JP3620912B2

JP3620912B2 - Method for checking suitability of line probe for board inspection equipment

Info

Publication number: JP3620912B2
Application number: JP35426895A
Authority: JP
Inventors: 隆夫宮坂
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 1995-12-29
Filing date: 1995-12-29
Publication date: 2005-02-16
Anticipated expiration: 2015-12-29
Also published as: JPH09184854A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法に係り、さらに詳しくは、複数本の各プローブが計測に適した状態にあるか否かを容易に確認することができる基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、インサーキットテスタによる高速検査を可能にするために、複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる同時多点接触プローブを開発している（以下、これら一群のプローブを「ラインプローブ」と称する）。
【０００３】
図４は、上記ラインプローブの概要を示すものであり、扇形支持部１５に対し複数本のプローブＰ1 〜Ｐn （例えば１３本）がそれぞれその接触端１２側を扇のかなめ方向へと向かわせた扇形に配列してラインプローブ１１の全体が形成されている。
【０００４】
このため、図示例のように基板２１の実装リード部品２３が有するリード２３ａ，２３ｂに対し検査を行う場合には、リードピッチが一致する二本のプローブＰ1 ，プローブＰn のみを降下させてそれぞれの接触端１２，１２をリード２３ａ，２３ｂに接触させることができることになる。また、図示は省略してあるが、多ピンリード部品に対しては、対応する適宜のプローブを選択して降下させ、必要部位のそれぞれに対し各別に同時多点接触させることができるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ラインプローブ１１によれば、各プローブＰ1 〜Ｐn を同時に多点接触させることができるので、各種の検査を高速化することはできる。
【０００６】
しかし、何らかの事情で各プローブＰ1 〜Ｐn が備える計測用ケーブル（図示せず）のうちのいずれかに断線が生じていたり、プローブＰ1 〜Ｐn 自体の昇降が円滑に行われていない場合には、正確な検査ができなくなるため、適宜、プローブＰ1 〜Ｐn が正しく計測できる状態になっているか否かを個別にチェックする必要があり、作業的に煩雑になる不都合があった。
【０００７】
本発明は従来技術にみられた上記課題に鑑み、ラインプローブを構成している各プローブが正しく計測できる状態にあるか否かを簡易、かつ、迅速にチェックすることができる基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法を提供することにその目的がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成すべくなされたものであり、その構成上の特徴は、計測用ケーブルが各別に接続された複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる基板検査装置用ラインプローブにおいて、前記各プローブのうち、少なくとも１本の特定プローブを除いた他の不特定プローブのそれぞれは、計測用ケーブルと導通させたチェック用ケーブルを別途に備え、前記特定プローブが備える計測用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に定電流の印加を自在にして配設し、前記不特定プローブが備える各チェック用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に電流の計測を自在にしてそれぞれ配設するとともに、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させ、もしくは前記電導部材から不特定プローブのみをすべて引き離した状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に前記不特定プローブのいずれかひとつのプローブのチェック用ケーブルのスイッチを閉成して電流値を計測する操作を前記各不特定プローブ毎に繰り返し行い、その際に得られる各電流値により対応する各プローブの昇降状態の適否をプローブ毎に個別にチェックすることにある。
【０００９】
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施に供されるラインプローブの概略構成を具現化して例示する説明図であり、扇形支持部１５に対し複数本のプローブＰ1 〜Ｐn （図示例では１３本）をそれぞれその接触端１２側が扇のかなめの方向に向かうようにして扇形に配列し、頂端１３側に計測用ケーブル１〜ｎを備えてラインプローブ１１の全体が構成されている。
【００１１】
しかも、前記ラインプローブ１１は、各プローブＰ1 〜Ｐn のそれぞれが前記計測用ケーブル１〜ｎと頂端１３側にて導通させたチェック用ケーブル１′〜ｎ′をも別途に備えて構成されている。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
本発明は、図１に示すラインプローブ１１に対して行われるものであり、前記各プローブＰ1 〜Ｐn のうち、少なくとも１本の特定プローブ（以下、プローブＰ1 を特定プローブとする）を除いた他の不特定プローブ（以下、プローブＰ2 〜Ｐn を不特定プローブとする）のそれぞれは計測用ケーブル２〜ｎと導通させたチェック用ケーブル２′〜ｎ′を別途に備えて配設されている。
【００１７】
また、前記特定プローブＰ1 が備える計測用ケーブル１は、開閉自在なスイッチＳＷ1 を有して図２に示す測定回路を形成して配設されているので、このスイッチＳＷ1 を閉成した際にプローブＰ1 の側に定電流電源３１からの定電流を印加することができるようになっている。
【００１８】
しかも、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn が備える各チェック用ケーブル２′〜ｎ′の側は、開閉自在なスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′を有して同じく図２に示す測定回路を形成して配設されているので、スイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′のいずれかを閉成した際に対応するいずれかのチェック用ケーブル２′〜ｎ′を流れる電流を電流計３２により計測できるようになっている。
【００１９】
この場合、前記ラインプローブ１１を構成する各プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態の適否は、次のプロセスを経て行われる。
【００２０】
すなわち、各プローブＰ1 〜Ｐn の接触端１２を同一の電導部材２２にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn におけるプローブＰ2 のチェック用ケーブル２′のスイッチＳＷ2 ′のみを閉成することにより、定電流電源３１からの電流は計測用ケーブル１→プローブＰ1 →電導部材２２→プローブＰ2 →チェック用ケーブル２′のルートをたどって電流計３２へと流れ込み、電流値が計測されることになる。
【００２１】
このとき、電流計３２が所定の数値を示していれば、プローブＰ1 とプローブＰ2 とは確実に降下して正常に動作していることがチェックできることになる。また、電流計３２が所定の数値を示していない場合には、少なくともプローブＰ1 とプローブＰ2 とのいずれかが正しく降下しておらず、異常な動作状態にあることが確認できることになる。
【００２２】
かくして、プローブＰ3 から最後のプローブＰn に至るまでプローブ毎に同様なスイッチ操作を繰り返し行うことにより、プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態が正常か異常かを確実に確認できることになる。
【００２３】
一方、不特定プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態の適否は、次のプロセスを経て行われる。
【００２４】
すなわち、前記特定プローブＰ1 のみを電導部材２２に接触させ、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn の接触端１２を前記電導部材２２からすべて引き離した上昇制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn におけるプローブＰ2 のチェック用ケーブル２′のスイッチＳＷ2 ′のみを閉成する。
【００２５】
この場合、定電流電源３１からの電流が電流計３２により計測されなければ、プローブＰ2 が正しく上昇しており、正常な動作状態にあることが確認できる。しかし、定電流電源３１からの電流が電流計３２により計測された場合には、計測用ケーブル１→プローブＰ1 →電導部材２２→プローブＰ2 →チェック用ケーブル２′のルートをたどって電流計３２へと流れ込んでいることが判明し、プローブＰ2 が何らかの原因で正しく上昇しておらず、異常な動作状態にあることが確認できる。
【００２６】
かくして、プローブＰ3 から最後のプローブＰn に至るまでプローブ毎に同様なスイッチ操作を繰り返し行うことにより、プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態が正常か異常かを確実に確認することができることになる。なお、特定プローブＰ1 が正常に降下していない場合には、定電流電源３１からの電流が電流計３２に流れることはないので、事前にプローブＰ1 と導電部材２２との接触状態を確認しておくのが望ましい。
【００２７】
【００２８】
本発明は上述したようにして構成されているので、各プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態の適否は、各プローブＰ1 〜Ｐn の接触端１２を同一の電導部材２２にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、チェック用ケーブル２′〜ｎ′のスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′の開閉を順次繰り返し行い、その際に電流計３２が計測する電流値を確認することにより、プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００２９】
また、不特定プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態の適否は、前記特定プローブＰ1 のみを電導部材２２に接触させ、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn の接触端１２を前記電導部材２２からすべて引き上げる上昇制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、チェック用ケーブル２′〜ｎ′のスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′の開閉を順次繰り返し行い、その際に電流計３２が計測する電流値を確認することにより、プローブＰ1 〜Ｐn の上昇制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、各プローブの降下制御状態の適否は、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に、不特定プローブのチェック用ケーブルのスイッチの開閉を順次繰り返し行い、その際に計測される電流値を確認することにより、プローブの降下制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００３１】
【００３２】
また、不特定プローブの上昇制御状態の適否は、特定プローブのみを電導部材に接触させ、不特定プローブを前記電導部材からすべて引き上げる上昇制御状態のもとで、特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に、不特定プローブのチェック用ケーブルのスイッチの開閉を順次繰り返し行い、その際に計測される電流値を確認することにより、プローブの上昇制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施に供されるラインプローブの概略構成例を示す説明図である。
【図２】本発明の実施に供される測定回路図である。
【図３】本発明が適用される従来からあるラインプローブの概略構成を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１〜ｎ計測用ケーブル
１′〜ｎ′ チェック用ケーブル
１１ラインプローブ
Ｐ1 〜Ｐn プローブ
１２接触端
１３頂端
１５扇形支持部
２１基板
２２導電部材
３１定電流電源
３２電流計[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for checking the suitability of a line probe for a substrate inspection apparatus, and more specifically, a line for a substrate inspection apparatus that can easily confirm whether or not each of a plurality of probes is in a state suitable for measurement. The present invention relates to a method for checking the suitability of a probe.
[0002]
[Prior art]
In order to enable high-speed inspection by an in-circuit tester, the present applicant has developed a simultaneous multi-point contact probe in which a plurality of probes are freely controlled to be individually moved up and down and arranged in a fan shape (hereinafter, referred to as “in-circuit tester”). These groups of probes are referred to as “line probes”).
[0003]
FIG. 4 shows an outline of the line probe, and a plurality of probes P1 to Pn (for example, 13) are directed to the fan-shaped support portion 15 so that their contact ends 12 are directed in the direction of the fan. The entire line probe 11 is formed in a fan shape.
[0004]
Therefore, when inspecting the leads 23a and 23b of the mounting lead component 23 of the substrate 21 as shown in the drawing, only the two probes P1 and Pn having the same lead pitch are lowered and the respective leads 23a and 23b are lowered. The contact ends 12 and 12 can be brought into contact with the leads 23a and 23b. Although not shown in the drawings, for a multi-pin lead component, a corresponding appropriate probe can be selected and lowered so that each of the necessary parts can be contacted simultaneously at multiple points. Yes.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, according to the line probe 11, the probes P1 to Pn can be brought into multipoint contact at the same time, so that various tests can be speeded up.
[0006]
However, if for some reason one of the measurement cables (not shown) included in each of the probes P1 to Pn is disconnected, or if the probes P1 to Pn are not moved up and down smoothly, Since accurate inspection cannot be performed, it is necessary to individually check whether or not the probes P1 to Pn are in a state where they can be correctly measured, which is inconvenient.
[0007]
In view of the above-mentioned problems found in the prior art, the present invention provides a substrate inspection apparatus line capable of simply and quickly checking whether or not each probe constituting a line probe is in a state where it can be measured correctly. The object is to provide a method for checking the suitability of a probe.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and the constitutional feature thereof is that a plurality of probes each having a measurement cable connected thereto are individually controlled in elevation and arranged in a fan shape. In the line probe for a substrate inspection apparatus, each of the other unspecified probes other than at least one specific probe among the probes is separately provided with a check cable that is electrically connected to a measurement cable, and the specific probe measuring cable is provided in, a closable switch is disposed in the universal application of the constant current at the time of closing, the check cable that the unspecified probe comprising the reclosable switch with each arranged to freely measurement of current at the time of closing has, by contacting all the probes in the same conductive member, or from the conducting member not Under the condition that only the fixed probe is pulled apart, the measurement cable switch of the specific probe is closed, and at the same time the switch of the check cable of any one of the non-specific probes is closed, and the current value The measurement operation is repeatedly performed for each unspecified probe, and the appropriateness of the ascending / descending state of each corresponding probe is checked individually for each probe based on each current value obtained at that time .
[0009]
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is an explanatory view illustrating and exemplifying a schematic configuration of a line probe used for carrying out the present invention. A plurality of probes P1 to Pn (13 in the illustrated example) are respectively provided to a fan-shaped support portion 15. The line probe 11 is configured as a whole by arranging in a fan shape so that the contact end 12 side is directed toward the direction of the fan, and the measurement cables 1 to n are provided on the top end 13 side.
[0011]
In addition, the line probe 11 is further provided with check cables 1 'to n' that are electrically connected to the measurement cables 1 to n on the top end 13 side, respectively. .
[0012]
[0013]
[0014]
[0015]
[0016]
The present invention is applied to the line probe 11 shown in FIG. 1, except that at least one specific probe (hereinafter referred to as probe P1 is referred to as a specific probe) out of the probes P1 to Pn. Each of the unspecified probes (hereinafter, the probes P2 to Pn are referred to as unspecified probes) are separately provided with check cables 2 'to n' electrically connected to the measurement cables 2 to n.
[0017]
Further, the measurement cable 1 provided in the specific probe P1 has a switch SW1 that can be freely opened and closed to form the measurement circuit shown in FIG. 2 , so that when the switch SW1 is closed, the probe 1 is closed. A constant current from the constant current power source 31 can be applied to the P1 side.
[0018]
Moreover, each of the check cable 2'~n unspecified probe P2 to PN comprises' side of the openable switches SW2 'arranged to form a measuring circuit also shown in FIG. 2 has a ～SWn' Therefore, the ammeter 32 can measure the current flowing through any one of the check cables 2 'to n' when the switch SW2 'to SWn' is closed.
[0019]
In this case, the suitability of the descent control state of the probes P1 to Pn constituting the line probe 11 is performed through the following process.
[0020]
That is, the switch SW1 of the measurement cable 1 of the specific probe P1 is closed and the unspecified at the same time under the descent control state in which all the contact ends 12 of the probes P1 to Pn are in contact with the same conductive member 22. By closing only the switch SW2 'of the check cable 2' for the probe P2 in the probes P2 to Pn, the current from the constant current power supply 31 is measured cable 1 → probe P1 → conductive member 22 → probe P2 → for check. The route of the cable 2 'is followed to flow into the ammeter 32, and the current value is measured.
[0021]
At this time, if the ammeter 32 shows a predetermined numerical value, it can be checked that the probe P1 and the probe P2 are reliably lowered and operating normally. Further, when the ammeter 32 does not indicate a predetermined numerical value, at least one of the probe P1 and the probe P2 is not properly lowered, and it can be confirmed that it is in an abnormal operation state.
[0022]
Thus, by repeatedly performing the same switch operation for each probe from the probe P3 to the last probe Pn, it is possible to reliably confirm whether the descending control state of the probes P1 to Pn is normal or abnormal.
[0023]
On the other hand, whether or not the unspecified probes P2 to Pn are in the rising control state is determined through the following process.
[0024]
That is, for the measurement of the specific probe P1, only the specific probe P1 is brought into contact with the conductive member 22, and the contact ends 12 of the nonspecific probes P2 to Pn are all separated from the conductive member 22. At the same time as the switch SW1 of the cable 1 is closed, only the switch SW2 'of the check cable 2' for the probe P2 of the unspecified probes P2 to Pn is closed.
[0025]
In this case, if the current from the constant current power source 31 is not measured by the ammeter 32, it can be confirmed that the probe P2 is correctly raised and is in a normal operating state. However, when the current from the constant current power source 31 is measured by the ammeter 32, the route is measured cable 1 → probe P1 → conducting member 22 → probe P2 → check cable 2 ′ to the ammeter 32. It can be confirmed that the probe P2 has not risen correctly for some reason and is in an abnormal operating state.
[0026]
Thus, by repeatedly performing the same switch operation for each probe from the probe P3 to the last probe Pn, it is possible to reliably confirm whether the ascent control state of the probes P2 to Pn is normal or abnormal. When the specific probe P1 is not normally lowered, the current from the constant current power source 31 does not flow to the ammeter 32. Therefore, check the contact state between the probe P1 and the conductive member 22 in advance. It is desirable to leave.
[0027]
[0028]
Since the present invention is configured as described above, the suitability of the lowering control state of each of the probes P1 to Pn is determined in the lowering control state in which all the contact ends 12 of the probes P1 to Pn are in contact with the same conductive member 22. Originally, the switch SW1 of the measurement cable 1 of the specific probe P1 is closed, and at the same time, the switches SW2 'to SWn' of the check cables 2 'to n' are sequentially opened and closed. By checking the current value to be measured, it is possible to surely check whether the descending control state of the probes P1 to Pn is normal or abnormal.
[0029]
Further, whether or not the uncontrolled probes P2 to Pn are in the ascending control state is determined by ascending control in which only the specific probe P1 is brought into contact with the conductive member 22 and all the contact ends 12 of the unspecified probes P2 to Pn are pulled up from the conductive member 22. Under the condition, the switch SW1 of the measurement cable 1 of the specific probe P1 is closed, and at the same time, the switches SW2 'to SWn' of the check cables 2 'to n' are sequentially opened and closed. By checking the current value measured by the meter 32, it is possible to reliably check whether the ascent control state of the probes P1 to Pn is normal or abnormal.
[0030]
【The invention's effect】
As described above , according to the present invention , the appropriateness of the descent control state of each probe is determined by switching the measurement cable switch of the specific probe under the descent control state in which each probe is in contact with the same conductive member. At the same time as it is closed, the switch for the unspecified probe check cable is repeatedly opened and closed, and the current value measured at that time is checked to ensure that the probe descent control status is normal or abnormal. be able to.
[0031]
[0032]
Also, whether or not the ascent control state of the non-specific probe is appropriate is determined by switching the measurement cable of the specific probe under the ascending control state where only the specific probe is brought into contact with the conductive member and all non-specific probes are pulled up from the conductive member. At the same time as it is closed, the switch of the cable for checking the unspecified probe is sequentially opened and closed, and the current value measured at that time is checked to ensure that the probe lift control status is normal or abnormal. be able to.
[Brief description of the drawings]
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration example of a line probe used for carrying out the present invention.
FIG. 2 is a measurement circuit diagram used for carrying out the present invention .
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a conventional line probe to which the present invention is applied.
The
[Explanation of symbols]
1 to n Measurement cable 1 'to n' Check cable 11 Line probe P1 to Pn Probe 12 Contact end 13 Top end 15 Fan-shaped support portion 21 Substrate 22 Conductive member 31 Constant current power source 32 Ammeter

Claims

計測用ケーブルが各別に接続された複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる基板検査装置用ラインプローブにおいて、
前記各プローブのうち、少なくとも１本の特定プローブを除いた他の不特定プローブのそれぞれは、計測用ケーブルと導通させたチェック用ケーブルを別途に備え、前記特定プローブが備える計測用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に定電流の印加を自在にして配設し、前記不特定プローブが備える各チェック用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に電流の計測を自在にしてそれぞれ配設するとともに、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させ、もしくは前記電導部材から不特定プローブのみをすべて引き離した状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に前記不特定プローブのいずれかひとつのプローブのチェック用ケーブルのスイッチを閉成して電流値を計測する操作を前記各不特定プローブ毎に繰り返し行い、その際に得られる各電流値により対応する各プローブの昇降状態の適否をプローブ毎に個別にチェックすることを特徴とする基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法。In the line probe for a substrate inspection apparatus in which a plurality of probes each having a measurement cable connected thereto are individually controlled to move up and down and arranged in a fan shape,
Wherein among the probe, each of the other unspecified probe except for at least one specific probe, comprising a check cable is electrically connected to the measuring cable separately, measuring cable to the specific probe comprises the a closable switch is disposed in the universal application of the constant current at the time of closing, the check cable included in the unspecified probe current to the closing time of a closable switch The measurement cables of the specific probes are arranged in such a manner that all the probes are placed in contact with the same conductive member or only unspecified probes are pulled away from the conductive members. At the same time, the switch for the check cable of any one of the unspecified probes is closed and the current value is It repeats the operation to measure for each of the respective NOS probe, substrate inspection apparatus for a line, characterized by individually checked the appropriateness of the lifting state of each corresponding probe for each probe by the current value obtained at that time How to check the probe status.