JP3578985B2 - Heat treatment equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルに用いられるガラス基板などの板状体等を加熱するための熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどの平面型ディスプレイに使用されるガラス基板は、周知のように、アニール処理等の加熱処理を清浄雰囲気下で行う必要がある。このような加熱処理では、例えば図4に示す熱処理装置が使用されている。図4において、この従来の熱処理装置は、その外容器51内に、ヒータ52と、ヒータ52により加熱された熱風を循環させるためのシロッコファン53とを設けたものであり、図の矢印で示す方向に熱風を循環させている。また、クリーンフィルター54と加熱室55とが上記熱風の循環経路上に順次配置されており、上記クリーンフィルター54で清浄化された熱風が加熱室55の内部を逐次流れるように構成している。
【0003】
具体的にいえば、加熱室55の一側面には、図5(a)に示すように、クリーンフィルター54からの熱風を導入するための導入口55aが設けられている。また、この導入口55aに対向する側面には、加熱室55の内部から熱風を排出するための排出口(図示せず)が設けられており、加熱室55内を流れる熱風の風量を調整する複数の調整手段として、例えば4つの調整板56が上記排出口を塞ぐように加熱室55に固定されている。これらの各調整板56により、加熱室55内の各領域の風量バランスが整えられ、加熱室55内の温度分布にムラが生じるの防止することができる。
図5(b)において、各調整板56は、開口56a1が設けられ、例えば四隅の箇所で加熱室55に固定された固定板56aと、この固定板56aの背面側で調整ボルト56cによって上下方向に移動可能に固定板56aに取り付けられた可動板56bとを含んで構成されている。この調整板56は、調整ボルト56cを緩めた状態で可動板56bを上下方向に移動させることにより、開口56a1の開度調整、つまり上記の排出口の開度調整を行って、加熱室55内を流れる熱風の風量を調整する。
【0004】
また、上記加熱室55の内部には、複数のガラス基板60を保持するためのラック部57が取り付けられている。このラック部57は、図示を省略したボルト等の取付部材によって加熱室55の床板55c(図5(a))に取り付けられた支持材57aと、支持材57aに固定された保持材57bとを備えたものであり、図4に示すように、互いに対向する一対の保持材57b上にガラス基板60を載置して保持している。
以上の構成により、この従来の熱処理装置では、クリーンフィルター54で清浄化した熱風を用いてガラス基板60に所定の加熱処理を行うことで当該ガラス基板60が汚染されるのを防止するとともに、調整板56の開度調整を行って加熱室55の内部を流れる熱風の風量を調整することでガラス基板60を所望の温度プロファイルで処理していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の熱処理装置では、調整板(調整手段)56の開度調整を行うために、ラック部57を加熱室55から取り外す必要があった。これは、上記の調整ボルト56cを緩めて可動板56bを上下に移動し所望位置で固定する作業を行う時に、その作業がラック部57により阻害されることがあるためである。このため、この従来の熱処理装置では、調整板56の開度調整を行うために時間及び手間を要して、その開度調整を容易に行えないという問題があった。
【0006】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、調整手段の開度調整を容易に行うことができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、加熱手段と、前記加熱手段により加熱された熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口及び排出口を有し、扉を設けた加熱室と、前記加熱室の内部に取り付けられ、前記熱風により加熱される被処理物を保持するための保持手段と、前記導入口及び前記排出口の少なくとも一方の開度調整を行うことにより前記加熱室内を流れる熱風の風量を調整して加熱室内の温度分布を均一にする複数の調整手段とを備えた熱処理装置であって、
前記複数の調整手段は、前記加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されたものであることを特徴とするものである(請求項1)。
【0008】
上記のように構成された熱処理装置では、加熱室に対して挿脱可能な取付手段に複数の調整手段を装着したことにより、保持手段を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出すことができ、調整手段の開度調整を容易に行うことができる。
【0009】
また、上記のような熱処理装置(請求項1)において、前記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉であって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に挿脱可能とすることが好ましい(請求項2)。この場合、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整手段が装着された取付手段を加熱室に対して容易に挿脱することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の熱処理装置の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構成を示す説明図であり、図2は図1に示した加熱室の要部構成を示す説明図である。図において、本実施形態の熱処理装置は、密閉可能な外容器1内にヒータ2及びシロッコファン3を配置して、シロッコファン3をその駆動モータ3aで回転駆動させることにより、ヒータ2で加熱された熱風を図1の矢印で示す方向に循環させている。また、外容器1の内部には、上記シロッコファン3からの熱風を所定の清浄度以下にするクリーンフィルター4と、熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口5a1(図2)及び排出口5b1(図2)を有する加熱室5とが設けられており、クリーンフィルター4で清浄化された熱風を導入口5a1から加熱室5内の導入することにより、当該加熱室5内のガラス基板30に対して、清浄雰囲気下でアニール処理等の加熱処理が行えるよう構成されている。また、上記外容器1には、ガラス基板30を加熱室5に出し入れするための前方扉1aと、加熱室5の内部点検時等で使用される点検扉1bとが設けられている。
【0011】
上記加熱室5は、直方体状の炉体を構成するものであり、上述の導入口5a1及び排出口5b1が上記クリーンフィルター4側に配置される側面5a及びその側面5aに対向する側面5bにそれぞれ設けられている。また、この加熱室5の前面側は上記の前方扉1aにより開閉可能に構成され、後面側には開閉可能な内扉5dが設けられている。
また、加熱室5の内部には、ガラス基板(被処理物)30を保持するための保持手段としてのラック部6が取り付けられている。このラック部6には、図示を省略したボルト等の取付部材によって加熱室5の床板5cに立設された4つの支持材6aと、両端部が2つの支持材6aに固定された保持材6bとを備えたものであり、図2に示すように、互いに対向する一対の保持材6b上でガラス基板30を載置して保持している。また、ラック部6では、上記一対の保持材6bが複数段設けられており、複数のガラス基板30をバッチ処理可能に構成されている。尚、上記の導入口5a1から導入される熱風は、複数の各被処理物30に対して均一に吹き付けられるように、例えばクリーンフィルター4内に設けられた風向板(図示せず)により整流されている。
【0012】
また、上記の加熱室5には、例えば排出口5b1側に取付手段としての取付板7が取り付けられている。この取付板7は、上述の内扉5d及び点検扉1bをそれぞれ通して加熱室5及び外容器1に対して挿脱可能に構成されたものであり、レール部材8を介して加熱室5内に取り付けられている。具体的には、図2に示すように、レール部材8が、例えば加熱室5の内側で側面5bの上下端部に取り付けられており、これらのレール部材8の間に取付板7がスライド可能に取り付けられている。取付板7は、上述の内扉5d及び点検扉1bを開けた状態として、レール部材8に沿ってスライド移動させられて出し入れされる。
また、取付板7には、複数の調整手段としての調整板9が装着されており、図2に示すように、例えば16個の調整板9が(4×4)のマトリックス状に取り付けられている。
【0013】
図3(a)乃至(c)に示すように、各調整板9は、固定板9aと、この固定板9aの背面側に配置され、調整ボルト9cを介在して固定板9aに連結された可動板9bとを含んで構成されている。上記固定板9aには、例えば矩形状の開口9a1と上記調整ボルト9cが挿通される長穴9a2とが設けられている。この固定板9aは、その開口9a1が排気口5b1(図2)を経て加熱室5の内部と外部とを連通するように取付板7(図2)に取り付けられる。
また、可動板9bには、例えば矩形状の開口9b1が設けられており、固定板9aに対して上下方向に移動可能に構成されている。
各調整板9は、調整ボルト9cを緩めた状態で可動板9bを上下方向に移動させることにより、図3(a)に示した全開状態から図3(c)に示した全閉状態までの開口9a1の開度調整を行うことができる。これにより、排出口5b1の開度調整が行われて、加熱室5内を流れる熱風の風量を調整することができる。その結果、加熱室5内の複数の領域毎に風量バランスを整えることができ、加熱室5内の温度分布にムラが生じるのを防止することができる。
【0014】
上記のように構成された本実施形態の熱処理装置では、複数の調整板9がそれぞれ装着されるとともに、加熱室5に対して内扉5d及び点検扉1bを通して挿脱可能な取付板7を設けたことにより、ラック部6を取り外すことなく加熱室5から調整板9を取り出すことができ、この取り出した状態で調整板9の開度調整を容易に行うことができる。その結果、本実施形態の熱処理装置では、加熱室5内を流れる熱風の風量調整を簡単に行うことができ、加熱室5内の温度分布を均一なものとして所望の温度プロファイルを容易に実現することができる。また、汚れ等が取付板7や調整板9に付着した時などにおけるクリーンアップ作業も容易に行うことができる。
【0015】
また、当該装置のメンテナンスサイド側に設けられた内扉5d及び点検扉1bを通して取付板7を挿脱可能に構成されているので、上記前方扉1a側にガラス基板30を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整板9が装着された取付板7を加熱室5に対して容易に挿脱することができる。
【0016】
尚、上記の説明では、排出口5b1側に取付板7を設けて、その取付板7に装着された調整板(調整手段)9により、排出口5b1の開度調整を行う構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、調整手段によって導入口5a1及び排出口5b1の少なくとも一方の開度調整を行い、加熱室5内の熱風の風量を調整できるものであれば何等限定されない。
また、上記の説明では、メンテナンスサイド側の内扉5d及び点検扉1bを通して取付板7を挿脱する構成について説明したが、本装置の設置環境によってはこの限りでない。即ち、当該装置の搬送サイド側に設けられた前方扉1aから取付板7を挿脱してもよく、あるいは取付板7専用の扉を加熱室5及び外容器1に設けて挿脱する構成でもよい。
【0017】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の熱処理装置によれば、複数の調整手段は、加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されているので、保持手段を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出して調整手段の開度調整を容易に行うことができる。したがって、加熱室内を流れる熱風の風量調整を簡単に行うことができ、当該加熱室内の温度分布を均一なものとして所望の温度プロファイルを容易に実現することができる。
【0018】
また、請求項2の熱処理装置によれば、上記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉であって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に挿脱可能に構成されているので、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整手段が装着された取付手段を加熱室に対して容易に挿脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構成を示す説明図である。
【図2】図1に示した加熱室の要部構成を示す説明図である。
【図3】図2に示した調整板の動作例を示す説明図であって、(a)、(b)、及び(c)はそれぞれ全開時、中間開度時、及び全閉時での同調整板を示す説明図である。
【図4】従来の熱処理装置の要部構成を示す説明図である。
【図5】(a)は図4に示した加熱室の構成を示す説明図であり、(b)は図4に示した調整板を示す説明図である。
【符号の説明】
2 ヒータ(加熱手段)
5 加熱室
5a1 導入口
5b1 排出口
6 ラック部(保持手段)
7 取付板(取付手段)
9 調整板(調整手段)[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a heat treatment apparatus for heating a plate-like body such as a glass substrate used for a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
For example, a glass substrate used for a flat display such as a liquid crystal panel or a plasma display panel needs to be subjected to a heating treatment such as an annealing treatment in a clean atmosphere, as is well known. In such a heat treatment, for example, a heat treatment apparatus shown in FIG. 4 is used. In FIG. 4, this conventional heat treatment apparatus is provided with a
[0003]
Specifically, on one side surface of the
In FIG. 5B, each
[0004]
Further, a
With the above-described configuration, in this conventional heat treatment apparatus, the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional heat treatment apparatus, the
[0006]
In view of the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus that can easily adjust the opening degree of an adjusting unit.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has a heating means, a heating chamber having an inlet and an outlet for introducing and discharging the hot air heated by the heating means, respectively, and a heating chamber provided with a door, which is mounted inside the heating chamber, Holding means for holding the object to be heated by the hot air, and adjusting the opening degree of at least one of the inlet and the outlet to adjust the flow rate of the hot air flowing through the heating chamber to thereby control the heating chamber A plurality of adjusting means for making the temperature distribution uniform, a heat treatment apparatus,
The plurality of adjusting means are mounted on mounting means that can be inserted into and removed from the heating chamber (claim 1).
[0008]
In the heat treatment apparatus configured as described above, by attaching a plurality of adjusting means to the attaching means that can be inserted into and removed from the heating chamber, the adjusting means can be taken out of the heating chamber without removing the holding means, The opening degree of the adjusting means can be easily adjusted.
[0009]
Further, in the heat treatment apparatus as described above (claim 1), the door is a door different from that for carrying in and out the object to be processed, and the mounting means can be inserted into and removed from the heating chamber through the door. (Claim 2). In this case, even when a transfer device or the like for transferring an object to be processed is installed on the side of the loading / unloading door, it is possible to easily insert / remove the mounting means provided with the plurality of adjusting means with respect to the heating chamber. Can be.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the heat treatment apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view showing a main part configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view showing a main part configuration of a heating chamber shown in FIG. In the figure, in the heat treatment apparatus of the present embodiment, a heater 2 and a sirocco fan 3 are arranged in a sealable outer container 1, and the sirocco fan 3 is rotated by a
[0011]
The heating chamber 5 constitutes a rectangular parallelepiped furnace body, and the above-described inlet 5a1 and outlet 5b1 are provided on a
Further, inside the heating chamber 5, a
[0012]
Further, in the heating chamber 5, for example, a mounting plate 7 as a mounting means is mounted on the discharge port 5b1 side. The mounting plate 7 is configured to be insertable into and removable from the heating chamber 5 and the outer container 1 through the
The mounting plate 7 is provided with a plurality of adjusting
[0013]
As shown in FIGS. 3A to 3C, each adjusting
Further, the
Each of the adjusting
[0014]
In the heat treatment apparatus of the present embodiment configured as described above, a plurality of
[0015]
Further, since the mounting plate 7 is configured to be able to be inserted and removed through the
[0016]
In the above description, the mounting plate 7 is provided on the discharge port 5b1 side, and the opening degree of the discharge port 5b1 is adjusted by the adjusting plate (adjusting means) 9 mounted on the mounting plate 7. However, the present invention is not limited to this, but is not limited as long as the opening degree of at least one of the inlet 5a1 and the outlet 5b1 is adjusted by the adjusting means, and the amount of hot air in the heating chamber 5 can be adjusted. Not done.
In the above description, the configuration in which the mounting plate 7 is inserted and removed through the
[0017]
【The invention's effect】
The present invention configured as described above has the following effects.
According to the heat treatment apparatus of claim 1, since the plurality of adjusting means are mounted on the mounting means which can be inserted into and removed from the heating chamber, the adjusting means is taken out of the heating chamber without removing the holding means. Can easily be adjusted. Therefore, the amount of hot air flowing through the heating chamber can be easily adjusted, and a desired temperature profile can be easily achieved by making the temperature distribution in the heating chamber uniform.
[0018]
Further, according to the heat treatment apparatus of the second aspect, the door is a door different from that for carrying in and out the object to be processed, and the attachment means can be inserted into and removed from the heating chamber through the door. Therefore, even when a transfer device or the like for transferring the object to be processed is installed on the side of the loading / unloading door, it is possible to easily insert and remove the mounting unit having the plurality of adjusting units with respect to the heating chamber. it can.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a main configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a main configuration of a heating chamber illustrated in FIG. 1;
3 (a), 3 (b), and 3 (c) are explanatory views showing an operation example of the adjustment plate shown in FIG. 2 when the adjustment plate is fully opened, at an intermediate opening degree, and when fully closed, respectively. It is explanatory drawing which shows the same adjustment plate.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a main configuration of a conventional heat treatment apparatus.
5A is an explanatory view showing a configuration of a heating chamber shown in FIG. 4, and FIG. 5B is an explanatory view showing an adjusting plate shown in FIG.
[Explanation of symbols]
2 heater (heating means)
5 Heating chamber 5a1
7 Mounting plate (mounting means)
9 Adjustment plate (adjustment means)
Claims (1)
前記複数の調整手段は、前記加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されたものである、
ことを特徴とする熱処理装置。Heating means, a heating chamber having a door provided with an inlet and an outlet for introducing and discharging hot air heated by the heating means, respectively, and a heating chamber provided with a door, which is mounted inside the heating chamber and heated by the hot air Holding means for holding the object to be processed, and adjusting the opening degree of at least one of the introduction port and the discharge port to adjust the flow rate of the hot air flowing through the heating chamber to thereby adjust the temperature distribution in the heating chamber. A heat treatment apparatus having a plurality of adjusting means for uniformity,
The plurality of adjusting means are mounted on mounting means that can be inserted into and removed from the heating chamber .
A heat treatment apparatus characterized by the above-mentioned.
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