JP3512695B2 - ピッチ補正を有する磁気ヘッド及びディスクのテスタ - Google Patents
ピッチ補正を有する磁気ヘッド及びディスクのテスタInfo
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Description
ィスクのテスタに関し、更に詳細には、磁気ヘッド及び
ディスクのテスタ内の磁気ディスクに対して磁気ヘッド
を位置決めする機構の精度を改良するための方法及び装
置に関する。
気ヘッド及びディスクの信号対雑音比、トラック対トラ
ックエラーの様なテスト特性に対して使用される器具で
ある。場合によっては、ディスク(例えば、コンピュー
タのハードディスク)は既知の校正されたヘッドでテス
トされてもよく、他の場合には、磁気ヘッドは校正され
たディスクでテストされてもよい。磁気ヘッド及びディ
スクのテスタは2つの主要部分から成り、それらは、テ
スタに支持されるディスクに対してヘッドの移動を行う
機械的部分、並びに測定、校正、及びデータの解析を担
う電気的部分である。テスタの機械的部分はスピンスタ
ンドとして知られる。その様な磁気ヘッド及びディスク
のテスタを使用して行われたテスト結果の質は、ディス
クに対するヘッドのためのスピンスタンドにより提供さ
れる位置決め精度に、少なくとも部分的に依存する。
クのテスタが図1及び図2に図示され、米国特許第5,
382,887号に記載されている。以下の記載では、
スピンスタンドは、その中でキャリッジ(及び、取り付
けられたヘッド)が水平面内の軸に沿って選択的に移動
させられるものとして記載され、ヘッドは水平に支持さ
れたディスクに対して移動させられ、垂直軸のまわりで
回転できる。これらの垂直及び水平基準方向が例示のス
ピンスタンドで使用されているが、別の実施例では他の
方向を使用してもよい。
されるように)そこから垂直に伸張するディスクスピン
ドル46を有するベース50を含む。スピンドル46
は、垂直軸のまわりでディスクの制御された回転を可能
にする方法で、(図示されるように)ディスク42を水
平面内で支持する。
り付けられた複数のレール22,24上で滑動可能なよ
うに支持され、それによってキャリッジの移動が水平軸
(X軸)に沿って生じ得る。ヘッド支持部材44はキャ
リッジ30に固定され、遠端部に取り付けられた磁気読
み書きヘッド40を含む。駆動アセンブリは、(1)レ
ール22,24に沿うキャリッジ30の大きな移動を生
じさせるための概略位置決め装置、及び(2)キャリッ
ジ30の細かな移動を生じさせるための精密位置決め装
置を含む。キャリッジ30の移動は、磁気ディスク42
の上の所望する位置への磁気ヘッド40の対応する移動
を引き起こす。磁気ヘッド40はディスク42に関して
放射方向に可動であり、その様な移動がディスク又はヘ
ッドのテストを容易にする。
を基準としたキャリッジ30の直線位置、従って、ディ
スク42に対する磁気読み書きヘッド40の相対位置
は、X軸の向かい合う側面上でキャリッジ30に対称に
取り付けられた2つの直線エンコーダ12,14を使用
して測定される。即ち、第1エンコーダ12はキャリッ
ジ30の右側面上に取り付けられ、第2エンコーダ14
はキャリッジ30の左側面上に取り付けられる。各エン
コーダ12,14の出力は、これらの出力を使用して磁
気読み書きヘッド40の位置を決定する演算ユニット5
2に供給される。各エンコーダは、実質的に2つの部分
から成る。1つの部分はベース50に固定され、その結
果、静止している。他の部分はキャリッジ30に取り付
けられ、その結果、エンコーダの静止部分に対して可動
である。エンコーダの静止部分に対するエンコーダの可
動部分の相対移動の測定は、ディスク42に対するヘッ
ド40の移動及び位置を決定するために使用される。
ース50に取り付けられたステッパモータ32、主ネジ
34、主ネジ34上のナット36、及びレール26,2
8に取り付けられたブロック38を含む。ナット36は
ブロック38に取り付けられる。主ネジ34及びナット
36は、ステッパモータ32の回転運動を、X軸に沿う
レール26,28上のブロック38の直線移動に変換す
るために使用される。
装置10は、レール22,24上に取り付けられてX軸
に沿って動くキャリッジ30、及び圧電アクチュエータ
48を含む。圧電アクチュエータ48は、ブロック38
及びキャリッジ30の間に取り付けられる。圧電アクチ
ュエータ48はX方向の寸法を変化させるためにそれに
加えられた電圧に応答し、寸法がブロック38に対する
キャリッジ30の変位になる。
0を比較的長い距離にわたって移動させられるが、現行
のヘッド及びディスクを適切にテストするのに必要な精
度で磁気読み書きヘッド40を位置決めできない程度に
限定された直線分解能のままである。今日の磁気記録技
術は、約10ナノメートル又はそれ以上の精度で磁気読
み書きヘッド40を位置決めできるスピンスタンドを必
要とし、従って、精密位置決め装置が必要である。圧電
アクチュエータ48は概略位置決め装置より非常に短い
移動範囲を有し、必要な10ナノメートルの精度でキャ
リッジ30を位置決めできる。一般的な圧電アクチュエ
ータ48は、Morgan Matroc社(米国、オハイオ州)製
のPZT−5Hである。このユニットは15マイクロメ
ートルの移動範囲を有し、10ナノメートルより短いス
テップで移動を作り出せる。
するために使用された従来技術の方法は、精密位置決め
装置の精度を必要とする非常に小さな変位で何回も磁気
読み書きヘッド40を位置決めすることを含む。これら
の小さな移動は、精密位置決め装置内で高い精度を必要
とする。これらの移動の間、磁気読み書きヘッド40が
予め定められた位置から新しい位置へ移動させられ、次
に最初の位置へ戻ることが一般的である。磁気読み書き
ヘッド40に読み取られる信号は、磁気読み書きヘッド
40の所望する位置と実際の位置の間の如何なるズレも
明らかにできる。キャリッジ30のこの前方及び後方移
動による位置の相違は「機械的ヒステリシス」と呼ば
れ、磁気読み書きヘッド40に読み取られた信号の振幅
を測定することによりこのヒステリシスを検出すること
が可能である。
スタンドにおいて最も一般的な2つの原因は、キャリッ
ジ30のヨー及びピッチである。用語「ヨー」は、垂直
軸のまわりのキャリッジ30の角運動を意味する。用語
「ピッチ」は、X軸に垂直な水平軸のまわりのキャリッ
ジ30の角運動を意味する。
ッジ30の位置は直線エンコーダ12,14を使用して
測定される。理想的な場合には、直線エンコーダは磁気
読み書きヘッド40に極めて接近して取り付けられ、そ
の実際の位置を測定する。実際には、機械的制限のため
に、多くの場合この方法で直線エンコーダ位置決めする
ことは不可能である。むしろ、エンコーダはヘッドから
離れて取り付けられる。この位置決め基準点は、キャリ
ッジのピッチ及びヨー運動のために、ヘッドの位置の測
定において誤差を招く。従って、複数の直線エンコーダ
は、ヘッドの実際の位置を最適に決定するために使用さ
れることを必要とする。米国特許第5,382,887
号では、キャリッジ(及び、取り付けられたヘッド)の
ヨー運動は、直線エンコーダ12,14をキャリッジの
両側面上に、キャリッジの移動の方向と平行に、及びキ
ャリッジの中心線(X軸)に対して対称に配置すること
により検出される。2つの直線エンコーダ12,14の
読み出し情報の差を使用して、位置決め移動の間に発生
するヨーの量が決定できる。しかし、キャリッジ30の
ピッチの量を決定して補償する現行の方法又は装置は無
い。
対するヘッドの位置決めに改良された精度を有する磁気
ヘッド及びディスクのテスタを提供する。ディスクに対
するヘッドのピッチが検出されて補正される。磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタが磁気読み書きヘッドの直線位
置決めを遂行し、磁気読み書きヘッドは磁気ディスクの
上方で概略位置決め機構及び精密位置決め機構によって
滑動可能なキャリッジに取り付けられる。上記従来技術
のスピンスタンドに類似した好ましい実施例では、概略
位置決め機構はステッパモータ、主ねじ、ナット、スラ
イダ、及び中間ブロックを含む。精密位置決め機構は圧
電アクチュエータ、スライダ、及びキャリッジを含む。
キャリッジ及びヘッドが受ける直線位置決め変位は主軸
に沿い、主軸は好ましくは水平である。しかし、キャリ
ッジの位置決めはキャリッジを傾斜傾向にさせ(即ち、
主軸に垂直な水平軸のまわりで傾き)、磁気読み書きヘ
ッドの直線位置決め誤差を僅かに招く。
では、キャリッジは圧電アクチュエータアセンブリを経
由して中間ブロックに接続され、圧電アクチュエータア
センブリはキャリッジをスライダに沿って、及び水平キ
ャリッジ軸又はX軸に沿って移動させる。2組の直線エ
ンコーダがX軸のまわりのキャリッジ上に取り付けら
れ、磁気ディスクに対する磁気読み書きヘッドの位置を
測定する。各エンコーダの組は、別々の水平面上に位置
するように取り付けられる。各組の1つの直線エンコー
ダは磁気読み書きヘッドの右に取り付けられ、他の1つ
は磁気読み書きヘッドの左に取り付けられ、磁気読み書
きヘッドは各組の2つの直線エンコーダから等距離にあ
る。磁気読み書きヘッドは、各組の直線エンコーダから
オフセットされてキャリッジに垂直方向に取り付けられ
る。精密位置決め移動の間のキャリッジのピッチは、
(垂直軸に対して一定の方向である)その正常な位置か
ら、X軸と直交する水平ピッチ(Z)軸のまわりでヘッ
ドを傾斜させる。エンコーダの垂直方向オフセットの組
はピッチの量を決定し、フィードバック回路が精密位置
決め装置にヘッドを移動させて予め定められた位置を補
正し、それによってピッチを除去する。
ットされた2つの独立した圧電アクチュエータは、キャ
リッジ及び磁気読み書きヘッドの精密位置決めを遂行す
るために使用される。異なる変位は垂直方向にオフセッ
トされた圧電アクチュエータにより発生され、キャリッ
ジのピッチを除去し、それにより磁気読み書きヘッドの
直線変位誤差を含むピッチを補正する。
圧電アクチュエータはまた、(上記従来技術のスピンス
タンドの様に)X軸に沿って作用する第1アクチュエー
タ、及びキャリッジの変位に作用するように垂直軸に沿
って配置された第2アクチュエータに対して使用しても
よい。後者のアクチュエータは、中間ブロックからキャ
リッジに伸張するL字形マウントの間の垂直軸に沿って
配置できる。従って、第2アクチュエータはアームを経
由して力をキャリッジの上面に加えさせ、それによりキ
ャリッジのピッチを補正する。
クのテスタ内部で磁気ディスクに対して磁気ヘッドを位
置決めするための改良された方法及び装置である。本発
明は、例えば、ヘッド自体の一般的な移動からヘッドに
加わる力によって、ディスクに関連する磁気ヘッドが受
けるピッチの補正を提供する。本発明は、幾つかの図面
に関して記載される。幾つかの図面で参照された部材が
変更なしで現れるとき、その部材は同じ参照番号を保持
する。
スクのテスタ100の第1の実施例の斜視図を示す。図
3のテスタ100は、1組の前部レール22,24、及
び後部レール26,28を有する延長ベース50を含
み、各レールは水平(X)軸方向に伸張する。キャリッ
ジ30は前部レール22,24に沿って滑動可能であ
り、中間ブロック38は後部レール26,28に沿って
滑動可能である。ヘッド支持部材44はキャリッジ30
に固定される。磁気読み書きヘッド40は、ヘッド支持
部材44の遠端部に取り付けられる。ベース50に固定
されたステッパモータ32は、キャリッジ30及び磁気
読み書きヘッド40の概略位置決めのために、ブロック
38上の駆動ナットに結合した主ネジ34を回転駆動す
る。圧電アクチュエータ48は、ブロック38に対する
キャリッジ30の精密位置決めのために、ブロック38
及びキャリッジ30の間に配置される。好ましい実施例
のキャリッジは2つの前部レールに沿って滑動可能であ
るとして記載されているが、本発明の請求の範囲から逸
脱することなく、種々の方法でX軸に沿うキャリッジの
変位が遂行できることを当業者は理解するであろう。例
えば、キャリッジは、単一のキーで止めた中心レール、
又は2つ以上のレールに沿って滑動できる。或いは、キ
ャリッジはローラ、ホイール、ベアリング、又はそれら
の組み合わせの上を転がることもできる。また、概略位
置決めは、例えば、モータ駆動プーリ、ベルト、又はギ
アの様な、X軸に沿ってキャリッジを変位させるための
種々の機構を利用できる。
線エンコーダ12,14は、各エンコーダが互いに向き
合い、X軸について対称で、ベース50に対するキャリ
ッジ30の移動の方向に平行であるように、キャリッジ
30上に設置される。第2の組の数値出力直線エンコー
ダ16,18は、キャリッジ30上に設置され、エンコ
ーダ16,18がエンコーダ12,14から各々固定さ
れた距離に配置され、エンコーダ12,14と各々平行
である点を除いて、エンコーダ12,14と同様にX軸
について配置される。
キャリッジ30の側面に設置される。何故ならば、これ
らの位置がよりアクセスしやすく、関心のある位置、即
ち、磁気読み書きヘッド40の読み書きヘッド素子に直
線エンコーダを正確に設置することが困難であるか、不
便であるか、場合によっては物理的に不可能であるから
である。しかし、エンコーダの組を本発明から逸脱する
ことなく異なって配向できることを、当業者は理解する
であろう。例えば、エンコーダの組の垂直方向の高さは
操作することができ、1組のエンコーダは磁気ヘッドと
同一平面に作ることができる。好ましい実施例では、直
線エンコーダはHeidenhain社(イリノイ州、ショームバ
ーグ市)製のLIF101R型である。これらのエンコ
ーダは、キャリッジの変位を1ナノメートルの分解能で
測定できる。電気的、機械的、磁気的、又は幾つかの組
み合わせのエンコーダの様な同様の精度を有する他の型
のエンコーダも使用できる。
0の直線変位を第1の水平面内で測定し、直線エンコー
ダ16,18はキャリッジ30の直線変位を第2の水平
面内で測定する。図示される実施例では、エンコーダ1
2,14は、キャリッジ30の各側面の直線変位の差を
測定するために、X軸について対称に配向される。即
ち、好ましい実施例では、エンコーダから垂直に同じ距
離だけ変位させられるが、磁気読み書きヘッド40は直
線エンコーダ12,14の間に配置される。直線エンコ
ーダ12,14の測定値を取り込み、これらの測定値の
平均を取ることにより、ヨーによる磁気ヘッドの位置の
誤差は数学的に除去でき、第1水平面内の既知の点から
のエンコーダ12,14の変位に対応する単一の変位値
S1が得られる。同じことを直線エンコーダ16,18
に対しても行うことができ、第2水平面内の既知の点か
らの他の変位値S2が、直線エンコーダ16,18に対
する各々の移動に対して得られる。或いは、位置信号の
組の平均を取る代わりに、エンコーダの組の各エンコー
ダ12,14及び16,18が発生する位置信号を使用
することに対して各側面の位置の誤差を別々に決定で
き、ヨーを補正するために使用される後者の値を用いて
各組に対して結果の平均を取ることができる。
ピンドル46に水平に支持されている)ディスク42に
対するヘッド40を例示する。(テストの間、ディスク
42に最接近する磁気ヘッドの一部である)磁気ヘッド
40の「接触点」は、正常に(即ち、ピッチなしで)垂
直ヘッド軸(又は「Y軸」)に沿って水平に置かれてお
り、垂直ヘッド軸(又は「Y軸」)はX軸と直交する。
図4では、キャリッジ30は、(角度「a」だけ)X軸
及びY軸の両方と直交するピッチ軸(又は「Z軸」)の
まわりで傾斜し、Y軸からX1の変位だけヘッド40の
変位を引き起こす。
準に対する磁気読み書きヘッド40の位置は2つの誤差
成分を含み、1つは前部レール22,24に沿うキャリ
ッジ30の水平方向の変位誤差により、他の1つはZ軸
のまわりのキャリッジ30のピッチ(回転)運動によ
る。その角特性によるピッチ成分は磁気読み書きヘッド
40の2つの型の移動に対応し、1つは垂直なY軸に沿
い、他の1つ(X1)は水平なX軸に沿う。垂直なY軸
での25ナノメートル領域の精度に対する必要性の欠如
により、キャリッジ30のピッチにより起こされる垂直
移動は、本実施例に対して無視できる。水平なX軸の成
分X1が重要である。キャリッジ30が角度aのピッチ
を有するとき、磁気ヘッド40の総変位量Aを決定でき
る。角度aとヘッド40の水平方向の変位の間の関係
は、以下の方程式により定式化できる。 P:まわりでピッチが発生する回転の位置(Z軸) S1:直線エンコーダ12,14により測定された、検
出器12,14の水平面内のベース50に対するキャリ
ッジ30の平均変位 S2:直線エンコーダ16,18により測定された、検
出器16,18の水平面内のベース50に対するキャリ
ッジ30の平均変位 A:S2から測定された、(ピッチaによる)磁気読み
書きヘッド40の水平方向の変位 H:ヘッド40及び直線エンコーダ12,14の水平面
の間の垂直方向の変位 L:各直線エンコーダの組12,14及び16,18の
水平面の間の垂直距離 ピッチ角aのタンジェントは以下の様に表せる。 tan a = A/(H+L) tan a = (S1−S2)/L 従って、 A = (S1−S2)*(R+L)/L 従って、垂直方向の磁気読み書きヘッド40の位置は、
(A+S2) = S1*(H+L)/L−S2*H/L
で表される。磁気読み書きヘッド40の位置(= A+
S2)を表す信号は制御増幅器54に送られ、図2に記
載したように、予め定められた位置に移動させるため
に、ヘッド40はフィードバック回路を使用して移動さ
せられる。
第2の実施例は、キャリッジ30のピッチが2つの圧電
アクチュエータを使用していることによる位置決め誤差
を除去するための方法及び装置を含む。2つの圧電アク
チュエータ48,49はX軸に平行な変位を提供するた
めに配置され、互いに垂直方向にオフセットされる。精
密位置決めは、2つの圧電アクチュエータ48,49を
一緒に作動させることにより達成される。2つの圧電ア
クチュエータ48,49の異なる移動を制御することに
より、キャリッジ30のピッチは制御され、又はこの場
合、前記の様に計算された測定値S1,S2を用いて除
去され、2組の直線エンコーダから制御増幅器54へフ
ィードバックされる。次にキャリッジ30は圧電アクチ
ュエータ48,49により操作され、ヘッド40の位置
が調整される。
され、2つの圧電アクチュエータ48,49'を含む。
上に記載の様に、圧電アクチュエータ48は、それがキ
ャリッジ30の水平方向の移動を制御するように配置さ
れる。第2の圧電アクチュエータ49’は、それがアー
ム56の移動を垂直方向に制御するように配置され、そ
れによって下にあるキャリッジ30の部分を制御する。
圧電アクチュエータ49’は中間ブロック38の上面に
固定され、そこから垂直上方に伸張する。アーム56
は、キャリッジ30の端部と向かい合う端部のアクチュ
エータ49’に取り付けられる。キャリッジ30のピッ
チの垂直変位成分は、圧電アクチュエータ49’による
アーム56の垂直移動により制御される。他の実施例と
同様に、測定値S1,S2は上に記載の様に計算され、
2組の直線エンコーダから制御増幅器54へフィードバ
ックされる。次にアーム56が操作され、ヘッド40の
位置が調整される。
脱することなく他の特定の形態で実施できる。例えば、
多くの磁気ヘッドを有するヘッドスタック及びディスク
パックは、単一の磁気ヘッド及び単一の磁気ディスクの
代わりに使用できる。後者の場合、各ヘッドに対するピ
ッチは別々に決定される。何故ならば、キャリッジピッ
チがスタック内の各ヘッドを、その関連するディスクに
対して異なる距離だけ移動させるからである。加えて、
少なくとも1つのステージが精密位置決めを行うことが
できる限り、2ステージ位置決めシステムの代わりに、
1つ又は2つ以上の位置決めステージを有する位置決め
システムを使用できる。また、磁気ヘッドに最も近いス
テージが精密位置決めを行うことは危険ではないが、む
しろ(時間的順番から)最後の能動ステージが(ピッチ
に対する補償を含む)精密位置決めを行う。他の実施例
の様に、概略位置決め装置は、(ドライバの代わりに)
モータ駆動ベルト位置決め装置の様な種々の形態を取る
ことができ、精密位置決め装置が圧電性である必要はな
い。キャリッジは、レールの代わりに、1つ又は複数の
ローラ、若しくはベアリング上に配置できる。
示し記載したが、特許請求の範囲によって定められる本
発明の範囲から逸脱することなしに種々の変形および変
更がなし得ることは、当業者には明らかであろう。
ある。
図である。
タの断面図である。
変位を示す略図である。
ュエータを示す本発明の斜視図である。
ために配置され、他の1つが力の垂直成分をキャリッジ
30に加えるために配置された2つの圧電アクチュエー
タを示す、本発明のテスタの斜視図である。
Claims (20)
- 【請求項1】 A.ベースと、 B.前記磁気ディスクを水平面内で支持するための前記
ベース上のスピンドルであって、前記ディスクは垂直軸
のまわりで回転可能である前記スピンドルと、 C.前記磁気ヘッドを堅固に支持するキャリッジであっ
て、水平基準軸の方向に前記ベース上を滑動的に位置決
め可能である前記キャリッジと、 D.前記キャリッジを前記基準軸に沿って駆動する手段
と、 E.前記基準軸の前記方向への前記ベースに対する前記
キャリッジの第1の部分の変位を表す第1の信号を発生
するために前記キャリッジに取り付けられた第1の測定
手段と、 F.前記基準軸の方向への前記ベースに対する前記キャ
リッジの第2の部分の変位を表す第2の信号を発生する
ために前記キャリッジに取り付けられた第2の測定手段
であって、前記キャリッジの前記第1の部分が前記キャ
リッジの前記第2の部分から垂直に変位させられている
前記第2の測定手段と、 G.前記基準軸に沿って前記ヘッドを位置決めするため
に前記第1の信号及び前記第2の信号に応答し、それに
よって前記キャリッジのピッチが実質的にオフセットさ
れる手段とから成ることを特徴とする、少なくとも1つ
の磁気ディスクに加えて少なくとも1つの磁気ヘッドを
テストするための磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項2】 前記駆動手段が、予め定められた位置の
付近における磁気ヘッドの概略位置決めのための第1の
駆動手段、及び予め定められた位置における磁気ヘッド
の精密位置決めのための第2の駆動手段を含むことを特
徴とする、請求項1記載の磁気ヘッド及びディスクのテ
スタ。 - 【請求項3】 前記第1の駆動手段が前記ベースに取り
付けられたステッパモータ、前記ステッパモータにより
回転可能な主ネジ、及び中間ブロックに固定されたナッ
トから成り、前記第2の駆動手段が前記中間ブロックと
前記キャリッジの間に取り付けられた圧電アクチュエー
タから成ることを特徴とする、請求項2記載の磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタ。 - 【請求項4】 前記第1の測定手段及び前記第2の測定
手段が各々1組の光学直線エンコーダを含み、前記第1
の測定手段の前記1組のエンコーダは前記第1の水平面
内で変位され、前記第2の測定手段の前記1組のエンコ
ーダは第1の水平面から垂直にオフセットされた第2の
水平面内で変位されることを特徴とする、請求項1記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項5】 前記第1の測定手段及び前記第2の測定
手段からの情報を使用して磁気ヘッドの位置を計算する
ために演算ユニットが使用されることを特徴とする、請
求項1記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項6】 予め定められた位置に磁気ヘッドを位置
決めするために前記第1の駆動手段及び前記第2の駆動
手段に命令を出すために制御増幅器ユニットが使用され
ることを特徴とする、請求項1記載の磁気ヘッド及びデ
ィスクのテスタ。 - 【請求項7】 前記第2の駆動手段が垂直にオフセット
された2つの圧電アクチュエータを含み、前記キャリッ
ジのピッチを制御するために前記2つの圧電アクチュエ
ータの動きが制御増幅器により制御されることを特徴と
する、請求項2記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項8】 前記第1の測定手段及び前記第2の測定
手段の信号間の差異を実質的に除去することにより、前
記圧電アクチュエータが前記キャリッジのピッチを除去
することを特徴とする、請求項7記載の磁気ヘッド及び
ディスクのテスタ。 - 【請求項9】 前記第2の駆動手段が2つの圧電アクチ
ュエータを含み、第1の前記圧電アクチュエータは前記
キャリッジの水平面内の位置決めを達成するために配置
され、第2の前記圧電アクチュエータは、前記キャリッ
ジのピッチを制御するために、前記ベースに対する前記
キャリッジに垂直な力を加えるために配置されることを
特徴とする、請求項8記載の磁気ヘッド及びディスクの
テスタ。 - 【請求項10】 A.垂直スピン軸のまわり及び実質的
に水平面内で磁気ディスクを回転可能なように支持する
スピンドルを含むベースと、 B.キャリッジに取り付けられた磁気ヘッドであって、
前記キャリッジが水平キャリッジ軸に沿って動けるよう
に、前記キャリッジが前記ベースに滑動可能に結合され
た前記磁気ヘッドと、 C.前記キャリッジ軸に沿って前記キャリッジを選択的
に位置決めするキャリッジ駆動手段と、 D.前記キャリッジ軸と直交する水平軸のまわりの磁気
ヘッドの方向を表す変位誤差信号を発生するキャリッジ
ピッチ測定アセンブリ、及び E.前記キャリッジ軸の方向に前記ヘッドの変位を引き
起こすピッチをオフセットするために、前記キャリッジ
軸に沿って前記誤差信号に応答して、前記キャリッジ駆
動手段に前記キャリッジの位置を調整させるフィードバ
ックネットワークアセンブリから成ることを特徴とす
る、磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項11】 前記キャリッジピッチ測定アセンブリ
が、 A.第1のエンコーダが前記キャリッジの右側面に固定
され、第2のエンコーダが前記キャリッジの左側面に固
定されて第1の水平面内で変位される、前記第1及び前
記第2のエンコーダを含む第1組のエンコーダと、 B.第3のエンコーダが前記キャリッジの右側面に固定
され、第1のエンコーダの下に垂直の距離Lの位置に変
位され、第4のエンコーダが前記キャリッジの左側面に
固定され、第2のエンコーダの下に垂直の距離Lの位置
に変位され、前記第3及び前記第4のエンコーダは前記
第1の水平面から垂直にオフセットされた第2の水平面
内に配置される前記第3及び前記第4のエンコーダを含
む第2組のエンコーダから成ることを特徴とする、請求
項10記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項12】 A.第1のエンコーダが第1の水平面
内でキャリッジの右側面の水平方向の直線変位を測定
し、 B.第2のエンコーダが第1の水平面内でキャリッジの
左側面の水平方向の直線変位を測定することを特徴とす
る、請求項11記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項13】 A.第3のエンコーダが第2の水平面
内でキャリッジの右側面の水平方向の直線変位を測定
し、 B.第4のエンコーダが第2の水平面内でキャリッジの
左側面の水平方向の直線変位を測定することを特徴とす
る、請求項12記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項14】 前記キャリッジ駆動手段が、前記キャ
リッジ軸方向に磁気ヘッドの概略位置決めをもたらす概
略駆動手段、及び磁気ヘッドの精密位置決めをもたらす
精密駆動手段を含むことを特徴とする、請求項10記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項15】 前記誤差信号が電気的な誤差信号であ
り、前記精密駆動手段が前記電気的な誤差信号に応答し
て前記磁気ヘッドを位置決めすることを特徴とする、請
求項14記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項16】 前記精密駆動手段が圧電アクチュエー
タを含むことを特徴とする、請求項15記載の磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタ。 - 【請求項17】 前記精密駆動手段が第1及び第2のア
クチュエータを含むことを特徴とする、請求項14記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項18】 前記第1及び第2のアクチュエータが
前記キャリッジに独立に力を加えられるように前記第1
及び第2のアクチュエータが配置され、前記第1及び第
2のアクチュエータの何れかによる前記キャリッジの選
択的変位が前記キャリッジのピッチに変化を引き起こす
ように、前記第1のアクチュエータが前記第2のアクチ
ュエータから垂直にオフセットされることを特徴とす
る、請求項17記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項19】 A.前記第1のアクチュエータが、前
記ベースに対する前記キャリッジに水平で直線方向の力
を加えることを可能にするために水平方向に変位され、 B.前記第2のアクチュエータが、前記ベースに対する
前記キャリッジに垂直な力を加えることを可能にするた
めに垂直方向に変位させられ、それによって前記第2の
アクチュエータの動作が前記キャリッジのピッチを調整
することを特徴とする、請求項17記載の磁気ヘッド及
びディスクのテスタ。 - 【請求項20】 実質的に水平面内で支持され、ベース
により支持されるスピンドルにより実質的に垂直なスピ
ン軸のまわりを回転可能なディスク、磁気ヘッドを支持
し水平なキャリッジ軸に沿って動くことができるキャリ
ッジ、前記キャリッジ軸に沿って前記キャリッジを位置
決めするキャリッジ駆動手段、及び前記キャリッジと直
交するピッチ軸のまわりでキャリッジのピッチにより引
き起こされる前記磁気ヘッドの傾斜を表す信号を発生す
るキャリッジピッチ測定アセンブリを有する磁気ヘッド
及びディスクのテスタ内の磁気ディスクに対する磁気ヘ
ッドの位置決めにおける誤差を補正する方法であって、 前記方法が、 A.予め定められた位置に対応する量+キャリッジのピ
ッチにより引き起こされた直線変位の量だけ、前記キャ
リッジ軸に沿って前記磁気ヘッドを移動させ、 B.キャリッジのピッチを検出し、 C.キャリッジのピッチによる予め定められた位置に対
する前記ヘッドの直線変位を決定し、 D.実質的に予め定められた位置における前記磁気ヘッ
ドの再位置決めに帰着するキャリッジの再位置決めに対
応する直線調整信号を発生し、 E.前記直線調整信号に応答して前記磁気ヘッドの位置
を調整する諸ステップから成ることを特徴とする前記方
法。
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