、COG方式では、LCDセルの外周部分に直接駆動用ICを実装しかつその配線パターンを形成するため、TAB方式の場合よりも額縁部分を小さくすることは困難である。
【0006】
そこで、本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、TABパッケージまたは複数の電子部品を搭載したモジュールに使用するフィルムキャリアにおいて、電子部品を接続するためのフィルムキャリアの使用面積を小さくし、それにより最終的にパッケージ全体の外形寸法を従来より小さくして、実装面積を縮小することができると共に、TABパッケージの製造における作業性・生産性を向上させ、かつ製造コストの低減を図ることにある。
【0007】
更に、本発明の目的は、その外形寸法を小さくして実装面積を縮小することができ、それにより電子機器の小型化を図ることができるTABパッケージ型の半導体装置を提供することにある。特に本発明は、液晶表示装置において、その額縁部分を縮小させて、表示面積を実質的に拡大し得るTABパッケージ型の半導体装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述した目的を達成するためのものであり、以下にその内容を図面に示した実施例を用いて説明する。
【0009】
(1)本発明の半導体装置は、デバイスホールを有する可撓性のフィルムと、前記可撓性のフィルム上に設けられた多数の金属配線と、前記金属配線から延長して前記デバイスホールの周縁から内向きに突出する多数のインナーリードと、前記デバイスホール内で前記インナーリードに接続する1列又は複数列の第1のバンプ列と、前記デバイスホール外の前記フィルムを支持する第2のバンプ列と、を有する半導体部品と、を有し、前記第1のバンプ列は、前記半導体部品の一の側辺寄りに配置され、前期第2のバンプ列は、前記半導体部品の前記一の側辺と対向する他の側辺に沿って配置されていることを特徴とする。
【0012】
(2) 本発明の半導体装置は、上記(1)に記載の半導体装置において、
前記デバイスホールの寸法は前記半導体部品の外形より小さく、かつ、前記デバイスホールは前記半導体部品の周縁よりも内側に配置されていることを特徴とするものでもよい。
【0013】
(3) 本発明の半導体装置は、上記(1)又は(2)のいずれかに記載の半導体装置において、
さらに、前記半導体部品と前記フイルムとの間に設けられた保護樹脂を備えることを特徴とするものでもよい。
【0014】
(4) 本発明の半導体装置は、上記(3)のいずれかに記載の半導体装置において、
前記保護樹脂は、前記半導体部品の周縁からはみ出すように設けられ、
前記保護樹脂のうち前記半導体部品の周縁より外側にはみ出した部分の長さLと、前記半導体部品と前記フィルムとの間隔lとは、0<l<Lとなるように設けられていることを特徴とするものでもよい。
【0015】
(5) 本発明の半導体装置は、上記(1)から(4)のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1のバンプ列は、複数のブロックに分割され、かつ、前記インナーリードの導出方向が、隣接する前記ブロック間において互いに逆向きであることを特徴とするものでもよい。
【0018】
【作用】
従って、本発明の一実施形態に係るフィルムキャリアによれば、デバイスホールの周縁が、その少なくともインナリードの導出方向において、従来の半導体部品の周縁より外側の位置から内側の位置にくることによって、その半導体部品と重なり合う領域に配線パターンを設けることができ、フィルムキャリアの使用領域を実質的に拡大できると共に、半導体部品1個の搭載に必要なフィルムキャリアの寸法を従来より縮小することができる。
【0019】
本発明の一実施形態に係るフィルムキャリアによれば、その長手方向に沿って半導体部品1個の搭載に要するフィルムキャリアの使用領域を従来より縮小することができる。
【0020】
本発明の一実施形態に係るフィルムキャリアによれば、半導体部品1個の搭載に要するフィルムキャリアの使用領域全体を従来より縮小することができる。
【0021】
本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、請求項1記載のフィルムキャリアを用いることによって、少なくともインナリードの導出方向において、従来のデバイスホール周縁と半導体部品周縁間の空隙及び該空隙に形成されていた保護樹脂の部分が無くなり、かつ半導体部品と重なり合う基板の領域に配線パターンを設けることができるから、基板の外形寸法即ち半導体装置の外形寸法を従来より小さくすることができる。
【0022】
更に本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、デバイスホール全体が半導体部品の周縁より内側に配置されることによって、半導体部品の全周において、従来デバイスホール周縁と半導体部品周縁間の空隙に設けられていた保護樹脂の部分が無くなり、かつデバイスホール周辺の半導体部品と重なり合う基板の領域に配線パターンを形成できるから、基板全体についてその外形寸法を従来より小さくすることができる。
【0023】
本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、従来は半導体部品の周縁より外側に形成されていた保護樹脂の部分が実質的に無くなることによって、実装面積のデッドスペースを解消できるだけでなく、保護樹脂が、基板と半導体部品との離隔距離を超えない範囲で僅かにはみ出していることによって、十分に塗布されているか否かを容易に確認することができる。
【0024】
また、本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、半導体部品の長手方向に直交する向きにインナリードが配設され、その向きに基板の寸法を小さくすることができる。
【0025】
更に本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、基板の寸法を小さくしつつ、半導体部品の電極数、外部装置・回路との接続等、実装条件に合わせて電極を配置することができる。
【0026】
本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、半導体部品の電極をその接続条件等に合わせてブロック分けすることによって、基板上のインナリードからアウタリードに向けて広がる配線の距離を従来より短くすることができる。
【0027】
本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、半導体部品の電極が2列の場合に、その電極数や接続条件等に合わせて、適当に間隔を設けてブロック分けすることによって、基板上のインナリードからアウタリードに向けて広がる配線の距離を従来より短くすることができる。
【0028】
【実施例】
第1図には、本発明を適用したフィルムキャリアの実施例が部分的に示されている。フィルムキャリア1は、ポリイミド樹脂、ポリエステル、ガラスエポキシ樹脂等の可撓性を有する連続したプラスチックフィルム・テープからなり、その略中央には、搭載しようとする半導体部品2に対応するデバイスホール3が開設されている。フィルムキャリア1の一方の面4には、銅箔等の金属性配線パターン5が形成され、かつそれを前記半導体部品の対応する電極に接続するために、多数のインナリード6が、デバイスホール3の周縁を越えて内向きに突出するように設けられている。本実施例の半導体部品2は、液晶表示装置のLCDセルを駆動するためのICチップであり、実装時に額縁部分を小さくするために、その外形は細長い長方形である。
【0029】
デバイスホール3は、フィルムキャリア1の長手方向と直交する向きに細長く延在し、かつ半導体部品2の外形寸法より小さい寸法の長方形に形成される。デバイスホール3は、接続された前記半導体部品の周縁より完全に内側に位置するように、好適には、フィルムキャリア1がデバイスホール3の周囲に半導体部品2とある幅をもって重なり合う領域を有するように配設される。上述したように半導体部品2がLCDセル駆動用ICであることから、インナリード6は2方向に、フィルムキャリア1の長手方向に直交する各周縁、即ち対向する各長辺からそれぞれ導出し、半導体部品2のバンプが配列される予定のデバイスホール中央付近まで延長している。
【0030】
本発明によれば、デバイスホール3の寸法を半導体部品2の外形より小さくしたことによって、従来構造のデバイスホールと半導体部品間の空隙即ちデッドスペースを解消し、逆にデバイスホール周縁と半導体部品周縁との間に得られるフィルムキャリア1の重複領域に配線を設けることができ、1個の半導体部品に対するフィルムキャリアの使用面積が小さくなる。特に本実施例では、デバイスホール3の寸法がフィルムキャリア1の長手方向に大幅に小さくなるので、一定長さのテープリールに搭載し得る半導体部品の個数を従来より大幅に増やすことができ、TABパッケージの製造上テープリールを交換する回数が減って作業性及び生産性が向上し、製造コストの低減を図ることができる。また、このフィルムキャリア1から製造される半導体装置の寸法を大幅に小さくし、実装面積を縮小することができる。
【0031】
図2には、図1のフィルムキャリアを用いた本発明によるTABパッケージ型の半導体装置が示されている。このTABパッケージ7は、半導体部品2が細長い長方形をなすLCDセルの駆動用ICチップであり、その長手方向に沿って略中心位置にバンプ8が1直線上に配列されている。デバイスホール3は、フィルムキャリア1の略中央に配置され、その中心と半導体部品2の中心とを整合させかつ半導体部品2の周縁より内側に位置するように位置合わせされる。パッケージ化は、従来と同様に、図1のテープ状のフィルムキャリア1を半導体部品2に対して上述したように位置合わせし、ボンディングツールを用いて各インナリード6を対応する前記電極パッドのバンプ8に熱圧着して接続し、前記半導体部品及びインナリードを含む所定部位に保護樹脂9を塗布した後、電気的特性検査を行い、最後に図1に示す切断線10に沿ってパンチングする工程により行う。
【0032】
保護樹脂9は、例えばエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いて半導体部品2の周縁から外側に僅かにはみ出すように形成し、かつはみ出し部分の長さLが、半導体部品2とフィルムキャリア1との隙間l以下(0<l≦L)となるように設けると好都合である。このはみ出し部分を設けることによって、保護樹脂9が必要な部分に完全に塗布されていることを外側から容易に確認することができる。
【0033】
本発明によれば、図1に関連して説明したように、デバイスホール3の寸法を半導体部品2の外形より小さくし、かつ該デバイスホールを半導体部品の周縁より内側に配置したことによって、従来構造では半導体部品の外側に形成されていた保護樹脂の部分を実質的に排除し、かつフィルムキャリア1の使用面積を小さくできるので、TABパッケージ7の外形寸法が従来より大幅に小さくなり、実装面積を縮小することができる。特に本実施例では、インナリード6が半導体部品2の長手方向に直交する2方向に導出していることから、TABパッケージ7の幅を従来に比して非常に小さくすることができる。
【0034】
図3には、図2の実施例の変形例のTABパッケージ11が示されている。図2のTABパッケージ7は、半導体部品2がフィルムキャリア1にフェイスダウンで接続されているのに対し、この変形例では、半導体部品2が、フィルムキャリア1の配線パターン形成面4に対面させてフェイスアップで接続されている。この場合にも、同様にTABパッケージ11の外形寸法を小さくすることができる。
【0035】
本発明のTABパッケージ7は、図4に示すように液晶表示装置のLCDセルに実装される。TABパッケージ7は従来と同様に、出力側のアウタリード12が、例えば異方性導電接着剤13や光硬化性絶縁樹脂を用いてLCDセル14のITO膜等からなるパネル電極15に接続されている。他方、入力側のアウタリード16は、液晶駆動回路を構成する通常のガラスエポキシ基板からなるプリント回路基板17の対応する電極端子18に、はんだ付け等によって接続されている。本発明によれば、このように小型化、特に幅を小さくしたTABパッケージ7を接続することによって、第9図における額縁部分の幅Wを大幅に縮小することができる。
【0036】
また、本発明によれば、半導体部品2の前記電極及びバンプ8の配置は、各電極の機能、配線上の設計条件、接続される外部装置・回路基板等の電極端子の配置・ピッチ等様々な条件によって、それに適合した最適の配置・配列にカスタム化することができる。例えば図1の実施例では、入力側のインナリード6が半数ずつ2つのブロック6−1、6−2に分割され、かつその間に出力側のインナリードのブロック6−3が配設されている。半導体部品2の各電極は、図示されていないが、インナリード6に対応して同様に入力用と出力用とにブロック分けされている。
【0037】
このようにインナリードの導出方向が、隣接するブロック同士で交互に逆向きになるように、半導体部品の電極及びインナリードを配置しかつブロック分けすることによって、インナリードからアウタリードまで配線に必要な距離を短くすることができる。これにより、フィルムキャリアの使用面積を小さくすることができる。例えば図1の実施例では、入力側のインナリード6が2ブロックに分割されて、その配線距離が短くなっている。
【0038】
図5には、図1及び図2に示す実施例の半導体部品2について、異なるブロック分けによる電極配置の実施例が示されている。図1の実施例では、全ての電極及びインナリード6がブロックの区別無く一定のピッチで配置されているのに対し、図5A〜図5Cの各実施例では、電極のピッチを、配線に支障の無い範囲でできる限り狭くし、かつ隣接するブロック同士の間隔を前記電極ピッチより大きく設定して、各ブロックを明確に区別し得るようにしている。
【0039】
図5Aの実施例は、電極が図1の場合と同様に、2つの入力用ブロック8a−1、8a−2と、それらの間に挟まれた1つの出力用ブロック8a−3とに分割され、かつ前記各ブロック間が大きく離隔されている。この実施例では、入力側の配線距離laが短縮される。これと逆に、図5Bの実施例では、電極が2つの出力用ブロック8b−1、8b−2と、それらの間に挟まれた1つの入力用ブロック8b−3とに分割されており、これによって出力側の配線距離lbが短縮される。更に図5Cの実施例では、電極が更に細かくブロック分けされ、4つの入力用ブロック8c−1〜8c−4と、3つの出力用ブロック8c−5〜8c−7とが交互に設けられて、入力側・出力側双方の配線距離la、lbを短くするようになっている。
【0040】
また、本発明によれば、フィルムキャリアに搭載される半導体部品の形状・寸法やその電極数、または外部装置・回路基板との接続条件等に応じて、電極を複数列に配置することができる。図6に示す本発明の第2実施例によるTABパッケージ19は、半導体部品20の電極が長手方向に沿って半数ずつ2列に配置され、かつ前記各電極の上にバンプ21a、21bが形成されている。フィルムキャリア22は、その略中央に半導体部品20の外形より小さい寸法のデバイスホール23が穿設され、該デバイスホールの長手方向に対向する各周縁からインナリード24a、24bが、互いに対向するようにバンプ列21a、21bに向けて突出している。前記電極列は、その間隔をできる限り狭くして、デバイスホール23の寸法を小さくできるようにするのが、より一層TABパッケージ19の小型化を図るために好ましい。
【0041】
前記各列の電極数は、必ずしも同数にする必要がない。例えば、図7に示す実施例では、半導体部品25が液晶表示装置の駆動用ICであり、一方の列に入力電極及びそのバンプ26aが配置され、かつ他方の列に出力電極及びそのバンプ26bが配置されている。出力側のバンプ26bが全て同じ一定のピッチで設けられているのに対し、入力側のバンプ26aは、3つのブロック26a−1、26a−2、26a−3に分割されている。前記各ブロックは、互いに電極ピッチより相当大きい間隔をもって離隔されているので、これに接続されるフィルムキャリアに形成される入力側の配線距離laを相当短くすることができる。特に液晶表示装置の駆動用ICは、入力電極の数が出力電極の数に比して相当少ないので、電極ピッチを無理に狭めることなく前記ブロック間に十分な離隔距離を確保することができ、入力配線の距離を容易に短縮できるので有利である。
【0042】
これと逆に別の実施例では、出力側の配線距離を短縮するために、入力側の電極及びバンプ26aの列を同じ一定のピッチで配設し、かつ出力側の電極及びバンプ26bの列を、相互に電極ピッチより相当大きい間隔をもって離隔された複数のブロックに分割することができる。また、入力側及び出力側の電極及びバンプ26a、26bの各列を、それぞれ同様にして適当な数のブロックに分割し、入力側・出力側双方の配線距離を短縮することもできる。
【0043】
更に別の実施例では、前記出力電極の一部を入力側の列に配置して、両列の電極数が略等しくなるようにし、一方の列の電極ピッチが狭くなり過ぎないようにすることができる。この場合、前記入力側の列を上述したようにブロック分けし、前記出力電極を入力電極の外側のブロックに配置すると、フィルムキャリア22には、デバイスホール23の周囲に沿って入力側のインナリードから出力側のアウタリードに配線を引き回すことができる。
【0044】
また、半導体部品20は、電極が1列または複数列であるかに拘わらず必ずしも中心に配列されなくてもよい。図8に示す実施例では、その間隔を十分に狭くした2つのバンプ列21a、21bが、半導体部品20の一方の側辺27寄りに配置されている。当然ながら、デバイスホール23は、半導体部品20の周縁よりも内側に位置するように配置される。
【0045】
この場合に、半導体部品20の前記バンプ列から遠い方の側辺28に沿って、複数のダミーバンプ29を形成すると好都合である。ダミーバンプ29は、上述したようにボンディングツールを用いてフィルムキャリアと半導体部品20とを接続する際に、スペーサとなってフィルムキャリアを支持することによって、フィルムキャリアに対する前記ボンディングツールの平面度を確保する。これにより、各インナリードとバンプとを良好な状態で接合し、かつフィルムキャリアと半導体部品との平行度を十分に確保することができる。従って、保護樹脂が半導体部品20に完全に塗布されるように、その流れを良くすることができる。
【0046】
以上、本発明について好適な実施例を用いて説明したが、当業者に明らかなように、本発明は、その技術的範囲内において上記実施例に様々な変形・変更を加えて実施することができる。
【0047】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0048】
本発明の一実施形態に係るフィルムキャリアによれば、デバイスホールが、そのインナリードを突出させた周縁が半導体部品の周縁より内側にくるように小さく形成されることによって、配線パターンに使用し得るフィルムキャリアの領域が実質的に広がり、それによって配線の設計自由度が高くなり、かつ半導体部品1個の搭載に必要なフィルムキャリアの使用面積が小さくなるから、製造コストの低減を図ることができると共に、これを用いてTABパッケージを製造した場合には、その外形寸法を小さくすることができ、外部の装置や回路と接続したときに実装面積を縮小することができる。
【0049】
これに加え、本発明の一実施形態に係るフィルムキャリアによれば、半導体部品1個当たりのフィルムキャリアの使用領域が長手方向に縮小されるから、1個のテープリールに搭載し得る半導体部品の個数が従来より多くなって、製造コストを低減でき、かつテープリールの交換作業の回数が減って、作業性・生産性の向上を図ることができる。更に請求項3記載のフィルムキャリアによれば、フィルムキャリアの使用面積を更に小さくして、実装面積をより一層縮小することができる。
【0050】
また、本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、請求項1記載のフィルムキャリアを基板に用いることによって、少なくともインナリードの導出方向において、従来のデバイスホール周縁と半導体部品周縁間の空隙及び保護樹脂が無くなって、基板の半導体部品と重なり合う領域に配線パターンが形成され、配線及びパッケージの設計上の自由度が高くなると共に、基板の外形寸法が小さくなり、半導体装置の外形寸法が従来より小さくなって、その実装面積を縮小でき、電子機器の小型化の要請に対応することができる。
【0051】
特に、本発明の一実施形態に係る半導体装置によれば、インナリードが半導体部品の長手方向に直交する2方向に導出されるから、これを液晶表示装置の駆動用ICの実装に適用した場合には、半導体装置の外形寸法がインナリードの導出方向に小さくなることによって、液晶表示装置の額縁部分を縮小することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるフィルムキャリアを部分的に示す平面図である。
【図2】 図1のフィルムキャリアを用いた本発明によるTABパッケージ型半導体装置の実施例を示す断面図である。
【図3】 図2の実施例の変形例を示す断面図である。
【図4】 図2の実施例によるTABパッケージを実装したLCDセルの部分を示す断面図である。
【図5】 A図〜C図からなり、それぞれ半導体部品の電極の異なるブロックの配置を示している。
【図6】 A図は、本発明によるTABパッケージ型半導体装置の第2実施例を示す断面図、B図はその平面図である。
【図7】 図6の第2実施例に使用する半導体部品の変形例を示す平面図である。
【図8】 図6の第2実施例に使用する半導体部品の別の変形例を示す平面図である。
【図9】 従来のTABパッケージ型半導体装置を示す断面図である。
【図10】 図9のTABパッケージを実装した従来のLCDセルの部分を示す平面図である。
【符号の説明】
1 フィルムキャリア
2 半導体部品
3 デバイスホール
4 面
5 配線パターン
6 インナリード
6−1〜6−3 ブロック
7 TABパッケージ
8 バンプ
8a−1〜8a−3 ブロック
8b−1〜8b−3 ブロック
8c−1〜8c−7 ブロック
9 保護樹脂
10 切断線
11 TABパッケージ
12 アウタリード
13 異方性導電接着剤
14 LCDセル
15 パネル電極
16 アウタリード
17 プリント回路基板
18 端子
19 TABパッケージ
20 半導体部品
21a、21b バンプ
22 フィルムキャリア
23 デバイスホール
24a、24b インナリード
25 半導体部品
26a、26b バンプ
27、28 側辺
29 ダミーバンプ
31 フィルムキャリア
32 ICチップ
33 デバイスホール
34 インナリード
35 バンプ
36 保護樹脂
37 駆動用IC
38 TABパッケージ
39 LCDセル
40 プリント回路基板
41 外周部分

Claims (5)

  1. デバイスホールを有する可撓性のフィルムと、
    前記可撓性のフィルム上に設けられた多数の金属配線と、
    前記金属配線から延長して前記デバイスホールの周縁から内向きに突出する多数のインナーリードと、
    前記デバイスホール内で前記インナーリードに接続する1列又は複数列の第1のバンプ列と、
    前記デバイスホール外の前記フィルムを支持する第2のバンプ列と、を有する半導体部品と、
    を有し、
    前記第1のバンプ列は、前記半導体部品の一の側辺寄りに配置され、
    前記第2のバンプ列は、前記半導体部品の前記一の側辺と対向する他の側辺に沿って配置されていることを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    前記デバイスホールの寸法は前記半導体部品の外形より小さく、かつ、前記デバイスホールは前記半導体部品の周縁よりも内側に配置されていることを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項1又は2のいずれかに記載の半導体装置において、
    さらに、前記半導体部品と前記フィルムとの間に設けられた保護樹脂を備えることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項3に記載の半導体装置において、
    前記保護樹脂は、前記半導体部品の周縁からはみ出すように設けられ、
    前記保護樹脂のうち前記半導体部品の周縁より外側にはみ出した部分の長さLと、前記半導体部品と前記フィルムとの間隔lとは、0<l<Lとなるように設けられていることを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置において、
    前記第1のバンプ列は、複数のブロックに分割され、かつ、前記インナーリードの導出方向が、隣接する前記ブロック間において互いに逆向きであることを特徴とする半導体装置。
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