JP3479170B2 - 液晶駆動基板の検査方法 - Google Patents
液晶駆動基板の検査方法Info
- Publication number
- JP3479170B2 JP3479170B2 JP20117995A JP20117995A JP3479170B2 JP 3479170 B2 JP3479170 B2 JP 3479170B2 JP 20117995 A JP20117995 A JP 20117995A JP 20117995 A JP20117995 A JP 20117995A JP 3479170 B2 JP3479170 B2 JP 3479170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- modulator
- voltage
- driving substrate
- crystal driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
主要な部品である液晶駆動基板の検査方法に関する。 【0002】 【従来の技術】周知のように、液晶表示パネルは、透明
電極を貼り合わせたガラス基板と液晶駆動基板とをスペ
ーサを介して対面配置し、このガラス基板と液晶駆動基
板との間隙に液晶を封止して構成される。この液晶駆動
基板は、液晶の駆動方法によって種々の構成のものが知
られている。 【0003】図3はTFT(薄膜トランジスタ)を使用
したアクティブマトリックス方式の液晶駆動基板の構成
例を示す平面図である。同図において、ガラス基板1の
表面には互いに平行な複数本の行配線6,6,…が所定
ピッチを隔てて布線されると共にこれらの行配線と直交
する列配線4,4,…が所定ピッチを隔てて布線されて
いる。そして、ガラス基板1上において各行配線および
各列配線が交差する各交差点毎に、各々1個の画素電極
2およびスイッチング用のTFT3が各々配置されてい
る。ここで、各TFT3は、ソース端子が列配線4に接
続され、ドレイン端子が画素電極2に接続され、ゲート
端子は列配線6に接続されている。行方向に並んだ一連
のTFT3,3,…は、当該行配線6から各々のゲート
端子に所定の電圧が印加されることによって導通状態と
なり、これにより各列配線4に対する各印加電圧が各T
FT3を介して各画素電極2に印加される。ここで、液
晶駆動基板Aは、製造工程の途中のものであり、各TF
T3を静電気等から保護するために、行配線4は全てシ
ョーティングバー5に接続され、列配線6は全てショー
ティングバー7に接続されている。しかし、この液晶駆
動基板Aが液晶表示パネルとして完成する時点では、シ
ョーティングバー5、7は除去され、各々の行配線4お
よび列配線6は分離される。 【0004】ところで、本出願人は、このように構成さ
れた液晶駆動基板Aの検査装置として、電界によって光
の反射率が変化する電気光学特性を有する電気光学素子
(モジュレータ)を用いたものを特開平5−25679
4号公報に開示した。 【0005】図4は、この検査装置の主要部の構成を示
す図であり、この図において、符号Bはモジュレータで
ある。モジュレータBは、内部に液晶が封入された液晶
シート10の片面に薄膜透明電極11を貼り合わせ、ま
た他面にモジュレータBに照射された光を反射する半導
体反射膜12を蒸着または貼り合わせて構成されてい
る。このモジュレータBは、検査装置に固定されてお
り、液晶駆動基板Aは、このように構成されたモジュレ
ータBに微小間隔(10μm〜20μm)をおいて、か
つ、位置精度良く面対向配置される。そして、モジュレ
ータBの薄膜透明電極11および液晶駆動基板Aのショ
ーティングバー5、7には、電圧印加装置Cによって液
晶駆動基板Aの動作を検査するために必要な所定の電圧
がそれぞれ印加される。そして、モジュレータBの表面
には、ハロゲンランプDによって均一に光が照射され
る。CCDカメラEは、モジュレータBの表面からの反
射光によって、モジュレータBの表面を一枚の画像とし
て捉える。 【0006】次に、液晶駆動基板Aは、微小間隔をおい
てモジュレータBに対向して配置されているので、モジ
ュレータBの液晶シート10内に封入された液晶は、薄
膜透明電極11と液晶駆動基板Aの各画素電極2との間
に発生する電界の影響を受ける。この電界の影響によっ
て、液晶シート10内に封入された液晶は、その分子配
向を変化させ、ハロゲンランプDによって照射される光
に対する反射率を変化させる。しかし、列配線4または
行配線6の断線、列配線4と行配線6の短絡等の不良に
よって正常に電圧が印加されない画素電極2に対向する
部分のモジュレータBの光の反射率は、正常に電圧が印
加された画素電極2に対向する部分の光の反射率とは異
なった値となる。 【0007】したがって、CCDカメラEによって捉え
られるモジュレータBの反射光による画像は、液晶駆動
基板Aの画素電極2に印加された電圧を反映させた輝度
分布を有する画像となる。ここで、CCDカメラEとモ
ジュレータBの位置関係は常に一定になっているため、
画像処理装置Fは、CCDカメラEから入力される画像
を各画素電極2について指定されている所定のアドレス
に対応させて所定の処理を施すことができる。つまり、
画像処理装置Fは、CCDカメラEから入力される画像
情報が何番目のアドレスの画素電極2に対応する情報で
あるのを常に認識して所定の処理を行うことができる。
これによって、画像処理装置Fは、各画素電極2毎に動
作状態を検出して液晶駆動基板Aの良否を判定し、この
結果をモニタGに表示する。 【0008】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した構
成のモジュレータは、液晶シートに薄膜透明電極を貼り
合わせる際に、異物あるいは気泡が混入することがあ
る。また、半導体反射膜と液晶駆動基板との間隙は10
μm〜20μmと僅かなために、検査しようとする液晶
駆動基板と半導体反射膜との間に異物が存在した場合に
傷つくことがある。モジュレータにおいて、このように
異物の混入部または傷ついた部分(モジュレータ欠陥)
の光の反射率は低下し、この部分は液晶駆動基板上の画
素電極の欠陥を正確に検出することができない。つま
り、従来、このようなモジュレータを使って液晶駆動基
板の検査をした場合、モジュレータ欠陥を画素電極の欠
陥として判定してしまうため、良品の液晶駆動基板を不
良品として判定するという問題があった。また、このよ
うな問題から、従来の液晶駆動基板の検査方法では、半
導体反射膜が傷ついた場合、速やかにモジュレータを交
換しなければならないため、検査効率が悪くコストが掛
かるという問題があった。 【0009】本発明は上述する問題点に鑑みてなされた
もので、モジュレータ欠陥を液晶駆動基板の欠陥として
判定することを抑え、かつ、作業効率の良い液晶駆動基
板の検査方法を提供することを目的とする。 【0010】 【課題を解決するための手段】本発明の液晶駆動基板の
検査方法は、上述する問題点を解決するために、液晶に
電界を与えるための複数の画素電極と、これらの各画素
電極に駆動電圧を印加するための回路とが形成されてな
る液晶駆動基板を、表面に透明電極が形成され、かつ、
電界強度に依存して光の反射率が変化する液晶シートを
有するモジュレータを使用して検査する液晶駆動基板の
検査方法において、 a.前記透明電極と前記画素電極とによって前記液晶シ
ートが挟まれるように、前記モジュレータと、前記液晶
駆動基板とを対面配置し、 b.前記液晶駆動基板のショーティングバーに所定電圧
を印加することにより該ショーティングバーに接続され
た各画素電極を接地すると共に、モジュレータの透明電
極に所定の電圧を印加し、 c.上記bの電圧印加時における前記モジュレータの各
部の光の反射状態を測定することにより、前記モジュレ
ータの欠陥箇所を求め、この欠陥箇所をメモリに記憶さ
せ、 d.前記モジュレータの透明電極と前記液晶駆動基板の
各画素電極との間に所定の電圧を印加し、e .上記dの電圧印加時における前記モジュレータの各
部の光の反射状態を測定し、この測定結果と前記メモリ
に記憶された前記モジュレータの欠陥箇所とに基づい
て、前記液晶駆動基板の欠陥を検出する、ことを特徴と
する。 【0011】 【作用】本発明による液晶駆動基板の検査方法によれ
ば、モジュレータの欠陥箇所を求めた上で、この欠陥箇
所を考慮して液晶駆動基板の欠陥箇所を検出するので、
モジュレータの欠陥を液晶駆動基板の欠陥として誤認す
ることがない。 【0012】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
よる液晶駆動基板の検査方法の一実施例について説明す
る。なお、本実施例において検査する液晶駆動基板およ
び検査時におけるモジュレータと液晶駆動基板との位置
関係は、既に説明した図3および図4と同様でありその
説明を省略する。 【0013】図1は、本実施例の液晶駆動基板の検査方
法を示すフローチャートである。以下、このフローチャ
ートに沿って、本実施例の検査方法を詳しく説明する。 〔ステップS1〕液晶駆動基板の搭載 液晶駆動基板Aは、装着手段(図示略)によってモジュ
レータBに対して微小距離(10μm〜20μm)隔
て、かつ位置精度良く検査装置に搭載される。そして、
ハロゲンランプDによって均一な強度の光がモジュレー
タBの表面全体に照射される。CCDカメラEは、モジ
ュレータBの表面を所定の位置から順次走査する。そし
て、各部から得られる反射光をその強度に対応した電圧
に変換することによって、モジュレータBの各部の輝度
を表す画像データを形成し、画像処理装置Fに出力す
る。 【0014】〔ステップS2〕E/Oゲインキャリブレ
ーション このステップS2において、画像処理装置Fは、以下に
示す処理によってモジュレータBの電気光学利得(E/
Oゲイン)を各画素電極2について算出する。図2は、
モジュレータBの電気光学特性を示す図である。この図
において、モジュレータBの薄膜透明電極11に印加す
る電圧Eを増加させたとき、CCDカメラEが検出する
モジュレータBの反射光量Oは曲線Pに沿って変化す
る。例えば、電圧Eを電圧値E0をバイアス電圧とし、
薄膜透明電極11に印加する電圧Eを電圧E1から電圧
E2まで変化させたとき、CCDカメラEが検出する反
射光量は、略直線的に反射光量O1から反射光量O2まで
変化する。この電圧Eの変化量|E2−E1|に対する反
射光量Oの変化量|O2−O1|の比|E2−E1|/|O
2−O1|がE/Oゲインである。このE/Oゲインは、
先に説明したモジュレータ欠陥部と正常部とで異なった
値となる。 【0015】実際にE/Oゲインを求める場合、電圧印
加装置Cは、液晶駆動基板Aの各画素電極2を接地状態
とし、モジュレータBの薄膜透明電極11には、まず電
圧E1を印加する。この電圧E1は、同時に画像処理装置
Fの内部メモリに記憶される。画像処理装置Fは、この
ときにCCDカメラEが出力する電圧EO1を各画素電極
2毎に内部のメモリに記憶する。ここで、液晶駆動基板
Aは、極めて位置精度良く検査装置に装着される。した
がって、画像処理装置Fは、CCDカメラEが出力する
電圧EO1を画素電極2に予め割り付けられているアドレ
スに対応付けて内部メモリに記憶する。 【0016】次に、電圧印加装置Cは、薄膜透明電極1
1に電圧E2を印加し、画像処理装置Fは、このときC
CDカメラEが出力する電圧EO2、および電圧E2を内
部メモリに記憶する。画像処理装置Fは、このようにし
て記憶した電圧E1、E2および反射光量O1、O2にそれ
ぞれ対応した電圧EO1、EO2に基づいてE/Oゲインを
各画素電極2に対向する部分(つまり、各画素電極2の
アドレス)について求め、この値をE/Oゲイン・デー
タXとして記憶する。このE/Oゲイン・データXは、
以下に説明するステップS5のイメージ電圧の取得にお
いて、各画素電極2毎に求められた反射光量からイメー
ジ電圧を算出するときに使われる。 【0017】〔ステップS3〕モジュレータ欠陥フィル
タの作成 ところで、上述したようなモジュレータ欠陥部は、正常
部と比較して反射光量が低下するため、この部分のE/
Oゲインは、正常部よりも大きな値となる。画像処理装
置Fは、各画素電極2毎に算出されたE/Oゲイン・デ
ータXを所定のしきい値によって2値化し、モジュレー
タ欠陥部分とそれ以外の正常部とに分離する。例えば、
モジュレータ欠陥部を”1”に対応させ、正常部を”
0”に対応させる。そして、この処理を全ての画素電極
2について行い、モジュレータ欠陥データRとして画素
電極2のアドレスに対応させて内部メモリに記憶する。 【0018】〔ステップS4〕基板電圧印加 次に、電圧印加装置Cは、モジュレータBの薄膜透明電
極11にバイアス電圧E0を印加し、ショーティングバ
ー5、7には、以下に示すようなパターンの電圧を各々
印加する。 (a)ショーティングバー7に正電圧を印加し、ショー
ティングバー5に電圧Exを印加する。 (b)ショーティングバー7を接地し、ショーティング
バー5に電圧Exを印加する。 (c)ショーティングバー7に正電圧を印加し、ショー
ティングバー5を接地する。 【0019】〔ステップS5〕イメージ電圧取得 上記電圧印加パターン毎に、モジュレータBの反射光量
に対応したCCDカメラEの出力電圧が画像処理回路F
に取り込まれる。例えば、上記(a)の電圧印加パター
ンにおいて、正常に動作する画素電極2には電圧Exが
印加され、この画素電極2に対向するモジュレータBの
反射光量は、反射光量Oxとなる。しかし、列配線4が
点xにおいて断線している画素電極2の場合、左側の一
列の画素電極2には電圧Exが印加されないため、この
部分のモジュレータBの反射光量は、反射光量Oxにな
り得ず、他の部分に比較して低い反射光量となる。 【0020】また、上記(b)の電圧印加パターンにお
いて、列配線4の点xと点yとが短絡している場合、左
上端の画素電極2のみに電圧Exが印加され、この部分
のモジュレータBの反射光量は、反射光量Oxとなる。
この場合、他の画素電極2に対向する部分は、反射光量
Oxになり得ず、低い反射光量となる。さらに、上記
(c)の電圧印加パターンにおいて、点yと点zとが短
絡している場合、上記と同様に左上端の画素電極2のみ
に電圧Exが印加され、この部分のモジュレータBの反
射光量は、反射光量Oxとなる。 【0021】このように、モジュレータBの反射光量
は、画素電極2への電圧の印加状態を反映した反射光量
となる。画像処理装置Fは、この反射光量に対応するC
CDカメラEの出力電圧を、先に記憶されたE/Oゲイ
ン・データXを用いてイメージ電圧Eyに変換し、これ
を内部メモリに記憶する。 【0022】〔ステップS6〕2値化 次に、各々の画素電極2について算出されたイメージ電
圧Eyは、ステップS4において実際にショーティングバ
ー5に印加された電圧Exと比較され、その差が所定の
しきい値Sに対して大きいか否かによって2値化され
る。例えば、|Ex−Ey|<Sである場合、その画素電
極2は、正常画素であるとして”0”に対応付けられ、
|Ex−Ey|≧Sである場合、欠陥画素であるととし
て”1”に対応付けられる。このように、画像処理装置
Fは、画素電極2毎に正常画素”0”と欠陥画素”1”
とに対応させたデータを欠陥画素データTとして記憶す
る。 【0023】〔ステップS7〕フィルタリング 画像処理装置Fは、各々記憶されたモジュレータ欠陥デ
ータRと欠陥画素データTとを同一画素電極2毎に対応
させて比較する。そして、欠陥画素データTにおいて”
1”が割り付けられた画素電極2がモジュレータ欠陥デ
ータRにおいて同様に”1”が割り付けられている場
合、この画素電極2を欠陥画素と認定せずに正常画素と
認定する。画像処理装置Fは、このような認定を全ての
画素電極2について行い、真に液晶駆動基板Aの不良に
よる欠陥画素のみを検出する。ただし、画像処理装置F
は、水平方向あるいは垂直方向に欠陥画素が一列に並ぶ
線欠陥が欠陥画素データT中に存在する場合、この線欠
陥の途中にモジュレータ欠陥データRにおいて”1”が
割り付けられた画素電極2が存在したとき、これを連続
した1本の線欠陥と認定する。 【0024】〔ステップS8〕欠陥判定 画像処理装置Fは、予め内部メモリに記憶された欠陥画
素の許容数と上記フィルタリングの結果得られた欠陥画
素数とを比較する。そして、画像処理装置Fは、この結
果から液晶駆動基板Aの良否を自動的に判定し、判定結
果をモニタGに表示して検査を終了する。または、欠陥
画素数と同時に液晶駆動基板Aの欠陥画素の分布を画像
としてモニタGに表示し、操作員が欠陥画素数とその分
布状態から液晶駆動基板Aの良否を判定することも可能
である。 【0025】 【発明の効果】本発明による液晶駆動基板の検査方法に
よれば、以下のような効果を得ることができる。 (1)モジュレータの欠陥箇所を液晶駆動基板の画素電
極の欠陥箇所として判定されることを防止することがで
きる。 (2)モジュレータが傷ついた場合においても、ある程
度、モジュレータの使用を続けることが可能であるた
め、モジュレータを効率よく使用することが可能であり
経済的である。 (3)傷ついたモジュレータの交換回数が減少し、液晶
駆動基板の検査が能率的に行えるため、検査の作業性が
向上する。
る工程図である。 【図2】モジュレータの電気光学特性を示す図である。 【図3】TFTタイプのアクティブマトリックス方式液
晶駆動基板の一構成例を示す平面図である。 【図4】液晶駆動基板の検査装置の主要部の構成を示す
図である。 【符号の説明】 A 液晶駆動基板 1 ガラス基板 2 画素電極 3 TFT 4 列配線 5、7 ショーティングバー 6 行配線 B モジュレータ 10 液晶シート 11 薄膜透明電極 12 半導体反射膜 C 電圧印加装置 D ハロゲンランプ E CCDカメラ F 画像処理装置 G モニタ
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 液晶に電界を与えるための複数の画素電
極と、これらの各画素電極に駆動電圧を印加するための
回路とが形成されてなる液晶駆動基板を、表面に透明電
極が形成され、かつ、電界強度に依存して光の反射率が
変化する液晶シートを有するモジュレータを使用して検
査する液晶駆動基板の検査方法において、 a.前記透明電極と前記画素電極とによって前記液晶シ
ートが挟まれるように、前記モジュレータと、前記液晶
駆動基板とを対面配置し、 b.前記液晶駆動基板のショーティングバーに所定電圧
を印加することにより該ショーティングバーに接続され
た各画素電極を接地すると共に、モジュレータの透明電
極に所定の電圧を印加し、 c.上記bの電圧印加時における前記モジュレータの各
部の光の反射状態を測定することにより、前記モジュレ
ータの欠陥箇所を求め、この欠陥箇所をメモリに記憶さ
せ、 d.前記モジュレータの透明電極と前記液晶駆動基板の
各画素電極との間に所定の電圧を印加し、 e.上記dの電圧印加時における前記モジュレータの各
部の光の反射状態を測定し、この測定結果と前記メモリ
に記憶された前記モジュレータの欠陥箇所とに基づい
て、前記液晶駆動基板の欠陥を検出する、 ことを特徴とする液晶駆動基板の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20117995A JP3479170B2 (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 液晶駆動基板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20117995A JP3479170B2 (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 液晶駆動基板の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0950012A JPH0950012A (ja) | 1997-02-18 |
JP3479170B2 true JP3479170B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=16436668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20117995A Expired - Fee Related JP3479170B2 (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 液晶駆動基板の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3479170B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100987890B1 (ko) | 2003-11-13 | 2010-10-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법 |
KR100868746B1 (ko) * | 2007-07-19 | 2008-11-13 | 주식회사 오킨스전자 | 배선 결함 검사 방법 |
KR102634099B1 (ko) * | 2016-07-11 | 2024-02-06 | 세메스 주식회사 | 모듈레이터 관리 장치 및 방법 |
CN114578591A (zh) * | 2020-12-01 | 2022-06-03 | 群创光电股份有限公司 | 封装电路的制造方法 |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP20117995A patent/JP3479170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0950012A (ja) | 1997-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3275103B2 (ja) | アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査方法 | |
US5377030A (en) | Method for testing active matrix liquid crystal by measuring voltage due to charge in a supplemental capacitor | |
JP3273972B2 (ja) | 液晶ディスプレイ基板の検査方法 | |
JP3246704B2 (ja) | 配線基板の検査装置 | |
US5719648A (en) | Liquid crystal display apparatus and method for producing the same with electrodes for producing a reference signal outside display area | |
US5459410A (en) | Method and apparatus for automatically inspecting and repairing an active matrix LCD panel | |
US5459409A (en) | Testing device for liquid crystal display base plate | |
NL9400925A (nl) | Inspectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor display-inrichting. | |
JPH0643490A (ja) | アクティブマトリックス基板の製造方法および検査方法と液晶表示装置の製造方法 | |
JP3273973B2 (ja) | アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置およびその検査方法並びに検査装置用電気光学素子 | |
JP3479170B2 (ja) | 液晶駆動基板の検査方法 | |
JPH08105926A (ja) | 配線パターン検査装置及び配線パターン検査方法 | |
JP3479171B2 (ja) | 液晶駆動基板の検査方法 | |
JPH05341246A (ja) | マトリクス型表示素子の製造方法 | |
JPH11174106A (ja) | 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法 | |
JPH08248372A (ja) | フラットパネルディスプレイの検査方法 | |
JPH11271800A (ja) | 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法 | |
JP3446729B2 (ja) | 液晶画像表示装置とその検査方法及びその製造方法 | |
JP3439038B2 (ja) | 液晶ディスプレイ基板の検査方法及び装置 | |
JP2774704B2 (ja) | アクティブマトリクス基板検査装置および方法 | |
JPH0950013A (ja) | 液晶駆動基盤の検査方法 | |
JP2912189B2 (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
JPH05303068A (ja) | ディスプレイ基板の検査装置及びその検査方法 | |
CN111679460B (zh) | 一种显示面板不良的解析方法及装置 | |
KR101192072B1 (ko) | 액정표시장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030917 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |