JP3612378B2 - Transport device and transport method for substrate for liquid crystal display element - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
ノートPC、小型TV等のための液晶表示装置に用いられる液晶表示素子用基板について、その洗浄工程等における搬送装置及び搬送方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の液晶表示素子用基板の搬送装置及び方法について、図4〜5に基づいて説明する。
【0003】
図4の模式図に、基板101の搬送の様子について示す。基板を搬送する搬送手段としては、回転駆動されるフラットローラー102によるローラーコンベアー103が一般的である。軸を水平に向けられた略円柱形フラットローラ102が整列され回転駆動されることで、その上面に基板が載置、搬送するローラーコンベアー103を形成している。このようなローラーコンベアー103を用いることで、厚さや幅(搬送方向に垂直な方向の寸法)の異なる基板を同一搬送手段により搬送することが出来る。しかし、基板の下面とローラーコンベアー103の上面とが基板の重力のみで当接する場合には、両面間の僅少な摩擦力だけで固定されているため、振動その他によって位置ずれが生じる。特に、基板の洗浄のために、洗浄液のシャワー又は水流中でこの様な搬送手段を用いる場合には、搬送される基板の位置及び向きの甚だしいずれが生じ、それを修正しない場合には製品不良の原因にもなる。そこで、多数のガイドローラー105を配置し、前記搬送中に基板101の上面に当接することが行われている。
【0004】
図5(a)は、図4の搬送装置の、基板101の搬送方向から見た縦断面模式図であり、図5(b)はその部分拡大図である。基板101の表面に配向膜111等が形成された後の搬送においては、通常基板端縁部であって液晶表示素子製造後に画像表示領域とはならない部分、いわゆる額縁部112でガイドローラー105が当接するようにされる。ガイドローラー105の接触による配向膜111等の損傷を避けるためである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記の様な従来の技術では、液晶表示素子用基板において画像を表示しない額縁部112の幅が狭小である場合には、ガイドローラー105を当接することが困難である。額縁部112はこの数年来急速に縮小される傾向にあるが、狭小な領域に対してガイドローラーを正確に位置合わせして十分な力を加え、この状態を搬送中維持することは困難である。また、基板の幅が変更された場合に、搬送を停止しガイドローラー又はその幅設定を変更する必要があった。
【0006】
本発明は、上記問題点に鑑み、ガイドローラーを当接するための領域が不十分な場合にも基板の搬送を確実かつ簡易に行うことのできる搬送装置及び搬送方法を提供するものである。また、基板の幅が変化しても連続して搬送を行える搬送装置及び搬送方法も提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送装置において、ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止することを特徴としている。
【0008】
上記構成により、液晶表示素子用基板の上面に形成された層と接触・摩擦することを実質上回避しながら、基板の位置ずれを確実かつ容易に防止できる。
【0009】
請求項2の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、請求項1に記載の装置において、前記ガイドローラーが、周面の傾斜角がほぼ等しい二つの略円錐台形部分を有し、二つの前記円錐台形部分がその蓋面を互いに向き合わせて略同軸に構成され、回転駆動される前記ガイドローラーのローラー軸が上下動自在に配されることを特徴としている。
【0010】
この様な構成により、多様な幅、厚さの基板に対応でき、基板のサイズが切り替わった場合にも連続して搬送を行うことが出来る。
【0011】
請求項3に記載の液晶表示素子用基板の搬送装置においては、請求項1又は請求項2に記載の装置において、前記ガイドローラーのローラー面が硬質フッ素樹脂よりなることを特徴とている。
【0012】
請求項4に記載の液晶表示素子用基板の搬送方法においては、液晶表示素子用基板がローラーコンベアー上に載置されて搬送される搬送方法において、ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止することを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図1〜2に基づき、配向膜形成後の洗浄工程を例にとり説明する。
【0014】
液晶表示素子用のガラス基板1の上にポリイミド膜11が形成され、ラビング処理による配向が施される。特に、ラビング処理の際の摩擦によりゴミが発生するため、十分な洗浄が不可欠である。図1にこの洗浄工程における基板1の搬送について模式的に示す。多数の略円柱形のゴムローラー2が軸を水平に整列され回転駆動されてローラーコンベアー3をなしている。洗浄装置4内に配されたこのローラーコンベア3上を基板1が搬送される。洗浄装置4内において、搬送される基板1に水系洗浄液のシャワー(ジェット)が上方から吹き付けられる。または、基板1が水系洗浄液中に浸漬され洗浄液が下からオーバーフローされる。シャワー等の外力が作用する搬送の際には、基板1の所定搬送位置からの位置ずれ、および搬送中のばたつきを防止するため、基板1の上方からガイドローラー5が配される。
【0015】
本実施例におけるガイドローラー5について、基板1の搬送方向から見た模式図である図2(a)に示す。「鼓(つつみ)」形、すなわち、相等しい2つの円錐台形部分をそれらの蓋面(頂上をなす面)において接合した形に形成されている。図に示されるように、ガイドローラー5は、基板1に対して、基板1の搬送方向に沿った両端辺において基板1と角度をなして当接している。
【0016】
ガイドローラー5の材質は、「超硬質テフロン(テフロンはデュポン社登録商標)」と俗称されるPTFE(4フッ化エチレン樹脂)であって、適当な硬度および弾性係数、ならびに洗浄液に対する耐腐食性を備えたものである。また、ガイドローラー5のローラー軸5は、ゴムローラー2による基板1の搬送速度に合わせて切換又は調整可能に回転駆動される。
【0017】
ガイドローラー5の全長は通常のゴムローラー2の全長すなわちローラーコンベアーの幅と同様約200mmであり、円錐台形部分の蓋面および底面の直径はそれぞれ、22mmおよび25mmである。
【0018】
部分拡大図である図2(b)に、ガイドローラー5のローラー面51と基板1との接触の様子を示す。ガイドローラー5のローラー面51は、ゴムローラー2およびその上の基板1に対して傾斜しているので、基板1は、基板1の搬送方向に沿った端辺の上方稜線部12(エッジ部分)においてのみガイドローラー5に当接される。ガイドローラー5のローラー面51が適度に硬質であるため、基板1の上面に接する面積は微少である。
【0019】
したがって、配向膜11が基板1の上面全域にわたって形成されている場合にも、配向膜11の損傷を引き起こすことなく搬送中の基板1の位置ずれを防止することができる。
【0020】
図2(c)には、基板1の搬送方向における幅が図2(a)のものより大きい場合について示す。ガイドローラー5のローラー軸52は上下動自在に配されており、ガイドローラー5の自重によって基板1の稜線部12と接している。そのため、基板1の幅が図2(a)のものから図2(b)のもののように拡大しても、何らガイドローラー5の形状の変更、位置調整を行う必要がなく、常に、ガイドローラー5の自重による一定の圧力で基板1と当接する。ガイドローラー5の回転速度だけを調整すればそのまま基板1の搬送を行うことが出来る。言うまでもなく、基板1の厚さが変化した場合についてもそのまま搬送を行うことが出来る。
【0021】
したがって、基板1のサイズが頻繁に切り替わった場合にも、何ら生産性を損なうことなく連続して搬送を行うことが出来る。
【0022】
本実施例において、ガイドローラー5の材質としては、適当な硬度および弾性係数、ならびに洗浄液に対する耐腐食性を備えているものならば、いずれも使用できる。FEP(4フッ化エチレン・6フッ化プロピレン樹脂)、PCTFE(3フッ化塩化エチレン樹脂)、PFA(4フッ化エチレン・フッ化アルキルビニルエーテル樹脂)といった他の硬質フッ素樹脂(フッ素ゴム以外のフッ素樹脂)でも全く同様である。また、適当な物性、耐腐食性を備えたエポキシ系、飽和ポリエステル系の樹脂でも良く、SUS−316Lといった高耐食性のステンレス鋼でも良い。硬質フッ素樹脂は、強酸性等の腐食性洗浄液に接した場合にも汚染物質の溶出がほとんどなく、また、転がり及び滑り摩擦係数が低いことからも特に好ましい。
【0023】
ガイドローラー5のローラー面の硬度は、ロックウェル硬度でショアD40〜100が特に好ましい。最も好ましいものであるPTFEのロックウェル硬度はショアD50〜55である。ガイドローラー5のローラー面は、基板1の硬度よりも低く、ゴムローラー2のローラー面よりも硬質とすべきである。
【0024】
もしも、ガイドローラー5のローラー面51が過度に軟質材料で構成されると、基板1の上面に接する面積が大きくなり、本発明の目的を十分に達成することができない。また、ローラー面51が軟質材料で構成されると、稜線部12と当接することによるローラー面51の摩耗又は永久変形を引き起こす恐れがある。一方、ローラー面51の硬度が過度に高い場合には、基板1の稜線部12の摩耗により、パーティクルが発生し不良を引き起こす恐れがある。
【0025】
全長が約200mmのガイドローラー5について、円錐台形部分の蓋面と底面の直径の好ましい組み合わせの例としては、{18mm、20mm}、{25mm、30mm}、または{30mm、50mm}といったものを挙げることができる。
【0026】
ガイドローラー5の回転駆動は、ゴムローラー2と同一の駆動源からギアを介して行われることができる。また、ガイドローラー5の回転速度の調整は、ギア変換によって、または、電気的な連続可変装置によって行われることができる。
【0027】
本実施例において、ガイドローラー5のローラー軸は回転駆動されることが好ましいが、単に回転自在に構成されていても良く、この場合には、基板サイズおよび厚さの変更によるガイドローラー5の回転速度の変更が不要である。
【0028】
ゴムローラー2は、洗浄装置の構成によって水平面から傾斜されていても良く、場合によっては垂直に配されていても良い。また、ゴムローラー2は、略円柱形以外の形状に構成することもできる。
【0029】
図3(a)〜(d)には、ガイドローラー5の形状がそれぞれ異なる、本発明の変形例を示す。
【0030】
図3(a)に示すガイドローラー5Aは、円錐台形部分を離して形成しダンベル形としたものである。すなわち、互いに2つの円錐台形部分を互いに蓋面を向かい合わせて、同一ローラー軸上に左右対称に形成した。通常、使用する基板1のサイズには下限があるため、ダンベル形としても上記実施例のものと同様の効果が得られる。
【0031】
図3(b)に示すガイドローラー5Bは、水平内向きのキノコ形のものが配されたものである。すなわち、図3(a)のものにおいて、両円錐台形部分を連結する中央部のローラー軸が除かれ、円錐台形の蓋面側の稜線が丸くなっている。
【0032】
図3(c)に示すガイドローラー5Cは、垂直下向きのキノコ形のものが配されたものである。すなわち、上方から伸びる垂直方向のローラー軸の先端に、扁平な円錐台形のローラーが、下方を蓋面として配されている。
【0033】
図3(d)に示すガイドローラー5Dは、ローラー軸を傾斜させた円柱形のものであって回転駆動されない。
【0034】
図3(b)〜(d)の変形例でも上記実施例とほぼ同様の効果が得られる。
【0035】
【発明の効果】
本発明のように基板1の稜線部12に斜めに当接するガイドローラー5を用いることにより、配向膜11、TFT、カラーフィルター等が基板1の上面全域にわたって形成されている場合にも、これらの損傷を引き起こすことなく搬送中の基板1の位置ずれを容易かつ確実に防止することができる。また、基板1のサイズが頻繁に切り替わった場合にも、何ら生産性を損なうことなく連続して搬送を行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】洗浄装置内における基板の搬送について模式的に示す、基板搬送方向に切断した縦断面図である。
【図2】(a)実施例の搬送装置を示す、基板の搬送方向から見た、縦断面模式図である。
(b)基板とガイドローラーとの接触の様子を示す(a)の部分拡大図である。
(c)基板の幅が拡大した場合における実施例の搬送装置を示す、基板搬送方向から見た模式図である。
【図3】(a)〜(d)において、本発明のそれぞれの変形例にかかる搬送装置について示す、基板搬送方向から見た模式図である。
【図4】従来の搬送装置における基板の搬送を模式的に示す斜視図である。
【図5】(a)従来の搬送装置を示す、基板の搬送方向から見た、縦断面模式図である。
(b)従来の搬送装置における、基板とガイドローラーとの当接について示す、(a)の部分拡大図である。
【符号の説明】
1 基板
2 ゴムローラー
5 ガイドローラー
11 配向膜
12 稜線部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transport device and a transport method in a cleaning process or the like for a liquid crystal display element substrate used in a liquid crystal display device for a notebook PC, a small TV, or the like.
[0002]
[Prior art]
A conventional apparatus and method for transporting a substrate for a liquid crystal display element will be described with reference to FIGS.
[0003]
The schematic diagram in FIG. 4 shows how the
[0004]
FIG. 5A is a schematic longitudinal sectional view of the transfer apparatus of FIG. 4 as viewed from the transfer direction of the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional technology as described above, when the width of the
[0006]
In view of the above problems, the present invention provides a transport apparatus and a transport method that can transport a substrate reliably and easily even when an area for contacting a guide roller is insufficient. Further, the present invention also provides a transport apparatus and a transport method that can transport continuously even if the width of the substrate changes.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In the transport device for a substrate for a liquid crystal display element according to
[0008]
With the above configuration, it is possible to reliably and easily prevent the displacement of the substrate while substantially avoiding contact and friction with the layer formed on the upper surface of the substrate for the liquid crystal display element.
[0009]
In the apparatus for transporting a substrate for a liquid crystal display element according to
[0010]
With such a configuration, it is possible to deal with substrates of various widths and thicknesses, and even when the size of the substrate is switched, it is possible to carry it continuously.
[0011]
In the apparatus for transporting a substrate for a liquid crystal display element according to
[0012]
In the conveyance method of the substrate for liquid crystal display elements according to
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0014]
A
[0015]
About the
[0016]
The material of the
[0017]
The total length of the
[0018]
FIG. 2B, which is a partially enlarged view, shows a state of contact between the
[0019]
Therefore, even when the
[0020]
FIG. 2C shows a case where the width in the transport direction of the
[0021]
Therefore, even when the size of the
[0022]
In the present embodiment, any material can be used as the material of the
[0023]
As for the hardness of the roller surface of the
[0024]
If the
[0025]
For the
[0026]
The rotational drive of the
[0027]
In this embodiment, the roller shaft of the
[0028]
The
[0029]
3A to 3D show modified examples of the present invention in which the shape of the
[0030]
The
[0031]
The guide roller 5B shown in FIG. 3 (b) is a mushroom-shaped roller that is horizontally inward. That is, in the thing of Fig.3 (a), the roller axis | shaft of the center part which connects both frustoconical part is removed, and the ridgeline by the side of a lid surface of a truncated cone shape is round.
[0032]
The
[0033]
The
[0034]
In the modified examples of FIGS. 3B to 3D, substantially the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.
[0035]
【The invention's effect】
Even when the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view schematically showing the conveyance of a substrate in a cleaning apparatus, cut in the substrate conveyance direction.
FIG. 2A is a schematic vertical cross-sectional view of a transport apparatus according to an embodiment as viewed from the transport direction of a substrate.
(B) It is the elements on larger scale of (a) which show the mode of a contact with a board | substrate and a guide roller.
(C) It is the schematic diagram seen from the board | substrate conveyance direction which shows the conveying apparatus of the Example when the width | variety of a board | substrate expands.
FIGS. 3A to 3D are schematic diagrams viewed from the substrate transport direction, showing a transport apparatus according to each modification of the present invention. FIGS.
FIG. 4 is a perspective view schematically showing conveyance of a substrate in a conventional conveyance device.
FIG. 5A is a schematic vertical cross-sectional view of a conventional transfer apparatus as seen from the substrate transfer direction.
(B) It is the elements on larger scale of (a) shown about contact with a substrate and a guide roller in the conventional conveyance device.
[Explanation of symbols]
1
Claims (4)
ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に、上下動自在に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に、自重によって前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止するものであり、
ガイドローラーのローラー面の硬度はロックウエル硬度でショアD40〜100であることを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。 In the transport device in which the substrate for the liquid crystal display element after the alignment film is formed is placed on the roller conveyor and transported,
Guide rollers are arranged on the roller conveyor so as to be movable up and down , and abut against the ridge line portions on both sides of the substrate along the transport direction at an angle with the substrate surface by their own weight, and the roller conveyor is intended to prevent displacement of the substrate above,
The roller surface of the guide roller has a Rockwell hardness of Shore D40 to 100, and is a substrate transport device for a liquid crystal display element.
回転駆動される前記ガイドローラーのローラー軸が上下動自在に配される
ことを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。The apparatus according to claim 1, wherein the guide roller has two substantially frustoconical portions with substantially equal inclination angles of the peripheral surfaces, and the two frustoconical portions are substantially coaxial with their lid surfaces facing each other. Configured,
A transport device for a substrate for a liquid crystal display element, characterized in that a roller shaft of the rotationally driven guide roller is arranged so as to freely move up and down.
ことを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送装置。The apparatus according to claim 1 or 2, wherein a roller surface of the guide roller is made of a hard fluororesin.
ガイドローラーが、前記ローラーコンベアー上に、上下動自在に配され、前記搬送の方向に沿った前記基板の両端辺の稜線部に、自重によって前記基板面と角度をなして当接し、前記ローラーコンベアー上での前記基板の位置ずれを防止するものであり、
ガイドローラーのローラー面の硬度はロックウエル硬度でショアD40〜100であることを特徴とした液晶表示素子用基板の搬送方法。 In the transport method in which the liquid crystal display element substrate after the alignment film is formed is placed on a roller conveyor and transported,
Guide rollers are arranged on the roller conveyor so as to be movable up and down , and abut against the ridge line portions on both sides of the substrate along the transport direction at an angle with the substrate surface by their own weight, and the roller conveyor To prevent the displacement of the substrate above ,
The method for transporting a substrate for a liquid crystal display element, wherein the hardness of the roller surface of the guide roller is Shore D40-100 in terms of Rockwell hardness .
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