JP3507578B2 - Calibration method of radiation thermometer - Google Patents

Calibration method of radiation thermometer

Info

Publication number
JP3507578B2
JP3507578B2 JP09183395A JP9183395A JP3507578B2 JP 3507578 B2 JP3507578 B2 JP 3507578B2 JP 09183395 A JP09183395 A JP 09183395A JP 9183395 A JP9183395 A JP 9183395A JP 3507578 B2 JP3507578 B2 JP 3507578B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
radiation thermometer
shutter
host computer
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP09183395A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH08261840A (en
Inventor
勝彦 冨田
浩一 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP09183395A priority Critical patent/JP3507578B2/en
Publication of JPH08261840A publication Critical patent/JPH08261840A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3507578B2 publication Critical patent/JP3507578B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、赤外センサに入力す
る赤外光に基づいて対象物体の温度を測定するところの
放射温度計を校正する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for calibrating a radiation thermometer for measuring the temperature of a target object based on infrared light input to an infrared sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】上記放射温度計として、例えば特開平6
−341903号公報に開示されるものがあるが、この
ような放射温度計を校正するのに、従来は、校正対象で
ある放射温度計が温度管理された黒体など標準の放熱体
の温度を測定し、そのときの測定値と前記放熱体の温度
との差が誤差許容範囲内に入るまでボリウムなどの調整
機構で調整するようにしていた。
2. Description of the Related Art As the radiation thermometer described above, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
In order to calibrate such a radiation thermometer, conventionally, the radiation thermometer to be calibrated conventionally uses the temperature of a standard radiator such as a black body whose temperature is controlled. After the measurement, the adjustment mechanism such as a volume adjusts until the difference between the measured value at that time and the temperature of the radiator falls within the allowable error range.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の校正方法
は、マニュアル操作であり、その操作が煩わしく、人為
的なミスがなくならず、正確さに欠けるととともに、自
動化が困難であるため、同時に多くの放射温度計を校正
できないといった不都合がある。
The above-mentioned conventional calibration method is a manual operation, the operation is troublesome, human error is not eliminated, accuracy is low, and automation is difficult. The disadvantage is that many radiation thermometers cannot be calibrated.

【0004】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、同時に多くの放射温度計を簡単かつ正確に校
正することができる放射温度計の校正方法を提供するこ
とを目的としている。
The present invention has been made in view of the above matters, and an object of the present invention is to provide a calibration method of a radiation thermometer which can simultaneously and accurately calibrate many radiation thermometers.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、赤外センサに入力する赤外光に基づ
いて対象物体の温度を測定するところの放射温度計を校
正する方法において、前記放射温度計とデータの授受を
行うことができるホストコンピュータと、このホストコ
ンピュータとデータの授受を行うことができ、前記ホス
トコンピュータによって所定の温度になるように温度管
理された第1,第2の標準放熱体を設け、第1の標準放
熱体の温度と放射温度計による測定結果との差を計算
し、これに基づいて赤外センサの校正に必要な値を求
め、これをディジタルデータの形で前記放射温度計のメ
モリ部に格納し、前記ホストコンピュータによって第1
の標準放熱体の温度と異なる温度になるように温度管理
された第2の標準放熱体の温度を前記放射温度計によっ
て測定して、前記ホストコンピュータにおいて、前記測
定時における第2の標準放熱体の温度と前記放射温度計
による測定結果との差を計算し、この誤差が許容範囲内
であるか否かを確認するようにしている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for calibrating a radiation thermometer for measuring a temperature of a target object based on infrared light input to an infrared sensor, A host computer capable of transmitting and receiving data to and from the radiation thermometer, and first and second temperature control capable of transmitting and receiving data to and from the host computer so that a predetermined temperature is maintained . The standard heat radiating body is installed, the difference between the temperature of the first standard heat radiating body and the measurement result by the radiation thermometer is calculated, and the value necessary for the calibration of the infrared sensor is calculated based on this difference. wherein stored in the memory portion of the radiation thermometer in the form, first by the host computer
The temperature of the second standard heat radiator whose temperature is controlled to be different from that of the standard heat radiator is measured by the radiation thermometer, and the second standard heat radiator at the time of the measurement is measured by the host computer. The difference between the temperature and the measurement result by the radiation thermometer is calculated, and it is confirmed whether or not this error is within the allowable range.

【0006】そして、赤外センサの前面にシャッタを常
時閉じた状態で設け、このシャッタを開いたときに赤外
センサに入力する赤外光に基づいて対象物体の温度を測
定するところの放射温度計を校正する方法において、前
記放射温度計とデータの授受を行うことができるホスト
コンピュータと、このホストコンピュータとデータの授
受を行うことができ、前記ホストコンピュータによって
所定の温度になるように温度管理された第1,第2の標
準放熱体と、前記シャッタの温度検出を行うシャッタ温
度センサの校正を行うためのシャッタ温度校正用センサ
とを設け、前記シャッタ温度センサの検出温度と前記シ
ャッタ温度校正用センサの検出温度との温度差に基づい
て前記シャッタ温度センサの校正を行った後、第1の標
準放熱体の温度と前記放射温度計による測定結果との差
を計算し、これに基づいて赤外センサの校正に必要な値
を求め、これをディジタルデータの形で前記放射温度計
のメモリ部に格納し、前記ホストコンピュータによって
第1の標準放熱体の温度と異なる温度になるように温度
管理された第2の標準放熱体の温度を前記放射温度計に
よって測定して、前記ホストコンピュータにおいて、前
記測定時における第2の標準放熱体の温度と前記放射温
度計による測定結果との差を計算し、この誤差が許容範
囲内であるか否かを確認するようにしている。
Then, the radiation temperature at which the temperature of the object is measured based on the infrared light input to the infrared sensor when the shutter is opened is provided in the front of the infrared sensor with the shutter always closed. In a method for calibrating an instrument, a host computer capable of exchanging data with the radiation thermometer and an instrument capable of exchanging data with the host computer, the temperature control being performed by the host computer so that a predetermined temperature is achieved. first, a second standard thermal radiator, and a shutter temperature calibration sensor for calibrating the shutter temperature sensor for temperature detection of the shutter is provided, the shutter temperature correction and the detected temperature of the shutter temperature sensor after calibration of the shutter temperature sensor based on the temperature difference between the detected temperature of use sensor, and the temperature of the first standard heat radiator The difference from the measurement result by the radiation thermometer is calculated, the value necessary for the calibration of the infrared sensor is calculated based on this, and this value is stored in the memory section of the radiation thermometer in the form of digital data, and the host By computer
The temperature of the second standard heat radiator whose temperature is controlled so as to be different from the temperature of the first standard heat radiator is measured by the radiation thermometer, and the second standard at the time of the measurement is measured by the host computer. The difference between the temperature of the radiator and the measurement result of the radiation thermometer is calculated, and it is confirmed whether or not this error is within the allowable range.

【0007】[0007]

【作用】上記放射温度計の校正方法のいずれにおいて
も、従来のボリウムなどを用いた機械的手法と異なり、
校正対象である放射温度計はホストコンピュータからの
校正データを内部にストックし、これに基づいて校正が
行われるので、同時に多くの放射温度計を簡単かつ正確
に校正することができ、自動化も可能となる。
In any of the above-described calibration methods of the radiation thermometer, unlike the conventional mechanical method using volume,
The radiation thermometer to be calibrated stores the calibration data from the host computer internally, and calibration is performed based on this, so many radiation thermometers can be calibrated easily and accurately at the same time, and automation is also possible. Becomes

【0008】[0008]

【実施例】以下、この発明の詳細を、図を参照しながら
説明する。図1は、この発明の放射温度計の校正方法を
説明するための図で、この図1において、1は校正対象
である放射温度計(以下、被校正温度計という)であ
る。この被校正温度計1は、機構的構成としては例えば
前記公報に開示されたものと同様であるが、その構成を
図2および図3に基づいて簡単に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram for explaining a calibration method of a radiation thermometer according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 is a radiation thermometer to be calibrated (hereinafter referred to as a calibrated thermometer). The thermometer 1 to be calibrated has the same mechanical structure as that disclosed in, for example, the above publication, but the structure will be briefly described with reference to FIGS. 2 and 3.

【0009】すなわち、図2および図3において、2は
本体ケースで、その内部には例えばデュアルタイプの焦
電素子3a,3bよりなる赤外センサ3が設けられてい
る。4は本体ケース2に連設されるレンズホルダで、そ
の先端側には集光用レンズ5が着脱自在に設けられてい
る。6はレンズ5と赤外センサ3との間に設けられるシ
ャッタ、7はシャッタ6の近傍に設けられ、シャッタ6
の温度を検出するためのシャッタ温度センサで、例えば
サーミスタからなる。8はシャッタ温度校正用センサ1
9(後述する)を挿入するための挿入孔である。
That is, in FIGS. 2 and 3, reference numeral 2 is a main body case, and inside thereof, an infrared sensor 3 composed of, for example, dual type pyroelectric elements 3a and 3b is provided. Reference numeral 4 denotes a lens holder that is connected to the main body case 2, and a condensing lens 5 is detachably provided on the tip side of the lens holder. A shutter 6 is provided between the lens 5 and the infrared sensor 3, and a shutter 7 is provided near the shutter 6.
Is a shutter temperature sensor for detecting the temperature of, for example, a thermistor. 8 is a shutter temperature calibration sensor 1
It is an insertion hole for inserting 9 (described later).

【0010】前記シャッタ6としては、常時閉じてお
り、起動信号が入力されたとき、その可動部が直線的に
往復動作するものが好ましく、そのようなシャッタとし
て本願出願人が平成4年6月25日付けにて特許出願し
ている「電磁波断続装置」(特開平6−11655号公
報参照)があるので、ここでは簡単な説明にとどめてお
く。すなわち、前記シャッタ8は二つの自己保持ソレノ
イド6A,6Bと、板状部材に複数の開口6cを形成し
た可動体6Cとからなり、自己保持ソレノイド6A,6
Bに適宜の制御信号を入力することにより、可動体6C
を図2において矢印XY方向に移動させるものである。
As the shutter 6, it is preferable that the shutter 6 is always closed, and the movable portion thereof linearly reciprocates when an activation signal is input. Since there is an "electromagnetic wave interrupting device" (see Japanese Patent Laid-Open No. 6-11655) filed for a patent on 25th, only a brief description will be given here. That is, the shutter 8 is composed of two self-holding solenoids 6A and 6B and a movable body 6C in which a plurality of openings 6c are formed in a plate-shaped member.
By inputting an appropriate control signal to B, the movable body 6C
Is moved in the XY directions in FIG.

【0011】再び図1において、9は被校正温度計1に
内蔵されるマイクロコンピュータなどの演算制御部で、
被校正温度計1の各部を制御するとともに、前記赤外セ
ンサ3やシャッタ温度センサ7からの検出出力に基づい
て適宜演算を行う。10は被校正温度計1に設けられる
例えば不揮発性のメモリからなるメモリ部である。ま
た、11,12はアンプである。そして、13は信号入
出力部で、ホストコンピュータ14とデータの授受を行
なえる機能を備えている。
Referring again to FIG. 1, reference numeral 9 denotes an arithmetic control unit such as a microcomputer built in the thermometer 1 to be calibrated,
While controlling each unit of the thermometer 1 to be calibrated, an appropriate calculation is performed based on the detection output from the infrared sensor 3 and the shutter temperature sensor 7. Reference numeral 10 denotes a memory unit provided in the thermometer 1 to be calibrated, which includes, for example, a nonvolatile memory. Further, 11 and 12 are amplifiers. A signal input / output unit 13 has a function of exchanging data with the host computer 14.

【0012】前記ホストコンピュータ14は、演算制御
部15および信号入出力部16を備え、前記被校正温度
計1および標準の第1放熱体17、第2放熱体18(い
ずれも後述する)とデータの授受を行うとともに、シャ
ッタ温度校正用センサ19からのデータが入力される。
The host computer 14 includes an arithmetic control unit 15 and a signal input / output unit 16, and the thermometer 1 to be calibrated, a standard first radiator 17 and a second radiator 18 (each of which will be described later) and data. And the data from the shutter temperature calibration sensor 19 is input.

【0013】前記放熱体17,18は、被校正温度計1
と光学的に結ばれた位置に設けられている。そして、こ
れらの放熱体17,18は、それぞれ、黒体よりなる放
熱体本体17a,18a、温調器17b,18bを備え
るとともに、信号入出力部17c,18cを有してい
る。
The radiators 17 and 18 are the thermometer 1 to be calibrated.
It is provided at a position optically connected to. The heat radiators 17 and 18 are provided with heat radiator bodies 17a and 18a made of black bodies, temperature controllers 17b and 18b, and signal input / output units 17c and 18c.

【0014】そして、前記各信号入出力部16と13、
16と17c、16と18c、16とシャッタ温度校正
用センサ19との接続は、例えば、コンタクトピンによ
って行われる。
Then, each of the signal input / output units 16 and 13,
Connections between 16 and 17c, 16 and 18c and 16 and the shutter temperature calibration sensor 19 are made by, for example, contact pins.

【0015】次に、上述のように構成されたシステムに
おいて、被校正温度計1の校正を行う手順について説明
する。この実施例における被校正温度計1の校正は、
(I)シャッタ温度センサ7の校正と(II)赤外センサ
3の校正とからなる。
Next, a procedure for calibrating the thermometer 1 to be calibrated in the system configured as described above will be described. The calibration of the thermometer 1 to be calibrated in this embodiment is as follows.
(I) Calibration of the shutter temperature sensor 7 and (II) Calibration of the infrared sensor 3.

【0016】まず、(I)シャッタ温度センサ7の校正
手順について説明する。
First, (I) a procedure for calibrating the shutter temperature sensor 7 will be described.

【0017】(11)被校正温度計1のメモリ部10に
格納されているシャッタ温度校正用データをリセットす
る。
(11) Reset the shutter temperature calibration data stored in the memory section 10 of the thermometer 1 to be calibrated.

【0018】(12)レンズホルダ4の挿入孔8にシャ
ッタ温度校正用センサ19を挿入する。
(12) Insert the shutter temperature calibration sensor 19 into the insertion hole 8 of the lens holder 4.

【0019】(13)シャッタ温度センサ7の温度をサ
ンプリングする。
(13) The temperature of the shutter temperature sensor 7 is sampled.

【0020】(14)シャッタ温度校正用センサ19の
温度をサンプリングする。
(14) The temperature of the shutter temperature calibration sensor 19 is sampled.

【0021】(15)前記両測定温度の差に基づいて、
シャッタ温度センサ7の校正に必要な値(校正用デー
タ)を求める。
(15) Based on the difference between the two measured temperatures,
A value (calibration data) necessary for calibrating the shutter temperature sensor 7 is obtained.

【0022】(16)前記校正用データをディジタルデ
ータの形で被校正温度計1のメモリ部10に格納する。
(16) The calibration data is stored in the memory section 10 of the thermometer 1 to be calibrated in the form of digital data.

【0023】(17)再度、シャッタ温度センサ7の温
度と、シャッタ温度校正用センサ19の温度をサンプリ
ングし、前記校正用データと比較して、校正の結果を確
認する。
(17) Again, the temperature of the shutter temperature sensor 7 and the temperature of the shutter temperature calibration sensor 19 are sampled and compared with the calibration data to confirm the calibration result.

【0024】(18)レンズホルダ4からシャッタ温度
校正用センサ19を抜き取る。
(18) The shutter temperature calibration sensor 19 is pulled out from the lens holder 4.

【0024】次に、(II)赤外センサ3の校正手順につ
いて説明する。
Next, (II) the procedure for calibrating the infrared sensor 3 will be described.

【0025】(21)被校正温度計1のメモリ部10に
格納されている赤外センサ校正用データをリセットす
る。
(21) Reset the infrared sensor calibration data stored in the memory section 10 of the thermometer 1 to be calibrated.

【0026】(22)ホストコンピュータ14によって
所定の温度になるように温度管理された第1放熱体17
の温度を被校正温度計1によって測定する。
(22) The first heat radiator 17 whose temperature is controlled by the host computer 14 to reach a predetermined temperature.
The temperature of 1 is measured by the thermometer 1 to be calibrated.

【0027】(23)ホストコンピュータ14におい
て、前記測定時における第1放熱体17の温度と被校正
温度計1による測定結果との差(誤差)を計算し、これ
に基づいて赤外センサ3の校正に必要な値(校正用デー
タ)を求める。
(23) The host computer 14 calculates the difference (error) between the temperature of the first radiator 17 at the time of the measurement and the measurement result by the thermometer 1 to be calibrated, and based on this, the infrared sensor 3 Obtain the values required for calibration (calibration data).

【0028】(24)前記校正用データをディジタルデ
ータの形で被校正温度計1のメモリ部10に格納する。
(24) The calibration data is stored in the memory section 10 of the thermometer 1 to be calibrated in the form of digital data.

【0029】(25)ホストコンピュータ14によって
前記第1放熱体17の温度と異なる温度になるように温
度管理された第2放熱体18の温度を被校正温度計1に
よって測定する。
(25) The temperature of the second radiator 18 whose temperature is controlled by the host computer 14 to be different from the temperature of the first radiator 17 is measured by the thermometer 1 to be calibrated.

【0030】(26)ホストコンピュータ14におい
て、前記測定時における第2放熱体18の温度と被校正
温度計1による測定結果との差(誤差)を計算し、この
誤差が許容範囲内であるか否かを確認する。
(26) The host computer 14 calculates the difference (error) between the temperature of the second radiator 18 at the time of the measurement and the measurement result by the thermometer 1 to be calibrated, and confirms that this error is within the allowable range. Confirm whether or not.

【0031】上述のように、(I)シャッタ温度センサ
7の校正を行った後、(II)赤外センサ3の校正を行う
ことにより、被校正温度計1の校正が完了する。
As described above, the calibration of the thermometer 1 to be calibrated is completed by (I) calibrating the shutter temperature sensor 7 and then (II) calibrating the infrared sensor 3.

【0032】上述した放射温度計の校正方法において
は、測定結果を被校正温度計1において演算するのでは
なく、ホストコンピュータ14において演算を行い、校
正用データを求め、この校正用データをディジタルデー
タとして被校正温度計1のメモリ部10に格納している
ので、被校正温度計1における負担が軽減される。
In the above-described calibration method of the radiation thermometer, the measurement result is not calculated in the thermometer 1 to be calibrated, but is calculated in the host computer 14 to obtain the calibration data, and the calibration data is converted into digital data. Since it is stored in the memory unit 10 of the calibrated thermometer 1, the load on the calibrated thermometer 1 is reduced.

【0033】そして、上記放射温度計の校正方法におい
ては、 1)機械的接触を行うものではなく、電気的信号のみで
行うので、経時的な変化を伴うことがない。 2)振動、温度、湿度など外的ノイズの影響を受けるこ
とがなく、上記1)とあいまって、精度の高い校正を行
うことができる。 3)校正用データの保存や管理が行なえる。 4)ボリウムを操作するためのメカニカルな部分がない
ので、メンテナンスが容易である。 5)自動動化が容易であるとともに、高速処理を行なえ
る。といった優れた効果を奏する。
In the calibration method of the radiation thermometer, 1) mechanical contact is not made, and only an electric signal is made, so that there is no change with time. 2) With no influence of external noise such as vibration, temperature, and humidity, it is possible to perform highly accurate calibration in combination with the above 1). 3) The calibration data can be saved and managed. 4) Since there is no mechanical part for operating the volume, maintenance is easy. 5) Automatic automation is easy and high-speed processing is possible. Such an excellent effect.

【0034】さらに、ホストコンピュータ14から被校
正温度計1側への情報伝達を電気的通信のみで行うよう
にしているので、低コストで通信モジュールを増設する
ことができるとともに、これらを増やすことにより、1
台のホストコンピュータ14によって複数の被校正温度
計1を同時に校正することができ、校正能率が大いに向
上する。
Furthermore, since information is transmitted from the host computer 14 to the thermometer 1 to be calibrated only by electrical communication, it is possible to add communication modules at low cost and increase the number of these communication modules. 1
A plurality of thermometers 1 to be calibrated can be calibrated at the same time by the host computer 14 of the table, and the calibration efficiency is greatly improved.

【0035】また、上述の実施例のように、ホストコン
ピュータ14と、被校正温度計1や放熱体17,18な
どとの接続をコンタクトピンで行うようにした場合、そ
の接続・分離の操作性が向上するとともに、被校正温度
計1においては、電源立上がり時にコンタクトピンが接
続されているか否かを判断することができ、接続されて
いる場合には校正モードに自動的に入ることができると
いった利点もある。
When the host computer 14 is connected to the thermometer 1 to be calibrated, the radiators 17, 18 and the like by the contact pins as in the above-described embodiment, the operability of connection / separation thereof is improved. In the thermometer 1 to be calibrated, it is possible to judge whether or not the contact pin is connected when the power is turned on, and if so, the calibration mode can be automatically entered. There are also advantages.

【0036】上述した実施例においては、被校正温度計
1が赤外センサ3の前面にシャッタ6を常時閉じた状態
で設けた放射温度計であったが、この発明はこのような
放射温度計のみに限らず、シャッタ6を備えてない放射
温度計にも適用することができる。すなわち、シャッタ
6を備えてない放射温度計においては、シャッタ温度セ
ンサ7も設けられてないので、その校正を行う必要がな
い。したがって、前記校正手順のうち、(II)赤外セン
サ3の校正のみを、上記(21)〜(26)に示した手
順に従って行えばよい。このような校正方法によって
も、上記実施例と同様の効果が得られることはいうまで
もない。
In the above-described embodiment, the thermometer to be calibrated 1 is the radiation thermometer provided in front of the infrared sensor 3 with the shutter 6 always closed, but the present invention is such a radiation thermometer. The present invention is not limited to this, and can be applied to a radiation thermometer that does not include the shutter 6. That is, in the radiation thermometer without the shutter 6, since the shutter temperature sensor 7 is not provided, it is not necessary to calibrate it. Therefore, of the calibration procedures, only (II) the calibration of the infrared sensor 3 may be performed according to the procedures described in (21) to (26). It goes without saying that the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained by such a calibration method as well.

【0037】この発明は、上述の各実施例に限られるも
のではなく、ホストコンピュータ14と被校正温度計1
などとの情報伝達を無線によって行うようにしてもよ
い。
The present invention is not limited to the above-described embodiments, but includes the host computer 14 and the thermometer 1 to be calibrated.
Information may be wirelessly communicated with the above.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、放射温度計を簡単かつ正確に校正することができる
とともに、同時に多くの放射温度計の校正を行うことが
できる。そして、この発明によれば、放射温度計の校正
の自動化および高速化が大いに促進される。
As described above, according to the present invention, the radiation thermometer can be easily and accurately calibrated, and at the same time, many radiation thermometers can be calibrated. And according to this invention, the automation and speeding up of the calibration of the radiation thermometer are greatly promoted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明方法を実施するための構成の一例を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a configuration for carrying out the method of the present invention.

【図2】前記発明方法が適用される放射温度計の一例を
示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a radiation thermometer to which the method of the invention is applied.

【図3】前記放射温度計の縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view of the radiation thermometer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…放射温度計、3…赤外センサ、6…シャッタ、7…
シャッタ温度センサ、10…メモリ部、14…ホストコ
ンピュータ、17…第1の標準放熱体、18…第2の標
準放熱体。
1 ... Radiation thermometer, 3 ... Infrared sensor, 6 ... Shutter, 7 ...
Shutter temperature sensor, 10 ... Memory unit, 14 ... Host computer, 17 ... First standard radiator, 18 ... Second mark
Semi-radiator.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−117938(JP,A) 特開 平2−228529(JP,A) 特開 平6−341903(JP,A) 特開 平3−205524(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01J 5/00 - 5/62 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-117938 (JP, A) JP-A-2-228529 (JP, A) JP-A-6-341903 (JP, A) JP-A-3- 205524 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01J 5/00-5/62

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 赤外センサに入力する赤外光に基づいて
対象物体の温度を測定するところの放射温度計を校正す
る方法において、前記放射温度計とデータの授受を行う
ことができるホストコンピュータと、このホストコンピ
ュータとデータの授受を行うことができ、前記ホストコ
ンピュータによって所定の温度になるように温度管理さ
れた第1,第2の標準放熱体を設け、第1の標準放熱体
の温度と放射温度計による測定結果との差を計算し、こ
れに基づいて赤外センサの校正に必要な値を求め、これ
をディジタルデータの形で前記放射温度計のメモリ部に
格納し、前記ホストコンピュータによって第1の標準放
熱体の温度と異なる温度になるように温度管理された
の標準放熱体の温度を前記放射温度計によって測定し
て、前記ホストコンピュータにおいて、前記測定時にお
ける第2の標準放熱体の温度と前記放射温度計による測
定結果との差を計算し、この誤差が許容範囲内であるか
否かを確認するようにしたことを特徴とする放射温度計
の校正方法。
1. A host computer capable of exchanging data with the radiation thermometer in a method for calibrating a radiation thermometer for measuring the temperature of a target object based on infrared light input to an infrared sensor. And data can be exchanged with the host computer, and the first and second standard heat radiators whose temperature is controlled by the host computer to a predetermined temperature are provided, and the temperature of the first standard heat radiator is provided. And the measurement result of the radiation thermometer are calculated, and the value necessary for the calibration of the infrared sensor is calculated based on the difference, and this value is stored in the memory section of the radiation thermometer in the form of digital data, and stored in the host. The computer controls the temperature so that the temperature is different from that of the first standard radiator .
The temperature of the second standard radiator is measured by the radiation thermometer, and the host computer calculates the difference between the temperature of the second standard radiator and the measurement result by the radiation thermometer at the time of the measurement. A method for calibrating a radiation thermometer, characterized in that it is confirmed whether or not the error is within an allowable range.
【請求項2】 赤外センサの前面にシャッタを常時閉じ
た状態で設け、このシャッタを開いたときに赤外センサ
に入力する赤外光に基づいて対象物体の温度を測定する
ところの放射温度計を校正する方法において、前記放射
温度計とデータの授受を行うことができるホストコンピ
ュータと、このホストコンピュータとデータの授受を行
うことができ、前記ホストコンピュータによって所定の
温度になるように温度管理された第1,第2の標準放熱
体と、前記シャッタの温度検出を行うシャッタ温度セン
サの校正を行うためのシャッタ温度校正用センサとを設
け、前記シャッタ温度センサの検出温度と前記シャッタ
温度校正用センサの検出温度との温度差に基づいて前記
シャッタ温度センサの校正を行った後、第1の標準放熱
体の温度と前記放射温度計による測定結果との差を計算
し、これに基づいて赤外センサの校正に必要な値を求
め、これをディジタルデータの形で前記放射温度計のメ
モリ部に格納し、前記ホストコンピュータによって第1
の標準放熱体の温度と異なる温度になるように温度管理
された第2の標準放熱体の温度を前記放射温度計によっ
て測定して、前記ホストコンピュータにおいて、前記測
定時における第2の標準放熱体の温度と前記放射温度計
による測定結果との差を計算し、この誤差が許容範囲内
であるか否かを確認するようにしたことを特徴とする放
射温度計の校正方法。
2. A radiation temperature at which a shutter is always provided in front of an infrared sensor and the temperature of a target object is measured based on infrared light input to the infrared sensor when the shutter is opened. In a method for calibrating an instrument, a host computer capable of exchanging data with the radiation thermometer and an instrument capable of exchanging data with the host computer, the temperature control being performed by the host computer so that a predetermined temperature is achieved. first, a second standard thermal radiator, and a shutter temperature calibration sensor for calibrating the shutter temperature sensor for temperature detection of the shutter is provided, the shutter temperature correction and the detected temperature of the shutter temperature sensor After the shutter temperature sensor is calibrated based on the temperature difference from the temperature detected by the sensor, the temperature of the first standard radiator and the radiation The difference from the measurement result by the thermometer is calculated, the value necessary for the calibration of the infrared sensor is calculated based on this, and this value is stored in the memory unit of the radiation thermometer in the form of digital data, and the value is stored by the host computer. First
The temperature of the second standard heat radiator whose temperature is controlled to be different from the temperature of the standard heat radiator is measured by the radiation thermometer, and the second standard heat radiator at the time of the measurement is measured by the host computer. A method for calibrating a radiation thermometer, characterized in that the difference between the temperature and the measurement result by the radiation thermometer is calculated, and whether or not this error is within an allowable range is confirmed.
JP09183395A 1995-03-25 1995-03-25 Calibration method of radiation thermometer Expired - Fee Related JP3507578B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09183395A JP3507578B2 (en) 1995-03-25 1995-03-25 Calibration method of radiation thermometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09183395A JP3507578B2 (en) 1995-03-25 1995-03-25 Calibration method of radiation thermometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08261840A JPH08261840A (en) 1996-10-11
JP3507578B2 true JP3507578B2 (en) 2004-03-15

Family

ID=14037606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP09183395A Expired - Fee Related JP3507578B2 (en) 1995-03-25 1995-03-25 Calibration method of radiation thermometer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3507578B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6203193B1 (en) * 1997-09-22 2001-03-20 Citizen Watch Co. Ltd. Radiation thermometer and method for adjusting the same
KR101389004B1 (en) * 2013-03-19 2014-04-24 에이피시스템 주식회사 Apparatus for detecting temperature and method for operating the same and apparatus for processing substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08261840A (en) 1996-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6155712A (en) Radiation clinical thermometer
US6707044B2 (en) Infrared camera system
EP0593414B1 (en) Radiation clinical thermometer
US8366315B2 (en) Open-loop vertical drywell gradient correction system and method
US6751497B2 (en) Infrared thermometer
JPH0741026B2 (en) Thermometer
TW440686B (en) Method for determining a temperature and radiation thermometer with multiple infrared sensor elements
WO1999015866A1 (en) Radiation thermometer and method for adjusting the same
KR20010005869A (en) Measuring tip for a radiation thermometer
JP2603004B2 (en) Temperature measuring device and method for providing temperature signal
JP2009506333A (en) Method and apparatus for radiation signal output signal correction and radiation measurement
JP3507578B2 (en) Calibration method of radiation thermometer
EP1397652A2 (en) Infrared thermometer
JP2001004451A (en) Radiation thermometer
CN210487079U (en) Infrared temperature sensor, probe comprising same and infrared thermometer
JP2002538425A (en) Sensor module with integrated signal processing
US4030362A (en) Self-calibrating radiometer
JPH0235322A (en) Radiation clinical thermometer
JPH03251729A (en) Thermometric device
CN112113664A (en) Infrared temperature sensor, probe comprising same and infrared thermometer
JP2542781B2 (en) Infrared sensor calibration device
JP3619356B2 (en) Data writing system
JP2813331B2 (en) Radiation thermometer
JPH08278203A (en) Infrared ray radiation thermometer
JP2005028155A (en) Data writer

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031216

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20031219

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091226

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees