JP3612378B2

JP3612378B2 - Transport device and transport method for substrate for liquid crystal display element

Info

Publication number: JP3612378B2
Application number: JP7395196A
Authority: JP
Inventors: のり子大越
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-03-28
Filing date: 1996-03-28
Publication date: 2005-01-19
Anticipated expiration: 2016-03-28
Also published as: JPH09265064A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
ノートＰＣ、小型ＴＶ等のための液晶表示装置に用いられる液晶表示素子用基板について、その洗浄工程等における搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の液晶表示素子用基板の搬送装置及び方法について、図４〜５に基づいて説明する。
【０００３】
図４の模式図に、基板１０１の搬送の様子について示す。基板を搬送する搬送手段としては、回転駆動されるフラットローラー１０２によるローラーコンベアー１０３が一般的である。軸を水平に向けられた略円柱形フラットローラ１０２が整列され回転駆動されることで、その上面に基板が載置、搬送するローラーコンベアー１０３を形成している。このようなローラーコンベアー１０３を用いることで、厚さや幅（搬送方向に垂直な方向の寸法）の異なる基板を同一搬送手段により搬送することが出来る。しかし、基板の下面とローラーコンベアー１０３の上面とが基板の重力のみで当接する場合には、両面間の僅少な摩擦力だけで固定されているため、振動その他によって位置ずれが生じる。特に、基板の洗浄のために、洗浄液のシャワー又は水流中でこの様な搬送手段を用いる場合には、搬送される基板の位置及び向きの甚だしいずれが生じ、それを修正しない場合には製品不良の原因にもなる。そこで、多数のガイドローラー１０５を配置し、前記搬送中に基板１０１の上面に当接することが行われている。
【０００４】
図５（ａ）は、図４の搬送装置の、基板１０１の搬送方向から見た縦断面模式図であり、図５（ｂ）はその部分拡大図である。基板１０１の表面に配向膜１１１等が形成された後の搬送においては、通常基板端縁部であって液晶表示素子製造後に画像表示領域とはならない部分、いわゆる額縁部１１２でガイドローラー１０５が当接するようにされる。ガイドローラー１０５の接触による配向膜１１１等の損傷を避けるためである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の様な従来の技術では、液晶表示素子用基板において画像を表示しない額縁部１１２の幅が狭小である場合には、ガイドローラー１０５を当接することが困難である。額縁部１１２はこの数年来急速に縮小される傾向にあるが、狭小な領域に対してガイドローラーを正確に位置合わせして十分な力を加え、この状態を搬送中維持することは困難である。また、基板の幅が変更された場合に、搬送を停止しガイドローラー又はその幅設定を変更する必要があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み、ガイドローラーを当接するための領域が不十分な場合にも基板の搬送を確実かつ簡易に行うことのできる搬送装置及び搬送方法を提供するものである。また、基板の幅が変化しても連続して搬送を行える搬送装置及び搬送方法も提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送装置において、ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止することを特徴としている。
【０００８】
上記構成により、液晶表示素子用基板の上面に形成された層と接触・摩擦することを実質上回避しながら、基板の位置ずれを確実かつ容易に防止できる。
【０００９】
請求項２の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、請求項１に記載の装置において、前記ガイドローラーが、周面の傾斜角がほぼ等しい二つの略円錐台形部分を有し、二つの前記円錐台形部分がその蓋面を互いに向き合わせて略同軸に構成され、回転駆動される前記ガイドローラーのローラー軸が上下動自在に配されることを特徴としている。
【００１０】
この様な構成により、多様な幅、厚さの基板に対応でき、基板のサイズが切り替わった場合にも連続して搬送を行うことが出来る。
【００１１】
請求項３に記載の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、請求項１又は請求項２に記載の装置において、前記ガイドローラーのローラー面が硬質フッ素樹脂よりなることを特徴とている。
【００１２】
請求項４に記載の液晶表示素子用基板の搬送方法においては、液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送方法において、ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止することを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図１〜２に基づき、配向膜形成後の洗浄工程を例にとり説明する。
【００１４】
液晶表示素子用のガラス基板１の上にポリイミド膜１１が形成され、ラビング処理による配向が施される。特に、ラビング処理の際の摩擦によりゴミが発生するため、十分な洗浄が不可欠である。図１にこの洗浄工程における基板１の搬送について模式的に示す。多数の略円柱形のゴムローラー２が軸を水平に整列され回転駆動されてローラーコンベアー３をなしている。洗浄装置４内に配されたこのローラーコンベア３上を基板１が搬送される。洗浄装置４内において、搬送される基板１に水系洗浄液のシャワー（ジェット）が上方から吹き付けられる。または、基板１が水系洗浄液中に浸漬され洗浄液が下からオーバーフローされる。シャワー等の外力が作用する搬送の際には、基板１の所定搬送位置からの位置ずれ、および搬送中のばたつきを防止するため、基板１の上方からガイドローラー５が配される。
【００１５】
本実施例におけるガイドローラー５について、基板１の搬送方向から見た模式図である図２（ａ）に示す。「鼓（つつみ）」形、すなわち、相等しい２つの円錐台形部分をそれらの蓋面（頂上をなす面）において接合した形に形成されている。図に示されるように、ガイドローラー５は、基板１に対して、基板１の搬送方向に沿った両端辺において基板１と角度をなして当接している。
【００１６】
ガイドローラー５の材質は、「超硬質テフロン（テフロンはデュポン社登録商標）」と俗称されるＰＴＦＥ（４フッ化エチレン樹脂）であって、適当な硬度および弾性係数、ならびに洗浄液に対する耐腐食性を備えたものである。また、ガイドローラー５のローラー軸５は、ゴムローラー２による基板１の搬送速度に合わせて切換又は調整可能に回転駆動される。
【００１７】
ガイドローラー５の全長は通常のゴムローラー２の全長すなわちローラーコンベアーの幅と同様約２００ｍｍであり、円錐台形部分の蓋面および底面の直径はそれぞれ、２２ｍｍおよび２５ｍｍである。
【００１８】
部分拡大図である図２（ｂ）に、ガイドローラー５のローラー面５１と基板１との接触の様子を示す。ガイドローラー５のローラー面５１は、ゴムローラー２およびその上の基板１に対して傾斜しているので、基板１は、基板１の搬送方向に沿った端辺の上方稜線部１２（エッジ部分）においてのみガイドローラー５に当接される。ガイドローラー５のローラー面５１が適度に硬質であるため、基板１の上面に接する面積は微少である。
【００１９】
したがって、配向膜１１が基板１の上面全域にわたって形成されている場合にも、配向膜１１の損傷を引き起こすことなく搬送中の基板１の位置ずれを防止することができる。
【００２０】
図２（ｃ）には、基板１の搬送方向における幅が図２（ａ）のものより大きい場合について示す。ガイドローラー５のローラー軸５２は上下動自在に配されており、ガイドローラー５の自重によって基板１の稜線部１２と接している。そのため、基板１の幅が図２（ａ）のものから図２（ｂ）のもののように拡大しても、何らガイドローラー５の形状の変更、位置調整を行う必要がなく、常に、ガイドローラー５の自重による一定の圧力で基板１と当接する。ガイドローラー５の回転速度だけを調整すればそのまま基板１の搬送を行うことが出来る。言うまでもなく、基板１の厚さが変化した場合についてもそのまま搬送を行うことが出来る。
【００２１】
したがって、基板１のサイズが頻繁に切り替わった場合にも、何ら生産性を損なうことなく連続して搬送を行うことが出来る。
【００２２】
本実施例において、ガイドローラー５の材質としては、適当な硬度および弾性係数、ならびに洗浄液に対する耐腐食性を備えているものならば、いずれも使用できる。ＦＥＰ（４フッ化エチレン・６フッ化プロピレン樹脂）、ＰＣＴＦＥ（３フッ化塩化エチレン樹脂）、ＰＦＡ（４フッ化エチレン・フッ化アルキルビニルエーテル樹脂）といった他の硬質フッ素樹脂（フッ素ゴム以外のフッ素樹脂）でも全く同様である。また、適当な物性、耐腐食性を備えたエポキシ系、飽和ポリエステル系の樹脂でも良く、ＳＵＳ−３１６Ｌといった高耐食性のステンレス鋼でも良い。硬質フッ素樹脂は、強酸性等の腐食性洗浄液に接した場合にも汚染物質の溶出がほとんどなく、また、転がり及び滑り摩擦係数が低いことからも特に好ましい。
【００２３】
ガイドローラー５のローラー面の硬度は、ロックウェル硬度でショアＤ４０〜１００が特に好ましい。最も好ましいものであるＰＴＦＥのロックウェル硬度はショアＤ５０〜５５である。ガイドローラー５のローラー面は、基板１の硬度よりも低く、ゴムローラー２のローラー面よりも硬質とすべきである。
【００２４】
もしも、ガイドローラー５のローラー面５１が過度に軟質材料で構成されると、基板１の上面に接する面積が大きくなり、本発明の目的を十分に達成することができない。また、ローラー面５１が軟質材料で構成されると、稜線部１２と当接することによるローラー面５１の摩耗又は永久変形を引き起こす恐れがある。一方、ローラー面５１の硬度が過度に高い場合には、基板１の稜線部１２の摩耗により、パーティクルが発生し不良を引き起こす恐れがある。
【００２５】
全長が約２００ｍｍのガイドローラー５について、円錐台形部分の蓋面と底面の直径の好ましい組み合わせの例としては、｛１８ｍｍ、２０ｍｍ｝、｛２５ｍｍ、３０ｍｍ｝、または｛３０ｍｍ、５０ｍｍ｝といったものを挙げることができる。
【００２６】
ガイドローラー５の回転駆動は、ゴムローラー２と同一の駆動源からギアを介して行われることができる。また、ガイドローラー５の回転速度の調整は、ギア変換によって、または、電気的な連続可変装置によって行われることができる。
【００２７】
本実施例において、ガイドローラー５のローラー軸は回転駆動されることが好ましいが、単に回転自在に構成されていても良く、この場合には、基板サイズおよび厚さの変更によるガイドローラー５の回転速度の変更が不要である。
【００２８】
ゴムローラー２は、洗浄装置の構成によって水平面から傾斜されていても良く、場合によっては垂直に配されていても良い。また、ゴムローラー２は、略円柱形以外の形状に構成することもできる。
【００２９】
図３（ａ）〜（ｄ）には、ガイドローラー５の形状がそれぞれ異なる、本発明の変形例を示す。
【００３０】
図３（ａ）に示すガイドローラー５Ａは、円錐台形部分を離して形成しダンベル形としたものである。すなわち、互いに２つの円錐台形部分を互いに蓋面を向かい合わせて、同一ローラー軸上に左右対称に形成した。通常、使用する基板１のサイズには下限があるため、ダンベル形としても上記実施例のものと同様の効果が得られる。
【００３１】
図３（ｂ）に示すガイドローラー５Ｂは、水平内向きのキノコ形のものが配されたものである。すなわち、図３（ａ）のものにおいて、両円錐台形部分を連結する中央部のローラー軸が除かれ、円錐台形の蓋面側の稜線が丸くなっている。
【００３２】
図３（ｃ）に示すガイドローラー５Ｃは、垂直下向きのキノコ形のものが配されたものである。すなわち、上方から伸びる垂直方向のローラー軸の先端に、扁平な円錐台形のローラーが、下方を蓋面として配されている。
【００３３】
図３（ｄ）に示すガイドローラー５Ｄは、ローラー軸を傾斜させた円柱形のものであって回転駆動されない。
【００３４】
図３（ｂ）〜（ｄ）の変形例でも上記実施例とほぼ同様の効果が得られる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明のように基板１の稜線部１２に斜めに当接するガイドローラー５を用いることにより、配向膜１１、ＴＦＴ、カラーフィルター等が基板１の上面全域にわたって形成されている場合にも、これらの損傷を引き起こすことなく搬送中の基板１の位置ずれを容易かつ確実に防止することができる。また、基板１のサイズが頻繁に切り替わった場合にも、何ら生産性を損なうことなく連続して搬送を行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】洗浄装置内における基板の搬送について模式的に示す、基板搬送方向に切断した縦断面図である。
【図２】（ａ）実施例の搬送装置を示す、基板の搬送方向から見た、縦断面模式図である。
（ｂ）基板とガイドローラーとの接触の様子を示す（ａ）の部分拡大図である。
（ｃ）基板の幅が拡大した場合における実施例の搬送装置を示す、基板搬送方向から見た模式図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）において、本発明のそれぞれの変形例にかかる搬送装置について示す、基板搬送方向から見た模式図である。
【図４】従来の搬送装置における基板の搬送を模式的に示す斜視図である。
【図５】（ａ）従来の搬送装置を示す、基板の搬送方向から見た、縦断面模式図である。
（ｂ）従来の搬送装置における、基板とガイドローラーとの当接について示す、（ａ）の部分拡大図である。
【符号の説明】
１基板
２ゴムローラー
５ガイドローラー
１１配向膜
１２稜線部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transport device and a transport method in a cleaning process or the like for a liquid crystal display element substrate used in a liquid crystal display device for a notebook PC, a small TV, or the like.
[0002]
[Prior art]
A conventional apparatus and method for transporting a substrate for a liquid crystal display element will be described with reference to FIGS.
[0003]
The schematic diagram in FIG. 4 shows how the substrate 101 is conveyed. As a conveying means for conveying a substrate, a roller conveyor 103 by a flat roller 102 that is rotationally driven is generally used. A substantially cylindrical flat roller 102 with its axis oriented horizontally is aligned and rotationally driven to form a roller conveyor 103 on which the substrate is placed and conveyed. By using such a roller conveyor 103, substrates having different thicknesses and widths (dimensions in a direction perpendicular to the transport direction) can be transported by the same transport means. However, when the lower surface of the substrate and the upper surface of the roller conveyor 103 are in contact with each other only by the gravity of the substrate, they are fixed only by a slight frictional force between both surfaces, and therefore, displacement occurs due to vibration or the like. In particular, when such a transport means is used in the cleaning liquid shower or water flow for cleaning the substrate, the position and orientation of the transported substrate will be distorted, and if it is not corrected, the product will be defective. It also becomes the cause of. Therefore, a large number of guide rollers 105 are arranged so as to come into contact with the upper surface of the substrate 101 during the conveyance.
[0004]
FIG. 5A is a schematic longitudinal sectional view of the transfer apparatus of FIG. 4 as viewed from the transfer direction of the substrate 101, and FIG. 5B is a partially enlarged view thereof. In the conveyance after the alignment film 111 or the like is formed on the surface of the substrate 101, the guide roller 105 is usually applied to the edge portion of the substrate that is not the image display area after manufacturing the liquid crystal display element, that is, the so-called frame portion 112. It is made to touch. This is to avoid damage to the alignment film 111 and the like due to contact with the guide roller 105.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional technology as described above, when the width of the frame portion 112 that does not display an image on the liquid crystal display element substrate is narrow, it is difficult to contact the guide roller 105. Although the frame portion 112 tends to shrink rapidly over the past few years, it is difficult to accurately align the guide roller against a narrow area and apply sufficient force to maintain this state during transport. . Moreover, when the width | variety of the board | substrate was changed, it was necessary to stop conveyance and to change a guide roller or its width | variety setting.
[0006]
In view of the above problems, the present invention provides a transport apparatus and a transport method that can transport a substrate reliably and easily even when an area for contacting a guide roller is insufficient. Further, the present invention also provides a transport apparatus and a transport method that can transport continuously even if the width of the substrate changes.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In the transport device for a substrate for a liquid crystal display element according to claim 1 of the present invention, a guide roller is disposed on the roller conveyor in the transport device in which the substrate for a liquid crystal display element is placed and transported on a roller conveyor. Further, the substrate is brought into contact with the ridge line portions on both sides of the substrate along the conveyance direction at an angle to prevent the substrate from being displaced on the roller conveyor.
[0008]
With the above configuration, it is possible to reliably and easily prevent the displacement of the substrate while substantially avoiding contact and friction with the layer formed on the upper surface of the substrate for the liquid crystal display element.
[0009]
In the apparatus for transporting a substrate for a liquid crystal display element according to claim 2, in the apparatus according to claim 1, the guide roller has two substantially frustoconical portions having substantially equal inclination angles of the peripheral surface, The frustoconical portion is configured to be substantially coaxial with its lid surfaces facing each other, and the roller shaft of the guide roller that is rotationally driven is arranged to be movable up and down.
[0010]
With such a configuration, it is possible to deal with substrates of various widths and thicknesses, and even when the size of the substrate is switched, it is possible to carry it continuously.
[0011]
In the apparatus for transporting a substrate for a liquid crystal display element according to claim 3, in the apparatus according to claim 1 or 2, the roller surface of the guide roller is made of a hard fluororesin.
[0012]
In the conveyance method of the substrate for liquid crystal display elements according to claim 4, in the conveyance method in which the substrate for liquid crystal display elements is placed and conveyed on a roller conveyor, guide rollers are arranged on the roller conveyor, It is characterized in that it makes contact with the ridge line portions on both sides of the substrate along the transport direction at an angle with the substrate surface to prevent the displacement of the substrate on the roller conveyor.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0014]
A polyimide film 11 is formed on a glass substrate 1 for a liquid crystal display element, and orientation is performed by rubbing treatment. In particular, since dust is generated due to friction during the rubbing process, sufficient cleaning is essential. FIG. 1 schematically shows the conveyance of the substrate 1 in this cleaning process. A large number of substantially cylindrical rubber rollers 2 are aligned horizontally with a shaft and driven to rotate to form a roller conveyor 3. The substrate 1 is conveyed on the roller conveyor 3 disposed in the cleaning device 4. In the cleaning device 4, a shower (jet) of an aqueous cleaning liquid is sprayed from above on the substrate 1 to be transported. Alternatively, the substrate 1 is immersed in an aqueous cleaning solution and the cleaning solution overflows from below. At the time of conveyance such as a shower acting on the outside, a guide roller 5 is disposed from above the substrate 1 in order to prevent displacement of the substrate 1 from a predetermined conveyance position and flapping during conveyance.
[0015]
About the guide roller 5 in a present Example, it is shown to Fig.2 (a) which is the schematic diagram seen from the conveyance direction of the board | substrate 1. FIG. It is formed in a “drum” shape, that is, two equal frustoconical portions joined together at their lid surfaces (top surfaces). As shown in the drawing, the guide roller 5 is in contact with the substrate 1 at an angle at both ends along the conveyance direction of the substrate 1.
[0016]
The material of the guide roller 5 is PTFE (tetrafluoroethylene resin) commonly called “super-hard Teflon (Teflon is a registered trademark of DuPont)”, which has an appropriate hardness and elastic coefficient, and corrosion resistance against cleaning liquid. It is provided. The roller shaft 5 of the guide roller 5 is rotationally driven so as to be switched or adjustable in accordance with the conveyance speed of the substrate 1 by the rubber roller 2.
[0017]
The total length of the guide roller 5 is about 200 mm, similar to the total length of the normal rubber roller 2, that is, the width of the roller conveyor, and the diameters of the lid surface and the bottom surface of the truncated cone portion are 22 mm and 25 mm, respectively.
[0018]
FIG. 2B, which is a partially enlarged view, shows a state of contact between the roller surface 51 of the guide roller 5 and the substrate 1. Since the roller surface 51 of the guide roller 5 is inclined with respect to the rubber roller 2 and the substrate 1 thereabove, the substrate 1 is the upper ridge line portion 12 (edge portion) of the edge along the conveyance direction of the substrate 1. Only in contact with the guide roller 5. Since the roller surface 51 of the guide roller 5 is moderately hard, the area in contact with the upper surface of the substrate 1 is very small.
[0019]
Therefore, even when the alignment film 11 is formed over the entire upper surface of the substrate 1, it is possible to prevent the displacement of the substrate 1 during transportation without causing damage to the alignment film 11.
[0020]
FIG. 2C shows a case where the width in the transport direction of the substrate 1 is larger than that in FIG. The roller shaft 52 of the guide roller 5 is arranged so as to be movable up and down, and is in contact with the ridge line portion 12 of the substrate 1 by its own weight. Therefore, even if the width of the substrate 1 is increased from that of FIG. 2A to that of FIG. 2B, there is no need to change the shape or position of the guide roller 5, and the guide roller is always provided. 5 is brought into contact with the substrate 1 with a constant pressure due to its own weight. If only the rotation speed of the guide roller 5 is adjusted, the substrate 1 can be transferred as it is. Needless to say, even when the thickness of the substrate 1 changes, it can be transferred as it is.
[0021]
Therefore, even when the size of the substrate 1 is frequently switched, it is possible to carry it continuously without any loss of productivity.
[0022]
In the present embodiment, any material can be used as the material of the guide roller 5 as long as it has appropriate hardness and elastic modulus, and corrosion resistance against the cleaning liquid. Other hard fluororesins such as FEP (tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene resin), PCTFE (trifluoroethylene chloride), PFA (tetrafluoroethylene / fluoroalkyl vinyl ether resin) (fluororesins other than fluororubber) ) Is exactly the same. Further, an epoxy-based or saturated polyester-based resin having appropriate physical properties and corrosion resistance may be used, and high corrosion resistance stainless steel such as SUS-316L may be used. The hard fluororesin is particularly preferable because it hardly dissolves contaminants when it comes into contact with a corrosive cleaning liquid such as strong acid, and also has a low rolling and sliding friction coefficient.
[0023]
As for the hardness of the roller surface of the guide roller 5, Shore D40-100 is especially preferable at Rockwell hardness. The most preferred PTFE has a Rockwell hardness of Shore D50-55. The roller surface of the guide roller 5 should be lower than the hardness of the substrate 1 and harder than the roller surface of the rubber roller 2.
[0024]
If the roller surface 51 of the guide roller 5 is made of an excessively soft material, the area in contact with the upper surface of the substrate 1 becomes large, and the object of the present invention cannot be sufficiently achieved. Moreover, when the roller surface 51 is comprised with a soft material, there exists a possibility of causing the abrasion or permanent deformation | transformation of the roller surface 51 by contact | abutting with the ridgeline part 12. FIG. On the other hand, when the hardness of the roller surface 51 is excessively high, particles may be generated due to wear of the ridge line portion 12 of the substrate 1 to cause a defect.
[0025]
For the guide roller 5 having a total length of about 200 mm, examples of a preferable combination of the diameter of the lid surface and the bottom surface of the truncated cone portion include {18 mm, 20 mm}, {25 mm, 30 mm}, or {30 mm, 50 mm}. be able to.
[0026]
The rotational drive of the guide roller 5 can be performed via a gear from the same drive source as the rubber roller 2. Further, the adjustment of the rotation speed of the guide roller 5 can be performed by gear conversion or by an electrical continuous variable device.
[0027]
In this embodiment, the roller shaft of the guide roller 5 is preferably driven to rotate, but it may be simply configured to rotate. In this case, the guide roller 5 is rotated by changing the substrate size and thickness. No speed change is required.
[0028]
The rubber roller 2 may be inclined from the horizontal plane depending on the configuration of the cleaning device, and may be arranged vertically in some cases. Moreover, the rubber roller 2 can also be comprised in shapes other than substantially cylindrical shape.
[0029]
3A to 3D show modified examples of the present invention in which the shape of the guide roller 5 is different.
[0030]
The guide roller 5A shown in FIG. 3 (a) is a dumbbell formed by separating the frustoconical portion. That is, two frustoconical portions were formed symmetrically on the same roller axis with the lid surfaces facing each other. Usually, since there is a lower limit to the size of the substrate 1 to be used, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained even in the dumbbell shape.
[0031]
The guide roller 5B shown in FIG. 3 (b) is a mushroom-shaped roller that is horizontally inward. That is, in the thing of Fig.3 (a), the roller axis | shaft of the center part which connects both frustoconical part is removed, and the ridgeline by the side of a lid surface of a truncated cone shape is round.
[0032]
The guide roller 5 </ b> C shown in FIG. 3 (c) is a mushroom type that is vertically downward. That is, a flat frustoconical roller is disposed at the tip of a vertical roller shaft extending from above, with the bottom as a lid surface.
[0033]
The guide roller 5D shown in FIG. 3 (d) has a cylindrical shape with an inclined roller shaft and is not driven to rotate.
[0034]
In the modified examples of FIGS. 3B to 3D, substantially the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.
[0035]
【The invention's effect】
Even when the alignment film 11, the TFT, the color filter, and the like are formed over the entire upper surface of the substrate 1 by using the guide roller 5 that obliquely contacts the ridge line portion 12 of the substrate 1 as in the present invention, these It is possible to easily and reliably prevent the displacement of the substrate 1 being transferred without causing damage. Further, even when the size of the substrate 1 is frequently switched, the substrate 1 can be continuously transferred without any loss of productivity.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view schematically showing the conveyance of a substrate in a cleaning apparatus, cut in the substrate conveyance direction.
FIG. 2A is a schematic vertical cross-sectional view of a transport apparatus according to an embodiment as viewed from the transport direction of a substrate.
(B) It is the elements on larger scale of (a) which show the mode of a contact with a board | substrate and a guide roller.
(C) It is the schematic diagram seen from the board | substrate conveyance direction which shows the conveying apparatus of the Example when the width | variety of a board | substrate expands.
FIGS. 3A to 3D are schematic diagrams viewed from the substrate transport direction, showing a transport apparatus according to each modification of the present invention. FIGS.
FIG. 4 is a perspective view schematically showing conveyance of a substrate in a conventional conveyance device.
FIG. 5A is a schematic vertical cross-sectional view of a conventional transfer apparatus as seen from the substrate transfer direction.
(B) It is the elements on larger scale of (a) shown about contact with a substrate and a guide roller in the conventional conveyance device.
[Explanation of symbols]
1 Substrate 2 Rubber roller 5 Guide roller 11 Alignment film 12 Ridge line

Claims

配向膜形成後の液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送装置において、
ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に、上下動自在に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に、自重によって前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止するものであり、
ガイドローラーのローラー面の硬度はロックウエル硬度でショアＤ４０〜１００であることを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。 In the transport device in which the substrate for the liquid crystal display element after the alignment film is formed is placed on the roller conveyor and transported,
Guide rollers are arranged on the roller conveyor so as to be movable up and down , and abut against the ridge line portions on both sides of the substrate along the transport direction at an angle with the substrate surface by their own weight, and the roller conveyor is intended to prevent displacement of the substrate above,
The roller surface of the guide roller has a Rockwell hardness of Shore D40 to 100, and is a substrate transport device for a liquid crystal display element.

請求項１に記載の装置において、前記ガイドローラーが、周面の傾斜角がほぼ等しい二つの略円錐台形部分を有し、二つの前記円錐台形部分がその蓋面を互いに向き合わせて略同軸に構成され、
回転駆動される前記ガイドローラーのローラー軸が上下動自在に配される
ことを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。The apparatus according to claim 1, wherein the guide roller has two substantially frustoconical portions with substantially equal inclination angles of the peripheral surfaces, and the two frustoconical portions are substantially coaxial with their lid surfaces facing each other. Configured,
A transport device for a substrate for a liquid crystal display element, characterized in that a roller shaft of the rotationally driven guide roller is arranged so as to freely move up and down.

請求項１又は請求項２に記載の装置において、前記ガイドローラーのローラー面が硬質フッ素樹脂よりなる
ことを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。The apparatus according to claim 1 or 2, wherein a roller surface of the guide roller is made of a hard fluororesin.

配向膜形成後の液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送方法において、
ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に、上下動自在に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に、自重によって前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止するものであり、
ガイドローラーのローラー面の硬度はロックウエル硬度でショアＤ４０〜１００であることを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送方法。 In the transport method in which the liquid crystal display element substrate after the alignment film is formed is placed on a roller conveyor and transported,
Guide rollers are arranged on the roller conveyor so as to be movable up and down , and abut against the ridge line portions on both sides of the substrate along the transport direction at an angle with the substrate surface by their own weight, and the roller conveyor To prevent the displacement of the substrate above ,
The method for transporting a substrate for a liquid crystal display element, wherein the hardness of the roller surface of the guide roller is Shore D40-100 in terms of Rockwell hardness .