JP3469160B2 - 接触検査の感度向上装置 - Google Patents
接触検査の感度向上装置Info
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- JP3469160B2 JP3469160B2 JP2000107216A JP2000107216A JP3469160B2 JP 3469160 B2 JP3469160 B2 JP 3469160B2 JP 2000107216 A JP2000107216 A JP 2000107216A JP 2000107216 A JP2000107216 A JP 2000107216A JP 3469160 B2 JP3469160 B2 JP 3469160B2
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Description
【０００１】
【発明の属する分野】 本発明は微小な電子部品の測定
ならびに試験分野の技術に関する。より詳細には、例え
ばヒューレット・パッカード社の4349B[商標]のような
大抵抗の電子部品測定器の感度を向上させる装置、なら
びにそうした測定器を使って測定可能範囲の最低限以下
の微小な「部品の存否」決定をする場合の測定器の感度
を向上させる方法に関する。
ならびに試験分野の技術に関する。より詳細には、例え
ばヒューレット・パッカード社の4349B[商標]のような
大抵抗の電子部品測定器の感度を向上させる装置、なら
びにそうした測定器を使って測定可能範囲の最低限以下
の微小な「部品の存否」決定をする場合の測定器の感度
を向上させる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 微小なセラミックコンデンサチップの
技術分野では、外形寸法が非常に微小で、静電容量も１
ピコファラッド以下というものもあり、そういった部品
からなんらかの直流の電流漏れである限定的なパラレル
コンダクタンスがあるということは周知の事実である。
コンデンサチップはコンピュータその他の多くの電子機
器の動作に必須の電子部品であるから、こうした直流の
漏れ電流を測定すること、及びその漏れ程度に応じてチ
ップを分類することが重要である。これには従来、上記
ヒューレット・パッカード社の4349B[商標]のような大
抵抗の電子測定器が使われている。
技術分野では、外形寸法が非常に微小で、静電容量も１
ピコファラッド以下というものもあり、そういった部品
からなんらかの直流の電流漏れである限定的なパラレル
コンダクタンスがあるということは周知の事実である。
コンデンサチップはコンピュータその他の多くの電子機
器の動作に必須の電子部品であるから、こうした直流の
漏れ電流を測定すること、及びその漏れ程度に応じてチ
ップを分類することが重要である。これには従来、上記
ヒューレット・パッカード社の4349B[商標]のような大
抵抗の電子測定器が使われている。
【０００３】セラミックコンデンサの工業界ではセラミ
ックコンデンサからの直流漏れ電流を測定する高速測定
器「ハンドラー」に高速で仕事するヒューレット・パッ
カード社の4349B[商標]測定器を接続している。ハンド
ラーは未検査のコンデンサチップを受け取ると、１個づ
つ、又は１群づつ、そのコンデンサの端子をテスターに
つなぐためテスト台に乗せて直流の電流漏れをテストす
る（一方に限定電流電源を、他方にヒューレット・パッ
カード社の4349B[商標]（以下「HP4349B」）その他同様
の大抵抗／低電流の測定器を接続）。テストの前か後
に、テスト台に乗せたコンデンサの存在が十分にテスト
回路の両端に接続されているかを証明するため、測定器
は、「部品の存否」のテストあるいは「接触検査」を行
う。このような事前・事後のテストを行う理由はテスト
台上の部品がテスト回路に十分に接続しているかを確認
するためである。そうしないと漏れ特性の大きい部品も
誤って「良品」として分類するおそれがある。
ックコンデンサからの直流漏れ電流を測定する高速測定
器「ハンドラー」に高速で仕事するヒューレット・パッ
カード社の4349B[商標]測定器を接続している。ハンド
ラーは未検査のコンデンサチップを受け取ると、１個づ
つ、又は１群づつ、そのコンデンサの端子をテスターに
つなぐためテスト台に乗せて直流の電流漏れをテストす
る（一方に限定電流電源を、他方にヒューレット・パッ
カード社の4349B[商標]（以下「HP4349B」）その他同様
の大抵抗／低電流の測定器を接続）。テストの前か後
に、テスト台に乗せたコンデンサの存在が十分にテスト
回路の両端に接続されているかを証明するため、測定器
は、「部品の存否」のテストあるいは「接触検査」を行
う。このような事前・事後のテストを行う理由はテスト
台上の部品がテスト回路に十分に接続しているかを確認
するためである。そうしないと漏れ特性の大きい部品も
誤って「良品」として分類するおそれがある。
【０００４】HP4349Bの場合、３軸ケーブルが測定器と
テストされるデバイス（以下単に「デバイス」と言う）
の「ロー（ＬＯ）」側（低電位側。以下ではローサイド
とも呼ぶことがある）につなげられる。このケーブルの
内部導体がデバイスから直流の信号を送り、ケーブルの
外部シールドを接地で「部品の存否」テストのとき、HP
4349B内に発生する内部遮蔽が約０.５MHzという高周波
のガードシグナルを送る。
テストされるデバイス（以下単に「デバイス」と言う）
の「ロー（ＬＯ）」側（低電位側。以下ではローサイド
とも呼ぶことがある）につなげられる。このケーブルの
内部導体がデバイスから直流の信号を送り、ケーブルの
外部シールドを接地で「部品の存否」テストのとき、HP
4349B内に発生する内部遮蔽が約０.５MHzという高周波
のガードシグナルを送る。
【０００５】電源に直接接続されるデバイスの「ハイ
（ＨＩ）」側（高電位側。以下ではハイサイドとも呼ぶ
ことがある）は高周波のとき（高周波成分に関しては）
接地している。「部品存否」のテスト中、ガードを動か
す高周波の信号が３軸ケーブルの内部導体にかけるのと
同じ振幅でHP4349Bによってかけらる。存否を確認され
るべきセラミックコンデンサとの接続が十分でないとき
は、ガード（その外端は開放）を流れる高周波電流は内
部導体を流れる電流と等しくなるから、部品の存在が検
出されないことになる。逆にテスト台上の部品との接続
が確実なときは、それぞれの信号が等しくなくなって、
その接続が十分な部品はHP4349Bに認識されることにな
る。「部品不在」の分類がされるときは、テスト台上に
あったかもしれない部品につき再テストすることを要求
し、通常の漏れ電流テストの結果として行われる分類よ
り高い優先順位を与えられる。
（ＨＩ）」側（高電位側。以下ではハイサイドとも呼ぶ
ことがある）は高周波のとき（高周波成分に関しては）
接地している。「部品存否」のテスト中、ガードを動か
す高周波の信号が３軸ケーブルの内部導体にかけるのと
同じ振幅でHP4349Bによってかけらる。存否を確認され
るべきセラミックコンデンサとの接続が十分でないとき
は、ガード（その外端は開放）を流れる高周波電流は内
部導体を流れる電流と等しくなるから、部品の存在が検
出されないことになる。逆にテスト台上の部品との接続
が確実なときは、それぞれの信号が等しくなくなって、
その接続が十分な部品はHP4349Bに認識されることにな
る。「部品不在」の分類がされるときは、テスト台上に
あったかもしれない部品につき再テストすることを要求
し、通常の漏れ電流テストの結果として行われる分類よ
り高い優先順位を与えられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 上記先行技術の欠点
は、たとえテスト台における接続が十分であっても２pF
以下の静電容量値の部品はしばしば検出されずに終わっ
てしまうということである。
は、たとえテスト台における接続が十分であっても２pF
以下の静電容量値の部品はしばしば検出されずに終わっ
てしまうということである。
【０００７】本発明はこのような問題点を考慮してなさ
れたもので、HP4349Bがテスト台上に電気的接続を十分
にして乗せる部品の存否を、その部品がたとえ０.７５p
Fという微弱な静電容量値であっても決定することがで
きる装置ならびに該装置を使う測定方法を提供するもの
である。
れたもので、HP4349Bがテスト台上に電気的接続を十分
にして乗せる部品の存否を、その部品がたとえ０.７５p
Fという微弱な静電容量値であっても決定することがで
きる装置ならびに該装置を使う測定方法を提供するもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、本発明に係る装置ならびに方法は特許請求の範囲に
記載のとおりの構成を採用する。
め、本発明に係る装置ならびに方法は特許請求の範囲に
記載のとおりの構成を採用する。
【０００９】即ち、請求項１の発明によれば、電子部品
に直流電源からの直流電源を印可するテスト手順を行う
前に、テスト台上に上記電子部品があるかどうかをテス
トするテスターであって、交流信号を上記電子部品に印
可する手段と、上記電子部品を流れる交流電流を検出す
る手段とを具備するものとともに用いられ、上記テスタ
ーの感度を高める装置において：ａ）上記テスターに接
続された信号ブースタであって、入力端と、出力端と、
上記入力端で受け取る交流信号を１より大きな倍数昇圧
し昇圧した交流信号を上記出力端に供給するブート手段
とを有する上記信号ブースタを有し；ｂ）上記テスター
の信号出力端と上記信号ブースタの入力端を接続し；
ｃ）上記信号ブースタの出力端を上記直流電源および上
記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可され
る交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記電子
部品に印可し、上記電子部品に印可される全交流信号の
振幅を増大させるようにしている。
に直流電源からの直流電源を印可するテスト手順を行う
前に、テスト台上に上記電子部品があるかどうかをテス
トするテスターであって、交流信号を上記電子部品に印
可する手段と、上記電子部品を流れる交流電流を検出す
る手段とを具備するものとともに用いられ、上記テスタ
ーの感度を高める装置において：ａ）上記テスターに接
続された信号ブースタであって、入力端と、出力端と、
上記入力端で受け取る交流信号を１より大きな倍数昇圧
し昇圧した交流信号を上記出力端に供給するブート手段
とを有する上記信号ブースタを有し；ｂ）上記テスター
の信号出力端と上記信号ブースタの入力端を接続し；
ｃ）上記信号ブースタの出力端を上記直流電源および上
記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可され
る交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記電子
部品に印可し、上記電子部品に印可される全交流信号の
振幅を増大させるようにしている。
【００１０】請求項２では、上記信号ブースタを変圧器
とした。
とした。
【００１１】請求項３では、上記信号ブースタを増幅器
とした。
とした。
【００１２】請求項４では、上記信号ブースタの変圧器
の１次巻線：２次巻線の巻数比を約１.２５〜約２.２５
とした。
の１次巻線：２次巻線の巻数比を約１.２５〜約２.２５
とした。
【００１３】請求項５の発明によれば、多層セラミック
チップコンデンサに直流電源からの直流電源を印可する
テスト手順を行う前に、テスト台上に上記多層セラミッ
クチップコンデンサがあるかどうかをテストする高抵抗
テスターであって、交流信号を上記電子部品に印可する
手段と、上記多層セラミックチップコンデンサを流れる
交流電流を検出する手段とを具備するものとともに用い
られ、上記高抵抗テスターの感度を高める装置におい
て：ａ）上記テスターに接続された信号ブースタであっ
て、入力端と、出力端と、上記入力端で受け取る交流信
号を１より大きな倍数昇圧し昇圧した交流信号を上記出
力端に供給するブート手段とを有する上記信号ブースタ
を有し；ｂ）上記テスターの信号出力端と上記信号ブー
スタの入力端を接続し；ｃ）上記信号ブースタの出力端
を上記直流電源および上記テスト台の間に接続し、上記
テスターにより印可される交流信号に加えて上記昇圧さ
れた交流信号を上記多層セラミックチップコンデンサに
印可し、上記多層セラミックチップコンデンサに印可さ
れる全交流信号の振幅を増大させるようにしている。
チップコンデンサに直流電源からの直流電源を印可する
テスト手順を行う前に、テスト台上に上記多層セラミッ
クチップコンデンサがあるかどうかをテストする高抵抗
テスターであって、交流信号を上記電子部品に印可する
手段と、上記多層セラミックチップコンデンサを流れる
交流電流を検出する手段とを具備するものとともに用い
られ、上記高抵抗テスターの感度を高める装置におい
て：ａ）上記テスターに接続された信号ブースタであっ
て、入力端と、出力端と、上記入力端で受け取る交流信
号を１より大きな倍数昇圧し昇圧した交流信号を上記出
力端に供給するブート手段とを有する上記信号ブースタ
を有し；ｂ）上記テスターの信号出力端と上記信号ブー
スタの入力端を接続し；ｃ）上記信号ブースタの出力端
を上記直流電源および上記テスト台の間に接続し、上記
テスターにより印可される交流信号に加えて上記昇圧さ
れた交流信号を上記多層セラミックチップコンデンサに
印可し、上記多層セラミックチップコンデンサに印可さ
れる全交流信号の振幅を増大させるようにしている。
【００１４】請求項６では、上記信号ブースタを変圧器
とした。
とした。
【００１５】請求項７では、上記信号ブースタを増幅器
とした。
とした。
【００１６】請求項８では、上記信号ブースタを約１.
２５〜約２.２５の１次巻線：２次巻線の巻数比の変圧
器とした。
２５〜約２.２５の１次巻線：２次巻線の巻数比の変圧
器とした。
【００１７】請求項９の発明によれば、電子部品の漏れ
電流を測定するために上記電子部品に直流電源からの直
流電源を印可するテスト手順を行う前に、テスト台上に
上記電子部品があるかどうかをテストするテスターであ
って、交流信号を上記電子部品に印可し、上記電子部品
を流れる交流電流を検出するものとともに用いられ、上
記テスターの感度を高める方法において：ａ）上記テス
ターから出力された交流信号をとらえ信号ブースタの入
力端に供給し；ｂ）上記信号ブースタの出力端から昇圧
された交流信号を取り出し；ｃ）上記信号ブースタの出
力端からの上記昇圧した交流信号を上記直流電源および
上記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可さ
れる交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記電
子部品に印可し、上記電子部品に印可される全交流信号
の振幅を増大させるようにしている。
電流を測定するために上記電子部品に直流電源からの直
流電源を印可するテスト手順を行う前に、テスト台上に
上記電子部品があるかどうかをテストするテスターであ
って、交流信号を上記電子部品に印可し、上記電子部品
を流れる交流電流を検出するものとともに用いられ、上
記テスターの感度を高める方法において：ａ）上記テス
ターから出力された交流信号をとらえ信号ブースタの入
力端に供給し；ｂ）上記信号ブースタの出力端から昇圧
された交流信号を取り出し；ｃ）上記信号ブースタの出
力端からの上記昇圧した交流信号を上記直流電源および
上記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可さ
れる交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記電
子部品に印可し、上記電子部品に印可される全交流信号
の振幅を増大させるようにしている。
【００１８】請求項１０では、昇圧された信号がプロト
コルテスト信号の少なくとも３倍であることを特徴とす
る請求項９に記載の方法とした。
コルテスト信号の少なくとも３倍であることを特徴とす
る請求項９に記載の方法とした。
【００１９】請求項１１では、信号ブースタが変圧器で
あって、上記信号を信号ブースタの入力経由で送信する
ステップが上記変圧器の１次巻線経由で上記信号を送信
することを含み、上記信号ブースタの出力から昇圧され
た信号を拾い取るステップが上記変圧器の２次巻線から
昇圧された信号を拾い取るステップを含むことを特徴と
する請求項９に記載の方法とした。
あって、上記信号を信号ブースタの入力経由で送信する
ステップが上記変圧器の１次巻線経由で上記信号を送信
することを含み、上記信号ブースタの出力から昇圧され
た信号を拾い取るステップが上記変圧器の２次巻線から
昇圧された信号を拾い取るステップを含むことを特徴と
する請求項９に記載の方法とした。
【００２０】請求項１２では、信号ブースタが増幅器で
あって、上記信号を信号ブースタの入力経由で送信する
ステップが上記増幅器の入力経由で上記信号を送信する
ことを含み、上記信号ブースタの出力から昇圧された信
号を拾い取るステップが上記増幅器の出力から昇圧され
た信号を拾い取るステップを含むことを特徴とする請求
項９に記載の方法とした。
あって、上記信号を信号ブースタの入力経由で送信する
ステップが上記増幅器の入力経由で上記信号を送信する
ことを含み、上記信号ブースタの出力から昇圧された信
号を拾い取るステップが上記増幅器の出力から昇圧され
た信号を拾い取るステップを含むことを特徴とする請求
項９に記載の方法とした。
【００２１】
【発明の作用】 本発明の装置は、変圧器、増幅器また
はHP4349B入力３軸ケーブルの内部ガードシールドと外
部ガードシールドから駆動される差動入力と同等のエレ
メント、とからなる「信号ブースタ」となっている。こ
のエレメントの出力は高電圧制限電源からの出力と直列
に接続され、テストされるデバイスに印加される高周波
ガード電圧に付加される位相、それはHP4349Bから直接
出てきたものであるが、はこの信号の振幅を増大させ、
かつHP4349B内の「部品の存否」検査回路の感度をHP434
9Bの内部構造に何ら手を加えることなく向上させる。
はHP4349B入力３軸ケーブルの内部ガードシールドと外
部ガードシールドから駆動される差動入力と同等のエレ
メント、とからなる「信号ブースタ」となっている。こ
のエレメントの出力は高電圧制限電源からの出力と直列
に接続され、テストされるデバイスに印加される高周波
ガード電圧に付加される位相、それはHP4349Bから直接
出てきたものであるが、はこの信号の振幅を増大させ、
かつHP4349B内の「部品の存否」検査回路の感度をHP434
9Bの内部構造に何ら手を加えることなく向上させる。
【００２２】より具体的に述べれば、本発明は一つには
テスターの２次テスト又は３次テストの感度を高める性
能向上に関する。２次又は３次テストがテスト台上に乗
る電子部品の存否をみることであったり、あるいはテス
トされる電子部品自体に通る二重の高周波信号によって
行われるようなときに、テスターの第一義的機能は電子
部品の主要なパラメータ（抵抗、静電容量、コンダクタ
ンスなど）をテストすることである。この場合「十分な
接触」とは１次テストの感度、その他テスターのさまざ
まな機能をおとしめないような低い抵抗値の接触であ
る。
テスターの２次テスト又は３次テストの感度を高める性
能向上に関する。２次又は３次テストがテスト台上に乗
る電子部品の存否をみることであったり、あるいはテス
トされる電子部品自体に通る二重の高周波信号によって
行われるようなときに、テスターの第一義的機能は電子
部品の主要なパラメータ（抵抗、静電容量、コンダクタ
ンスなど）をテストすることである。この場合「十分な
接触」とは１次テストの感度、その他テスターのさまざ
まな機能をおとしめないような低い抵抗値の接触であ
る。
【００２３】したがって本発明の第１の目的は、大抵抗
の電流漏れテストを行う前にテスト台上にデバイス（電
子部品）があるかないかを決定する手段を提供すること
である。また、該手段を使うことによって電流漏れテス
トを行うテスト回路がセラミックチップコンデンサに関
して閉じており（コンデンサとの接触不良やコンデンサ
の不存在により回路がオープンになっていない）、この
結果、どのような値が記録されるとしても、それはテス
ト台上のコンデンサの値であるということを保証する方
法を提供することである。さらにテストの開始まで、及
びテスト自体にかかる時間を短縮して、次のコンデンサ
をテストするためのテスター使用の機会を拡げる装置を
提供すること、また、オペレーション時間を短縮するた
め、ひいては高品質なセラミックチップコンデンサの生
産コストを節約するため、セラミックチップコンデンサ
の取扱い量を増大する装置を提供すること、コンデンサ
テスターの性能を向上させてセラミックチップコンデン
サそのものの生産コストを低減する装置を提供するこ
と、そして０.２pF以下の静電容量のコンデンサが存在
するかしないかを検査するセラミックコンデンサのテス
ターの性能を高めてテストにかかる費用を節約する装置
を提供することである。
の電流漏れテストを行う前にテスト台上にデバイス（電
子部品）があるかないかを決定する手段を提供すること
である。また、該手段を使うことによって電流漏れテス
トを行うテスト回路がセラミックチップコンデンサに関
して閉じており（コンデンサとの接触不良やコンデンサ
の不存在により回路がオープンになっていない）、この
結果、どのような値が記録されるとしても、それはテス
ト台上のコンデンサの値であるということを保証する方
法を提供することである。さらにテストの開始まで、及
びテスト自体にかかる時間を短縮して、次のコンデンサ
をテストするためのテスター使用の機会を拡げる装置を
提供すること、また、オペレーション時間を短縮するた
め、ひいては高品質なセラミックチップコンデンサの生
産コストを節約するため、セラミックチップコンデンサ
の取扱い量を増大する装置を提供すること、コンデンサ
テスターの性能を向上させてセラミックチップコンデン
サそのものの生産コストを低減する装置を提供するこ
と、そして０.２pF以下の静電容量のコンデンサが存在
するかしないかを検査するセラミックコンデンサのテス
ターの性能を高めてテストにかかる費用を節約する装置
を提供することである。
【００２４】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る装置ならび
に方法の実施の形態を図１及び図２に基づいて説明す
る。
に方法の実施の形態を図１及び図２に基づいて説明す
る。
【００２５】図１はセラミックチップコンデンサの漏電
値を決定する検査システムの典型的なものを表す。ここ
で本発明はセラミックチップコンデンサについて説明す
るが、ＤＵＴ[Device Under Test]（テストされるデバ
イス、以下単に「デバイス」と言う）がある限り、又そ
のデバイスに十分電気的に接触しているかの電気的チェ
ックが要求される限り、どんな場合でも適用できること
当業者の理解される通りである。
値を決定する検査システムの典型的なものを表す。ここ
で本発明はセラミックチップコンデンサについて説明す
るが、ＤＵＴ[Device Under Test]（テストされるデバ
イス、以下単に「デバイス」と言う）がある限り、又そ
のデバイスに十分電気的に接触しているかの電気的チェ
ックが要求される限り、どんな場合でも適用できること
当業者の理解される通りである。
【００２６】HP-4349B[ヒューレット・パッカード社の商
品]に関して言えば、このテスタは漏電測定用の４つの
同一の入力チャンネルを有する。ここでは説明を簡潔に
するため、そのうちの１チャネルだけを図示して述べ
る。したがって本発明も４つのチャネルすべてについて
同様に適用され得るものであることを了解されたい。
品]に関して言えば、このテスタは漏電測定用の４つの
同一の入力チャンネルを有する。ここでは説明を簡潔に
するため、そのうちの１チャネルだけを図示して述べ
る。したがって本発明も４つのチャネルすべてについて
同様に適用され得るものであることを了解されたい。
【００２７】図１においてHP-4349Bの大抵抗測定器１
は、一次巻線５、二次巻線７、二次巻線９とがあるトロ
イダル変圧器３と、直流電流測定部１３と、高周波測定
部１５とを備え、大抵抗測定器１への入力はブロックコ
ンデンサ１７を介してHP-4349Bの入力回路に接続されて
いる。ここで「部品の存否」テスト中、一次巻線５経由
でトロイダル変圧器３に作用する高周波発生器は図示さ
れていない。位相復調のため高周波測定部１５へ信号を
接続するものもあるが、これも図示されていない。
は、一次巻線５、二次巻線７、二次巻線９とがあるトロ
イダル変圧器３と、直流電流測定部１３と、高周波測定
部１５とを備え、大抵抗測定器１への入力はブロックコ
ンデンサ１７を介してHP-4349Bの入力回路に接続されて
いる。ここで「部品の存否」テスト中、一次巻線５経由
でトロイダル変圧器３に作用する高周波発生器は図示さ
れていない。位相復調のため高周波測定部１５へ信号を
接続するものもあるが、これも図示されていない。
【００２８】二次巻線７、９は同軸ケーブルを数回巻き
込んで構成したもので、この構成のため双方からの出力
は正確に同一になるようにされている。これら二次巻線
７、９の右側はそれぞれ、内部導体１９と第一の三軸ケ
ーブル２５の有効内部保護シールド２１とに接続され
る。二次巻線７、９の左側はそれぞれ、アースと、ブロ
ックコンデンサ１７を介して高周波測定部１５とに接続
されている。二次巻線７、９からの信号の振幅は同一
で、内部保護シールド２１はその外端が接地の低静電容
量となるため、高周波測定部１５へ入力される信号の振
幅はその外端における有効内部導体１９の接地静電容量
に正比例していると考えてよい。
込んで構成したもので、この構成のため双方からの出力
は正確に同一になるようにされている。これら二次巻線
７、９の右側はそれぞれ、内部導体１９と第一の三軸ケ
ーブル２５の有効内部保護シールド２１とに接続され
る。二次巻線７、９の左側はそれぞれ、アースと、ブロ
ックコンデンサ１７を介して高周波測定部１５とに接続
されている。二次巻線７、９からの信号の振幅は同一
で、内部保護シールド２１はその外端が接地の低静電容
量となるため、高周波測定部１５へ入力される信号の振
幅はその外端における有効内部導体１９の接地静電容量
に正比例していると考えてよい。
【００２９】有効内部伝導体１９はHP-4349Bの大抵抗測
定器１からテスト台２７のローサイドに接続される。テ
スト台２７のハイサイドはライン２９経由で通常０−５
００ボルト範囲の高電圧電源３１に接続される。第１の
三軸ケーブル２５のアースシールド３３もまた高電圧電
源３１に接続されている。
定器１からテスト台２７のローサイドに接続される。テ
スト台２７のハイサイドはライン２９経由で通常０−５
００ボルト範囲の高電圧電源３１に接続される。第１の
三軸ケーブル２５のアースシールド３３もまた高電圧電
源３１に接続されている。
【００３０】テスト台２７の右側、すなわちライン２９
はハイサイドの導体、ライン２９と３３、及び高電圧電
源３１の特性出力インピーダンスの静電容量のためアー
スに対し比較的低いインピーダンスとなって図１及び図
２においてコンデンサ３７としてあらわされている。し
たがって有効内部導体１９の接地容量はその外端におい
て、テスト台２７（及び比喩的にコンデンサ３９で示さ
れる）の接地漂遊容量とデバイスの実際の静電容量との
和にほぼ等しいと推定することができる。
はハイサイドの導体、ライン２９と３３、及び高電圧電
源３１の特性出力インピーダンスの静電容量のためアー
スに対し比較的低いインピーダンスとなって図１及び図
２においてコンデンサ３７としてあらわされている。し
たがって有効内部導体１９の接地容量はその外端におい
て、テスト台２７（及び比喩的にコンデンサ３９で示さ
れる）の接地漂遊容量とデバイスの実際の静電容量との
和にほぼ等しいと推定することができる。
【００３１】HP-4349Bの起動時補正サイクルの間、テス
ト台２７は空となっているが、そこで得られた大抵抗測
定器１のデジタル変換された出力がメモリに記憶され
る。その後行われる部品存否のテスト中、部品はそれが
存在するとされ、かつ、テスト台２７に十分接触してい
るとの評価が得られるように、テスト台２７に位置する
ものとされ、この得られた値が上記デジタル変換値から
引かれる。しかしこの方法の一つの限界は、補正サイク
ル中、もし漂遊容量３９の値が例えば１０pFというよう
に、テスト台２７の値、例えば１pF、に比較して高けれ
ば、前者の値は後者の値をマスクしてしまい、デバイス
の値が非常に低いときはデバイスとかチップが存在する
にも拘わらず、それに無反応となってしまうシステムで
あるということである。
ト台２７は空となっているが、そこで得られた大抵抗測
定器１のデジタル変換された出力がメモリに記憶され
る。その後行われる部品存否のテスト中、部品はそれが
存在するとされ、かつ、テスト台２７に十分接触してい
るとの評価が得られるように、テスト台２７に位置する
ものとされ、この得られた値が上記デジタル変換値から
引かれる。しかしこの方法の一つの限界は、補正サイク
ル中、もし漂遊容量３９の値が例えば１０pFというよう
に、テスト台２７の値、例えば１pF、に比較して高けれ
ば、前者の値は後者の値をマスクしてしまい、デバイス
の値が非常に低いときはデバイスとかチップが存在する
にも拘わらず、それに無反応となってしまうシステムで
あるということである。
【００３２】漏電テスト中はプログラムされた高電圧出
力が高電圧電源３１からテスト台２７にあるデバイスの
右側にかけられ、増幅された直流の漏れ電流が、直流電
流測定部１３の入力にかけられる２次巻線９と第一の３
軸ケーブル２５との有効内部導体１９経由で流れること
になる。
力が高電圧電源３１からテスト台２７にあるデバイスの
右側にかけられ、増幅された直流の漏れ電流が、直流電
流測定部１３の入力にかけられる２次巻線９と第一の３
軸ケーブル２５との有効内部導体１９経由で流れること
になる。
【００３３】本発明は図２に示すようにHP-4349Bの外部
に追加する回路にかかるものである。第２の３軸ケーブ
ル４１が取り付けられ、それに有効内部保護シールド２
１経由で変圧器として図示されたブースタ４５の入力４
３（１次巻線）に送信する公知のＴ型アダプタ（図示せ
ず）で第１の３軸ケーブル２５に接続されている。変圧
器４９の２次巻線５１が高電圧電源３１の出力とテスト
台２７のハイサイド間に接続されている。HP-4349B内の
高周波発振器には共通性があるため、１個のブースタで
HP-4349Bの４チャネル全部に十分であり、それらで４つ
のテスト台をまかなうことができる。HP-4349Bの内部回
路には些かの変更も加える必要がない。
に追加する回路にかかるものである。第２の３軸ケーブ
ル４１が取り付けられ、それに有効内部保護シールド２
１経由で変圧器として図示されたブースタ４５の入力４
３（１次巻線）に送信する公知のＴ型アダプタ（図示せ
ず）で第１の３軸ケーブル２５に接続されている。変圧
器４９の２次巻線５１が高電圧電源３１の出力とテスト
台２７のハイサイド間に接続されている。HP-4349B内の
高周波発振器には共通性があるため、１個のブースタで
HP-4349Bの４チャネル全部に十分であり、それらで４つ
のテスト台をまかなうことができる。HP-4349Bの内部回
路には些かの変更も加える必要がない。
【００３４】このようにHP-4349B（測定器１）がテスト
プロトコル即ち「接触検査」[contact check]を行うと
き、変圧器４９の１次巻線４３にも又５００KHzがかか
る。変圧器４９の１次巻線４３対２次巻線５１の巻数比
は、約１：２.５〜約１：３であればよいが、好ましく
は約１：３がよく、また変圧器４９からくる２次電圧は
第１の変圧器３のそれと逆位相にされているのがよい。
２次巻線５１は、高電圧電源３１からの直流の電源電圧
と直列に挿入され、通例の場合より少なくとも３倍以上
の大きな振幅でデバイスの「ハイ」側にかけられて、テ
スト台２７にあるべきデバイスがないときの図１の回路
における「バーチャル」な接地に接続される。こうして
変圧器４９の２次巻線５１にはテスト台２７のチップと
直列に５００KHzの電圧がかかるのであって、これは第
１の変圧器３の２次巻線９にかかる電圧の約３倍とな
る。これら２つの電圧は追加的なので（上記のとおり変
圧器４９からくる２次電圧は第１の変圧器３のそれと逆
位相にされており、かつ印可方向がテスト台２７の異な
る端子からであるので追加的となる）、デバイスと直列
に接続される電圧は図１の従来の回路でかけられるもの
より約４倍大きいものとなる。このように本発明によれ
ばHP-4349Bのような大抵抗測定器のデバイスの静電容量
値に対する感度は約４倍も向上するのである。
プロトコル即ち「接触検査」[contact check]を行うと
き、変圧器４９の１次巻線４３にも又５００KHzがかか
る。変圧器４９の１次巻線４３対２次巻線５１の巻数比
は、約１：２.５〜約１：３であればよいが、好ましく
は約１：３がよく、また変圧器４９からくる２次電圧は
第１の変圧器３のそれと逆位相にされているのがよい。
２次巻線５１は、高電圧電源３１からの直流の電源電圧
と直列に挿入され、通例の場合より少なくとも３倍以上
の大きな振幅でデバイスの「ハイ」側にかけられて、テ
スト台２７にあるべきデバイスがないときの図１の回路
における「バーチャル」な接地に接続される。こうして
変圧器４９の２次巻線５１にはテスト台２７のチップと
直列に５００KHzの電圧がかかるのであって、これは第
１の変圧器３の２次巻線９にかかる電圧の約３倍とな
る。これら２つの電圧は追加的なので（上記のとおり変
圧器４９からくる２次電圧は第１の変圧器３のそれと逆
位相にされており、かつ印可方向がテスト台２７の異な
る端子からであるので追加的となる）、デバイスと直列
に接続される電圧は図１の従来の回路でかけられるもの
より約４倍大きいものとなる。このように本発明によれ
ばHP-4349Bのような大抵抗測定器のデバイスの静電容量
値に対する感度は約４倍も向上するのである。
【００３５】ブースタ４５が図示のような変圧器でなく
増幅器であってもよいこと勿論である。また電圧値、ア
ンペア数、信号ブースタのいかなる組合せも本発明の範
囲内であることも自明である。
増幅器であってもよいこと勿論である。また電圧値、ア
ンペア数、信号ブースタのいかなる組合せも本発明の範
囲内であることも自明である。
【００３６】
【図１】 ヒューレットーパッカード社(HP)の4349Bテ
スタを使用する先行技術の“接触検査”又は“部品の存
否”と呼ばれる回路の概念図である。
スタを使用する先行技術の“接触検査”又は“部品の存
否”と呼ばれる回路の概念図である。
【図２】 図１の回路を改良した本発明の好ましい実施
例の概念図である。
例の概念図である。
２５ ３軸ケーブル
３１ 高電圧電源
３７ コンデンサ
４１ ３軸ケーブル
４３ １次巻線
４５ ブースタ
４９ 変圧器
５１ ２次巻線
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−87858（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−142449（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−30876（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 27/02
G01R 27/26
G01R 31/00
Claims (12)
- 【請求項１】 電子部品に直流電源からの直流電源を印
可するテスト手順を行う前に、テスト台上に上記電子部
品があるかどうかをテストするテスターであって、交流
信号を上記電子部品に印可する手段と、上記電子部品を
流れる交流電流を検出する手段とを具備するものととも
に用いられ、上記テスターの感度を高める装置におい
て、 ａ）上記テスターに接続された信号ブースタであって、
入力端と、出力端と、上記入力端で受け取る交流信号を
１より大きな倍数昇圧し昇圧した交流信号を上記出力端
に供給するブート手段とを有する上記信号ブースタを有
し、 ｂ）上記テスターの信号出力端と上記信号ブースタの入
力端を接続し、 ｃ）上記信号ブースタの出力端を上記直流電源および上
記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可され
る交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記電子
部品に印可し、上記電子部品に印可される全交流信号の
振幅を増大させることを少なくとも特徴とする、上記テ
スタの感度を高める装置。 - 【請求項２】 上記信号ブースタを変圧器としたことを
特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 上記信号ブースタを増幅器としたことを
特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項４】 上記信号ブースタを約１．２５〜約２．
２５の１次巻線：２次巻線の巻数比の変圧器としたこと
を特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項５】 多層セラミックチップコンデンサに直流
電源からの直流電源を印可するテスト手順を行う前に、
テスト台上に上記多層セラミックチップコンデンサがあ
るかどうかをテストする高抵抗テスターであって、交流
信号を上記電子部品に印可する手段と、上記多層セラミ
ックチップコンデンサを流れる交流電流を検出する手段
とを具備するものとともに用いられ、上記高抵抗テスタ
ーの感度を高める装置において、 ａ）上記テスターに接続された信号ブースタであって、
入力端と、出力端と、上記入力端で受け取る交流信号を
１より大きな倍数昇圧し昇圧した交流信号を上 記出力端
に供給するブート手段とを有する上記信号ブースタを有
し、 ｂ）上記テスターの信号出力端と上記信号ブースタの入
力端を接続し、 ｃ）上記信号ブースタの出力端を上記直流電源および上
記テスト台の間に接続し、上記テスターにより印可され
る交流信号に加えて上記昇圧された交流信号を上記多層
セラミックチップコンデンサに印可し、上記多層セラミ
ックチップコンデンサに印可される全交流信号の振幅を
増大させることを少なくとも特徴とする、上記高抵抗テ
スタの感度を高める装置。 - 【請求項６】 上記信号ブースタを変圧器としたことを
特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項７】 上記信号ブースタを増幅器としたことを
特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項８】 上記信号ブースタを約１．２５〜約２．
２５の１次巻線：２次巻線の巻数比の変圧器としたこと
を特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項９】 電子部品の漏れ電流を測定するために上
記電子部品に直流電源からの直流電源を印可するテスト
手順を行う前に、テスト台上に上記電子部品があるかど
うかをテストするテスターであって、交流信号を上記電
子部品に印可し、上記電子部品を流れる交流電流を検出
するものとともに用いられ、上記テスターの感度を高め
る方法において、 ａ）上記テスターから出力された交流信号をとらえ信号
ブースタの入力端に供給し、 ｂ）上記信号ブースタの出力端から昇圧された交流信号
を取り出し、 ｃ）上記信号ブースタの出力端からの上記昇圧した交流
信号を上記直流電源および上記テスト台の間に接続し、
上記テスターにより印可される交流信号に加えて上記昇
圧された交流信号を上記電子部品に印可し、上記電子部
品に印可される全交流信号の振幅を増大させることを少
なくとも特徴とする、上記テスタの感度を高める方法。 - 【請求項１０】 昇圧された信号がプロトコルテスト信
号の少なくとも３倍であることを特徴とする請求項９に
記載の方法。 - 【請求項１１】 信号ブースタが変圧器であって、上記
信号を信号ブースタの入力経由で送信するステップが上
記変圧器の１次巻線経由で上記信号を送信することを含
み、上記信号ブースタの出力から昇圧された信号を拾い
取るステップが上記変圧器の２次巻線から昇圧された信
号を拾い取るステップを含むことを特徴とする請求項９
に記載の方法。 - 【請求項１２】 信号ブースタが増幅器であって、上記
信号を信号ブースタの入力経由で送信するステップが上
記増幅器の入力経由で上記信号を送信することを含み、
上記信号ブースタの出力から昇圧された信号を拾い取る
ステップが上記増幅器の出力から昇圧された信号を拾い
取るステップを含むことを特徴とする請求項９に記載の
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000107216A JP3469160B2 (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 接触検査の感度向上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000107216A JP3469160B2 (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 接触検査の感度向上装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001305172A JP2001305172A (ja) | 2001-10-31 |
| JP3469160B2 true JP3469160B2 (ja) | 2003-11-25 |
Family
ID=18620238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000107216A Expired - Fee Related JP3469160B2 (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 接触検査の感度向上装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3469160B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7388366B2 (en) * | 2006-02-03 | 2008-06-17 | Keithley Instruments, Inc. | Test system connection system with triaxial cables |
-
2000
- 2000-04-07 JP JP2000107216A patent/JP3469160B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001305172A (ja) | 2001-10-31 |
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