JP4158913B2 - オゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4158913B2 JP4158913B2 JP2004063003A JP2004063003A JP4158913B2 JP 4158913 B2 JP4158913 B2 JP 4158913B2 JP 2004063003 A JP2004063003 A JP 2004063003A JP 2004063003 A JP2004063003 A JP 2004063003A JP 4158913 B2 JP4158913 B2 JP 4158913B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- ozone
- plate
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
さらに、複数の発生器を1つの容器に挿入して発生容量をさらに増やしたオゾン発生装置をコンパクト化して製造コスト、保守コストを低減することができるオゾン発生装置を得ることを目的とする。
本発明のオゾン発生器を内蔵する平板積層型オゾン発生装置は、半導体製造装置や洗浄装置等の他の装置と共に併設されることが多い。各装置には一般に操作パネルや操作部が設けられるが、この操作パネルや操作部は、作業者の操作性を考慮して、各々が例えば通路等に面して並べられて設けられることが理想的である。一方、この操作パネル等が並べられた面に対して直角方向となる奥行きに関しては、比較的大きな長さ(面積)が許容される。このような理由により、各々の装置は、通路に面して幅が狭く奥行き方向に長さが長い細長形状にされることが多い。
特に図示はしないが、低圧電極7とマニホールドブロック23あるいは基台24間における冷却水の水密対策としてOリング等のガスケット材が挟み込まれている。また、オゾンガスの気密対策としてもOリング等のガスケット材が挟み込まれている。
低圧電極7は、耐オゾン性の高い金属材質で作製され、大面積を確保する目的で、発生器カバー110の水平断面内に全域に広がる概略矩形(長方形)平板状の形状を成している。
低圧電極7は、低圧電極放電部700の電極幅より幅が狭く且つオゾンガス通路8のガス取出口8及び冷媒通路9の冷媒入口9a、冷媒出口9bが形成される入出部710と、低圧電極放電部700の辺の側部と入出部710の辺の側部とを入出部710に及ぼす低圧電極放電部700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さいくびれ部720と、を有する。
最大許容放電面積S0[cm2]は、
放電領域のギャップ長をd[cm]、
放電ガス圧力をP[MPa]、
(P[MPa]=7500(0.1+P)[Torr]=p[Torr])
放電電圧をVp[V]、(尚、放電波形は交流であり、ここで言う放電電圧は交流波形のピーク値を示すので符号としてVpを用いる。)
放電電力密度をW[W/cm2]
としたとき、
A:比例定数
ここで、Aは放電領域の形状(アスペクト比)によって決まる比例定数であり、放電領域の形状によって、10〜30程度の範囲で変化する。
放電領域のギャップ長が0.01[cm]、
放電ガス圧力が0.25[MPa]、
放電電圧が5000[V]、
放電電力密度が1[W/cm2]
とされている。ここで、比例定数を仮に20とすれば、最大許容放電面積S0は、
放電電圧Vpは、
放電領域ギャップ長をd[cm]、
放電ガス圧力をp[Torr]
としたとき、
B:比例定数
ここで、Bは放電電圧値へ換算するための比例定数で、実際の値は188程度であるが、放電ガス種、電極の材質によって若干異なる。
=A×d×(p/7500−0.1)×B×p×d/W
={A×B/7500(p×d)2/W}−{A×B×(p×d)×d/W}
={0.5×(p×d)2/W}−{376.0×(p×d)×d/W}
(式3)
放電領域ギャップ長dの最小値0.001cmは、電極面の機械工作精度で決まる値であるが、電極面を加工誤差±10μm以下で製作すれば、電極の加工コストが増大する要因になり、一方、放電領域ギャップ長dを0.001cmとし電極面の加工誤差を±10μm以上にすると、放電ギャップの精度が±10%以上になり、放電ギャップのバラツキによるオゾン性能の低下をまねく。
放電領域ギャップ長d 0.001〜0.06[cm]
放電ガス圧力p 0.1〜0.4[MPa]
1500〜3750[Torr]
積p×d 15〜50[Torr×cm]
放電電力密度W 0.3〜4[W/cm2]
積p×d 50[Torr×cm]以下
放電電力密度W 0.3[W/cm2]以上
であり、このときの最大許容放電面積は、
最大許容放電面積S0 3038[cm2]以下
となる。
放電領域ギャップ長d 0.06[cm]以下
積p×d 50[Torr×cm]以下
放電電力密度W 0.3[W/cm2]以上
最大許容放電面積S0 3000[cm2]以下
図20はこの発明のオゾン発生器を備えた平板積層型オゾン発生装置の他の例を示す概略の断面図である。図21は図20の平板積層型オゾン発生装置を上方から見た図である。本実施の形態においては、オゾン発生器100は、大容量化を図るとともに、オゾン発生装置のスペースファクター良くする目的で、長方形断面の外形にされている。そして、本実施の形態においては、オゾン発生器100に電力を供給するオゾントランス200及び高周波インバータ300がオゾン発生器100と平行に設置されている。そのため、オゾン発生器100は細長の矩形形状にされている。これにともない内部に収納される高圧電極3、低圧電極7、誘電体板5は、実施の形態1よりさらに、細長の矩形形状にされている。そのため、高圧電極3と低圧電極7に形成される放電領域は、3つの放電領域27a〜27cに分割されている。これにともない、高圧電極3に設けられる凸部や誘電体板5に設けられる導電性膜も3つに形成されている。
その他の構成は実施の形態1と同様である。
尚、図21、図22、図27のオゾン発生装置の低圧電極の構造図については省略するが、冷却水の流れ方は、基本的には図5の流れ方と同様である。また、オゾンガス取り出し孔は、図5では低圧電極7内で通路が枝分かれして、先端部にオゾンガス取り出し孔28a〜28fが設けられた構造になっているが、図21、図22、図27のオゾン発生装置の低圧電極のオゾンガス取り出し孔は、低圧電極の中心線に沿って設けられており、通路は低圧電極の中心線上に1本設けた構造とされている。図21、図22、図27のオゾン発生装置の中心線上に3個が設けられているが、必ずしも中心線上に設ける必要はなく、例えば中心線上を離れて千鳥状に配置してもよい。
図23はこの発明の実施の形態3のオゾン発生器を備えた平板積層型オゾン発生装置の正面断面図である。図24は図23のオゾン発生装置のガス出入り口側の側面図である。図25は図23のオゾン発生装置の高電圧供給部側の側面図である。図26は図23のオゾン発生装置のオゾン発生器モジュールの正面断面図である。図27は図23のオゾン発生装置のオゾン発生器モジュールの平面図である。図28は図23のオゾン発生装置のオゾン発生器モジュールのガス出入り口側の側面図である。図29は図23の平板積層型オゾン発生装置のオゾン発生器モジュールの高電圧供給部側の側面図である。
図30は、オゾン発生器を備えた参考例1の平板積層型オゾン発生装置の概略の縦断面図であり図31のK−K線に沿う矢視断面図である。図31は平板積層型オゾン発生装置の横断面図であり図30のL−L線に沿う矢視断面図である。参考例1は、角型のオゾン発生器を備えた平板積層型オゾン発生装置であり、1つの容器に複数個の平板積層型オゾン発生器101a、101b、101c、101dを挿入し、大容量のオゾン発生装置を実現させたものである。図において、参考例1の装置は、円筒状の筒容器1100を有している。筒容器1100は、両端面を端面フタ24a、24bで塞がれて密閉構造とされている。本装置は棚状のモジュール台24cを有している。また、複数個の平板積層型オゾン発生器101a、101b、101c、101dの冷却水の出入口配管112aa、112ab、112ac、112ad、112ba、112bb、112bc、112bdと複数個のオゾンガス取出し配管111a、111b、111c、111dを有している。
図32は、オゾン発生器を備えた参考例2の平板積層型オゾン発生装置の概略の断面図である。参考例2においては、高圧電極3の裏面側に絶縁と冷却機能を兼ね備えた絶縁板2を設け、さらに絶縁板2に重ねて高圧電極冷却板1を設け、高圧電極冷却板1面に冷媒を流すことで、絶縁板2を介して高圧電極3を冷却できる構造にしている。
図33は、オゾン発生器を備えた参考例3の平板積層型オゾン発生装置の概略の断面図である。参考例3は、オゾン発生装置の部品点数の削減、装置の原料ガス空間領域の縮小、及び発生器カバー110と基台24との接合部の縮小、及び発生器カバー110の取り付け作業性の改善を目的としてなされたものである。
図34はこの発明のオゾン発生器のさらに他の例を示す低圧電極の模式図である。本実施の形態の低圧電極17は、主面が電極を成し内部にオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成された矩形平板状の低圧電極放電部1700と、低圧電極放電部1700の一側の辺の側部に設けられオゾンガス通路8のガス取出口8a及び冷却水通路9の冷却水入口(冷媒入口)9a、冷却水出口(冷媒出口)9bが形成された入出部1710とを有する。低圧電極放電部1700に設けられた冷媒通路としての冷却水通路9は、冷媒としての冷却水が低圧電極放電部1700の全体をくまなく巡るように低圧電極放電部1700の全体に渡って形成されている。
低圧電極17は、低圧電極放電部1700の電極幅より幅が狭く且つオゾンガス通路8のガス取出口8及び冷媒通路9の冷媒入口9a、冷媒出口9bが形成される入出部1710と、低圧電極放電部1700の辺の側部と入出部1710の辺の側部とを入出部1710に及ぼす低圧電極放電部1700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さいくびれ部1720と、を有する。
その他の構成は実施の形態1と同じである。
図35はこの発明のオゾン発生器のさらに他の例を示す低圧電極の模式図である。本実施の形態の低圧電極27は、主面が電極を成し内部にオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成された矩形平板状の低圧電極放電部2700と、低圧電極放電部2700の第1の辺の側部に設けられオゾンガス通路8のガス取出口8及び冷却水通路9の冷却水入口(冷媒入口)9aが形成された第1の入出部2710と、低圧電極放電部2700の第1の辺と反対側の第2の辺の側部に設けられ冷却水通路9の冷却水出口(冷媒出口)9bが形成された第2の入出部2730とを有する。
低圧電極27は、低圧電極放電部2700の電極幅より幅が狭く且つオゾンガス通路8のガス取出口8及び冷媒通路9の冷媒入口9aが形成される第1の入出部2710と、低圧電極放電部2700の電極幅より幅が狭く且つ冷媒通路9の冷媒出口9bが形成される第2の入出部2730と、低圧電極放電部2700の第1の辺の側部と第1の入出部2710の辺の側部とを第1の入出部2710に及ぼす低圧電極放電部2700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第1のくびれ部2720と、低圧電極放電部2700の第1の辺に対向する第2の辺の側部と第2の入出部2730の辺の側部とを第2の入出部2730に及ぼす低圧電極放電部2700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第2のくびれ部2720と、を有する。
その他の構成は実施の形態1と同じである。
図36はこの発明のオゾン発生器のさらに他の例を示す低圧電極の模式図である。本実施の形態の低圧電極37は、主面が電極を成し内部にオゾンガス通路8及び冷却水通路9が形成された矩形平板状の低圧電極放電部3700と、低圧電極放電部3700の第1の辺の側部に設けられオゾンガス通路8のガス取出口8aが形成された第1の入出部3710と、低圧電極放電部3700の第1の辺と反対側の第2の辺の側部に設けられ冷却水通路9の冷却水入口(冷媒入口)9aが形成された第2の入出部3730と、同じく低圧電極放電部3700の第2の辺の側部に設けられ冷却水通路9の冷却水出口(冷媒出口)9bが形成された第3の入出部3740とを有する。圧電極放電部3700に設けられた冷媒通路としての冷却水通路9は、冷媒としての冷却水が低圧電極放電部3700の全体をくまなく巡るように低圧電極放電部3700の全体に渡って形成されている。
低圧電極37は、低圧電極放電部3700の電極幅より幅が狭く且つオゾンガス通路8のガス取出口8が形成される第1の入出部3710と、低圧電極放電部3700の電極幅より幅が狭く且つ冷媒通路9の冷媒入口9aが形成される第2の入出部3730と、低圧電極放電部3700の電極幅より幅が狭く且つ冷媒通路9の冷媒出口9bが形成される第3の入出部3740と、低圧電極放電部3700の第1の辺の側部と第1の入出部3710の辺の側部とを第1の入出部3710に及ぼす低圧電極放電部3700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第1のくびれ部3720と、低圧電極放電部3700の第1の辺に対向する第2の辺の側部と第2の入出部3730の辺の側部とを第2の入出部3730に及ぼす低圧電極放電部3700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第2のくびれ部3720と、低圧電極放電部3700の第2の辺の側部と第3の入出部3740の辺の側部とを第3の入出部3740に及ぼす低圧電極放電部3700の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第3のくびれ部3720と、を有する。
その他の構成は実施の形態1と同じである。
図37は、オゾン発生器の参考例4の高圧電極の上面図、図38は高圧電極の正面断面図、図39は高圧電極の側断面面図である。参考例4の高圧電極33においては、ステンレス鋼板等の導電性薄板を2枚重ね合わせて接合して作製している。一枚の導電性薄板は、表面に複数の扁平状の凸部、裏面に複数の扁平状の凹部が形成されるようにプレス加工され、裏面同士が重ね合わされて接合される。そして、高圧電極33においては、両主面に各々6つの概略正方形の凸部33a〜33fが形成されている。このように作製された高圧電極33は、外形においては、実施の形態1の高圧電極と概略同じである。
図40は、オゾン発生器の参考例5の高圧電極の上面図、図41は高圧電極の正面断面図、図42は高圧電極の側断面面図である。参考例5の高圧電極43においては、ステンレス鋼板等の導電性薄板を2枚重ね合わせて接合して作製している。一枚の導電性薄板は、表面に凸部、裏面に凹部が形成されるようにプレス加工され、裏面同士が重ね合わされて接合される。そして、高圧電極43においては、両主面に各々6つの円形の凸部43a〜43fが形成されている。その他の構成は参考例4と同じである。
図43は、オゾン発生器の参考例6の誘電体板の上面図、図44は誘電体板の正面図、図45は誘電体板の側面図である。参考例6の誘電体板35においては、高圧電極3と接触する側の面に形成された6つの導電性膜35a〜35fは、円形を成している。そのため、この6つの導電性膜35a〜35fの対応した位置に形成される6つの放電領域27a〜27fも概略円形状に形成され、放電領域内のオゾンガスの流速を一定にすることができ、オゾン濃度の低下を防ぎ、またオゾン発生効率を向上させることができる。尚、隣り合う導電性膜35a〜35fの間には、原料ガスが各々放電領域27a〜27fに均等に流れるように大小の原料ガス均等供給孔35g、35hが穿孔されている。
図46は、オゾン発生器の参考例7の電極モジュールの断面図である。図47は、この電極モジュールの誘電体板の上面図である。参考例7の誘電体板45は、6つの放電領域27a〜27fに対応して6個に分割されている。そして、概略正方形平板状の誘電体板45は、主面に矩形の導電性膜45aを有している。導電性膜45aと反対側の面には、0.1mm厚の細長い棒状のスペーサ13が、誘電体板45と一体に設けられている。
図48は、オゾン発生器の参考例8の誘電体板の上面図である。参考例8の誘電体板55は、6つの放電領域27a〜27fに対応して6個に分割されている。そして、円板状の誘電体板55は主面に円形の導電性膜55aを有している。導電性膜55aと反対側の面には、スペーサ14が径の小さい円筒形状の複数の突起として形成されている。
Claims (4)
- 平板状の第1の電極と、上記第1の電極の主面に対向する平板状の第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に設けられた平板状の誘電体板及び放電空隙を形成するスペーサと、を有する電極モジュールが複数積層され、
上記第1の電極と上記第2の電極との間に交流電圧を印加され、少なくとも酸素ガスを含んだガスが注入された放電領域のギャップ間に放電を生じさせてオゾンガスを発生させ、
上記第1の電極は、主面が電極を成し、内部に該放電領域で発生したオゾンガスを取り出すオゾンガス通路および冷媒を流通させる冷媒通路が形成された平板状の電極放電部を有し、
上記第1の電極は、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記オゾンガス通路のガス取出口及び上記冷媒通路の冷媒入口、冷媒出口が形成される入出部と、上記電極放電部のいずれかの辺の側部と上記入出部のいずれかの辺の側部とを上記入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さいくびれ部と、を有し、
積層された複数の上記電極モジュールのうち、各上記電極放電部が上記誘電体板及びスペーサを上記第2の電極とで挟んだ部分は台座と電極押え板との間または2枚の上記電極押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記電極押え板とをまたは上記2枚の電極押え板を第1の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と押え板の間または2枚の上記押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記押え板とをまたは上記2枚の押え板を第2の締め付けボルトで締め付けることにより締着されることを特徴とするオゾン発生器。 - 平板状の第1の電極と、上記第1の電極の主面に対向する平板状の第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に設けられた平板状の誘電体板と、放電空隙を形成するスペーサとを有する電極モジュールが複数積層され、
上記第1の電極と上記第2の電極との間に交流電圧を印加され、少なくとも酸素ガスを含んだガスが注入された放電領域のギャップ間に放電を生じさせてオゾンガスを発生させ、
上記第1の電極は、主面が電極を成し、内部に該放電領域で発生したオゾンガスを取り出すオゾンガス通路および冷媒を流通させる冷媒通路が形成された平板状の電極放電部を有し、
上記第1の電極は、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記オゾンガス通路のガス取出口及び上記冷媒通路の冷媒入口が形成される第1の入出部と、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記冷媒通路の冷媒出口が形成される第2の入出部と、上記電極放電部の第1の辺の側部と上記第1の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第1の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第1のくびれ部と、上記電極放電部の第1の辺に対向する第2の辺の側部と上記第2の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第2の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第2のくびれ部と、を有し、
積層された複数の上記電極モジュールのうち、各上記電極放電部が上記誘電体板及びスペーサを上記第2の電極とで挟んだ部分は台座と電極押え板の間または2枚の電極押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記電極押え板とをまたは上記2枚の電極押え板を第1の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第1の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第1の押え板の間または2枚の第1の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第1の押え板とをまたは上記2枚の第1の押え板を第2の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第2の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第2の押え板の間または2枚の上記第2の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第2の押え板とをまたは上記2枚の第2の押え板を第3の締め付けボルトで締め付けることにより締着されることを特徴とするオゾン発生器。 - 平板状の第1の電極と、上記第1の電極の主面に対向する平板状の第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に設けられた平板状の誘電体板と、放電空隙を形成するスペーサとを有する電極モジュールが複数積層され、
上記第1の電極と上記第2の電極との間に交流電圧を印加され、少なくとも酸素ガスを含んだガスが注入された放電領域のギャップ間に放電を生じさせてオゾンガスを発生させ、
上記第1の電極は、主面が電極を成し、内部に該放電領域で発生したオゾンガスを取り出すオゾンガス通路および冷媒を流通させる冷媒通路が形成された平板状の電極放電部を有し、
上記第1の電極は、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記オゾンガス通路のガス取出口が形成される第1の入出部と、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記冷媒通路の冷媒入口及び冷媒出口が形成される第2の入出部と、上記電極放電部の第1の辺の側部と上記第1の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第1の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第1のくびれ部と、上記電極放電部の第1の辺に対向する第2の辺の側部と上記第2の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第2の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第2のくびれ部と、を有し、
積層された複数の上記電極モジュールのうち、各上記電極放電部が上記誘電体板及びスペーサを上記第2の電極とで挟んだ部分は台座と電極押え板の間または2枚の電極押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記電極押え板とをまたは上記2枚の電極押え板を第1の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第1の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第1の押え板の間または2枚の第1の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第1の押え板とをまたは上記2枚の第1の押え板を第2の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第2の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第2の押え板の間または2枚の上記第2の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第2の押え板とをまたは上記2枚の第2の押え板を第3の締め付けボルトで締め付けることにより締着されることを特徴とするオゾン発生器。 - 平板状の第1の電極と、上記第1の電極の主面に対向する平板状の第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に設けられた平板状の誘電体板と、放電空隙領域を形成するスペーサとを有する電極モジュールが複数積層され、
上記第1の電極と上記第2の電極との間に交流電圧を印加され、少なくとも酸素ガスを含んだガスが注入された放電領域のギャップ間に放電を生じさせてオゾンガスを発生させ、
上記第1の電極は、主面が電極を成し、内部に該放電領域で発生したオゾンガスを取り出すオゾンガス通路および冷媒を流通させる冷媒通路が形成された平板状の電極放電部を有し、
上記第1の電極は、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記オゾンガス通路のガス取出口が形成される第1の入出部と、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記冷媒通路の冷媒入口が形成される第2の入出部と、上記電極放電部の電極幅より幅が狭く且つ上記冷媒通路の冷媒出口が形成される第3の入出部と、上記電極放電部の第1の辺の側部と上記第1の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第1の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第1のくびれ部と、上記電極放電部の第1の辺に対向する第2の辺の側部と上記第2の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第2の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第2のくびれ部と、上記電極放電部の第2の辺の側部と上記第3の入出部のいずれかの辺の側部とを上記第3の入出部に及ぼす上記電極放電部の変形の影響を小さくするように結合する剛性が小さい第3のくびれ部と、を有し、
積層された複数の上記電極モジュールのうち、各上記電極放電部が上記誘電体板及びスペーサを上記第2の電極とで挟んだ部分は台座と電極押え板の間または2枚の上記電極押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記電極押え板とをまたは上記2枚の電極押え板を第1の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第1の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第1の押え板の間または2枚の上記第1の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第1の押え板とをまたは上記2枚の第1の押え板を第2の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第2の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第2の押え板の間または2枚の上記第2の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第2の押え板とをまたは上記2枚の第2の押え板を第3の締め付けボルトで締め付けることにより締着され、各上記第3の入出部がマニホールドブロックを挟んだ部分は上記台座と第3の押え板の間または2枚の上記第3の押え板の間に置かれ且つ上記台座と上記第3の押え板とをまたは上記2枚の第3の押え板を第4の締め付けボルトで締め付けることにより締着されることを特徴とするオゾン発生器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004063003A JP4158913B2 (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | オゾン発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004063003A JP4158913B2 (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | オゾン発生器 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002306941A Division JP3607905B2 (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | オゾン発生器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004203741A JP2004203741A (ja) | 2004-07-22 |
JP4158913B2 true JP4158913B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=32822224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004063003A Expired - Lifetime JP4158913B2 (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | オゾン発生器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4158913B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2735367B1 (en) * | 2005-07-15 | 2018-10-17 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Photocatalyst material producing method and photocatalyst material producing apparatus |
JP4675285B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2011-04-20 | トヨタ自動車株式会社 | 冷却器 |
KR101174202B1 (ko) | 2007-08-31 | 2012-08-14 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 | 유전체 배리어 방전 가스의 생성 장치 |
KR101109609B1 (ko) * | 2010-01-27 | 2012-02-06 | 한국기계연구원 | 플라즈마를 이용한 고농도 유증 및 악취 제거장치 |
JP5676532B2 (ja) * | 2012-08-07 | 2015-02-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 光触媒物質生成方法および光触媒物質生成装置 |
CN103041416B (zh) * | 2013-01-24 | 2014-05-07 | 赵宇伦 | 一种活性氧家居衣物消毒灭菌装置 |
CN114763251B (zh) * | 2021-01-12 | 2024-03-15 | 北京科胜美科技有限公司 | 用于臭氧发生器的地电极 |
-
2004
- 2004-03-05 JP JP2004063003A patent/JP4158913B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004203741A (ja) | 2004-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3607905B2 (ja) | オゾン発生器 | |
KR100228865B1 (ko) | 오존 발생장치 | |
WO1996006800A1 (en) | Ozone and other reactive gas generator cell and system | |
JP3672252B2 (ja) | オゾン発生器 | |
TWI241275B (en) | Ozonizer | |
JP4158913B2 (ja) | オゾン発生器 | |
US8568664B2 (en) | Modular quad cell electro-mechanical ozone generation device | |
US3973133A (en) | Ozone generator | |
JP3607890B2 (ja) | オゾン発生器 | |
WO2001094257A1 (fr) | Cellule de decharge pour generateur d'ozone | |
JP3278663B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその放電セルを使用したオゾン発生装置 | |
JP2007197318A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
US3872313A (en) | Ozone generator | |
JP2009179556A (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその放電セルを使用したオゾン発生装置 | |
JP3900662B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
JP4057767B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその放電セルを使用したオゾン発生装置 | |
CN113277479B (zh) | 应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器 | |
JP3292471B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
RU2147010C1 (ru) | Пластинчатый озонатор | |
JPS5833163B2 (ja) | オゾン発生器 | |
JP3708948B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
RU2255897C1 (ru) | Устройство для генерирования озона | |
JP2006169110A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP2003327418A (ja) | オゾン発生装置 | |
JP2003327417A (ja) | オゾン発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040603 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040603 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080708 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4158913 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130725 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |