JP3641608B2 - オゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3641608B2 JP3641608B2 JP2001357863A JP2001357863A JP3641608B2 JP 3641608 B2 JP3641608 B2 JP 3641608B2 JP 2001357863 A JP2001357863 A JP 2001357863A JP 2001357863 A JP2001357863 A JP 2001357863A JP 3641608 B2 JP3641608 B2 JP 3641608B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- voltage electrode
- low
- ozone
- ozone generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/12—Plate-type dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/60—Feed streams for electrical dischargers
- C01B2201/64—Oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/70—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary
- C01B2201/74—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary by liquid
- C01B2201/76—Water
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層された複数の平板状の高圧電極及び低圧電極を有し、この間に交流電圧を印加し放電を生じさせオゾンガスを生成する平板積層型オゾン発生装置に関し、特にこの平板積層型オゾン発生装置の要部であって、高圧電極及び低圧電極を有し酸素ガスを供給されてオゾンガスを生成するオゾン発生器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図25は例えば特許第3113885号「オゾン発生装置用放電セル」に記載された従来のオゾン発生器の断面図である。従来のオゾン発生器は、図25に示すように、概略平板状の剛性体からなる複数の低圧電極7を、両側一対のブロック25を挟んで板厚方向に重ね合わせることにより、複数の電極モジュールの積層体が構成されている。電極モジュールの積層体は、電極押え板22と基台24との間に、両側部を積層方向に貫通する複数本の締め付けボルト21により定着されている。
【0003】
各電極モジュールは、上下一対の低圧電極7と、この低圧電極7,7間に挟まれた両側一対のブロック25と、ブロック25,25の内側に位置して低圧電極7,7間に配置された誘電体ユニット30と、誘電体ユニット30の両面側に放電空隙6を形成するために設けられた複数の放電空隙形成用の弾性体スペーサ26とを有している。弾性体スペーサ26は、紙面に対して垂直方向に延びる断面円形の棒状をなす。
【0004】
両側一対のブロック25は、ステンレス鋼板等の導電性板材からなる導電性剛体で、低圧電極7間の両側部に介在することにより、この間に、ブロック厚に等しいギャップ量の空間を形成する。
【0005】
尚、図面はいずれも上下方向の寸法を誇張したものになっており、実際の厚さは例えば低圧電極7で3mm以下、ブロック25で3mm以下というように非常に薄く作製されている。
【0006】
上下一対の低圧電極7は、内部に冷却水通路9が形成されておりヒートシンクを兼ねている。また、片側のブロック25にも冷却水通路9が形成されている。そして、低圧電極7内の冷却水通路9は、冷媒としての冷却水を流通させるために、ブロック25を経由して基台24に設けられた冷却水出入口12に連通している。
【0007】
一方、低圧電極7の放電空隙6に対向する主面には、例えばエッチング等によりオゾンガス通路8が形刻されている。このオゾンガス通路8は、ブロック25に形成されたオゾンガス通路8を経由して基台24に設けられたオゾンガス出口11に連通している。また、放電空隙6の両側部には、放電空隙6に対して酸素ガスを紙面に向かって垂直方向に供給する酸素ガス入口10が設けられている。
【0008】
上下一対の低圧電極7と両側一対のブロック25で囲まれた空間に配置される誘電体ユニット30は、誘電体としての上下一対のガラス板5の間に高圧電極3を挟んだサンドイッチ構造を成す薄板状剛性体である。 高圧電極3は、ステンレス鋼板等の導電性薄板からなり、その一部は図示しない給電端子として外部へ導出されている。
【0009】
誘電体ユニット30の両面側に放電空隙6を形成するために設けられる放電空隙形成用の弾性体スペーサ26は、耐オゾン性及び弾力性を有する断面が円形の細い樹脂線材であり、放電空隙6の内に所定の間隔で配置されている。各スペーサ26の厚み(外径)は、圧縮のない状態で放電空隙6の各ギャップ量より5〜6%程度大きく設定されている。
【0010】
この設定により、弾性体スペーサ26は低圧電極7と誘電体ユニット30により上下から圧縮され、この圧縮により、誘電体ユニット30は上下から均等な圧力で弾性的に押圧され、上記空間内の上下方向中央部に保持される。その結果、誘電体ユニット30の両面側には、均等なギャップ量の放電空隙6が形成される。
【0011】
尚、弾性体スペーサ26の代わりに剛性体スペーサを用いた場合においては、剛性体スペーサはブロック25を締め付けた時に必然的に決定される放電空隙長(放電空隙の積層方向の高さ)より小さい径のものが用いられる。そのため、スペーサは放電空隙の中で積層方向に圧縮されない。
【0012】
次に動作について説明する。
低圧電極7と高圧電極3の間に交流高電圧を印加すると、誘電体5を介して放電空隙6に誘電体バリヤー放電が発生する。この放電によって酸素ガスが一旦酸素原子に解離し、ほぼ同時にこの酸素原子と他の酸素分子及び壁等の三体衝突が引き起こされオゾンガスが生成される。この仕組みを利用して、放電空隙6に連続に酸素ガスを供給することで、放電で生成されたオゾンガスは、オゾンガス出口11からオゾン化ガスとして連続的に取り出すことができる。
【0013】
この放電で取り出せるオゾン発生効率は、一般に最大約20%である。すなわち、放電電力の80%は電極を加熱してロスする。また、オゾンガスの発生効率は電極温度(厳密には放電ガス温度)に依存しており、電極の温度が低いほど発生効率が高い。そのため、電極を冷却水等で直接冷却する、或いは放電空隙6のギャップ長を短くすることで放電空隙6中のガス温度の上昇を抑制し、かつ電子温度を高めることでオゾン生成効率を高め、オゾン分解を抑制して、結果として効率良く高濃度のオゾンガスが取り出せるオゾン発生器を可能としている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成の従来のオゾン発生器においては、電極の冷却が低圧電極7側の片面冷却であり、高圧電極3が冷却されていない。そのため、高・低圧電極を冷却する両面冷却方式よりも、同一電力を投入した場合放電空隙6のガス温度は約4倍程度となる。そして、このガス温度上昇によって、生成したオゾンを分解する量が増大するため、電極に投入する放電電力密度をさらに高く上げられず、オゾンガスを効率良く発生させることが出来なかった。
【0015】
また、弾性体のスペーサ26を用いる際、放電空隙6内には放電による十分高いエネルギーを有した電子が存在するため、有機材で形成した弾性体のスペーサ26は、この放電に触れることにより高エネルギーの電子(放電エネルギー)が衝突して化学結合が遊離する損傷を受ける。そして、オゾン発生器を連続運転で使用すると、金属製スペーサに比べてスペーサ26は短い期間で劣化し、その劣化によりガスを均一に流すことが不可能になり、効率が急激に減少し、装置の寿命が短くなる欠点が有った。
【0016】
また、耐オゾン性のあるテフロン(登録商標)製の弾性体スペーサを使用した場合においても、上述の高エネルギーの電子(放電エネルギー)が衝突して化学結合が遊離する損傷を受ける。さらに、空気中において一般に「難燃性物質」である物質を用いても、高濃度のオゾンや酸素ガス雰囲気では「可燃性物質」と同様になり、放電空間に直接接触する部分に設置することにおいては、放電エネルギーによって弾性体スペーサの昇化反応が活性化してクリーンなオゾンガスが得られなくなる問題点があった。
【0017】
一方、弾性体のスペーサ26の代わりに剛性体のスペーサを用いた場合、ブロック25を介して締め付けた時に必然的に決定される放電空隙長より小さい径になるように設計する。そのため、放電空隙6を微少な隙間にして高濃度のオゾンを発生させようとする場合、放電ガス通路の圧力損失(図25の紙面に垂直なガス通路の圧力損失)よりも、放電空隙形成用スペーサ26で仕切っている隙間での圧力損失(放電空隙形成用スペーサ26と誘電体5との微少な間隙での圧力損失)が非常に小さくなる。これにより、放電空隙形成用スペーサ26によるガスを均一に流すことが困難となる。その結果、オゾン発生効率が低下して、コンパクトなオゾン発生器にすることが出来ないなどの問題点があった。
【0018】
一般に、スペーサ26の形成する隙間での圧力損失を、放電通路部の圧力損失の約10倍以上にしなければガス流体を均一に流すことができない。例えば、放電空隙6が0.1mm程度であるとき、スペーサ26の厚みと放電空隙との隙間は、非常に高い精度であることが要求される。そして、このような精度でスペーサ26を製作し、かつ放電空隙に接触せずに配置することは非常に困難である。このような理由により、スペーサ26を精度良く製作するためにはコストが非常にアップし、装置を安価に製作することが不可能であった。
【0019】
また、このような構成の従来のオゾン発生器においては、上下一対の低圧電極7と、この低圧電極7,7間に挟まれた両側一対のブロック25と、ブロック25,25の内側に位置して低圧電極7,7間に配置された誘電体ユニット30と、誘電体ユニット30の両面側に放電空隙6を形成するために設けられた複数の放電空隙形成用の弾性体スペーサ26から成る電極モジュールを、低圧電極7を介して複数個積層し、固定する手段として上端に設けた電極押え板22と下端に設けた基台24間を電極モジュールの両側位置に積層方向に貫通させた締め付けボルト21で締め付けている。すなわち、電極モジュールを挟んだ低圧電極7の両端で締め付ける構成にしたため、電極モジュールの両サイドが支点となり、本来平面であるべき低圧電極7が円弧状に歪み、特に0.1mmの厚さの放電空隙においては、空隙長が均一にならなくなり高濃度のオゾンが得られなくなる問題点があった。
【0020】
さらに、従来のオゾンガス通路8はガスシールドを施さないで作製されていた。そのため、各積層された低圧電極7で挟まれた電極モジュールに、原料酸素ガスを100%供給することが出来なかった。すなわち、酸素ガスが電極モジュールの放電通路を通らず直接オゾンガス出口11に逃げてしまう「ショートパス現象」が生じていた。この「ショートパス現象」が発生すると、電極モジュールのオゾン発生効率が低下するとともに高濃度のオゾンを生成することができず、さらに、放電空隙6で発生したオゾン濃度は原料の酸素ガスのショートパス流量によって薄められるため、高濃度のオゾンガスをさらに取出せないの問題点が発生していた。
【0021】
この発明は、上述のような複数の課題を一括して解決するためになされたものであり、
第1の目的は、オゾン発生性能を損わず信頼性の高い電極モジュール構造であり、しかも電極モジュールの寿命を長くすることのできるオゾン発生器を提供することを目的とする。
第2の目的は、非常に薄い平板状の電極モジュールを簡単な作業で、積層・組合せることができ、さらにコンパクトなモジュール化を実現することができるオゾン発生器を提供することを目的とする。
第3の目的は、高圧電極3及び低圧電極7の両電極を良好に冷却可能な構造のオゾン発生器を提供することを目的とする。
第4の目的は、電極の少なくとも一方を、冷却構造とオゾンガス取出構造をともに備え、薄く、軽く、しかも安価で品質の良い電極とすることができるオゾン発生器を提供することを目的とする。
第5の目的は、生成するオゾンガスの純度が良い、つまりクリーンオゾンガスを生成することのできるオゾン発生器を提供することを目的とする。
第6の目的は、オゾン発生器内の部品機能を統合化させ、部品点数の削減もしくは部品コストの低減を図ることのできるオゾン発生器を提供することを目的とする。
【0022】
この発明は上述のような目的を達成するためになされたものであり、電極モジュールを容易に支持することができ、電極モジュール間の原料ガスを確実にシールドすることができるとともに、電極の位置決めを容易に行うことができ、複数個の電極モジュールを放電空隙のバラツキをなくして支持することができ、性能の良いオゾン発生器を得るものである。
また、耐オゾン性に優れ、コンパクトで長寿命、高品質のオゾン発生器を実現するものである。
また、放電空隙の構成は特許第3113885号に用いた放電空隙内の弾性体を用いず、さらに空隙長より径の小さい高精度の剛性体スペーサを必要とせず、放電空隙長に等しい厚さのスペーサを用いることを可能とするオゾン発生器を得るものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
この発明は、電極モジュールが複数個積層されて構成され、各電極モジュールが、内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極と、上記低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、上記低圧電極と上記高圧電極との間および上記高圧電極と隣接する上記電極モジュールの低圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、上記高圧電極の内部に該高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットと、を含み、上記低圧電極と上記高圧電極との間に交流電圧を印加され、酸素ガスを含む原料ガスが注入された上記放電空隙に放電を生じさせオゾンガスを発生させ、最端の上記電極モジュールの端にある上記スペーサの上記高圧電極と反対側の内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極が設けられ、さらに上記各電極モジュールの片側に、隣接する上記低圧電極の主面間にこれらにそれぞれ接して設けられ、該低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路及び該低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックと、を備えたことを特徴とするオゾン発生器にある。
また、上記各電極モジュール及び各マニホールドブロックが上記酸素ガスを含む原料ガスが充満された発生器カバー内に収納され、上記酸素ガスを含む原料ガスが上記放電空隙へ周囲から侵入し発生したオゾンガスが上記低圧電極の中心部の孔から上記オゾンガス通路に導かれる。
また、上記各マニホールドブロックは、積層方向に2つの部材に分かれており、上記部材間に上記弾性構造が設けられ、上記部材間の上記冷却水通路及び上記オゾンガス通路はそれぞれ該通路が形成された円筒部とこれを受け入れる凹部およびこれらの間に気密性を保つために配設されたOリングで接続されている。
また、上記低圧電極、高圧電極、誘電体、スペーサ、及び高圧電極冷却ユニットが積層された部分と、上記低圧電極及びマニホールドブロックが積層された部分とが別々の挟持機構で挟持固定され、上記低圧電極の上記双方の部分の間にくびれ部を設けた。
【0024】
また、高圧電極冷却ユニットは、高圧電極に貫通してくりぬかれた貫通穴に挿入された高熱伝導率、高電気絶縁性のフローチューブと、フローチューブと貫通穴との間に充填されフローチューブを貫通穴に固定する高熱伝導率の熱伝導性接着剤とを有する。
【0025】
また、低圧電極は、主面に溝が形成された2枚以上の金属製の平板が溝を向き合うようにして貼り合わせて作製されることにより内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成されている。
【0026】
また、フローチューブは、高圧電極の主面と平行に複数本が並設されている。
【0027】
また、金属製の平板は、加熱と加圧のみで貼り合わせられている。
【0028】
また、低圧電極の放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われている。
【0029】
また、誘電体膜は、セラミック材で作製されている。
【0030】
また、誘電体膜は、ガラス材で作製されている。
【0031】
また、誘電体の高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、導電膜が高圧電極に接触している。
【0032】
また、誘電体と高圧電極は、導電性接着剤で貼り合わせられている。
【0033】
また、導電膜の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されている。
【0034】
また、導電性接着剤の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されている。
【0035】
また、高圧電極の外径は、誘電体の外径よりも小さい。
【0036】
また、高圧電極の外径は、誘電体を被う導電膜の外径よりも小さい。
【0037】
また、低圧電極に隣接して設けられ、低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路、或いは低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックを備えている。
【0038】
また、マニホールドブロックは、低圧電極、高圧電極の積層方向に弾性機能を有する弾性構造を有する。
【0039】
また、スペーサは、低圧電極の冷却水通路を形成するリブに対向する位置に配置されている。
【0040】
また、電極モジュールが複数個積層されて構成され、各電極モジュールが、内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極と、上記低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、上記低圧電極と上記高圧電極との間および上記高圧電極と隣接する上記電極モジュールの低圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、上記高圧電極の内部に該高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットと、を含み、上記低圧電極と上記高圧電極との間に交流電圧を印加され、酸素ガスを含む原料ガスが注入された上記放電空隙に放電を生じさせオゾンガスを発生させ、最端の上記電極モジュールの端にある上記スペーサの上記高圧電極と反対側の内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極が設けられ、さらに上記各電極モジュールの片側に、隣接する上記低圧電極の主面間にこれらにそれぞれ接して設けられ、該低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路及び該低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックと、を備え、上記各低圧電極の上記放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われ、上記各誘電体の上記高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、該導電膜が該高圧電極に接触している。
【0041】
また、低圧電極、高圧電極、誘電体、スペーサ、及び高圧電極冷却ユニットを有する電極モジュールが、複数個積層されている。
【0042】
また、導電膜は、低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられている。
【0043】
また、スペーサは、低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられ放電空隙を形成する放電空隙形成用スペーサと、低圧電極に形成されたオゾンガス通路の対向する位置に設けられ放電空隙の所定の空間をなくす非放電用スペーサとからなる。
【0044】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図に基づいて説明する。
図1は平板積層型オゾン発生装置を説明する模式的な説明図である。平板積層型オゾン発生装置は、オゾンを発生させる要部構成としてのオゾン発生器100と、このオゾン発生器100に電力を供給するオゾントランス200及び高周波インバータ300から構成されている。
【0045】
高周波インバータ300は、電源入力404から入力された電力を必要な周波数に変換してインバータ出力ケーブル403に出力する。オゾントランス200は、この電力を所定の電圧まで昇圧させ、オゾン発生に必要な電力としてオゾン発生器100に供給する。高周波インバータ300は、さらに電流/電圧を制御する機能を有し供給する電力注入量を制御する。
オゾントランス200から供給される高電圧は、高電圧ケーブル401から高圧ブッシング120を通してオゾン発生器100の高圧電極3に供給される。一方、低電圧は、低電圧ケーブル402から基台24を介して低圧電極7に供給される。
【0046】
オゾン発生器100は、高圧電極3及び低圧電極7を有する複数の電極モジュール102を備えている。所定の個数の電極モジュール102が基台24上に図中矢印Z方向に積層されてオゾン発生器電極101が構成されている。オゾン発生器電極101は、発生器カバー110で覆われている。発生器カバー110には、窒素、炭酸ガス等が微量含まれた酸素ガスを供給するオゾン発生器酸素ガス入口130が設けられている。供給された酸素ガスは、発生器カバー110に充満され、後述する放電空隙に入り込む。一方、基台24には、後述する放電空隙にて生成されたオゾンガスをオゾン発生器100から外部に出すオゾンガス出口11と電極モジュール102を冷却する冷却水が出入りする冷却水出入口12が設けられている。
【0047】
このような構成の平板積層型オゾン発生装置において、本発明は特にオゾン発生装置の要部であるオゾン発生器100に関し、詳細には、オゾン発生器100のオゾン発生器電極101及び電極モジュール102の構造に関するものである。
【0048】
実施の形態1.
図2はこの発明の実施の形態1のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の模式的な詳細断面図である。図2において、オゾン発生器電極101は、平板状の低圧電極7と、低圧電極7の主面に対向する平板状の高圧電極3と、低圧電極7と高圧電極3との間に設けられた平板状の誘電体5及び積層方向に厚さの薄い放電空隙6を形成するための図示しないスペーサとを有する。
【0049】
オゾン発生器電極101は、さらに高圧電極3の内部に高圧電極3と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニット2を有する。
【0050】
そして、オゾン発生器電極101は、低圧電極7と高圧電極3との間に交流電圧を印加され、酸素ガスが注入された放電空隙6に放電を生じさせオゾンガスを発生させる。
【0051】
図1に示したオゾントランス200から高圧ブッシング120を介して高圧電極3の給電端子4に電力が供給される。高圧電極3は、ステンレス、アルミ等の金属で作製されている。誘電体5の主面は高圧電極3に密着している。誘電体5は、セラミック、ガラス、シリコン等の材料で作製されている。誘電体5と低圧電極7との間には、後述するスペーサによって放電空隙6が形成されている。本実施の形態においては、放電空隙6は円板状に形成されており、図1の発生器カバー110に充満された酸素ガスは、放電空隙6の全周囲から中心方向に向かって注入される。
【0052】
高圧電極3と低圧電極7との間に交流・高電圧を印加することで、放電空隙6を流れる酸素ガスをオゾンに変換する。放電空隙6でオゾン化酸素に変換されたオゾンガスは、低圧電極7の中心部から低圧電極7内に設けられたオゾンガス通路8を経由してオゾンガス出口11に導かれる。
【0053】
低圧電極7は、ステンレス鋼板等からなる2枚の導電板を接合して板間にオゾンガス通路8を形成した薄板状の導電性剛体である。低圧電極7には、オゾンガス通路8以外にオゾン発生効率を上げるための冷却水通路9が設けられている。そして、この冷却水通路9に冷却水を流すことで、放電空隙6内のガス温度を下げる。
【0054】
一方、高圧電極3を冷却するために、各高圧電極3の内部に高圧電極冷却ユニット2が設けられている。高圧電極冷却ユニット2は、高圧電極3に貫通してくりぬかれた貫通穴に挿入され内部に冷却水を流通させる高熱伝導率、高電気絶縁性の材料で作製されたフローチューブ2bと、フローチューブ2bと貫通穴との間に充填されフローチューブ2bを貫通穴に固定する高熱伝導率の熱伝導性接着剤2aとを有する。
【0055】
低圧電極7内に形成されたオゾンガス通路8は、マニホールドブロック23に形成されたオゾンガス通路8を経由して基台24に設けられたオゾンガス出口11に連通している。一方、低圧電極7に形成された冷却水通路9はマニホールドブロック23に形成された冷却水通路9を経由して基台24に設けられた冷却水出入口12に連通している。
特に図示はしないが、低圧電極7とマニホールドブロック23あるいは基台24間における冷却水の水密はOリング等のガスケット材が挟み込まれている。また、オゾンガスの気密にもOリング等のガスケット材が挟み込まれている。
【0056】
低圧電極7、高圧電極3、誘電体5、スペーサ及び高圧電極冷却ユニット2から成る電極モジュール102は、各構成要素を貫通する締め付けボルト21によって、電極押え板22と基台24との間で締着されて固定されている。放電空隙6はマニホールドブロック23によって、積層方向に所定の厚さに保たれている。
【0057】
尚、本実施の形態は、高圧電極3と低圧電極7との間に無声(誘電体バリヤー)放電に必要な誘電体5を設け、そしてこの誘電体5と低圧電極7との間にスペーサを配置して放電空隙6を設けている。しかし、高圧電極3と誘電体5との間にスペーサを配置して放電空隙6を設けても良い。
【0058】
次に動作について説明する。高圧電極3と低圧電極7に交流・高電圧を印加すると、放電空隙6で無声(誘電体バリヤー)放電が発生する。この放電空隙6に酸素ガスを通すと酸素が変換されオゾンが発生する。発生器カバー110に充満された酸素ガスは、低圧電極7と誘電体5との間に形成された放電空隙6を通過し、その間にオゾンに変換される。本実施の形態においては、誘電体5、高圧電極3及び両者間に形成された放電空隙6は、各々概略円板状を成している。そして、酸素ガスは誘電体5の全周囲から中心に向かって流れ放電空隙6でオゾン化酸素ガスとなる。
【0059】
オゾンを効率よく生成させるには、特に厚さの薄い空間である放電空隙6を精度を良く保つ必要がある。電極モジュールの積層体を、電極押え板22と基台24との間で、両側部にブロック23を配置して積層方向に貫通する複数本の締め付けボルト21により締め付けることにより、所定の空隙精度を得られるようにしている。そして、放電空隙6は、低圧電極7の表面に配置した図示しない放電空隙用スペーサによって形成している。つまり、放電空隙6の厚さ(積層方向の高さ)は、この放電空隙用スペーサの高さで設定している。この放電空隙用スペーサの高さを均一に加工すること及び締め付けボルト21で各電極を締め付けることで、放電空隙6の精度を確保している。
【0060】
オゾンを効率よく生成するもう一つの手段として、放電空隙6内の温度を下げる方法がある。電極として高圧電極3と低圧電極7が設けられており、この両電極を水またはガス等で冷却する方法が考えられる。水とガスの冷却効果は水の方が大きいが、水を用いる場合、高圧電極3には高電圧が印加されるため、冷却水の電気伝導率を小さく(イオン交換水を用いる等)する必要がある。一方、ガスを用いる場合はその必要は無いが構造が複雑、騒音が大きい、または冷媒の熱容量が小さい等一長一短がある。
【0061】
本実施の形態においては、低圧電極7に隣接して放電空隙6が形成されており、低圧電極7内に冷却水通路9を設けることで、放電空隙6を冷却している。また、高圧電極3を冷却するため、高圧電極3の内部に高圧電極冷却ユニット2を設け、高圧電極3で発生した熱を冷却ユニット2内を流れる冷却水で冷却している。このように高圧電極3と低圧電極7を同時に冷却することで、放電空隙6のガス温度を低く保つことができる。
【0062】
また、高圧電極3の内部に設けられた高圧電極冷却ユニット2は、熱伝導性が高く電気絶縁性が大きいフローチューブ2bを有しており、電気的絶縁が確保されている。このように構成したので、高圧電極冷却ユニット2に流す冷却水の電気伝導率を小さくする必要は無く、一般の水道水程度でよい。そのため、低圧電極7を冷却する冷却水と共通の冷却水にできる利点も生じる。
【0063】
このようなことから、本実施の形態においては、放電空隙6の冷却効率を向上させ、また放電空隙6の温度を良好に下げることができる。これにより、オゾン発生効率を低下させずに電力密度を上げることができ、電極モジュール数の減少が可能となり装置の小型化及び低価格化を図ることができる。さらに、高圧電極3を高圧電極冷却ユニット2で冷却するため、冷却水として電気伝導率の小さいイオン交換水等を使用せずに済み、一般の水道水程度の冷却水を用いることができる。そのため、電気伝導度の監視装置やイオン交換水の循環設備等が不要となり、装置構成点数の削減による低価格化や、維持費用の低減を図ることができる。
【0064】
実施の形態2.
図3はこの発明の実施の形態2のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。図4は図3のA−A線に沿う矢視断面図である。図5は図3のB−B線に沿う矢視断面図である。低圧電極7は、図4及び図5において示されるように上側低圧電極7aと下側低圧電極7bの2枚の金属電極から構成されている。2枚の電極7a,7bの片側主面にはあらかじめエッチングもしくは機械加工によって深さ数mmの溝が形刻されている。そして、この溝を向き合うようにして2枚の電極7a,7bを貼り合わせて低圧電極7が作製されている。向き合わされた溝は、低圧電極7の内部にオゾンガス通路8及び冷却水通路9を形成する。
【0065】
また、低圧電極7の片側端部(図3の左側)のオゾンガス・冷却水取出し部900には、積層方向に延びるオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成されている。ここで冷却水通路9は、冷却水入口9aと冷却水出口9bとに分かれている。冷却水入口9a及び冷却水出口9bに連通する冷却水通路9は図3に点線で示されるように低圧電極7の内部においてほぼ全体にわたって形成されている。すなわち、概略円形の低圧電極放電部700に中央から外周部まで同心円状に複数形成されている。尚、隣り合う同心円状の冷却水通路9は、幅の細いリブにて仕切られている。一方、低圧電極7の内部に形成されるオゾンガス通路8は、片側端部の積層方向に延びる通路から中央部に延び、中央部で両主面に形成された開口に連通している。
【0066】
低圧電極7の片側端部に設けられた積層方向に延びるオゾンガス通路8及び冷却水通路9は、マニホールドブロック23に設けられたオゾンガス通路及び冷却水通路とつながり、最終的に基台24に設けられたオゾンガス出口11及び冷却水出入口12につながっている。
【0067】
2枚の電極7a,7bのオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成されるための溝が形成された面に対して反対側の面には、放電空隙6を形成するための丸形の凸部が同じくエッチングもしくは機械加工によって主面全体に複数形成されている。上述のオゾンガス通路8は、この放電空隙6が形成される面に形成された開口に連通している。
【0068】
発生したオゾンガスは、低圧電極7の中央部から低圧電極7内に設けられたオゾンガス通路8を通って低圧電極7の片側端部のオゾンガス・冷却水取出し部900に設けられた積層方向に延びるオゾンガス通路8に至る。一方、低圧電極7内の全体に流れる冷却水は、オゾンガス・冷却水取出し部900の冷却水入口穴9aから低圧電極7に入り、低圧電極放電部700の全面を冷却し、オゾンガス・冷却水取出し部900の冷却水出口穴9bへ抜ける。
【0069】
低圧電極7の端部に設けられたオゾンガス・冷却水取出し部900でのオゾンガス出口の集合及び冷却水の出入口の集合構造は、低圧電極7に隣接して設けられたマニホールドブロック23と協同して基台24に設けられたオゾンガス出口11及び冷却水出入口12につながる。このように本実施の形態においては、低圧電極7及びマニホールドブロック23内に通路を形成することにより、集合継手、配管部材を無くし、これら継手、配管部材によるスペースを削減することによりコンパクトで簡素化したオゾン発生器を実現している。
【0070】
このようなことから、本実施の形態においては、低圧電極7をエッチングもしくは機械加工によって数mm以内で凹凸加工した少なくとも2枚以上の金属板を貼り合わせることで気密流通空間を構成し、オゾンガス通路8及び冷却水通路9とを気密分離させて形成したので、低圧電極7の厚みを薄くすることができ、装置の小型化が行える。また、冷却水及びオゾンガス取出し用配管が不要となるため、組立て、分解が簡単に行え、安価なオゾン発生器を提供することができる。
【0071】
尚、本実施の形態においては、2枚の電極7a,7bが接合されて低圧電極7が作製されているが、3枚以上の電極が接合されて内部にオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成されるようにしても良い。
【0072】
また、本実施の形態においては、低圧電極7と誘電体5との間に放電空隙6を設け、低圧電極7内にオゾンガス通路8を形成しているが、高圧電極3と誘電体5との間に放電空隙を設け、高圧電極3内にオゾンガス通路を形成しても良い。
【0073】
実施の形態3.
図6はこの発明の実施の形態3のオゾン発生器を示す高圧電極冷却ユニット2の説明図である。高圧電極3は、正方形の板状を成し、上下の両主面に正方形の1辺と同じ長さの直径を有する凸部が形成されている。そして、高圧電極3には、主面と平行な面内に5本の平行な貫通穴がくりぬかれている。これらの貫通穴には、各々、例えばガラス或いはセラミック等の高熱伝導率、高電気絶縁性の材料で作製されたフローチューブ2bが挿入されている。また、フローチューブ2bと貫通穴との間には、高熱伝導率の熱伝導性接着剤2aが充填され、フローチューブ2bを貫通穴に固定している。
【0074】
各々のフローチューブ2bの端部を接続するように冷却水マニホールド2dが設けられている。冷却水マニホールド2dは、概略細長状をなし高圧電極3の対向する2辺に沿って延びている。冷却水マニホールド2dの内部には、軸芯に沿ってマニホールドが形成されている。マニホールドの片側端は閉塞されている。片方の冷却水マニホールド2dにおいて、マニホールドの端部には、冷却水入口2eが設けられている。他方の冷却水マニホールド2dにおいて、マニホールドの端部には、冷却水出口2fが設けられている。冷却水マニホールド2d内に形成されたマニホールドは、各々のフローチューブ2bに連通している。
【0075】
次に動作を説明する。放電による発熱は高圧電極3の両面から発生する。その熱は、熱伝導の良い材料で作製されている高圧電極3の内部に伝わりフローチューブ2b内の冷却水通路2cを流れる冷却水に吸収される。これにより高圧電極3の温度が低く保たれる。フローチューブ2bの両端は、冷却水マニホールド2dにて集結されており、このマニホールドを通して冷却水が出入りされる。
【0076】
冷却水マニホールド2dの設けられた冷却水入口2eから入った冷却水は、冷却水マニホールドで分流され、それぞれのフローチューブ2bで熱を吸収し、冷却水出口2fから出る。高圧電位は、フローチューブ2bにより電気的に絶縁されているため、冷却水からの漏電は無く、冷却水に高電気抵抗水(例えばイオン交換水)を使う必要はない。低圧電極7を冷却している水道水と同じものを使用しても良い。このような構成により、高圧電極3を直接冷却することで、構造がシンプルでしかもエネルギー効率良く冷却することができ、高性能なオゾン発生器とすることができる。
【0077】
このようなことから、本実施の形態においては、高圧電極3の内部に高圧電極冷却ユニット2を設け、熱伝導率の高く、電気絶縁性にすぐれたフローチューブ2bで電気的に絶縁し、更に高圧電極3とフローチューブ2bとの隙間に熱抵抗を押さえるため、熱の伝わりが良い、伝導性接着剤2aを隙間に埋めることで熱伝導を良くするように構成したので、冷却水に電気伝導率の小さいイオン交換水等が不要となり、一般の水道水程度の冷却水を用いることができ、電気伝導度の監視装置やイオン交換水の循環設備等が不要となり、装置構成点数の削減による低価格化、維持費用の低減が図ることができる。
また、フローチューブ2bは、高圧電極3の主面と平行に複数本が並設されている。そのため、平板状の高圧電極3を効率良く冷却することができる。
【0078】
実施の形態4.
本実施の形態は金属板の接合方法に関する。2枚の金属板の接合に関し一般的な方法としては、接合剤としてロー剤を用いたロー付け方式がある。ところが、オゾンガス通路8はオゾンが流通するため、オゾンガスによるロー剤との酸化反応が起こり、オゾンガスの分解、酸化物の生成等、オゾン発生器にとって良くない現象が発生する。そこで、本実施の形態においては、この一般的なロー付け方式を用いない。
【0079】
すなわち、実施の形態2の2枚の電極7a,7bの接合において、この一般的なロー付け方式を用いない。本実施の形態においては、2枚の金属板の接合に関し、加熱・加圧式接合方法を用いる。この方法は、2枚の金属板を加熱しながら積層方向に大きな圧力をもって押し付けて、接触面で両金属を融合させて接合するものである。金属はその金属特有の溶融点で溶融する。そのため、接合材質で決まる所定の加熱と所定の加圧により金属を接合することができる。この方法は、ロー剤はもとより他の接合剤も全く使用しない。そのため、オゾンによる酸化反応物が生成されずクリーンなオゾンを生成することができる。
【0080】
このようなことから、本実施の形態においては、2枚以上の金属板を貼り合わせる方法に関し、接合剤を使用せず加熱と加圧のみで接合させる方法を用いたので、オゾンによる接合剤の腐食が生じず寿命が長く信頼性の高いオゾン発生器とすることができる。
【0081】
実施の形態5.
図7はこの発明の実施の形態5のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。本実施の形態においては、低圧電極7の放電空隙6に対向する放電面全体が無機材でなる誘電体膜13にて覆われている。この誘電体膜13は、放電空隙6に面している。この誘電体膜13の厚さは、金属イオンが充分阻止できる厚みとしている。
【0082】
このような構成のオゾン発生器においては、無声放電が発生する放電空隙6が両面ともに無機材で囲まれることとなり、この空隙に酸素ガスを通すことにより、金属コンタミネーションのないクリーンなオゾンを発生することができる。
【0083】
実施の形態6.
図8はこの発明の実施の形態6のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。図9は図8のE−E線に沿う矢視断面図である。図10は図8のF−F線に沿う矢視断面図である。本実施の形態においては、低圧電極7の放電空隙6に対向する放電面全体がセラミック誘電体膜13aにて覆われている。このセラミック誘電体膜13aは、放電空隙6に面している。セラミック誘電体膜13a上には、放電空隙6を形成するために小型円板状の複数のセラミック誘電体放電空隙用スペーサ13a1が配置されている。
【0084】
このような構成のオゾン発生器においては、酸素ガスは、低圧電極7の外周部より放電空隙6内に流入し、セラミック誘電体放電空隙用スペーサ13a1間を通りながら無声放電によりオゾンを生成し、低圧電極7の中心に形成されたオゾンガス通路8より、低圧電極7の内部を通り外部に流出する。このとき、放電空隙6は両面ともに無機材で囲まれさらにスペーサも無機材であるので、さらに金属コンタミネーションのないクリーンなオゾンを発生することができる。
【0085】
尚、セラミック誘電体膜13aは、溶射方式により形成され、数μmの厚さに膜厚制御される。さらにこの溶射方式では、セラミック誘電体放電空隙用スペーサ13a1も同時に形成することができる。
【0086】
実施の形態7.
図11はこの発明の実施の形態7のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。図12は図11のG−G線に沿う矢視断面図である。図13は図11のH−H線に沿う矢視断面図である。本実施の形態においては、低圧電極7の放電空隙6に対向する放電面全体がガラス誘電体膜13bにて覆われている。このガラス誘電体膜13bは、放電空隙6に面している。ガラス誘電体膜13b上には、放電空隙6を形成するために小型円板状の複数のガラス誘電体放電空隙用スペーサ13b1が配置されている。
【0087】
このような構成のオゾン発生器においては、酸素ガスは、低圧電極7の外周部より放電空隙6内に流入し、ガラス誘電体放電空隙用スペーサ13b1間を通りながら無声放電によりオゾンを生成し、低圧電極7の中心に形成されたオゾンガス通路8より、低圧電極7の内部を通り外部に流出する。このとき、放電空隙6は両面ともに無機材で囲まれさらにスペーサも無機材であるので、さらに金属コンタミネーションのないクリーンなオゾンを発生することができる。
【0088】
尚、ガラス誘電体膜13bの作製においては、まず石英材質のガラス板をマスクを利用してショトブラスト処理し凸型のガラス誘電体放電空隙用スペーサ13b1を形成する。その後このガラス誘電体膜13bを接着剤13b2にて低圧電極7に貼る。
【0089】
実施の形態8.
図14はこの発明の実施の形態8のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。本実施の形態においては、誘電体5の高圧電極3側の主面が全面にわたって導電膜14にて覆われている。
【0090】
導電膜14を設けていない無い場合、高圧電極3面と誘電体5面を接着等を用いることなく互いに機械的圧力のみで圧着すると、高圧電極3面と誘電体5面を密着良く接触できない。そして、接触面の一部で空隙ができ、この空隙で不正放電(局部放電)が生じてしまう。この不正放電は、誘電体5を破損したり、オゾン発生効率の低下をしたり、クリーンオゾンの発生を妨害したりするので問題であった。
【0091】
本実施の形態においては、誘電体5の表面に導電膜14を塗布することで、たとえ完全に密着良く接合できなくとも、誘電体5の導電膜14と高圧電極3は同電位になるため、接触面の一部に空隙が形成されていても不正放電(局部放電)を防止でき、金属コンタミネーションの発生を阻止することができる。
【0092】
実施の形態9.
図15はこの発明の実施の形態9のオゾン発生器を示す高圧電極3と誘電体5の側面図である。本実施の形態においては、高圧電極3と誘電体5との間が隙間無く導電性接着剤にて接合されている。このような構成においても、高圧電極3と誘電体5との密着性を高めることができ、不正放電を防止でき、金属コンタミネーションの発生を阻止することができる。さらには、位置決め等の調整が不要になり、組立が容易になる。
【0093】
実施の形態10.
図16はこの発明の実施の形態10のオゾン発生器を示す誘電体5を上から見た場合と横から見た場合の図である。本実施の形態は、導電膜14のエッジ部における金属コンタミネーションを押える構造を有するものである。導電膜14は高電圧の電位が印加され、そのエッジ部で不正コロナ放電が発生する。この不正コロナ放電の発生は金属コンタミネーションの発生要因となる。本実施の形態においては、導電膜14の外周部の段差を形成している部分に全周にわたって、絶縁保護膜16を被覆している。エッジ部で発生する不正コロナ放電を防止することができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。
その他の構成は実施の形態8と同様である。
【0094】
実施の形態11.
図17はこの発明の実施の形態11のオゾン発生器を示す高圧電極3と誘電体5の側面図である。本実施の形態においては、導電性接着剤15の外周部の段差を形成している部分に全周にわたって、絶縁保護膜16を被覆している。そのため、導電性接着剤15のエッジ部で不正コロナ放電が発生することを防止することができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。
その他の構成は実施の形態9と同様である。
【0095】
実施の形態12.
本実施の形態においては、高圧電極3の外径が、誘電体5の外径及び誘電体5の表面に設けられた導電膜14の外径より小さくされている。その他の構成は実施の形態8と同様である。
【0096】
高圧電極3の外径を、誘電体5や導電膜14の外径より小さくすることで、不正コロナ放電を無くし金属コンタミネーションを防ぐことができる。導電膜14の外径が高圧電極3より小さい場合、高圧電極3と誘電体5との間で放電を起こし、金属コンタミネーションの発生の要因となる。
【0097】
実施の形態13.
本実施の形態を図2を用いて説明する。図2において、オゾン発生器電極101は、平板状の低圧電極7と、低圧電極7の主面に対向する平板状の高圧電極3と、低圧電極7と高圧電極3との間に設けられた平板状の誘電体5及び積層方向に厚さの薄い放電空隙6を形成するための図示しないスペーサとを有する。
【0098】
オゾン発生器電極101は、さらに高圧電極3の内部に高圧電極3と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニット2を有する。
【0099】
そして、オゾン発生器電極101は、低圧電極7と高圧電極3との間に交流電圧を印加され、酸素ガスが注入された放電空隙6に放電を生じさせオゾンガスを発生させる。
【0100】
オゾン発生器電極101は、また、低圧電極7に隣接して設けられ、低圧電極7に設けられた冷却水通路9につながる冷却水通路9、及び低圧電極7に設けられたオゾンガス通路8につながるオゾンガス通路8が形成されたマニホールドブロック23を有する。
【0101】
放電空隙6でオゾン化酸素に変換されたオゾンガスは、低圧電極7の中心部より低圧電極7内のオゾンガス通路8を通り、低圧電極7の片側端部に導かれる。低圧電極7には、オゾンガス通路8以外に、オゾン発生効率を上げるため、冷却水通路9が設けられている。低圧電極7の片側端部には、冷却水を出し入れする積層方向に延びる冷却水出入口がオゾンガス通路と同様に設けられている。そして、上下に隣り合う2つの低圧電極7間にマニホールドブロック23を挿入し、相互の低圧電極7に形成されたオゾンガス通路8及び冷却水通路9をこのマニホールドブロック23で連通させる。このような構成とすることにより、オゾンガスの出口及び冷却水の出入口を1箇所に集結でき、小型・軽量で部品点数が少なく品質の高い装置とすることができる。
【0102】
実施の形態14.
図18はこの発明の実施の形態14のオゾン発生器を示すマニホールドブロック23の断面図である。マニホールドブロック23は、積層方向に2つの部材、すなわち、上側マニホールドブロック23aと下側マニホールドブロック23bとに分かれている。両者には、オゾンガス通路8及び冷却水通路9が積層方向に貫通して形成されている。これらのオゾンガス通路8及び冷却水通路9は、低圧電極7に設けられたオゾンガス通路8及び冷却水通路9に連通する。
【0103】
下側マニホールドブロック23bには、オゾンガス通路8及び冷却水通路9を囲うようにして設けられた図の上方に向かって立設する円筒部が形成されている。一方、上側マニホールドブロック23aは、この円筒部が挿入される凹部を有している。この凹部の中央には、オゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成されている。この円筒部と凹部とは、積層方向に摺動可能な間隙をもってシリンダとピストンの関係のように係合している。そして、この円筒部と凹部との間には、気密性を保つためにOリング23cが配設されている。また、上側マニホールドブロック23aと下側マニホールドブロック23bとの間には、積層方向に弾性を有するように皿ばね23dが配設されている。本実施の形態のマニホールドブロック23は、このような構造であるので、低圧電極7に設けられたオゾンガス通路8及び冷却水通路9に連通する積層方向に延びる通路を有するとともに、電極の積層方向に伸縮する。
【0104】
実施の形態1でも述べたように、オゾン発生効率を良くするには、放電空隙6の精度を上げる必要がある。そのため、放電空隙6形成用スペーサの高さ精度を上げ、更に電極全体を電極押え板22と締め付けボルト21で基台24に締め付けることで放電空隙6の精度を向上させている。しかしながら、低圧電極7はマニホールドブロック23に隣接して設けられており、マニホールドブロック23との結合力が強いと電極締め付けに悪影響が働き、放電空隙6の精度が保てなくなる恐れがある。
【0105】
すなわち、例えば実施の形態2に図2において、図2の右側には、高圧電極3及び低圧電極7を始め多くの部材が積層されて締め付けボルト21で基台24に締め付けられている。そして、この積層物の中に放電空隙6形成用スペーサによって放電空隙6が形成されている。一方、この積層物においては、多くの部材が積層されているために各々の部材の寸法誤差が積算されて縦方向に或る程度の誤差が発生してしまう。そして、低圧電極7は、例えばステンレス等で作製された剛体である。そのため、低圧電極7間に挟まれるブロックを如何に精度良く作製しても、積層物の縦方向の誤差のために、低圧電極7はゆがんでしまう。このゆがみが生じると、放電空隙6を精度良く形成することができない。これに対して、本実施の形態のマニホールドブロック23は、電極の積層方向に弾性を有するための構造を有する。そのため、積層物の縦方向の誤差を吸収することができ、放電空隙6を精度良く形成することができる。
【0106】
このようなことから本実施の形態においては、それぞれの電極に設けられた冷却水通路9を相互につなげる冷却水通路9、或いはオゾンガス通路8につながるオゾンガス通路8が形成されたマニホールドブロック23を設けたので、冷却水用の配管を設けるスペースやオゾンガスを取出すための配管を設けるスペースを削減でき、装置の小型化、軽量化、及び部品点数の削減、装置の品質向上を図ることができる。
【0107】
また、マニホールドブロック23は、電極の積層方向に弾性機能を有する弾性構造を有する。そのため、マニホールドブロック23の締め付けによる放電空隙の空隙長への悪影響を無くすことができ、放電空隙の精度を向上させることができる。
【0108】
実施の形態15.
図19はこの発明の実施の形態15のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。図20は図19のI−I線に沿う矢視断面図である。本実施の形態は、放電空隙6を形成する放電空隙用スペーサ7cの配置に関するものである。2枚の電極7a,7bの片側主面にはあらかじめにはエッチングもしくは機械加工によって深さ数mmの溝が形刻されている。そして、この溝が向き合わされてオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成されている。隣り合う溝と溝の間には、通路を隔てるリブ7dが設けられている。そして、本実施の形態の放電空隙用スペーサ7cは、リブ7dと対向する位置に配置されている。すなわち、放電空隙用スペーサ7cは、低圧電極7の放電空隙6に対向する面において、リブ7dを積層方向に透過した位置上に配置されている。
【0109】
低圧電極7の内部には、全面にわたって冷却水通路9が形成されている。そして、この冷却水通路9の面積を少しでも大きくするために、通路を隔てるリブ7dは厚さが出来るだけ薄くされている。一方、放電空隙6を形成する放電空隙用スペーサ7cは、放電空隙6を大きくするために、直径が出来るだけ小さい方が望ましい。低圧電極7はステンレス等で作製され全体として薄い剛体をなしているが、積層方向に力が加わった場合、リブ7dのある部分は変形に対して強いが、リブ7dのない場所は変形に対して弱い。すなわち、へこんでしまう。本実施の形態の放電空隙用スペーサ7cはリブ7dと対向する位置に配置されているので、これにより、低圧電極7が変形することすることはほとんどない。結果として、放電空隙6の変形が抑制され、精度の高い放電空隙6を形成することができる。
【0110】
このようなことから本実施の形態においては、スペーサ7cは、低圧電極7の冷却水通路9を形成するリブ7dに対向する位置に配置されている。そのため、低圧電極7が変形することがなくなり、電極締め付けによる放電空隙6への悪影響をなくすことができ、オゾン発生効率を高めることができる。
【0111】
実施の形態16.
図21はこの発明の実施の形態16のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。本実施の形態においては、低圧電極7へ誘電体膜13を被覆する実施の形態5の構成、誘電体5の片面を導電膜14にて被覆する実施の形態8の構成、及び、低圧電極7をマニホールドブロック23で挟み込む実施の形態13の構成をすべて有している。
【0112】
そのため、金属コンタミネーションを生じないクリーンなオゾンを生成する放電空隙6を形成することができるとともに、放電空隙6の冷却性を向上させることができる。
【0113】
実施の形態17.
本実施の形態を図1と図2を用いて説明する。本実施の形態のオゾン発生器電極101は、図2に示される、平板状の低圧電極7と、低圧電極7の主面に対向する平板状の高圧電極3と、低圧電極7と高圧電極3との間に設けられた平板状の誘電体5及び積層方向に厚さの薄い放電空隙6を形成するための図示しないスペーサと、高圧電極3の内部に高圧電極3と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニット2とを有する電極モジュール102が、図1中、N−1、N−2、N−3、N−4で示されるように全部で4個積層されている。
【0114】
このように本実施の形態においては、電極モジュール102が、複数個積層されているので、容量を増大させるとともにコンパクトな装置とすることができる。
尚、本実施の形態においては、電極モジュール102が4個積層されているが、4個に限らず複数個積層されていれば同様の効果を得ることができる。
【0115】
実施の形態18.
図22はこの発明の実施の形態18のオゾン発生器を示す誘電体5を上から見た場合の図である。低圧電極7と高圧電極3との間に誘電体5を介して放電を起こさせオゾンを生成する。一方、低圧電極7内には、中央部から低圧電極7の片側端部に延びるオゾンガス通路8が形成されている。低圧電極7の他の部分は、冷却水が巡らされて冷却されるが、オゾンガス通路8の部分には冷却水が巡らされず良好に冷却されない。そのため、このオゾンガス通路8の部分では温度が上昇してしまう。そして、この部分で生成されたオゾンは、この温度上昇により分解されてしまう。
【0116】
本実施の形態においては、放電を起こさない領域と放電を起こす領域とを区分できる特殊導電膜14aを用いている。特殊導電膜14aは、オゾンガス通路8に対向する部分を除いて誘電体5の全面に設けられている。すなわち、本実施の形態においては、オゾンガス通路8上のみ導電膜を施さず、非放電領域とすることで、オゾンガスの上昇を抑えオゾン分解を起こさない構造としている。
【0117】
このようなことから本実施の形態においては、導電膜14aは、低圧電極7に形成されたオゾンガス通路8に対向する位置以外の部分に設けられている。そのため、導電膜が低圧電極7のオゾンガス通路8上に存在しないこととなり、オゾンガス通路8上で放電による発熱が起こらないため、生成されたオゾンガスの分解が無い、効率のよい装置にすることができる。
【0118】
実施の形態19.
図23はこの発明の実施の形態19のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。図24は図23のJ−J線に沿う矢視断面図である。本実施の形態は、放電空隙6を形成する放電空隙用スペーサの配置に関するものである。低圧電極7と高圧電極3との間に誘電体5を介して放電を起こさせオゾンを生成する。一方、低圧電極7内には、中央部から低圧電極7の片側端部に延びるオゾンガス通路8が形成されている。低圧電極7の他の部分は、冷却水が巡らされて冷却されるが、オゾンガス通路8の部分には冷却水が巡らされず良好に冷却されない。そのため、このオゾンガス通路8の部分では温度が上昇してしまう。そして、この部分で生成されたオゾンは、この温度上昇により分解されてしまう。
【0119】
本実施の形態においては、オゾンガス通路8に対向する部分で放電が行われないように、オゾンガス通路8に対向する部分を全体に覆うセラミック誘電体非放電用スペーサ13a2を設けた。その他の放電を行う部分には、実施の形態6と同様なセラミック誘電体放電空隙形成用スペーサ13a1が設けられている。本実施の形態においては、オゾンガス通路8上で放電が行われないように、オゾンガス通路8に対向する部分を全体に覆うセラミック誘電体非放電用スペーサ13a2を設け、非放電領域とすることで、オゾンガス上昇を抑えオゾン分解を起こさない構造としている。
【0120】
すなわち、本実施の形態においては、スペーサが、低圧電極7に形成されたオゾンガス通路8に対向する位置以外の部分に設けられ放電空隙6を形成する放電空隙形成用スペーサ13a1と、低圧電極7に形成されたオゾンガス通路8の対向する位置に設けられ放電空隙6の所定の空間をなくす非放電用スペーサ13a2とからなる。そのため、オゾンガス通路8上で放電による発熱が起こらないため、生成されたオゾンガスの分解が無い、効率のよい装置にすることができる。
【0121】
【発明の効果】
この発明に係るオゾン発生器においては、平板状の低圧電極と、低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、低圧電極と高圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、高圧電極の内部に高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットとを備え、低圧電極と高圧電極との間に交流電圧を印加され、酸素ガスが注入された放電空隙に放電を生じさせオゾンガスを発生させる。そのため、放電空隙の冷却効率を向上させ、また放電空隙の温度を良好に下げることができる。これにより、オゾン発生効率を低下させずに電力密度を上げることができ、電極モジュール数の減少が可能となり装置の小型化及び低価格化を図ることができる。さらに、高圧電極を高圧電極冷却ユニットで冷却するため、冷却水として電気伝導率の小さいイオン交換水等を使用せずに済み、一般の水道水程度の冷却水を用いることができる。そのため、電気伝導度の監視装置やイオン交換水の循環設備等が不要となり、装置構成点数の削減による低価格化や、維持費用の低減を図ることができる。
【0122】
また、高圧電極冷却ユニットは、高圧電極に貫通してくりぬかれた貫通穴に挿入された高熱伝導率、高電気絶縁性のフローチューブと、フローチューブと貫通穴との間に充填されフローチューブを貫通穴に固定する高熱伝導率の熱伝導性接着剤とを有する。そのため、冷却水として電気伝導率の小さいイオン交換水等を使用せずに済み、一般の水道水程度の冷却水を用いることができる。そのため、電気伝導度の監視装置やイオン交換水の循環設備等が不要となり、装置構成点数の削減による低価格化や、維持費用の低減を図ることができる。
【0123】
また、フローチューブは、高圧電極の主面と平行に複数本が並設されている。そのため、平板状の高圧電極を効率良く冷却することができる。
【0124】
また、低圧電極は、主面に溝が形成された2枚以上の金属製の平板が溝を向き合うようにして貼り合わせて作製されることにより内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成されている。そのため、低圧電極の厚みを薄くすることができ、装置の小型化が行える。また、冷却水及びオゾンガス取出し用配管が不要となるため、組立て、分解が簡単に行え、安価なオゾン発生器を提供することができる。
【0125】
また、金属製の平板は、加熱と加圧のみで貼り合わせられている。そのため、オゾンによる接合剤の腐食が生じることがなく、寿命が長く信頼性の高いオゾン発生器とすることができる。
【0126】
また、低圧電極の放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われている。そのため、放電空隙が全て無機物で挟まれる構成となり、放電による金属スパッタによる金属コンタミネーションが抑えられ、クリーンなオゾンガスを発生するオゾン発生器を提供することができる。
【0127】
また、誘電体膜は、セラミック材で作製されている。そのため、溶射方式により容易に誘電体膜を形成することができ、また数μmの厚さに膜厚制御することができる。さらにこの溶射方式では、セラミック誘電体放電空隙用スペーサも同時に形成することができる。
【0128】
また、誘電体膜は、ガラス材で作製されている。そのため、石英材質のガラス板を接着剤にて低圧電極に貼ることで容易に誘電体膜を形成することができる。また、このガラス板を低圧電極に貼る前に、マスクを利用してショトブラスト処理することにより凸型のガラス誘電体放電空隙用スペーサを容易に形成することができる。
【0129】
また、誘電体の高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、導電膜が高圧電極に接触している。そのため、誘電体の片面を導電膜で被い、この導電膜で被った面と高圧電極とを密着させる構造とすれば、高圧電極と誘電体との間に隙間が存在しても、高圧電極の電位が導電膜と同じ電位になり、局所放電を無くすことができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。また、高圧電極と誘電体を簡易な圧接のみで接合することができるため、容易に組立・分解ができ、部品の再生もできる効果を有する。
【0130】
また、誘電体と高圧電極は、導電性接着剤で貼り合わせられている。そのため、誘電体と高圧電極との間の隙間を無くし局部放電を防止することができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。
【0131】
また、導電膜の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されている。そのため、導電膜の外周エッジ部で生じる不正コロナ放電を抑制することができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。
【0132】
また、導電性接着剤の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されている。そのため、導電性接着剤の外周エッジ部で生じる不正コロナ放電を抑制することができ、金属コンタミネーションの発生を防止することができる。
【0133】
また、高圧電極の外径は、誘電体の外径よりも小さい。そのため、不正コロナ放電を無くし金属コンタミネーションの発生を防ぐことができる。また、誘電体の損傷を抑制することができ、誘電体の寿命が長い信頼性の高いオゾン発生器を提供することができる。
【0134】
また、高圧電極の外径は、誘電体を被う導電膜の外径よりも小さい。そのため、不正コロナ放電をさらに無くし金属コンタミネーションの発生を防ぐことができる。また、誘電体の損傷をさらに抑制することができ、誘電体の寿命が長い信頼性の高いオゾン発生器を提供することができる。
【0135】
また、低圧電極に隣接して設けられ、低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路、或いは低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックを備えている。そのため、冷却水用の配管を設けるスペースやオゾンガスを取出すための配管を設けるスペースを削減でき、装置の小型化、軽量化、及び部品点数の削減、装置の品質向上を図ることができる。
【0136】
また、マニホールドブロックは、低圧電極、高圧電極の積層方向に弾性機能を有する弾性構造を有する。そのため、マニホールドブロックの締め付けによる放電空隙の空隙長への悪影響を無くすことができ、放電空隙の精度を向上させることができる。
【0137】
また、スペーサは、低圧電極の冷却水通路を形成するリブに対向する位置に配置されている。そのため、低圧電極が変形することすることがなくなり、結果として、放電空隙の変形が抑制され、精度の高い放電空隙を形成することができる。
【0138】
また、この発明に係るオゾン発生器においては、平板状の低圧電極と、低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、低圧電極と高圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、高圧電極の内部に高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットと、低圧電極に隣接して設けられ、低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路、或いは低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックとを備え、低圧電極の放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われ、誘電体の高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、導電膜が高圧電極に接触している。そのため、金属コンタミネーションを生じないクリーンなオゾンを生成する放電空隙を形成することができるとともに、放電空隙の冷却性を向上させることができる。
【0139】
また、低圧電極、高圧電極、誘電体、スペーサ、及び高圧電極冷却ユニットを有する電極モジュールが、複数個積層されている。そのため、装置の容量を電極モジュールの積層数により変化させることができ、容易に容量の増大を図ることができ、一方、容量を増大してもコンパクトな装置とすることができる。
【0140】
また、導電膜は、低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられている。そのため、導電膜が低圧電極のオゾンガス通路上に存在しないこととなり、オゾンガス通路上で放電による発熱が起こらないため、生成されたオゾンガスの分解が無い、効率のよい装置にすることができる。
【0141】
また、スペーサは、低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられ放電空隙を形成する放電空隙形成用スペーサと、低圧電極に形成されたオゾンガス通路の対向する位置に設けられ放電空隙の所定の空間をなくす非放電用スペーサとからなる。そのため、オゾンガス通路上で放電による発熱が起こらないため、生成されたオゾンガスの分解が無い、効率のよい装置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明のオゾン発生器を説明する模式的な説明図である。
【図2】 この発明の実施の形態1のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の模式的な詳細断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。
【図4】 図3のA−A線に沿う矢視断面図である。
【図5】 図3のB−B線に沿う矢視断面図である。
【図6】 この発明の実施の形態3のオゾン発生器を示す高圧電極冷却ユニット2の説明図である。
【図7】 この発明の実施の形態5のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。
【図8】 この発明の実施の形態6のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。
【図9】 図8のE−E線に沿う矢視断面図である。
【図10】 図8のF−F線に沿う矢視断面図である。
【図11】 この発明の実施の形態7のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。
【図12】 図11のG−G線に沿う矢視断面図である。
【図13】 図11のH−H線に沿う矢視断面図である。
【図14】 この発明の実施の形態8のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。
【図15】 この発明の実施の形態9のオゾン発生器を示す高圧電極3と誘電体5の側面図である。
【図16】 この発明の実施の形態10のオゾン発生器を示す誘電体5を上から見た場合と横から見た場合の図である。
【図17】 この発明の実施の形態11のオゾン発生器を示す高圧電極3と誘電体5の側面図である。
【図18】 この発明の実施の形態14のオゾン発生器を示すマニホールドブロック23の断面図である。
【図19】 この発明の実施の形態15のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。
【図20】 図19のI−I線に沿う矢視断面図である。
【図21】 この発明の実施の形態16のオゾン発生器を示すオゾン発生器電極の詳細断面図である。
【図22】 この発明の実施の形態18のオゾン発生器を示す誘電体5を上から見た場合の図である。
【図23】 この発明の実施の形態19のオゾン発生器を示す低圧電極7の上面図である。
【図24】 図23のJ−J線に沿う矢視断面図である。
【図25】 従来のオゾン発生器の断面図である。
【符号の説明】
2 高圧電極冷却ユニット、2a 伝導性接着剤、2b フローチューブ、2c 冷却水通路、2d 冷却水マニホールド、3 高圧電極、5 誘電体、6 放電空隙、7 低圧電極、8 オゾンガス通路、9 冷却水通路、11 オゾンガス出口、12 冷却水出入口、13 誘電体膜、13a セラミック誘電体膜、13a1 セラミック誘電体放電空隙形成用スペーサ、13a2 セラミック誘電体非放電用スペーサ、13b ガラス誘電体膜、13b1 ガラス誘電体放電空隙用スペーサ、13b2 接着剤、14 導電膜、15 導電性接着剤、16 絶縁保護膜、23 マニホールドブロック、23a 上側マニホールドブロック、23b 下側マニホールドブロック、23c Oリング、23d 皿バネ、100 オゾン発生器、101 オゾン発生器電極、102 電極モジュール。
Claims (21)
- 電極モジュールが複数個積層されて構成され、各電極モジュールが、
内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極と、
上記低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、
上記低圧電極と上記高圧電極との間および上記高圧電極と隣接する上記電極モジュールの低圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、
上記高圧電極の内部に該高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットと、
を含み、上記低圧電極と上記高圧電極との間に交流電圧を印加され、酸素ガスを含む原料ガスが注入された上記放電空隙に放電を生じさせオゾンガスを発生させ、
最端の上記電極モジュールの端にある上記スペーサの上記高圧電極と反対側の内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極が設けられ、
さらに上記各電極モジュールの片側に、隣接する上記低圧電極の主面間にこれらにそれぞれ接して設けられ、該低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路及び該低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックと、
を備えたことを特徴とするオゾン発生器。 - 上記各電極モジュール及び各マニホールドブロックが上記酸素ガスを含む原料ガスが充満された発生器カバー内に収納され、上記酸素ガスを含む原料ガスが上記放電空隙へ周囲から侵入し発生したオゾンガスが上記低圧電極の中心部の孔から上記オゾンガス通路に導かれることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生器。
- 上記各マニホールドブロックは、上記低圧電極及び上記高圧電極の積層方向に弾性機能を有する弾性構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオゾン発生器。
- 上記各マニホールドブロックは、積層方向に2つの部材に分かれており、上記部材間に上記弾性構造が設けられ、上記部材間の上記冷却水通路及び上記オゾンガス通路はそれぞれ該通路が形成された円筒部とこれを受け入れる凹部およびこれらの間に気密性を保つために配設されたOリングで接続されていることを特徴とする請求項3に記載のオゾン発生器。
- 上記低圧電極、高圧電極、誘電体、スペーサ、及び高圧電極冷却ユニットが積層された部分と、上記低圧電極及びマニホールドブロックが積層された部分とが別々の挟持機構で挟持固定され、上記低圧電極の上記双方の部分の間にくびれ部を設けたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記高圧電極冷却ユニットは、
上記高圧電極に貫通してくりぬかれた貫通穴に挿入された高熱伝導率、高電気絶縁性のフローチューブと、
上記フローチューブと上記貫通穴との間に充填され該フローチューブを該貫通穴に固定する高熱伝導率の熱伝導性接着剤と
を有する
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。 - 上記フローチューブは、上記高圧電極の主面と平行に複数本が並設されていることを特徴とする請求項6に記載のオゾン発生器。
- 上記低圧電極は、主面に溝が形成された2枚以上の金属製の平板が該溝を向き合うようにして貼り合わせて作製されることにより内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記金属製の平板は、加熱と加圧のみで貼り合わせられていることを特徴とする請求項8に記載のオゾン発生器。
- 上記誘電体が上記高圧電極側に設けられ、上記低圧電極の上記放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記誘電体膜は、セラミック材又はガラス材で作製されていることを特徴とする請求項10に記載のオゾン発生器。
- 上記誘電体の上記高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、該導電膜が該高圧電極に接触していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記誘電体と上記高圧電極は、導電性接着剤で貼り合わせられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記導電膜の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されていることを特徴とする請求項12に記載のオゾン発生器。
- 上記導電性接着剤の外周エッジ部が、無機物でなる絶縁保護膜で被覆されていることを特徴とする請求項13に記載のオゾン発生器。
- 上記高圧電極の外径は、上記誘電体の外径よりも小さいことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
- 上記高圧電極の外径は、上記誘電体を被う上記導電膜の外径よりも小さいことを特徴とする請求項12に記載のオゾン発生器。
- 上記スペーサは、上記低圧電極の上記冷却水通路を形成するリブに対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項8に記載のオゾン発生器。
- 電極モジュールが複数個積層されて構成され、各電極モジュールが、
内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極と、
上記低圧電極の主面に対向する平板状の高圧電極と、
上記低圧電極と上記高圧電極との間および上記高圧電極と隣接する上記電極モジュールの低圧電極との間に設けられた平板状の誘電体及び積層方向に厚さの薄い放電空隙を形成するためのスペーサと、
上記高圧電極の内部に該高圧電極と絶縁された冷却水通路を形成する高圧電極冷却ユニットと、
を含み、上記低圧電極と上記高圧電極との間に交流電圧を印加され、酸素ガスを含む原料ガスが注入された上記放電空隙に放電を生じさせオゾンガスを発生させ、
最端の上記電極モジュールの端にある上記スペーサの上記高圧電極と反対側の内部にオゾンガス通路と冷却水通路が形成された平板状の低圧電極が設けられ、
さらに上記各電極モジュールの片側に、隣接する上記低圧電極の主面間にこれらにそれぞれ接して設けられ、該低圧電極に設けられた冷却水通路につながる冷却水通路及び該低圧電極に設けられたオゾンガス通路につながるオゾンガス通路が形成されたマニホールドブロックと、
を備え、
上記各低圧電極の上記放電空隙に対向する主面が、無機物でなる誘電体膜で被われ、
上記各誘電体の上記高圧電極に対向する主面が、導電性を有する導電膜で被われ、該導電膜が該高圧電極に接触していることを特徴とするオゾン発生器。 - 上記導電膜は、上記低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられていることを特徴とする請求項12または19に記載のオゾン発生器。
- 上記スペーサは、上記低圧電極に形成されたオゾンガス通路に対向する位置以外の部分に設けられ上記放電空隙を形成する放電空隙形成用スペーサと、上記低圧電極に形成されたオゾンガス通路の対向する位置に設けられ上記放電空隙の所定の空間をなくす非放電用スペーサとからなることを特徴とする請求項1または19に記載のオゾン発生器。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001357863A JP3641608B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
TW091111151A TWI241275B (en) | 2001-11-22 | 2002-05-27 | Ozonizer |
US10/155,069 US6905659B2 (en) | 2001-11-22 | 2002-05-28 | Ozonizer |
EP02014893A EP1314693B1 (en) | 2001-11-22 | 2002-07-05 | Ozonizer |
DE60208317T DE60208317T2 (de) | 2001-11-22 | 2002-07-05 | Ozonisator |
CN02127124.0A CN1288073C (zh) | 2001-11-22 | 2002-07-26 | 臭氧发生器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001357863A JP3641608B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003160312A JP2003160312A (ja) | 2003-06-03 |
JP3641608B2 true JP3641608B2 (ja) | 2005-04-27 |
Family
ID=19169143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001357863A Expired - Lifetime JP3641608B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6905659B2 (ja) |
EP (1) | EP1314693B1 (ja) |
JP (1) | JP3641608B2 (ja) |
CN (1) | CN1288073C (ja) |
DE (1) | DE60208317T2 (ja) |
TW (1) | TWI241275B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009069204A1 (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 誘電体バリア放電装置 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3607890B2 (ja) * | 2001-11-22 | 2005-01-05 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾン発生器 |
CA2513327A1 (en) | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Dow Corning Ireland Limited | Plasma generating electrode assembly |
CN101223403B (zh) * | 2005-07-20 | 2010-06-16 | 艾尔廸科技有限公司 | 空气净化和消毒装置 |
KR100776616B1 (ko) * | 2006-05-04 | 2007-11-15 | 한국기계연구원 | 평판형 저온 플라즈마 반응기 |
EP1882673A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-30 | Liou, Huei-Tarng | Ozone generator |
KR100675752B1 (ko) * | 2006-09-14 | 2007-01-30 | (주) 씨엠테크 | 플라즈마 반응기 |
US9039985B2 (en) | 2011-06-06 | 2015-05-26 | Mks Instruments, Inc. | Ozone generator |
CN102502514B (zh) * | 2011-10-24 | 2013-04-17 | 罗璐 | 一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块 |
JP5439556B2 (ja) * | 2012-08-09 | 2014-03-12 | 株式会社東芝 | オゾン発生装置 |
CN103130194B (zh) * | 2013-03-25 | 2015-07-08 | 北京乾润开元环保科技有限公司 | 一种水冷式臭氧发生器地电极 |
FR3011541A1 (fr) * | 2013-10-04 | 2015-04-10 | Degremont Technologies Ag | Generateur d'ozone |
CN104229743A (zh) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 清源国泉(北京)环保科技有限公司 | 一种用于构建层叠式低温等离子反应器的反应单元 |
PL3138811T3 (pl) * | 2015-09-02 | 2018-10-31 | Xylem Ip Management S.À.R.L. | Generowanie ozonu bezpośrednio chłodzoną plazmą |
CN107879316B (zh) * | 2016-10-13 | 2023-12-29 | 北京中瑞中天科技有限公司 | 水冷一体式臭氧发生单元、臭氧发生装置及其加工方法 |
CN106976844B (zh) * | 2017-05-09 | 2023-07-25 | 陕西中通海鑫环保科技股份有限公司 | 一种集成化臭氧放电装置及其应用 |
CN110028043B (zh) * | 2019-05-15 | 2023-12-01 | 山东普莱斯玛环保设备有限公司 | 沿面放电臭氧发生器 |
CN111613511A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-01 | 江苏先竞等离子体技术研究院有限公司 | 一种电离发生器芯片结构和制造方法 |
JP6896200B1 (ja) * | 2020-12-07 | 2021-06-30 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3973133A (en) * | 1974-03-13 | 1976-08-03 | Aerojet-General Corporation | Ozone generator |
JP2983153B2 (ja) * | 1994-04-28 | 1999-11-29 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置 |
US5637279A (en) * | 1994-08-31 | 1997-06-10 | Applied Science & Technology, Inc. | Ozone and other reactive gas generator cell and system |
JP3654409B2 (ja) * | 1998-03-24 | 2005-06-02 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生装置用放電セル及びその製造方法 |
JP4017825B2 (ja) | 1998-12-01 | 2007-12-05 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾン発生装置 |
JP3113885B2 (ja) | 1999-01-29 | 2000-12-04 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生装置用放電セル |
JP4095758B2 (ja) | 2000-06-29 | 2008-06-04 | 株式会社荏原製作所 | オゾン発生装置 |
-
2001
- 2001-11-22 JP JP2001357863A patent/JP3641608B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-05-27 TW TW091111151A patent/TWI241275B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-05-28 US US10/155,069 patent/US6905659B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 DE DE60208317T patent/DE60208317T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 EP EP02014893A patent/EP1314693B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-26 CN CN02127124.0A patent/CN1288073C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009069204A1 (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 誘電体バリア放電装置 |
JP5088375B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2012-12-05 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 誘電体バリア放電装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60208317D1 (de) | 2006-02-02 |
JP2003160312A (ja) | 2003-06-03 |
US6905659B2 (en) | 2005-06-14 |
US20030095898A1 (en) | 2003-05-22 |
TWI241275B (en) | 2005-10-11 |
EP1314693A2 (en) | 2003-05-28 |
CN1421380A (zh) | 2003-06-04 |
DE60208317T2 (de) | 2006-08-31 |
CN1288073C (zh) | 2006-12-06 |
EP1314693B1 (en) | 2005-12-28 |
EP1314693A3 (en) | 2003-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3641608B2 (ja) | オゾン発生器 | |
USRE40746E1 (en) | Ozonizer | |
JP3607905B2 (ja) | オゾン発生器 | |
JP3607890B2 (ja) | オゾン発生器 | |
US6869575B2 (en) | Ozonizer | |
JP4158913B2 (ja) | オゾン発生器 | |
JP3113885B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP2007197318A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP3900662B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
JP2009179556A (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその放電セルを使用したオゾン発生装置 | |
JP2008031002A (ja) | オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体 | |
JP3761819B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP3292471B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP4057767B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその放電セルを使用したオゾン発生装置 | |
JP2006169110A (ja) | オゾン発生装置用放電セル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040308 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3641608 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080128 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100128 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100128 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120128 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120128 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130128 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130128 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |