JP3628730B2 - ライン発光デバイス感光ドラム一体型カートリッジ - Google Patents
ライン発光デバイス感光ドラム一体型カートリッジ Download PDFInfo
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、コピー装置やページプリンタ用のライン発光デバイス感光ドラム一体型カートリッジに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、コピー装置やページプリンタでは、用紙に印刷するため、感光ドラム上に一度データを記録するものである。このため出力するデータに応じてレーザ光を変調し、この変調したレーザ光を一つ乃至複数のレンズ系やポリゴンミラー(回転多面鏡)を使用して感光ドラム上を走査してデータを焼き付け、感光ドラム上にデータを記録する方式が主流である。
【0003】
また、こうしたレーザを使用する方式で必要となっている大がかりな光学系がいらない、LEDアレイや液晶シャッターを用いた小型ページプリンタが市場に登場し始めている。これらは光を感光ドラムに照射するための方法を改善することでレーザプリンタに比べて小型化が図られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記のような従来のものにおいては、レーザ方式では様々な光学系部品が必要なため小型化とコストダウンが困難であった。また、LEDアレイは1本のライン状に並んだ形状に製造することは製造歩留まりが悪く、また、多数個のLEDチップを一列に並べる方法はチップ間の位置合わせが困難である。すなわち製造の難しさが製造コストを高くしていた。一方、液晶シャッターは強い光源が必要なことや、光源からの熱をさけるために液晶シャッターと光源との距離をある程度取る必要があることなど、レーザプリンタほどではないにしろ、小型化を難しくしていた。
【0005】
また、こうしたLEDアレイや液晶シャッターは寿命がきたり、長時間使用することで感光ドラムに面している部分がゴミやトナーで汚れても使用者が簡単に交換することはできず、製造者へ修理依頼する必要があるなど利便性にも問題があった。
【0006】
本発明は、複数個の薄膜発光素子をライン状に配置し、これらの発光素子から出力された光をレンズ系を介さず(完全密着型)感光ドラム上に投射できる小型で安価なライン発光デバイス感光ドラム一体型カートリッジを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明では、図1に示すように、基板1上に駆動回路部20とビット(bit)選択スイッチ30とを薄膜トランジスタ(TFT)で形成した駆動回路を複数個形成し、さらにこの基板1上に前記駆動回路で駆動される有機エレクトロルミネセンス(以下、ELという)材料で形成した有機EL部である薄膜発光素子40を複数個ライン状に形成する。そして、この薄膜発光素子40上に薄板ガラスである透明薄膜15を透明の接着剤19等で固着する。
【0009】
さらにこのようにして製造された安価なライン発光デバイスを感光ドラムカートリッジと一体化する。
【0010】
【作用】
上記構成に基づく本発明の作用を説明する。
印刷処理部(図示せず)より送られてきた印刷等のデータにより、図1の駆動回路部20が駆動されると、ビット選択スイッチ30がオンとなり、薄膜発光素子40の有機EL膜12が発光する。この有機EL膜12から出力された光は、薄板ガラス15を介して、感光ドラム16に入力される。これにより、感光ドラム16に印刷等のデータが記録される。
【0012】
このように有機EL素子をTFTで駆動し、有機EL素子からの発光を薄板ガラスを通して感光ドラムに入力する構造にすることで製造がきわめて容易になり、安価なライン発光デバイスを得ることができる。
【0013】
さらにこのライン発光デバイスは安価であるがゆえに使い捨てにすることが可能になり、この特徴を利用して感光ドラムと一体構造にすることで、ライン発光デバイスが感光ドラムカートリッジ交換時に感光ドラムカートリッジと同時に交換でき、メンテナンス・フリーにすることができる。
【0014】
【実施例】
〔第1実施例の説明〕
本発明の第1の実施例を図1〜図5に基づき説明する。図1は本発明の第1実施例構成図、図2、図3、図4はライン発光デバイスの製造工程説明図、図5は駆動回路の説明図である。
【0015】
図1は、ライン発光デバイスの断面構成である。図1において、基板1上に、駆動回路部20とビット選択スイッチ30との駆動回路をTFTで形成し、さらにこの駆動回路で駆動される薄膜発光素子40である有機EL部を同じ基板1上に形成する。そして、この薄膜発光素子40上に薄板ガラス15を接着剤19等で固着(接着又はモールド)するものである。
【0016】
このライン発光デバイスの動作は、駆動回路部20でビット選択スイッチ30をオンとすることにより有機EL部を駆動するものである。これにより有機EL膜12が発光し、この発光した光が感光ドラム16に入力されるものである。
【0017】
以下、図2〜図4に基づいて、ライン発光デバイスの製造工程を説明する。
(1)基板1上に活性層2として200nmの膜厚の非晶質(アモルファス)シリコンをプラズマCVD(気相成長)法により成膜する。このとき成膜条件は反応ガスとしてシランを用い、反応温度200℃、ガス圧力5.3Pa、RF(高周波)電力35Wで被着速度6nm/minで行う。さらに600℃で20時間加熱することで非晶質シリコンは固相成長し、結晶性を有するようになる(図2(a)参照)。
【0018】
なお、このプラズマCVD法のかわりにLP(減圧)CVD法を用いることもできる。また、基板1は、ガラス、石英、セラミック(Al2 O3 )、シリコン(単結晶又は多結晶)、SiO2 (Si基板を用いた時は熱酸化膜を使用できる)等を用いることができる。
【0019】
(2)このようにして得られた多結晶シリコンの活性層2を島状にパターニングする(図2(b)参照)。
(3)引き続きゲート酸化シリコン膜3が例えば100nmになるように多結晶シリコン活性層2の熱酸化を行う(図2(c)参照)。
【0020】
(4)この酸化シリコン膜3の形成後、速やかにLPCVD法により、ゲート電極4としてリン(P)を1×1020atoms/cm3 程度以上ドーピングしたn+ ポリシリコン(poly−Si)を約200nm成膜する(図2(d参照)。
【0021】
(5)次に、ドライエッチング法によりゲート電極4をパターニングする(図2(e)参照)。
(6)イオン注入あるいはイオンドーピング法による不純物の導入のため、まず、リン(P)を60KVの加速電圧で1×1015atoms/cm2 打込みN型を形成する(図2(f)参照)。
【0022】
(7)次に、不純物の導入を行いたくない部分をフォトレジスト5で被覆して、ボロン(B)を40KVの加速電圧5×1015atoms/cm2 のドーズ量を打込んでP型を形成する。この後、これら導入した不純物を活性化するため窒素雰囲気中において600℃のアニール温度で12時間の熱処理を行う(図2(g)参照)。
【0023】
(8)次に、層間絶縁膜6として常圧CVD法により酸化シリコン膜或いはPSG(Phospho Silicate Glass)膜を約800nm成膜する(図2(h)参照)。
【0024】
(9)その後、層間絶縁膜6にコンタクトホールを開孔する(図3(a)参照)。
(10)次に、高融点金属等のバリアメタル7を成膜し(図3(b)参照)、このバリアメタル7の膜をパターニングする(図3(c)参照)。
【0025】
(11)さらに、配線電極8となるアルミニウム(Al)をスパッタ法で成膜し(図3(d)参照)、このAl膜をパターニングし配線電極8を形成する(図3(e)参照)。
【0026】
(12)次に、第2層間絶縁膜9として常圧CVD法により酸化シリコン膜或いはPSG膜を成膜し(図3(f)参照)、その後、バリアメタル7上の第2層間絶縁膜9に開孔を設ける(図3(g)参照)。
【0027】
(13)さらに、マスク10を設けて、薄膜発光素子40の電極11としてMgAg(マグネシウム銀合金)膜を蒸着し、その上に有機EL膜12として有機EL材料を蒸着する(図4(a)参照)。
【0028】
なお、有機EL膜12は、例えば電子輸送層、発光層、正孔輸送層の3層構造とすることができる。
(14)その後、有機EL膜12上にマスク10′を用いて透明電極13となるITO(インジウムすず酸化物)を蒸着して成膜する(図4(b)参照)。次に、図1に示すように50〜200μmの薄板ガラスである透明基板15を、例えばエポキシ系接着剤、紫外線硬化型の接着剤等の透明の接着剤19で薄膜発光素子40上に接着してライン発光デバイスを製造する。
【0029】
この透明基板15の厚さは、200μmより厚くなると、隣の薄膜発光素子40の光と混った光が感光ドラム16に到達するようになり、分解能が悪くなり、また50μmより薄くなると透明薄板として強度が保持できなくなる。
【0030】
このようにして、薄膜化した、小型、軽量、安価な完全密着型のライン発光デバイスが得られる。
図5は、薄膜発光素子40の駆動回路の説明図である。図5において、シフトレジスタ22の複数の出力は、それぞれ、インバータ21を介して薄膜トランジスタであるビット選択スイッチ30に入力され、このビット選択スイッチ30の出力の一方は薄膜発光素子40を介して電源VLに接続され、他方は共通電位COMに接続されている。
【0031】
このため、シフトレジスタ22から出力がでると、この出力はインバータで反転されビット選択スイッチ30に入力される。これにより、ビット選択スイッチ30がオンとなり、薄膜発光素子40に電流が流れ、薄膜発光素子40が発光する。なお、図5の左端のインバータ21はダミービットである。このようにして、シフトレジスタ22の出力に対応した薄膜発光素子40のみが発光することになる。
【0032】
〔第2実施例の説明〕
第2実施例を図6〜図9に基づき説明する。図6はライン発光デバイスの構成図、図7〜図9はライン発光デバイスの製造工程説明図である。 図6において、透明基板1上に、駆動回路部20とビット選択スイッチ30の駆動回路をTFTで形成し、さらにこの駆動回路で駆動される薄膜発光素子40である有機EL部を同じ透明基板1上に形成する。そして、感光ドラム16側にセルフォックレンズアレイ18を設けるものである。
【0033】
このライン発光デバイスの動作は、駆動回路部20でビット選択スイッチ30をオンとすることにより有機EL部を駆動する。これにより、有機EL膜12が発光し、この発光した光が、透明基板1及びセルフォックレンズアレイ18を通して感光ドラム16に入力する。
【0034】
以下、図7〜図9に基づき、ライン発光デバイスの製造工程を説明する。
(1)透明基板1上に活性層2として200nmの膜厚の非晶質(アモルファス)シリコンをプラズマCVD(気相成長)法により成膜する。このとき成膜条件は反応ガスとしてシランを用い、反応温度200℃、ガス圧力5.3Pa、RF(高周波)電力35Wで被着速度6nm/minで行う。さらに600℃で20時間加熱することで非晶質シリコンは固相成長し、結晶性を有するようになる。(図7(a)参照)。
【0035】
なお、このプラズマCVD法のかわりにLP(減圧)CVD法を用いることもできる。また、透明基板1は、ガラス基板を用いる。
(2)このようにして得られた多結晶シリコンの活性層2を島状にパターニングする(図7(b)参照)。
【0036】
(3)引き続きゲート酸化シリコン膜3が例えば100nmになるように多結晶シリコン活性層2の熱酸化を行う(図7(c)参照)。
(4)この酸化シリコン膜3の形成後、速やかにLPCVD法により、ゲート電極4としてリン(P)を1×1020atoms/cm3 程度以上ドーピングしたn+ poly−Siを約200nm成膜する(図7(d)参照)。
【0037】
(5)次に、ドライエッチング法によりゲート電極4をパターニングする(図7(e)参照)。
(6)イオン注入あるいはイオンドーピング法による不純物の導入のため、まず、リン(P)を60KVの加速電圧で1×1015atoms/cm2 打込みN型を形成する(図7(f)参照)。
【0038】
(7)次に、不純物の導入を行ないたくない部分をフォトレジスト5で被覆して、ボロン(B)を40KVの加速電圧で5×1015atoms/cm2 のドーズ量を打込んでP型を形成する。この後、これら導入した不純物を活性化するため窒素雰囲気中において600℃のアニール温度で12時間の熱処理を行う(図7(g)参照)。
【0039】
(8)次に、層間絶縁膜6として常圧CVD法により酸化シリコン膜あるいはPSG膜を約800nm成膜する(図7(h)参照)。
(9)その後、層間絶縁膜6にコンタクトホールを開孔する(図8(a)参照)。
【0040】
(10)次に、透明電極13となるITOを蒸着して成膜する(図8(b)参照)。その後、このITO膜をパターニングして透明電極13を形成する(図8(c)参照)。
【0041】
(11)さらに、高融点金属等のバリアメタル7を成膜し(図8(d)参照)、このバリアメタル7の膜をパターニングする(図8(e)参照)。
(12)次に、配線電極8となるAlをスパッタ法で成膜し(図8(f)参照)、このAl膜をパターニングし配線電極8を形成する(図8(g)参照)。さらに、透明電極13上のバリアメタル7を除去する(図8(h)参照)。
【0042】
(13)その後、第2層間絶縁膜9として常圧CVD法による酸化シリコン膜あるいはPSG膜を成膜後(図9(a)参照)、透明電極13上の第2層間絶縁膜9に開孔を設ける(図9(b)参照)。
【0043】
(14)次に、マスク10を使用して、有機EL膜12として有機EL材料を蒸着し、その上に電極11の電極材料としてMgAg膜を蒸着する(図9(c)参照)。
【0044】
(15)その後、MgAgの電極11上にマスク10′を用いて、Al電極14をスパッタ法で成膜する(図9(d)参照)。これにより、薄膜発光素子40である有機EL部を形成する。
【0045】
次に、図6のように、薄膜発光素子40が形成されている透明基板1の反対面の感光ドラム16側にセルフォックレンズアレイ18を設け、ライン発光デバイスを構成する。
【0046】
このライン発光デバイスは、セルフォックレンズアレイを使用するため、焦点深度を深くすることができる。このため、透明基板1は薄板ガラスを使用する必要はなく安価な、200μm以上の厚さの普通のガラスを使用することが可能である。
【0047】
なお、前記ライン発光デバイスは、複数個の薄膜発光素子40を1ライン設ける説明をしたが2ライン以上設けることもできる。また、駆動回路と薄膜発光素子を同時にTFT製造プロセスで形成できるため小型、軽量で安価となるため、感光ドラムと一体型とし、感光ドラムと同時に使い捨てとすることができる。
【0048】
更に、前記説明では、有機EL膜12を電子輸送層、正孔輸送層、発光層の3層構成のものについて行ったが、本発明は勿論これに限定されるものではなく、例えば電子輸送層(発光層)、正孔輸送層又は電子輸送層と正孔輸送層(発光層)の如き2層構成のものを使用してもよい。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば次のような効果がある。
(1)1つの基板上に薄膜発光素子とその駆動回路を薄膜状に形成するため、小型、軽量で安価となり、コピー装置やページプリンタ等のスペースユーティリティの向上を図ることができる。
【0050】
(2)薄膜発光素子の発光出力を、透明薄板を介して、レンズ系を介さず直接感光ドラムに出力することができる。
【0051】
(3)TFT駆動回路と有機EL素子を使用して、より小型で安価なライン発光デバイスを提供することができる。
【0052】
(4)ライン発光デバイスと感光ドラムユニットを一体構造にすることによりメンテナンス・フリーなページプリンタ、コピー機を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例構成図である。
【図2】第1実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(1)である。
【図3】第1実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(2)である。
【図4】第1実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(3)である。
【図5】第1実施例における駆動回路の説明図である。
【図6】第2実施例におけるライン発光デバイスの構成図である。
【図7】第2実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(1)である。
【図8】第2実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(2)である。
【図9】第2実施例におけるライン発光デバイスの製造工程説明図(3)である。
【符号の説明】
1 基板
12 有機エレクトロルミネセンス(EL)膜
15 透明薄板(薄板ガラス)
16 感光ドラム
19 透明の接着剤
20 駆動回路部
30 ビット選択スイッチ
40 薄膜発光素子(有機EL部)
Claims (1)
- 薄膜トランジスタを使用した駆動回路と、該駆動回路により駆動される有機エレクトロルミネセンス素子を使用した薄膜発光素子とを基板上にライン状に複数個形成し、前記薄膜発光素子の上面に透明薄板を固着し、該透明薄板から前記薄膜発光素子の発光出力を得るようにしたライン発光デバイスと、
該ライン発光デバイスの発光出力が直接入力されるように、前記ライン発光デバイスと完全密着型に一体化された感光ドラムとを備えることを特徴としたライン発光デバイス感光ドラム一体型カートリッジ。
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