JP3489539B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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- ion lens
- conductive
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- ion
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、偶数本のロッド電
極から成るイオンレンズを有する質量分析装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】質量分析装置において、前段から飛来し
てくるイオンを収束し、場合によっては加速して後段の
質量分析器に送り込むイオンレンズという部品がある。
これについては従来より種々の形状のものが提案されて
いるが、最近では多重極ロッド型のイオンレンズが広く
用いられている。このイオンレンズは図６に示すように
（この例ではロッドの数は４本だが、６、８本など偶数
であればよい）、隣接する電極（例えば符号８１と８２
が付された電極）に、同一の直流電圧にそれぞれ位相が
反転した高周波電圧を重畳した電圧を印加する。長軸
（イオン光軸と呼ぶ）ｘの延伸方向に導入されたイオン
は、この高周波電場により所定の周期で振動しながら進
む。このため、イオンの収束効果が高く、より多くのイ
オンを後段へ送ることができる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】多重極ロッドイオンレ
ンズの各ロッド電極には上記の通り高周波電圧と直流電
圧とを重畳した電圧（複合電圧）が印加される。この複
合電圧は外部に設けられた電圧印加ユニットで生成され
るが、生成する電圧を安定したものにするため、電圧印
加ユニットとイオンレンズとは共振回路を構成するよう
に調整される。 【０００４】イオンレンズは使用につれ徐々に試料によ
り汚染されるため、適宜の間隔で取り外して清掃しなけ
ればならない。このため、従来はイオンレンズに固定さ
れたターミナルと、イオンレンズを収容する低圧室の壁
面に設けられたターミナルとの間は柔軟性のある導線で
接続され、イオンレンズの取り外し・取り付け等の動作
が容易に行えるようになっていた。 【０００５】しかし、このように柔軟性のある導線を使
用すると、イオンレンズを取り外す前と、清掃して取り
付けた後で導線の位置が変化する。上記の通り、外部の
電圧印加ユニットとイオンレンズは共振回路を構成する
が、それらの間を接続する導線も当然この共振回路の一
部を構成するため、それらの位置が変化するとそれらに
よる浮遊容量が変化し、再度面倒な共振調整を行わなけ
ればならないという問題が生ずる。 【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、清掃等
によるイオンレンズの取り外し・取り付けに際して、導
線の位置変化に起因する電圧再調整を不要とする質量分
析装置を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、偶数本のロッド電極を平行にかつ
イオン光軸に関して軸対称に配置して成る多重極イオン
レンズを低圧室内に配置した質量分析装置において、 a)同一の電圧を印加すべきロッド電極を電気的に接続す
るとともにそれらの位置を固定する導電性ホルダと、 b)上記低圧室の壁面を気密に貫通するリード線に電気的
に接続され、該壁面に対して位置が固定された回転可能
導電連結具ペアの第１部材と、 c)該導電連結具ペアの第２部材と該ホルダに固定された
ターミナルとを電気的に接続する剛性導電部材と、を備
えることを特徴としている。 【０００８】 【発明の実施の形態及び発明の効果】隣接するロッド電
極には位相の反転した高周波電圧が印加されるため、偶
数本のロッド電極は印加される電圧により２つのグルー
プに分かれ、各グループ内のロッド電極には同一の電圧
が印加される。上記導電性のホルダは、同一グループに
属する複数本のロッド電極を電気的に接続すると共に、
それらを固定する。従って、１つのイオンレンズには２
個の導電性ホルダが存在する。各導電性ホルダには、後
述の剛性導電部材を連結するためのターミナルが固定さ
れている。 【０００９】一方、このイオンレンズのロッド電極、す
なわち導電性ホルダに印加すべき電圧を供給するため、
イオンレンズが収容されている低圧室の壁面にはそれを
気密に貫通するリード線が２本設けられている。また低
圧室内には、その壁面（すなわち、低圧室全体）に対し
て位置が固定された回転可能導電連結具ペアが２個設け
られている。各回転可能導電性連結具ペアは第１部材と
第２部材から成り、それらは互いに電気的に導通しつつ
回転可能となっている。この第１部材は低圧室の壁面を
貫通するリード線に接続され、第２部材は剛性導電部材
に接続されている。従って、各剛性導電部材は第１部材
に対して回転可能であり、上記２個の導電性ホルダのい
ずれか一方のターミナルに接続可能な位置と、それから
離れた位置との間で位置を変えることができる。 【００１０】このように、本発明に係る質量分析装置で
はイオンレンズとそれを収容する低圧室の壁面との間は
剛性のある導電部材で接続されているため、メンテナン
ス等のためにイオンレンズを一旦取り外し、取り付けた
後も、導線は元と同じ位置に戻る。このため、導線によ
る浮遊容量が変化せず、高周波電源の面倒な共振調整が
不要となる。 【００１１】 【実施例】本発明を実施した液体クロマトグラフ質量分
析装置を説明する。分析装置全体の構成は図１に示す通
りであり、この装置には、イオン化室１１、質量分析検
出室１４、及び、それらの間にそれぞれ隔壁で隔てられ
た第１中間室１２及び第２中間室１３が設けられてい
る。イオン化室１１には、液体クロマトグラフ装置のカ
ラムの出口端に接続されたイオン化プローブ１５が配設
される。質量分析検出室１４には四重極フィルタ１６及
びイオン検出器１７が設けられ、それらの中間にある第
１及び第２中間室１２，１３にはそれぞれ第１イオンレ
ンズ１８及び第２イオンレンズ１９が設けられている。
イオン化室１１と第１中間室１２との間は細径の脱溶媒
パイプ２０を介して、第１中間室１２と第２中間室１３
との間は極小径の通過孔（オリフィス）を有するスキマ
ー２１を介してのみ連通している。 【００１２】イオン化室１１内はイオン化プローブ１５
から連続的に供給される試料液の気化分子によりほぼ大
気圧になっている一方、質量分析検出室１４内は質量分
析のためにターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）２７により約１
０−３〜１０−４Paの高真空状態まで真空排気される。
このように真空度の差の大きいイオン化室１１と質量分
析検出室１４との間に、イオンを通すための穴を設けな
ければならないことから、両者１１、１４の間に第１及
び第２中間室１２，１３を設け、徐々に真空度を上げる
ようにしているのである。なお、第１中間室１２内はロ
ータリポンプ（ＲＰ）２５により約１０２Paまで、第２
中間室１３内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）２６により
約１０−１〜１０−２Paまで真空排気される。 【００１３】試料液はイオン化プローブ１５からイオン
化室１１内に噴霧され、液滴中の溶媒が蒸発する過程で
試料分子はイオン化される。未だイオン化していない液
滴とイオンを含む霧はイオン化室１１と第１中間室１２
との圧力差により脱溶媒パイプ２０中に引き込まれる。
第１中間室１２内には第１イオンレンズ１８が設けられ
ており、その電界により脱溶媒パイプ２０を介してのイ
オンの引き込みを助けるとともに、イオンをスキマー２
１のオリフィス近傍に収束させる。 【００１４】スキマー２１のオリフィスを通って第２中
間室１３に導入されたイオンは、第２イオンレンズ１９
により収束及び加速された後、質量分析検出室１４へと
送られる。この第２イオンレンズ１９において多重極ロ
ッドイオンレンズが用いられている。 【００１５】質量分析検出室１４では、特定の質量数
（質量ｍ／電荷ｚ）を有するイオンのみが四重極フィル
タ１６中央の長手方向の空間を通り抜け、イオン検出器
１７に到達して検出される。 【００１６】第２イオンレンズ１９の詳細な構造を図２
及び図３に示す。本実施例の第２イオンレンズ１９は、
イオン光軸ｘの周囲に平行に、かつ、軸対称に（すなわ
ち、４５度間隔で）配置された８本のロッド３１ａ〜３
１ｈから成る。これらは前記の通り同一の電圧が印加さ
れる１本置きのロッドから構成される２つのグループに
分かれている。円柱状の各ロッド３１には溶接等により
ターミナル３２が固定され、図２に示すように、ロッド
３１の円弧部分がイオン光軸ｘ側となりターミナル３２
が外側となるように８本のロッド３１ａ〜３１ｈが光軸
ｘの回りに配置される。 【００１７】１つのグループに属する４本のロッド３１
は、図３に示すように１枚の皿状の金属製ディスク３３
に接触されることにより、互いに電気的に導通される。
図３では、同一のグループに属するロッド３１ａとロッ
ド３１ｅ（及び図示せぬロッド３１ｃと３１ｇ）が右側
のディスク３３ａを介して絶縁体ディスク３４に固定さ
れ、他のグループに属するロッド（図示されていない
が、３１ｂ、３１ｄ、３１ｆ、３１ｈ）が左側の金属製
ディスク３３ｂを介して絶縁体ディスク３４に固定され
ている。従って、図２において、ハッチングを施したタ
ーミナル３２ａ、３２ｃ、３２ｅ、３２ｇは手前側に、
白抜きのターミナル３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈは
向こう側に存在する。もちろん、両金属製ディスク３３
ａ、３３ｂ及びそれらに挟まれた絶縁体ディスク３４の
中心には、ロッド３１ａ〜３１ｈを通すための穴が明け
られている。 【００１８】各金属製ディスク３３ａ、３３ｂの周囲に
設けられたフランジ部には、ターミナル３５ａ、３５ｂ
が設けられている。 【００１９】図５（ａ）、（ｂ）に示すように、第２中
間室１３の側壁にはフィードスルー３６が設けられ、外
部と内部とを電気的に接続するリード線３７ａ、３７ｂ
がそこに気密に固定されている。リード線３７ａ、３７
ｂの先端には内部リード線３８ａ、３８ｂが接続され、
この内部リード線３８ａ、３８ｂの先端のフック３９
ａ、３９ｂが金属製ディスク３３ａ、３３ｂのターミナ
ル３５ａ、３５ｂに固定されることにより、外部の電圧
源からの電圧がイオンレンズ１９の各電極ロッドに供給
される。 【００２０】フィードスルー３６のリード線３７と内部
リード線３８は共に剛性のある金属線から成り、両者は
図４に示すようなソケット４０により接続される。ソケ
ット４０は、リード線３７に固定された第１部材４１と
内部リード線３８に固定された第２部材４２から成り、
両者は電気的接触を保持しつつ回転可能となっている。
これにより、図５（ｂ）に示すように、内部リード線３
８ａ、３８ｂを回転させることが可能となり、メンテナ
ンス等のためにイオンレンズ１９を取り外し・取り付け
る際のリード線の取り外し・取り付けが容易になる。ま
た、取り付けた後のリード線３７ａ、３７ｂ、３８ａ、
３８ｂの位置が変化しないため、それによる浮遊容量が
変化せず、外部の電圧源（図示せず）とイオンレンズ１
９とにより構成される共振回路のメンテナンス毎の再調
整が不要となる。
極から成るイオンレンズを有する質量分析装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】質量分析装置において、前段から飛来し
てくるイオンを収束し、場合によっては加速して後段の
質量分析器に送り込むイオンレンズという部品がある。
これについては従来より種々の形状のものが提案されて
いるが、最近では多重極ロッド型のイオンレンズが広く
用いられている。このイオンレンズは図６に示すように
（この例ではロッドの数は４本だが、６、８本など偶数
であればよい）、隣接する電極（例えば符号８１と８２
が付された電極）に、同一の直流電圧にそれぞれ位相が
反転した高周波電圧を重畳した電圧を印加する。長軸
（イオン光軸と呼ぶ）ｘの延伸方向に導入されたイオン
は、この高周波電場により所定の周期で振動しながら進
む。このため、イオンの収束効果が高く、より多くのイ
オンを後段へ送ることができる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】多重極ロッドイオンレ
ンズの各ロッド電極には上記の通り高周波電圧と直流電
圧とを重畳した電圧（複合電圧）が印加される。この複
合電圧は外部に設けられた電圧印加ユニットで生成され
るが、生成する電圧を安定したものにするため、電圧印
加ユニットとイオンレンズとは共振回路を構成するよう
に調整される。 【０００４】イオンレンズは使用につれ徐々に試料によ
り汚染されるため、適宜の間隔で取り外して清掃しなけ
ればならない。このため、従来はイオンレンズに固定さ
れたターミナルと、イオンレンズを収容する低圧室の壁
面に設けられたターミナルとの間は柔軟性のある導線で
接続され、イオンレンズの取り外し・取り付け等の動作
が容易に行えるようになっていた。 【０００５】しかし、このように柔軟性のある導線を使
用すると、イオンレンズを取り外す前と、清掃して取り
付けた後で導線の位置が変化する。上記の通り、外部の
電圧印加ユニットとイオンレンズは共振回路を構成する
が、それらの間を接続する導線も当然この共振回路の一
部を構成するため、それらの位置が変化するとそれらに
よる浮遊容量が変化し、再度面倒な共振調整を行わなけ
ればならないという問題が生ずる。 【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、清掃等
によるイオンレンズの取り外し・取り付けに際して、導
線の位置変化に起因する電圧再調整を不要とする質量分
析装置を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、偶数本のロッド電極を平行にかつ
イオン光軸に関して軸対称に配置して成る多重極イオン
レンズを低圧室内に配置した質量分析装置において、 a)同一の電圧を印加すべきロッド電極を電気的に接続す
るとともにそれらの位置を固定する導電性ホルダと、 b)上記低圧室の壁面を気密に貫通するリード線に電気的
に接続され、該壁面に対して位置が固定された回転可能
導電連結具ペアの第１部材と、 c)該導電連結具ペアの第２部材と該ホルダに固定された
ターミナルとを電気的に接続する剛性導電部材と、を備
えることを特徴としている。 【０００８】 【発明の実施の形態及び発明の効果】隣接するロッド電
極には位相の反転した高周波電圧が印加されるため、偶
数本のロッド電極は印加される電圧により２つのグルー
プに分かれ、各グループ内のロッド電極には同一の電圧
が印加される。上記導電性のホルダは、同一グループに
属する複数本のロッド電極を電気的に接続すると共に、
それらを固定する。従って、１つのイオンレンズには２
個の導電性ホルダが存在する。各導電性ホルダには、後
述の剛性導電部材を連結するためのターミナルが固定さ
れている。 【０００９】一方、このイオンレンズのロッド電極、す
なわち導電性ホルダに印加すべき電圧を供給するため、
イオンレンズが収容されている低圧室の壁面にはそれを
気密に貫通するリード線が２本設けられている。また低
圧室内には、その壁面（すなわち、低圧室全体）に対し
て位置が固定された回転可能導電連結具ペアが２個設け
られている。各回転可能導電性連結具ペアは第１部材と
第２部材から成り、それらは互いに電気的に導通しつつ
回転可能となっている。この第１部材は低圧室の壁面を
貫通するリード線に接続され、第２部材は剛性導電部材
に接続されている。従って、各剛性導電部材は第１部材
に対して回転可能であり、上記２個の導電性ホルダのい
ずれか一方のターミナルに接続可能な位置と、それから
離れた位置との間で位置を変えることができる。 【００１０】このように、本発明に係る質量分析装置で
はイオンレンズとそれを収容する低圧室の壁面との間は
剛性のある導電部材で接続されているため、メンテナン
ス等のためにイオンレンズを一旦取り外し、取り付けた
後も、導線は元と同じ位置に戻る。このため、導線によ
る浮遊容量が変化せず、高周波電源の面倒な共振調整が
不要となる。 【００１１】 【実施例】本発明を実施した液体クロマトグラフ質量分
析装置を説明する。分析装置全体の構成は図１に示す通
りであり、この装置には、イオン化室１１、質量分析検
出室１４、及び、それらの間にそれぞれ隔壁で隔てられ
た第１中間室１２及び第２中間室１３が設けられてい
る。イオン化室１１には、液体クロマトグラフ装置のカ
ラムの出口端に接続されたイオン化プローブ１５が配設
される。質量分析検出室１４には四重極フィルタ１６及
びイオン検出器１７が設けられ、それらの中間にある第
１及び第２中間室１２，１３にはそれぞれ第１イオンレ
ンズ１８及び第２イオンレンズ１９が設けられている。
イオン化室１１と第１中間室１２との間は細径の脱溶媒
パイプ２０を介して、第１中間室１２と第２中間室１３
との間は極小径の通過孔（オリフィス）を有するスキマ
ー２１を介してのみ連通している。 【００１２】イオン化室１１内はイオン化プローブ１５
から連続的に供給される試料液の気化分子によりほぼ大
気圧になっている一方、質量分析検出室１４内は質量分
析のためにターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）２７により約１
０−３〜１０−４Paの高真空状態まで真空排気される。
このように真空度の差の大きいイオン化室１１と質量分
析検出室１４との間に、イオンを通すための穴を設けな
ければならないことから、両者１１、１４の間に第１及
び第２中間室１２，１３を設け、徐々に真空度を上げる
ようにしているのである。なお、第１中間室１２内はロ
ータリポンプ（ＲＰ）２５により約１０２Paまで、第２
中間室１３内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）２６により
約１０−１〜１０−２Paまで真空排気される。 【００１３】試料液はイオン化プローブ１５からイオン
化室１１内に噴霧され、液滴中の溶媒が蒸発する過程で
試料分子はイオン化される。未だイオン化していない液
滴とイオンを含む霧はイオン化室１１と第１中間室１２
との圧力差により脱溶媒パイプ２０中に引き込まれる。
第１中間室１２内には第１イオンレンズ１８が設けられ
ており、その電界により脱溶媒パイプ２０を介してのイ
オンの引き込みを助けるとともに、イオンをスキマー２
１のオリフィス近傍に収束させる。 【００１４】スキマー２１のオリフィスを通って第２中
間室１３に導入されたイオンは、第２イオンレンズ１９
により収束及び加速された後、質量分析検出室１４へと
送られる。この第２イオンレンズ１９において多重極ロ
ッドイオンレンズが用いられている。 【００１５】質量分析検出室１４では、特定の質量数
（質量ｍ／電荷ｚ）を有するイオンのみが四重極フィル
タ１６中央の長手方向の空間を通り抜け、イオン検出器
１７に到達して検出される。 【００１６】第２イオンレンズ１９の詳細な構造を図２
及び図３に示す。本実施例の第２イオンレンズ１９は、
イオン光軸ｘの周囲に平行に、かつ、軸対称に（すなわ
ち、４５度間隔で）配置された８本のロッド３１ａ〜３
１ｈから成る。これらは前記の通り同一の電圧が印加さ
れる１本置きのロッドから構成される２つのグループに
分かれている。円柱状の各ロッド３１には溶接等により
ターミナル３２が固定され、図２に示すように、ロッド
３１の円弧部分がイオン光軸ｘ側となりターミナル３２
が外側となるように８本のロッド３１ａ〜３１ｈが光軸
ｘの回りに配置される。 【００１７】１つのグループに属する４本のロッド３１
は、図３に示すように１枚の皿状の金属製ディスク３３
に接触されることにより、互いに電気的に導通される。
図３では、同一のグループに属するロッド３１ａとロッ
ド３１ｅ（及び図示せぬロッド３１ｃと３１ｇ）が右側
のディスク３３ａを介して絶縁体ディスク３４に固定さ
れ、他のグループに属するロッド（図示されていない
が、３１ｂ、３１ｄ、３１ｆ、３１ｈ）が左側の金属製
ディスク３３ｂを介して絶縁体ディスク３４に固定され
ている。従って、図２において、ハッチングを施したタ
ーミナル３２ａ、３２ｃ、３２ｅ、３２ｇは手前側に、
白抜きのターミナル３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈは
向こう側に存在する。もちろん、両金属製ディスク３３
ａ、３３ｂ及びそれらに挟まれた絶縁体ディスク３４の
中心には、ロッド３１ａ〜３１ｈを通すための穴が明け
られている。 【００１８】各金属製ディスク３３ａ、３３ｂの周囲に
設けられたフランジ部には、ターミナル３５ａ、３５ｂ
が設けられている。 【００１９】図５（ａ）、（ｂ）に示すように、第２中
間室１３の側壁にはフィードスルー３６が設けられ、外
部と内部とを電気的に接続するリード線３７ａ、３７ｂ
がそこに気密に固定されている。リード線３７ａ、３７
ｂの先端には内部リード線３８ａ、３８ｂが接続され、
この内部リード線３８ａ、３８ｂの先端のフック３９
ａ、３９ｂが金属製ディスク３３ａ、３３ｂのターミナ
ル３５ａ、３５ｂに固定されることにより、外部の電圧
源からの電圧がイオンレンズ１９の各電極ロッドに供給
される。 【００２０】フィードスルー３６のリード線３７と内部
リード線３８は共に剛性のある金属線から成り、両者は
図４に示すようなソケット４０により接続される。ソケ
ット４０は、リード線３７に固定された第１部材４１と
内部リード線３８に固定された第２部材４２から成り、
両者は電気的接触を保持しつつ回転可能となっている。
これにより、図５（ｂ）に示すように、内部リード線３
８ａ、３８ｂを回転させることが可能となり、メンテナ
ンス等のためにイオンレンズ１９を取り外し・取り付け
る際のリード線の取り外し・取り付けが容易になる。ま
た、取り付けた後のリード線３７ａ、３７ｂ、３８ａ、
３８ｂの位置が変化しないため、それによる浮遊容量が
変化せず、外部の電圧源（図示せず）とイオンレンズ１
９とにより構成される共振回路のメンテナンス毎の再調
整が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例である液体クロマトグラフ
質量分析装置の概略構成図。 【図２】 実施例の液体クロマトグラフ質量分析装置の
第２中間室で用いられる第２イオンレンズにおける電極
ロッドの配置を示す正面図。 【図３】 第２イオンレンズの構造を説明するための断
面図。 【図４】 リード線を接続するソケットの断面図。 【図５】 第２中間質の正面図（ａ）及び平面図
（ｂ）。 【図６】 ロッド型多重極イオンレンズの概略構成図。 【符号の説明】 １１…イオン化室 １２…第１中間室 １３…第２中間室 １４…質量分析検出室 １５…イオン化プローブ １６…四重極フィルタ １７…イオン検出器 １８…第１イオンレンズ １９…第２イオンレンズ ３１ａ〜３１ｈ…電極ロッド ３２ａ〜３２ｈ…ロッドのターミナル ３３、３３ｂ…金属製ディスク ３４…絶縁体ディスク ３５ａ、３５ｂ…金属製ディスクのターミナル ３６…フィードスルー ３７ａ、３７ｂ…リード線 ３８ａ、３８ｂ…内部リード線 ３９ａ、３９ｂ…フック ４０…ソケット
質量分析装置の概略構成図。 【図２】 実施例の液体クロマトグラフ質量分析装置の
第２中間室で用いられる第２イオンレンズにおける電極
ロッドの配置を示す正面図。 【図３】 第２イオンレンズの構造を説明するための断
面図。 【図４】 リード線を接続するソケットの断面図。 【図５】 第２中間質の正面図（ａ）及び平面図
（ｂ）。 【図６】 ロッド型多重極イオンレンズの概略構成図。 【符号の説明】 １１…イオン化室 １２…第１中間室 １３…第２中間室 １４…質量分析検出室 １５…イオン化プローブ １６…四重極フィルタ １７…イオン検出器 １８…第１イオンレンズ １９…第２イオンレンズ ３１ａ〜３１ｈ…電極ロッド ３２ａ〜３２ｈ…ロッドのターミナル ３３、３３ｂ…金属製ディスク ３４…絶縁体ディスク ３５ａ、３５ｂ…金属製ディスクのターミナル ３６…フィードスルー ３７ａ、３７ｂ…リード線 ３８ａ、３８ｂ…内部リード線 ３９ａ、３９ｂ…フック ４０…ソケット
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/00 - 49/42
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 偶数本のロッド電極を平行にかつイオン
光軸に関して軸対称に配置して成る多重極イオンレンズ
を低圧室内に配置した質量分析装置において、 a)同一の電圧を印加すべきロッド電極を電気的に接続す
るとともにそれらの位置を固定する導電性ホルダと、 b)上記低圧室の壁面を気密に貫通するリード線に電気的
に接続され、該壁面に対して位置が固定された回転可能
導電連結具ペアの第１部材と、 c)該導電連結具ペアの第２部材と該ホルダに固定された
ターミナルとを電気的に接続する剛性導電部材と、 を備えることを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000154849A JP3489539B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000154849A JP3489539B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001332210A JP2001332210A (ja) | 2001-11-30 |
| JP3489539B2 true JP3489539B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
ID=18659879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000154849A Expired - Lifetime JP3489539B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3489539B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4581184B2 (ja) * | 2000-06-07 | 2010-11-17 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| US8575545B2 (en) * | 2011-07-15 | 2013-11-05 | Bruker Daltonics, Inc. | Fixed connection assembly for an RF drive circuit in a mass spectrometer |
| JPWO2023157086A1 (ja) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 |
-
2000
- 2000-05-25 JP JP2000154849A patent/JP3489539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001332210A (ja) | 2001-11-30 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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