JP3619795B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置の製造方法に係り、特にMOS(Metal Oxide Semiconductor)構造を有する半導体素子のゲート絶縁膜として用いるシリコン酸窒化膜の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコン半導体集積回路の微細化にともなって、MOS型半導体素子の寸法が微細化している。ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)の2000年update版によると、90nmのテクノロジー・ノードで、シリコン酸化膜換算膜厚(Equivalent Physical Oxide Thickness;以下、EOTと呼ぶ)が1.2−1.5nmのゲート絶縁膜が必要とされている。この膜厚でリーク電流の抑制されたゲート絶縁膜を実現するためには、SiO2膜もしくは窒素濃度の低い(<20at.%)シリコン酸窒化膜(以下、SiON膜と呼ぶ)では不十分であり、誘電率の高いSiON膜、すなわち膜中窒素濃度の高いSiON膜が必要とされている。さらに、ロジック集積回路のMOSトランジスタは、リーク電流の抑制とともに、高い電流駆動力が要求されるため、MOSトランジスタの移動度を大きくすることが必須であり、ゲート絶縁膜として使われるSiON膜には、界面準位密度と固定電荷密度を低減することが要求されている。
【0003】
ゲート絶縁膜として使われるSiON膜の形成方法としては、従来、SiO2のN2O酸窒化、およびNO酸窒化が用いられてきた。極薄ゲート絶縁膜では、膜厚増加が少なく水素フリーで窒素を導入できるという理由で、NO酸窒化が主に使われてきた。しかし、NO酸窒化ではSi基板側の界面近傍に窒素が入るため、界面準位・固定電荷が発生して移動度が低下し、MOSトランジスタの電流駆動力が低減するという問題があった。
【0004】
そこで、近年、SiO2膜を形成した後に活性窒素による窒化(プラズマ窒化、もしくはラジカル窒化)を行ってSiO2膜の表面側に窒素を導入する方法が提案されている(M. Togo, K. Watanabe, T. Yamamoto, N. Ikarashi, K. Shiba, T. Tatsumi, H. Ono, and T. Mogami, 2000 Symp. on VLSI Tech. p.116; S. V. Hattangady, R. Kraft, D. T. Grider, M. A. Douglas, G. A. Brown, P. A. Tiner, J. W. Kuehne, P. E. Nicollian, and M. F. Pas, IEDM Tech. Dig. 96−495)。この方法は、シリコン基板界面付近の窒素濃度を低く抑えることができるので、MOSトランジスタの移動度の劣化を防ぎ、高い駆動力を得ることができる。
【0005】
しかし、SiO2膜の活性窒素による窒化では、膜中に導入できる窒素濃度が飽和するという問題点がある。我々の検討では、ラジカル窒化に比べてプラズマ窒化の方が膜中に多くの窒素を導入できるが、プラズマ窒化で様々にプロセス条件を変えても、膜中に導入できる窒素の面密度は3×1015cm−2程度が上限であることが実験的に明らかになっている。この導入窒素面密度は、十分な性能を発揮できる次世代のロジック回路のゲート絶縁膜としては不十分である。我々は、EOT=1.2−1.3nmで窒素の面密度4.5−4.8×1015cm−2(比誘電率6)を実現することがリーク電流抑制の観点から必須であると見積もっている。そのため、ベース絶縁膜をSiO2膜としてプラズマ窒化を行う方法ではEOT=1.2−1.3nmのゲート絶縁膜の実現は困難である。
【0006】
ベースSiO2膜のプラズマ窒化のもう一つの問題点は、電荷をもった窒素の活性種がイオン注入という形でSiO2膜中に打ち込まれるので、ベースSiO2膜厚が薄くなると、導入された窒素がSi基板へ突き抜けて基板の窒化が進むことである。このことは、Si基板界面を劣化させる原因となる。我々は、プラズマ窒化でSiO2膜中に導入される窒素のSIMSプロファイルと、イオン注入のシミュレーション結果とが定量的に合うことを確認した。すなわち、膜中に導入される窒素の膜厚方向のプロファイルは、ベースSiO2膜の膜厚に拘わらず、膜表面からの深さの関数として表せる。典型的なプラズマ窒化のプロセス条件では、窒素濃度の最大値は膜表面から0.7nm程度の深さに位置し、半値幅は0.7nm程度である。そのため、ベースSiO2膜の膜厚が1.4nm以下ではプラズマ窒化で導入された窒素がSi基板まで突き抜けてしまい、Si基板との界面付近での窒化が進むため、界面準位と界面固定電荷が発生する。Si基板界面の劣化を抑制するためには、ベース絶縁膜の膜厚が1.5nm以上であることが必要であるが、ベース絶縁膜にSiO2を使う限り、その膜厚を厚くすることは、EOTを小さくする要求と相容れない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の方法で最も優れていると考えられるSiO2膜のプラズマ窒化でも、EOTの小さい世代のゲート絶縁膜の実現を目指そうとしたとき、(a)導入できる窒素面密度の上限が制限され、また(b)導入された窒素のSi基板への突き抜けにより界面が劣化する、という2つの問題点があった。
【0008】
この発明はこれらの問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、EOTが小さく且つ良好な界面特性を持つSiONベース絶縁膜を用いたゲート絶縁膜を有する半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、シリコン基板上にゲート絶縁膜を含む半導体素子を形成する半導体装置の製造方法において、前記ゲート絶縁膜の形成工程は、シリコン基板上に、シリコン、酸素及び窒素を含有するベース絶縁膜を形成する工程と、前記ベース絶縁膜を酸素を含む雰囲気にさらす酸化工程と、この酸化工程の後、前記ベース絶縁膜を活性窒素を用いて窒化する窒化工程と、を有することを特徴とする。
【0010】
この発明において、ベース絶縁膜(SiON膜)は、シリコン基板の熱的な酸窒化で形成するか、もしくは物理的・化学的堆積法で形成する。シリコン基板の熱的な酸窒化の場合、界面準位密度の比較的低い膜を形成できるという利点がある。一方、物理的・化学的堆積では、窒素濃度の高い膜を形成できるという利点がある。これらの膜は単独で用いてもよいが、良好な界面特性と高い誘電率を両立するという観点から、両者を組み合わせた積層膜を使ってもよい。
【0011】
この様に形成されたSiONベース絶縁膜に対して、この発明では、酸素(O2または活性酸素)を含む雰囲気での酸化工程を行った後、引き続き活性窒素を用いた窒化を行う。この場合、酸化工程と窒化工程が同時ではなく、酸化工程を先にすることが重要である。酸化工程では、シリコン基板界面へ酸素を導入することによって界面準位密度を低減するとともに、SiONバルク部分への酸素導入によって膜を緻密化し、膜密度を増加させることができる。そして膜を緻密化しておくと、その後の活性窒素による窒化工程で導入される窒素がシリコン基板界面へ拡散するのを抑制できる。これにより、窒素密度が高くしかも、界面特性の良好なSiON膜からなるゲート絶縁膜を得ることが可能になる。
【0012】
即ちこの発明によると、ベース絶縁膜をSiO2からSiONに代えることによって、EOTが1.5nm以下と小さく且つ、実膜厚(物理膜厚)が1.5nm以上の優れたゲート絶縁膜を得ることができる。活性窒素による窒化後の最終的に形成されるSiON膜中の窒素面密度は、ベースSiON膜中の窒素と、活性窒素による窒化で導入される窒素面密度の合算となり、最終膜の膜中窒素濃度を、EOT=1.2−1.3nmで必要となる所望の値(4.5×1015cm−2)もしくはそれ以上に大きくすることができる。膜中窒素濃度が高くなると、膜の誘電率が高くなり、EOTを大きくすることなく、リーク電流を抑制できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態を説明する。
[第1の実施例]
図1は、SiON膜の製造装置の断面図である。この装置は、真空排気できるチャンバ11を有する。チャンバ11は、O2,SiH4、NO/N2O、N2のガス供給口12,13,14,15、およびガス排気口16を有する。O2、N2ガスの配管外部にはそれぞれマイクロ波キャビティ17,18が設置され、マイクロ波放電によってそれぞれ活性酸素O*と活性窒素N*をチャンバ11内に供給することができる。マイクロ波キャビティ17,18の設置されている箇所のガス配管は、O2配管は石英製、N2配管はボロン・ナイトライド製である。
【0014】
チャンバ11中にはシリコン・ウェハ19をその上に設置することのできるヒータ20が取り付けられている。この製造装置のチャンバ11のバックグランド圧力は1×10−8Torr以下であり、また、SiON膜の製造プロセス時の全圧力は0.1−10Torr程度となる。
【0015】
図1の装置を用いたSiON膜の形成過程を含むこの発明の概要を、MOSトランジスタ形成を例にして説明する。図2に示すように、単結晶のp型シリコン基板21の表面に、素子分離用の溝を形成し、CVD法によりシリコン酸化膜で埋め込み、素子分離領域22を形成する。次に、図3に示すように、SiON膜からなるゲート絶縁膜23を形成する。ゲート絶縁膜23の詳しい形成方法は、後でまとめて述べる。
【0016】
次に、図4に示すように、ゲート絶縁膜23上にポリシリコン膜24をCVD法によって形成する。次に、リソグラフィ工程を経てポリシリコン膜24上にフォトレジストパターン(図示せず)を形成し、ポリシリコン膜24を反応性イオンエッチングして、図5に示すようにゲート電極25を形成する。次に、砒素のイオン注入を、例えば加速電圧40keV、ドーズ量2×1015cm−2の条件で行って、高不純物濃度のn+型ゲート電極25、n+型ソース領域26、n+型ドレイン領域27を同時に形成する。
【0017】
次に、図6に示すように、全面に300nmのシリコン酸化膜をCVD法により堆積し、層間絶縁膜28を形成する。この後、層間絶縁膜28上にコンタクトホール形成用のフォトレジストパターン(図示せず)を形成し、これをマスクとして反応性イオンエッチング法により層間絶縁膜28をエッチングして、コンタクトホールを開口する。最後に、全面にAl膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングして、電極配線29を形成してn型MOSトランジスタが完成する。なお、本実施例では、n型MOSトランジスタの製造工程を示したが、p型MOSトランジスタでは導電型がn型とp型で入れ替わる点が異なるだけであり、基本的な製造工程はまったく同じである。
【0018】
ゲート絶縁膜23の形成工程の詳細を次に説明する。図7が、この第1の実施例でのゲート絶縁膜形成工程である。まず前処理としてシリコン・ウェハに対して希釈フッ酸処理を行う。ウェハの汚染を効果的に除去するために、例えば塩酸とオゾン水のような他の前処理を用いてもよいが、最終処理は希釈フッ酸にするのが望ましい。次に、前処理が終了したウェハを、図1に示す製造装置のチャンバ11中へ搬送する。ヒータ20を加熱してウェハ19の温度を750℃とし、NO/N2Oのガス導入口14から400TorrのNOガスを供給して3分間の加熱を行った。これにより、SiONベース絶縁膜が形成される。
【0019】
次に、NOガスの供給を止め、ヒータの出力を調整してウェハ19の温度を500℃とした。ガス導入口12からO2ガスを供給するとともに、マイクロ波キャビティ17の出力を2.45GHz,200Wとしてプラズマ酸素を発生させた。チャンバ11内へ導入する酸素の量を制御して全圧を0.5Torrとし、500℃、1分間のプラズマ酸化を行った。なお、この酸化工程は、プラズマ酸化の代わりに1000℃、0.5Torr、1分のO2酸化としても同様の効果が得られる。
【0020】
次に、マイクロ波キャビティ17の出力とO2ガスの供給を停止した後、ガス導入口15から窒素ガスを供給するとともにマイクロ波キャビティ18の出力を2.45GHz,100Wにしてプラズマ窒素を発生させた。チャンバ11内の全圧を10Torrとして500℃、10分間のプラズマ窒化を行った。以上のようにして、EOTが1.5nm以下であり、実膜厚(物理膜厚)が1.5nm以上(例えば1.8nm)のシリコン酸窒化膜(SiON膜)からなるゲート絶縁膜が得られる。
【0021】
次に、ウェハの温度を1000℃まで上昇させ、ガス供給口14から0.1TorrのN2Oガスを供給して20秒間のポストアニールを行った。なお、この後アニールは、上記のN2Oアニールの代わりに1000℃、0.5Torr、20秒のO2酸化としても同様の効果が得られる。
【0022】
上記の製膜プロセスにおける個々の工程の作用について説明する。まず前処理(の最後)に希釈フッ酸を用いると、前処理の最後にSiO2膜を残す場合(例えば前処理の最後を塩酸・オゾン水処理とする場合)と比べて、NO酸窒化による膜中窒素濃度を高くすることができる。EOTの小さいゲート絶縁膜では窒素濃度を高くする必要があるが、希釈フッ酸の前処理直後にNO酸窒化工程を行うのは、この要求に適うものである。もちろん、希釈フッ酸処理後にNH3窒化のような強い窒化を行うと窒素濃度はさらに大きくなるが、この場合には界面準位と固定電荷が大量に発生するので、CMOSゲート絶縁膜として用いる膜としては好ましくない。
【0023】
一方、NO酸窒化では窒化と酸化が同時に起こり、界面特性を極端に劣化させることがないので、NH3窒化よりもNO酸窒化を用いるのが好ましい。なお、NH3窒化を用いる場合にも微量の酸素もしくは活性酸素を同時に流しながら酸窒化を進めることは可能と考えられる。
【0024】
次に、形成されたSiONベース絶縁膜に対して、プラズマ酸化(もしくは高温のO2酸化)を行うことは、膜中に酸素を導入することによって、as−grownのSiON膜の界面準位密度を低減させる働きがある。この酸化工程はハイ・パフォーマンスのロジック回路のMOSトランジスタでは必須とまでは言えないが、良好な界面特性を厳しく要求するデジタル・アナログ混載回路のMOSトランジスタではこの工程を入れるべきである。第1の実施例ではこの酸化工程にプラズマ酸化を使っているが、我々は、界面準位密度の低減は膜中への酸素導入量と相関することを実験的に見出している。従って、同等の酸素導入量を確保できるならば、プラズマ酸化以外にO2酸化、N2O酸窒化などでも構わない。例えば、1000℃、0.5Torr、1分のO2酸化でも同等の界面準位密度の低減効果が得られる。
【0025】
また、界面準位密度を低減するためには、Si基板界面への酸素拡散をできるだけ促進する方法を採るのが望ましく、そのひとつの手段として、NO酸窒化とプラズマ酸化を複数回に分けて行う方法がある。例えば、上記の製膜プロセスではNO酸窒化を750℃、400Torr、3分間行い、その後にプラズマ酸化を500℃、0.5Torr、1分間行っている。これに対して例えば、750℃、400Torr、1分30秒のNO酸窒化と、それに引き続く500℃、0.5Torr、30秒のプラズマ酸化の工程を2回繰り返してもよい。あるいは、それぞれもっと短時間のプロセスをもっと多い回数繰り返してもよい。このようにすると工程は複雑になるが、極めて良好な界面特性が得られる。
【0026】
プラズマ酸化を行ったSiONベース絶縁膜に対するプラズマ窒化では、ベースSiON膜の表面側に窒素が導入される。NO酸窒化とそれに引き続くプラズマ酸化で形成されたベースSiON膜は界面側の窒素濃度が比較的高く膜表面側の窒素濃度は低い。プラズマ窒化ではこの窒素濃度の低い領域に新たに窒素が導入されるので、すでに導入されているベースSiON膜中の窒素がプラズマ窒化時の新たな窒素導入を阻害することがなく、したがって、膜中に導入される窒素量はそれぞれの過程で導入される窒素量の合算となり、膜中に導入可能な最大窒素面密度を大きくすることができる。ベースSiO2膜のプラズマ窒化における飽和窒素面密度よりも大きくなる。
【0027】
また、上記のことからわかるように、プラズマ窒化後の最終膜の窒素は膜厚方向に比較的均一なプロファイルを持つ。このことは、リーク電流の低減に対して極めて有効である。我々の検討では、膜中の窒素プロファイルが均一であればあるほどリーク電流の低減率(対SiO2)が大きくなるからである(安田、村岡、小池、佐竹「極薄シリコン酸窒化膜における膜組成と誘電率との非線形性」2001年(平成13年)春季 第48回応用物理学関係連合講演会、29aYF4参照)。また、ベースSiON膜をプラズマ窒化した場合、等しいEOTを実現するためにはSiO2膜のプラズマ窒化と比べて実膜厚の大きなベース絶縁膜を使うことができるので、プラズマ窒化時にイオン注入メカニズムで導入される窒素のSi基板への突き抜けを抑制することができ、Si基板界面の劣化が抑制される。
【0028】
さらに、プラズマ窒化時にはベースSiON膜中にすでに窒素が存在するために、膜中窒素の界面への拡散およびSi基板界面から膜中へのSiの拡散が、ベース絶縁膜膜がSiO2の場合と比べて抑制される。そのため、プラズマ窒化時のNとOの置換反応の割合が相対的に増え、NとSiの反応は抑制されるので、プラズマ窒化時の実膜厚の増加(EOTの増加につながる)が抑制されるというメリットが得られる。さらに、NとOの置換反応の比率が増すことによって、この置換反応時に放出される酸素の一部が界面まで拡散して界面特性を向上させる効果も期待される。
【0029】
次に、N2O雰囲気中のポストアニールは膜中の固定電荷を低減させる。我々の検討では、固定電荷の低減のためには、固定電荷を持っている膜中のサイトと電荷のやりとりをすることが可能な雰囲気でアニールをする必要がある。言い換えれば、SiON膜と酸化もしくは還元反応(電子・正孔のやり取りをする反応)を起こす雰囲気中でアニールをすることによって固定電荷が低減される。その際、固定電荷の低減効果はプロセス温度で決まり、高温のアニールほど固定電荷の低減率が大きくなる。N2、Arなどの不活性ガス中では固定電荷の低減率は低い。以上のことから、本実施例ではSiON膜の膜厚をほとんど増加させない程度の低圧のN2O雰囲気下でポストアニールを実施した。もちろん、低圧のO2アニール(1000℃、0.5Torr、20秒など)、低圧の活性酸素中のアニール、低圧の活性窒素中のアニール、その他これらを組み合わせたガス雰囲気中のアニールでも同様の固定電荷の低減効果が得られる。なお、プラズマ窒化の条件によっては固定電荷の発生量が少ない場合がある。その場合、初期SiON膜の形成後の酸化が高温・低圧のO2酸化(1000℃、0.5Torr、1分)であれば、ポストアニールを省略することもできる。
【0030】
本実施例では活性窒素・酸素の発生にマイクロ波放電を使ったが、マイクロ波の代わりに高周波励起(RF:13.56MHz)、もしくは紫外線などの光励起源を使っても同様の効果が得られる。また、活性窒素・酸素としては荷電した活性窒素・酸素を含んだプラズマ窒化・酸化を使っているが、中性種が大部分であるラジカル窒化・酸化でもSiON膜の膜質改善効果が同様に得られる。また、活性窒素・酸素を形成するための原料ガスとしてN2とO2を使ったが、それぞれ、窒素原子と酸素原子を含むガスであれば、他のガスで代替することもできる。さらにまた、活性窒素・酸素の励起効率を上げるために、原料ガスにHe、Ne、Ar、Krなどの希ガスを添加してもよい。また、本実施例ではシリコン・ウェハの加熱にヒータを用いているが、ランプによるウェハの直接加熱でも同様の効果が得られる。
【0031】
[第2の実施例]
第2の実施例に係わるMOSトランジスタの素子構造は、第1の実施例と同様なので詳細な説明は省略する。図8は、この実施例でのゲート絶縁膜の製造工程を示している。
【0032】
図8に示したように、シリコン・ウェハに対して希釈フッ酸で前処理を行う。その後、酸窒化膜の製造装置のチャンバ11中へウェハを搬送した。ウェハの温度を500℃にし、ガス導入口12,13,15からそれぞれO2、SiH4、N2を供給した。このときのガス供給の条件はO2/SiH4/N2 =0.1Torr/20sccm/120sccmであり、チャンバ11内の全圧は1.2Torrであった。マイクロ波キャビティ18に2.45GHz,100Wの出力を与えて窒素プラズマを生成し、ベース絶縁膜となるSiON膜を堆積した。1分30秒のプロセスで実膜厚1.4nmのSiON膜が形成された。このSiON膜の組成はXPS(X−ray photo−electron spectroscopy)評価によると、酸素濃度が40atomic%(酸素の面密度4.2×1015cm−2、窒素の面密度2.4×1015cm−2)であった。
【0033】
また、酸素・窒素・シリコンの濃度の間に2[O]+3[N]=4[Si]という関係が成り立っており、Si−H、N−H結合などを含まないストイキオメトリックなシリコン酸窒化膜((SiO2)x(Si3N4)1−x)であることが確認された。なお、この実施例では窒素励起のプラズマCVD法でSiON膜を堆積しているが、SiON膜の堆積法としてプラズマCVD以外に熱CVDを用いても構わない。例えば、SiH4とNH3(および必要に応じて低圧O2を添加)を原料ガスとして用いた600℃から750℃の温度範囲の熱CVDでSiON膜を堆積することができる。
【0034】
次に、ウェハの温度を500℃に保ったまま、O2の圧力を0.5Torrとし、さらに、マイクロ波キャビティ17に2.45GHz、200Wの出力を与えて1分間のプラズマ酸化を行った。この実施例のように堆積膜を初期のSiON膜とする場合には、この酸化工程を入れることが特に重要である。なぜなら、堆積酸窒化膜は膜中欠陥が多いのが一般的であり、プラズマ酸化を行うことで界面欠陥と膜中欠陥を大幅に低減できるからである。また、堆積酸窒化膜は密度が低いのが一般的であるが、プラズマ酸化工程を経ることで膜密度が高くなる。プラズマ酸化で膜密度を高くしておくと、引き続くプラズマ窒化で導入される窒素が膜中を拡散するのを抑制でき、Si基板界面への窒素の導入による界面劣化が低減するというメリットがある。なお、上記のプラズマ酸化の代わりに、高温・低圧のO2酸化(1000℃、0.5Torr、1分)を使っても同様の効果が得られる。
【0035】
次に、ウェハの温度を500℃に保ち、ガス導入口15から窒素ガスを供給し、同時にマイクロ波キャビティ18に2.45GHz、100Wの出力を与えて10Torr、10分間のプラズマ窒化を行った。XPS評価によると、このプラズマ窒化で膜中に2.5×1015cm−2の面密度の窒素が導入され、プラズマ窒化後の窒素面密度は4.5×1015cm−2になった。
次に、ウェハの温度を1000℃まで上昇させ、ガス供給口14から0.1TorrのN2Oガスを供給して20秒間のポストアニールを行った。このポストアニールは、低圧のO2アニール(1000℃、0.5Torr、20秒など)で代替することもでき、いずれでも固定電荷の低減効果が得られる。
【0036】
以上の一連の工程における作用は第1の実施例の場合と基本的に同じであり、EOTが1.5nm以下であり、物理膜厚が1.5nm以上であるゲート絶縁膜が得られる。それぞれの工程は第1の実施例で述べたのと同じ考え方に従い、他のプロセスで適宜代替することができる。なお、堆積酸窒化膜は原料ガスの流量比を制御することで膜中窒素濃度を高くできるという特長を持つ一方、Si基板の熱的な酸窒化で形成されたSiON膜と比べて欠陥密度が高いという短所がある。しかしながら、堆積SiON膜中の欠陥は、膜堆積以降のプラズマ酸化・プラズマ窒化の工程で十分に低減することができることを我々は実験的に確認しており、初期のSiON膜に堆積酸窒化膜を使用することで不利益が生じることは無い。
【0037】
この実施例による作用をまとめると、次のようになる。
▲1▼堆積法で形成されたSiON膜は、熱による酸窒化膜に比べて密度が低い。このため、堆積後のプラズマ酸化により、シリコン基板界面まで酸素を拡散させることができ、良好な界面が得られる。
▲2▼プラズマ酸化により膜密度が向上するので、その後のプラズマ窒化では、シリコン基板界面への窒素の拡散を防止することができ、窒素はSiON膜の表面部に入る。従って、堆積膜であっても窒素拡散による界面劣化がなく、窒素密度が十分に高く、誘電率の高いSiONゲート絶縁膜を得ることができる。
▲3▼初期の堆積膜が欠陥を含んでいても、プラズマ酸化とプラズマ窒化により欠陥を消滅、或いは低減させることができる。
【0038】
ところで、堆積SiON膜について、プラズマ酸化により膜密度が増大することを電気測定から直接に確認するとは難しい。何故なら、プラズマ酸化によって、膜厚が増加するからである。しかし、次のような実験から、プラズマ酸化による膜密度の増大は確認することができる。実験では、ラジカル酸化で膜密度が増大するならば、ラジカル窒化でも同様に膜密度が増大するはずであるという前提、及びラジカル窒化ではラジカル酸化に比べて膜厚(電気膜厚)の増大は微小であるという事実を利用する。
【0039】
図12は、二つの実験試料のSiON膜製造のプロセスである。一つは、堆積SiON膜を、直接ラジカル酸化する(試料A)。他の一つは、堆積SiON膜をプラズマ窒化した後に、ラジカル酸化する(試料B)。これらの試料A,Bのラジカル酸化後のSiON膜の電気膜厚を測定した結果が、図13である。SiON膜の膜密度が小さいほど、酸素が膜中を通って基板酸化が進む度合いが大きくなるので、最終膜厚が大きくなるはずである。図13の結果は、試料Bがラジカル窒化により膜密度が増大している結果、試料Aに比べてラジカル酸化による膜厚増大が抑えられていることを示している。
【0040】
また図14は、試料A,Bについて、ラジカル酸化後の界面準位密度を測定しした結果である。前述のようにラジカル酸化前の膜密度が小さいほど、酸素が膜中を通って基板酸化が進む度合いが大きくなるので、界面が良好になり界面準密度は低くなるはずである。図14の結果は、試料Bがラジカル窒化により膜密度が増大している結果、ラジカル酸化での酸素透過が抑えられて、試料Aに比べて界面準位密度が低減されていないことを示している。
【0041】
更に補足すれば、SiO2膜について、シリコン基板に形成した熱酸化膜とラジカル酸化膜とでは、後者の方が密度が大きいことは、既に報告されている(M. Nagamine, H. Itoh, H. Satake, and A. Toriumi, ”Radical Oxygen (O*) Process for Highly−Reliable SiO2 with Higher Film−Density and Smoother SiO2/Si interface,” in IEDM Technical Digest, 98−593(1998))。このことからも、SiON膜についてラジカル酸化を行うことにより膜密度が増大することは、容易に推測できる。
更に、ラジカル酸化で膜密度が増大するとすれば、高温のO2アニールでも膜密度は増大すると考えられる。
【0042】
[第3の実施例]
第3の実施例に係わるMOSトランジスタの素子構造は、第1の実施例と同様なので詳細な説明は省略する。図9は、この実施例でのゲート絶縁膜の製造工程を示している。
【0043】
図9に示したように、希釈フッ酸処理を行ったシリコン・ウェハを、図1の製造装置のチャンバ11中に搬送した。ウェハ温度を750℃として400TorrのNOガスを1分間流し、酸窒化を行った。その後、ウェハの温度を500℃にしてSiON膜を堆積した。このときの堆積条件は、全圧1.2Torr、また、SiH4/N2/O2=20sccm/120sccm/0.1Torrであり、1分間のプロセスを行った。配管15から供給されるN2に関しては、マイクロ波キャビティ18に2.45GHz、100Wの出力を与えて活性窒素を発生させた。このようにして実膜厚(物理膜厚)が1.3nmの積層SiON膜からなるベース絶縁膜が形成された。
【0044】
次に、ウェハの温度を500℃に保ち、酸素を配管12から0.5Torrの圧力で供給した。同時に、マイクロ波キャビティ17に出力2.45GHz、200Wを与えて活性酸素を発生させ、1分間のプラズマ酸化を行った。なお、この酸化工程は、1000℃、0.5Torr、1分間のO2酸化で代替することもできる。この工程を経た後のSiON膜の実膜厚(物理膜厚)は1.8nmであった。
【0045】
次に、ウェハの温度を500℃に保ったまま、ガス導入口15から窒素ガスを供給し、同時にマイクロ波キャビティ18に2.45GHz、100Wの出力を与えて10Torr、10分間のプラズマ窒化を行った。以上により、EOTが1.5nm以下で、物理膜厚が1.5nm以上のゲート絶縁膜が得られる。
この実施例ではポストアニールを行わなかったが、高温・低圧のN2O、O2アニール(1000℃、0.5Torr、20秒)などを、プラズマ窒化に引き続いて適宜行うことができる。
【0046】
図10と図11は、このようにして形成されたSiONゲート絶縁膜の電気特性をリーク電流と界面準位密度に関して示す。図10は、電源電圧(酸化膜換算電界5MV/cm)におけるリーク電流Jg(A/cm2)の測定結果を示す。この実施例のデータは、”O*500℃+N*500℃”という記号で表示した。比較例として、SiONベース絶縁膜(NO酸窒化と酸窒化膜の堆積を終了した膜)に対して500℃と900℃でそれぞれ10Torr、10分のプラズマ窒化を行ったもの(”N*500℃”、”N*900℃”と表記)、1050℃で10秒のNH3窒化をしたもの(”NH31050℃”と表記)、500℃、0.5Torrで1分間のプラズマ酸化をしたもの(”O*500℃”と表記)も参考のために示した。
【0047】
図10からわかるように、ベースSiON膜に対するプラズマ酸化の工程を省き、500℃のプラズマ窒化だけを行った場合にはリーク電流が十分に低減しない。プラズマ窒化だけでベースSiON膜を改質してリーク電流を低減しようとすれば900℃程度の温度が必要となる。しかし、900℃のプラズマ窒化ではリーク電流は低減するものの、図12に示すように界面準位密度が低減しない。
【0048】
一方、プラズマ窒化の前に短時間のプラズマ酸化(500℃、0.5Torr、1分)を入れると、リーク電流は、トンネル電流計算で期待されるレベルにまで低減することがわかる。すなわち、プラズマ窒化の前に短時間の酸化工程を入れることが、堆積膜を含んだ積層SiON膜のリーク電流の低減にとって極めて有効である。このことは、初期SiON膜が堆積膜単層の場合(第2の実施例)にも当てはまる。酸化工程(プラズマ酸化)でEOTが増えてしまうが、引き続いて500℃のプラズマ窒化(10Torr、10分)を行うことによってEOTを低減することができ、実施例では、最終的にEOT=1.26nmとなった。図10では、比較のため、SiO2膜の特性を併せて示している。この実施例によると、等しいEOTのSiO2膜に比べて3桁のリーク電流の低減効果が得られた。
【0049】
図11に示すように、ベースSiON膜の窒化のみでは界面準位はあまり低減しないが、短時間の酸化工程をその前に入れることによって界面準位密度が大幅に低減し、その後のプラズマ窒化で界面準位密度の増加が見られないことがわかる。
以上のことから、リーク電流と界面準位の低減を両立させるためには、ベースSiON膜(NO酸窒化膜と堆積酸窒化膜の積層膜)に対して、短時間の酸化と、それに引き続くプラズマ窒化を実施するのが良いことがわかる。このようなプロセス工程の構成は、初期のベースSiON膜が堆積(酸)窒化膜を含む場合に、とくに有効性が高いといえる。
【0050】
【発明の効果】
この発明によれば、ベース絶縁膜にSiON膜を用い、これに酸化工程と引き続く窒化工程を組み合わせることによって、従来のSiO2ベース膜のプラズマ窒化よりも多量の窒素を導入してリーク電流を低減するとともに、Si基板界面の劣化を抑制したゲート絶縁膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例に用いられる膜形成装置の構成を示す図である。
【図2】この発明の実施例による素子分離工程を示す断面図である。
【図3】同実施例によるゲート絶縁膜形成工程を示す断面図である。
【図4】同実施例による多結晶シリコン膜堆積工程を示す断面図である。
【図5】同実施例によるゲート電極形成工程、及び拡散層形成工程を示す断面図である。
【図6】同実施例の層間絶縁膜形成工程及び配線形成工程を示す断面図である。
【図7】第1の実施例でのゲート絶縁膜形成工程を示す図である。
【図8】第2の実施例でのゲート絶縁膜形成工程を示す図である。
【図9】第3の実施の形態でのゲート絶縁膜形成工程を示す図である。
【図10】第3の実施例により得られたゲート絶縁膜のリーク特性を比較例と共に示す図である。
【図11】第3の実施例により得られたゲート絶縁膜の界面特性を比較例と共に示す図である。
【図12】プラズマ酸化による膜密度増大を傍証するため実験試料製造プロセスを示す図である。
【図13】同実験試料の電気膜厚を示す図である。
【図14】同実験試料の界面準密度を示す図である。
【符号の説明】
11…チャンバ、12,13,14,15…ガス供給口、16…ガス排気口、17,18…マイクロ波キャビティ、19…シリコンウェハ、20…ヒータ、21…シリコンウェハ、22…素子分離領域、23…ゲート絶縁膜、24…ポリシリコン膜、25…ゲート電極、26,27…n+型拡散層、28…層間絶縁膜、29…配線。
Claims (6)
- シリコン基板上にゲート絶縁膜を含む半導体素子を形成する半導体装置の製造方法において、前記ゲート絶縁膜の形成工程は、
シリコン基板上に、シリコン、酸素及び窒素を含有するベース絶縁膜を形成する工程と、
前記ベース絶縁膜を酸素を含む雰囲気にさらす酸化工程と、
この酸化工程の後に前記ベース絶縁膜を活性窒素を用いて窒化する窒化工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜は、シリコン酸化膜換算膜厚が1.5nm以下、物理膜厚が1.5nm以上である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ベース絶縁膜は、前記シリコン基板の熱的な酸窒化で形成する
ことを特徴とする請求項1の半導体装置の製造方法。 - 前記ベース絶縁膜は、前記シリコン基板上への物理的もしくは化学的堆積法で形成する
ことを特徴とする請求項1の半導体装置の製造方法。 - 前記ベース絶縁膜は、前記シリコン基板の熱的な酸化もしくは酸窒化により形成した酸化膜又は酸窒化膜と、この上に物理的もしくは化学的膜堆積法により形成した酸窒化膜又は窒化膜との積層膜である
ことを特徴とする請求項1の半導体装置の製造方法。 - 形成されたゲート絶縁膜に対して、電荷の授受を行うことが可能な反応性ガス下でポストアニールを行う工程を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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