JP3554593B2 - 基板移送装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、例えば電子部品を基板に装着する電子部品装着装置などにおいて、基板を搬入搬送路から装着テーブルに送り込み、また装着テーブルから搬出搬送路に送り出す基板移送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板移送装置として、特開昭６３−２９４０００号公報に記載のものが知られている。この基板移送装置１００は、図１１に示すように、基板Ｂに当てがわれこれを直接移動させる送込み部材１０１と、送込み部材１０１を移送方向に移動させるベルト機構１０２と、送込み部材１０１およびベルト機構１０２間に介在させた往復動部材１０３とで構成されており、送込み部材１０１の両アーム１０１ａ，１０１ａにより、搬入搬送路に導入した基板Ｂを装着テーブルに、また電子部品を装着完了した基板Ａを装着テーブルから搬出搬送路に、それぞれ同時に移送する。送込み部材１０１は、ガイドレール１０４により移送方向に進退自在に構成され、同様に往復動部材１０３もガイドレール１０５により移送方向に進退自在に構成されている。往復動部材１０３は、一端がベルト機構１０２のタイミングベルト１０６に固定される一方、他端に送込み部材１０１が係止されている。
【０００３】
すなわち、往復動部材１０３は、部材本体１１１に、固定挟持部材１１２および移動挟持部材１１３を取り付けて構成されており、これら両挟持部材１１２，１１３の間に連結部が挟持されるようにして、送込み部材１０１が往復動部材１０３に係止されている。移動挟持部材１１３は、部材本体１１１に回動自在に取り付けられると共に、コイルばね１１４により挟持方向に付勢されており、基板Ｂを移送する際に基板Ｂが装着テーブルなどに支えると、送込み部材１０１を介して制動力を受け、開くように回動する。この移動挟持部材１１３の回動は、移動挟持部材１１３の一端が臨むセンサ１０７により検出され、基板Ｂの移送不良が検出できるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の基板移送装置１００では、基板Ｂの移送不良を検出するために、送込み部材１０１とベルト機構１０２との間に往復動部材１０３を介在させる必要があり、構造が複雑になると共に、センサ用の信号や電源などの配線を移動可能に設ける必要があり、故障の頻度が増す不具合があった。
【０００５】
一方、この種の基板移送装置では、基板の搬送方向は一方向を標準として、この標準仕様のみを製造していたものであるが、ユーザによってはこの標準仕様の逆方向を望むこと、または装置の納入後に変更を望むこと、さらには正逆方向いずれにいつでも変更できるようにすることを望む場合が増加しつつある。このため、近年このような要請に容易に対応させることができる構造が求められている。
【０００６】
本発明は、単純な構造で基板の移送不良を検出できると共に、構造上、基板の移送方向の逆転に簡単に対応することができる基板移送装置を提供することをその目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明は、移送方向に進退自在に構成された送込み部材と、送込み部材を進退させるベルト機構とを備え、基板に当てがった送込み部材をベルト機構により進退させ、基板を一方の機台上から他方の機台上に移送する基板移送装置において、ベルト機構は、送込み部材が固定されたベルトと、ベルトが掛け渡されると共にベルトの延設方向にそれぞれ微小移動可能に構成された一対のプーリと、各プーリをベルトの張り方向にそれぞれ付勢する一対の付勢手段と、各付勢手段に抗して各プーリがベルトの弛み方向に移動したことをそれぞれ検出する一対の検出手段とを備え、移送方向の手前に配設した付勢手段に対し、先方に配設した付勢手段を付勢力の大きいもので構成したことを特徴とする。とを設けたものである。
【０００８】
この場合、一対の付勢手段が、それぞれコイルばねで構成されており、移送方向の手前に配設したコイルばねに対し、先方に配設したコイルばねをばね力の大きいもので構成することが、好ましい。
【０００９】
【作用】
請求項１の基板移送装置によれば、基板の移送に際し、何らかの要因で基板が支えると、ベルトの走行が制動され、送込み部材固定点を挟んでベルトの移送方向の手前側が大きく弛む一方、先方側が強く張る。これにより、付勢手段に抗して、移送方向先方に位置するプーリが引き寄せられるようにして弛み方向、すなわち内方に微小移動する。このようにプーリがベルトの弛み方向に移動すると、この移動が検出手段により検出され、基板の移送不良が検出される。この場合、一対のプーリに対して、それぞれ付勢手段およびセンサを設けているので、基板の移送方向を逆にする場合に、ベルトの走行方向を逆にするだけで、簡単に対応することができる。さらに、移送方向の手前に配設した付勢手段に対し、先方に配設した付勢手段を付勢力の大きいもので構成することにより、先方に配設した付勢手段により、上記の基板の移送不良を検出することができ、かつその際に手前に配設した付勢手段により、ベルトに生じた弛みを吸収することができる。このため、テンションプーリなどを必要とすることなく、ベルトのプーリからの脱落を防止することができる。なお、上記のように、移送不良の検出は、基板が支えたときにベルトの張り力を直接受ける搬送方向先方にある、プーリ側の検出手段となる。
【００１０】
請求項２の基板移送装置によれば、移送方向の手前に配設したコイルばねに対し、先方に配設したコイルばねをばね力の大きいもので構成することにより、先方に配設したコイルばねにより、上記の基板の移送不良を検出することができ、かつその際に手前に配設したコイルばねにより、ベルトに生じた弛みを吸収することができる。このため、テンションプーリなどを必要とすることなく、ベルトのプーリからの脱落を防止することができる。しかも、基板の移送方向を逆にする場合に、ベルトの走行方向を逆にし、かつ前後のコイルばねを付け替えるだけで、これに簡単に対応することができる。
【００１１】
【実施例】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施例に係る基板移送装置を電子部品装着装置に適用した場合について説明する。図１は電子部品装着装置の正面図であり、図２はその平面図である。両図に示すように、この電子部品装着装置１は、装置本体２を挟んで左右に、電子部品Ａを供給する供給系３と、電子部品Ａを基板Ｂに装着する装着系４とを配して構成されている。装置本体２には、駆動系の主体を為すインデックスユニット１１と、これに連結された回転テーブル１２と、回転テーブル１２の外周部に搭載した複数個（１２個）の装着ヘッド１３とが設けられており、回転テーブル１２は、インデックスユニット１１により、装着ヘッド１３の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転される。回転テーブル１２が間欠回転すると、各装着ヘッド１３が供給系３および装着系４に適宜臨み、供給系３から供給された電子部品Ａを吸着した後、装着系４に回転搬送し、装着系４に導入した基板Ｂにこれを装着する。
【００１２】
供給系３は、基板Ｂに装着する電子部品Ａの種類に応じた数の部品供給装置２１を有し、部品供給装置２１は、一対のガイドレール２２，２２にスライド自在に案内された供給台２３に、横並びに着脱自在に設けられている。供給台２３には、そのスライド方向にボールねじ２４が螺合しており、供給台２３は、ボールねじ２４の一方の端に連結した送りモータ２５の正逆回転により進退され、装着ヘッド１３の吸着位置に部品供給装置２１を選択的に臨ませる。各部品供給装置２１は、電子部品用のキャリアテープＣを巻回したテープリール２６と、テープリール２６からキャリアテープＣを巻出すテープフィーダ２７と、キャリアテープＣのカバーテープを巻取るカバーテープリール２８とで構成されている。
【００１３】
電子部品Ａは、テープ本体とカバーテープとから成るキャリアテープＣに所定のピッチで装填されており、カバーテープを剥がした状態で、装着ヘッド１３により吸着される。テープフィーダ２７およびカバーテープリール２８は、装置本体２に設けたテープ送り駆動装置１４により回転テーブル１２に同期して作動され、吸着に先立ち、それぞれキャリアテープＣを間欠送りすると共にカバーテープを間欠的に巻取ってゆく。テープフィーダ１７によりテープリール２６から巻出されたキャリアテープＣは、電子部品Ａの装填ピッチに対応して間欠送りされてゆき、またカバーテープは吸着位置の直前で剥がされてゆく。そして、吸着位置に達した電子部品Ａは、下降してくる装着ヘッド１３に随時、吸着されてゆく。一方、剥がされたカバーテープは、カバーテープリール２８に巻取られ、電子部品Ａが吸着された後のテープ本体は、装置本体２に設けたテープ切断装置１５により装填ピッチに対応する寸法で細かく切断されてゆく。
【００１４】
装着系４は、載置した基板ＢをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させるＸＹテーブル３１と、ＸＹテーブル３１の前後に配設した搬入搬送路３２および搬出搬送路３３と、搬入搬送路３２上の基板ＢをＸＹテーブル３１に、同時にＸＹテーブル３１上の基板Ｂを搬出搬送路３３に移送する基板移送装置３４とで、構成されている。ＸＹテーブル３１は、基板Ｂを直接載置するＹ軸テーブル３５と、Ｙ軸テーブル３５を載置するＸ軸テーブル３６とで構成され、Ｙ軸テーブル３５はねじ機構を介してＹ軸モータ３７により進退され、同様にＸ軸テーブル３６はねじ機構を介してＸ軸モータ３８により進退される。その際、Ｘ軸モータ３８およびＹ軸モータ３７は、図外の制御装置により正逆回転をそれぞれ制御され、基板ＢをＸ軸方向およびＹ軸方向に適宜移動させて、基板Ｂの部品装着部位を装着ヘッド１３の装着位置に臨ませる。
【００１５】
搬入搬送路３２の下流端まで送られてきた基板Ｂは、基板移送装置３４により、ＸＹテーブル３１上に移送され、同時に電子部品Ａの装着が完了したＸＹテーブル３１上の基板Ｂは、この基板移送装置３４により、搬出搬送路３３に移送される。ＸＹテーブル３１上に導入された基板Ｂは、ＸＹテーブル３１により適宜移動され、各装着ヘッド１３により次々と送られてくる電子部品Ａに対応して、その部品装着部位を装着位置に臨ませ、各装着ヘッド１３から電子部品Ａの装着を受ける。このようにして、全ての電子部品Ａの装着が完了した基板Ｂは、再度、基板移送装置３４により、ＸＹテーブル３１から搬出搬送路３３に移送され、また同時に新たな基板Ｂが、搬入搬送路３２からＸＹテーブル３１に導入される。
【００１６】
装置本体２は、支持台１６上に駆動系の主体を為すインデックスユニット１１を有しており、インデックスユニット１１は、動力源となる図外の駆動モータからウォーム減速機を介して入力した等速回転運動を動力変換して、回転テーブル１２を間欠回転させると共に、出力軸（図示せず）を介して、回転テーブル１２の間欠周期に同期（連動）させ、上記のテープ送り駆動装置１４やテープ切断装置１５を作動させ、かつ後述の装着ヘッド昇降装置５１，５２や、ノズル選択装置５３などを作動させる。
【００１７】
回転テーブル１２は、インデックスユニット１１から垂下した鉛直軸４１に固定され、平面視時計廻りに間欠回転される。回転テーブル１２の外周部には、各２本のロッド４２，４２を介して、周方向に等間隔に１２個の装着ヘッド１３が、上下動自在に取り付けられている。この場合、回転テーブル１２の間欠回転は、装着ヘッド１３の数に合わせて一回転に対して１２間欠周期となっており、この間欠回転により公転する各装着ヘッド１３は、共有する１２箇所の停止位置にそれぞれ停止する。
【００１８】
各装着ヘッド１３には、周方向に等間隔に配設した複数本（実施例では６本）の吸着ノズル４３が、それぞれ出没自在に、かつ全体として鉛直軸廻りに公転可能に取り付けられている。吸着ノズル４３は、６本・６種類のものが用いられ、電子部品Ａの大きさなどに対応して、適切な一の吸着ノズル４３を選択できるようになっている。そして、この選択は、選択した一の吸着ノズル４３を、装着ヘッド１３のノズルセット位置に公転移動させかつ突出させることにより、行われる。
【００１９】
また上記の、各２本のロッド４２，４２は、回転テーブル１２を貫通して上方に延びており、その上端に取り付けた上下一対のカムフォロア４４ａ，４４ｂを介して、支持台１６の下側に固定した円筒体４５の円筒リブカム４６に係合している。回転テーブル１２の間欠回転に伴って、装着ヘッド１３およびロッド４２が回転すると、カムフォロア４４ａ，４４ｂが円筒リブカム４６に転接し、円筒リブカム４６の輪郭曲線に倣って装着ヘッド１３が上下動する。具体的には、吸着側の吸着ポイントに対し装着側の装着ポイントが低い位置に有るため、吸着側に公転移動してゆく装着ヘッド１３はゆっくり上動し、装着側に公転移動してゆく装着ヘッド１３はゆっくり下動する。
【００２０】
一方、回転テーブル１２の間欠回転に伴う吸着位置および装着位置を含む１２箇所の停止位置には、装着ヘッド１３にアクセスする各種の装置が、支持台１６に取り付けられるようにして、組み込まれている。
【００２１】
吸着位置には、上記のロッド４２に取り付けたカムフォロア４４ａ，４４ｂに係合し、カムフォロアカムフォロア４４ａ，４４ｂを円筒リブカム４６から離脱させて、装着ヘッド１３を電子部品Ａの吸着のために下降させる装着ヘッド昇降装置５１が、同様に装着位置にも、装着ヘッド１３を電子部品Ａの装着のために下降させる装着ヘッド昇降装置５２が、それぞれ組み込まれている。なお、両装着ヘッド昇降装置５１，５２は、アーム長が異なるだけで、基本構造は同一である。
【００２２】
また、時計廻りに装着位置の次の次の停止位置には、吸着ノズル４３を公転させ、選択した一の吸着ノズル４３を外側に位置するノズルセット位置に移動させるノズル選択装置５３が、その次の停止位置には、装着ヘッド１３を下降させ突当て台に突き当てて不要な吸着ノズル４３を没入させると共に、装着ヘッド１３を上昇させながら選択した吸着ノズル４３を突出させるノズル出没装置５４が、更にその次の停止位置には、突出した吸着ノズル４３の突出長を調整するノズル長さ調整装置５５が、それぞれ組み込まれている。
【００２３】
同様に、続く吸着位置の一つ手前の停止位置には、吸着ノズル４３を公転させ、吸着位置に臨む吸着ノズル４３の左右方向（供給台の進退方向に直交する方向）の位置を補正するノズル位置補正装置５６が、また吸着位置の次の停止位置には、吸着ノズル４３を公転させ、吸着ノズル４３を元のノズルセット位置に復帰させるノズル復帰装置５７が、その次の次の停止位置には、吸着した電子部品Ａの姿勢（水平面内における姿勢）を画像認識する部品認識装置５８が、その次の停止位置には、部品認識装置５８の認識結果に基づいて、吸着ノズル４３を公転させ、吸着した電子部品Ａを装着時の姿勢になるように補正する部品角度補正装置５９が、それぞれ組み込まれている。なお、上記のインデックスユニット１１の出力軸には複数本のカム軸が連結されており、これら各装置は、各装置に対応させてこのカム軸にそれぞれ設けたカムにより、回転テーブル１２の間欠周期に同期して作動される。
【００２４】
ここで、任意の一の装着ヘッド１３の動作を例に、装置本体２の一連の動作を簡単に説明する。装着位置において基板Ｂに電子部品Ａを装着した装着ヘッド１３は、間欠回転する回転テーブル１２により吸着位置に向かって公転送りされてゆき、制御指令に基づく、吸着ノズル４３の選択、吸着ノズル４３の突出・没入、突出長さ調整、および位置補正が順次行われながら、吸着位置に達する。一方、吸着系３では、装着ヘッド１３が吸着位置の一つ手前の停止位置から吸着位置に移動してくる間に、制御指令に基づき、供給台２３を進退させ、該当する電子部品用の部品供給装置２１を吸着位置に臨ませる。
【００２５】
ここで電子部品Ａを吸着した装着ヘッド１３は、今度は装着位置に向かって公転送りされてゆき、制御指令に基づく、吸着ノズル４３のノズルセット位置への復帰、吸着した電子部品Ａの認識、およびこれに基ずく電子部品Ａの角度補正が順次行われながら、装着位置に達する。一方、装着系４では、装着ヘッド１３が装着位置の一つ手前の停止位置から装着位置に移動してくる間に、制御指令に基づき、ＸＹテーブル３１を作動させて、基板Ｂの部品装着部位を装着位置に臨ませる。そして、装着ヘッド昇降装置５２により装着ヘッド１３が下降され、基板Ｂに電子部品Ａが装着される。
【００２６】
次に、図３乃至図１１を参照して、基板移送装置３４について詳細に説明する。上述したように、基板移送装置３４は、搬入搬送路３２の下流端まで搬送されてきた基板Ｂを搬入搬送路３２からＸＹテーブル３１に移送し、同時に電子部品Ａの装着が完了したＸＹテーブル３１上の基板Ｂを搬出搬送路３３に移送するものであり、図３および図４に示すように、搬入搬送路３２、ＸＹテーブル３１および搬出搬送路３３には、基板Ｂを適正姿勢に保持した状態で、これを移送できるように、基板Ｂの移動を案内する一対の基板用レール３１ａ，３１ａ，３２ａ，３２ａ，３３ａ，３３ａがそれぞれ設けられている。
【００２７】
各基板用レール３１ａ，３２ａ，３３ａには、内向きに「コ」字状のレール溝が形成されており、基板Ｂの両側端部がこれに挿入されて案内される。ＸＹテーブル３４に設けられた一方の基板用レール３１ａには、レール溝に臨む多数のローラ６１が列設され、またローラ６１はばね６２により、基板Ｂ側に付勢されている。これにより、ＸＹテーブル３１に導入された基板Ｂは、一方の基板用レール３１ａ側から他方の基板用レール３１ａ側に押圧され、ＸＹテーブル３１上に不動に保持される。
【００２８】
基板移送装置３４は、ＸＹテーブル３１に沿って配設されており、図５に示すように、基板Ｂに当てがわれこれを直接移動させる送込み部材７１と、送込み部材７１を移送方向に移動させるベルト機構７２とで構成されている。送込み部材７１は、ガイドレール７３に進退自在に取り付けられた部材本体７１ａと、部材本体７１ａからＸＹテーブル３１側に延びる一対の送りアーム７１ｂ，７１ｂと、ベルト機構７２に固定された連結部７１ｃとで構成されており、後述するベルト機構７２のタイミングベルト８１の走行により、ガイドレール７３に沿って進退し、送りアーム７１ｂ，７１ｂにそれぞれ当てがった２枚の基板Ｂ，Ｂを同時に前方に移送する。
【００２９】
ベルト機構７２は、送込み部材７１の連結部７１ｃが固定されたタイミングベルト８１と、このタイミングベルト８１が掛け渡された前後一対の駆動プーリ８２および従動プーリ８３と、タイミングベルト８１の弛みを取る前後一対のテンションプーリ８４ａ，８４ｂとを備えており、駆動・従動両プーリ８２，８３は、それぞれ支軸８２ａ，８３ａの部分で揺動板８５ａ，８５ｂに回転自在に取り付けられ、この両揺動板８５ａ，８５ｂを介して、フレーム側にそれぞれ取り付けられている。これら各プーリ８２，８３の支軸８２ａ，８３ａには、一端をフレーム側に固定したコイルばね８６ａ，８６ｂが掛止めされており、駆動・従動両プーリ８２，８３は、コイルばね８６ａ，８６ｂにより、相互にタイミングベルト８１の張り方向に付勢されている。すなわち、この両プーリ８２，８３は、コイルばね８６ａ，８６ｂにより、相互に外方向に付勢されると共に、揺動板８５ａ，８５ｂを介して前後方向に微小移動可能に構成されている。
【００３０】
一方、各揺動板８５ａ，８５ｂの基部側には、それぞれコイルばね８６ａ，８６ｂに抗して、揺動板８５ａ，８５ｂの外方への揺動を規制するストッパ８７ａ，８７ｂが設けられ、また、各揺動板８５ａ，８５ｂの先端部側には、それぞれ揺動板８５ａ，８５ｂの内方への揺動を検出するセンサ８８ａ，８８ｂが設けられている。各センサ８８ａ，８８ｂはフォトインタラプタなどで構成されており、タイミングベルト８１に引っ張られて揺動板８５ａ，８５ｂが内方に大きく揺動すると、揺動板８５ａ，８５ｂの先端がセンサ８８ａ，８８ｂの光路を遮断し、後述する基板Ｂの移送不良が検出される。そして、この両センサ８８ａ，８８ｂには制御装置７４が接続され、センサ８８ａ，８８ｂの検出結果に基づいて、制御装置７４により駆動プーリ８２を回転停止できるようになっている。
【００３１】
次に、図６および図７を参照して、このように構成された基板移送装置３４の動作を、基板Ｂを後方から前方（図示では左から右）に送る標準仕様と、前方から後方（図示では右から左）に送る特別仕様とに分けて説明する。図６は標準仕様であり、駆動プーリ８２が時計方向に回転して、送込み部材７１が後方から前方に移動して、２枚の基板Ｂ，Ｂが同時に前方に移送される。ここで、一方の基板ＢがＸＹテーブル３１または搬出搬送路３３に支えた場合（移送不良）を想定する。同図に示すように、基板Ｂが支えると、タイミングベルト８１に制動力が働き、タイミングベルト８１は、送込み部材７１の固定点を挟んで、前側が強く張り、後側が大きく弛む。このタイミングベルト８１の後側の弛みは、後側のテンションプーリ８４ｂにより吸収され、前側の張りは、従動プーリ８３をタイミングベルト８１の弛み方向、すなわち内側に引き、揺動板８５ａをコイルばね８６ａに抗して内方に大きく揺動させる。そして、この揺動は前側のセンサ８８ａにより、基板Ｂの移送不良として検出される。
【００３２】
一方、図７は特別仕様であり、この場合には、駆動プーリ８２が反時計方向に回転して、送込み部材７１が前方から後方に移動して、２枚の基板Ｂ，Ｂが同時に後方に移送される。この場合に移送不良が発生すると、同図に示すように、タイミングベルト８１は、送込み部材７１の固定点を挟んで、後側が強く張り、前側が大きく弛む。そして、このタイミングベルト８１の前側の弛みは、前側のテンションプーリ８４ａにより吸収され、後側の張りは、駆動プーリ８２を内側に引き、揺動板８５ｂをコイルばね８６ｂに抗して内方に大きく揺動させる。そして、この揺動は後側のセンサ８８ｂを介して、基板Ｂの移送不良として検出される。
【００３３】
以上のように本実施例によれば、前後一対の駆動・従動両プーリ８２，８３に対して、揺動板８５ａ，８５ｂ、コイルばね８６ａ，８６ｂおよびセンサ８８ａ，８８ｂを、それぞれ対称に配設することにより、従来のように複雑な構造を執ることなく、単純な構造で、基板Ｂの移送不良を検出することができ、かつ移送方向を逆転させる仕様にも、極めて簡単に対応させることができる。
【００３４】
次に、図８乃至図１０を参照して、本発明の実施例に係る基板移送装置３４について説明する。図８に示すように、この基板移送装置３４では、第１実施例の基板移送装置３４の両テンションプーリ８４ａ，８４ｂを省略すると共に、移送方向の手前（後方）に位置するコイルばね８９ｂに対し、先方（前方）に位置するコイルばね８９ａが、ばね力の大きいもので構成されている。また、第２実施例は、これらの要素と、ストッパ８７ａ，８７ｂの位置が異なる以外は、第１実施例と同様の構造を有している。
【００３５】
図９は、基板Ｂを前方に移送する標準仕様であり、同図に示すように、タイミングベルト８１の後側の弛みは、駆動プーリ８２側のコイルばね８９ｂにより、揺動板８５ｂを介して、駆動プーリ８２を外方に微小移動することにより吸収され、前側の張りは、従動プーリ８３を内側に引き、揺動板８５ａをコイルばね８９ａに抗して内方に大きく揺動させる。そして、この揺動がセンサ８８ａにより、基板Ｂの移送不良として検出される。
【００３６】
図１０は、基板Ｂを後方に移送する特別仕様であり、この場合には、前後のコイルばね８９ａ，８９ｂを相互に付け替えると共に、各ストッパ８７ａ，８７ｂの位置を、それぞれ揺動板８５ａ，８５ｂを挟んで前後逆に付け替えている。これにより、上記の標準仕様と同様に、タイミングベルト８１の張りが従動プーリ８３側のコイルばね８９ｂで保たれ、基板の移送不良が駆動プーリ８２側のセンサ８８ｂにより検出される。
【００３７】
以上のように、第２実施例によれば、相互にばね力の異なるコイルばね８９ａ，８９ｂおよびストッパ８７ａ，８７ｂを付け替えるだけで、移送方向を逆転させる仕様にも、簡単に対応させることができる。また、テンションプーリ８４ａ，８４ｂを省略でき、構造を単純化することができる。なお、コイルばね８９ａ，８９ｂやストッパ８７ａ，８７ｂの付け替えと共に、センサ８８ａ，８８ｂを付け替えるようにしてもよく、かかる場合には、センサ８８ａ，８８ｂの一方を省略することができる。
【００３８】
なお、本実施例では、コイルばねを各プーリの支軸に掛止めしているが、揺動板に掛止めするようにしてもよい。また、揺動板に代えて、移送方向にスライドするスライド板を用いるようにしてもよい。さらに、検出手段は、上記した機能を有する限り、その構造は任意である。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように本発明の基板移送装置によれば、単純な構造で基板の移送不良を検出できると共に、構造上、基板の移送方向の逆転仕様に簡単に対応することができ、低コストでユーザーの要望に迅速に対応させることができ、さらに、移送方向の手前に配設した付勢手段に対し、先方に配設した付勢手段を付勢力の大きいもので構成することにより、先方に配設した付勢手段により、上記の基板の移送不良を検出することができ、かつその際に手前に配設した付勢手段により、ベルトに生じた弛みを吸収することができるため、テンションプーリなどを必要とすることなく、ベルトのプーリからの脱落を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る基板移送装置を搭載した電子部品装着装置の正面図である。
【図２】実施例の基板移送装置を搭載した電子部品装着装置の平面図である。
【図３】実施例の基板移送装置廻りの斜視図である。
【図４】実施例の基板移送装置廻りの平面図である。
【図５】基板移送装置の構造図である。
【図６】基板移送装置の標準仕様を表した構造図である。
【図７】基板移送装置の特別仕様を表した構造図である。
【図８】実施例の基板移送装置の構造図である。
【図９】実施例の基板移送装置の標準仕様を表した構造図である。
【図１０】実施例の基板移送装置の特別仕様を表した構造図である。
【図１１】従来の基板移送装置の平面図である。
【符号の説明】
１ 電子部品装着装置
３１ ＸＹテーブル
３２ 搬入搬送路
３３ 搬出搬送路
３４ 基板移送装置
７１ 送込み部材
７２ ベルト機構
８１ タイミングベルト
８２ 駆動プーリ
８３ 従動プーリ
８６ａ，８６ｂ コイルばね
８８ａ，８８ｂ センサ
Ｂ 基板

Claims (2)

1. 移送方向に進退自在に構成された送込み部材と、当該送込み部材を進退させるベルト機構とを備え、基板に当てがった前記送込み部材を前記ベルト機構により進退させ、当該基板を一方の機台上から他方の機台上に移送する基板移送装置において、
   前記ベルト機構は、前記送込み部材が固定されたベルトと、
   当該ベルトが掛け渡されると共にベルトの延設方向にそれぞれ微小移動可能に構成された一対のプーリと、
   当該各プーリをベルトの張り方向にそれぞれ付勢する一対の付勢手段と、
   当該各付勢手段に抗して前記各プーリがベルトの弛み方向に移動したことをそれぞれ検出する一対の検出手段とを備え、
   移送方向の手前に配設した前記付勢手段に対し、先方に配設した前記付勢手段を付勢力の大きいもので構成したことを特徴とする基板移送装置。
2. 前記一対の付勢手段は、それぞれコイルばねで構成されており、移送方向の手前に配設したコイルばねに対し、先方に配設したコイルばねをばね力の大きいもので構成したことを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。

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