JP3644575B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンディング装置に関し、特にチップの電極の第1ボンディング点と予めリードに接合されたバンプボールの第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を、制御用マイクロコンピュータにより制御するワイヤボンディング装置の技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
従来の、チップの電極とリードとをワイヤで接続するワイヤボンディング装置においては、キャピラリをチップの電極の第1ボンディング点からリードの第2ボンディング点までのX軸およびY軸方向の水平面内で移動させるX軸移動テーブルおよびY軸移動テーブルと、Z軸方向の上下に揺動させるZ軸駆動機構と、これらを駆動制御するサーボ駆動制御部を有している。Z軸駆動機構の先端部にはワイヤが挿通されたキャピラリが有り、キャピラリが第1ボンディング点から第2ボンディング点まで移動するようになっている。
【0003】
図8は、従来のワイヤボンディング装置の構成の一例を示すブロック図である。
図8において、ベース20上にはX軸モータ21を備えたX軸移動テーブル22と、Y軸モータ23を備えたY軸移動テーブル24が設置されており、X軸モータ21とY軸モータ23の回転によりテーブルが水平面内を移動する。Y軸移動テーブル24上にはZ軸駆動機構25が設置されており、Z軸駆動機構25は支軸26により保持ブロック27に回転自在に軸支されている。Z軸駆動機構25にはアーム28が延出しており、アーム28の先端部にはワイヤ14が挿通されたキャピラリ30が保持されている。また、Z軸駆動機構25にはカム機構31が有り、カム機構31はZ軸モータ32により回転しアーム28を上下に揺動させる。キャピラリ30の上位部にはワイヤ14を挟持するワイヤクランプ29が有り、ワイヤクランプ29がワイヤ14を挟持したまま上昇することによりワイヤ14が第2ボンディング点から切断される。
【0004】
べース20上にはボンディング対象物であるチップ10が搭載されたリードフレーム11を搭載するボンディングステージ33が設置されている。チップ10には電極12があり、ボンディングにより電極12とリード13がワイヤ14により接続される。Y軸移動テーブル24上のZ軸駆動機構25の横には保持具34が延出しており、この保持具34にはITVカメラ35が固定されている。ITVカメラ35はボンディング部分に対して水平面内で移動可能であり、ボンディング部分を撮像し映像を読み取り電気信号に変換する。
【0005】
画像認識部36はITVカメラ35により読み取られた映像信号を画像認識し、ボンディングに必要な位置決め情報を制御部37へ出力する。制御部37はこの位置決め情報によりキャピラリ30の動きを制御する。制御部37には、キャピラリ30が第1ボンディング点から第2ボンディング点まで移動するときの、キャピラリ30のX軸およびY軸上の水平面内の位置とZ軸上の上下の位置のパラメータが予め設定されており、このパラメータによりキャピラリ30が定められた軌跡に沿って移動する制御信号を出力する。
【0006】
サーボ駆動制御部38は制御部37からの信号によりX軸モータ21とY軸モータ23とを回転させ、X軸移動テーブル22とY軸移動テーブル24を水平面内に移動させる。さらにサーボ駆動制御部38はZ軸モータ32を回転させることによりカム機構31を駆動しアーム28を上下に揺動させる。これによりキャピラリ30が第1ボンディング点から第2ボンディング点まで定められた軌跡で移動するようになっている。
【0007】
次に、従来のワイヤボンディング装置のボンディング動作について図8および図9を使用して説明する。
図9は図8の従来のワイヤボンディング装置の第1ボンディング点から第2ボンディング点までキャピラリ30が移動してワイヤを掛け渡す動作の説明図である。図8によれば、ボンディングステージ33上のリードフレーム11の上面にチップ10が搭載されている。ワイヤボンディングを行うのに先立って、チップ10の電極12とリード13がITVカメラ35で撮像される。この映像は電気信号に変換され画像認識部36にて画像認識されボンディング位置が検出され制御部37へ送られる。制御部37ではこの位置情報と制御部37に予め設定されているキャピラリ30の移動軌跡のパラメータを使用して、キャピラリ30が定められた軌跡で移動させる制御信号が作られる。この制御信号によりサーボ駆動制御部38はキャピラリ30を第1ボンディング点から第2ボンディング点までループを形成して移動させる。
【0008】
図8では、キャピラリ30の先端でワイヤ14の先端にボンディング用のボール15が形成されている。
そして、キャピラリ30が第1ボンディング点であるチップ10の電極12へ降下当接することによりホール17が電極12に圧着接合される。その後図9に示すようにキャピラリ30がループを形成しつつリード13の第2ボンディング点まで移動しワイヤ14をリード13に押しつけて接合する。これにより第1ボンディング点と第2ボンディング点とがワイヤ14により接続される。接続が終わるとキャピラリ30は上昇し第1ボンディング点へ移動して次のボンディング動作へ移る。キャピラリ30が上昇中にキャピラリ30の上位部のワイヤクランプ29が閉じてワイヤ14を握持して上方へ移動することによりワイヤ14が第2ボンディング点の所で切断させる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術には次のような問題があった。
第1の問題点は、第2ボンディング点におけるボンディングがワイヤを直接第2ボンディング点のリードに押しつけて接合させ、その後上方向に引っ張って切るテールカットと呼ばれるものであるため、第2ボンディング点における接合面積が第1ボンディング点に比べて非常に小さく接合強度が弱いということである。また、接合面積が小さいため、リードの表面清浄度や表面粗さの度合いをより良くしなければ良好なボンディングができない。この結果ボンディングの信頼性があがらないということである。
【0010】
第2の問題点は、第2ボンディング点のリードの傾きが大きいと、キャピラリの先端形状に合わず接合ができないことである。近年、第2ボンディング点がリードフレームのリードのほかに、チップサイズパッケージ(CSP),LED,トランジスタ,ダイオードなどにボンディングされるものが多くなっており取り付け状態により傾きが大きく且つ色々の傾きとなっている。リードの傾きの許容値はキャピラリの先端形状に関係しており、色々の傾きに対応するには傾きに合った先端形状を有するキャピラリを複数用意しなければならない。
【0011】
第3の問題点は、ボンディング対象物がチップサイズパッケージ(CSP)のような表面構造が弱いものに第2ボンディングを行う場合は、十分な接合力を得るための圧力がCSPにとっては過度な圧力となり、またキャピラリが直接CSPに触れてCSPが破壊することがある。このため表面構造が弱いチップには第2ボンディングを行うことができずボンディング対象物が制限されることである。
【0012】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、ワイヤボンディング装置において、第1ボンディング点と第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を行う前に、予め第2ボンディング点にバンプボールを接合しておき、このバンプボールにワイヤを接続するように制御用マイクロコンピュータで制御することにより、第2ボンディング点の接合面積が大きくして良好なボンディングができるワイヤボンディング装置を提供することにある。また、第2ボンディング点のリードの傾きが大きくてもキャピラリの先端形状が制限されなく良好な接合ができるワイヤボンディング装置を提供することにある。さらに、リードを第1ボンディング点としチップの電極を第2ボンディング点とした通常と逆のボンディング動作を行うことにより、CSPなど表面構造が弱いものに対して過度な圧力が掛からなく破壊することのない安全なワイヤボンディング装置を提供することにある。
バンプボールをリードまたはチップの電極の複数箇所の第2ボンディング点に予め連続して作成接合することにより、キャピラリの移動距離が短くなりボンディング速度をあげることができるワイヤボンディング装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために次の各手段構成を有する。
第1の発明は、チップの電極とリードとを接続するワイヤが挿通されるキャピラリと、キャピラリを保持するアームと、このアームを上下のZ軸方向に揺動させるZ軸モータとカム機構を有するZ軸駆動機構と、チップの電極とリードの上面を撮像し映像を電気信号に変換するITVカメラと、前記アームと前記ITVカメラをチップに対して相対的に水平面内に移動させるX軸モータを有するX軸移動テーブルおよびY軸モータを有するY軸移動テーブルと、チップが搭載されたリードフレームを搭載するボンディングステージと、前記ITVカメラからの映像信号を画像認識し位置情報を得る画像認識部と、この位置情報によりキャピラリの動きを制御する制御用マイクロコンピュータと、前記X軸モータ,Y軸モータ,Z軸モータを回転させるサーボ駆動制御部とを有するワイヤボンディング装置であって、前記制御用マイクロコンピュータが、次の各手段構成を有することを特徴とする。
(イ)チップの電極の第1ボンディング点と予めリードに接合されたバンプボールの第2ボンディング点とを、キャピラリを移動させてワイヤで接続するボンディング制御手段
(ロ)バンプボールをリードの第2ボンディング点に作成接合するバンプボール作成接合制御手段
【0014】
第2の発明は、前記第1の発明の制御用マイクロコンピュータに、リードを第1ボンディング点とし、前記(ロ)記載のバンプボール作成接合制御手段により予めチップの電極に接合されたバンプボールを第2ボンディング点として、キャピラリを移動させてワイヤで接続する逆ボンディング制御手段を付加したことを特徴とするワイヤボンディング装置である。
【0015】
第3の発明は、前記第1の発明の制御用マイクロコンピュータに、第2ボンディング点とする複数のリードまたはチップの複数の電極にバンプボールを連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段を付加したことを特徴とするワイヤボンディング装置である。
【0016】
第4の発明は、前記第1の発明の制御用マイクロコンピュータに、次の各手段構成を付加したことを特徴とするワイヤボンディング装置である。
(イ)リードを第1ボンディング点とし、予めチップの電極に接合されたバンプボールを第2ボンディング点として、キャピラリを移動させてワイヤで接続する逆ボンディング制御手段
(ロ)バンプボールを、第2ボンディング点とする複数のリードまたはチップの複数の電極に予め連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段
【0017】
【作用】
本発明は、各手段構成によりワイヤボンディング装置において第1ボンディング点と第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を行う前に、予め第2ボンディング点にバンプボールを接合しておき、このバンプボールにワイヤを接続するように制御用マイクロコンピュータが制御動作を行うようにしたので、第2ボンディング点の接合面積が大きくなり良好なボンディングができる。また、第2ボンディング点のリードに予めバンプボールを接合しておき、これにワイヤを接続するようにしたので、リードの傾きが大きくてもキャピラリの先端形状が制限されなく良好な接合ができる。
第2の発明は、リードを第1ボンディング点としチップの電極を第2ボンディング点とした通常と逆のボンディング動作を行うことにより、CSPなど表面構造が弱いものに対して過度な圧力が掛からなく破壊することのない安全なボンディングができる。
第3の発明は、バンプボールを、第2ボンディング点とする複数のリードまたはチップの複数の電極に予め連続して作成接合することにより、キャピラリの移動距離が短くなりボンディング速度をあげることができる。
第4の発明は、前記すべての発明の作用をする。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、第1の発明では、チップの電極とリードとを接続するワイヤが挿通されるキャピラリと、キャピラリを保持するアームと、このアームを上下のZ軸方向に揺動させるZ軸モータとカム機構を有するZ軸駆動機構と、チップの電極とリードの上面を撮像し映像を電気信号に変換するITVカメラと、前記アームと前記ITVカメラをチップに対して相対的に水平面内に移動させるX軸モータを有するX軸移動テーブルおよびY軸モータを有するY軸移動テーブルと、チップが搭載されたリードフレームを搭載するボンディングステージと、前記ITVカメラからの映像信号を画像認識し位置情報を得る画像認識部と、この位置情報によりキャピラリの動きを制御する制御用マイクロコンピュータと、前記X軸モータ,Y軸モータ,Z軸モータを回転させるサーボ駆動制御部とを有するワイヤボンディング装置であって、制御用マイクロコンピュータが、バンプボールをリードの第2ボンディング点に作成接合するバンプボール作成接合制御手段と、チップの電極の第1ボンディング点と予めリードに接合されたバンプボールの第2ボンディング点とをキャピラリを移動させてワイヤで接続するボンディング制御手段とを有し、第1ボンディング点と第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を行う前に、予め第2ボンディング点にバンプボールを接合しておき、このバンプボールにワイヤを接続するように制御動作を行うようにしたものである。これにより第2ボンディング点の接合面積が大きく接合強度が強くなり良好なボンディングができる。また、第2ボンディング点のリードに予めバンプボールを接合しておくことにより、リードの傾きが大きくても、また、種々の傾きに対しても、種々の先端形状のキャピラリを用意しなくとも良好な接合ができる。
【0019】
第2の発明では、前記制御用マイクロコンピュータに、リードの第1ボンディング点と予めチップの電極に接合されたバンプボールの第2ボンディング点とを、キャピラリを移動させてワイヤで接続する逆ボンディング制御手段を付加することにより、リードを第1ボンディング点としチップの電極を第2ボンディング点とした通常と逆のボンディング動作を行うようにしたものである。これによりCSPなど表面構造が弱いものに対して過度な圧力が掛からない安全なボンディングができる。
【0020】
第3の発明では、前記制御用マイクロコンピュータに、バンプボールを、第2ボンディング点とする複数のリードまたはチップの複数の電極に連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段を付加することにより、キャピラリの移動距離が短くなるようにしたものである。これによりボンディング速度をあげることができる。
【0021】
第4の発明では、前記第1,第2,第3の発明の実施の形態のすべてを備えたものである。
【0022】
【実施例】
以下本発明のワイヤボンディング装置の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明のワイヤボンディング装置の第1の発明の実施例の構成を示すブロック図である。図1において、ベース20上にはX軸モータ21を備えたX軸移動テーブル22と、Y軸モータ23を備えたY軸移動テーブル24が設置されており、X軸モータ21とY軸モータ23の回転によりテーブルが水平面内を移動する。Y軸移動テーブル24上にはZ軸駆動機構25が設置されており、Z軸駆動機構25は支軸26により保持ブロック27に回転自在に軸支されている。Z軸駆動機構25にはアーム28が延出しており、アーム28の先端部にはワイヤ14が挿通されたキャピラリ30が保持されている。また、Z軸駆動機構25にはカム機構31が有り、カム機構31はZ軸モータ32により回転しアーム28を上下に揺動させる。キャピラリ30の上位部にはワイヤ14を挟持するワイヤクランプ29が有り、ワイヤクランプ29がワイヤ14を挟持したまま上昇することによりワイヤ14が第2ボンディング点から切断される。
【0023】
べース20上にはボンディング対象物であるチップ10が搭載されたリードフレーム11を搭載するボンディングステージ33が設置されている。
チップ10には電極12があり、ボンディングにより電極12とリード13がワイヤ14により接続される。Y軸移動テーブル24上のZ軸駆動機構25の横には保持具34が延出しており、この保持具34にはITVカメラ35が固定されている。ITVカメラ35はボンディング部分に対して水平面内で移動可能であり、ボンディング部分を撮像し映像を読み取り電気信号に変換する。画像認識部36はITVカメラ35により読み取られた映像信号を画像認識し、ワイヤボンディングに必要な位置決め情報を制御用マイクロコンピュータ1へ出力する。
【0024】
制御用マイクロコンピュータ1はこの位置決め情報によりキャピラリ30の動きを制御する。制御用マイクロコンピュータ1はバンプボール作成接合制御手段2とボンディング制御手段3とを有する。バンプボール作成接合制御手段2は第1ボンディング点と第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を行う前に、予め第2ボンディング点にバンプボールを接合しておくように制御する。ボンディング制御手段3はチップ10の電極12の第1ボンディング点とリード13に予め接合されたバンプボールの第2ボンディング点とをキャピラリ30を移動させてワイヤ14で接続するように制御する。
【0025】
次に、本発明のワイヤボンディング装置の動作について図1,図2および図3を使用して説明する。
図1によれば、ボンディングステージ33上のリードフレーム11の上面にチップ10が搭載されている。ワイヤボンディングを行うのに先立って、チップ10の電極12とリード13がITVカメラ35で撮像される。この映像は電気信号に変換され画像認識部36にて画像認識されボンディング位置が検出され制御用マイクロコンピュータ1へ送られる。制御用マイクロコンピュータ1ではこの位置情報と制御用マイクロコンピュータ1に予め設定されているキャピラリ30の移動軌跡のパラメータを使用して、キャピラリ30を定められた軌跡で移動させる制御信号が作られる。この制御信号によりサーボ駆動制御部38はキャピラリ30を第1ボンディング点から第2ボンディング点までループを形成して移動させる。
【0026】
図2は本発明の制御用マイクロコンピュータのバンプボール作成接合制御手段2の動作説明図であり、図2の(a)はボール作成図、図2の(b)はバンプボール接合図、図2の(c)はバンプボール作成図を示す。
図2の(a)のボール作成図に示すように、先ずキャピラリ30に挿入されたワイヤ14の先端にスパークロッド39でスパークされてボール15が作成される。その後キャピラリ30がリード13の第2ボンディング点に下降してくる。次に図2の(b)のバンプボール接合図に示すようにキャピラリ30がリード13の第2ボンディング点に下降してバンプボール16が接合される。次に図2の(c)のバンプボール作成図に示すように第2ボンディング点にバンプボール16が接合されると、キャピラリ30がPからPまで上昇し、PからPまでは水平方向で第1ボンディング点の方向とは逆方向に、PからPまでは下降し、PからPまでは再びバンプボールから離れる向きで水平方向に移動してワイヤ14にクラックを発生させた後、ワイヤクランプ29がワイヤ14を挟持して上へ引き上げることによりワイヤ14が切断されバンプボール16が作成される。Pから、P,P,Pを経由してPまでの移動距離のパラメータはクラックが適切に発生するような値に設定される。
【0027】
図3は本発明の制御用マイクロコンピュータのボンディング制御手段の動作説明図であり、図3の(a)はボール作成図、図3の(b)は第1ボール接合図、図3の(c)はボンディング図を示す。図3の(a)のボール作成図に示すように図2で説明したバンプボール作成接合制御手段2により第2ボンディング点にバンプボール16が予め接合されている。先ずキャピラリ30に挿入されたワイヤ14の先端にボール15が作成され、キャピラリ30がチップ10の電極12の第1ボンディング点に下降してくる。次に図3の(b)のボール作成図に示すように、キャピラリ30がチップ10の電極12の第1ボンディング点に下降し、ボール15が圧着接合され第1ボール17のようになる。次に、図3の(c)のボンディング図に示すように、キャピラリ30がリード13の第2ボンディング点までループを形成して移動し、予め作成されたバンプボール16の第2ボンディング点よりLだけ行き過ぎた点に下降してバンプボール16にワイヤ14が接合される。これにより第1ボンディング点と第2ボンディング点がワイヤ14により接続される。Lの距離のパラメータはボンディングが適切に行われる値に設定される。
【0028】
次に第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成について図4および図5を使用して詳細に説明する。
図4は第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。図5は第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの逆ボンディング制御手段の動作説明図であり、図5の(a)はバンプボール作成図,図5の(b)はボンディング図を示す。第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ4は、第1の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ1にリード13の第1ボンディング点と予めチップ10の電極12に接合されたバンプボールの第2ボンディング点とを、キャピラリ30を移動させてワイヤ14で接続する逆ボンディング制御手段5を付加したものである。リード13を第1ボンディング点としチップ10の電極12を第2ボンディング点とした、通常とは逆のボンディング動作を行うことができる。
【0029】
次に第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの動作について図5を使用して詳細に説明する。
図5の(a)バンプボール作成図に示すように、リード13を第1ボンディング点としチップ10の電極12を第2ボンディング点とした、通常とは逆のボンディング動作を行うもので、先ず第2ボンディング点に第1の発明と同様にバンプボール作成接合制御手段2によりバンプボール18が作成される。キャピラリ30のPからP,P,P,Pまでの動作は第1の発明と同じである。次に図5の(b)のボンディング図に示すように逆ボンディング制御手段5によりキャピラリ30がリード13の第1ボンディング点に下降し第1ボール19が接合された後、キャピラリ30がチップ10の電極12の第2ボンディング点までループを形成して移動し、予め作成されたバンプボール18の第2ボンディング点よりLだけ行き過ぎた点に下降してバンプボール18にワイヤ14が接合される。これにより第1ボンディング点と第2ボンディング点がワイヤ14により接続される。Lの距離のパラメータはボンディングが適切に行われる値に設定される。
【0030】
次に第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成について図6を使用して説明する。
図6は第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ6は、第1の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ1にバンプボールをリード13またはチップ10の電極12の複数箇所の第2ボンディング点に予め連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段7を付加したもので、キャピラリ30の移動距離が短くなりボンディング速度をあげることができる。
【0031】
次に第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの動作について説明する。
第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ6は、複数バンプボール作成接合制御手段7によりバンプボールをリードまたはチップの電極の複数箇所の第2ボンディング点に予め連続して作成接合しておき、その後ボンディング制御手段3により第1の発明と同様にボンディング動作を行う。
【0032】
次に第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成について図7を使用して説明する。
図7は第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ8は、第1の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ1にリード13の第1ボンディング点とチップ10の電極12に予め接合されたバンプボールの第2ボンディング点とをキャピラリ30を移動させてワイヤ29で接続する逆ボンディング制御手段5と、バンプボールをリード13またはチップ10の電極12の複数箇所の第2ボンディング点に予め連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段7とを付加したものである。
【0033】
次に第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの動作について説明する。
第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ8は、第1の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータ1に第2の発明の逆ボンディング制御手段5と、第3の発明の複数バンプボール作成接合制御手段7とを付加したものであり、動作も両者を合わせたものである。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のワイヤボンディング装置は次の効果を有する。
第1の発明の第1の効果は、第1ボンディング点と第2ボンディング点とをワイヤで接続するボンディング動作を行う前に、予め第2ボンディング点にバンプボールを接合しておき、このバンプボールにワイヤを接続するように制御用マイクロコンピュータが制御動作を行うようにしたので、第2ボンディング点の接合面積が大きくなり接合強度が強くなる。またリードの表面清浄度や表面粗さの度合いによる影響が少なく良好なボンディングができる。この結果ボンディング精度をあげることができる。
【0035】
第1の発明の第2の効果は、第2ボンディング点のリードに予めバンプボールを接合しておき、これにワイヤを接続するように制御用マイクロコンピュータが制御動作を行うようにしたので、第2ボンディング点のリードの傾きが大きくてもリードの傾きに合ったキャピラリの先端形状を選択する必要がなくなり、キャピラリの先端形状が制限されなく良好な接合ができる。この結果ボンディング精度をあげることができる。
【0036】
第2の発明の効果は、短ワイヤのボンディングのときに、リードを第1ボンディング点としチップの電極を第2ボンディング点とした、通常とは逆のボンディング動作を行うことにより、チップの表面構造が弱いものに対してキャピラリの先端がチップに接触せずバンプボールが緩衝となって過度な圧力が掛からない安全なボンディングができる。
【0037】
第3の発明の効果は、バンプボールをリードまたはチップの電極の複数箇所の第2ボンディング点に予め連続して作成接合することにより、キャピラリの移動距離が短くなりボンディング速度をあげることができる。
【0038】
第4の発明の効果は、前記第1の発明の効果、第2の発明の効果および第3の発明の効果のすべてを有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のワイヤボンディング装置の第1の発明の実施例の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の制御用マイクロコンピュータのバンプボール作成接合制御手段の動作説明図である。
【図3】本発明の制御用マイクロコンピュータのボンディング制御手段の動作説明図である。
【図4】第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。
【図5】第2の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの逆ボンディング制御手段の動作説明図である。
【図6】第3の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。
【図7】第4の発明の実施例の制御用マイクロコンピュータの構成を説明するためのブロック図である。
【図8】従来のワイヤボンディング装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図9】図8の従来のワイヤボンディング装置の第1ボンディング点から第2ボンディング点までキャピラリが移動してワイヤを掛け渡す動作の説明図である。
【符号の説明】
1,4,6,8 制御用マイクロコンピュータ
2 バンプボール作成接合制御手段
3 ボンディング制御手段
5 逆ボンディング制御手段
7 複数バンプボール作成接合制御手段
10 チップ
11 リードフレーム
12 電極
13 リード
14 ワイヤ
15 ボール
16 バンプボール
17 第1ボール
18 バンプボール
19 第1ボール
20 ベース
21 X軸モータ
22 X軸移動テーブル
23 Y軸モータ
24 Y軸移動テーブル
25 Z軸駆動機構
26 支軸
27 保持ブロック
28 アーム
29 ワイヤクランプ
30 キャピラリ
31 カム機構
32 Z軸モータ
33 ボンディングステージ
34 保持具
35 ITVカメラ
36 画像認識部
37 制御部
38 サーボ駆動制御部
39 スパークロッド

Claims (2)

  1. チップの電極とリードとを接続するワイヤが挿通されるキャピラリと、キャピラリを保持するアームと、このアームを上下のZ軸方向に揺動させるZ軸モータとカム機構を有するZ軸駆動機構と、チップの電極とリードの上面を撮像し映像を電気信号に変換するITVカメラと、前記アームと前記ITVカメラをチップに対して相対的に水平面内に移動させるX軸モータを有するX軸移動テーブルおよびY軸モータを有するY軸移動テーブルと、チップが搭載されたリードフレームを搭載するボンディングステージと、前記ITVカメラからの映像信号を画像認識し位置情報を得る画像認識部と、この位置情報によりキャピラリの動きを制御する制御用マイクロコンピュータと、前記X軸モータ,Y軸モータ,Z軸モータを回転させるサーボ駆動制御部とを有するワイヤボンディング装置において、前記制御用マイクロコンピュータが、次の各構成を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。
    (イ)第2ボンディング点とするチップの複数の電極にバンプボールを連続して作成接合する複数バンプボール作成接合制御手段
    (ロ)リードを第1ボンディング点とし、(イ)の複数バンプボール作成接合制御手段により予めチップの電極に接合されたバンプボールを第2ボンディング点として、キャピラリを移動してワイヤで接続する逆ボンディング制御手段
  2. 複数バンプボール作成接合制御手段が、バンプボールをチップの電極の第2ボンディング点に作成接合した後、キャピラリが第2ボンディング点から上昇し,次に水平方向に移動し,次に下降し,最後に再びバンプボールから離れる向きで水平方向に移動してワイヤにクラックをつくり切断する制御動作を行うことを特徴とする請求項1記載のワイヤボンディング装置。
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