JP3468102B2 - Ozone aqueous solution measuring device - Google Patents
Ozone aqueous solution measuring deviceInfo
- Publication number
- JP3468102B2 JP3468102B2 JP17022798A JP17022798A JP3468102B2 JP 3468102 B2 JP3468102 B2 JP 3468102B2 JP 17022798 A JP17022798 A JP 17022798A JP 17022798 A JP17022798 A JP 17022798A JP 3468102 B2 JP3468102 B2 JP 3468102B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- aqueous solution
- concentration
- measuring
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン水溶液の測
定装置に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus for measuring ozone aqueous solution.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のオゾン水溶液の測定装置
としては、図５のようなものが知られている。図５に示
すように、ドレンタンク１０１は、その内部にオゾン水
溶液を貯留する。このドレンタンク１０１内のオゾン水
溶液のｐＨを測定するために、オゾン水溶液中にはｐＨ
センサ１０２が投入されている。なお、このオゾン水溶
液は、ｐＨが７未満に保持されている。また、ｐＨセン
サ１０２としては、耐熱・耐圧仕様のものが採用されて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, as a measuring device for this kind of ozone aqueous solution, one as shown in FIG. 5 has been known. As shown in FIG. 5, the drain tank 101 stores therein the ozone aqueous solution. In order to measure the pH of the ozone aqueous solution in the drain tank 101, the pH is not set in the ozone aqueous solution.
The sensor 102 is turned on. The pH of this aqueous ozone solution is kept below 7. Further, as the pH sensor 102, one having heat resistance and pressure resistance specifications is adopted.
【０００３】そして、このｐＨセンサ１０２を用いてオ
ゾン水溶液のｐＨを測定する。この場合、ｐＨセンサ１
０２の測定結果に基づいて、ｐＨが７以上であれば警告
の出力がされるとともに、ｐＨが７未満になるように制
御される。また、ドレンタンク１０１には配管を介して
ポンプ１０３が接続されており、このポンプ１０３によ
り、ドレンタンク１０１内のオゾン水溶液が汲み出され
る。Then, the pH of the ozone aqueous solution is measured by using the pH sensor 102. In this case, the pH sensor 1
Based on the measurement result of 02, if the pH is 7 or more, a warning is output and the pH is controlled to be less than 7. Further, a pump 103 is connected to the drain tank 101 via a pipe, and the ozone aqueous solution in the drain tank 101 is pumped out by the pump 103.
【０００４】さらに、ポンプ１０３にはオゾン発生器１
０４が接続されている。オゾン発生器１０４は、酸素を
オゾンに変化させることができるとともに、水中にオゾ
ンを溶解させる。オゾン発生器１０４にはヒータ１０５
が接続されており、このヒータ１０５によってオゾン水
溶液が５０℃以上８０℃以下の温度に保持される。ヒー
タ１０５には配管を介してノズル１０６が接続されてい
る。Furthermore, the pump 103 has an ozone generator 1
04 is connected. The ozone generator 104 can change oxygen into ozone, and dissolves ozone in water. A heater 105 is provided in the ozone generator 104.
The heater 105 keeps the ozone aqueous solution at a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower. A nozzle 106 is connected to the heater 105 via a pipe.
【０００５】そして、ポンプ１０３により汲み出された
オゾン水溶液は、ポンプ１０３からオゾン発生器１０
４、ヒータ１０５を介してノズル１０６へ圧送される。
そして、オゾン水溶液は、例えば二点鎖線で示した樹脂
成形物１０９に対してノズル１０６から噴霧され、再び
ドレンタンク１０１内に貯留される。このようにして、
オゾン水溶液は装置内を循環する。The ozone aqueous solution pumped out by the pump 103 is supplied from the pump 103 to the ozone generator 10.
4, it is pressure-fed to the nozzle 106 via the heater 105.
Then, the ozone aqueous solution is sprayed from the nozzle 106 onto the resin molded product 109 indicated by the chain double-dashed line, for example, and is stored again in the drain tank 101. In this way
The aqueous ozone solution circulates in the device.
【０００６】一方、オゾン発生器１０４とヒータ１０５
との間にはバルブ１０７を介してオゾン濃度計１０８が
接続されており、このオゾン濃度計１０８により、オゾ
ン水溶液のオゾン濃度が測定される。そして、オゾン濃
度を測定した後のオゾン水溶液は排水される。なお、こ
の装置内のオゾン水溶液は、５０℃以上８０℃以下の温
度に保持されているので、オゾン水溶液のオゾン濃度及
びｐＨは、オゾン水溶液の温度が５０℃以上８０℃以下
で測定されることとなる。また、この装置には、オゾン
水溶液のオゾン濃度及びｐＨを調整して制御したり、排
水や蒸発等により損失したオゾン水溶液等を補填して制
御したりするための図示しない機構が設けられている。On the other hand, the ozone generator 104 and the heater 105
An ozone concentration meter 108 is connected via a valve 107, and the ozone concentration meter 108 measures the ozone concentration of the ozone aqueous solution. Then, the ozone aqueous solution after the ozone concentration is measured is drained. Since the ozone aqueous solution in this apparatus is kept at a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, the ozone concentration and pH of the ozone aqueous solution should be measured when the temperature of the ozone aqueous solution is 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower. Becomes In addition, this apparatus is provided with a mechanism (not shown) for adjusting and controlling the ozone concentration and pH of the ozone aqueous solution and for supplementing and controlling the ozone aqueous solution and the like lost due to drainage and evaporation. .
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のオゾン水溶液の測定装置では、オゾン水溶液の
オゾン濃度を測定する際に、オゾン水溶液を５０℃以上
８０℃以下の温度で測定している。この場合、かかる温
度では、オゾン水溶液中のオゾンは分解しやすく、オゾ
ン水溶液のオゾン濃度の半減時間（初期値から半減する
までの時間）が極端に短くなる。このため、測定したオ
ゾン濃度の値は、実際のオゾン濃度の値よりも極端に低
くなってしまうおそれがあった。従って、従来のオゾン
水溶液の測定装置では、オゾン水溶液のオゾン濃度を正
確に測定することができず、オゾン濃度の測定値は信頼
性の乏しいものとなっていた。However, in the above-described conventional apparatus for measuring an ozone aqueous solution, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured, the ozone aqueous solution is measured at a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower. In this case, at such a temperature, ozone in the ozone aqueous solution is easily decomposed, and the half time of the ozone concentration of the ozone aqueous solution (the time from the initial value to half) is extremely short. Therefore, the measured ozone concentration value may be extremely lower than the actual ozone concentration value. Therefore, the conventional ozone aqueous solution measuring device cannot accurately measure the ozone concentration of the ozone aqueous solution, and the measured value of the ozone concentration is poor in reliability.
【０００８】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、オゾン水溶液のオゾン濃度を
測定した際に、オゾン濃度の測定値の信頼性を向上させ
ることのできるオゾン水溶液の測定装置を提供すること
にある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is an ozone aqueous solution which can improve the reliability of the measured value of the ozone concentration when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured. It is to provide a measuring device.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、オゾン水溶液を５０℃
以上８０℃以下の温度に加熱するための加熱手段と、オ
ゾン水溶液のオゾン濃度を測定するための濃度測定手段
とを備え、前記濃度測定手段で測定されるオゾン水溶液
の温度が０℃よりも高く４０℃以下の温度となるよう
に、冷却手段を設けたことをその要旨とする。In order to achieve the above object, in the invention described in claim 1, the ozone aqueous solution is kept at 50 ° C.
A heating means for heating to a temperature of 80 ° C. or higher and a concentration measuring means for measuring the ozone concentration of the ozone aqueous solution are provided, and the temperature of the ozone aqueous solution measured by the concentration measuring means is higher than 0 ° C. The gist is to provide a cooling means so that the temperature becomes 40 ° C. or lower.
【００１０】上記構成によれば、オゾン水溶液は、加熱
手段で５０℃以上８０℃以下の温度に加熱される。ここ
で、オゾン水溶液のオゾン濃度を濃度測定手段で測定す
る際に、５０℃以上８０℃以下の温度のオゾン水溶液
は、冷却手段で０℃よりも高く４０℃以下の温度に冷却
される。According to the above construction, the ozone aqueous solution is heated to a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower by the heating means. Here, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured by the concentration measuring means, the ozone aqueous solution having a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower is cooled to a temperature higher than 0 ° C. and 40 ° C. or lower by the cooling means.
【００１１】この場合、従来の場合と比較して低温で測
定されるため、オゾン水溶液中のオゾンは分解されにく
くなり、オゾン水溶液のオゾン濃度が初期値から半減す
るまでの時間は極端に短くなることはない。その結果、
測定したオゾン濃度の値は、実際のオゾン濃度の値より
も極端に低くなることはない。In this case, since the ozone is measured at a lower temperature than in the conventional case, ozone in the ozone aqueous solution is less likely to be decomposed, and the time until the ozone concentration of the ozone aqueous solution is reduced from the initial value to half becomes extremely short. There is no such thing. as a result,
The measured ozone concentration value does not become extremely lower than the actual ozone concentration value.
【００１２】また、請求項２に記載の発明では、請求項
１に記載のオゾン水溶液の測定装置において、前記オゾ
ン濃度の測定のために、一定流量のオゾン水溶液を供給
する供給手段を設けたことをその要旨とする。Further, in the invention described in claim 2, in the apparatus for measuring an ozone aqueous solution according to claim 1, a supply means for supplying an ozone aqueous solution at a constant flow rate is provided for measuring the ozone concentration. Is the gist.
【００１３】上記構成によれば、オゾン水溶液のオゾン
濃度を濃度測定手段で測定するために、一定流量のオゾ
ン水溶液が供給手段によって供給される。このため、オ
ゾン濃度の測定値にばらつきが生じにくくなり、安定し
たオゾン濃度の測定値が得られる。According to the above construction, in order to measure the ozone concentration of the ozone aqueous solution by the concentration measuring means, the ozone water solution having a constant flow rate is supplied by the supplying means. Therefore, the measured values of ozone concentration are less likely to vary, and stable measured values of ozone concentration can be obtained.
【００１４】さらに、請求項３に記載の発明では、請求
項１又は請求項２に記載のオゾン水溶液の測定装置にお
いて、前記オゾン水溶液のｐＨを測定するためのｐＨ測
定手段を設け、前記オゾン水溶液のｐＨを０℃よりも高
く４０℃以下の温度で測定するようにしたことをその要
旨とする。Further, in the invention according to claim 3, in the ozone aqueous solution measuring device according to claim 1 or 2, pH measuring means for measuring the pH of the ozone aqueous solution is provided, and the ozone aqueous solution is provided. The gist of the invention is to measure the pH of above at a temperature higher than 0 ° C and lower than 40 ° C.
【００１５】上記構成によれば、オゾン水溶液のｐＨ
は、０℃よりも高く４０℃以下の温度でｐＨ手段により
測定される。この場合、従来の場合と比較して低温で測
定されるため、ｐＨ測定手段の耐久性の向上が図られ
る。According to the above construction, the pH of the ozone aqueous solution is
Is measured by pH means at temperatures above 0 ° C. and below 40 ° C. In this case, since the measurement is performed at a lower temperature than in the conventional case, the durability of the pH measuring means can be improved.
【００１６】併せて、請求項４に記載の発明では、請求
項３に記載のオゾン水溶液の測定装置において、前記濃
度測定手段と前記ｐＨ測定手段とを前記オゾン水溶液の
流路に沿って並設して、前記オゾン水溶液のオゾン濃度
の測定と前記オゾン水溶液のｐＨの測定とを一連の工程
で行うようにしたことをその要旨とする。[0016] In addition, in the invention described in claim 4, in the apparatus for measuring ozone aqueous solution according to claim 3, the concentration measuring means and the pH measuring means are arranged in parallel along the flow path of the ozone aqueous solution. Then, the gist is that the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution are measured in a series of steps.
【００１７】上記構成によれば、濃度測定手段とｐＨ測
定手段とがオゾン水溶液の流路に沿って並設されて、オ
ゾン水溶液のオゾン濃度の測定とオゾン水溶液のｐＨの
測定とが一連の工程で行われるため、それらの測定が円
滑に行われることとなる。According to the above construction, the concentration measuring means and the pH measuring means are arranged in parallel along the flow path of the ozone aqueous solution, and the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution are measured in a series of steps. Therefore, those measurements will be performed smoothly.
【００１８】加えて、請求項５に記載の発明では、請求
項３又は請求項４に記載のオゾン水溶液の測定装置にお
いて、前記オゾン水溶液中のオゾンを処理するための処
理手段を設け、該処理手段で前記オゾン水溶液を処理し
た後にｐＨを測定するようにしたことをその要旨とす
る。In addition, in the invention described in claim 5, in the apparatus for measuring ozone aqueous solution according to claim 3 or 4, a treatment means for treating ozone in the ozone aqueous solution is provided, and the treatment is performed. The gist is to measure the pH after treating the ozone aqueous solution by means.
【００１９】上記構成によれば、オゾン水溶液中のオゾ
ンは、処理手段によって処理される。その後、処理され
たオゾン水溶液中にはオゾンが含有していないため、オ
ゾンによってｐＨ測定手段が劣化されることはない。従
って、ｐＨ測定手段のさらなる耐久性の向上が図られ
る。According to the above construction, the ozone in the ozone aqueous solution is processed by the processing means. After that, since the treated ozone aqueous solution does not contain ozone, the pH measuring means is not deteriorated by ozone. Therefore, the durability of the pH measuring means can be further improved.
【００２０】また、請求項６に記載の発明では、請求項
１から請求項５のいずれかに記載のオゾン水溶液の測定
装置において、前記オゾン水溶液から気化したオゾンの
空気中におけるオゾン濃度を測定するようにしたことを
その要旨とする。Further, in the invention described in claim 6, in the ozone aqueous solution measuring device according to any one of claims 1 to 5, the ozone concentration of ozone vaporized from the ozone aqueous solution in the air is measured. The point is what you did.
【００２１】上記構成によれば、オゾン水溶液から気化
したオゾンの空気中におけるオゾン濃度が測定される。
この場合、空気中のオゾン濃度の値からオゾン水溶液の
オゾン濃度の値が推定され、それによってオゾン水溶液
のオゾン濃度が管理されることとなる。According to the above arrangement, the ozone concentration in the air of ozone vaporized from the ozone aqueous solution is measured.
In this case, the value of the ozone concentration of the ozone aqueous solution is estimated from the value of the ozone concentration in the air, and the ozone concentration of the ozone aqueous solution is managed accordingly.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化したオゾン
水溶液の測定装置の一実施の形態を図面に従って説明す
る。なお、本実施の形態におけるオゾン水溶液の測定装
置は、樹脂成形物〔ポリオレフィン（例えばポリプロピ
レン）からなる成形物〕の表面にオゾン水溶液を接触さ
せて樹脂成形物の表面改質を行うための装置である。こ
こで、樹脂成形物の表面改質とは、オゾン水溶液中のオ
ゾンの酸化力により、樹脂成形物の表面が酸化されて極
性を有する状態となることである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an ozone aqueous solution measuring apparatus embodying the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that the ozone aqueous solution measuring apparatus in the present embodiment is an apparatus for performing surface modification of a resin molded article by bringing the ozone aqueous solution into contact with the surface of the resin molded article [molded article made of polyolefin (for example, polypropylene)]. is there. Here, the surface modification of the resin molded product means that the surface of the resin molded product is oxidized by the oxidizing power of ozone in the ozone aqueous solution to be in a polar state.
【００２３】図１に示すように、ドレンタンク１１は、
その内部にオゾン水溶液を貯留する。また、ドレンタン
ク１１の内部には、オゾン計測器１２が配設されてい
る。このオゾン計測器１２は、ドレンタンク１１内のオ
ゾン水溶液から気化したオゾンの濃度、すなわち空気中
のオゾン濃度を測定して、オゾン水溶液のオゾン濃度を
管理する。さらに、ドレンタンク１１には配管を介して
ポンプ１３が接続されており、このポンプ１３により、
ドレンタンク１１内のオゾン水溶液が汲み出される。As shown in FIG. 1, the drain tank 11 is
The ozone aqueous solution is stored inside. Further, an ozone measuring device 12 is arranged inside the drain tank 11. The ozone measuring device 12 measures the concentration of ozone vaporized from the ozone aqueous solution in the drain tank 11, that is, the ozone concentration in the air, and manages the ozone concentration of the ozone aqueous solution. Furthermore, a pump 13 is connected to the drain tank 11 via a pipe, and by this pump 13,
The ozone aqueous solution in the drain tank 11 is pumped out.
【００２４】さらに、ポンプ１３には配管を介してオゾ
ン発生器１４が接続されている。オゾン発生器１４は、
酸素をオゾンに変化させることができるとともに、水中
にオゾンを溶解させる。オゾン発生器１４には配管を介
して加熱手段としてのヒータ１５が接続されており、こ
のヒータ１５によってオゾン水溶液が５０℃以上８０℃
以下の温度に保持される。ヒータ１５には配管を介して
ノズル１６が接続されている。Further, an ozone generator 14 is connected to the pump 13 via a pipe. The ozone generator 14 is
Oxygen can be converted to ozone, and ozone can be dissolved in water. A heater 15 as a heating means is connected to the ozone generator 14 via a pipe, and the ozone aqueous solution is heated to 50 ° C. or more and 80 ° C. by the heater 15.
The following temperatures are maintained. A nozzle 16 is connected to the heater 15 via a pipe.
【００２５】なお、溶媒である水の温度（℃）に対する
オゾンの溶解度係数の関係は、図２に示すような関係と
なっている。すなわち、水の温度上昇に伴い、オゾンは
水中に溶解されにくくなるとともに、分解されやすくな
る。また、これに反して、水の温度が高い方が反応速度
（表面改質速度）が増大することも一般的に知られてい
る。従って、オゾン濃度を高く、かつ、オゾン水溶液の
温度を高くなるように、前記ヒータ１５等で温度調節等
する必要がある。以上のことから、当該温度は、上述し
た５０℃以上８０℃以下の温度範囲とされる。The relationship of the solubility coefficient of ozone with respect to the temperature (° C.) of water as a solvent is as shown in FIG. That is, as the temperature of water rises, ozone becomes difficult to be dissolved in water and is easily decomposed. On the contrary, it is generally known that the reaction rate (surface modification rate) increases as the temperature of water increases. Therefore, it is necessary to adjust the temperature with the heater 15 or the like so that the ozone concentration is high and the temperature of the ozone aqueous solution is high. From the above, the temperature is within the above-mentioned temperature range of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower.
【００２６】図１に示すように、ポンプ１３によって汲
み出されたオゾン水溶液は、ポンプ１３からオゾン発生
器１４、ヒータ１５等を介してノズル１６へ圧送され
る。そして、オゾン水溶液は、二点鎖線で示した樹脂成
形物２４に対してノズル１６から噴霧され、再びドレン
タンク１１内に貯留される。このようにして、オゾン水
溶液は装置内の一部を循環する。As shown in FIG. 1, the ozone aqueous solution pumped by the pump 13 is pressure-fed from the pump 13 to the nozzle 16 via the ozone generator 14, the heater 15 and the like. Then, the ozone aqueous solution is sprayed from the nozzle 16 onto the resin molded product 24 indicated by the chain double-dashed line, and is stored again in the drain tank 11. In this way, the ozone aqueous solution circulates in a part of the apparatus.
【００２７】一方、オゾン水溶液のオゾン濃度を測定す
るために、オゾン発生器１４とヒータ１５との間の配管
には供給手段としての定量ポンプ１７が接続されるとと
もに、その定量ポンプ１７には冷却手段としての冷却器
１８を介して濃度測定手段としてのオゾン濃度計１９が
接続されている。定量ポンプ１７は、装置内を循環する
オゾン水溶液のうちの一定量を吸出（抽出）するととも
に、オゾン濃度計１９の側へオゾン水溶液を一定流量で
供給するように設定されている。また、冷却器１８は、
供給された５０℃以上８０℃以下の温度のオゾン水溶液
を、０℃よりも高く４０℃以下の温度となるように冷却
水で冷却する。さらに、オゾン濃度計１９は、一定流量
で供給された状態のオゾン水溶液を測定するようになっ
ている。On the other hand, in order to measure the ozone concentration of the ozone aqueous solution, a metering pump 17 as a supplying means is connected to the pipe between the ozone generator 14 and the heater 15, and the metering pump 17 is cooled. An ozone concentration meter 19 as concentration measuring means is connected via a cooler 18 as means. The metering pump 17 sucks (extracts) a certain amount of the ozone aqueous solution circulating in the apparatus, and is set to supply the ozone aqueous solution to the ozone concentration meter 19 side at a constant flow rate. Also, the cooler 18 is
The supplied ozone aqueous solution having a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower is cooled with cooling water so as to have a temperature higher than 0 ° C. and 40 ° C. or lower. Further, the ozone concentration meter 19 is adapted to measure the ozone aqueous solution supplied at a constant flow rate.
【００２８】なお、オゾン水溶液の温度（℃）に対して
オゾン濃度が初期値から半減するまでの時間（秒）は、
図３に示すような関係である。すなわち、５０℃以上の
温度では、オゾン濃度が初期値から半減するまでの時間
は短くなっており、０℃よりも高く４０℃以下の温度で
は、比較的長くなる。従って、オゾン水溶液のオゾン濃
度を測定する際の温度は、オゾン濃度の初期値と測定値
との誤差が極力少なくなるように、０℃よりも高く４０
℃以下である必要がある。かかる温度は、０℃よりも高
く３０℃以下であるのがより望ましく、０℃よりも高く
２０℃以下であるのがさらに望ましい。なお、０℃以下
の温度では、オゾン水溶液が凍ってしまうおそれがあ
る。The time (seconds) from the initial value to half the ozone concentration with respect to the temperature (° C.) of the aqueous ozone solution is
The relationship is as shown in FIG. That is, at a temperature of 50 ° C. or higher, the time until the ozone concentration halves from the initial value is short, and at a temperature higher than 0 ° C. and 40 ° C. or lower, it is relatively long. Therefore, the temperature at which the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured is higher than 0 ° C. and 40 ° C. so that the error between the initial value of the ozone concentration and the measured value is as small as possible.
It must be below ℃. More preferably, the temperature is higher than 0 ° C. and lower than or equal to 30 ° C., and more preferably higher than 0 ° C. and lower than or equal to 20 ° C. At a temperature of 0 ° C or lower, the ozone aqueous solution may be frozen.
【００２９】図１に示すように、タンク２０は、その内
部に水溶液を貯留するようになっている。また、タンク
２０内の水溶液中には、オゾン濃度計１９に接続された
配管が開口され、その配管には、処理手段としての過酸
化水素水溶液（Ｈ2 Ｏ2 水溶液）を備えた処理タンク２
１が合流接続されている。As shown in FIG. 1, the tank 20 is adapted to store the aqueous solution therein. A pipe connected to the ozone concentration meter 19 is opened in the aqueous solution in the tank 20, and the pipe is provided with a hydrogen peroxide aqueous solution (H 2 O 2 aqueous solution) as a processing means.
1 are connected together.
【００３０】さらに、タンク２０内の水溶液中には、オ
ゾン水溶液のｐＨを測定するために、ｐＨ測定手段とし
ての警告用のｐＨセンサ２２と，同じく制御用のｐＨセ
ンサ２３とが配置されている。なお、制御用のｐＨセン
サ２３は、汎用のものが採用されている。Further, in the aqueous solution in the tank 20, in order to measure the pH of the ozone aqueous solution, a warning pH sensor 22 as a pH measuring means and a control pH sensor 23 are arranged. . A general-purpose pH sensor 23 is used as the control pH sensor 23.
【００３１】そして、警告用のｐＨセンサ２２によって
オゾン水溶液のｐＨが上限値（ｐＨ７）であるかどうか
測定され、その測定結果に基づいてｐＨが７以上であれ
ば警告が出力される。また、制御用のｐＨセンサ２３に
よってオゾン水溶液のｐＨが測定され、その測定結果に
基づいてｐＨが７未満になるように制御される。なお、
オゾン水溶液のｐＨは、タンク２０内の水溶液中にｐＨ
センサ２２，２３を浸漬させた状態で測定される。そし
て、ｐＨが測定された後の水溶液は、タンク２０から配
管を介して外部へ排水される。Then, the pH sensor 22 for warning measures whether or not the pH of the ozone aqueous solution is the upper limit value (pH 7), and if the pH is 7 or more based on the measurement result, a warning is output. Moreover, the pH of the ozone aqueous solution is measured by the control pH sensor 23, and the pH is controlled to be less than 7 based on the measurement result. In addition,
The pH of the ozone solution is the same as the pH of the solution in the tank 20.
The measurement is performed with the sensors 22 and 23 immersed. Then, the aqueous solution whose pH has been measured is drained from the tank 20 to the outside through the pipe.
【００３２】なお、オゾン水溶液のｐＨ（水素イオン指
数）は７未満である必要がある。これは、水の酸性度が
高い方がオゾンの溶解度を高くでき、ひいてはオゾン水
溶液中のオゾン濃度を高めることができるからである。
このため、オゾン水溶液は、ｐＨ７未満の酸性とされ
る。The pH (hydrogen ion index) of the ozone aqueous solution must be less than 7. This is because the higher the acidity of water, the higher the solubility of ozone and the higher the concentration of ozone in the aqueous ozone solution.
Therefore, the aqueous ozone solution is made acidic with a pH of less than 7.
【００３３】本実施の形態にあっては、オゾン濃度計１
９とｐＨセンサ２２，２３とがオゾン水溶液の流路に沿
って並設されて、オゾン水溶液のオゾン濃度を測定する
工程とオゾン水溶液のｐＨを測定する工程とが一連の工
程で行われるようになっている。なお、本実施の形態の
オゾン水溶液の測定装置には、オゾン水溶液のオゾン濃
度及びｐＨを調整して制御したり、排水や蒸発等により
損失したオゾン水溶液等を補填して制御したりするため
の図示しない機構が設けられている。In the present embodiment, the ozone concentration meter 1
9 and the pH sensors 22 and 23 are juxtaposed along the flow path of the ozone aqueous solution so that the step of measuring the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the step of measuring the pH of the ozone aqueous solution are performed in a series of steps. Has become. The ozone aqueous solution measuring apparatus of the present embodiment is for adjusting and controlling the ozone concentration and pH of the ozone aqueous solution, and for supplementing and controlling the ozone aqueous solution and the like lost due to drainage and evaporation. A mechanism not shown is provided.
【００３４】さて、本実施の形態におけるオゾン水溶液
の測定装置を用いた測定方法について、以下に説明す
る。まず、装置内を循環するオゾン水溶液のうちの一定
量を定量ポンプ１７で吸出（抽出）するとともに、オゾ
ン濃度計１９の側へ一定流量で供給する。この場合、５
０℃以上８０℃以下の温度のオゾン水溶液が、冷却器１
８により、０℃よりも高く４０℃以下の温度に冷却され
る。そして、０℃よりも高く４０℃以下の温度となり、
かつ、一定流量で供給された状態のオゾン水溶液のオゾ
ン濃度を、オゾン濃度計１９で測定する。Now, a measuring method using the ozone aqueous solution measuring apparatus according to the present embodiment will be described below. First, a fixed amount of the ozone aqueous solution circulating in the apparatus is sucked out (extracted) by the metering pump 17 and supplied to the ozone concentration meter 19 side at a constant flow rate. In this case, 5
An aqueous ozone solution having a temperature of 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower is cooled by the cooler 1.
8 cools to a temperature above 0 ° C. and below 40 ° C. Then, the temperature becomes higher than 0 ° C and lower than 40 ° C,
Moreover, the ozone concentration of the ozone aqueous solution supplied at a constant flow rate is measured by the ozone concentration meter 19.
【００３５】なお、オゾン水溶液のオゾン濃度を管理す
るために、オゾン濃度計１９とは別に、オゾン計測器１
２によってもオゾン濃度を測定する。すなわち、オゾン
計測器１２により、ドレンタンク１１内のオゾン水溶液
から気化したオゾンの濃度（空気中のオゾン濃度）を測
定する。より詳しく説明すると、空気中のオゾン濃度を
測定することにより、ドレンタンク１１内のオゾン水溶
液のオゾン濃度を推定することができる。これは、オゾ
ン水溶液のオゾン濃度（ｐｐｍ）に対する空気中のオゾ
ン濃度（ｐｐｍ）の関係が、図４に示すような略比例関
係になっているからである。Incidentally, in order to control the ozone concentration of the ozone aqueous solution, the ozone measuring instrument 1 is provided separately from the ozone concentration meter 19.
2 also measures the ozone concentration. That is, the ozone meter 12 measures the concentration of ozone vaporized from the aqueous ozone solution in the drain tank 11 (the ozone concentration in the air). More specifically, by measuring the ozone concentration in the air, the ozone concentration of the ozone aqueous solution in the drain tank 11 can be estimated. This is because the relationship between the ozone concentration (ppm) in the air and the ozone concentration (ppm) in the ozone aqueous solution is substantially proportional as shown in FIG.
【００３６】次に、オゾン濃度の測定されたオゾン水溶
液がオゾン濃度計１９からタンク２０側へ吐出されると
とともに、処理タンク２１からタンク２０側へ過酸化水
素水溶液が注入される。これにより、オゾン水溶液中の
オゾンは過酸化水素によって処理され、その結果として
タンク２０内にはオゾンをほとんど含有しない水溶液が
貯留されることとなる。そして、タンク２０内の水溶液
のｐＨをｐＨセンサ２２，２３により測定する。ここ
で、水溶液の温度は、０℃よりも高く４０℃以下の温度
となっている。なお、水溶液中にオゾンを含有していて
も、含有していなくても、水溶液のｐＨにはほとんど影
響はない。Next, the ozone aqueous solution whose ozone concentration has been measured is discharged from the ozone concentration meter 19 to the tank 20 side, and the hydrogen peroxide aqueous solution is injected from the processing tank 21 to the tank 20 side. As a result, ozone in the ozone aqueous solution is treated with hydrogen peroxide, and as a result, an aqueous solution containing almost no ozone is stored in the tank 20. Then, the pH of the aqueous solution in the tank 20 is measured by the pH sensors 22 and 23. Here, the temperature of the aqueous solution is higher than 0 ° C and lower than or equal to 40 ° C. In addition, whether or not ozone is contained in the aqueous solution has almost no effect on the pH of the aqueous solution.
【００３７】また、警告用のｐＨセンサ２２によってオ
ゾン水溶液のｐＨを上限値（ｐＨ７）であるかどうか測
定し、その測定結果に基づいてｐＨが７以上であれば警
告を出力する。さらに、制御用のｐＨセンサ２３によっ
てオゾン水溶液のｐＨを測定し、その測定結果に基づい
てｐＨを７未満になるように制御する。Further, whether or not the pH of the ozone aqueous solution is the upper limit value (pH 7) is measured by the pH sensor 22 for warning, and a warning is output if the pH is 7 or more based on the measurement result. Furthermore, the pH of the ozone aqueous solution is measured by the control pH sensor 23, and the pH is controlled to be less than 7 based on the measurement result.
【００３８】以上詳述した本実施の形態によれば、以下
に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施の形態によれば、オゾン水溶液のオゾン濃
度をオゾン濃度計１９で測定する際に、５０℃以上８０
℃以下の温度のオゾン水溶液を、冷却器１８で０℃より
も高く４０℃以下の温度に冷却することができる。この
場合、従来の場合と比較して低温で測定することができ
るため、オゾン水溶液中のオゾンは分解されにくくな
り、オゾン水溶液のオゾン濃度が初期値から半減するま
での時間は極端に短くなることはない。その結果、測定
したオゾン濃度の値は、実際のオゾン濃度の値よりも極
端に低くなることはない。従って、オゾン水溶液のオゾ
ン濃度をオゾン濃度計１９で測定した際に、オゾン濃度
の測定値の信頼性を向上させることができる。According to this embodiment described in detail above, the following effects can be obtained. (1) According to the present embodiment, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured by the ozone densitometer 19, it is 50 ° C. or higher and 80 ° C. or higher.
The ozone aqueous solution having a temperature of 0 ° C. or lower can be cooled by the cooler 18 to a temperature higher than 0 ° C. and lower than 40 ° C. In this case, since it can be measured at a lower temperature than in the conventional case, ozone in the ozone aqueous solution is less likely to be decomposed, and the time required for the ozone concentration of the ozone aqueous solution to halve from the initial value is extremely short. There is no. As a result, the measured ozone concentration value does not become extremely lower than the actual ozone concentration value. Therefore, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured by the ozone concentration meter 19, the reliability of the measured value of the ozone concentration can be improved.
【００３９】（２）本実施の形態によれば、オゾン水溶
液のオゾン濃度を測定する際に、オゾン水溶液は定量ポ
ンプ１７によりオゾン濃度計１９側へ一定流量で供給さ
れる。このため、オゾン水溶液のオゾン濃度をオゾン濃
度計１９で測定した場合、オゾン濃度の測定値にばらつ
きが生じるのを抑制でき、安定したオゾン濃度の測定値
を得ることができる。(2) According to the present embodiment, when measuring the ozone concentration of the ozone aqueous solution, the ozone aqueous solution is supplied to the ozone concentration meter 19 side at a constant flow rate by the metering pump 17. Therefore, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured by the ozone concentration meter 19, it is possible to suppress variations in the measured ozone concentration values, and it is possible to obtain stable measured ozone concentration values.
【００４０】（３）本実施の形態によれば、オゾン水溶
液のｐＨは、０℃よりも高く４０℃以下の温度でｐＨセ
ンサ２２，２３により測定される。この場合、従来の場
合と比較して低温で測定することができるため、ｐＨセ
ンサ２２，２３の耐久性の向上を図ることができる。(3) According to the present embodiment, the pH of the ozone aqueous solution is measured by the pH sensors 22 and 23 at a temperature higher than 0 ° C. and lower than 40 ° C. In this case, since the measurement can be performed at a lower temperature than in the conventional case, the durability of the pH sensors 22 and 23 can be improved.
【００４１】（４）本実施の形態によれば、オゾン濃度
計１９とｐＨセンサ２２，２３とがオゾン水溶液の流路
に沿って並設されて、オゾン水溶液のオゾン濃度をオゾ
ン濃度計１９で測定する工程とオゾン水溶液のｐＨをｐ
Ｈセンサ２２，２３で測定する工程とが一連の工程で行
われるため、それらの測定を円滑に行うことができるよ
うになる。(4) According to this embodiment, the ozone concentration meter 19 and the pH sensors 22 and 23 are arranged in parallel along the flow path of the ozone aqueous solution, and the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured by the ozone concentration meter 19. The process of measuring and the pH of the ozone solution are p
Since the steps of measuring with the H sensors 22 and 23 are performed in a series of steps, those measurements can be performed smoothly.
【００４２】（５）本実施の形態によれば、オゾン濃度
計１９から吐出されたオゾン水溶液中のオゾンは、処理
タンク２１からタンク２０側へ注入された過酸化水素水
溶液中の過酸化水素によって処理することができる。こ
れにより、処理されたオゾン水溶液中にはオゾンがほと
んど含有していないため、オゾンによってｐＨセンサ２
２，２３が劣化されることはほとんどない。従って、ｐ
Ｈセンサ２２，２３のさらなる耐久性の向上を図ること
ができる。(5) According to this embodiment, the ozone in the ozone aqueous solution discharged from the ozone concentration meter 19 is generated by the hydrogen peroxide in the hydrogen peroxide aqueous solution injected from the processing tank 21 to the tank 20 side. Can be processed. As a result, since the treated ozone aqueous solution contains almost no ozone, the pH sensor 2 is
2 and 23 are hardly deteriorated. Therefore, p
The durability of the H sensors 22 and 23 can be further improved.
【００４３】（６）本実施の形態によれば、ドレンタン
ク１１内のオゾン水溶液から気化したオゾンの濃度（空
気中のオゾン濃度）をオゾン計測器１２によって測定す
ることができる。この場合、空気中のオゾン濃度の値か
らオゾン水溶液のオゾン濃度の値を推定することがで
き、それによってオゾン水溶液のオゾン濃度を管理する
ことができるようになる。(6) According to the present embodiment, the ozone measuring device 12 can measure the concentration of ozone vaporized from the aqueous ozone solution in the drain tank 11 (the ozone concentration in the air). In this case, the ozone concentration value of the ozone aqueous solution can be estimated from the ozone concentration value of the air, and thereby the ozone concentration of the ozone aqueous solution can be controlled.
【００４４】（７）本実施の形態によれば、警告用のｐ
Ｈセンサ２２によってオゾン水溶液のｐＨを上限値（ｐ
Ｈ７）であるかどうか測定して、その測定結果に基づい
てｐＨが７以上であれば警告を出力することができる。
また、制御用のｐＨセンサ２３によってオゾン水溶液の
ｐＨを測定して、その測定結果に基づいてｐＨを７未満
になるように制御することができる。(7) According to the present embodiment, the warning p
With the H sensor 22, the pH of the ozone aqueous solution is set to the upper limit (p
It is possible to measure whether or not it is H7) and output a warning if the pH is 7 or more based on the measurement result.
Further, the pH of the ozone aqueous solution can be measured by the control pH sensor 23, and the pH can be controlled to be less than 7 based on the measurement result.
【００４５】（８）本実施の形態によれば、従来の耐熱
・耐圧仕様の高価なｐＨセンサを採用する必要がなく、
汎用の制御用のｐＨセンサ２３と警告用のｐＨセンサ２
２とを採用することができるため、ｐＨセンサ２２，２
３のコストの低減を図ることができる。また、０℃より
も高く４０℃以下の温度で使用される本実施の形態のｐ
Ｈセンサ２２，２３は、５０℃以上８０℃以下の温度で
使用される従来の耐熱・耐圧仕様のｐＨセンサと比較し
て、ｐＨセンサ２２，２３の電極調整やメンテナンスが
容易である。(8) According to the present embodiment, it is not necessary to employ a conventional expensive pH sensor having heat resistance and pressure resistance,
General-purpose control pH sensor 23 and warning pH sensor 2
2 can be adopted, the pH sensors 22 and 2 can be used.
The cost of 3 can be reduced. In addition, p of the present embodiment used at a temperature higher than 0 ° C. and lower than 40 ° C.
The H sensors 22 and 23 are easier to perform electrode adjustment and maintenance of the pH sensors 22 and 23 as compared with the conventional heat and pressure resistant pH sensors used at temperatures of 50 ° C. to 80 ° C.
【００４６】（９）本実施の形態によれば、オゾン水溶
液が定量ポンプ１７により一定流量でオゾン濃度計１９
側へ供給されるため、従来のようにバルブを介してオゾ
ン濃度計へ供給されるのとは相違する。すなわち、本実
施の形態では、従来のように、バルブがつまったり、オ
ゾン水溶液の流量が変化したりすることがないため、図
１のオゾン発生器１４を介して分岐された配管等からオ
ゾン濃度計１９までのオゾン水溶液の滞留時間が安定す
る。このため、オゾンの分解による濃度変化が一定とな
り、オゾン濃度の測定値にばらつきが生じにくくなる。(9) According to the present embodiment, the ozone concentration meter 19 is operated with a constant flow rate of the ozone aqueous solution by the metering pump 17.
Since it is supplied to the side, it is different from the case where it is supplied to the ozone concentration meter through the valve as in the conventional case. That is, in the present embodiment, unlike the conventional case, the valve does not become clogged and the flow rate of the ozone aqueous solution does not change. Therefore, the ozone concentration can be obtained from the pipe branched through the ozone generator 14 in FIG. The residence time of the ozone aqueous solution up to a total of 19 is stabilized. Therefore, the concentration change due to the decomposition of ozone becomes constant, and the measured ozone concentration values are less likely to vary.
【００４７】（１０）仮に高温のオゾン水溶液がオゾン
濃度計１９に流れ込むと、オゾン濃度計１９内でオゾン
水溶液が冷却され、オゾン水溶液中に溶解していた水垢
等が析出しやすくなる。本実施の形態によれば、オゾン
水溶液がオゾン濃度計１９に流れ込む前に０℃よりも高
く４０℃以下の温度に冷却されているため、オゾン濃度
計１９内では水垢等が析出しにくくなる。その結果、オ
ゾン濃度計１９の水垢等を除去する作業が少なくて済
む。(10) If the high temperature ozone aqueous solution flows into the ozone concentration meter 19, the ozone aqueous solution is cooled in the ozone concentration meter 19, and scales and the like dissolved in the ozone aqueous solution tend to be deposited. According to the present embodiment, since the aqueous ozone solution is cooled to a temperature higher than 0 ° C. and lower than or equal to 40 ° C. before flowing into the ozone densitometer 19, scales or the like are less likely to deposit in the ozone densitometer 19. As a result, the work of removing scales and the like from the ozone concentration meter 19 can be reduced.
【００４８】ここで、本実施の形態における特有の効果
の一部を確認するために、以下に示すような実験を行っ
た。まず、オゾン水溶液の測定装置として、図１に示し
た本実施の形態のオゾン水溶液の測定装置と、図５に示
した従来のオゾン水溶液の測定装置と同様のものを用意
した。そして、これらの装置を用いて、オゾン濃度（ｐ
ｐｍ）及びｐＨを測定する際のオゾン水溶液の温度
（℃）、オゾン水溶液の流量（ｍｌ／ｍｉｎ）等を種々
変化させて実験を行い、オゾン水溶液のオゾン濃度を測
定した。また、オゾン水溶液の流量を３００（ｍｌ／ｍ
ｉｎ）とした実験において、それぞれのｐＨを測定する
とともに、これらの装置内に設置された器具（オゾン濃
度計及び制御用のｐＨセンサ等）の寿命を評価した。そ
の結果を表１に示す。Here, in order to confirm a part of the effect peculiar to this embodiment, the following experiment was conducted. First, as an ozone aqueous solution measuring apparatus, the same apparatus as the ozone aqueous solution measuring apparatus of the present embodiment shown in FIG. 1 and the conventional ozone aqueous solution measuring apparatus shown in FIG. 5 were prepared. Then, using these devices, the ozone concentration (p
pm) and the pH of the aqueous ozone solution (° C.), the flow rate (ml / min) of the aqueous ozone solution, and the like were variously changed, and experiments were conducted to measure the ozone concentration of the aqueous ozone solution. In addition, the flow rate of the ozone aqueous solution is 300 (ml / m
In), the respective pHs were measured, and the lifespan of instruments (ozone concentration meter, control pH sensor, etc.) installed in these devices was evaluated. The results are shown in Table 1.
【００４９】[0049]
【表１】
表１に示すように、Ｎｏ. １〜Ｎｏ. ６の実験結果が得
られた。なお、Ｎｏ.１〜Ｎｏ. ５の実験結果は、図１
に示した装置と同様のものを用いることにより得られた
結果であり、Ｎｏ. ６の実験結果は、図５に示した装置
と同様のものを用いることにより得られた結果である。
但し、Ｎｏ. １〜Ｎｏ. ５のうち、Ｎｏ. １，Ｎｏ.
２，Ｎｏ. ４及びＮｏ. ５は、装置内に設置された過酸
化水素水溶液を備えた処理タンクを省略した構成、すな
わちオゾン水溶液中のオゾンに対して過酸化水素が添加
されなかったことにより得られた結果である。また、Ｎ
ｏ.１の結果は、オゾン水溶液が凍ってしまい、実験不
能であったことを示す。[Table 1] As shown in Table 1, the experimental results of No. 1 to No. 6 were obtained. The experimental results of No. 1 to No. 5 are shown in FIG.
The results are obtained by using the same device as that shown in FIG. 6, and the experimental result of No. 6 is the result obtained by using the same device as that shown in FIG.
However, of No. 1 to No. 5, No. 1 and No.
No. 2, No. 4 and No. 5 have a configuration in which the treatment tank provided with the hydrogen peroxide solution installed in the apparatus is omitted, that is, because hydrogen peroxide is not added to ozone in the ozone solution. It is the result obtained. Also, N
The result of o.1 shows that the ozone aqueous solution was frozen and the experiment was impossible.
【００５０】なお、表中のオゾン濃度（ｐｐｍ）の欄の
３００，１００，５００の数値は、オゾン水溶液の流量
（ｍｌ／ｍｉｎ）を表したものである。また、オゾン濃
度（ｐｐｍ）の欄のノズル、濃度計及びｐＨは、オゾン
水溶液のオゾン濃度を測定した位置を示したものであ
り、ノズルはノズル近傍部分、濃度計はオゾン濃度計、
ｐＨはｐＨセンサをそれぞれ表している。さらに、器具
の寿命の欄のオゾン濃度計において、表示されている月
日は、オゾン濃度計に水垢等が付着して、オゾン濃度計
の透過率が８０％以下の状態になる（校正が必要にな
る）までの月日をそれぞれ示している。器具の寿命の欄
のｐＨセンサにおいて、汎用及び耐熱・耐圧と表示され
ているものは、汎用のｐＨセンサ（制御用）及び耐熱・
耐圧仕様のｐＨセンサであることをそれぞれ示すととも
に、表示されている年月は、ｐＨセンサの使用開始から
交換までの期間をそれぞれ示している。The numerical values of 300, 100 and 500 in the column of ozone concentration (ppm) in the table represent the flow rate (ml / min) of the ozone aqueous solution. Further, the nozzle, densitometer and pH in the column of ozone concentration (ppm) indicate the position where the ozone concentration of the ozone aqueous solution was measured, the nozzle is in the vicinity of the nozzle, the densitometer is the ozone densitometer,
pH represents a pH sensor, respectively. Furthermore, in the ozone concentration meter in the column of the service life of the equipment, when the displayed date is scale, the ozone concentration meter has water stains and the transmittance of the ozone concentration meter becomes 80% or less (calibration is required). Are shown). In the pH sensor of the life of the equipment, those labeled as general purpose and heat resistance / pressure resistance are general purpose pH sensor (for control) and heat resistance
In addition to indicating that the pH sensor is a pressure resistant type, the displayed years and months indicate the period from the start of use of the pH sensor to the replacement thereof.
【００５１】表１に示すように、オゾン水溶液のオゾン
濃度をオゾン濃度計で測定した場合において、Ｎｏ. ２
〜Ｎｏ. ５のオゾン濃度と、Ｎｏ. ６のオゾン濃度とを
比較すると、Ｎｏ. ６のオゾン濃度が極端に低くなって
いるのがわかる。このことから、本実施の形態における
上記（１）に記載の効果を確認することができた。As shown in Table 1, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution was measured by an ozone densitometer, No. 2
Comparing the No. 5 ozone concentration with the No. 6 ozone concentration, it can be seen that the No. 6 ozone concentration is extremely low. From this, it was possible to confirm the effect described in the above (1) in the present embodiment.
【００５２】また、器具の寿命の欄のｐＨセンサにおい
て、Ｎｏ. ６の耐熱・耐圧仕様のｐＨセンサと、Ｎｏ.
２〜Ｎｏ. ５の汎用のｐＨセンサとを比較すると、Ｎ
ｏ. ２〜Ｎｏ. ５の汎用のｐＨセンサの耐久性が向上し
ているといえる。このことから、本実施の形態における
上記（３）に記載の効果を確認することができた。Further, in the pH sensor in the column of the service life of the equipment, No. 6 heat and pressure resistant pH sensor and No. 6 pH sensor are used.
Comparing with the general-purpose pH sensors of No. 2 to No. 5, N
It can be said that the durability of the general-purpose pH sensors No. 2 to No. 5 is improved. From this, it was possible to confirm the effect described in the above (3) in the present embodiment.
【００５３】さらに、Ｎｏ. ３とＮｏ. ４とのｐＨセン
サを比較した場合において、Ｎｏ.３のｐＨセンサの方
が、耐久性が著しく向上しているのがわかる。このこと
から、本実施の形態における上記（５）に記載の効果を
確認することができた。Further, when comparing the pH sensors of No. 3 and No. 4, it can be seen that the pH sensor of No. 3 has significantly improved durability. From this, it was possible to confirm the effect described in the above (5) in the present embodiment.
【００５４】併せて、器具の寿命の欄のオゾン濃度計に
おいて、Ｎｏ. ６の月日と、Ｎｏ.２〜Ｎｏ. ５の月日
とを比較すると、Ｎｏ. ６の方が極端に短くなってお
り、Ｎｏ. ６のオゾン濃度計が水垢等で汚れやすいこと
がわかる。このことから、本実施の形態における上記
（１０）に記載の効果を確認することができた。In addition, when comparing the month and day of No. 6 with the months and days of No. 2 to No. 5 in the ozone concentration meter in the column of life of equipment, No. 6 becomes extremely shorter. It can be seen that the No. 6 ozone concentration meter is easily soiled with water stains. From this, it was possible to confirm the effect described in the above (10) in the present embodiment.
【００５５】尚、前記実施の形態は、上記に限定される
ものではなく、次のように変更してもよい。
・ 前記実施の形態では、冷却手段として、冷却水によ
る冷却器１８を採用したが、例えば空冷等の冷却手段を
採用してもよく、冷却手段は特に冷却水による冷却器１
８に限定されるものではない。The above embodiment is not limited to the above, but may be modified as follows. In the above-mentioned embodiment, the cooler 18 using cooling water is adopted as the cooling means, but cooling means such as air cooling may be adopted, and the cooling means is especially the cooler 1 using cooling water.
It is not limited to eight.
【００５６】・ 前記実施の形態では、一定流量で供給
された状態のオゾン水溶液のオゾン濃度をオゾン濃度計
１９で測定するようにしたが、一定流量で供給されない
状態で測定するようにしてもよい。In the above embodiment, the ozone concentration of the ozone aqueous solution supplied at a constant flow rate was measured by the ozone densitometer 19, but it may be measured at a constant flow rate. .
【００５７】・ 前記実施の形態では、オゾン濃度計１
９とｐＨセンサ２２，２３とをオゾン水溶液の流路に沿
って並設して、オゾン水溶液のオゾン濃度をオゾン濃度
計１９で測定する工程とオゾン水溶液のｐＨをｐＨセン
サ２２，２３で測定する工程とを一連の工程で行うこと
としたが、それらの工程を分離して行ってもよい。In the above embodiment, the ozone concentration meter 1
9 and the pH sensors 22 and 23 are arranged in parallel along the flow path of the ozone aqueous solution, and the step of measuring the ozone concentration of the ozone aqueous solution with the ozone densitometer 19 and the pH of the ozone aqueous solution are measured with the pH sensors 22 and 23. Although the step and the step are performed in a series of steps, those steps may be performed separately.
【００５８】・ 前記実施の形態におけるオゾン水溶液
の測定装置において、過酸化水素水溶液を備えた処理タ
ンク２１を省略するような構成としてもよい。
・ 前記実施の形態では、処理手段として、過酸化水素
水溶液を備えた処理タンク２１を用いたが、例えば、紫
外線照射、オゾン水溶液を９０℃で１５秒間加熱するこ
と、触媒、光触媒（例えば、酸化チタン＋高圧水銀
灯）、チオ硫酸ナトリウム、亜硫酸ナトリウム等を用い
てもよく、処理手段は特に処理タンク２１に限定される
ものではない。In the ozone water measuring apparatus according to the above-mentioned embodiment, the processing tank 21 provided with the hydrogen peroxide solution may be omitted. In the above-described embodiment, the processing tank 21 provided with the hydrogen peroxide aqueous solution is used as the processing means. However, for example, UV irradiation, heating the ozone aqueous solution at 90 ° C. for 15 seconds, a catalyst, a photocatalyst (for example, oxidation). (Titanium + high pressure mercury lamp), sodium thiosulfate, sodium sulfite, etc. may be used, and the processing means is not particularly limited to the processing tank 21.
【００５９】・ 前記実施の形態におけるオゾン水溶液
の測定装置において、オゾン計測器１２或いはオゾン濃
度計１９のどちらか一方とする構成としても差し支えな
い。更に、特許請求の範囲の各請求項に記載されないも
のであって、上記実施の形態から把握できる技術的思想
について以下にその効果とともに記載する。The ozone aqueous solution measuring apparatus according to the above-described embodiment may have either the ozone measuring device 12 or the ozone densitometer 19. Further, technical ideas which are not described in each claim of the claims and which can be grasped from the above-described embodiment will be described below together with their effects.
【００６０】（ａ）オゾン水溶液を加熱手段で５０℃以
上８０℃以下の温度に加熱する工程と、オゾン水溶液の
オゾン濃度を濃度測定手段で測定する工程とを備え、前
記オゾン濃度の測定に際して、前記オゾン水溶液の温度
を冷却手段で０℃よりも高く４０℃以下の温度に冷却す
ることを特徴とするオゾン水溶液の測定方法。(A) A step of heating the aqueous ozone solution to a temperature of 50 ° C. to 80 ° C. by a heating means and a step of measuring the ozone concentration of the aqueous ozone solution by a concentration measuring means are provided. A method for measuring an ozone aqueous solution, which comprises cooling the temperature of the ozone aqueous solution to a temperature higher than 0 ° C. and not higher than 40 ° C. by a cooling means.
【００６１】このようにすれば、オゾン水溶液のオゾン
濃度における測定値の信頼性を向上させることができ
る。
（ｂ）前記オゾン濃度の測定のために、一定流量のオゾ
ン水溶液を供給手段で供給することを特徴とする上記
（ａ）に記載のオゾン水溶液の測定方法。By doing so, the reliability of the measured value of the ozone concentration of the ozone aqueous solution can be improved. (B) The method for measuring an ozone aqueous solution according to the above (a), characterized in that a constant flow rate of the ozone aqueous solution is supplied by a supply means in order to measure the ozone concentration.
【００６２】このようにすれば、上記（ａ）に記載の発
明の効果に加えて、オゾン水溶液のオゾン濃度の測定値
にばらつきが生じるのを抑制でき、安定したオゾン濃度
の測定値を得ることができる。By doing so, in addition to the effect of the invention described in (a) above, it is possible to suppress variations in the measured ozone concentration of the ozone aqueous solution, and obtain a stable measured ozone concentration. You can
【００６３】（ｃ）前記オゾン水溶液のｐＨをｐＨ測定
手段で測定する工程を設け、前記オゾン水溶液のｐＨを
０℃よりも高く４０℃以下の温度で測定することを特徴
とする上記（ａ）又は（ｂ）に記載のオゾン水溶液の測
定方法。(C) A step of measuring the pH of the ozone aqueous solution by a pH measuring means is provided, and the pH of the ozone aqueous solution is measured at a temperature higher than 0 ° C. and not higher than 40 ° C. (a). Alternatively, the method for measuring an ozone aqueous solution according to (b).
【００６４】このようにすれば、上記（ａ）又は（ｂ）
に記載の発明の効果に加えて、ｐＨ測定手段の耐久性の
向上を図ることができる。
（ｄ）前記オゾン水溶液のオゾン濃度の測定と、前記オ
ゾン水溶液のｐＨの測定とを一連の工程で行うことを特
徴とする上記（ｃ）に記載のオゾン水溶液の測定方法。By doing so, the above (a) or (b)
In addition to the effect of the invention described in (1), the durability of the pH measuring means can be improved. (D) The method for measuring an ozone aqueous solution according to (c), wherein the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution are measured in a series of steps.
【００６５】このようにすれば、上記（ｃ）に記載の発
明の効果に加えて、オゾン水溶液のオゾン濃度の測定
と、オゾン水溶液のｐＨの測定とを円滑に行うことがで
きるようになる。In this way, in addition to the effect of the invention described in (c) above, the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution can be smoothly measured.
【００６６】（ｅ）前記オゾン水溶液中のオゾンを処理
手段で処理する工程を設け、該処理手段で前記オゾン水
溶液を処理した後にｐＨを測定することを特徴とする上
記（ｃ）又は（ｄ）に記載のオゾン水溶液の測定方法。(E) A step of treating ozone in the ozone aqueous solution with a treating means is provided, and the pH is measured after treating the ozone aqueous solution with the treating means. The method for measuring an ozone aqueous solution according to.
【００６７】このようにすれば、上記（ｃ）又は（ｄ）
に記載の発明の効果に加えて、ｐＨ測定手段のさらなる
耐久性の向上を図ることができる。
（ｆ）前記オゾン水溶液から気化したオゾンの空気中に
おけるオゾン濃度を測定することを特徴とする上記
（ａ）から（ｅ）のいずれかに記載のオゾン水溶液の測
定方法このようにすれば、上記（ａ）から（ｅ）のいず
れかに記載の発明の効果に加えて、空気中のオゾン濃度
の値からオゾン水溶液のオゾン濃度の値を推定できるた
め、それによってオゾン水溶液のオゾン濃度を管理する
ことができるようになる。In this way, the above (c) or (d)
In addition to the effect of the invention described in (1), the durability of the pH measuring means can be further improved. (F) The method for measuring an aqueous ozone solution according to any one of (a) to (e) above, wherein the ozone concentration in the air of ozone vaporized from the aqueous ozone solution is measured. In addition to the effect of the invention described in any one of (a) to (e), since the ozone concentration value of the ozone aqueous solution can be estimated from the ozone concentration value in the air, the ozone concentration of the ozone aqueous solution is managed accordingly. Will be able to.
【００６８】[0068]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
以下のような優れた効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、オゾン水溶液のオゾン濃度を測定した際
に、オゾン濃度の測定値の信頼性を向上させることがで
きる。As described in detail above, according to the present invention,
It has the following excellent effects. According to the invention described in claim 1, when the ozone concentration of the ozone aqueous solution is measured, the reliability of the measured value of the ozone concentration can be improved.
【００６９】また、請求項２に記載の発明によれば、請
求項１に記載の発明の効果に加えて、オゾン水溶液のオ
ゾン濃度の測定値にばらつきが生じるのを抑制でき、安
定したオゾン濃度の測定値を得ることができる。Further, according to the invention described in claim 2, in addition to the effect of the invention described in claim 1, it is possible to suppress variation in the measured ozone concentration of the ozone aqueous solution and to stabilize the ozone concentration. Can be obtained.
【００７０】さらに、請求項３に記載の発明によれば、
請求項１又は請求項２に記載の発明の効果に加えて、ｐ
Ｈ測定手段の耐久性の向上を図ることができる。併せ
て、請求項４に記載の発明によれば、請求項３に記載の
発明の効果に加えて、オゾン水溶液のオゾン濃度の測定
とオゾン水溶液のｐＨの測定とを円滑に行うことができ
るようになる。Further, according to the invention of claim 3,
In addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, p
The durability of the H measuring means can be improved. In addition, according to the invention described in claim 4, in addition to the effect of the invention described in claim 3, it is possible to smoothly measure the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution. become.
【００７１】加えて、請求項５に記載の発明によれば、
請求項３又は請求項４に記載の発明に加えて、ｐＨ測定
手段のさらなる耐久性の向上を図ることができる。ま
た、請求項６に記載の発明によれば、請求項１から請求
項５のいずれかに記載の発明の効果に加えて、空気中の
オゾン濃度の値からオゾン水溶液のオゾン濃度の値を推
定できるため、それによってオゾン水溶液のオゾン濃度
を管理することができるようになる。In addition, according to the invention of claim 5,
In addition to the invention described in claim 3 or 4, it is possible to further improve the durability of the pH measuring means. According to the invention described in claim 6, in addition to the effect of the invention described in any one of claims 1 to 5, the value of the ozone concentration of the ozone aqueous solution is estimated from the value of the ozone concentration in the air. Therefore, it becomes possible to control the ozone concentration of the ozone aqueous solution.
【図１】一実施の形態におけるオゾン水溶液の測定装置
を示す模式図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an ozone aqueous solution measuring apparatus according to an embodiment.
【図２】水の温度に対するオゾンの溶解度係数の関係を
示すグラフ。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the solubility coefficient of ozone and the temperature of water.
【図３】オゾン水溶液の温度と、オゾン濃度が初期値か
ら半減するまでの時間との関係を示すグラフ。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the temperature of the aqueous ozone solution and the time required for the ozone concentration to halve from the initial value.
【図４】オゾン水溶液のオゾン濃度に対する空気中のオ
ゾン濃度の関係を示すグラフ。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the ozone concentration in the air.
【図５】従来のオゾン水溶液の測定装置を示す模式図。FIG. 5 is a schematic diagram showing a conventional apparatus for measuring an ozone aqueous solution.
１２…オゾン計測器、１５…ヒータ、１７…定量ポン
プ、１８…冷却器、１９…オゾン濃度計、２１…処理タ
ンク、２２，２３…ｐＨセンサ。12 ... Ozone measuring instrument, 15 ... Heater, 17 ... Metering pump, 18 ... Cooler, 19 ... Ozone concentration meter, 21 ... Processing tank, 22, 23 ... pH sensor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−151461（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−248103（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−3349（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−217900（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−117708（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−191536（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−165032（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−294735（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−277705（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 31/00 C02F 1/78 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of front page (56) References JP-A-61-151461 (JP, A) JP-A-6-248103 (JP, A) JP-A-8-3349 (JP, A) JP-A-8- 217900 (JP, A) JP 8-117708 (JP, A) JP 57-191536 (JP, A) JP 2-165032 (JP, A) JP 6-294735 (JP, A) JP-A-7-277705 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 31/00 C02F 1/78
Claims (6)
温度に加熱するための加熱手段と、 オゾン水溶液のオゾン濃度を測定するための濃度測定手
段とを備え、 前記濃度測定手段で測定されるオゾン水溶液の温度が０
℃よりも高く４０℃以下の温度となるように、冷却手段
を設けたことを特徴とするオゾン水溶液の測定装置。1. A heating means for heating an aqueous solution of ozone to a temperature of 50 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, and a concentration measuring means for measuring the ozone concentration of the aqueous ozone solution, which are measured by the concentration measuring means. The temperature of the ozone solution is 0
An apparatus for measuring an ozone aqueous solution, which is provided with a cooling means so that the temperature is higher than 40 ° C and higher than 40 ° C.
量のオゾン水溶液を供給する供給手段を設けたことを特
徴とする請求項１に記載のオゾン水溶液の測定装置。2. The apparatus for measuring an ozone aqueous solution according to claim 1, further comprising a supply means for supplying an ozone aqueous solution at a constant flow rate for measuring the ozone concentration.
のｐＨ測定手段を設け、前記オゾン水溶液のｐＨを０℃
よりも高く４０℃以下の温度で測定するようにしたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のオゾン水溶
液の測定装置。3. A pH measuring means for measuring the pH of the ozone aqueous solution is provided, and the pH of the ozone aqueous solution is 0 ° C.
3. The apparatus for measuring ozone aqueous solution according to claim 1, wherein the temperature is higher than 40 ° C. and the temperature is 40 ° C. or less.
を前記オゾン水溶液の流路に沿って並設して、前記オゾ
ン水溶液のオゾン濃度の測定と前記オゾン水溶液のｐＨ
の測定とを一連の工程で行うようにしたことを特徴とす
る請求項３に記載のオゾン水溶液の測定装置。4. The concentration measuring means and the pH measuring means are arranged side by side along the flow path of the ozone aqueous solution to measure the ozone concentration of the ozone aqueous solution and the pH of the ozone aqueous solution.
The measuring device for an ozone aqueous solution according to claim 3, wherein the measurement and the measurement are performed in a series of steps.
ための処理手段を設け、該処理手段で前記オゾン水溶液
を処理した後にｐＨを測定するようにしたことを特徴と
する請求項３又は請求項４に記載のオゾン水溶液の測定
装置。5. A treatment means for treating ozone in the ozone aqueous solution is provided, and the pH is measured after treating the ozone aqueous solution by the treatment means. 4. The apparatus for measuring ozone aqueous solution according to 4.
空気中におけるオゾン濃度を測定するようにしたことを
特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のオ
ゾン水溶液の測定装置。6. The apparatus for measuring an ozone aqueous solution according to claim 1, wherein an ozone concentration in the air of ozone vaporized from the ozone aqueous solution is measured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17022798A JP3468102B2 (en) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | Ozone aqueous solution measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17022798A JP3468102B2 (en) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | Ozone aqueous solution measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000002698A JP2000002698A (en) | 2000-01-07 |
| JP3468102B2 true JP3468102B2 (en) | 2003-11-17 |
Family
ID=15901034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17022798A Expired - Fee Related JP3468102B2 (en) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | Ozone aqueous solution measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3468102B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6674054B2 (en) * | 2001-04-26 | 2004-01-06 | Phifer-Smith Corporation | Method and apparatus for heating a gas-solvent solution |
| JP6328403B2 (en) * | 2012-12-19 | 2018-05-23 | 勉 廣見 | Functional water production apparatus and functional water production method |
-
1998
- 1998-06-17 JP JP17022798A patent/JP3468102B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000002698A (en) | 2000-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60110752T2 (en) | ELECTROCHEMICAL SENSOR FOR THE DETERMINATION OF PERACETIC ACID IN AQUEOUS SOLUTIONS BY PULSE-AMPOOMETRIC PROCESSES | |
| JP2001514075A (en) | Performance-based control system | |
| US20160376166A1 (en) | Process and Device for the Treatment of a Fluid Containing a Contaminant | |
| US5348664A (en) | Process for disinfecting water by controlling oxidation/reduction potential | |
| US4940667A (en) | Apparatus for monitoring the quality of water | |
| CA2857383C (en) | Method and device for monitoring and controlling the state of a process stream | |
| BR112013013991B1 (en) | METHOD FOR MEASURING AT LEAST, A PROPERTY OF A PREDOMINANTLY NET SAMPLE | |
| US20150203388A1 (en) | Monochloramine water disinfection system and method | |
| US8650935B2 (en) | Method of TOC monitoring | |
| KR20080025609A (en) | Circulation type corrosion test device | |
| JPH04500555A (en) | Method and apparatus for determining oxidizable water-containing substances in aqueous sample liquids | |
| WO2002033401A1 (en) | Pulsed-flow total organic carbon analyzer | |
| JP3468102B2 (en) | Ozone aqueous solution measuring device | |
| Rho et al. | Optimization of chemical oxygen demand determination in seawater samples using the alkaline potassium permanganate method | |
| JP5909360B2 (en) | Method and apparatus for measuring purity of ultrapure water | |
| KR101487250B1 (en) | COD Testing Apparatus Reference Electrode | |
| US6013156A (en) | Bubble monitor for semiconductor manufacturing | |
| KR100952179B1 (en) | Orp reference electrode for using oxidation reduction cod log relative error | |
| JP4543388B2 (en) | Concentration control method for water treatment chemicals | |
| JPH03293093A (en) | Potable water sterilizing device | |
| JP3843224B2 (en) | Method for measuring sulfuric acid concentration in plating solution | |
| WO2001012843A2 (en) | Hydrogen peroxide monitoring | |
| JPH0663570A (en) | Method for determining and controlling ozone injection quantity and purified water treatment device | |
| JP2010160169A (en) | Apparatus and method for detecting abnormality in water quality | |
| JP4975306B2 (en) | Injection ozone control system and injection ozone control method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |