JP3615380B2 - 密閉容器 - Google Patents
密閉容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3615380B2 JP3615380B2 JP1203498A JP1203498A JP3615380B2 JP 3615380 B2 JP3615380 B2 JP 3615380B2 JP 1203498 A JP1203498 A JP 1203498A JP 1203498 A JP1203498 A JP 1203498A JP 3615380 B2 JP3615380 B2 JP 3615380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing agent
- container
- filling
- opening
- sealant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、密閉容器に関し、特に、IC、LSIなどの半導体素子の製造やフォトマスクの製造等に用いられる各種密閉容器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
密閉容器は、主として流体を封入する常圧型密閉容器、真空チャンバーに代表されるような減圧状態で密閉される減圧型密閉容器、加圧タンクに代表されるような加圧状態で密閉される加圧型密閉容器に大別される。
何れの型の密閉容器も、通常、容器本体に開口部を設け、且つ開口部を開閉するための蓋(開口蓋と言う)を備えているが、開口蓋と容器本体間のシールを完全に行うことが必要不可欠である。特に、減圧型密閉容器、加圧型密閉容器の場合には、一般に圧力制御を伴うため、開口蓋と容器本体間のシールを完全に行うことが重要な課題となっている。
通常、シールを強固にする方法としては、開口蓋に溝を形成し、比較的柔らかい物質からなるシール剤を充填する方式のものが採られている。
シール剤の代表的なものとしては、ゴム、テフロン系樹脂に代表されるような高分子樹脂あるいは銅に代表される比較的軟らかい金属をドーナツ形状に加工したOリング(パッキン)等があるが、これらのシール剤は、変形力に柔軟に対応して変形してシールすることにより、容器内部の流体と容器外部(外界)とを遮断する。
【0003】
従来の減圧型密閉容器として、図4に示すフォトマスクの製造プロセス等に使用されている真空チャンバーで、プラズマ放電を行うための密閉容器の1例を挙げて説明する。減圧型密閉容器は、通常、基本的には図4に示すような構造をしている。
図4(a)は密閉容器の概略断面図で、図4(b)は図4(a)のD1−D2側からみた図である。
図4中、400は密閉容器、410は真空チャンバー、413は開口部、420は真空チャンバー扉、430はシール剤充填溝、440はシール剤、450は排気ポート、460は排気配管、470はベントバルブ(制御弁)、480は排気制御弁、490は真空ポンプである。
図4に示す密閉容器400は、真空チャンバー410の開口部413を開閉ゲートとなる真空チャンバー扉420にて覆って密閉するもので、真空チャンバー扉420を閉めた後、真空チャンバー410内の空気(エアー)を真空ポンプにより排気することにより、真空チャンバー410の内部を減圧する。
そして、真空チャンバー410と開閉ゲートである真空チャンバー扉、420間の隙間をシールするために、主にテフロンに代表される樹脂製シール剤(Oリング、パッキン、ガスケット)あるいは銅に代表される金属シール剤(金属パッキン、金属ガスケット)を前記真空チャンバー扉420に挿入し外圧と内圧の差圧を利用して挾み込むことにより外気のチャンバー内への流入を防いでいる。
尚、真空チャンバー410には、真空ポンプ490に接続される排気ポート450に排気制御弁480が用意されており、ベントバルブ470を閉じた状態で、該制御弁480を開くことにより、真空チャンバー410内の減圧を行う。
また、チャンバー410にはチャンバー内を大気圧下に戻すためのベントラインが設けられており、排気制御弁480を閉めた状態でベントバルブ470を開くことによりチャンバー410内を大気圧に戻す。
【0004】
加圧タンクに代表されるような加圧型密閉容器についても上記と同様で、樹脂製のパッキン類を用いてシールを行っている。この場合は、容器本体の開口部の覆い(蓋)をネジ式にする、あるいはフリンジ式の締め込みにする等様々な形態のものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記図4に示す真空容器400においては、開口部を覆う開閉扉(図4の真空チャンバー扉420)の開閉動作に伴い、シール剤の形状が摩耗により変形したり、傷がついたりして、開閉扉を閉めた際の密閉容器の密封性が悪くなり、外界から大気の混入(リーク)が発生するという問題があった。
また、加圧タンクにおいても、同様に蓋の締め過ぎ、あるいは異物混入によりシール剤に傷がつくと、その部位より加圧流体が外界に漏れ出し、必要とする圧力が維持できなくなるという問題があった。
本発明は、これに対応するもので、密閉容器における開閉扉のシール特性の維持を簡単に且つ確実にできる密閉容器を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の密閉容器は、開口を有する容器本体と、容器本体の開口を覆う蓋を備えた容器で、容器本体の開口側と蓋側の一方に、あるいは容器本体の開口側と蓋側の両方にシール剤を充填する充填溝を設け、該充填溝にシール剤を充填させた状態で、蓋により開口部を覆うことにより、容器の内部を外部と遮断する密閉容器であって、シール剤がゲル状物質からなり、シール剤供給用配管を充填溝に繋げて設けていることを特徴とするものである。
そして、上記において、前記シール剤供給用配管を通じてゲル状物質からなるシール剤を加圧して充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることを特徴とするものである。 そしてまた、上記におけるシール剤供給部が、シリンダーを加圧して供給する注入器を備えたものであることを特徴とするものである。
また、上記におけるシール剤供給部が、圧力密閉タンクを備えたものであることを特徴とするものである。
あるいは、開口を有する容器本体と、容器本体の開口を覆う蓋を備えた容器で、容器本体の開口側と蓋側の一方に、あるいは容器本体の開口側と蓋側の両方にシール剤を充填する充填溝を設け、該充填溝にシール剤を充填させた状態で、蓋により開口部を覆うことにより、容器の内部を外部と遮断する密閉容器であって、シール剤がゲル状物質からなり、シール剤充填用配管と充填溝を減圧するための減圧用配管とを充填溝に繋げて設け、充填溝を減圧することにより、前記シール剤充填用配管を通じて、ゲル状物質からなるシール剤を充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることを特徴とするものである。
また、上記において、樹脂製シール剤あるいは金属製シール剤によるシール機構を併用していることを特徴とするものである。
【0007】
【作用】
本発明の密閉容器は、このような構成にすることにより、密閉容器における開閉扉のシール特性の維持を簡単に且つ確実にできる密閉容器の提供を可能としている。
具体的には、密閉容器における開閉扉のシールをゲル状物質からなるシール剤にて行うもので、シール剤供給用配管を充填溝に繋げて設け、前記シール剤供給用配管を通じてゲル状物質からなるシール剤を加圧して充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることにより、あるいは、シール剤充填用配管と充填溝を減圧するための減圧用配管とをシール充填溝に繋がて設け、充填溝を減圧することにより、前記シール剤充填用配管を通じてゲル状物質からなるシール剤を充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることにより、これを達成している。
即ち、本発明の密閉容器においては、シール剤をゲル状物質にて構成し、シール剤をシール剤の充填溝に容器外部から圧入するか、充填溝内部と外部(大気)との差圧を利用して充填溝にシール剤を吸入充填するもので、必要に応じ、適時繰り返してこの操作を行え、密閉容器における開閉扉のシール特性の維持を簡単に且つ確実にできるものとしている。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の密閉容器を図を基に説明する。
図1(a)は本発明の密閉容器の実施の形態の第1の例を示した概略断面図で、図2(a)は本発明の実施の形態の第2の例を示した概略断面図である。
図1(b)は図1(a)のA1−A2側からみた図で、図2(b)は図2(a)のB1−B2側からみた図である。
図1、図2中、100、105と密閉容器、110は容器本体、113は開口、120は開閉蓋、130はシール剤供給部、133はシール剤貯め(容器)、135は加圧部、141、143、145、147は配管、151、153、155、157はバルブ、160はシール剤供給部、163はシール剤貯め(容器)、165は減圧部、170は排気ポート兼ベントポート、175は配管、180は充填溝、190はシール剤である。
【0009】
まず、本発明の密閉容器の実施の形態の第1の例を説明する。
図1に示す密閉容器100は、開口113を有する容器本体110と、容器本体110の開口113を覆う開閉蓋120を備えた容器で、容器本体110の開口113側にシール剤190を充填する充填溝180を設け、該充填溝180にゲル状物質からなるシール剤190を充填させた状態で、開閉蓋120により開口113を覆うことにより、容器の内部を外部と遮断する密閉容器である。
そして、シール剤190はゲル状物質かるなるもので、第1の例においてはシール剤190を充填溝180に充填するためのシール剤供給部130を備えている。
【0010】
シール剤供給部130は、充填溝180に繋がったシール剤供給用の配管141および充填溝180の排気とシール剤を排出するための排出用の配管143、充填溝180へ供給するシール剤190を貯めておくシール貯め(容器)133、貯められたゲル状物質からなるシール剤190を加圧して充填溝180に供給するための加圧部135、制御用のバルブ151、153等からなる。
シール剤供給部130は、バルブ151を開けた状態で、加圧部135にてシール貯め(容器)133に貯められたシール剤190を加圧しながら、且つ、バルブ153を制御して充填溝180内の排気やシール剤190の排出を配管143を通して行いながら、充填溝180へシール剤190を供給するものである。
【0011】
シール剤190としては、シール剤としての機能を果たせるもので、且つ配管141を通して充填溝180に充填したり、配管143を通して充填溝180から排出したりするため、ゼリー状のゲル状物質である必要がある。
具体的には、信越シリコーン(信越化学株式会社製真空グリース)等が挙げられるが、特にこれに限定はされない。
【0012】
シール剤供給部130としては、具体的には、シリンダー加圧を用いて、シール剤190を加圧供給する注入器を配管141に接続した構造のものや、圧力密閉タンク内にシール剤190を入れておき、タンク内のシール剤を直接配管141に供給する構造のものでも良い。
【0013】
次いで、本発明の密閉容器の実施の形態の第2の例を説明する。
図2に示す密閉容器105は、図1に示す第1の例において、シール剤供給の方式が異なるもので、それ以外については第1の例と同じである。
シール剤供給部160は、充填溝180に繋がったシール剤供給用の配管145および充填溝180を減圧排気するための配管147、充填溝180へ供給するシール剤190を貯めておくシール剤貯め(容器)163、配管147を通じて充填溝180内を減圧する減圧部165、制御用のバルブ155、157等からなる。
そして、配管147から充填溝180内を減圧排気しながら、あるいは充填溝180からのシール剤190を吸引排出しながら、シール剤供給用の配管145を通じて、シール剤貯め(容器)163に貯められたゲル状物質からなるシール剤190を充填溝180に供給する。
バルブ155、157は配管145、147をシール剤190等の通過を制御するものである。
第2の例は、充填溝内部を減圧することにより、大気に通じるシール剤貯め163のシール剤との圧力差を利用して充填溝180にシール剤190を充填するものである。
【0014】
【実施例】
更に、実施例を挙げて本発明を説明する。
本実施例の密閉容器は、真空チャンバーを密閉容器本体とするもので、詳しくは電子線露光用装置における、露光描画を行うワーキングチャンバーである高真空チャンバへ送る試料、あるいは高真空チャンバーから送られた試料を一時置いておく真空チャンバー(予備チャンバーないしプリチャンバーと呼ばれる)における大気側への試料の出し入れを行う開閉扉におけるシールを、ゲル状の物質である信越シリコーン(信越化学株式会社製)をシール剤として用いて行ったものである。実施の形態の第1の例に当たる。
図3(a)は本実施例の密閉容器の概略断面を示したもので、図3(b)は図3(a)のC1−C2側からみた図である。
図3中、300は密閉容器、310は真空チャンバー、311はチャンバー扉、312はシール剤充填溝、313排気ポート、314は排気配管、315はパージ制御弁、316は排気制御弁、317は真空ポンプ、320はシール剤、321はシール剤充填口、322はシール剤充填配管、323は注入器、324はシリンダーロッド、325はエアーシリンダー、326はエアーシリンダー制御管、330は電磁弁、331は電磁弁排気ポート、333は電磁弁加圧ポート、335はシール剤充填用手動弁、337は排出用配管である。
【0015】
真空ポンプ317は、パージ制御弁315を閉じ、排気制御弁316を開いた状態で、排気ポート313より真空チャンバー310の排気を行う。
また、排気制御弁316を閉じた状態で、且つ、パージ制御弁315を開き、真空チャンバー310へ窒素等のガスを入れ、真空チャンバー310内の真空を解除する。
【0016】
チャンバー扉311で真空チャンバー310の開口を覆い真空チャンバー310内を排気した状態でシール剤を蓄えた注入器323より、シール剤320の全部ないし大部分をシール剤充填溝312へ供給するもので、エアーシリンダー325によりシリーダーロッド324を介して注入器323に貯えられたシール剤320を加圧し、且つ、シール剤充填用手動弁335を開き、シール剤充填溝312の排気やシール剤320の排出を排出用配管322を通じて行い、シール剤充填溝312へ、シール剤320を充填するものである。
チャンバー扉311は外圧により真空チャンバー310側に強く圧着された状態にてシール剤の充填動作を行うのである。
シール剤320をシール剤充填溝312に充填し、シール剤充填用手動弁335を閉じた後に、エアーシリンダー325によるシリーダーロッド324への加圧を止める。
エアーシリンダー325によるシリーダーロッド324への加圧の制御は電磁弁330により行う。
シール剤充填用手動弁335は充填動作や充填停止動作にあわせ適宜開閉し、電磁弁330の電磁弁排気ポート331、電磁弁加圧ポート333も充填動作や充填停止動作にあわせ適宜動作する。
【0017】
図3に示す実施例の密閉容器300においては、チャンバー扉のシール不良による真空度の低下がみられた場合には、前述のシール剤320のール剤充填溝312への充填動作を繰り返すことができ、簡単にシール不良を解消できた。
尚、ここでは、実施例として減圧型密閉容器を挙げたが、これに限定はされない、加圧型密閉容器にも本発明は適用できる。
【0018】
【発明の効果】
本発明は、上記の通り、密閉容器における開閉扉のシール特性の維持を簡単に且つ確実にできる密閉容器の提供を可能としている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の密閉容器の実施の形態の第1の例を示した図
【図2】本発明の密閉容器の実施の形態の第2の例を示した図
【図3】実施例の密閉容器を示した図
【図4】従来の密閉容器を示した図
【符号の説明】
100、105 密閉容器
110 容器本体
113 開口
120 開閉蓋
130 シール剤供給部
133 シール剤貯め(容器)
135 加圧部
141、143、145、147 配管
151、153、155、157 バルブ
160 シール剤供給部
163 シール剤貯め(容器)
165 減圧部
170 排気ポート兼ベントポート
175 配管
180 充填溝
190 シール剤
300 密閉容器
310 真空チャンバー
311 チャンバー扉
312 シール剤充填溝
313 排気ポート
314 排気配管
315 パージ制御弁
316 排気制御弁
317 真空ポンプ
320 シール剤
321 シール剤充填口
322 シール剤充填配管
323 注入器
324 シリンダーロッド
325 エアーシリンダー
326 エアーシリンダー制御管
330 電磁弁
331 電磁弁排気ポート
333 電磁弁加圧ポート
335 シール剤充填用手動弁
337 排出用配管
400 密閉容器
410 真空チャンバー
413 開口部
420 真空チャンバー扉
430 シール剤充填溝
440 シール剤
450 排気ポート
460 排気配管
470 ベントパルブ(制御弁)
480 排気制御弁
490 真空ポンプ
Claims (6)
- 開口を有する容器本体と、容器本体の開口を覆う蓋を備えた容器で、容器本体の開口側と蓋側の一方に、あるいは容器本体の開口側と蓋側の両方にシール剤を充填する充填溝を設け、該充填溝にシール剤を充填させた状態で、蓋により開口部を覆うことにより、容器の内部を外部と遮断する密閉容器であって、シール剤がゲル状物質からなり、シール剤供給用配管を充填溝に繋げて設けていることを特徴とする密閉容器。
- 請求項1において、前記シール剤供給用配管を通じてゲル状物質からなるシール剤を加圧して充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることを特徴とする密閉容器。
- 請求項2におけるシール剤供給部が、シリンダーを加圧して供給する注入器を備えたものであることを特徴とする密閉容器。
- 請求項2におけるシール剤供給部が、圧力密閉タンクを備えたものであることを特徴とする密閉容器。
- 開口を有する容器本体と、容器本体の開口を覆う蓋を備えた容器で、容器本体の開口側と蓋側の一方に、あるいは容器本体の開口側と蓋側の両方にシール剤を充填する充填溝を設け、該充填溝にシール剤を充填させた状態で、蓋により開口部を覆うことにより、容器の内部を外部と遮断する密閉容器であって、シール剤がゲル状物質からなり、シール剤充填用配管と充填溝を減圧するための減圧用配管とを充填溝に繋げて設け、充填溝を減圧することにより、前記シール剤充填用配管を通じて、ゲル状物質からなるシール剤を充填溝に供給するシール剤供給部を備えていることを特徴とする密閉容器。
- 請求項1ないし5において、樹脂製シール剤あるいは金属製シール剤によるシール機構を併用していることを特徴とする密閉容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1203498A JP3615380B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 密閉容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1203498A JP3615380B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 密閉容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11197488A JPH11197488A (ja) | 1999-07-27 |
JP3615380B2 true JP3615380B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=11794335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1203498A Expired - Fee Related JP3615380B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 密閉容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3615380B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005175016A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Canon Inc | 基板保持装置およびそれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP5194208B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2013-05-08 | 日本フェンオール株式会社 | 半導体処理ユニット及び半導体製造装置 |
-
1998
- 1998-01-06 JP JP1203498A patent/JP3615380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11197488A (ja) | 1999-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0613361A (ja) | 処理装置 | |
KR20010021748A (ko) | 진공 처리 장치용 몰드식 부분 밀폐부재를 갖는 두 부품의슬릿 밸브 도어 | |
JP2006170373A (ja) | ゲートバルブ装置、処理システム及びシール部材の交換方法 | |
US10746307B2 (en) | Method of controlling a gate valve | |
JP3615380B2 (ja) | 密閉容器 | |
US6390145B1 (en) | Container and method for sealing the container | |
EP0382985A1 (en) | Gas purge system | |
US20090113684A1 (en) | Uniformly Compressed Process Chamber Gate Seal for Semiconductor Processing Chamber | |
JPH08210505A (ja) | 蒸気殺菌装置等に用いるシール装置 | |
JPH0694155A (ja) | エアオペレートバルブ | |
JP3319671B2 (ja) | 気密性収容器のシール構造 | |
JP2005081452A (ja) | バキュームグローブボックス | |
JP2001004039A (ja) | バルブ用シール | |
US5983438A (en) | Sputter load lock O-ring cleaner | |
US6073655A (en) | High pressure/vacuum isolation apparatus and method | |
JP3035003B2 (ja) | 高圧処理装置用閉止弁及び該閉止弁を備えた高圧殺菌装置 | |
JPH06314678A (ja) | 密閉式洗浄装置 | |
JPH02159372A (ja) | スパッタリングターゲット用保護容器 | |
JP4131063B2 (ja) | 圧力容器の液充填方法 | |
JP3077637B2 (ja) | 密閉容器の気密装置 | |
JPS595115Y2 (ja) | 気密ドア− | |
JPH109441A (ja) | 真空用ゲートバルブ | |
JP2006234085A (ja) | 真空バルブ | |
KR20230145085A (ko) | 이중 진공 밀봉 | |
JPH0526735Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20040623 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20041012 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041029 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |