JP3520629B2 - 光学ピックアップ及びこの光学ピックアップを用いた記録及び/又は再生装置 - Google Patents
光学ピックアップ及びこの光学ピックアップを用いた記録及び/又は再生装置Info
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Description
及びこの光学ピックアップを用いる記録及び/又は再生
装置に関し、特に光磁気ディスク(MO)等のディスク
状記録媒体に記憶情報を記録及び/又は再生を行なうた
めの光学ピックアップ及び記録及び/又は再生装置に関
する。
/再生を行なうための光学ピックアップは、図22に示
すように構成されている。図22において、光学ピック
アップ1は、半導体レーザ素子2,回折格子3,ビーム
スプリッタ4,対物レンズ5,偏光分離光学素子6,シ
リンドリカルレンズ7及び光検出器8を備えている。
れば、半導体レーザ素子2から出射された光ビームは、
回折格子3を透過して、ビームスプリッタ4に入射し、
ビームスプリッタ4で半導体レーザ素子2から出射され
た光ビームと光磁気ディスクMOからの戻り光ビームと
が分離される。ここで、ビームスプリッタ4は、一般
に、一対の光学プリズムとこれら一対の光学プリズムの
間に蒸着,スパッタリング等により形成された多層誘電
体層から成る反射面4aから構成されている。
過した半導体レーザ素子2からの例えばP偏光成分の光
ビームは、対物レンズ5に入射する。対物レンズ5は、
入射光を光磁気ディスクMOの信号記録面のある一点に
収束して照射すると共に、例えば対物レンズアクチュエ
ータ(図示せず)によって、フォーカス方向及びトラッ
キング方向に駆動されるようになっている。
れると共にカー効果(磁気カー効果)によって偏光面が
回転されてS偏光成分のMO信号(光磁気信号)を含む
戻り光ビームは、再び対物レンズ5を介して、ビームス
プリッタ4に入射する。ここで、戻り光ビームは、ビー
ムスプリッタ4の反射面4aにより、S偏光成分が反射
される。
射されたS偏光成分は、偏光分離光学素子6により、複
数本(例えば3本)の光ビームに分離され、各光ビーム
がそれぞれシリンドリカル7に入射する。そして、シリ
ンドリカルレンズ7に入射した各光ビームは、フォーカ
スエラー検出のために、非点収差が付与されると共に、
光検出器8までの戻り光ビームの光路長を調整するよう
になっている。
介して入射される各光ビームを受光するために、その受
光面が、図示のように複数個の受光部に分割されてい
る。これにより、光検出器8の各受光部からの検出信号
に基づいて、MO信号と、フォーカスエラー信号,トラ
ッキングエラー信号等のエラー信号が検出される。この
場合、光検出器8の中央の受光部8aは、図23に示す
ように、縦横に分割された受光部A,B,C,Dを備え
ており、光磁気ディスクからの戻り光ビームの収束位置
と光検出器8の受光面が一致している、所謂集光状態に
おいては、図23の中央に示すように、光検出器8の中
央の受光部8aに、円形のスポットが形成される。
の収束位置より光検出器8の受光面が遠い、所謂前ピン
状態においては、図23の左側に示すように、光検出器
8の中央の受光部8aには、左上がりの楕円形のスポッ
トが形成される。これに対して、光磁気ディスクからの
戻り光ビームの収束位置より光検出器8の受光面が近
い、所謂後ピン状態においては、図23の右側に示すよ
うに、光検出器8の中央の受光部8aには、右上がりの
楕円形のスポットが形成されることになる。従って、フ
ォーカスエラー信号FEは、受光部8aの各受光部A,
B,C,Dの検出信号SA,SB,SC,SDに基づい
て、
FEに基づいて、対物レンズ5のフォーカスサーボを行
なうことにより、対物レンズ5のフォーカシングが行わ
れることになる。
うに構成された光学ピックアップ1においては、フォー
カスエラー信号FEを検出するためには、シリンドリカ
ルレンズ7が必要であることから、部品コストが高くな
ると共に、組立の際にシリンドリカルレンズ7の正確な
位置合わせが必要となるので、組立コストも高くなって
しまうという問題があった。
るためのスペースが必要となるため、光学ピックアップ
全体が大型化してしまうと共に、シリンドリカルレンズ
7が光路中に挿入されることから、光検出器8に達する
戻り光に関して、シリンドリカルレンズ7による光強度
の低下や収差の付加が生じてしまうという問題があっ
た。
エラーを検出する方法としては、上記のシリンドリカル
レンズ7による非点収差の付加の他に、例えばプリズム
によるフーコー法が知られているが、この場合も、光路
中にプリズムを配設する必要があるため、部品コスト及
び組立コストが高くなると共に、スペース,光強度低下
や収差の付加という問題があった。
ームに収差を付与するような光学素子を省除して、信頼
性を向上させることができるとともに、必要最低限の光
学素子を用いて小型に構成されるようにした、光学ピッ
クアップを提供することを目的としている。
め、本発明は、光ビームを出射する光源と、前記光源か
ら出射された光ビームを光磁気記録媒体の信号記録面上
に集光するように照射する対物レンズと、前記光源と対
物レンズとの間の収束光路又は発散光路中に配設され、
光磁気記録媒体からの戻り光ビームの透過及び反射を行
なう偏光特性を有する光分離手段と、前記光分離手段に
より分離された反射光又は透過光を受光し、前記光磁気
記録媒体の記録信号を含む光ビームを分けて、互いに異
なる方向に分離する偏光分離手段と、前記偏光分離手段
により分離された戻り光ビームの常光成分又は異常光成
分を受光する光検出器とを備え、前記光検出器が、上記
光分離手段により偏光方位の回転分布を受け、かつ上記
偏光分離手段を通り分離されて入射する戻り光の偏光方
向に対し角度を有するように延びる分割線によって分割
された受光面を有し、前記回転分布を受けた光が偏光分
離手段を通り光強度分布を生じさせて各受光面で受光さ
れる受光出力に基づいてフォーカシングエラーを検出す
るようにしたものである。
ビームは、光分離手段及び対物レンズを介して光磁気記
録媒体の信号記録面に照射される。光磁気記録媒体の信
号記録面により反射されると共に、カー効果によって偏
光面が回転された光磁気信号を含む戻り光ビームは、再
び対物レンズを介して光分離手段にて分離され、例えば
偏光性ホログラム素子またはウォラストンプリズム等の
偏光分離手段に入射する。そして、戻り光ビームは、偏
光分離手段によって、前記光磁気記録媒体の記録信号を
含む光ビームを分けて、例えば常光及び異常光に分離さ
れ、この常光または異常光が光検出器に入射することに
なる。これにより、光検出器の検出信号に基づいて、フ
ォーカシングエラー信号が検出されることになる。
を図1乃至図21を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例で
あるから、技術的に好ましい種々の限定が付されている
が、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を
限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られる
ものではない。
第一の実施形態を示している。図1において、光学ピッ
クアップ10は、半導体レーザ素子11,グレーティン
グ12,光分離手段としての偏光ビームスプリッタ1
3,対物レンズ14,偏光分離手段としての偏光性ホロ
グラム素子15及び光検出器16から構成されている。
結合発光を利用した発光素子であり、光源として使用さ
れる。半導体レーザ素子11から出射した光ビームは、
グレーティング12に導かれる。
させるものであり、半導体レーザ素子11から出射した
光ビームを、トラッキング方向即ち紙面に対して垂直な
方向に0次回折光及びプラスマイナス1次回折光の少な
くとも3本の分割光ビームに分離するために使用され
る。
ミラー面13aが、偏光分離膜として構成されていると
共に、光源である半導体レーザ素子11と対物レンズ1
4との間の収束光路または発散光路中にて、対物レンズ
14の光軸に対して45度傾斜した状態で配設されてお
り、半導体レーザ素子11から出射した光ビームと光デ
ィスク17の信号記録面からの戻り光を分離する。
13を透過した光ビームを、回転駆動される光磁気ディ
スクMOの信号記録面の所望のトラック上に収束させ
る。
れた光ビームは、戻り光ビームとして、再び対物レンズ
14を介して、偏光ビームスプリッタ13に導かれる。
そして、偏光ビームスプリッタ13のハーフミラー面1
3aで反射された戻り光ビームは、偏光性ホログラム素
子15を透過した後、光検出器16の受光部に入射され
ることになる。
りトラッキング方向に分離された3本のビーム、即ち0
次光及びプラスマイナス1次光、そして上記偏光性ホロ
グラム素子15により偏光分離された各分離光に対し
て、それぞれ受光部を有するように構成されている。
ビームは、直線偏光であって、図2に示すように、光の
進行方向に対して横向きの互いに平行な偏光方向を有し
ている。このような光ビームが、上記偏光ビームスプリ
ッタ13に対して、発散収束光として入射すると、図3
に示すように、偏光ビームスプリッタ13の偏光分離膜
であるハーフミラー面13aを通過することにより、図
4に示すように、偏光方位角aがbになるように回転さ
れることによって、光ビームは、図5に示すように、そ
の偏光方向が互いに平行にならず、偏光方位角の回転分
布を生ずることになる。
角α(図6参照)は、図3の偏光ビームスプリッタ13
の入射面におけるcd間の任意の点を通る光線に対し
て、
は、偏光ビームスプリッタ13の屈折率)とすると、端
点においては、sinb=NA/nであるから、
た光ビームが、光磁気ディスクMOで全反射されるとす
ると、光磁気ディスクMOからの戻り光は、同様に図5
に示す偏光状態になっており、偏光ビームスプリッタ1
3に入射することになる。そして、偏光ビームスプリッ
タ13のハーフミラー面13aで反射された光ビーム
が、偏光性ホログラム素子15に入射する。
常光を透過させ且つ異常光を回折するように構成されて
いる。これにより、偏光性ホログラム素子15は、偏光
ビームスプリッタ13で反射される光磁気ディスクMO
の記録面からの戻り光を0次光及びプラスマイナス1次
回折光に分離するようになっている。
屈折回折格子型素子として構成されており、ニオブ酸リ
チウムから成る基板と、この基板の入射側に、例えば安
息香酸によるプロトン交換法により形成された格子とか
ら構成されている。これにより、この格子の領域にて、
常光に対する屈折率は、0.13程度増大し、また異常
光に対する屈折率は、0.04程度減少する。
記プロトン交換による格子の上に、透過する常光線が受
ける位相差をキャンセルするように選定された厚さの誘
電体から成る位相補償膜が設けられている。これによ
り、見かけ上異常光線に対してのみプロトン交換による
屈折率変化が生ずるように、観察されることになる。
は、入射する偏光の向きを水平方向とし、結晶光軸が4
5度傾いている場合、図7に示すように、偏光ビームス
プリッタ13で反射される戻り光ビームに対して、この
戻り光ビームを形成する直交成分のうち、常光成分につ
いては、100%0次光として透過すると共に、0次以
外の回折光を出射しないようにする。また残りの直交成
分である異常光成分については、プラスマイナス1次回
折光として出射すると共に、0次光を出射しないように
なっている。図7に示すように、入射光を、光学軸Xの
方向に関して、垂直な方向の常光と平行な方向の異常光
に分割することになる。即ち、入射する戻り光ビーム
は、図示のように、常光が0次光として透過すると共
に、異常光がプラスマイナス1次光として、回折される
ことになる。
子15に、直線偏光(図2参照)が入射する場合には、
入射光の位置a,b,cにおける偏光方位角の分布は、
図8に示すように、入射光のスポット全体にて一様に均
一であるので、各位置における常光成分Io,異常光成
分Ieは、図9に示すように、何れも同じになってい
る。
偏光性ホログラム素子15に入射した場合には、入射光
の位置a,b,cにおける偏光方位角の分布は、図10
に示すように、偏光方位の回転分布を受けていることか
ら、各位置における常光成分Io,異常光成分Ieは、
図11に示すように、偏光方位に基づいて、IoがIe
に対して大きくなったり小さくなったりすることにな
る。即ち、このような偏光方位の回転分布を有する偏光
は、図12に示すように、常光成分Ioと異常光成分I
eは、スポットセンターに対して、それぞれ反対側にピ
ークを有する光強度分布特性になる。ここで、異常光成
分については、+1次光と−1次光は、それぞれ同じ光
強度分布を有している。また、0次光の光強度分布は、
プラスマイナス1次光とは対称になる。
した0次光に関する光強度分布について観察すると、0
次光の光強度分布は、図13及び図14に示すようにな
っている。従って、図15に示すように、戻り光ビーム
の0次光に関して、光検出器16が戻り光の収束位置に
ある場合、集光状態にあって、0次光の光強度のピーク
は、スポットセンターに一致している。また、光検出器
16が、この収束位置に対して、手前にある場合には、
光検出器16の受光面にはスポットaが形成されるの
で、光強度のピークは、スポットセンターに対して一側
にずれることになる。さらに、光検出器16が、この収
束位置に対して、反対側にある場合には、光検出器16
の受光面にはスポットcが形成されるので、光強度のピ
ークは、スポットセンターに対して他側にずれることに
なる。
ログラム素子15を透過した0次光が入射する受光面1
6aが、図16に示すように、縦方向に延びる分割線に
よって、4つの受光部A,B,C,Dに分割されてい
る。中央の受光部C,Dを分割する分割線は、受光面の
中心を通るように構成されていると共に、受光部C,D
の幅は比較的狭くなっている。
16が相対的に遠い側から手前に向かって(即ち図15
におけるスポットcからスポットaに向かって)移動す
る場合、光検出器16の受光面に形成される戻り光ビー
ムの0次光のスポットは、図16の(1)から(6)の
ように変化する。即ち、収束位置から遠い側にある場合
(図16の位置(1)から(3)参照)には、受光部
C,Dからの検出信号SC,SDは、その差(SC−S
D)が正であって、収束位置に接近するに従って、スポ
ットの径が小さくなる。これに対して、収束位置から手
前にある場合(図16の位置(4)から(6)参照)に
は、受光部C,Dからの検出信号の差(SC−SD)が
負であって、収束位置から離れるに従って、スポットの
径が大きくなる。
ー信号FEは、図17に示すように変化することにな
る。この場合、集光位置を挟む二つのピークの間が、引
き込み範囲として、例えば10μm程度に設定される。
よるサーボ回路の構成例を示している。ここで、光検出
器16は、図18に示すように、上記受光面16aの他
に、グレーティング12により分離された回折光を受光
するための受光部E,Fと、偏光性ホログラム素子15
により分離されたプラスマイナス1次光を受光するため
の受光部I,Jを備えている。
20は、光検出器16の各受光面16aの受光部A,
B,C,Dと、各受光部E,F,I,Jからの検出信号
SA,SB,SC,SD,SE,SF,SI,SJが入
力される演算回路21と、演算回路21からのサーボ信
号が入力されるサーボ回路とから構成されている。
算に基づいて、フォーカスエラー信号FEを演算すると
共に、トラッキングエラー信号TEを
キングエラー信号TEをサーボ回路22に出力する。
ラー信号FE及びトラッキングエラー信号TEに基づい
て、対物レンズ14の駆動装置に対してサーボ信号を出
力して、対物レンズ14のフォーカシング及びトラッキ
ングを行なう。
0は以上のように構成されており、半導体レーザ素子1
1から出射された光ビームは、グレーティング12及び
偏光性ビームスプリッタ13を介して対物レンズ14に
入射し、対物レンズ14により光磁気ディスクMOの信
号記録面に収束される。
れると共にカー効果によって偏光面が回転されて例えば
S偏光成分のMO信号(光磁気信号)を含む戻り光ビー
ムは、対物レンズ14を透過して、偏光ビームスプリッ
タ13に入射し、ハーフミラー面13aで反射されて、
偏光性ホログラム素子15に入射する。そして、偏光性
ホログラム素子15により、戻り光ビームは、常光の0
次光が透過すると共に、異常光のプラスマイナス1次回
折光が、それぞれ回折されることになる。
射光は、図5に示すように、偏光方位の回転分布を有し
ていることから、偏光性ホログラム素子15を透過する
常光成分の0次光は、フォーカシングの状態によって、
そのピーク位置がスポットセンターからずれるので、こ
のずれを検出することにより、フォーカシングエラーが
検出されることになる。
性ホログラム素子15を透過する常光成分の0次光を受
光する光検出器16の受光面16aの受光部C,Dから
の検出信号に基づいて、その差信号として得られる。か
くして、この差信号を0にするように、フォーカスサー
ボ回路20により、対物レンズ14をフォーカス方向に
移動調整することによって、対物レンズ14のフォーカ
シングが行なわれることになる。このように、この実施
形態においては、フォーカシングサーボを行うにあたっ
て、従来のようにシリンドリカルレンズ等の光ビームに
収差を付与するような光学素子を使用していないので、
その分検出信号の信頼性が向上する。また、このような
光学素子を使用しない分、光学ピックアップを小型に構
成することが可能となる。
の第二の実施形態を示している。図19においては、光
学ピックアップ30は、図1の光学ピックアップ10に
比較して、グレーティング12が省略されている点を除
いて、他の構成部品、即ち半導体レーザ素子11,偏光
ビームスプリッタ13,対物レンズ14,偏光性ホログ
ラム素子15及び光検出器16は同じ構成である。
16の中央の受光面16aにより、偏光性ホログラム素
子15を透過する常光成分の0次光を検出することによ
り、そのピーク位置を判定することにより、フォーカス
エラー信号FEが得られることになる。
の第三の実施形態を示している。図20において、光学
ピックアップ40は、半導体レーザ素子41,光分離手
段としての偏光ビームスプリッタ42,対物レンズ4
3,偏光分離手段としての偏光性ホログラム素子44及
び光検出器45から構成されている。
プリッタ42,対物レンズ43,偏光性ホログラム素子
44及び光検出器45は、図1の光学ピックアップ10
における半導体レーザ素子11,偏光ビームスプリッタ
13,対物レンズ14,偏光性ホログラム素子15及び
光検出器16と同じ構成である。
は、この場合、そのハーフミラー面42aにより、半導
体レーザ素子41からの光ビームを反射して対物レンズ
43に導くと共に、光磁気ディスクMOからの戻り光ビ
ームを透過させるようになっている。
0によれば、同様にして、光検出器45の中央の受光面
45aにより、偏光性ホログラム素子44を透過する常
光成分の0次光を検出することにより、そのピーク位置
を判定することにより、フォーカスエラー信号FEが得
られることになる。
の第四の実施形態を示している。図21において、光学
ピックアップ50は、半導体レーザ素子51,光分離手
段及び偏光分離手段としての偏光ビームスプリッタ5
2,対物レンズ53及び光検出器54から構成されてい
る。
3及び光検出器54は、図1の光学ピックアップ10に
おける半導体レーザ素子11,対物レンズ14及び光検
出器16と同じ構成であるが,偏光ビームスプリッタ5
2は、図1の光学ピックアップ10における偏光ビーム
スプリッタ13と偏光性ホログラム素子15が一体に構
成されたものである。即ち、偏光ビームスプリッタ52
は、平行平板ガラスの半導体レーザ素子51に対向する
一面52aが、偏光ハーフミラーとして構成されている
と共に、他の面に、偏光性ホログラム素子52bが構成
されている。
よれば、同様にして、光検出器54の中央の受光面54
aにより、偏光ビームスプリッタ52を透過し、その他
面に構成された偏光性ホログラム素子52bを透過する
常光成分の0次光を検出することにより、そのピーク位
置を判定することにより、フォーカスエラー信号FEが
得られることになる。
格子型素子として構成された偏光性ホログラム素子1
5,44,52bが使用されているが、他の構成の偏光
性ホログラムとして構成されていてもよいことは明らか
である。また、上述した実施形態においては、偏光ビー
ムスプリッタ13,42,52からの戻り光を常光成分
及び異常光成分に分離する偏光分離光学素子として、偏
光性ホログラム素子が使用されているが、これに限ら
ず、他の偏光分離光学素子、例えばウォラストンプリズ
ム等も使用されることは明らかである。
ホログラム素子が、異常光に対してのみ、入射光を回折
させるように構成されているが、これに限らず、常光に
対してのみ入射光を回折させるような構成の偏光性ホロ
グラム素子も使用される。また、上記実施形態において
は、フォーカスエラー信号を得るために、偏光性ホログ
ラム素子により分離された常光成分のみを利用している
が、これに限らず、偏光分離手段により分離された異常
光成分のみを利用するようにしてもよい。
路中で光ビームに収差を付与するような光学素子を省除
して、信頼性を向上させることができるとともに、必要
最低限の光学素子を用いて、光学ピックアップを小型に
構成できる。
全体構成を示す概略図である。
線偏光の進行方向から見た偏光方位の状態を示す概略図
である。
中の偏光ビームスプリッタに関する入射光及び出射光の
偏光方位の状態を示す概略斜視図である。
示す図である。
た偏光方位の状態を示す概略図である。
図である。
光成分の回折を示す図である。
す図である。
らの出射光を示す図である。
転分布を有する偏光を示す図である。
らの出射光を示す図である。
常光成分の分布特性を示すグラフである。
次元分布を示すグラフである。
断面図である。
からの常光成分の0次光の光強度分布との関係を示す図
である。
のスポットの変化を順次に示す平面図である。
との関係を示すグラフである。
号に基づいて対物レンズのフォーカスサーボ及びトラッ
キングサーボを行なうサーボシステムの構成例を示すブ
ロック図である。
形態を示す概略図である。
形態を示す概略図である。
形態を示す概略図である。
概略図である。
スエラー信号の検出を示す図である。
Claims (5)
- 【請求項1】光ビームを出射する光源と、前記光源 から出射された光ビームを光磁気記録媒体の信
号記録面上に集光するように照射する対物レンズと、 前記光源と対物レンズとの間の収束光路又は発散光路中
に配設され、光磁気記録媒体からの戻り光ビームの透過
及び反射を行なう偏光特性を有する光分離手段と、 前記光分離手段により分離された反射光又は透過光を受
光し、前記光磁気記録媒体の記録信号を含む光ビームを
分けて、互いに異なる方向に分離する偏光分離手段と、 前記偏光分離手段により分離された戻り光ビームの常光
成分又は異常光成分を受光する光検出器とを備え、 前記光検出器は、上記光分離手段により偏光方位の回転
分布を受け、かつ上記偏光分離手段を通り分離されて入
射する戻り光の偏光方向に対し角度を有するように延び
る分割線によって分割された受光面を有し、前記回転分
布を受けた光が偏光分離手段を通り光強度分布を生じさ
せて各受光面で受光される受光出力に基づいてフォーカ
シングエラー を検出することを特徴とする光学ピックア
ップ。 - 【請求項2】前記偏光分離手段が、偏光性ホログラム素
子であることを特徴とする請求項1に記載の光学ピック
アップ。 - 【請求項3】前記偏光分離手段が、ウォラストンプリズ
ムであることを特徴とする請求項1に記載の光学ピック
アップ。 - 【請求項4】前記偏光分離手段が、光分離手段と一体に
構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学
ピックアップ。 - 【請求項5】ディスク状記録媒体に記録及び/又は再生
を行う記録及び/又は再生装置であって、 光ビームを出射する光源と、前記光源から出射された光
ビームを光磁気記録媒体の信号記録面上に集光するよう
に照射する対物レンズと、前記光源と対物レンズとの間
の収束光路又は発散光路中に配設され、光磁気記録媒体
からの戻り光ビームの透過及び反射を行なう偏光特性を
有する光分離手段と、前記光分離手段により分離された
反射光又は透過光を受光し、前記光磁気記録媒体の記録
信号を含む光ビームを分けて、互いに異なる方向に分離
する偏光分離手段と、前記偏光分離手段により分離され
た戻り光ビームの常光成分又は異常光成分を受光する光
検出器とを備え、前記光検出器は、上記光分離手段によ
り偏光方位の回転分布を受け、かつ上記偏光分離手段を
通り分離されて入射する戻り光の偏光方向に対し角度を
有するように延びる分割線によって分割された受光面を
有し、前記回転分布を受けた光が偏光分離手段を通り光
強度分布を生じさせて各受光面で受光される受光出力に
基づいてフォーカシングエラー検出する光学ピックアッ
プを備えることを特徴とする記録及び/又は再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26645195A JP3520629B2 (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 光学ピックアップ及びこの光学ピックアップを用いた記録及び/又は再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26645195A JP3520629B2 (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 光学ピックアップ及びこの光学ピックアップを用いた記録及び/又は再生装置 |
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- 1995-09-20 JP JP26645195A patent/JP3520629B2/ja not_active Expired - Fee Related
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