JP3472435B2 - 測定子の移動機構 - Google Patents

測定子の移動機構

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、接触により被測定
物の位置を検知する一対の測定子が設けられる一対のス
ライダを有し、当該一対の測定子を相対移動させるため
の測定子の移動機構に関する。
【0002】
【背景技術】内径、外径等の被測定物の2側面間の距離
の測定に用いられる測定機は、接触により被測定物の位
置を検出する一対の測定子と、これら一対の測定子を相
対移動させるための移動機構とを備えている。このよう
な測定機によれば、被測定物の位置を検出する一対の測
定子間の距離を測定することにより被測定物の寸法を測
定することができるので、孔径、外径、溝幅等、被測定
物の多様な寸法を精度よく測定することができる。
【0003】このような測定機としては、従来より図5
に示すような測定機が知られ、この測定機5は、本体5
1上に設けられるテーブル52から一対の測定子53が
上方に突出して設けられ、一対の測定子53を互いに離
れる方向に移動させ、それぞれを被測定物9の内側面9
1に当接させることにより、被測定物9の内側面寸法を
測定することができる。一対の測定子53を相対移動さ
せる測定子の移動機構54は、テーブル52の下方、本
体51の内部に設けられるレール55と、このレール5
5に移動自在に取り付けられる一対のスライダ56とを
備えている。
【0004】そして、レール55は、その延出方向略中
央部で、一方のスライダ56を案内する第1のガイド面
551と、他方のスライダ56を案内する第2のガイド
面552とに分割され、各々のガイド面551、552
が各スライダ56の移動範囲となっている。尚、図5で
は図示しなかったが、本体51上にはスケールが設けら
れるとともに、スライダ56には、検出器が設けられ、
これにより、一対の測定子53間の距離を検出してい
る。
【0005】また、他の例として図6に示すような測定
機が知られ、この測定機6は、本体61上に設けられた
テーブル62に移動機構64が隣接配置されたものであ
る。移動機構64は、測定子63の移動方向に沿って対
向配置される一対のレール65と、このレール65上に
それぞれ移動自在に取り付けられるスライダ66とを備
え、測定子63は、延長用のアーム67を介してスライ
ダ66に取り付けられている。そして、それぞれのレー
ル65の側面部および上面部が第1のガイド面651、
第2のガイド面652とされ、スライダ66は、これら
のガイド面651、652上を移動し、測定子63が被
測定物9の内側面91に当接することによって、被測定
物9の内側面寸法を測定することが可能となる。尚、図
6では図示を略したが、一対の測定子63間の距離測定
は、上述した測定機5と同様に、レール65のそれぞれ
にスケールを設け、各々のスライダ66に設けられる検
出器によって行われる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の測定機5、6では、レール55、65の延出
方向に沿って第1のガイド面551、651、第2のガ
イド面552、652が区画されているため、大きな被
測定物の寸法を測定できる測定機にしようとすると、そ
の分レール55、65の長さ寸法を大きくとらなければ
ならず、測定機5、6が大型化してしまうという問題が
ある。また、測定機6では、2本のレール65を測定子
63の移動方向に沿って精度よく本体61上に設けなけ
ればならないので、部品点数の増加による測定機の組立
工数の増加を招くうえ、測定機の構造が複雑化してしま
うという問題がある。
【0007】本発明の目的は、測定機の構造が複雑化す
ることがなくかつ測定機が大型化することのない測定子
の移動機構を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る測定子の移
動機構は、接触により被測定物の位置を検知する一対の
測定子が設けられる一対のスライダを有し、当該一対の
測定子を相対移動させるための測定子の移動機構であっ
て、前記一対のスライダのうち、いずれか一方のスライ
ダを案内する第1のガイド面と、いずれか他方のスライ
ダを案内する第2のガイド面とが、前記被測定物が載置
されるテーブルが設けられた本体に支柱を介して支持さ
れた一本のレールの全体に亘って分割して形成され、前
記一対のスライダは、当該スライダと前記レールとの間
に設けられ、移動抵抗を低減するエアベアリング及びこ
のエアベアリングによる斥力と釣り合う引力を発生させ
る磁石又は負圧発生装置からなる吸引手段により前記第
1のガイド面および前記第2のガイド面に案内され、
記レール上に設けられる載荷機構及びエアシリンダによ
前記レール上を移動することを特徴とする。
【0009】ここで、具体的な測定子の移動機構として
は、例えば、レールが断面角形の柱状体であり、この柱
状体の角形断面の垂直方向の対称軸を中心として第1の
ガイド面と第2のガイド面とが分割して形成され、第1
のガイド面および前記第2のガイド面が柱状体の各側面
によって形成される上面部と、側面部と、下面部とを備
え、一対のスライダが第1のガイド面および第2のガイ
ド面の側面部と対向する垂直部と、この垂直部の両端か
ら直交して延出しかつガイド面の上面部および下面部と
当接する一対の水平部とを備えている移動機構が考えら
れる。
【0010】このような本発明によれば、第1のガイド
面および第2のガイド面とが一本のレールの全体に亘っ
て分割形成されているので、それぞれのスライダの移動
範囲を一本のレール全体に設定することが可能となり、
測定機の小型化を図ることが可能となる。また、一本の
レールに一対のスライダが移動自在に取り付けられてい
るので、複数本のレールを測定子の移動方向に沿って精
度よく対向配置させる必要もなく、測定機の構造の簡素
化を図ることが可能となる。
【0011】以上において、移動機構としては、スライ
ダとレールとの間には移動抵抗を低減するためにエアベ
アリングが設けられたものを採用するのが好ましく、ス
ライダを上述のように断面コ字形とした場合、スライダ
の垂直部には、このエアベアリングによる斥力とつり合
う引力を発生させる吸引手段が設けられた移動機構を採
用するのが好ましい。ここで、吸引手段とは、エアベア
リングが噴出する空気によって発生するレール、スライ
ダ間の斥力を相殺する手段をいい、例えば、レール、ス
ライダ間の空気を吸引する負圧発生装置であってもよ
く、スライダに磁石を設け、これにより、スライダ、レ
ール間に引力を発生させてエアベアリングによる斥力を
相殺するようなものであってもよい。
【0012】すなわち、上述した測定機では、レール、
スライダ間の移動抵抗は測定子の撓みの大きさ、ばらつ
きに大きく影響を与え、精密測定を行う上で当該移動抵
抗を低減することは極めて重要である従って、レール、
スライダ間にエアベアリングを採用することにより、当
該移動抵抗をほぼ0にすることができるので、極めて高
精度の精密測定を行うことが可能な測定機が形成され
る。また、スライダにエアベアリングによる斥力を相殺
する引力を発生させる吸引手段が設けられているので、
レールの延出方向に沿って延びる溝等を形成してスライ
ダの脱落等を防止する必要がなく、測定機の構造を一層
簡単にすることが可能となる。
【0013】また、上述したエアベアリングは、スライ
ダの水平部および垂直部の面外方向に位置調整可能に設
けられているのが好ましい。すなわち、エアベアリング
が位置調整可能であれば、スライダ、レールの寸法精度
に影響されることなく、レールに対して移動抵抗を低減
する適切な位置にエアベアリングを配置することが可能
となる。従って、レール、スライダの寸法精度を必要以
上に高精度化する必要がなく、測定子の移動機構の製造
コストの低減が図られる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態を図面
に基づいて説明する。尚、以下の説明では、既に説明し
た部材と同一又は類似の部材又は部分については、その
説明を省略又は簡略にする。図1には、本発明の実施形
態に係る測定機1が示され、測定機1は、その本体11
上に被測定物9が載置されるテーブル12が設けられ、
被測定物9の上方には一対の測定子13が互いに逆方向
A、Bに移動可能となっている。移動機構14は、前記
テーブル12上方に配置され、一対の測定子13の移動
方向に沿って延びるレール15と、このレール15上に
当該レール15の延出方向に移動自在に取り付けられる
一対のスライダ16とを含んで形成される。
【0015】レール15は、テーブル12の上方に水平
方向に配置される角形断面の鋼製柱状体からなり、その
両端を支柱111を介して本体11上に支持されてい
る。そして、このレール15は、後述する当該角形断面
の垂直方向の対称軸Cを中心として分割され、柱状体の
一方の側が第1のガイド面151、対向する他方の側が
第2のガイド面152とされている。一対のスライダ1
6は、第1のガイド面151および第2のガイド面15
2によって案内され、レール15に対してその延出方向
に移動自在に支持されている。
【0016】それぞれのスライダ16は、レール15上
に設けられたエアシリンダ17および載荷機構18によ
ってレール15上を移動する。スライダ16の下部に
は、測定子13が設けられているとともに、一方のスラ
イダ16には、スケール163が設けられ、他方のスラ
イダ16には、検出器164が設けられている。そし
て、スケール163および検出器164で一対のスライ
ダ16の相対距離を測定することにより、一対の測定子
13間の相対距離が測定することができ、一対の測定子
13を被測定物9の内側面91に接触させて被測定物9
の内側面間寸法の測定をすることができる。
【0017】第1のガイド面151および第2のガイド
面152は、図2に示すように、レール15の角形断面
の垂直軸Cを中心として線対称に形成され、第1のガイ
ド面151は、柱状体の各側面となる上面部151A
と、側面部151Bと、後述する下面部151Cとから
構成され、第2のガイド面152も同様に、上面部15
2A、側面部152B、下面部152Cとから構成され
ている。第1のガイド面151によって案内されるスラ
イダ16は、当該第1のガイド面151を覆う断面コ字
形をなし、前記側面部151Bと対向配置される垂直部
161と、この垂直部161の両端から直交して延出し
かつ上面部151Aおよび下面部151Cに対向する一
対の水平部162とを備え、第2のガイド面152によ
って案内されるスライダ16も同様の構成を有してい
る。
【0018】レール15のガイド面151、152に対
向するスライダ16の垂直部161および水平部162
には、図2から判るように、複数のエアベアリング21
が設けられている。スライダ16の一対の水平部162
に設けられるエアベアリング21は、前記垂直軸Cに直
交する角形断面の水平軸Dを中心として上下に線対称に
配置されているとともに、垂直部161の略中央には、
吸引手段となる複数の磁石22が設けられている。
【0019】そして、スライダ16は、複数のエアベア
リング21による斥力と、上述した磁石22による引力
と、スライダ16自身の自重によってバランスが取ら
れ、レール15の各面部151A〜151Cと離間した
状態で保持される。すなわち、第1のガイド面151の
上面部151Aに空気を噴出するエアベアリング21に
よって発生する鉛直上方の力は、スライダ16の自重と
下面部151Cに対向するエアベアリング21の鉛直下
方の力との合力によってバランスが取られている。垂直
部161に設けられるエアベアリング21の水平方向外
側に作用する力は、垂直部161の中央部に設けられる
磁石22と、鋼製のレール15との間の引力によってバ
ランスが取られている。
【0020】前述のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果がある。すなわち、第1のガイド面151およ
び第2のガイド面152とが一本のレール15の全体に
亘って分割形成されているので、一対のスライダ16の
移動範囲を一本のレール15全体に設定することがで
き、測定機1が必要以上に大型化することがない。ま
た、一本のレール15に一対のスライダ16が移動自在
に取り付けられているので、複数本のレールを測定子の
移動方向に沿って精度よく対向配置させる必要もなく、
測定機の構造の簡素化を図ることができる。
【0021】さらに、レール15、スライダ16間にエ
アベアリング21を採用することにより、レール15、
スライダ16間の移動抵抗をほぼ0にすることができる
ので、測定子13の撓みに大きな変動を生じることがな
く、測定機1によって極めて高精度の精密測定を行うこ
とができる。
【0022】そして、スライダ16にエアベアリング2
1による斥力を相殺する引力を発生させる吸引手段とな
る磁石22が設けられているので、レールの延出方向に
沿って延びる溝等を形成してスライダ16の脱落等を防
止する必要がなく、測定機1の構造を一層簡単にするこ
とができる。また、一対のスライダ16の移動範囲が一
本のレール15の2つの側面を使って平行に設定されて
いるので、一方のスライダ16に設けられるスケール1
63と他方のスライダ16に設けられる検出器164と
によって一対の測定子13間の相対距離を測定するこが
できる。従って、従来例で説明した測定機5、6のよう
に、一対のスライダ56、66のそれぞれにスケールお
よび検出器を設ける必要がなく、測定機の構造を一層簡
単にすることができる。
【0023】尚、本発明は、前述の実施形態に限定され
るものではなく、次に示すような変形をも含むものであ
る。すなわち、前述の実施形態では、第1のガイド面1
51および第2のガイド面152は上面部151A、1
52Aと、側面部151B、152Bと、下面部151
C、152Cとを備え、スライダは垂直部161および
一対の水平部162からなる断面コ字形のスライダ16
によって構成される移動機構1であった。
【0024】しかし、本発明は、これに限らず、図3に
示すように、レール35の上面部351A、352Aお
よび側面部351B、352Bがガイド面351、35
2とされ、スライダ36が側面部351Bに対向する垂
直部362および上面部351Aに対向する水平部36
2を備えた断面L字形のスライダ36を有する移動機構
34であってもよい。
【0025】さらに、レール45の下面部451C、4
52Cおよび側面部451B452Bがガイド面45
1、452とされ、このガイド面451、452と対向
する垂直部461および水平部462を備えた断面L字
形のスライダ46を有する移動機構44であってもよ
い。この場合、垂直部361、461に設けられる吸引
手段となる磁石22を設ける他、水平部362、462
にも磁石22を設け、上下方向の力のバランスを取ると
よい。要するに、エアベアリング21、磁石22の位置
は、レールおよびスライダの形状に応じて、レールとス
ライダとが当接しないように適宜設ければよい。
【0026】また、前述の実施形態では、吸引手段は、
鋼製のレール15との間で引力を発生させる磁石であっ
たが、これに限らず、スライダおよびレール間の空気を
吸引するような負圧発生装置を吸引手段として採用して
も、前述した効果と同様の効果を享受することができ
る。さらに、前述の実施形態では、レール15は角形断
面の柱状体であったが、これに限らず、例えば、円形断
面の柱状体のレールであってもよく、角形断面や円形断
面の筒状体であってもよい。要するに、断面形状が第1
のガイド面と第2のガイド面とに分割できるようなもの
であれば他の形状、構造等であっても前述した効果と同
様の効果を得ることができる。
【0027】そして、前述の実施形態では、一対の測定
子13は、互いに逆向きに移動していたが、これに限ら
ず、一対の測定子13が同方向に移動するような測定機
であっても、本発明を利用することができ、前述した効
果と同様の効果を享受することができる。また、前述の
実施形態では、移動機構1のレール15は、テーブル1
2の上方に配置されていたが、これに限らず、例えば、
従来例で説明した測定機5のように、移動機構がテーブ
ルの下方に配置されている測定機において、本発明に係
る測定子の移動機構を採用しても前述の実施形態で述べ
た効果と同様の効果を享受することができる。
【0028】さらに、前述の実施形態では、レール15
とスライダ16との間には、エアベアリング21が介装
され、これにより移動抵抗の低減が図られていたが、こ
れに限らず、転がり案内や滑り案内方式のものであって
も、当該移動抵抗を十分に低減することができれば、こ
れらを採用してもよい。また、レール15とスライダ1
6との間を離間させて移動抵抗を低減させる方法とし
て、必ずしもエアベアリング21を用いる必要はなく、
例えば、磁石の同極同士による反発力を利用してもよ
い。そして、前述の実施形態では、レール15は角形断
面の鋼製柱であったが、これに限らず、石製の柱状体を
レールとして採用してもよい。尚、この場合、石製の柱
状体の側面部には、スライダの磁石の移動範囲に対応し
て鉄板を設けておけばよい。石製の柱状体をレールとす
れば、温度変化に伴う寸法変化が少ないので、測定子の
移動機構を安定して動作させることができる。
【0029】また、前述の実施形態では、スライダ16
の垂直部161、水平部162に設けられたエアベアリ
ング21は、垂直部161、水平部162に対して固定
されていたが、これに限らず、垂直部161、水平部1
62の面外方向に位置調整可能であってもよい。尚、こ
の場合、上下の水平部162に設けられるエアベアリン
グのうちいずれか一方が位置調整可能であればよい。エ
アベアリングが位置調整可能であれば、スライダおよび
レールの寸法精度に影響されることなく、レールに対す
る適切な位置にエアベアリングを配置することができる
ので、レール、スライダの寸法精度を必要以上に高精度
化する必要がなく、測定子の移動機構の製造コストの低
減を図ることができる。その他、本発明の実施の際の具
体的な構造および形状等は、本発明の目的を達成できる
範囲で他の構造等としてもよい。
【0030】
【発明の効果】前述のような、本発明の測定子の移動機
構によれば、一本のレールに一対のスライダが移動自在
に取り付けられているので、測定機の構造を簡素化する
ことができるうえ、第1のガイド面と第2のガイド面と
が一本のレールの全体に亘って分割形成されているの
で、それぞれのスライダの移動範囲をレール全体に設定
することができ、測定機を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る測定機を表す概要斜視
図である。
【図2】前述の実施形態における移動機構を表す側面図
および断面図である。
【図3】前述の実施形態の変形となる移動機構を表す側
面図および断面図である。
【図4】前述の実施形態の他の変形となる移動機構を表
す側面図および断面図である。
【図5】従来の移動機構を備えた測定機を表す側面図で
ある。
【図6】他の従来の移動機構を備えた測定機を表す側面
図である。
【符号の説明】
13 測定子 14、34、44 測定子の移動機構 15 レール 16、36、46 スライダ 21 エアベアリング 22 吸引手段(磁石) 151、351、451 第1のガイド面 152、352、452 第2のガイド面 161 垂直部 162 水平部 C 垂直方向の対称軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−151502(JP,A) 特開 昭58−173422(JP,A) 特開 昭60−79208(JP,A) 特開 昭60−6817(JP,A) 実開 昭63−172902(JP,U) 実開 昭62−180710(JP,U) 特表 平7−502816(JP,A) 英国特許出願公開2256409(GB,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 21/00 - 21/32

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】接触により被測定物の位置を検知する一対
    の測定子が設けられる一対のスライダを有し、当該一対
    の測定子を相対移動させるための測定子の移動機構であ
    って、 前記一対のスライダのうち、いずれか一方のスライダを
    案内する第1のガイド面と、いずれか他方のスライダを
    案内する第2のガイド面とが、前記被測定物が載置され
    るテーブルが設けられた本体に支柱を介して支持された
    一本のレールの全体に亘って分割して形成され、 前記一対のスライダは、当該スライダと前記レールとの
    間に設けられ、移動抵抗を低減するエアベアリング及び
    このエアベアリングによる斥力と釣り合う引力を発生さ
    せる磁石又は負圧発生装置からなる吸引手段により前記
    第1のガイド面および前記第2のガイド面に案内され、
    前記レール上に設けられる載荷機構及びエアシリンダに
    より前記レール上を移動することを特徴とする測定子の
    移動機構。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の測定子の移動機構におい
    て、 前記レールは断面角形の柱状体であり、 この柱状体の角形断面の垂直方向の対称軸を中心として
    前記第1のガイド面と前記第2のガイド面とが分割して
    形成され、 前記第1のガイド面および前記第2のガイド面のそれぞ
    れは、上面部と、側面部と、下面部とを備え、 前記一対のスライダは、前記第1のガイド面および前記
    第2のガイド面の側面部と対向する垂直部と、 この垂直部の両端から略直交して延出しかつ前記上面部
    および前記下面部と対向する一対の水平部と、 を備えていることを特徴とする測定子の移動機構。
  3. 【請求項3】請求項2に記載の測定子の移動機構におい
    て、 前記一対のスライダのそれぞれの水平部および垂直部に
    は、当該スライダと前記レールとの間の移動抵抗を低減
    するエアベアリングが設けられているとともに、前記垂
    直部には、このエアベアリングによる斥力とつり合う引
    力を発生させる吸引手段が設けられていることを特徴と
    する測定子の移動機構。
  4. 【請求項4】請求項3に記載の測定子の移動機構におい
    て、 前記エアベアリングは、前記水平部および前記垂直部の
    面外方向に位置調整可能に設けられていることを特徴と
    する測定子の移動機構。
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