JP3575506B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ Download PDF

Info

Publication number
JP3575506B2
JP3575506B2 JP00411396A JP411396A JP3575506B2 JP 3575506 B2 JP3575506 B2 JP 3575506B2 JP 00411396 A JP00411396 A JP 00411396A JP 411396 A JP411396 A JP 411396A JP 3575506 B2 JP3575506 B2 JP 3575506B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
rotating
main body
fixed
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP00411396A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09196703A (ja
Inventor
喬 長瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP00411396A priority Critical patent/JP3575506B2/ja
Publication of JPH09196703A publication Critical patent/JPH09196703A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3575506B2 publication Critical patent/JP3575506B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モータなどの高速回転体の回転軸の速度、角度及び位置などの複数の信号を検出する光学式エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】
光学式エンコーダは、発光源から投射した平行光束を回転円板と固定円板の双方のスリットを通過させることにより、断続信号に変換し、この光の断続信号を受光素子で受光して電気信号に変換して回転体の角度や速度などを計測するものである。
【0003】
例えば、実開昭49−109567号公報および実開昭55−148642号公報などによると、図9に示すように、発光素子の発光した光を平行光束として投射する発光源40と、回転体100の回転軸に固定されて複数の放射状のスリット22が周辺部寄りにピッチpの均等間隔で環状に配置される円板状の回転部20と、その回転部20に平行に設けられて周辺部寄りに複数の放射状スリット32が環状に配置される円板状の固定部30と、回転円板と固定円板の両スリットを通過した光を受光する受光素子50とからなり、発光源40から投射した平行光束を回転円板と固定円板の双方のスリットを通過させて断続信号に変換し、この光の断続信号を受光素子50で受光して電気信号に変換して回転体の角度や速度などを計測するものであり、回転円板および固定円板の周辺部寄りに設けられた円周方向及び半径方向の複数のスリットに対して光を均等に、かつ、垂直に照射し、スリットを通過した光を集光して受光部50に入射するために、光源部40から入射された光束を放射状に拡散し、外周部全域で円板に垂直に投射する透明な光拡散ガイドの回転部20と、回転スリット22、固定スリット32を通過して断続された光束を外周部全域から集光して受光部50に投射する透明な集光ガイドの固定部30とを設けることが開示されている。
【0004】
光源から回転体100の回転軸に平行に投射された光は、光拡散ガイドの回転体20の第1の環状反射鏡24により反射して軸心から遠ざかるように回転軸100に直角の平面に放射状に拡散され、透明な回転部20の内部を通過し、第2の環状反射鏡25により反射して軸心と平行に、かつ、円筒状に回転スリット円板22の周辺部寄りのスリット22へ導かれる。そして、固定スリット円板31のスリット32を通過した光は、固定部30の第2の環状反射鏡35により回転軸100と直角の平面状に、かつ、軸心に向かうように反射され、透明な固定部30の内部を通過し、第1の環状反射鏡34により軸心と平行に集光されて回転軸方向に設けられる受光素子50方向に導かれる。
【0005】
さらに、上述のような速度、角度及び位置などの複数の信号を検出するための光学式エンコーダは、図10に示すように、固定スリット円板31のスリット32が検出しようとする信号数と同数の、この例では32A,32Bの2つなど、半径方向に複数段に分割され、さらに回転方向にも位相を1/4pピッチずつなどとずらして配置されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のような従来の光学式エンコーダは、回転部の光拡散ガイドと固定部の集光ガイドを構成する透明体の環状反射面の工作精度の誤差のために、図11に示すように、各光束の平行性が損なわれて各スリットを通過した位相の異なる半径方向の複数の検出光La,Lbが両者の境界面33’において互いに混じり合い、受光素子が正確に信号を検出できないという問題があった。
【0007】
また、位相の異なる検出光が混じりあうと、それぞれの検出光の位相が狂うばかりでなく、互いに出力を打ち消しあって、検出信号が小さくなるという問題があった。
【0008】
本発明の目的は、上述の問題点を解消して、位相の異なる複数の検出光束の混じりあうのを防止することができる小型の光学式エンコーダを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学式エンコーダは、回転部側の光ガイドおよび固定部側の光ガイドのそれぞれの第1反射鏡および第2反射鏡のうち、少なくとも1つの反射鏡面に、複数位相Nの光信号の各境界に対応する位置への入射光に対してそれぞれ垂直な面を有するL字状のN−1個の環状の反射光消去部が設けられる。
【0010】
また、回転部側および固定部側の各光ガイドのうち、少なくとも1つを軸心に対して45度の傾斜角の同軸中空の円錐台状の透明部材により構成し、第1反射鏡と第2反射鏡をこの円錐台状の透明部材の内側円錐面と外側円錐面にそれぞれ設けることが望ましい。
【0011】
また、回転部または固定部の構成部材を透明部材により構成された光ガイドが兼ねることが望ましい。
【0012】
また、回転部の構成部材が回転軸と回転部を結合するハブ機能を有することが望ましい。
【0013】
また、固定部の構成部材が光源部の発光素子の位置決め機能を有し、固定部と光源部のそれぞれの位置決め中心軸を回転中心軸と同一軸上にすることが望ましい。
【0014】
また、発光素子の発光した光を平行な光束とする凸レンズ機能を固定部の構成部材により構成することが望ましい。
【0015】
また、受光部の光電変換素子により検出される信号を増幅および波形整形する信号変換装置を回転部側に面する固定部の側面に配置することが望ましい。
【0016】
また、光源部と受光部を信号変換装置の基板の表裏に配置し、この配置に合わせて光ガイドの光反射方向を設定することが望ましい。
【0017】
また、固定部の周辺部を回転部側に所定の長さの円筒状に延長して、ラビリンス機能および回転部と固定部間のギャップ調整機能を構成することが望ましい。
【0018】
L字状の環状の反射光消去部の垂直な面により、隣接する光束信号の各境界に対応する位置へ入射した光は、入射方向に全反射または直進して、直角方向への反射光が消去される。
【0019】
この作用は、各光ガイドを同軸中空の円錐台状の透明部材により構成し、その透明部材の内側円錐面と外側円錐面にそれぞれ第1反射鏡と第2反射鏡とを設けた場合にも有効であり、しかも、このように構成することにより、工作の容易化と装置の小型化を図ることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の光学式エンコーダは、モータなどの回転体の回転速度、回転方向や角度などの複数の位相の信号を検出する光学式エンコーダ、例えば、図1および図2に示すような回転体の複数(ここでは2つ)の信号を検出する光学式エンコーダ11において、固定部本体30の第2の円錐反射鏡35A,35Bの2段のスリット間の境界に対向する位置(中央部)に、反射光消去部として固定スリット円板31の2段のスリット32A,32Bを通過して入射する検出光に垂直な面を有するL字状の溝部35Lを設け、さらに第2の円錐反射鏡35の溝部35Lに対向する第1の円錐反射鏡34の該当位置にも、同様の反射光消去部として、第2の円錐反射鏡から入射する検出光束に垂直な面を有する溝部34Lが設けられている。
【0021】
反射光消去部34L,35Lの構造は、図2の断面図に示すように、2面が直交するL字状の1面が入射光束に対して垂直になるようにして円錐反射面上に環状に設ければよく、円錐反射鏡上に溝型として設ける場合を(A)図、突起型として設ける場合を(B)図に示す。いずれも作用、効果としては同じであるから、配置場所に応じて、工作の容易な方を選択すればよい。このような溝型または突起型の反射光消去部を所要の数だけ円錐反射面上の全周にわたって隣接信号の境界区域に環状に設ける。
【0022】
この2つの溝部または突起部34L,35Lを設けることにより、固定スリット円板31の2段のスリット32A,32Bを通過して入射する隣接の各検出光La,Lbは、その境界部33において円錐反射鏡35,34から直角には反射されず、溝部35L,34Lに直進して貫通または入射方向に戻るように反射し、各段の検出光の混じりあうのを防止することができる。
【0023】
【実施例】
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【0024】
図1は本発明の光学式エンコーダの第1実施例の断面図である。
【0025】
本実施例の光学式エンコーダ11は、被測定対象の回転体100の回転軸にハブ23で固定される透明樹脂製の光ガイドを構成部材とする回転部本体20と、発光ダイオード41から発光される光を平行光束にするレンズ42を含む光源部40と、各スリット22,32A,32Bを通過したLa,Lbの2組の光信号を検出して電気信号に変換するA,B2組のフォトダイオード51A,51Bからなる受光部50と、光源部40と受光部50とが取付けられる透明樹脂製の光ガイドを構成部材とする固定部本体30とからなる。回転部本体20には、図10に示すように、全周に亙って環状に回転スリット22が放射状にピッチPの等間隔で配置された不透明体の回転スリット円板21が取付けられる。また、固定部本体30に取付けられる固定スリット円板31には、半径方向に2等分された固定スリット32A、32Bが、回転スリット円板21の回転スリット22に対応して全周に亙って放射状にピッチPの等間隔で配置される。また、回転部本体20と固定部本体30の光ガイド部分は、いずれも、回転体100の回転軸心に対して45度の角度を有する円錐状の反射面を軸心に垂直方向で互いに対向し、各円錐反射面が鏡面精度仕上げされた第1反射鏡24,34と第2反射鏡25,35とを有する。変換装置60は、図1には固定部本体30に取付けられるよう示したが光学式エンコーダの本体から分離して別の場所に設けてもよい。
【0026】
以上は、従来の光学式エンコーダと同様の構造であるが、本実施例の光学式エンコーダ11は、さらに、図2の断面図に示すように、固定スリット円板31を通過した後の光束が入射する第2反射鏡35と第1反射鏡34とに、検出しようとする2つの信号A,Bの境界面33に対応する位置に、その1面が入射光に直角になるようにして、1本ずつのL字状の溝部35L,34Lをそれぞれ全周に亙って設けることにより、この溝部に入射した光信号を隣接反射面からの反射方向とは異なる方向に透過または反射させて、隣接する光信号La,Lbが混じりあうのを防止するものである。
【0027】
光源部40の発光ダイオード41から発光された光は、凸レンズ42を通って平行光束L1 となり、回転部本体20の第1反射鏡24に入射する。第1反射鏡24では、入射した平行光束L1 が45度の円錐状の反射面により回転軸に対して直角方向に全周にわたって放射状に反射され、L2 として第2反射鏡25に入射する。この入射光L2 は、第2反射鏡25の45度の円錐状の反射面により直角方向に反射されて、回転体100の回転軸に平行で、しかも、回転スリット円板21と同一径の円筒状の光束L3 となって回転スリット円板21に入射する。
【0028】
回転スリット円板21の回転スリット22を通過した光束L3 は、回転スリット円板21の他面に対向して設けられる固定スリット円板31に投射される。固定スリット円板31には、図10に示すように、半径方向に2段のトラックに固定スリット32A,32Bが全周にわたって回転スリット22と同じピッチPで設けられている。ただし、固定スリット32Aと固定スリット32Bとは、円周方向に1/4Pの角度だけピッチがずらされている。
【0029】
固定スリット円板31に投射された光束L3 は、固定スリット32A,32Bにより2つの断続光束La ,Lb に分割されて、図2に示すように、中央にL字状の溝部35Lを有する固定部本体30の第2反射鏡35に入射する。第2反射鏡35の45度の円錐反射面に入射した軸心に平行な光束La ,Lb は、それぞれ直角に反射されて軸心方向に向かう光束L4a,L4bとなる。しかし、中央の溝部35Lに入射した光束La またはLb は、L字状の一方の入射光に垂直な面に当たって透過してしまうか、あるいは反対の入射方向に反射され、軸心方向には反射されない。すなわち、2つの光束La ,Lb の境界区域に広がつた光束は、軸心方向への反射が阻止され、2つの光束La ,Lb を分離して、互いに他方に混入することを防止することができる。
【0030】
軸心方向に向かう2つの光束L4a,L4bは、固定部本体30の第1反射鏡34で直角に反射されて、回転軸に平行な光束となってそれぞれ受光部50の各フォトダイオード51A,51Bに入射する。ここでも、第1反射鏡34の中央に設けられたL字状の溝部34Lにより、第2反射鏡35におけると同様にして、2つの光束L4a,L4bの境界区域に広がった光束の受光部50方向への反射が阻止され、2つの光束L4a,L4bを、それぞれ、純粋な光信号に分離して各フォトダイオードに送ることができる。
【0031】
受光部50のフォトダイオード51は、図6に示すように、同心の2つの環状のフォトダイオード素子51Aと51Bとを同一フォトダイオード51上に配置し、受光素子基板53として、2つの位相の異なる電気信号A,Bが得られるようにしたものである。
【0032】
本実施例では、検出する信号の数Nを2として説明したが、3以上の信号を検出する場合には、同心の固定スリットとフォトダイオード素子の半径方向の配置段数Nを増加し、円錐反射面の各段の境界部に相当する位置に合計N−1個の反射阻止用のL字状の溝部を設ければよいことは明白である。
【0033】
また、本実施例では、回転部本体20のハブ23と、第1反射鏡24と、第2反射鏡25を一体として透明な樹脂モールドで成形しているので、各部を同一回転軸上に精度よく配置することができる。同様に、固定部本体30の第1反射鏡34と、第2反射鏡35とを一体として透明な樹脂モールドで成形し、光源部40と受光部50をその回転軸の中心に配置することにより、光源部40と受光部50の位置決めが容易である。
【0034】
図4は、第2の実施例の光学式エンコーダ12の断面図で、第1実施例の光源部40と受光部50とを入れ替えた構造とするものである。この場合も、固定部本体30を樹脂モールドで一体成形することにより、樹脂モールドに位置決め部品としての機能を兼ねさせて、光源部40と受光部50とを回転軸の中心に容易に配置することができる。また、光源部40と受光部50とを入れ替えたので、光束L1 〜L4 の向きが逆になっており、反射光消去用のL字状の溝部24L,25Lが、スリット32,22で変調された各光信号が受光部50に入射する前の回転部本体20側の第1、第2反射鏡24,25上に設けられる。しかし、その作用は第1実施例と同様であり、2つの光束L4a,L4bを、それぞれ、純粋な光信号に分離して各フォトダイオード51A,51Bに送ることができる。また、この例では、フォトダイオード51A,51Bの検出した光信号を電気パルス信号に変換する変換装置60を固定部本体30側の空間部に配置することにより、光学式エンコーダをさらに小型化したものである。
【0035】
図3は、凸レンズ42の構造の応用例を示す断面図で、(A)は固定部本体30の構成部材と一体成形されたもの、(B)は回転部本体20の構成部材と一体成形されたものである。図のように、凸レンズ42を固定部または回転部の透明樹脂モールドで構成することにより、部品点数および組立て工数を少なくすることができる。
【0036】
図5は、回転部本体20と固定部本体30双方のスリット対向部の拡大断面図で、透明樹脂モールド製の固定部本体30の周辺円周上の一部を回転部側に長さl(エル)の円筒状に延長して外部からのゴミなどの侵入を防ぐラビリンス機能70を持たせると共に、円筒部の先端と回転部本体20のハブ23の基準面20Aを同一にして、回転スリット円板21と固定スリット円板31との間のギャップG調整機能を持たせたものである。すなわち、固定部本体30の構成部材を回転部本体20を覆うカバーのように円筒型に延ばすことにより、ラビリンス部を構成している。この構造により、外部のゴミなどの光学式エンコーダの内部への侵入を防止し、信頼性を向上させている。また、スリット間の適性ギャップを得るために、カバーの先端面を回転部のハブ23の基準面と同一平面にすればよいように、円筒状のカバー部の長さl(エル)を定めると、ギャップの設定時には、治具などでカバーの先端面をこの基準面と同一平面に合わせれば、ワンタッチで適性ギャップの設定を行なうことができる。
【0037】
図7および図8は、変換装置60の配置の応用変形例で、1枚の変換装置用基板61の表裏に光源部40と受光部50とを配置して、光源部40から受光部50への検出光の反射方向を180度変更するように固定部または回転部の第1反射鏡34,24を構成したものである。この構造は、光源部40、受光部50および変換装置60が1枚の基板61上に纏められているので、部品数を減少し、装置を小型化するとともに、コストダウンが可能になるという効果がある。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、回転部側および固定部側の各光ガイドのうち、少なくとも1つの反射鏡面に、複数Nの光信号の半径方向に隣接する各境界に対応する位置からの入射光に対してそれぞれ垂直な面を有するL字状のN−1個の環状の反射光消去部を設けることにより、隣接する光信号の境界から受光部に入射する検出光を消去し、複数の信号の検出光をそれぞれ分離して個別に純粋な信号を検出できる効果がある。
【0039】
また、回転部側および固定部側の少なくとも一方を、光ガイドを透明部材により同軸中空の円錐台状に構成し、第1反射鏡と第2反射鏡をそれぞれこの透明部材の外側円錐面と内側円錐面とに設けることにより、第1反射鏡と第2反射鏡の反射面を対向させることが容易になり、かつ、反射光消去部の作用を長く維持できる効果がある。
【0040】
また、回転部または固定部の構成部材を透明部材により構成された光ガイドが兼ね、回転部の構成部材が回転軸と回転部を結合するハブ機能を有することにより、2つの円錐反射面、ハブなどを一体化してそれぞれ樹脂モールドで製作することが可能となり、光学式エンコーダの小型化、ローコスト化ができる効果がある。
【0041】
また、光源部の発光素子を回転中心軸と同一軸上に配置することにより、発光素子を小型化して、製造コストを低減できる効果がある。
【0042】
また、受光部の光電変換素子により検出される信号を増幅および波形整形する信号変換装置を回転部側に面する固定部の側面に配置し、光源部と受光部を信号変換装置の基板の表裏に配置して、この配置に合わせて光ガイドの光反射方向を設定することにより、光源部と受光部の位置決め部品を一体化し、各部品を精度よく配置できる効果がある。
【0043】
また、固定部の周辺部を回転部側に所定の長さの円筒状に延長して、ラビリンス機能および回転部と固定部間のギャップ調整機能を構成することにより、光学式エンコーダのギャップ設定を簡単化し、信頼性を高める効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の光学式エンコーダ11の断面図である。
【図2】反射光消去部35Lの拡大断面図である。
(A) 溝型の反射光消去部
(B) 突起型の反射光消去部
【図3】凸レンズ42の構造を示す断面図である。
(A) 固定部本体30の構成部材と一体成形されたもの
(B) 回転部本体20の構成部材と一体成形されたもの
【図4】本発明の第2の実施例の光学式エンコーダ12の断面図である。
【図5】本発明の1実施例の部分拡大断面図である。
【図6】受光部50の拡大図である。
【図7】本発明の第3の実施例の光学式エンコーダ13の断面図である。
【図8】本発明の第4の実施例の光学式エンコーダ14の断面図である。
【図9】従来の光電式エンコーダの1例の分解斜視図である。
【図10】回転スリット円板21と固定スリット円板31の分解拡大図である。
【図11】従来の光学式エンコーダの反射面における光束反射状況を示す図である。
【符号の説明】
11〜14 光学式エンコーダ
100 回転体
20 回転部本体
21 回転スリット円板
22 回転スリット
23 ハブ
24,24A,24B 回転部の第1反射鏡
25,25A,25B 回転部の第2反射鏡
24L,25L,34L,35L 反射光消去部、(L字状の溝/突起部)
30 固定部本体
31 固定スリット円板
32,32A,32B 固定スリット
33 信号境界
34,34A,34B 固定部の第1反射鏡
35,35A,35B 固定部の第2反射鏡
40 光源部
41 発光ダイオード
42 レンズ
43,53,61 基板
50 受光部
51,51A,51B フォトダイオード
60 変換装置

Claims (9)

  1. 光束を発光して測定対象の回転体の回転軸に平行に投射する光源部と、前記回転体の回転軸に同心的に固定され、複数の放射状のスリットが全周に亙って環状に等間隔で配置される円板状の回転部と、前記回転部のスリットに対向して全周に亙って放射状に等間隔で配置され、さらに、検出する信号の位相数Nと同数の列に半径方向にも分割されたスリットを有する円板状の固定部と、前記固定部のスリットを通過した光信号を検出して複数位相Nの電気信号に変換する受光部と、軸心に対してそれぞれ45度の傾斜角を有し、かつ、軸心に垂直方向に対向する円錐状の第1反射鏡および第2反射鏡からなり、入射光束を遠心的に放射または求心的に集光して、前記光源部から投射された光束を前記回転部のスリットおよび固定部のスリットを経由して前記受光部に導く光ガイドの回転部本体および固定部本体とを有する光学式エンコーダにおいて、
    前記回転部本体および固定部本体のうち、少なくとも1つの反射鏡面に、前記半径方向に隣接するN列の光信号の各境界に対応する位置に入射する光束に対してそれぞれ垂直な面を有するL字状の環状の反射光消去部が設けられることを特徴とする光学式エンコーダ。
  2. 回転部本体および固定部本体のうち、少なくとも1つが、軸心に対して45度の傾斜角の同軸中空の円錐台状の透明部材により構成され、第1反射鏡と第2反射鏡が前記円錐台状の透明部材の内側円錐面と外側円錐面にそれぞれ設けられる請求項1に記載の光学式エンコーダ。
  3. 光ガイドをなす回転部本体または固定部本体の少なくともいずれか1つの構成部材が透明部材により構成される請求項2に記載の光学式エンコーダ。
  4. 回転部本体の構成部材が、回転軸と回転部を結合するハブ機能を有する請求項1、2または3のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
  5. 固定部本体の構成部材が、光源部の発光素子の位置決め機能を有し、固定部と光源部のそれぞれの位置決め中心軸が回転中心軸と同一軸上にある請求項2または3に記載の光学式エンコーダ。
  6. 発光素子の発光した光を平行な光束とする凸レンズ機能が固定部本体または回転部本体の構成部材により構成される請求項5に記載の光学式エンコーダ。
  7. 受光部の光電変換素子により検出される信号を増幅および波形整形する信号変換装置が回転部側に面する固定部本体の側面に配置される請求項1に記載の光学式エンコーダ。
  8. 光源部と受光部が信号変換装置の基板の表裏に配置され、前記配置に合わせて光ガイドの光反射方向が設定される請求項7に記載の光学式エンコーダ。
  9. 固定部本体の周辺部を回転部側に所定の長さの円筒状に延長して、ラビリンス機能および回転部本体と固定部本体間のギャップ調整機能が構成される請求項1に記載の光学式エンコーダ。
JP00411396A 1996-01-12 1996-01-12 光学式エンコーダ Expired - Fee Related JP3575506B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00411396A JP3575506B2 (ja) 1996-01-12 1996-01-12 光学式エンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00411396A JP3575506B2 (ja) 1996-01-12 1996-01-12 光学式エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09196703A JPH09196703A (ja) 1997-07-31
JP3575506B2 true JP3575506B2 (ja) 2004-10-13

Family

ID=11575737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00411396A Expired - Fee Related JP3575506B2 (ja) 1996-01-12 1996-01-12 光学式エンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3575506B2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19922009B4 (de) * 1999-05-12 2012-02-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Rotatorische Positionsmeßeinrichtung
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US6925722B2 (en) * 2002-02-14 2005-08-09 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with improved surface features
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
JP2004191087A (ja) 2002-12-09 2004-07-08 Nidec Copal Corp 光学式エンコーダ
JP2004340929A (ja) 2003-04-21 2004-12-02 Mitsubishi Electric Corp 光学式ロータリーエンコーダ
IL177367A0 (en) * 2006-08-08 2006-12-10 Yaskawa Europ Technology Ltd Optical encoder
JP4756477B2 (ja) * 2006-12-13 2011-08-24 株式会社安川電機 原点パターン生成方法および原点信号付き回転角度検出器
JP5618094B2 (ja) * 2011-10-05 2014-11-05 株式会社安川電機 光全周エンコーダ及びモータシステム

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09196703A (ja) 1997-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100948745B1 (ko) 조합형 위치 및 색인 트랙을 갖는 광학 인코더, 시스템 및인코더 동작 방법
US6653619B2 (en) Optical motion encoder with a reflective member allowing the light source and sensor to be on the same side
US7358481B2 (en) Reflective encoder with three-dimensional code carrier
CN100406853C (zh) 光学式旋转编码器
JP3575506B2 (ja) 光学式エンコーダ
US7688432B1 (en) Rotary position detector and associated methods
US7784694B2 (en) Reflective encoder with lens on code strip
JPH04115122A (ja) 光学式エンコーダ
JP3832874B2 (ja) 光学スケール及びそれを用いたロータリーエンコーダ
JP2002005694A (ja) 光学スケール及びその成形用金型及び光学式エンコーダ
JPH11183201A (ja) エンコーダ
US20070120048A1 (en) Reflective encoder module
JP2007147612A (ja) リング構成のフォトダイオードアレイ、及び該フォトダイオードアレイを利用した光学エンコーダ
JP3694800B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPS6363919A (ja) 位置検出装置
JP2017181474A (ja) 位置変換器
JP6684631B2 (ja) 位置変換器
JPS59173713A (ja) 光反射型変位測定装置
JP3377976B2 (ja) 平行光放射装置
JPS5932813A (ja) 光検出器
US11162819B2 (en) Low inertia rotary position detector and associated methods
JPS62113013A (ja) 光学式ロ−タリ・エンコ−ダ
JPS6336111A (ja) 光学式エンコ−ダ
JPH1123322A (ja) 光学式エンコーダ
JPH0715376B2 (ja) 回転角検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040528

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040616

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080716

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090716

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090716

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100716

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100716

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110716

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120716

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140716

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees