JP3604581B2 - Parts for reflective optical encoder and its manufacturing method - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、スリット板などの光透過型の光信号のエンコーダーに代わって、光の反射により、光信号や光線の符号化やパルス化等を行うための、反射型光学式エンコーダー用部品に関する。光学式エンコーダーは、種々の精密機械部品に使用されており、そのような精密機械部品には、例えば駆動部の軸の回転量や、水平移動量を読み取るディジタルカウンタ等の簡単なものも含まれる。
【０００２】
【従来の技術】
従来の反射型光学式エンコーダーは、図８に示すように、ＰＥＴフィルムに所定パターンの酸化銀乳剤などを適用して黒色の光吸収部分をつくり、その表面にアルミニウム等の金属を蒸着して造った、フィルム側を反射面として使用するエンコーダー用部品を用いるものが主流である。
【０００３】
このようなエンコーダー用部品は、プラスチックの性質が変化しまうような物理的条件では使用できず、使用される環境、即ち使用部分や用途が制限される。
【０００４】
また、湿気にも弱く、使用しているうちに、プラスチックの表面は曇りを生じ、パターンが読めなくなって、しまいには機能しなくなるので、耐久性に問題があった。
【０００５】
また、ＰＥＴのフィルムの表面では、光の透過と共に反射も起こるので、コントラストが悪く、強いコントラストが要求される用途には十分な適性を発揮できなかった。
【０００６】
単一金属層の反射表面を所定パターンに一定深さまで腐食させて製造した図９に示されるような反射型エンコーダー用部品も知られている。この種のエンコーダーは、金属のみからなるので、使用部分や用途は選ばないが、光を反射しない部分は、腐食されたままの表面がたまたま凹凸のある表面であるために単に光が乱反射するだけであって、反射面に対して強いコントラストが得られない。
【０００７】
更に、金属は種類により色が違うことからわかるように、単一金属層から造られるエンコーダーは、光を反射させるための部分と光を反射させないための部分が同一の金属であるから、これらの部分から反射する光の波長の性質が同一又は類似したものとなり、反射させるための部分からの反射光と反射させないための部分からの反射光は、光を受けるセンサーによって区別がつきにくい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上記の問題点を解決し、好ましくは金属又はその酸化物のみからなり、そのために使用部分や用途を選ばず、光を反射する部分を含み好ましくは光を吸収する部分も含むことにより、強いコントラストが得られる、反射型光学式エンコーダー用部品を得ることである。
【０００９】
また、一般に反射の光量の大小又は反射光の有無により、光信号又は光線が、１時点で、反射を意図する部分の反射による反射有りの信号か、又は反射なしを意図する部分に光があたっている場合の反射なし信号のいずれかとして、符号化やパルス化がなされてきたが、特定波長に特定の反応をするセンサーが可能で受光部に複数種のセンサーを設けることも可能である。従って、反射のありなしが異なる波長の光では異なる結果を与え得る金属の３種以上を含む表面があれば、光の波長の性質にしたがって、光信号又は光線をある一時点で２種を越える信号を発生するように、符号化やパルス化することの出来る反射型光学式エンコーダーが可能である。そのような装置の部品を提供することも、本発明の課題である。
【００１０】
【課題を解決する手段】
本発明者等は、鋭意研究の結果以下の構成により上記の課題を解決できることを発見し、本発明を完成させた。即ち、
【００１１】
１．
少なくとも２種以上の金属又は合金で形成される複数の層を有する金属又は合金からなっており、
光反射表面部を有し、光反射表面部の少なくとも一部は光反射を意図する表面であり、該表面部は、その表面金属又は合金とは異なる金属又は合金の層の１層以上が露出している該表面金属又は合金が存在しない所定のパターンの部分を有していることを特徴とする、反射型光学式エンコーダー用部品。
【００１２】
２．
該エンコーダーが、表面金属又は合金とは異なる金属又は合金の層が１層露出している該表面金属又は合金が存在しない所定のパターンの部分を有し、
該表面金属又は合金とは異なる金属又は合金の露出部に光の反射をなくす又は減少させる為の金属酸化物皮膜を形成したことを特徴とする上記１に記載の反射型光学式エンコーダー用部品。
【００１３】
３．
光反射平面部を有し、該平面部の少なくとも一部は光を反射させることを意図しており、該平面部の構造は、第一の金属又は合金の表面が所定のパターンの凹部を有し、該所定パターンの凹部中に、該第一の金属又は合金と異なる１種以上の金属又は合金及び表面に金属酸化物皮膜を有する該第一の金属又は合金と異なる１種以上の金属又は合金からなる群から選択される１種以上が存在する構造であることを特徴とする、反射型光学式エンコーダー用部品。
【００１４】
４．
単一の金属又は合金の反射層を含んでおり、該反射層の表面上の所定パターンに、又は該反射層表面に存在する所定パターンの凹部表面に、光反射をなくすか又は減少させるための金属酸化物皮膜が形成されていることを特徴とする反射型光学式エンコーダー用部品。
【００１５】
５．
第一の金属又は合金の層と第二の金属又は合金の層を有する金属薄い板又は膜の、第一の金属又は合金の層側に、レジストを付けて所定パタ−ンのみレジストが抜けたレジスト層を形成し；
該第一の金属又は合金を腐食させる腐食液でエッチングして、該第一の金属又は合金の層の表面中に、該第二の金属又は合金の層を該レジストの抜けたパタ−ン部分で露出させ；
光の反射を減少又は無くする為に、該第二の金属又は合金の酸化物の皮膜を、露出した該第二の金属又は合金の層の表面に形成する処理を実施し；
その後レジスト層を除去する；
以上の段階を含んでいる、該第一の金属又は合金の層の表面を光を反射しようとする面とし、該第二の金属又は合金の酸化物の皮膜を光を反射しない面とする、反射型光学式エンコーダー用部品の製造方法。
【００１６】
６．
金属材料の第一の金属又は合金が露出している反射表面部に、レジストを付けて、所定パタ−ンのみレジストが抜けたレジスト層を形成し；
該反射表面部の該レジストが抜けた所定パターン部分をエッチングして凹部を形成した後、又はエッチングせずに凹部を形成しないままに次の段階に移り、
該所定パタ−ンのみレジストが抜けた金属又は合金露出表面上に、該金属又は合金と異なる金属をメッキして、異なる金属又は合金の部分を形成し；
該異なる金属又は合金の部分が光の反射を意図しない部分である場合には、光の反射を減少又は無くする為に、メッキした該異なる金属又は合金の部分の表面に、該異なる金属又は合金の金属酸化物の皮膜を形成する処理を実施し；
該レジスト層を除去し；
研磨が必要である場合のみ、研磨処理し、
以上の段階群を１回を越える場合には該所定パターンを変えて１回以上実施することからなる、該複数種の金属又は合金の１種以上を光を反射しようとする面とする、反射型光学式エンコーダー用部品の製造方法。
【００１７】
上記記載に於て、所定パタ−ンのみレジストが抜けたレジスト層を形成することや、特定の金属をその金属に対する腐食液を用いて所定のパターンにエッチングすることや、残存するレジストをそのレジストに適した剥離溶液（ストリッピング溶液）で除去することは、周知の写真製版技術を用いて、当業者が容易に実施できる。また、特定の金属に対する金属酸化物の皮膜の形成は、一般に当業者に知られた技術である。以下、図面を参照して本発明を説明する。
【００１８】
【実施例】
実施例１
図１の工程図の最後に記載されているのは、表面のニッケル層１とその裏側の銅層２とを有する金属からなり、ニッケル層を反射させようとする面とする反射型光学式エンコーダー用部品の断面図を示す。
【００１９】
図１に示されるように、この部品の構造の製作は、例えば
イ）ニッケル層１と銅層２を有する金属薄板のニッケル層側にレジストを付けて所定パタ−ンのみレジストが抜けたレジスト層３を形成し；
ロ）ニッケル層のみを腐食させる腐食液でエッチングして銅層２を上記レジストの抜けたパタ−ン部分で露出させ；
ハ）更に例えばブラックオキサイド処理と呼ばれる銅にだけ反応する薬品処理を施して酸化銅の薄い皮膜を露出銅層の表面に形成し；
ニ）その後でレジスト層３を除去する；
以上の段階により実施できる。
この場合、銅層２の裏側に、更にニッケル層等の支持層が存在してもよい。
【００２０】
実施例２
図２の工程図の最後に記載されているのは、裏側にニッケル層２１を表面に銅層２２を有する金属からなり、ニッケル層を反射させようとする面とする反射型光学式エンコーダー用部品の断面図を示す。
【００２１】
図２に示されるように、この部品の構造の製作は、例えば
イ）ニッケル層２１を有する金属薄板にレジストを付けて所定パタ−ンのみレジストが抜けたレジスト層２３を形成し；
ロ）所定パタ−ンのみレジストが抜けたニッケル層１が露出している表面上に銅層２２をメッキし；
ハ）更にメッキした銅層２２の表面に、ブラックオキサイド処理と呼ばれる銅にだけ反応する薬品処理を施して酸化銅の薄い皮膜を形成し；
ニ）その後、レジスト層２３を除去する；
以上の段階により実施出来る。
【００２２】
実施例３
実施例２に於いて、段階イ）と段階ロ）の間に、レジストが抜けたニッケル層３１露出部分をエッチングしてから銅層２２をメッキすれば、図３のように、銅層３２の表面がニッケル層３１の表面よりも低いか、又は図４のように第二の金属４２が銅である場合の銅層の表面と第一の金属４１がニッケルである場合のニッケル層の表面が同じレベルの構造の金属を生じることが出来る。また、必要なら図４のように最後に表面を研磨し、完成品を更に異なるパターンのレジストを付けることを必要回繰り返すことにより、３種以上の金属が反射表面部に露出する反射型光学式エンコーダー用部品を製作することができる。このような部品を用いるエンコーダーは、１時点で２種類ではなく３種類以上の信号を生じ得る装置を製作出来る可能性がある。
【００２３】
実施例４
図５は、単一金属の反射層表面が所定パターンにエッチングで浸食された部分を有しており、その浸食された部分に、同じ所定パターンの光反射を減少させる為の黒色の金属酸化物皮膜が形成されている、反射型光学式エンコーダー用部品を示している。このような部品は、銅層の反射表面に所定パターンが抜けたレジストを形成し、銅をエッチング液で腐食させ、更に黒色の金属酸化物皮膜を形成する処理を実施した後、レジストを除去することにより製造できる。一方、図６に示すように、エッチングなしで所定パターンの光反射を減少させる為の黒色の金属酸化物皮膜を付けることも可能である。
【００２４】
実施例５
図７は、反射される光りの色が互いに顕著に異なっている、金属の第１の層、金属の第２の層、金属の第３の層を有するエンコーダー用部品を示す断面図である。このような部品を用いるエンコーダーも、１時点で２種類ではなく３種類の信号を生じ得る装置を製作出来る可能性がある。図７の部品は、例えば、実施例１於て、ニッケル層１を２種類の金属の薄い層と置き換え、１度目のエッチング工程が終了した後に、別のパターンのレジストを付けることにより、又は、実施例２に於て、ニッケル層２１をメッキ形成した後、更に別のパタ−ンのレジストを付けて更に別の金属層をメッキ形成することにより、実施可能である。
【００２５】
【本発明の効果】
１） 複数の異なる金属の層を有するエンコーダー用部品の効果
ａ） 金属のみからなりＰＥＴフィルムを含まない場合には、使用環境を選ばず、湿気に強く、また曇りを生じることがなく、耐久性が良い。
ｂ） 異なる金属による反射光の波長の違いの為に、コントラストが良好になり、且つ、センサーの選択により読み取りのエラーを生じにくく出来る。
ｃ） 場合によっては、１時点で、反射あり、反射なし、だけではなく、３種以上の信号を生じるエンコーダーを造ることが可能である。
ｄ） 表面金属のエッチングによりエンコーダー用部品を製造する場合には、表面金属層を蒸着物等の薄いものとすることにより、エンコーダーの精密度を上げることが出来る。
【００２６】
２） 金属の酸化物皮膜を有するエンコーダー用部品の効果
ａ） 光の乱反射により反射を弱めるだけではなく、光の吸収を積極的に生じるため、強いコントラストを得ることができ、読み取りエラーを無くすることが出来る。
ｂ） 酸化物膜は、金属と同様の性質であり、使用環境を選ばず、耐久性が良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエンコーダー用部品の一具体例を製作する工程を部品の断面図で示す説明図。
【図２】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を製作する工程を部品の断面図で示す説明図。
【図３】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を製作する工程を部品の断面図で示す説明図。
【図４】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を製作する工程を部品の断面図で示す説明図。
【図５】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を示す断面図。
【図６】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を製作する工程を部品の断面図で示す説明図。
【図７】本発明のエンコーダー用部品の別の一具体例を示す断面図。
【図８】従来のＰＥＴフィルムを含むエンコーダー用部品を示す断面図。
【図９】従来の単一金属で製作されたエンコーダー用部品を示す断面図。[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a reflective optical encoder component for encoding or pulsing an optical signal or light beam by reflecting light instead of an optical signal encoder such as a slit plate. Optical encoders are used for various precision machine parts, and such precision machine parts include simple ones such as a digital counter that reads the amount of rotation of a shaft of a drive unit and the amount of horizontal movement. .
[0002]
[Prior art]
As shown in FIG. 8, a conventional reflective optical encoder forms a black light-absorbing portion by applying a predetermined pattern of silver oxide emulsion or the like to a PET film and deposits a metal such as aluminum on the surface thereof. In addition, those using encoder parts using the film side as a reflection surface are mainly used.
[0003]
Such encoder parts cannot be used under physical conditions that change the properties of the plastic, and the environment in which they are used, that is, the used parts and applications are limited.
[0004]
In addition, the plastic is weak against moisture, and during use, the surface of the plastic becomes fogged, and the pattern cannot be read, so that the plastic cannot function at all. Therefore, there is a problem in durability.
[0005]
In addition, since light is transmitted and reflected on the surface of the PET film, the contrast is poor, and the film cannot be adequately used for applications requiring strong contrast.
[0006]
A component for a reflective encoder as shown in FIG. 9 manufactured by corroding a reflecting surface of a single metal layer in a predetermined pattern to a certain depth is also known. This type of encoder is made of metal only, so it can be used in any part or application.However, the part that does not reflect light simply reflects light irregularly because the corroded surface happens to be uneven. Therefore, a strong contrast cannot be obtained for the reflecting surface.
[0007]
Furthermore, as can be seen from the fact that metals differ in color depending on the type, the encoder made of a single metal layer has the same metal for the portion for reflecting light and the portion for not reflecting light, so these The properties of the wavelengths of the light reflected from the portions are the same or similar, and the light reflected from the portion to be reflected and the light reflected from the portion not to be reflected are hard to be distinguished by the sensor that receives the light.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The object of the present invention is to solve the above problems, preferably consisting only of a metal or its oxide, regardless of the use portion and application, including a light reflecting portion, preferably also a light absorbing portion An object of the present invention is to provide a reflection-type optical encoder component that can provide a strong contrast by including the same.
[0009]
In general, depending on the magnitude of the amount of reflected light or the presence or absence of reflected light, an optical signal or light beam at one point may be a signal with reflection due to reflection of a portion intended to be reflected, or light may strike a portion intended to have no reflection. In this case, encoding or pulsing has been performed as one of the non-reflection signals. However, it is possible to provide a sensor that responds in a specific manner to a specific wavelength, and it is also possible to provide a plurality of types of sensors in the light receiving unit. Thus, if there is a surface containing three or more types of metal that can give different results with light of different wavelengths with or without reflection, depending on the nature of the wavelength of the light, more than two types of light signals or light rays may be present at one time. Reflective optical encoders are possible that can be encoded and pulsed to generate a signal. It is also an object of the present invention to provide components of such a device.
[0010]
[Means to solve the problem]
The present inventors have assiduously studied and found that the following problems can be solved by the following configuration, and have completed the present invention. That is,
[0011]
1.
It is made of a metal or alloy having a plurality of layers formed of at least two or more metals or alloys,
A light reflecting surface portion, at least a part of the light reflecting surface portion is a surface intended to reflect light, and the surface portion has at least one layer of a metal or alloy different from the surface metal or alloy exposed; A component for a reflective optical encoder, characterized by having a portion of a predetermined pattern in which the surface metal or alloy does not exist.
[0012]
2.
The encoder has a predetermined pattern portion in which the surface metal or alloy is not present in which one layer of a metal or alloy different from the surface metal or alloy is exposed,
2. The reflective optical encoder component according to claim 1, wherein a metal oxide film for eliminating or reducing light reflection is formed on an exposed portion of a metal or alloy different from the surface metal or alloy.
[0013]
3.
It has a light reflecting plane portion, at least a part of the plane portion is intended to reflect light, and the structure of the plane portion is such that the surface of the first metal or alloy has a concave portion of a predetermined pattern. And, in the concave portion of the predetermined pattern, one or more metals or alloys different from the first metal or alloy and one or more metals or different from the first metal or alloy having a metal oxide film on the surface or A component for a reflective optical encoder, wherein the component has a structure in which at least one selected from the group consisting of alloys exists.
[0014]
4.
A reflective layer of a single metal or alloy, for eliminating or reducing light reflection on a predetermined pattern on the surface of the reflective layer or on a concave surface of a predetermined pattern present on the surface of the reflective layer. A component for a reflective optical encoder, wherein a metal oxide film is formed.
[0015]
5.
A resist was applied to the first metal or alloy layer side of a thin metal plate or film having a first metal or alloy layer and a second metal or alloy layer, and only a predetermined pattern of the resist was removed. Forming a resist layer;
Etching the first metal or alloy with a corrosive liquid to remove the second metal or alloy layer into the surface of the first metal or alloy layer; Exposed with;
Performing a process of forming an oxide film of the second metal or alloy on the exposed surface of the second metal or alloy layer to reduce or eliminate light reflection;
Thereafter, the resist layer is removed;
Including the above steps, the surface of the first metal or alloy layer is a surface that is to reflect light, and the oxide film of the second metal or alloy is a surface that does not reflect light, A method for manufacturing a component for a reflective optical encoder.
[0016]
6.
A resist is applied to the reflective surface where the first metal or alloy of the metal material is exposed to form a resist layer in which only a predetermined pattern of the resist is removed;
After the concave portion is formed by etching a predetermined pattern portion of the reflection surface portion where the resist is removed, or to the next step without forming a concave portion without etching,
Plating a metal different from the metal or alloy on the exposed surface of the metal or alloy from which only the predetermined pattern has been removed to form portions of different metal or alloy;
If the different metal or alloy portion is a portion that is not intended to reflect light, the surface of the different metal or alloy portion is plated with the different metal or alloy to reduce or eliminate the light reflection. Performing a process of forming a metal oxide film of
Removing the resist layer;
Polish only when polishing is necessary,
When the above-mentioned steps are performed more than once, the predetermined pattern is changed to be performed one or more times. One or more of the plurality of kinds of metals or alloys are used as a surface to reflect light. Of manufacturing optical component for optical encoder.
[0017]
In the above description, it is possible to form a resist layer from which only a predetermined pattern of the resist has been removed, to etch a specific metal into a predetermined pattern using a corrosive solution for the metal, or to remove the remaining resist from the resist. Removal with a suitable stripping solution (stripping solution) can be easily performed by those skilled in the art using a well-known photoengraving technique. The formation of a metal oxide film for a specific metal is a technique generally known to those skilled in the art. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.
[0018]
【Example】
Example 1
1 is a reflection type optical encoder made of a metal having a nickel layer 1 on the surface and a
[0019]
As shown in FIG. 1, the structure of this component is manufactured by, for example, a) a resist layer in which only a predetermined pattern of the resist is removed by applying a resist to the nickel layer side of a thin metal plate having a nickel layer 1 and a
B) Etching with an etchant that corrodes only the nickel layer to expose the
C) forming a thin film of copper oxide on the surface of the exposed copper layer by performing a chemical treatment which reacts only with copper, for example, a so-called black oxide treatment;
D) Thereafter, the resist layer 3 is removed;
The above steps can be performed.
In this case, a support layer such as a nickel layer may be present on the back side of the
[0020]
Example 2
The last part of the process drawing of FIG. 2 is a component for a reflective optical encoder that is made of a metal having a
[0021]
As shown in FIG. 2, the fabrication of the structure of this part is performed, for example, by a) applying a resist to a thin metal plate having a
B) plating a copper layer 22 on the exposed surface of the nickel layer 1 from which only the predetermined pattern has been removed;
C) The surface of the plated copper layer 22 is subjected to a chemical treatment called black oxide treatment, which reacts only with copper, to form a thin film of copper oxide;
D) Then, the resist layer 23 is removed;
The above steps can be performed.
[0022]
Example 3
In the second embodiment, between the steps a) and b), if the exposed portion of the
[0023]
Example 4
FIG. 5 shows that a single metal reflective layer surface has a portion etched by a predetermined pattern by etching, and the eroded portion has a black metal oxide for reducing light reflection of the same predetermined pattern. 1 shows a reflective optical encoder component on which a coating is formed. Such a component forms a resist with a predetermined pattern missing on the reflection surface of the copper layer, corrodes the copper with an etchant, further removes the resist after performing a process of forming a black metal oxide film. It can be manufactured by On the other hand, as shown in FIG. 6, it is also possible to attach a black metal oxide film for reducing light reflection of a predetermined pattern without etching.
[0024]
Example 5
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an encoder component having a first metal layer, a second metal layer, and a third metal layer in which the colors of reflected light are significantly different from each other. Encoders using such components may also be capable of producing devices that can produce three types of signals instead of two at a time. For example, the component of FIG. 7 replaces the nickel layer 1 with a thin layer of two kinds of metals in the first embodiment, and after the first etching step is completed, another pattern of resist is applied, or In the second embodiment, after the
[0025]
[Effects of the present invention]
1) Effect of an encoder component having a plurality of layers of different metals a) In a case where the encoder is composed of only a metal and does not include a PET film, it can be used in any environment, is resistant to moisture, has no fogging, and is durable. Is good.
b) Due to the difference in the wavelength of the reflected light due to different metals, the contrast is improved, and reading errors can be made less likely to occur by selecting a sensor.
c) In some cases, it is possible to build an encoder that produces more than two signals at a point in time, with or without reflection.
d) In the case of manufacturing an encoder component by etching a surface metal, the precision of the encoder can be increased by making the surface metal layer thin such as a deposit.
[0026]
2) Effects of encoder parts having a metal oxide film a) Not only weak reflection due to irregular reflection of light but also positive absorption of light, so that a strong contrast can be obtained and reading errors can be eliminated. I can do it.
b) The oxide film has the same properties as metal, and has good durability regardless of the use environment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory view showing a step of manufacturing a specific example of an encoder component of the present invention by a cross-sectional view of the component.
FIG. 2 is an explanatory view showing a step of manufacturing another specific example of the encoder component of the present invention in a sectional view of the component.
FIG. 3 is an explanatory view showing a step of manufacturing another specific example of the encoder component of the present invention by a cross-sectional view of the component.
FIG. 4 is an explanatory view showing a step of manufacturing another specific example of the encoder component of the present invention by a cross-sectional view of the component.
FIG. 5 is a sectional view showing another specific example of the encoder component of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory view showing a step of manufacturing another specific example of the encoder component of the present invention by a cross-sectional view of the component.
FIG. 7 is a sectional view showing another specific example of the encoder component of the present invention.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a conventional encoder component including a PET film.
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a conventional encoder component made of a single metal.
Claims (3)
該第一の金属又は合金を腐食させる腐食液でエッチングして、該第一の金属又は合金の層の表面中に、該第二の金属又は合金の層を該レジストの抜けたパタ−ン部分で露出させ；
光の反射を減少又は無くする為に、該第二の金属又は合金の酸化物の皮膜を、露出した該第二の金属又は合金の層の表面に形成する処理を実施し；
その後レジスト層を除去する；
以上の段階を含んでいる、該第一の金属又は合金の層の表面を光を反射しようとする面とし、該第二の金属又は合金の酸化物の皮膜を光を反射しない面とする、反射型光学式エンコーダー用部品の製造方法。A resist is applied only to a predetermined pattern by applying a resist to the first metal or alloy layer side of a thin plate or film of a metal or alloy having a first metal or alloy layer and a second metal or alloy layer. Forming a resist layer from which
Etching the first metal or alloy with a corrosive solution to remove the second metal or alloy layer into the surface of the first metal or alloy layer; Exposed with;
Performing a process of forming an oxide film of the second metal or alloy on the exposed surface of the second metal or alloy layer to reduce or eliminate light reflection;
Thereafter, the resist layer is removed;
Including the above steps, the surface of the first metal or alloy layer is a surface that is to reflect light, and the oxide film of the second metal or alloy is a surface that does not reflect light, A method for manufacturing a component for a reflective optical encoder.
ロ）該反射表面部の該レジストが抜けた所定パターン部分をエッチングして凹部を形成した後、又はエッチングせずに凹部を形成しないままに次の段階に移り、
ハ）該所定パタ−ンのみレジストが抜けた金属又は合金露出表面上に、該金属又は合金と異なる金属をメッキして、異なる金属又は合金の部分を形成し；
ニ）該異なる金属又は合金の部分が光の反射を意図しない部分である場合には、光の反射を減少又は無くする為に、メッキした該異なる金属又は合金の部分の表面に、該異なる金属又は合金の暗色酸化物の皮膜を形成する処理を実施し；
ホ）該レジスト層を除去する；
以上の段階を含む、金属又は合金の１種以上を光を反射しようとする面とする、反射型光学式エンコーダー用部品の製造方法。A) applying a resist to the reflection surface where the first metal or alloy of the metal material is exposed, to form a resist layer in which only a predetermined pattern of the resist is removed;
B) after etching a predetermined pattern portion of the reflection surface portion where the resist has been removed to form a concave portion, or proceeding to the next step without forming a concave portion without etching;
C) plating a metal different from the metal or alloy on the exposed surface of the metal or alloy from which only the predetermined pattern has been removed to form a portion of a different metal or alloy;
D) When the different metal or alloy portion is a portion that is not intended to reflect light, the different metal or alloy portion is coated on the surface of the different metal or alloy portion to reduce or eliminate light reflection. Or performing a process of forming a dark oxide film of the alloy;
E) removing the resist layer;
A method for manufacturing a component for a reflective optical encoder, comprising the steps described above, wherein at least one of a metal or an alloy is a surface to reflect light.
ロ）該反射表面部の該レジストが抜けた所定パターン部分をエッチングして凹部を形成し、
ハ）該所定パタ−ンのみレジストが抜けた金属又は合金露出表面上に、該金属又は合金と異なる金属をメッキして、異なる金属又は合金の部分を形成し；
ニ）該レジスト層を除去し；
ホ）研磨処理して反射表面部を平坦な面とする；
以上の段階を実施し、
３種以上の金属又は合金が反射表面部に露出するよう更にイ）ロ）ハ）ニ）ホ）の段階からなる手順を該所定パターンを変えて１回以上実施することを特徴とする、金属又は合金の２種以上を光を反射しようとする面とする、反射型光学式エンコーダー用部品の製造方法。A) applying a resist to the reflection surface where the first metal or alloy of the metal material is exposed, to form a resist layer in which only a predetermined pattern of the resist is removed;
B) etching a predetermined pattern portion of the reflection surface portion from which the resist has escaped to form a concave portion;
C) plating a metal different from the metal or alloy on the exposed surface of the metal or alloy from which only the predetermined pattern has been removed to form a portion of a different metal or alloy;
D) removing the resist layer;
E) polishing to make the reflective surface flat.
Perform the above steps,
The metal is characterized in that a procedure comprising the steps of a) b) c) d) e) is performed once or more by changing the predetermined pattern so that three or more kinds of metals or alloys are exposed on the reflection surface portion. Alternatively, a method for manufacturing a component for a reflective optical encoder, wherein two or more kinds of alloys are surfaces on which light is to be reflected.
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