JP3519513B2 - Air conditioner mounted on the main unit - Google Patents
Air conditioner mounted on the main unitInfo
- Publication number
- JP3519513B2 JP3519513B2 JP21238495A JP21238495A JP3519513B2 JP 3519513 B2 JP3519513 B2 JP 3519513B2 JP 21238495 A JP21238495 A JP 21238495A JP 21238495 A JP21238495 A JP 21238495A JP 3519513 B2 JP3519513 B2 JP 3519513B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- filter
- box
- unit
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、各種装置の本体部に
取り付けられ装置本体部へ清浄な空気を供給するための
装置本体部取付け型空調装置に関し、この空調装置は、
例えばクリーンルーム内に設置された半導体製造装置の
本体上部に設置されて使用される。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air conditioner attached to a main body of various devices for supplying clean air to the main body of the device.
For example, it is installed and used in the upper part of the main body of a semiconductor manufacturing apparatus installed in a clean room.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば半導体製造装置は、極めて清浄な
環境に保たれた空間において基板の各種処理を行なう必
要があるため、クリーンルーム内に設置され、しかも、
装置の本体上部に空調装置を設置して、より清浄化され
た空気が装置本体部へ供給されるようにしている。半導
体製造装置の本体上部に設置される空調装置としては、
従来、図3に示すような構成のものが使用されている。2. Description of the Related Art For example, a semiconductor manufacturing apparatus is installed in a clean room because it is necessary to perform various kinds of processing on a substrate in a space kept in an extremely clean environment.
An air conditioner is installed on the upper part of the main body of the device so that more purified air is supplied to the main part of the device. As an air conditioner installed on the top of the main body of semiconductor manufacturing equipment,
Conventionally, a structure as shown in FIG. 3 has been used.
【0003】図3に模式的正面断面図を示した空調装置
40は、ボックス42内にファンユニット44、44、
溶剤除去フィルタ48とアンモニア・酸除去フィルタ5
0とを積層したフィルタユニット46、及びダストフィ
ルタ52を収納して構成されており、この空調装置40
を装置本体部54上に設置して半導体製造装置に一体化
するようにしている。ボックス42には、フィルタユニ
ット46の交換用の開口部56が設けられており、その
開口部56は、蓋板58によって開閉自在に閉塞される
ようになっている。そして、この空調装置40では、フ
ァンユニット44、44によってボックス42内へ雰囲
気空気が導入され、ボックス42内へ導入された空気
は、フィルタユニット46を通される。空気がフィルタ
ユニット46を通過する間に、溶剤除去フィルタ48に
よって空気中の溶剤成分が吸着除去され、アンモニア・
酸除去フィルタ50により空気中のアンモニアや酸性物
質等の微量の腐食性ガスが化学吸着反応で除去される。
次に、フィルタユニット46を通過した空気は、ヘパ
(HEPA)フィルタ或いはウルパ(ULPA)フィル
タといったダストフィルタ52に通され、このダストフ
ィルタ52によって空気中の微小なダストが吸着除去さ
れる。そして、腐食性ガスやダストが除去された空気
が、装置本体部54へ供給される。An air conditioner 40 whose schematic front sectional view is shown in FIG. 3 has fan units 44, 44 in a box 42.
Solvent removal filter 48 and ammonia / acid removal filter 5
The air conditioner 40 is configured by accommodating a filter unit 46 in which 0 and 0 are stacked, and a dust filter 52.
Is installed on the apparatus main body 54 to be integrated with the semiconductor manufacturing apparatus. The box 42 is provided with an opening 56 for replacement of the filter unit 46, and the opening 56 is closed by a cover plate 58 so as to be openable and closable. In the air conditioner 40, the ambient air is introduced into the box 42 by the fan units 44, 44, and the air introduced into the box 42 is passed through the filter unit 46. While the air passes through the filter unit 46, solvent components in the air are adsorbed and removed by the solvent removal filter 48, so that ammonia.
The acid removal filter 50 removes a trace amount of corrosive gases such as ammonia and acidic substances in the air by a chemisorption reaction.
Next, the air that has passed through the filter unit 46 is passed through a dust filter 52 such as a hepa (HEPA) filter or a ULPA (ULPA) filter, and minute dust in the air is adsorbed and removed by the dust filter 52. Then, the air from which the corrosive gas and dust have been removed is supplied to the apparatus main body 54.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の空調装置40
は、図3に示したように、ファンユニット44、44、
溶剤除去フィルタ48とアンモニア・酸除去フィルタ5
0とを積層したフィルタユニット46、及びダストフィ
ルタ52をボックス42内に収納するような構成である
ため、その全体が大型化し、装置本体部54への取付け
性が悪い。また、フィルタユニット46は、ボックス4
2に設けられた開口部56を通してボックス42内から
取り出しまたボックス42内へ挿入するようにしなけれ
ばならずメンテナンス性(定期交換作業性)も悪い。さ
らに、半導体製造装置が設置されたクリーンルーム内の
雰囲気に応じて、溶剤除去フィルタ48やアンモニア・
酸除去フィルタ50といった化学物質除去フィルタのろ
過表面積を大きくする必要が生じることがあるが、従来
の空調装置40のような構成では、ボックス42を作り
直して、その高さ寸法或いは平面形状を大きくする必要
があった。A conventional air conditioner 40
As shown in FIG. 3, the fan units 44, 44,
Solvent removal filter 48 and ammonia / acid removal filter 5
Since the filter unit 46 in which 0 and 0 are stacked and the dust filter 52 are housed in the box 42, the entire size is increased and the mountability to the apparatus main body 54 is poor. In addition, the filter unit 46 is a box 4
It is necessary to take it out of the box 42 and insert it into the box 42 through the opening 56 provided in No. 2, so that the maintainability (periodic replacement workability) is also poor. Furthermore, depending on the atmosphere in the clean room where the semiconductor manufacturing equipment is installed, the solvent removal filter 48 and ammonia
It may be necessary to increase such acid removal filter 50 filtration surface area of the chemical substance removing filter occurs, and a conventionally
In the configuration like the air conditioner 40, it is necessary to remake the box 42 to increase its height dimension or planar shape.
【0005】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、装置の小型化が可能で、メンテナン
ス性が良好であり、装置本体が設置された室の雰囲気に
応じて化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える必要
が生じ、そのフィルタの枚数や厚みを増減するような場
合でも、従来装置のようにボックス自体を作り直したり
することなく簡単な作業で容易に対応することができる
装置本体部取付け型空調装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, enables downsizing of the apparatus, has good maintainability, and chemical substances depending on the atmosphere of the room in which the apparatus body is installed. Even if it is necessary to change the filtration surface area of the removal filter and the number and thickness of the filter are increased or decreased, it is possible to easily respond by simple work without recreating the box itself like the conventional device. An object of the present invention is to provide an air conditioner attached to a main body.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
雰囲気空気を装置本体部へ送り込むためのファンユニッ
トと、装置本体部へ導入された空気に含まれるダストを
除去するダスト除去フィルタと、装置本体部へ導入され
る空気に含まれる溶剤又はアンモニア、酸性物質等の微
量ガスを除去する1種類又は2種類以上の化学物質除去
フィルタからなるフィルタユニットとを備え、前記ファ
ンユニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、前記フィルタユ
ニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞれ空
気流入面及び空気流出面とされ、装置本体部上にその上
面開口を覆うように設置されたボックスに取り付けられ
て、装置本体部へ導入される空気を清浄化する装置本体
部取付け型空調装置において、前記ファンユニットの空
気吐出面又は空気取入れ面の形状と前記フィルタユニッ
トの空気流入面又は空気流出面の形状とを同じにして、
ファンユニットとフィルタユニットとを、同じ形状の面
同士を接合させて着脱自在に連接するとともに、前記ボ
ックスの上面に複数の開口部が形成され、前記フィルタ
ユニットの空気流出面又は前記ファンユニットの空気吐
出面の形状と前記ボックスの上面に形成された各開口部
の形状とをそれぞれ同じにして、ファンユニット及びフ
ィルタユニットをボックスの上面の外側に、ボックスの
各開口部の位置にフィルタユニットの空気流出面又はフ
ァンユニットの空気吐出面をそれぞれ適合させて着脱自
在に固着したことを特徴とする。The invention according to claim 1 is
A fan unit for sending atmospheric air to the apparatus body, a dust removal filter for removing dust contained in the air introduced to the apparatus body, a solvent or ammonia contained in the air introduced to the apparatus body, an acid A fan unit having one or more kinds of chemical substance removing filters for removing trace gases such as substances, wherein the fan unit has a box shape, and surfaces facing each other are an air intake surface and an air discharge surface, respectively. The filter unit has a box shape, and the surfaces facing each other are an air inflow surface and an air outflow surface, respectively, and the filter unit is attached to a box installed so as to cover the upper surface opening of the apparatus main body, In an air conditioner attached to a device body for cleaning air introduced into the device body, the air discharge surface or air of the fan unit The shape of the placed surface and shape of the air inflow surface or air outflow surface of the filter unit was assembled in the same,
A fan unit and a filter unit, with detachably connected by joining the surfaces together the same shape, the ball
A plurality of openings are formed on the upper surface of the box, the shape of the air outflow surface of the filter unit or the air discharge surface of the fan unit and the shape of each opening formed on the upper surface of the box are the same, Place the fan unit and filter unit outside the top of the box and
Each adapts the air discharge surface of the air outflow surface or fan unit of the filter unit to the position of each opening, characterized in that secured detachably to.
【0007】請求項2に係る発明は、請求項1に係る発
明の上記空調装置において、上記ファンユニットの空気
吐出面と上記フィルタユニットの空気流入面とを接合し
たことを特徴とする。According to a second aspect of the invention, in the air conditioner of the first aspect of the invention, the air discharge surface of the fan unit and the air inflow surface of the filter unit are joined together.
【0008】請求項3に係る発明は、請求項1又は請求
項2に係る発明の上記空調装置において、空気に含まれ
る溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、空気に含まれる
アンモニア及び酸性物質を除去するアンモニア・酸除去
フィルタとを有し、それら両フィルタを空気の流通方向
に積層して、上記フィルタユニットを構成したことを特
徴とする。The invention according to claim 3 is claim 1 or claim
In the air conditioner of the invention according to item 2, there is provided a solvent removal filter for removing a solvent contained in air, and an ammonia / acid removal filter for removing ammonia and an acidic substance contained in the air. It is characterized in that the above filter unit is configured by stacking in the circulation direction of.
【0009】[0009]
【作用】請求項1に係る発明の空調装置では、箱形のフ
ァンユニットの空気吐出面の形状と箱形のフィルタユニ
ットの空気流入面の形状とが同じで、その両面同士が接
続されているので、ファンユニットの空気取入れ面へ流
入した雰囲気空気は、ファンユニットの空気吐出面から
そのままフィルタユニットの空気流入面へ流入し、フィ
ルタユニットの空気流出面から溶剤や微量ガスが除去さ
れた空気が流出する。或いは、箱形のフィルタユニット
の空気流出面の形状と箱形のファンユニットの空気取入
れ面の形状とが同じで、その両面同士が接合されている
ので、フィルタユニットの空気流入面へ吸い込まれた雰
囲気空気は、フィルタユニットを通過する間に溶剤や微
量ガスが除去されて、フィルタユニットの空気流出面か
らそのままファンユニットの空気取入れ面へ流入し、フ
ァンユニットの空気吐出面から吐出される。従って、フ
ァンユニット及びフィルタユニットを収納するためのボ
ックスが不要になる。そして、フィルタユニットの空気
流出面又はファンユニットの空気吐出面の形状と装置本
体部上に設置されたボックスの上面の各開口部の形状と
が同じで、ボックスの各開口部の位置にフィルタユニッ
トの空気流出面又はファンユニットの空気吐出面をそれ
ぞれ適合させてファンユニット及びフィルタユニットが
ボックスの上面の外側に着脱自在に固着されているの
で、フィルタユニットやファンユニットをボックスから
取り外しまたボックスに取り付ける作業を簡単に行うこ
とができる。In the air conditioner according to the present invention, the shape of the air discharge surface of the box-shaped fan unit is the same as the shape of the air inflow surface of the box-shaped filter unit, and both surfaces are connected to each other. Therefore, the atmospheric air that has flown into the air intake surface of the fan unit flows into the air inflow surface of the filter unit as it is from the air discharge surface of the fan unit, and the air from which the solvent and trace gases have been removed from the air outflow surface of the filter unit. leak. Alternatively, since the shape of the air outflow surface of the box-shaped filter unit and the shape of the air intake surface of the box-shaped fan unit are the same and both surfaces are joined together, it was sucked into the air inflow surface of the filter unit. The ambient air is removed of the solvent and trace gas while passing through the filter unit, flows into the air intake surface of the fan unit as it is from the air outflow surface of the filter unit, and is discharged from the air discharge surface of the fan unit. Therefore, a box for housing the fan unit and the filter unit becomes unnecessary. The shape of the air outlet surface of the filter unit or the air outlet surface of the fan unit is the same as the shape of each opening on the upper surface of the box installed on the apparatus body, and the filter unit is located at each opening of the box. the air outflow surface or air discharge surface of the fan unit it
Since the fan unit and the filter unit are removably fixed to the outside of the upper surface of the box in conformity with each other, it is possible to easily remove the filter unit and the fan unit from the box and attach them to the box.
【0010】また、ファンユニットとフィルタユニット
とは着脱自在に連接されているので、フィルタユニット
のメンテナンス(定期交換作業)を行なうときは、古い
フィルタユニットをファンユニットから離脱させ、新し
いフィルタユニットをファンユニットに装着するように
するだけでよい。さらに、例えばクリーンルーム内の雰
囲気に応じて、ファンユニットを構成する化学物質除去
フィルタのろ過表面積を変えるためにフィルタの枚数を
増減したり異なる厚みのフィルタと交換したりするとき
も、フィルタユニットとファンユニットとを離脱させ、
またそれらを装着する作業を行なうだけでよい。さら
に、この空調装置では、ボックスの上面に複数の開口部
が形成され、その各開口部の位置にファンユニット及び
フィルタユニットがそれぞれ配設されるので、個々のフ
ァンユニット及びフィルタユニットは小さくなり、フィ
ルタユニットやファンユニットをボックスから取り外し
またボックスに取り付ける作業が容易になる。Further, since the fan unit and the filter unit are detachably connected to each other, when performing maintenance (regular replacement work) of the filter unit, the old filter unit is detached from the fan unit and the new filter unit is replaced by the fan unit. All you have to do is attach it to the unit. Further, for example, when the number of filters is increased or decreased in order to change the filtration surface area of the chemical substance removal filter that constitutes the fan unit or the filters are replaced with filters of different thickness, depending on the atmosphere in the clean room, the filter unit and the fan Detach the unit,
Further, it is only necessary to carry out the work of mounting them. Furthermore
In this air conditioner, since a plurality of openings are formed on the upper surface of the box and the fan unit and the filter unit are respectively arranged at the positions of the openings, the individual fan unit and the filter unit are small, This makes it easy to remove the filter unit or fan unit from the box and attach it to the box.
【0011】請求項2に係る発明の空調装置では、ファ
ンユニットによって取り入れられた雰囲気空気はフィル
タユニットに押し入れられ、フィルタユニットから溶剤
や微量ガスが除去された空気が流出することとなり、フ
ィルタユニットとファンユニットとの配置を逆にした場
合のように、フィルタユニットとファンユニットとの接
合面の隙間から雰囲気空気がリークしてファンユニット
へ吸い込まれ、ファンユニットから溶剤や微量ガスが除
去されていない空気が一部吐出される、といった心配が
無い。In the air conditioner according to the second aspect of the present invention, the atmospheric air taken in by the fan unit is pushed into the filter unit, and the air from which the solvent and the trace amount of gas have been removed flows out from the filter unit. As in the case of reversing the arrangement with the fan unit, atmospheric air leaks from the gap between the joint surface of the filter unit and the fan unit and is sucked into the fan unit, and the solvent and trace gas are not removed from the fan unit. There is no need to worry that some of the air will be discharged.
【0012】請求項3に係る発明の空調装置では、空気
がファンユニットを通過する間に、空気中に含まれる溶
剤が溶剤除去フィルタによって除去され、空気中に含ま
れるアンモニア及び酸性物質がアンモニア・酸除去フィ
ルタによって除去される。In the air conditioner according to the third aspect of the present invention, while the air passes through the fan unit, the solvent contained in the air is removed by the solvent removal filter, and the ammonia and the acidic substances contained in the air are mixed with ammonia. It is removed by the acid removal filter.
【0013】[0013]
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0014】図1及び図2は、この発明の1実施例を示
し、空調装置を半導体製造装置等の本体上部に設置した
状態を模式的に示す正面断面図であり、図2は、空調装
置全体の外観斜視図である。FIGS. 1 and 2 are front sectional views schematically showing an embodiment of the present invention in which an air conditioner is installed above the main body of a semiconductor manufacturing apparatus or the like. FIG. 2 is an air conditioner. It is the whole appearance perspective view.
【0015】この空調装置10は、ファンユニット1
2、12、溶剤除去フィルタ14、14、アンモニア・
酸除去フィルタ16、16、及びダストフィルタ18を
備え、溶剤除去フィルタ14、14とアンモニア・酸除
去フィルタ16、16とからフィルタユニット20が構
成され、HEPAフィルタ或いはULPAフィルタから
なるダストフィルタ18がボックス22内に収納されて
いる。そして、ボックス22が装置本体部24上に設置
されている。The air conditioner 10 includes a fan unit 1
2, 12, solvent removal filters 14, 14, ammonia
The filter unit 20 is provided with the acid removal filters 16 and 16 and the dust filter 18, and the solvent removal filters 14 and 14 and the ammonia / acid removal filters 16 and 16 constitute the dust filter 18 that is a HEPA filter or ULPA filter. It is stored in 22. The box 22 is installed on the apparatus main body 24.
【0016】ファンユニット12は、四角形の枠体内に
回転翼を収納して全体が箱形に形成されており、互いに
対向する上面及び下面がそれぞれ空気取入れ面26及び
空気吐出面28とされている。また、溶剤除去フィルタ
14及びアンモニア・酸除去フィルタ16はそれぞれ、
四角形の枠体内にフィルタ素材を収納して全体が箱形に
形成され、互いに対向する上面及び下面がそれぞれ空気
流入面30、34及び空気流出面32、36とされてい
る。そして、溶剤除去フィルタ14の空気流出面32の
形状とアンモニア・酸除去フィルタ16の空気流入面3
4の形状とが同じにされており、その両面32、34同
士を接合させて両フィルタ14、16が空気の流通方向
に連接され、フィルタユニット20として一体化されて
いる。また、ファンユニット12の空気吐出面28の形
状と溶剤除去フィルタ14の空気流入面30の形状とが
同じにされており、その両面28、30同士を接合させ
てファンユニット12とフィルタユニット20とが連接
され、両ユニット12、20が一体化されている。さら
に、ボックス22の上面に開口部38、38が形成され
ており、その各開口部38の形状とアンモニア・酸除去
フィルタ16の空気流出面36の形状とが同じにされて
いる。そして、ボックス22の各開口部38の位置にア
ンモニア・酸除去フィルタ16の空気流出面36を適合
させ、フィルタ16をボックス22の上面に固着するこ
とにより、ファンユニット12及びフィルタユニット2
0とボックス22とを一体化して、空調装置10が構成
されている。The fan unit 12 is formed in a box shape by accommodating rotary blades in a rectangular frame, and its upper and lower surfaces facing each other are an air intake surface 26 and an air discharge surface 28, respectively. . Further, the solvent removal filter 14 and the ammonia / acid removal filter 16 are respectively
The filter material is housed in a quadrangular frame, and the whole is formed in a box shape. The upper and lower surfaces facing each other are air inflow surfaces 30 and 34 and air outflow surfaces 32 and 36, respectively. The shape of the air outflow surface 32 of the solvent removal filter 14 and the air inflow surface 3 of the ammonia / acid removal filter 16
4 has the same shape, and its both surfaces 32 and 34 are joined to each other so that both filters 14 and 16 are connected in the air flow direction and integrated as a filter unit 20. Further, the shape of the air discharge surface 28 of the fan unit 12 and the shape of the air inflow surface 30 of the solvent removal filter 14 are the same, and the both surfaces 28, 30 are joined together to form the fan unit 12 and the filter unit 20. Are connected, and both units 12 and 20 are integrated. Further, openings 38, 38 are formed on the upper surface of the box 22, and the shape of each opening 38 and the shape of the air outflow surface 36 of the ammonia / acid removal filter 16 are the same. Then, the air outflow surface 36 of the ammonia / acid removal filter 16 is fitted to the position of each opening 38 of the box 22, and the filter 16 is fixed to the upper surface of the box 22, so that the fan unit 12 and the filter unit 2 are attached.
The air conditioner 10 is configured by integrating 0 and the box 22.
【0017】上記構成の空調装置10では、ファンユニ
ット12に雰囲気空気が吸い込まれ、ファンユニット1
2に吸い込まれた空気は、そのままフィルタユニット2
0へ押し入れられ、フィルタユニット12を通過する間
に、溶剤除去フィルタ14によって溶剤成分が除去さ
れ、アンモニア・酸除去フィルタ16によってアンモニ
ア及び酸性物質等の腐食性ガスが除去される。フィルタ
ユニット12によって化学物質が除去された空気は、開
口部38を通してボックス22内へ流入し、ボックス2
2内に設けられたダストフィルタ18を通過する。そし
て、ダストフィルタ18を通過することによって微小な
ダストが吸着除去された清浄な空気が、装置本体部24
へ供給される。In the air conditioner 10 having the above structure, the ambient air is sucked into the fan unit 12 and the fan unit 1
The air sucked into 2 is the filter unit 2 as it is.
While being pushed into 0 and passing through the filter unit 12, solvent components are removed by the solvent removal filter 14 and corrosive gases such as ammonia and acidic substances are removed by the ammonia / acid removal filter 16. The air from which the chemical substances have been removed by the filter unit 12 flows into the box 22 through the opening 38,
It passes through the dust filter 18 provided in the inside of the unit 2. Then, the clean air from which the minute dust has been adsorbed and removed by passing through the dust filter 18 becomes the device body 24.
Is supplied to.
【0018】この空調装置において、フィルタユニット
20を定期交換するときは、古いフィルタユニット20
をボックス22及びファンユニット12から取り外し、
新しいフィルタユニットをファンユニット12に装着し
てボックス22に取り付けるようにする。また、半導体
製造装置が設置されたクリーンルーム内の雰囲気に応じ
て、例えばアンモニア・酸除去フィルタ16の枚数を増
やしたり、異なる厚みのアンモニア・酸除去フィルタと
交換したり、異なる種類の化学物質除去フィルタを追加
或いはそれと交換したりするときも、フィルタユニット
20をボックス22及びファンユニット12から取り外
した後、別のフィルタを追加して組み付けたり別のフィ
ルタと交換したりするなどして、フィルタユニットを新
たに組み立て、そのフィルタユニットをファンユニット
12に装着してボックス22に取り付けるようにすれば
よい。In this air conditioner, when the filter unit 20 is regularly replaced, the old filter unit 20
Is removed from the box 22 and the fan unit 12,
A new filter unit is attached to the fan unit 12 and attached to the box 22. Further, depending on the atmosphere in the clean room in which the semiconductor manufacturing apparatus is installed, for example, the number of the ammonia / acid removal filters 16 is increased, the ammonia / acid removal filters having different thicknesses are replaced, or the different types of chemical substance removal filters are used. When adding or replacing the filter unit, after removing the filter unit 20 from the box 22 and the fan unit 12, another filter is added and assembled, or the filter unit is replaced with another filter. The filter unit may be newly assembled, attached to the fan unit 12 and attached to the box 22.
【0019】尚、図1及び図2に示した実施例では、空
気の流通方向においてファンユニット12の後側にフィ
ルタユニット14を連接するようにしており、このよう
な配置にした場合には、その配置を逆にした場合のよう
に、フィルタユニットとファンユニットとの接合面の隙
間から雰囲気空気がリークしてファンユニットへ吸い込
まれ、ファンユニットからボックス22内へ溶剤やアン
モニア及び酸性物質が除去されていない空気が吐出され
る、といった心配が無いが、フィルタユニットとファン
ユニットとの接合面のシールを確実に行なうようにすれ
ば、フィルタユニットの後側にファンユニットを配置す
るようにしても差し支えない。そのような配置にした場
合には、フィルタユニットのメンテナンスなどに際し
て、ファンユニットをボックス22に取り付けたまま、
ファンユニットからフィルタユニットを取り外し、ま
た、ファンユニットへフィルタユニットを取り付けるよ
うにするだけでよく、作業性が良くなる。また、図1及
び図2に示した空調装置10は、溶剤除去フィルタ14
とアンモニア・酸除去フィルタ16とによりフィルタユ
ニット20を構成しているが、クリーンルーム内の雰囲
気によっては、そのいずれか一方のフィルタだけを設け
るようにしてもよく、また、別の種類の化学物質除去フ
ィルタを追加してフィルタユニットを構成するようにし
てもよい。In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the filter unit 14 is connected to the rear side of the fan unit 12 in the air flow direction. In such an arrangement, As in the case where the arrangement is reversed, atmospheric air leaks from the gap between the joint surfaces of the filter unit and the fan unit and is sucked into the fan unit, and the solvent, ammonia and acidic substances are removed from the fan unit into the box 22. There is no concern that unrestricted air will be discharged, but if the sealing of the joint surface between the filter unit and the fan unit is ensured, the fan unit may be placed behind the filter unit. It doesn't matter. In such an arrangement, when maintaining the filter unit, etc., with the fan unit attached to the box 22,
The workability is improved by simply removing the filter unit from the fan unit and attaching the filter unit to the fan unit. Further, the air conditioner 10 shown in FIGS. 1 and 2 has a solvent removal filter 14
Although the filter unit 20 is composed of the filter 16 and the ammonia / acid removal filter 16, only one of the filters may be provided depending on the atmosphere in the clean room, or another type of chemical substance removal may be performed. You may make it comprise a filter unit by adding a filter.
【0020】[0020]
【発明の効果】請求項1に係る発明の空調装置を、半導
体製造装置等の装置本体部に取り付ける空調装置として
使用するようにすれば、ダストフィルタだけを収納する
大きさのボックスを設ければよいので、装置全体が小型
化し軽量化して、装置本体部への取付け性が良くなる。
また、従来の装置のように、定期交換作業に際してフィ
ルタユニットをボックス内から取り出したりボックス内
へ挿入したりする必要が無く、ボックスの外側でフィル
タユニットをボックスの上面から取り外したりボックス
の上面に取り付けたりするだけでよいので、メンテナン
ス性が向上する。さらに、装置本体が設置された室の雰
囲気に応じて、フィルタユニットを構成する化学物質除
去フィルタのろ過表面積を変える必要から、フィルタの
枚数を増減させたり異なる厚みのフィルタに変更したり
異なる種類のフィルタに変更したりするような場合で
も、従来の装置のように、ボックス自体を作り直したり
する必要が無く、簡単な作業を行なうだけで容易に対応
することができる。また、この空調装置では、個々のフ
ァンユニット及びフィルタユニットが小さくなるので、
メンテナンス性がより向上する。When the air conditioner according to the first aspect of the present invention is used as an air conditioner attached to the main body of a semiconductor manufacturing apparatus or the like, a box having a size for accommodating only the dust filter is provided. Since it is good, the size and weight of the entire device are reduced, and the mountability to the device body is improved.
Also, unlike the conventional device, there is no need to take out the filter unit from the box or insert it into the box for regular replacement work, and remove the filter unit from the top of the box or attach it to the top of the box outside the box. Since it is only necessary to do so, maintainability is improved. Furthermore, since it is necessary to change the filtration surface area of the chemical substance removal filter that constitutes the filter unit according to the atmosphere of the room where the apparatus body is installed, it is possible to increase or decrease the number of filters or change to a filter of a different thickness. Even when changing to a filter, it is not necessary to remake the box itself as in the conventional device, and it is possible to easily cope with it by performing a simple operation. Also, in this air conditioner, the individual fan unit and filter unit are small, so
Maintainability is further improved.
【0021】請求項2に係る発明の空調装置では、ファ
ンユニットとフィルタユニットとの接合面に例え隙間が
あっても、フィルタユニットから流出する空気にフィル
タユニットを通っていない雰囲気空気が混入することが
ないので、清浄化された空気を装置本体部へ供給するこ
とができる。In the air conditioner according to the second aspect of the present invention, even if there is a gap in the joint surface between the fan unit and the filter unit, the ambient air that has not passed through the filter unit is mixed with the air flowing out from the filter unit. Since there is not, it is possible to supply purified air to the apparatus main body.
【0022】請求項3に係る発明の空調装置では、溶剤
並びにアンモニア及び酸性物質が除去された空気を装置
本体部へ供給することができる。In the air conditioner according to the third aspect of the present invention, the air from which the solvent, ammonia and acidic substances have been removed can be supplied to the main body of the device.
【図1】この発明の1実施例に係る空調装置を装置本体
部に設置した状態を模式的に示す正面断面図である。FIG. 1 is a front cross-sectional view that schematically shows a state in which an air conditioner according to an embodiment of the present invention is installed in a device body.
【図2】図1に示した空調装置の外観斜視図である。2 is an external perspective view of the air conditioner shown in FIG. 1. FIG.
【図3】従来の空調装置を装置本体部に設置した状態を
模式的に示す正面断面図である。FIG. 3 is a front sectional view schematically showing a state in which a conventional air conditioner is installed in the main body of the apparatus.
10 空調装置 12 ファンユニット 14 溶剤除去フィルタ 16 アンモニア・酸除去フィルタ 18 ダストフィルタ 20 フィルタユニット 22 ボックス 24 装置本体部 26 ファンユニットの空気取入れ面 28 ファンユニットの空気吐出面 30 溶剤除去フィルタの空気流入面 32 溶剤除去フィルタの空気流出面 34 アンモニア・酸除去フィルタの空気流入面 36 アンモニア・酸除去フィルタの空気流出面 38 ボックスの開口部 10 Air conditioner 12 fan units 14 Solvent removal filter 16 Ammonia / acid removal filter 18 Dust filter 20 filter unit 22 boxes 24 Device body 26 Air intake surface of fan unit 28 Air discharge surface of fan unit 30 Air inlet surface of solvent removal filter 32 Air outflow surface of solvent removal filter 34 Air inflow surface of ammonia / acid removal filter 36 Air outflow surface of ammonia / acid removal filter 38 Box opening
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 46/00 B01D 53/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B01D 46/00 B01D 53/00
Claims (3)
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、雰囲気空気を装
置本体部へ送り込むためのファンユニットと、 装置本体部へ導入される空気に含まれるダストを除去す
るダスト除去フィルタと、 箱型をなし、互いに対向する面がそれぞれ空気流入面及
び空気流出面とされ、装置本体部へ導入される空気に含
まれる溶剤又は微量ガスを除去する1種類又は2種類以
上の化学物質除去フィルタからなるフィルタユニットと
を備え、 装置本体部上にその上面開口を覆うように設置されたボ
ックスに取り付けられて、装置本体部へ導入される空気
を清浄化する装置本体部取付け型空調装置において、 前記ファンユニットの空気吐出面又は空気取入れ面の形
状と前記フィルタユニットの空気流入面又は空気流出面
の形状とを同じにして、ファンユニットとフィルタユニ
ットとを、同じ形状の面同士を接合させて着脱自在に連
接するとともに、前記ボックスの上面に複数の開口部が
形成され、前記フィルタユニットの空気流出面又は前記
ファンユニットの空気吐出面の形状と前記ボックスの上
面に形成された各開口部の形状とをそれぞれ同じにし
て、ファンユニット及びフィルタユニットをボックスの
上面の外側に、ボックスの各開口部の位置にフィルタユ
ニットの空気流出面又はファンユニットの空気吐出面を
それぞれ適合させて着脱自在に固着したことを特徴とす
る装置本体部取付け用空調装置。1. A fan unit for sending atmospheric air to the apparatus main body, which has a box shape, and surfaces which face each other are an air intake surface and an air discharge surface, respectively, and are included in the air introduced into the apparatus main body. And a dust removal filter for removing dust that forms a box, and the surfaces that face each other are the air inflow surface and the air outflow surface, respectively, and remove the solvent or trace gas contained in the air introduced into the apparatus main body 1 It is equipped with a filter unit consisting of two or more types of chemical substance removal filters, and is attached to a box installed on the main body of the device so as to cover the upper opening, and cleans the air introduced into the main body of the device. In the air conditioner mounted on the main body of the device, the shape of the air discharge surface or the air intake surface of the fan unit and the air inflow surface or the empty space of the filter unit The shape of the outflow surface in the same, and a fan unit and a filter unit, with detachably connected by joining the surfaces together the same shape, a plurality of openings on the upper surface of the box
Is formed, and the each opening formed on the upper surface of the air outflow surface of the filter unit or the shape of the air discharge surface of the fan unit and the box shape, respectively the same, the upper surface of the box fan unit and a filter unit On the outside of the box, place the air outlet surface of the filter unit or the air outlet surface of the fan unit at the position of each opening of the box.
An air conditioner for mounting the main body of the device, which is adapted to each other and fixed detachably.
ユニットの空気流入面とが接合された請求項1記載の装
置本体部取付け型空調装置。2. An air discharge surface of a fan unit and a filter.
The air conditioner attached to the apparatus main body according to claim 1, wherein the air inflow surface of the unit is joined .
モニア・酸除去フィルタとを有し、 それら溶剤除去フィルタとアンモニア・酸除去フィルタ
とを空気の流通方向に積層して構成された 請求項1又は
請求項2記載の装置本体部取付け型空調装置。3. A solvent removal filter for removing a solvent contained in air, and an filter for removing ammonia and acidic substances contained in air, the filter unit comprising :
It has a monia / acid removal filter, and these solvent removal filter and ammonia / acid removal filter
The air conditioner attached to the apparatus main body according to claim 1 or 2, which is configured by stacking and in a flow direction of air.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21238495A JP3519513B2 (en) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | Air conditioner mounted on the main unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21238495A JP3519513B2 (en) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | Air conditioner mounted on the main unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0938449A JPH0938449A (en) | 1997-02-10 |
JP3519513B2 true JP3519513B2 (en) | 2004-04-19 |
Family
ID=16621694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21238495A Expired - Fee Related JP3519513B2 (en) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | Air conditioner mounted on the main unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3519513B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990027844A (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-15 | 윤종용 | Air inflow device of semiconductor equipment and chemical contamination removal method |
US9114338B2 (en) | 2008-09-19 | 2015-08-25 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
US10478517B2 (en) | 2008-09-19 | 2019-11-19 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
CN102215941A (en) * | 2008-09-19 | 2011-10-12 | 弗兰斯瓦斯·豪维列 | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
US9696703B2 (en) | 2013-05-18 | 2017-07-04 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for ensuring air quality in a building, including method and apparatus for controlling a working device using a handheld unit having scanning, networking, display and input capability |
CN114135961A (en) * | 2013-05-18 | 2022-03-04 | 菲帕克研究及发展公司 | Method and apparatus for monitoring and ensuring air quality in a building |
JP6511858B2 (en) * | 2015-02-27 | 2019-05-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Transfer room |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP21238495A patent/JP3519513B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0938449A (en) | 1997-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11826689B2 (en) | Air filter arrangement; assembly; and, methods | |
US5730770A (en) | Two-stage air filter for use with electronic enclosures | |
NZ268303A (en) | Ceiling mounted air purifier, distributes filtered air to all areas of a room | |
JPH05270259A (en) | Air filter device | |
JP3519513B2 (en) | Air conditioner mounted on the main unit | |
TW200540922A (en) | Air-purifying equipment in a semiconductor wafer container | |
AU734356B2 (en) | Filter mounting frame | |
RU2553962C2 (en) | Air blower unit | |
JP2004108680A (en) | Air conditioner | |
JP4417781B2 (en) | Air cleaning device for semiconductor wafer storage container | |
CN212511521U (en) | Purification and dust removal device, air conditioner outdoor unit and air conditioner | |
JP3323137B2 (en) | Clean room equipment | |
US20220339568A1 (en) | Filter unit and method for manufacturing the same | |
CN211706243U (en) | Air filtering mechanism of high-standard precise electronic purification workshop | |
JP4473670B2 (en) | Breath filter for semiconductor wafer storage container | |
JPH11118222A (en) | Ventilator | |
CN114322115A (en) | Purification and dust removal device, air conditioner outdoor unit and air conditioner | |
KR0155244B1 (en) | A filter for removing dust | |
CN210602051U (en) | Air purifying device | |
CN220601687U (en) | Ventilating duct | |
CN213948090U (en) | Vehicle-mounted ventilation dust removal structure | |
CN211044133U (en) | Dustless protection casing of special computer | |
JP2003047815A (en) | Multistage dust collector equipment | |
JP4005767B2 (en) | Dust collector | |
JP4134397B2 (en) | Air conditioner |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040129 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080206 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100206 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100206 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100206 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110206 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110206 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140206 Year of fee payment: 10 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |