JP3568414B2 - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、検査対象物の外観を検査するための外観検査装置および外観検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、ベアリングの製品検査においては、ベアリングの外軌道輪や内軌道輪の端面または周面に、傷や錆、黒皮残り(外軌道輪または内軌道輪を熱処理した後の変色表面の研磨面への残留)などの欠陥部分が生じていないか否かを自動で検査する外観検査装置が用いられる。
【0003】
この外観検査装置を用いた検査では、検査対象面がCCDカメラによって撮像されて、この撮像された検査対象面に対応する画像信号がCCDカメラから出力される。そして、CCDカメラから出力された画像信号が、一定のしきい値で2値化されることにより2値画像データに変換され、この2値画像データに基づいて、検査対象面における欠陥部分の有無が判定される。
【0004】
たとえば、変換後の2値画像データに基づいて得られる2値画像において、欠陥部分は黒画素で表され、欠陥部分以外の領域は白画素で表されるから、検査対象面における欠陥部分の有無を判定することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ベアリングの外軌道輪の端面などの検査対象面には、たとえば製造国名や製造業者名、製造型番などを表す刻印が施されていることが多い。この刻印が検査対象面に施されている場合、上述した従来の外観検査装置では、刻印と欠陥部分とを識別することが困難であるため、欠陥部分の有無を正確に判定できないといった問題があった。
【0006】
そこで、検査対象面に刻印が施されている場合には、検査対象面の2値画像から、黒画素で表される各領域の形状を認識し、検査対象面に実際に施されている刻印の形状以外の形状を有する領域を欠陥部分と判断する、いわゆるパターンサーチを行うことが考えられる。
しかしながら、このパターンサーチでは、黒画素で表される各領域の形状を認識しなければならないので、検査時間が長くかかってしまう。また、刻印の品質が低い場合には、刻印を欠陥部分と誤って判断してしまうおそれもある。
【0007】
そこで、この発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、検査対象面に施された刻印と欠陥部分とを良好に識別できる外観検査装置および外観検査方法を提供することである。
また、この発明の他の目的は、検査対象面の良否を良好に判定できる外観検査装置および外観検査方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、刻印が施された検査対象面を有する物体の外観を検査するための外観検査装置であって、上記検査対象面を撮像し、その撮像した検査対象面に対応する画像信号を出力する撮像手段と、この撮像手段から出力される画像信号を2値化して2値画像データに変換する変換手段と、この変換手段により生成される2値画像データにより表される上記検査対象面の2値画像において、所定の副走査方向にほぼ等間隔で設定された複数の主走査ラインを順に走査して、予め定める値の2値画像データの画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインを検出する走査検出手段と、この走査検出手段によって検出された刻印候補ラインの連続数を検出するライン数検出手段と、このライン数検出手段によって検出された刻印候補ライン連続数に基づいて、この連続する刻印候補ラインの領域に、刻印が施されているか欠陥部分が生じているかを識別する識別手段とを含むことを特徴とする外観検査装置である。
【0009】
この発明によれば、検査対象面の2値画像において所定の副走査方向にほぼ等間隔で設定された複数の主走査ラインを順に走査して、予め定める値の2値画像データの画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインを検出し、さらにその刻印候補ラインの連続数を検出することにより、その検出した刻印候補ライン連続数に基づいて、連続する刻印候補ラインの領域に刻印が施されているか欠陥部分が生じているかを判定できる。したがって、黒画素で表される各領域の形状を認識し、検査対象面に実際に施されている刻印の形状以外の形状を有する領域を欠陥部分と判断するパターンサーチとは異なり、黒画素で表される各領域の形状を認識する必要がないので、検査時間を大幅に短縮することができる。また、刻印の品質が低い場合であっても、刻印と欠陥部分との識別を良好に行うことができる。
【0010】
なお、上記識別手段は、上記ライン数検出手段によって検出されたライン数が予め定める数値範囲以内であれば、上記走査検出手段によって検出された領域には刻印が施されていると判断し、上記ライン数検出手段によって検出されたライン数が上記予め定める数値範囲外であれば、上記走査検出手段によって検出された領域には欠陥部分が生じていると判断するものであるのが好ましい。
【0011】
また、上記主走査ラインは、上記検査対象面における刻印の正立方向(主走査方向)に沿って、上記副走査方向とほぼ直交したラインであることが好ましい。たとえば、複数個の刻印が円弧状の検査対象面に並んで形成されている場合には、個々の刻印は円弧状検査対象面の径方向に沿って施されているから、円弧状検査対象面の径方向が上記主走査方向となり、これにほぼ直交する周方向が上記副走査方向となる。
【0012】
請求項2記載の発明は、上記検査対象面に実際に施されているべき刻印の数を記憶する記憶手段と、上記識別手段で識別された刻印の数をカウントして、上記検査対象面の全域に施されている刻印の数を検出する刻印数検出手段と、上記記憶手段に記憶されている刻印の数と上記刻印数検出手段によって検出された刻印の数とを比較して、上記検査対象面が良品面であるか不良品面であるかを判定する良否判定手段とをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の外観検査装置である。
【0013】
この発明によれば、記憶手段に記憶されている刻印数と刻印数検出手段によって検出された刻印数とが比較されて、たとえば、両刻印数が一致すれば、検査対象面は良品面であると判定され、両刻印数が一致しなければ、検査対象面は不良品面と判定される。これにより、識別手段によって欠陥部分が刻印であると誤って判断された場合であっても、検査対象面の良否が誤って判定されるおそれがない。
【0014】
請求項3記載の発明は、上記変換手段は、上記撮像手段から出力される画像信号に基づいて得られる上記検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割し、この複数の領域に含まれる画素に対応する画像信号を、各領域ごとに設定したしきい値でそれぞれ2値化することにより、上記撮像手段から出力される画像信号を2値画像データに変換するものであることを特徴とする請求項1または2記載の外観検査装置である。
【0015】
この発明によれば、検査対象面に照明むらなどが生じている場合であっても、その検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割して、各領域ごとに適切に定めたしきい値に基づいて、撮像手段から出力される画像信号を2値化することにより、検査対象面の良好な2値画像を得ることができる。これにより、検査対象面の良否判定をより正確に行うことができる。
【0018】
請求項4記載の発明は、刻印が施された検査対象面を有する物体の外観を検査するための外観検査方法であって、上記検査対象面を撮像し、その撮像した検査対象面に対応する画像信号を取得する撮像ステップと、この撮像ステップで取得された画像信号を2値化して2値画像データに変換する変換ステップと、この変換後の2値画像データにより表される上記検査対象面の2値画像において、所定の副走査方向にほぼ等間隔で設定された複数の主走査ラインを順に走査して、予め定める値の2値画像データの画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインを検出する走査検出ステップと、この走査検出ステップで検出された刻印候補ラインの連続数を検出するライン数検出ステップと、このライン数検出ステップで検出された刻印候補ライン連続数に基づいて、この連続する刻印候補ラインの領域に、刻印が施されているか欠陥部分が生じているかを識別する識別ステップとを含むことを特徴とする外観検査方法である。
【0019】
この方法によれば、請求項1の発明と同様な効果を得ることができる。
請求項5記載の発明は、上記検査対象面に実際に施されているべき刻印の数を記憶手段に記憶させる記憶ステップと、上記識別ステップで識別された刻印の数をカウントして、上記検査対象面の全域に施されている刻印の数を検出する刻印数検出ステップと、上記記憶手段に記憶されている刻印の数と上記刻印数検出ステップで検出された刻印の数とを比較して、上記検査対象面が良品面であるか不良品面であるかを判定する良否判定ステップとをさらに含むことを特徴とする請求項4記載の外観検査方法である。
【0020】
この方法によれば、請求項2の発明と同様な効果を得ることができる。
請求項6記載の発明は、上記変換ステップでは、上記撮像ステップで取得された画像信号に基づいて得られる上記検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割し、この複数の領域に含まれる画素に対応する画像信号を、各領域ごとに設定したしきい値でそれぞれ2値化することにより、上記撮像ステップで取得された画像信号が2値画像データに変換されることを特徴とする請求項4または5記載の外観検査方法である。
【0021】
この方法によれば、請求項3の発明と同様な効果を得ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。この外観検査装置は、たとえば、ベアリングの外軌道輪Rの端面RAを検査するための装置であり、外軌道輪Rを保持するためのホルダ1を有している。
【0024】
ホルダ1は、外軌道輪Rを嵌め込むことのできる凹部11を有しており、外軌道輪Rは、端面RAを上方に向けて凹部11に嵌め込まれて、端面RAを水平面にほぼ沿わせた状態に保持されるようになっている。
ホルダ1の上方には、ホルダ1に保持された外軌道輪Rの端面RAを照明するための照明光学系2が配設されている。照明光学系2には、たとえば複数個のLEDを円環状に並べて構成された光源21と、この光源21からの照明光を拡散させて、ホルダ1に保持された外軌道輪Rの端面RAに導くための拡散板22とが備えられている。
【0025】
照明光学系2のさらに上方には、ホルダ1に載置された外軌道輪Rの中心軸上に、外軌道輪Rの端面RAからの反射光を光電変換して画像信号を出力するCCDカメラ3が配設されている。このCCDカメラ3から出力される画像信号は、たとえばCPU、ROMおよびRAMを含むマイクロコンピュータで構成される画像処理部4に与えられるようになっている。
【0026】
画像処理部4には、変換処理部41と良否判定部42とが含まれている。CCDカメラ3から画像処理部4に与えられた画像信号は、まず、変換処理部41に入力される。変換処理部41は、入力された画像信号を、所定のしきい値で2値化することにより2値画像データに変換し、その変換後の2値画像データを、画像処理部4に内蔵されたRAMに格納する。良否判定部42は、RAMに格納された2値画像データに基づいて、外軌道輪Rの端面RAが良品面であるか不良品面であるかを判定する。
【0027】
また、画像処理部4は、RAMに格納された2値画像データに基づいて、外軌道輪Rの端面RAの2値画像をモニタ5に表示させる。これにより、モニタ5には、外軌道輪Rの端面RAを表す円環状の白黒画像が映し出される。
図2は、良否判定部42によって実行される良否判定処理の流れを示すフローチャートである。また、図3は、図2に示す良否判定処理について説明するための図である。この良否判定処理は、たとえば製造国名や製造業者名、製造型番などを表す刻印が施されている外軌道輪Rの端面RAが、たとえば傷、錆または黒皮残りなどの欠陥部分を有していない良品面であるか、欠陥部分を有している不良品面であるかを判定するための処理である。
【0028】
なお、以下の説明において、走査ラインSL1〜SLnとは、図3に示すように、2値画像データにより表される外軌道輪Rの端面RAの2値画像において、外軌道輪Rの径方向(主走査方向)に沿ったラインをいう。この走査ラインSL1〜SLnは、外軌道輪Rの周方向(副走査方向)に予め定める間隔(たとえば0.5°間隔)で、端面RAの全周にわたって設定されている。
【0029】
良否判定処理が開始されると、まず、予め定める回転方向位置の走査ラインSL1の走査(径方向走査)が行われて(ステップS1)、この走査ラインSL1に含まれる画素が、すべて白画素であるか否かが判断される(ステップS2)。具体的には、走査ラインSL1に含まれる画素の2値画像データがRAMから読み出されて、この読み出された2値画像データが、すべて白画素を表すデータであるか否かが判断される。さらに言い換えれば、RAMから読み出された2値画像データ中に、黒画素を表すデータが含まれているか否かが判断される。
【0030】
なお、最初に走査される走査ラインSL1は、必ず黒画素を含まない走査ラインSLに設定される。たとえば、任意に抽出した走査ラインSLの走査を行って、その走査ラインSL中に黒画素が含まれていた場合には、この走査ラインSLは走査ラインSL1とせず、上記抽出した走査ラインSLとは異なる走査ラインSLの走査を行う。そして、この走査ラインSLに黒画素が含まれているか否かを調べ、この走査ラインSLにも黒画素が含まれている場合には、さらに異なる走査ラインSLの走査を行うといったようにして、黒画素を含まない走査ラインSLが見つけ出され、この見つけ出された走査ラインSLが走査ラインSL1に設定される。したがって、このとき、走査ラインSL1に含まれる画素がすべて白画素であるか否かの判断は肯定される。
【0031】
次に、たとえばRAM内に設けられたライン数カウンタのカウント値Lが調べられて、このカウント値Lが条件Lmin ≦L≦Lmax (Lmin,Lmax は自然数)を満たしているか否かが判断される(ステップS3)。上記の数値Lmin,Lmax は、それぞれ外軌道輪Rの端面RAに実際に施されている刻印の周方向の幅、つまり刻印が跨っている走査ラインSLのライン数の最小値および最大値に基づいて設定され、たとえば、図3に示すような刻印が施されている場合には、数値Lmin は「3(刻印「N」が跨っている走査ラインSLのライン数)」に設定され、数値Lmax は「5(刻印「A」が跨っている走査ラインSLのライン数)」に設定される。また、ライン数カウンタは、良否判定処理の開始時に「0」にリセットされている。したがって、このとき、ライン数カウンタのカウント値Lが上記条件を満たしているか否かの判断は否定される。
【0032】
カウント値Lが上記条件を満たしているか否かの判断が否定されると、カウント値Lが「0」であるか否かが判断される(ステップS4)。カウント値Lが「0」であれば、次に、すべての走査ラインSL1〜SLnが走査されたか否かが判断される(ステップS5)。そして、すべての走査ラインSL1〜SLnが走査されていない場合には、走査ラインSL1に隣接する走査ラインSL2の走査が行われて(ステップS6)、処理はステップS2に戻り、走査ラインSL2に含まれる画素がすべて白画素であるか否かが判断される。その後、黒画素を含む径方向ラインSLが検出されるまで、上述のステップS2〜S6の処理が繰り返されて、走査ラインSL2以降の走査ラインSLが1ラインずつ順に走査されていく。
【0033】
たとえば、図3(a) に示す2値画像に対応する端面RAの良否判定においては、走査ラインSLが1ラインずつ順に走査されていく過程で、黒画素を含む走査ラインSL7が刻印候補ラインとして検出される(ステップS2でNO)。走査ラインSL7が検出されると、ライン数カウンタのカウント値Lがインクリメント(+1)される(ステップS7)。そして、ステップS5へと進み、すべての走査ラインSL1〜SLnが走査されたか否かの判断が否定された後、次の走査ラインSL8の走査が行われる(ステップS6)。つづいて、この走査ラインSL8に含まれる画素がすべて白画素であるか否かが判断される(ステップS2)。図3(a) に示す2値画像では、走査ラインSL7〜SL10に黒画素が含まれているから、ステップS2で黒画素を含まない走査ラインSL11が検出されるまで、上述のステップS2,S7,S5,S6の処理が繰り返される。
【0034】
黒画素を含まない走査ラインSL11が検出されると(ステップS2でYES)、ライン数カウンタのカウント値Lが調べられて、このカウント値Lが上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしているか否かが判断される(ステップS3)。このとき、ステップS2,S7,S5,S6の処理が繰り返されて、刻印候補ラインとして黒画素を含む走査ラインSL7〜SL10が検出されたことにより、ライン数カウンタのカウント値Lは「4」になっているから、カウント値Lは上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしていると判断される(ステップS3でYES)。これにより、刻印候補ラインとして検出された走査ラインSL7〜SL10上には刻印が施されていると判断され、たとえばRAM内に設けられた刻印数カウンタのカウント値Nがインクリメント(+1)される(ステップS8)。その後、ライン数カウンタのカウント値Lが「0」にクリアされて(ステップS9)、ステップS5に進み、すべての走査ラインSLが走査されたか否かが判断される。このとき、すべての走査ラインSLの走査は完了していないから、ステップS6へ進み、走査ラインSL11以降の走査ラインSLの走査が行われる。
【0035】
こうして、走査ラインSLが1ラインずつ順に走査されて、端面RAに施されている刻印が次々に検出されていく。そして、すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が行われると(ステップS5でYES)、刻印数カウンタのカウント値Nが調べられ、このカウント値Nが「0」であるか否かが判断される(ステップS10)。カウント値Nが「0」でなければ(ステップS10でNO)、次に、カウント値Nが外軌道輪Rの端面RAに実際に施されている刻印の数(以下、「実刻印数」という。)と一致するか否かが判断される(ステップS11)。この実刻印数は、この良否判定処理の開始前に入力されて、たとえばRAMに記憶されている。
【0036】
カウント値Nと実刻印数とが一致する場合には(ステップS11でYES)、外軌道輪Rの端面RAは良品面であると判定される(ステップS12)。
カウント値Nと実刻印数とが一致しない場合には(ステップS11でNO)、外軌道輪Rの端面RAに生じている欠陥部分と刻印とが誤って識別されたと判断し、この端面RAは不良品面であると判定される(ステップS13)。
【0037】
たとえば、図3(b) に示す2値画像では、4本の走査ラインSL2〜SL5上に欠陥部分D1が存在している。したがって、この図3(b) に示す2値画像に対応する端面RAの良否判定においては、上述したステップS3でライン数カウンタのカウント値Lが上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしていると判断され、走査ラインSL2〜SL5上の欠陥部分D1は刻印であると誤って判断されてしまう。そして、刻印数カウンタのカウント値Nがインクリメント(+1)され、その結果、すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が完了した時点で、刻印数カウンタのカウント値Nは実刻印数よりも多くなってしまう。そこで、カウント値Nと実刻印数とが一致しない場合は、端面RAは不良品面であると判定することにより、欠陥部分D1のように比較的大きな欠陥部分が端面RAに生じている場合に、端面RAが良品面であると誤って判定されるおそれをなくすことができる。
【0038】
また、すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が完了した時点で、カウント値Nが「0」である場合には、外軌道輪Rの端面RAは刻印の施されていない無刻印面であると判定される(ステップS14)。
一方、たとえば、図3(c) に示す2値画像に対応する端面RAの良否判定においては、走査ラインSLが1ラインずつ順に走査されていく過程で、黒画素を含む走査ラインSL5が刻印候補ラインとして検出される(ステップS2でNO)。走査ラインSL5が検出されると、ライン数カウンタのカウント値Lがインクリメント(+1)される(ステップS7)。そして、ステップS5へと進み、すべての走査ラインSL1〜SLnが走査されたか否かが判断される。すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が行われていない場合には、次の走査ラインSL6の走査が行われて(ステップS6)、ステップS2に戻り、この走査ラインSL6に含まれる画素がすべて白画素であるか否かが判断される。
【0039】
図3(c) に示す2値画像では、走査ラインSL6には黒画素が含まれていないから、ステップS2で走査ラインSL6に含まれる画素はすべて白画素であると判断され、次いで、ライン数カウンタのカウント値Lが上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしているか否かが判断される(ステップS3)。このとき、ライン数カウンタのカウント値Lは「1」であるから、カウント値Lは上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしていないと判断され(ステップS3でNO)、カウント値Lが「0」であるか否かが判断される(ステップS4)。そして、このカウント値Lが「0」か否かの判断も否定され、これにより、刻印候補ラインとして検出された黒画素を含む走査ラインSL5上には欠陥部分D2が生じていると判断されて、外軌道輪Rの端面RAは不良品面であると判定される(ステップS13)。
【0040】
以上のように、この実施形態では、外軌道輪Rの端面RAがCCDカメラ3で撮像され、このCCDカメラ3から出力される画像信号が、2値化されることにより2値画像データに変換される。そして、この2値画像データにより表される端面RAの2値画像において、外軌道輪Rの径方向に沿った走査(径方向走査)が、周方向に予め定める間隔(たとえば0.5°間隔)で端面RAの全周にわたって行われる。この過程で、黒画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインが検出されると、その刻印候補ラインの連続数Lが調べられる。そして、このライン連続数Lが上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしていれば、その連続する刻印候補ラインの領域に刻印が施されていると判断される。一方、ライン連続数Lが上記条件Lmin ≦L≦Lmax を満たしていなければ、その領域には欠陥部分が生じていると判断され、端面RAは不良品面であると判定される。
【0041】
したがって、黒画素で表される各領域の形状を認識し、検査対象面に実際に施されている刻印の形状以外の形状を有する領域を欠陥部分と判断するパターンサーチとは異なり、黒画素で表される各領域の形状を認識する必要がないので、検査時間を大幅に短縮することができる。また、刻印の品質が低い場合であっても、刻印と欠陥部分との識別を良好に行うことができる。
【0042】
また、この実施形態では、すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が完了した時点で、刻印と判断された領域の数が実刻印数と一致すれば、外軌道輪Rの端面RAは良品面であると判定され、一致しない場合には、外軌道輪Rの端面RAは不良品面と判定される。これにより、欠陥部分が比較的大きいために、刻印であると誤って判断された場合であっても、端面RAの良否が誤って判定されるおそれがない。
【0043】
なお、検査対象面の良否判定方法は、刻印と判断された領域の数と実刻印数とが一致するか否かを判断して、検査対象面の良否を判定する上述の方法に限定される必要はない。たとえば、図4に示す検査対象面の良否判定においては、検査対象面に実際に施されている刻印列の数(この場合、刻印列の数=3)と、各刻印列に含まれる刻印の数(この場合、刻印列S1の刻印数=5、刻印列S2の刻印数=5、刻印列S3の刻印数=3)とを予め入力しておく。そして、走査ラインSL1〜SLnの走査の過程で、刻印と判断された領域と次に刻印と判断された領域との間隔が所定間隔よりも小さければ、それらの領域は一連の刻印列であると判断して、刻印列数と各刻印列に含まれる刻印数とを検出する。そして、すべての走査ラインSL1〜SLnの走査が完了した時点で、検出された刻印列数および各刻印列の刻印数と予め入力されている刻印列数および各刻印列の刻印数とがそれぞれ一致すれば、検査対象面は良品面であると判定し、一致しなければ、検査対象面は不良品面であると判定してもよい。
【0044】
また、この実施形態では、ベアリングの外軌道輪Rの端面RAを検査対象面としたが、たとえば、外軌道輪Rの外周面または内周面が検査対象面とされてもよい。なお、外軌道輪Rの外周面または内周面が検査対象面である場合には、それぞれ図5または図6に示す外観検査装置が用いられるとよい。
図5は、外軌道輪Rの外周面を検査するための外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。なお、この図5において、上述した図1の各部に対応する部分には、図1の場合と同一の参照符号を付して示す。
【0045】
この外観検査装置には、ホルダ1による外軌道輪Rの保持位置の側方を取り囲むように、逆円錐状の反射面61を有する反射ミラー6が配置されている。これにより、照明光学系2からの照明光は、反射ミラー6の反射面61で反射されて、ホルダ1に保持された外軌道輪Rの外周面ROに導かれる。そして、この外軌道輪Rの外周面ROで反射された光が、さらに反射ミラー6の反射面61で反射されて散乱光となり、その散乱光の一部がCCDカメラ3にとらえられることにより、モニタ5に外軌道輪Rの外周面ROを表す円環状の白黒画像が映し出される。
【0046】
図6は、外軌道輪Rの内周面を検査するための外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。なお、この図6において、上述した図1の各部に対応する部分には、図1の場合と同一の参照符号を付して示す。
この外観検査装置では、照明光学系2がホルダ1の下方に配置されており、この照明光学系2からの照明光によって、ホルダ1に保持された外軌道輪Rの内周面RIが照明されるようになっている。そして、外軌道輪Rの内周面RIで反射された光がCCDカメラ3にとらえられることにより、モニタ5に外軌道輪Rの内周面RIを表す円環状の白黒画像が映し出されるようになっている。
【0047】
図7は、この発明のさらに好ましい実施形態について説明するための図である。
たとえば、検査対象面の面積が比較的大きい場合には、その検査対象面において照明光学系2による照明のむらを生じるおそれがある。また、外軌道輪Rの外周面ROを検査するための外観検査装置では、図5に示すように外周面ROの下端部付近が陰になり、その結果、CCDカメラ3から出力される画像信号に基づいて得られる外周面ROの濃淡画像は、内周付近の濃度が外周付近の濃度に比べて高くなってしまう。そのため、CCDカメラ3から出力される画像信号を一定のしきい値で2値化した場合、外周面ROの濃淡画像の内周付近の画素が黒画素とされ、上述した良否判定処理で外周面ROが不良品面であると判定されるおそれがある。
【0048】
そこで、この図7に示すように、外周面ROの濃淡画像を、内周付近の領域A1と外周付近の領域A2とに分割して、各領域A1,A2ごとに適切な2値化しきい値を設定する。そして、各領域A1,A2に含まれる画素に対応する画像信号を、それぞれ個別に設定された2値化しきい値で2値化することにより2値画像データに変換する。これにより、CCDカメラ3から出力される画像信号の2値化を良好に行うことができ、良否判定処理における外周面ROの良否判定をより正確に行うことができる。
【0049】
なお、この実施形態では、外周面ROの濃淡画像が2つの領域A1,A2に分割されて2値化が行われるとしたが、外周面ROの濃淡画像が3つ以上の領域に分割されて、各領域ごとに設定されたしきい値に基づいて、CCDカメラ3から出力される画像信号の2値化が行われてもよい。
以上、この発明のいくつかの実施形態について説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。たとえば、上述の実施形態では、ベアリングの外軌道輪の端面、外周面または内周面が検査対象面とされた例を取り上げたが、ベアリングの外軌道輪には限定されず、ベアリングの内軌道輪の端面、外周面または内周面が検査対象面とされてもよい。また、ベアリングの完成品の端面、外周面または内周面が検査対象面とされてもよい。
【0050】
さらに、ベアリングの端面のような円環状の表面に限らず、撮像手段によって2次元画像として撮像できれば、任意の形状の表面を検査対象面とすることができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で、種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態に係る外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。
【図2】良否判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図3】良否判定処理について説明するための図である。
【図4】他の良否判定方法について説明するための図である。
【図5】外軌道輪の外周面を検査するための外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。
【図6】外軌道輪の内周面を検査するための外観検査装置の構成を簡略化して示す断面図である。
【図7】この発明のさらに好ましい実施形態について説明するための図である。
【符号の説明】
3 CCDカメラ(撮像手段)
4 画像処理部
41 変換処理部(変換手段)
42 良否判定部(走査検出手段、ライン数検出手段、識別手段、記憶手段、刻印数検出手段、良否判定手段)
A1,A2 領域
D1,D2 欠陥部分
R 外軌道輪(物体)
RA 端面(検査対象面)
RI 内周面(検査対象面)
RO 外周面(検査対象面)
SL1〜SLn 走査ライン(主走査ライン)
Claims (6)
- 刻印が施された検査対象面を有する物体の外観を検査するための外観検査装置であって、
上記検査対象面を撮像し、その撮像した検査対象面に対応する画像信号を出力する撮像手段と、
この撮像手段から出力される画像信号を2値化して2値画像データに変換する変換手段と、
この変換手段により生成される2値画像データにより表される上記検査対象面の2値画像において、所定の副走査方向にほぼ等間隔で設定された複数の主走査ラインを順に走査して、予め定める値の2値画像データの画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインを検出する走査検出手段と、
この走査検出手段によって検出された刻印候補ラインの連続数を検出するライン数検出手段と、
このライン数検出手段によって検出された刻印候補ライン連続数に基づいて、この連続する刻印候補ラインの領域に、刻印が施されているか欠陥部分が生じているかを識別する識別手段と
を含むことを特徴とする外観検査装置。 - 上記検査対象面に実際に施されているべき刻印の数を記憶する記憶手段と、
上記識別手段で識別された刻印の数をカウントして、上記検査対象面の全域に施されている刻印の数を検出する刻印数検出手段と、
上記記憶手段に記憶されている刻印の数と上記刻印数検出手段によって検出された刻印の数とを比較して、上記検査対象面が良品面であるか不良品面であるかを判定する良否判定手段と
をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。 - 上記変換手段は、上記撮像手段から出力される画像信号に基づいて得られる上記検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割し、この複数の領域に含まれる画素に対応する画像信号を、各領域ごとに設定したしきい値でそれぞれ2値化することにより、上記撮像手段から出力される画像信号を2値画像データに変換するものであることを特徴とする請求項1または2記載の外観検査装置。
- 刻印が施された検査対象面を有する物体の外観を検査するための外観検査方法であって、
上記検査対象面を撮像し、その撮像した検査対象面に対応する画像信号を取得する撮像ステップと、
この撮像ステップで取得された画像信号を2値化して2値画像データに変換する変換ステップと、
この変換後の2値画像データにより表される上記検査対象面の2値画像において、所定の副走査方向にほぼ等間隔で設定された複数の主走査ラインを順に走査して、予め定める値の2値画像データの画素を含む主走査ラインである刻印候補ラインを検出する走査検出ステップと、
この走査検出ステップで検出された刻印候補ラインの連続数を検出するライン数検出ステップと、
このライン数検出ステップで検出された刻印候補ライン連続数に基づいて、この連続する刻印候補ラインの領域に、刻印が施されているか欠陥部分が生じているかを識別する識別ステップと
を含むことを特徴とする外観検査方法。 - 上記検査対象面に実際に施されているべき刻印の数を記憶手段に記憶させる記憶ステップと、
上記識別ステップで識別された刻印の数をカウントして、上記検査対象面の全域に施されている刻印の数を検出する刻印数検出ステップと、
上記記憶手段に記憶されている刻印の数と上記刻印数検出ステップで検出された刻印の数とを比較して、上記検査対象面が良品面であるか不良品面であるかを判定する良否判定ステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項4記載の外観検査方法。 - 上記変換ステップでは、上記撮像ステップで取得された画像信号に基づいて得られる上記検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割し、この複数の領域に含まれる画素に対応する画像信号を、各領域ごとに設定したしきい値でそれぞれ2値化することにより、上記撮像ステップで取得された画像信号が2値画像データに変換されることを特徴とする請求項4または5記載の外観検査方法。
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