JP3467169B2 - バリ取り装置及びバリ取り方法 - Google Patents
バリ取り装置及びバリ取り方法Info
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- JP3467169B2 JP3467169B2 JP14127797A JP14127797A JP3467169B2 JP 3467169 B2 JP3467169 B2 JP 3467169B2 JP 14127797 A JP14127797 A JP 14127797A JP 14127797 A JP14127797 A JP 14127797A JP 3467169 B2 JP3467169 B2 JP 3467169B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂成形済のリー
ドフレームから樹脂バリを除去する際に用いて好適なバ
リ取り装置に関するものである。
ドフレームから樹脂バリを除去する際に用いて好適なバ
リ取り装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、樹脂封止タイプの半導体装置や
樹脂パッケージを採用した気密封止タイプの半導体装置
を製造する場合は、トランスファモールド等による樹脂
成形時にリードフレームとモールド金型の僅かな隙間か
ら樹脂がにじみ出たり、アウターリードとダムバーとの
間に樹脂が充填されるなどして樹脂バリが発生する。こ
の樹脂バリは、例えば外装処理後に剥離すると、リード
フレームの素地が露出してアウターリードのはんだ濡れ
性、耐食性等を損なうことから、外装処理前に除去して
おく必要がある。
樹脂パッケージを採用した気密封止タイプの半導体装置
を製造する場合は、トランスファモールド等による樹脂
成形時にリードフレームとモールド金型の僅かな隙間か
ら樹脂がにじみ出たり、アウターリードとダムバーとの
間に樹脂が充填されるなどして樹脂バリが発生する。こ
の樹脂バリは、例えば外装処理後に剥離すると、リード
フレームの素地が露出してアウターリードのはんだ濡れ
性、耐食性等を損なうことから、外装処理前に除去して
おく必要がある。
【０００３】そこで従来においては、樹脂成形後に上述
の樹脂バリを除去するため、図４に示すようなバリ取り
装置が用いられている。図示したバリ取り装置３０は、
主として、繰出部３１、バリ取り部３２、水洗部３３及
び収納部３４によって構成されている。繰出部３１は、
樹脂成形済のリードフレームを一枚ずつ繰り出すもの
で、そこから繰り出されたリードフレームの樹脂バリを
バリ取り部３２で除去するようになっている。水洗部３
３は、バリ取り部３２から送出されたリードフレームを
水洗するもので、その水洗後のリードフレームを収納部
３４で順次収納するようになっている。
の樹脂バリを除去するため、図４に示すようなバリ取り
装置が用いられている。図示したバリ取り装置３０は、
主として、繰出部３１、バリ取り部３２、水洗部３３及
び収納部３４によって構成されている。繰出部３１は、
樹脂成形済のリードフレームを一枚ずつ繰り出すもの
で、そこから繰り出されたリードフレームの樹脂バリを
バリ取り部３２で除去するようになっている。水洗部３
３は、バリ取り部３２から送出されたリードフレームを
水洗するもので、その水洗後のリードフレームを収納部
３４で順次収納するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のバリ取り装置３０においては、水洗部３３を通過した
湿潤状態のリードフレームを、そのまま収納部３４でカ
セット等に積載して収納するようになっているため、樹
脂成形されたパッケージ同士が水分の介在で貼り付き、
これに起因してリードフレームの搬送不良等が発生して
いた。また、リードフレームに水分が付着した状態で収
納することから、次工程の仕掛かり時にリードフレーム
に錆が発生しやすいという問題があった。そこで現状で
は、バリ取り装置３０から取り出したリードフレームを
カセット等に収納したまま、別途、オーブン等を用いて
乾燥させるようにしている。しかし、一旦、カセット等
に収納した複数枚のリードフレームを完全に乾燥させる
にはかなりの時間を必要とし、非常に効率の悪いものと
なっていた。また、オーブン等による乾燥処理でパッケ
ージ同士の貼り付き強度が更に高められる虞れもあっ
た。
のバリ取り装置３０においては、水洗部３３を通過した
湿潤状態のリードフレームを、そのまま収納部３４でカ
セット等に積載して収納するようになっているため、樹
脂成形されたパッケージ同士が水分の介在で貼り付き、
これに起因してリードフレームの搬送不良等が発生して
いた。また、リードフレームに水分が付着した状態で収
納することから、次工程の仕掛かり時にリードフレーム
に錆が発生しやすいという問題があった。そこで現状で
は、バリ取り装置３０から取り出したリードフレームを
カセット等に収納したまま、別途、オーブン等を用いて
乾燥させるようにしている。しかし、一旦、カセット等
に収納した複数枚のリードフレームを完全に乾燥させる
にはかなりの時間を必要とし、非常に効率の悪いものと
なっていた。また、オーブン等による乾燥処理でパッケ
ージ同士の貼り付き強度が更に高められる虞れもあっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、樹脂成形後で
かつ外装処理前にリードフレームのバリ取りを行うバリ
取り装置であって、樹脂成形済のリードフレームを繰り
出す繰出部と、この繰出部から繰り出されたリードフレ
ームの樹脂バリを除去するバリ取り部と、このバリ取り
部から送出されたリードフレームを水洗する水洗部と、
この水洗部から送出されたリードフレームを乾燥する乾
燥部と、この乾燥部から送出されたリードフレームを収
納する収納部とを備えるものである。さらに、乾燥部
は、水洗部から送出されたリードフレームを収納部へと
搬送するフレーム搬送機構と、このフレーム搬送機構に
よって搬送されるリードフレームを加熱乾燥する加熱処
理部とを有し、フレーム搬送機構は、収納部側に配設さ
れた第１回転軸と水洗部側に配設された第２回転軸との
間に架け渡された複数本の搬送ベルトを有するととも
に、第１回転軸側のベルト配列ピッチを第２回転軸側の
ベルト配列ピッチよりも狭く設定してなるものである。
かつ外装処理前にリードフレームのバリ取りを行うバリ
取り装置であって、樹脂成形済のリードフレームを繰り
出す繰出部と、この繰出部から繰り出されたリードフレ
ームの樹脂バリを除去するバリ取り部と、このバリ取り
部から送出されたリードフレームを水洗する水洗部と、
この水洗部から送出されたリードフレームを乾燥する乾
燥部と、この乾燥部から送出されたリードフレームを収
納する収納部とを備えるものである。さらに、乾燥部
は、水洗部から送出されたリードフレームを収納部へと
搬送するフレーム搬送機構と、このフレーム搬送機構に
よって搬送されるリードフレームを加熱乾燥する加熱処
理部とを有し、フレーム搬送機構は、収納部側に配設さ
れた第１回転軸と水洗部側に配設された第２回転軸との
間に架け渡された複数本の搬送ベルトを有するととも
に、第１回転軸側のベルト配列ピッチを第２回転軸側の
ベルト配列ピッチよりも狭く設定してなるものである。
【０００６】上記構成からなるバリ取り装置において
は、繰出部、バリ取り部及び水洗部を経たリードフレー
ムが乾燥部に送られ、そこで乾燥処理されてから収納部
へと送られる。これにより、水洗済のリードフレームが
湿潤状態のまま収納部に収納されることがなくなる。
は、繰出部、バリ取り部及び水洗部を経たリードフレー
ムが乾燥部に送られ、そこで乾燥処理されてから収納部
へと送られる。これにより、水洗済のリードフレームが
湿潤状態のまま収納部に収納されることがなくなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は本発明に係
るバリ取り装置の全体構成を示す概略図である。図示し
たバリ取り装置１は、主として、樹脂成形済のリードフ
レームを繰り出す繰出部２と、この繰出部２から繰り出
されたリードフレームの樹脂バリを除去するバリ取り部
３と、このバリ取り部３から送出されたリードフレーム
を水洗する水洗部４と、この水洗部４から送出されたリ
ードフレームを乾燥する乾燥部５と、この乾燥部５から
送出されたリードフレームを収納する収納部６とによっ
て構成され、特に従来装置との比較では、水洗部４と収
納部６との間に乾燥部５を設けた点が異なっている。
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は本発明に係
るバリ取り装置の全体構成を示す概略図である。図示し
たバリ取り装置１は、主として、樹脂成形済のリードフ
レームを繰り出す繰出部２と、この繰出部２から繰り出
されたリードフレームの樹脂バリを除去するバリ取り部
３と、このバリ取り部３から送出されたリードフレーム
を水洗する水洗部４と、この水洗部４から送出されたリ
ードフレームを乾燥する乾燥部５と、この乾燥部５から
送出されたリードフレームを収納する収納部６とによっ
て構成され、特に従来装置との比較では、水洗部４と収
納部６との間に乾燥部５を設けた点が異なっている。
【０００８】図２は上述した乾燥部５の好適な実施形態
を示す下部平面図であり、図３はその全体側面図であ
る。図示した乾燥部５は、水洗部４から送出されたリー
ドフレーム７を収納部６へと搬送するフレーム搬送機構
８と、このフレーム搬送機構８によって搬送されるリー
ドフレーム７を加熱乾燥する加熱処理部９と、この加熱
処理部９のフレーム搬送方向上流側でリードフレーム８
にエアーを吹き付ける水切り部１０とを有している。
を示す下部平面図であり、図３はその全体側面図であ
る。図示した乾燥部５は、水洗部４から送出されたリー
ドフレーム７を収納部６へと搬送するフレーム搬送機構
８と、このフレーム搬送機構８によって搬送されるリー
ドフレーム７を加熱乾燥する加熱処理部９と、この加熱
処理部９のフレーム搬送方向上流側でリードフレーム８
にエアーを吹き付ける水切り部１０とを有している。
【０００９】フレーム搬送機構８は、モータ１１を駆動
源としたもので、そのモータ出力軸にはカップリング１
２を介して、上下一対の第１回転軸１３ａ，１３ｂの一
方（図例では下側の第１回転軸１３ａ）が連結されてい
る。各々の第１回転軸１３ａ，１３ｂの端部には、それ
ぞれ平歯車１４ａ，１４ｂが取り付けられ、これらの平
歯車１４ａ，１４ｂ同士が噛み合っている。この構成に
より、モータ１１が回転駆動すると、その駆動力がカッ
プリング１２を介して下側の第１回転軸１３ａに伝達さ
れ、さらにその駆動力が平歯車１４ａ，１４ｂを介して
上側の第１回転軸１３ｂに伝達されることから、上下の
第１回転軸１３ａ，１３ｂが互いに同期して回転するよ
うになっている。
源としたもので、そのモータ出力軸にはカップリング１
２を介して、上下一対の第１回転軸１３ａ，１３ｂの一
方（図例では下側の第１回転軸１３ａ）が連結されてい
る。各々の第１回転軸１３ａ，１３ｂの端部には、それ
ぞれ平歯車１４ａ，１４ｂが取り付けられ、これらの平
歯車１４ａ，１４ｂ同士が噛み合っている。この構成に
より、モータ１１が回転駆動すると、その駆動力がカッ
プリング１２を介して下側の第１回転軸１３ａに伝達さ
れ、さらにその駆動力が平歯車１４ａ，１４ｂを介して
上側の第１回転軸１３ｂに伝達されることから、上下の
第１回転軸１３ａ，１３ｂが互いに同期して回転するよ
うになっている。
【００１０】また、第１回転軸１３ａ，１３ｂに対して
は、その間に加熱処理部９と水切り部１０とを介在させ
て、上下一対の第２回転軸１５ａ，１５ｂが対向状態に
配設されている。このうち、下側の第１回転軸１３ａと
第２回転軸１５ａとの間には複数本（図例では６本）の
搬送ベルト１６ａ，１６ａ，…が架け渡されている。一
方、上側の第１回転軸１３ｂと第２回転軸１５ａとの間
には２本の搬送ベルト１６ｂ（図３では１本のみ表示）
が互いに平行に架け渡されている。これらの搬送ベルト
１６ａ，１６ｂは、いずれも断面略円形の、いわゆる丸
ベルトであり、それぞれのループ途中に設けられたテン
ションローラ１７ａ，１７ｂにより所定の張力をもって
支持されている。また、第１回転軸１３ａ，１３ｂ及び
第２回転軸１５ａ，１５ｂは、それぞれの軸端が一対の
サイドプレート１８，１８にベアリング等を介して回転
自在に支持されている。
は、その間に加熱処理部９と水切り部１０とを介在させ
て、上下一対の第２回転軸１５ａ，１５ｂが対向状態に
配設されている。このうち、下側の第１回転軸１３ａと
第２回転軸１５ａとの間には複数本（図例では６本）の
搬送ベルト１６ａ，１６ａ，…が架け渡されている。一
方、上側の第１回転軸１３ｂと第２回転軸１５ａとの間
には２本の搬送ベルト１６ｂ（図３では１本のみ表示）
が互いに平行に架け渡されている。これらの搬送ベルト
１６ａ，１６ｂは、いずれも断面略円形の、いわゆる丸
ベルトであり、それぞれのループ途中に設けられたテン
ションローラ１７ａ，１７ｂにより所定の張力をもって
支持されている。また、第１回転軸１３ａ，１３ｂ及び
第２回転軸１５ａ，１５ｂは、それぞれの軸端が一対の
サイドプレート１８，１８にベアリング等を介して回転
自在に支持されている。
【００１１】ここで、第１回転軸１３ａ及び第２回転軸
１５ａの各外周面には、軸方向における搬送ベルト１６
ａの動きを規制するために、それぞれ所定のピッチで複
数のガイド溝（不図示）が形成され、これらのガイド溝
に１本ずつ搬送ベルト１６ａが嵌め込まれている。さら
に、第１回転軸１３ａ側のベルト配列ピッチＰ1 は、第
２回転軸１５ａ側のベルト配列ピッチＰ2 よりも狭く設
定されている。ちなみに本実施形態では、ベルト配列ピ
ッチＰ1 ，Ｐ2 の比を、Ｐ1 ：Ｐ2 ＝１３：１０に設定
している。これにより、搬送ベルト１６ａ，１６ａ，…
の平面的な配置形態としては、リードフレーム７の搬送
方向に対して回転軸端部寄りの搬送ベルト１６ａほど傾
きが大きくなるため、ベルト全体で見ると第２回転軸１
５ａから第１回転軸１３ａに向かって徐々に回転軸中央
寄りに収束する形態となる。
１５ａの各外周面には、軸方向における搬送ベルト１６
ａの動きを規制するために、それぞれ所定のピッチで複
数のガイド溝（不図示）が形成され、これらのガイド溝
に１本ずつ搬送ベルト１６ａが嵌め込まれている。さら
に、第１回転軸１３ａ側のベルト配列ピッチＰ1 は、第
２回転軸１５ａ側のベルト配列ピッチＰ2 よりも狭く設
定されている。ちなみに本実施形態では、ベルト配列ピ
ッチＰ1 ，Ｐ2 の比を、Ｐ1 ：Ｐ2 ＝１３：１０に設定
している。これにより、搬送ベルト１６ａ，１６ａ，…
の平面的な配置形態としては、リードフレーム７の搬送
方向に対して回転軸端部寄りの搬送ベルト１６ａほど傾
きが大きくなるため、ベルト全体で見ると第２回転軸１
５ａから第１回転軸１３ａに向かって徐々に回転軸中央
寄りに収束する形態となる。
【００１２】さらに、上述した上下一対の第２回転軸１
５ａ，１５ｂのうち、上側の第２回転軸１５ｂには１本
乃至２本の搬送ベルト１９が引っ掛けられている。この
搬送ベルト１９は、先述の搬送ベルト１６ａ，１６ｂと
同様に断面略円形の丸ベルトで、水洗部４に近接するプ
ーリ２０との間に掛け渡されている。プーリ２０は、第
２回転軸１５ｂに片持ち状態で枢支されたアーム２１の
自由端に回転自在に支持され、これによって自由に上下
動できるようになっている。一方、搬送ベルト１９の下
方には、所定の間隙を隔ててフレームガイド２２が対向
状態に配設されており、このフレームガイド２２に案内
されて水洗部４側からリードフレーム７が取り込まれる
ようになっている。
５ａ，１５ｂのうち、上側の第２回転軸１５ｂには１本
乃至２本の搬送ベルト１９が引っ掛けられている。この
搬送ベルト１９は、先述の搬送ベルト１６ａ，１６ｂと
同様に断面略円形の丸ベルトで、水洗部４に近接するプ
ーリ２０との間に掛け渡されている。プーリ２０は、第
２回転軸１５ｂに片持ち状態で枢支されたアーム２１の
自由端に回転自在に支持され、これによって自由に上下
動できるようになっている。一方、搬送ベルト１９の下
方には、所定の間隙を隔ててフレームガイド２２が対向
状態に配設されており、このフレームガイド２２に案内
されて水洗部４側からリードフレーム７が取り込まれる
ようになっている。
【００１３】この構成では、先述の如く一対の第１回転
軸１３ａ，１３ｂが同期して回転すると、それぞれの回
転力が搬送ベルト１６ａ１６ｂを介して第２回転軸１５
ａ，１５ｂに伝達され、さらに上側の第２回転軸１５ｂ
の回転力が搬送ベルト１９を介してプーリ２０に伝達さ
れることになる。
軸１３ａ，１３ｂが同期して回転すると、それぞれの回
転力が搬送ベルト１６ａ１６ｂを介して第２回転軸１５
ａ，１５ｂに伝達され、さらに上側の第２回転軸１５ｂ
の回転力が搬送ベルト１９を介してプーリ２０に伝達さ
れることになる。
【００１４】一方、加熱処理部９は、リードフレーム７
の搬送方向から見て略コ字形をなす熱風ノズル２３を有
している。この熱風ノズル２３は、上述のフレーム搬送
機構８によって搬送されるリードフレーム７に熱風を吹
き付けるもので、上下方向から搬送ベルト１６ａ，１６
ｂを跨ぐように配設されている。熱風ノズル２３には、
図示せぬ加熱手段（ヒータ等）により加熱された熱風を
供給するためのダクト２４が連結されている。また、熱
風ノズル２３の内側の対向面には、それぞれ複数の送風
孔２５，２５，…がマトリクス状に配列されており、ダ
クト２４を介して供給された熱風はそれらの送風孔２
５，２５，…からリードフレーム７に向けて吹き出す構
成となっている。ちなみに本実施形態では、各々の送風
孔２５の孔径をφ５ｍｍに設定するとともに、その配列
ピッチを１０ｍｍに設定している。また、送風孔２５か
ら吹き出す熱風の温度を、１００℃±１０℃の条件で設
定している。
の搬送方向から見て略コ字形をなす熱風ノズル２３を有
している。この熱風ノズル２３は、上述のフレーム搬送
機構８によって搬送されるリードフレーム７に熱風を吹
き付けるもので、上下方向から搬送ベルト１６ａ，１６
ｂを跨ぐように配設されている。熱風ノズル２３には、
図示せぬ加熱手段（ヒータ等）により加熱された熱風を
供給するためのダクト２４が連結されている。また、熱
風ノズル２３の内側の対向面には、それぞれ複数の送風
孔２５，２５，…がマトリクス状に配列されており、ダ
クト２４を介して供給された熱風はそれらの送風孔２
５，２５，…からリードフレーム７に向けて吹き出す構
成となっている。ちなみに本実施形態では、各々の送風
孔２５の孔径をφ５ｍｍに設定するとともに、その配列
ピッチを１０ｍｍに設定している。また、送風孔２５か
ら吹き出す熱風の温度を、１００℃±１０℃の条件で設
定している。
【００１５】これに対して水切り部１０は、リードフレ
ーム７の搬送方向と直交する状態で配設された上下一対
のエアーブローパイプ２６，２６を有している。これら
のエアーブローパイプ２６，２６は、上述した第２回転
軸１５ａ，１５ｂと熱風ノズル２３との間で、搬送ベル
ト１６ａ，１６ｂを上下方向から挟むように配設されて
いる。また、各々のエアーブローパイプ２６には、所定
のピッチで複数の吹出孔２６ａが明けられ、これらの吹
出孔２６ａからリードフレーム７に向けて圧縮エアーが
吹き出す構成となっている。
ーム７の搬送方向と直交する状態で配設された上下一対
のエアーブローパイプ２６，２６を有している。これら
のエアーブローパイプ２６，２６は、上述した第２回転
軸１５ａ，１５ｂと熱風ノズル２３との間で、搬送ベル
ト１６ａ，１６ｂを上下方向から挟むように配設されて
いる。また、各々のエアーブローパイプ２６には、所定
のピッチで複数の吹出孔２６ａが明けられ、これらの吹
出孔２６ａからリードフレーム７に向けて圧縮エアーが
吹き出す構成となっている。
【００１６】ちなみに本実施形態では、エアーブローパ
イプ２６，２６によるリードフレーム７の水切り処理を
効率良く行うために、上側のエアーブローパイプ２６の
吹出孔（不図示）を下側の第２回転軸１５ａに向けて設
定するとともに、下側のエアーブローパイプ２６の吹出
孔２６ａを上側の第２回転軸１５ｂに向けて設定し、こ
れによってエアーブローパイプ２６，２６から吹き出し
た圧縮エアーがリードフレーム７に斜めに当たるように
調整している。また、エアーブローパイプ２６，２６に
よる圧縮エアーの圧力を約４．５ｋｇ／ｃｍ2 に設定し
ている。
イプ２６，２６によるリードフレーム７の水切り処理を
効率良く行うために、上側のエアーブローパイプ２６の
吹出孔（不図示）を下側の第２回転軸１５ａに向けて設
定するとともに、下側のエアーブローパイプ２６の吹出
孔２６ａを上側の第２回転軸１５ｂに向けて設定し、こ
れによってエアーブローパイプ２６，２６から吹き出し
た圧縮エアーがリードフレーム７に斜めに当たるように
調整している。また、エアーブローパイプ２６，２６に
よる圧縮エアーの圧力を約４．５ｋｇ／ｃｍ2 に設定し
ている。
【００１７】続いて、本実施形態におけるバリ取り装置
の動作について説明する。先ず、バリ取り対象となる樹
脂成形済のリードフレーム７は、例えばカセット等に所
定枚数だけ収容された状態で繰出部２にセットされ、こ
の繰出部２から図示せぬローディング機構によって一枚
ずつ繰り出される。
の動作について説明する。先ず、バリ取り対象となる樹
脂成形済のリードフレーム７は、例えばカセット等に所
定枚数だけ収容された状態で繰出部２にセットされ、こ
の繰出部２から図示せぬローディング機構によって一枚
ずつ繰り出される。
【００１８】こうして繰り出されたリードフレーム７
は、図示せぬフレーム搬送系によってバリ取り部３に送
られ、そこでリードフレーム７の樹脂バリが除去され
る。ちなみに、バリ取り部３での処理としては、ガラス
ビーズやプラスチック粒等の研磨材（メディア）を均一
に混合してなる液体を、圧縮エアーを用いてノズルによ
り高速噴霧体としてリードフレーム７に吹き付ける液体
ホーニング法を利用したものや、数百ｋｇ／ｃｍ2 の高
圧水をノズルよりリードフレーム７に噴射してバリを取
る高圧水法を利用したものなどが考えられるが、本発明
に係るバリ取り装置はそのいずれを採用したものであっ
てもかまわない。
は、図示せぬフレーム搬送系によってバリ取り部３に送
られ、そこでリードフレーム７の樹脂バリが除去され
る。ちなみに、バリ取り部３での処理としては、ガラス
ビーズやプラスチック粒等の研磨材（メディア）を均一
に混合してなる液体を、圧縮エアーを用いてノズルによ
り高速噴霧体としてリードフレーム７に吹き付ける液体
ホーニング法を利用したものや、数百ｋｇ／ｃｍ2 の高
圧水をノズルよりリードフレーム７に噴射してバリを取
る高圧水法を利用したものなどが考えられるが、本発明
に係るバリ取り装置はそのいずれを採用したものであっ
てもかまわない。
【００１９】次いで、バリ取り部３を通過したリードフ
レーム７は水洗部４に送られ、そこでリードフレーム７
やそのパッケージ部分に付着残留している樹脂バリが水
洗加工によってきれいに取り除かれる。
レーム７は水洗部４に送られ、そこでリードフレーム７
やそのパッケージ部分に付着残留している樹脂バリが水
洗加工によってきれいに取り除かれる。
【００２０】続いて、水洗部４を通過したリードフレー
ム７は乾燥部５へと送られる。この乾燥部５では、先
ず、搬送ベルト１９とフレームガイド２２との間にリー
ドフレーム７の先端部分が挿入される。このとき搬送ベ
ルト１９は、リードフレーム７の上面側に接触した状態
となる。この状態でリードフレーム７は、第２回転軸１
５ｂとプーリ２０の回転に伴う搬送ベルト１９の周回移
動に従い、図３の左側から右側へと搬送されていく。
ム７は乾燥部５へと送られる。この乾燥部５では、先
ず、搬送ベルト１９とフレームガイド２２との間にリー
ドフレーム７の先端部分が挿入される。このとき搬送ベ
ルト１９は、リードフレーム７の上面側に接触した状態
となる。この状態でリードフレーム７は、第２回転軸１
５ｂとプーリ２０の回転に伴う搬送ベルト１９の周回移
動に従い、図３の左側から右側へと搬送されていく。
【００２１】次に、リードフレーム７は、上下一対の第
２回転軸１５ａ，１５ｂの間を通過して搬送ベルト１６
ａ，１６ｂへと受け渡される。このとき、水切り処理部
１０のエアーブローパイプ２６，２６からは常時圧縮エ
アーが吹き出しており、そのエアーブローパイプ２６，
２６の間を通過することで、リードフレーム７全体に圧
縮エアーが吹き付けられる。これにより、リードフレー
ム７（パッケージ部分も含む）に付着していた水滴が瞬
時に吹き飛ばされるため、リードフレーム７から効率良
く水気を取り除くことができる。
２回転軸１５ａ，１５ｂの間を通過して搬送ベルト１６
ａ，１６ｂへと受け渡される。このとき、水切り処理部
１０のエアーブローパイプ２６，２６からは常時圧縮エ
アーが吹き出しており、そのエアーブローパイプ２６，
２６の間を通過することで、リードフレーム７全体に圧
縮エアーが吹き付けられる。これにより、リードフレー
ム７（パッケージ部分も含む）に付着していた水滴が瞬
時に吹き飛ばされるため、リードフレーム７から効率良
く水気を取り除くことができる。
【００２２】次いで、リードフレーム７は、搬送ベルト
１６ａ，１６ｂに挟持された状態で、第１回転軸１３
ａ，１３ｂ及び第２回転軸１５ａ，１５ｂの同期回転に
伴う搬送ベルト１６ａ，１６ｂの周回移動に従い、加熱
処理部９の熱風ノズル２３へと送り込まれる。この熱風
ノズル２３では、ダクト２４を介して供給された熱風が
各送風孔２５から吹き出しており、そこから吹き出した
熱風がリードフレーム７の表裏面に当てられる。これに
より、リードフレーム７に残っている水気が熱風の吹き
付けによって蒸発させられるため、リードフレーム７全
体を完全に乾燥させることができる。
１６ａ，１６ｂに挟持された状態で、第１回転軸１３
ａ，１３ｂ及び第２回転軸１５ａ，１５ｂの同期回転に
伴う搬送ベルト１６ａ，１６ｂの周回移動に従い、加熱
処理部９の熱風ノズル２３へと送り込まれる。この熱風
ノズル２３では、ダクト２４を介して供給された熱風が
各送風孔２５から吹き出しており、そこから吹き出した
熱風がリードフレーム７の表裏面に当てられる。これに
より、リードフレーム７に残っている水気が熱風の吹き
付けによって蒸発させられるため、リードフレーム７全
体を完全に乾燥させることができる。
【００２３】その後、乾燥部５を通過したリードフレー
ム７は収納部６へと送られ、そこで図示せぬアンローデ
ィング機構によりカセット等に収納される。
ム７は収納部６へと送られ、そこで図示せぬアンローデ
ィング機構によりカセット等に収納される。
【００２４】このように本実施形態のバリ取り装置にお
いては、水洗部４を水洗したリードフレーム７を乾燥部
５に取り込み、そこで水切り処理部１０により水滴を除
去したのち、乾燥処理部９での熱風の吹き付けによりリ
ードフレーム７を乾燥させるようにしたので、収納部６
ではリードフレーム７を乾燥させた状態で収納させるこ
とができる。これにより、水分の介在によるパッケージ
同士の貼り付きや、水分の付着によるリードフレーム７
の錆の発生を防止することが可能となる。
いては、水洗部４を水洗したリードフレーム７を乾燥部
５に取り込み、そこで水切り処理部１０により水滴を除
去したのち、乾燥処理部９での熱風の吹き付けによりリ
ードフレーム７を乾燥させるようにしたので、収納部６
ではリードフレーム７を乾燥させた状態で収納させるこ
とができる。これにより、水分の介在によるパッケージ
同士の貼り付きや、水分の付着によるリードフレーム７
の錆の発生を防止することが可能となる。
【００２５】また本実施形態においては、第１回転軸１
３ａと第２回転軸１５ａとの間に複数本の搬送ベルト１
６ｂを架け渡すようにしたので、例えば取り扱うリード
フレーム７の最大幅に応じて搬送ベルト１６ｂの配列幅
を設定しておけば、リードフレーム７の品種（幅）が変
更になる場合でも、段取り替えなしで対応することが可
能となる。
３ａと第２回転軸１５ａとの間に複数本の搬送ベルト１
６ｂを架け渡すようにしたので、例えば取り扱うリード
フレーム７の最大幅に応じて搬送ベルト１６ｂの配列幅
を設定しておけば、リードフレーム７の品種（幅）が変
更になる場合でも、段取り替えなしで対応することが可
能となる。
【００２６】また、複数の搬送ベルト１６ａを第１回転
軸１３ａと第２回転軸１５ａとの間に架け渡すにあたっ
て、第１回転軸１３ａ側のベルト配列ピッチＰ1 を第２
回転軸１５ａ側のベルト配列ピッチＰ2 よりも狭く設定
していることから、例えば前段の搬送ベルト１９によっ
てリードフレーム７が斜めに傾いて搬送された場合で
も、回転軸端部寄りの搬送ベルト１６ａの傾きによりリ
ードフレーム７の姿勢を正規の向き、つまりリードフレ
ームの搬送方向に沿うように矯正することができる。さ
らに、リードフレーム７に対する搬送ベルト１６ａの接
触位置は、第２回転軸１５ａ側から第１回転軸１３ａ側
にリードフレーム７が搬送されるに従って徐々に内側に
変位することから、リードフレーム７のほぼ全面にわた
って熱風を吹き付けることができる。これにより、リー
ドフレーム７と搬送ベルト１６ａの接触に伴う乾燥ムラ
を防止することが可能となる。
軸１３ａと第２回転軸１５ａとの間に架け渡すにあたっ
て、第１回転軸１３ａ側のベルト配列ピッチＰ1 を第２
回転軸１５ａ側のベルト配列ピッチＰ2 よりも狭く設定
していることから、例えば前段の搬送ベルト１９によっ
てリードフレーム７が斜めに傾いて搬送された場合で
も、回転軸端部寄りの搬送ベルト１６ａの傾きによりリ
ードフレーム７の姿勢を正規の向き、つまりリードフレ
ームの搬送方向に沿うように矯正することができる。さ
らに、リードフレーム７に対する搬送ベルト１６ａの接
触位置は、第２回転軸１５ａ側から第１回転軸１３ａ側
にリードフレーム７が搬送されるに従って徐々に内側に
変位することから、リードフレーム７のほぼ全面にわた
って熱風を吹き付けることができる。これにより、リー
ドフレーム７と搬送ベルト１６ａの接触に伴う乾燥ムラ
を防止することが可能となる。
【００２７】加えて本実施形態においては、上下の搬送
ベルト１６ａ，１６ｂに丸ベルトを採用し、これによっ
てリードフレーム７との接触状態が線状になるようにし
ているため、搬送ベルト１６ａ，１６ｂとリードフレー
ム７との接触面積を極力小さくすることができる。これ
により、熱風ノズル２３を通過する際には、リードフレ
ーム７の表裏面がほぼ全域にわたって開放された状態と
なるため、熱風ノズル２３からの熱風を効率良くリード
フレーム７に吹き付けることが可能となる。
ベルト１６ａ，１６ｂに丸ベルトを採用し、これによっ
てリードフレーム７との接触状態が線状になるようにし
ているため、搬送ベルト１６ａ，１６ｂとリードフレー
ム７との接触面積を極力小さくすることができる。これ
により、熱風ノズル２３を通過する際には、リードフレ
ーム７の表裏面がほぼ全域にわたって開放された状態と
なるため、熱風ノズル２３からの熱風を効率良くリード
フレーム７に吹き付けることが可能となる。
【００２８】さらに本実施形態におけるフレーム搬送機
構８は、通常の平ベルト等によるコンベア搬送と同様に
リードフレーム７を水平搬送する方式を採用しているこ
とから、既存設備にも容易に取り付けることができる。
構８は、通常の平ベルト等によるコンベア搬送と同様に
リードフレーム７を水平搬送する方式を採用しているこ
とから、既存設備にも容易に取り付けることができる。
【００２９】なお、本実施形態においては、リードフレ
ーム７との接触状態を線状とするためのベルト構造とし
て丸ベルトを例に挙げたが、これ以外にも例えば、断面
三角形や断面四角形の角形ベルトを採用し、その一角部
分をリードフレーム７との接触部にするなど種々の変形
例が考えられる。また、搬送ベルト１６ａ，１６ｂに平
ベルトを採用した場合は、そのベルト全体に多数のパン
チング孔を明けておくことで、リードフレーム７の乾燥
ムラを有効に防止することができる。さらに、熱風ノズ
ル２３の構成としても、上述したコ字形の一体構造のも
のに限らず、上下別々のノズル構造を採用してもよい。
ーム７との接触状態を線状とするためのベルト構造とし
て丸ベルトを例に挙げたが、これ以外にも例えば、断面
三角形や断面四角形の角形ベルトを採用し、その一角部
分をリードフレーム７との接触部にするなど種々の変形
例が考えられる。また、搬送ベルト１６ａ，１６ｂに平
ベルトを採用した場合は、そのベルト全体に多数のパン
チング孔を明けておくことで、リードフレーム７の乾燥
ムラを有効に防止することができる。さらに、熱風ノズ
ル２３の構成としても、上述したコ字形の一体構造のも
のに限らず、上下別々のノズル構造を採用してもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明のバリ取り装
置によれば、水洗部から送出されたバリ取り済みのリー
ドフレームを乾燥部で乾燥させてから収納部に収納する
構成となっているため、従来のように水洗済のリードフ
レームが湿潤状態のまま収納部に収納されることがなく
なる。これにより、リードフレーム同士が水分の介在で
張り付くことがなくなるため、それに起因したリードフ
レームの搬送不良等を未然に防止することが可能とな
る。また、収納部で収納されるリードフレームには水分
の付着がないため、次工程の仕掛かり時にリードフレー
ムに錆が発生することも皆無となる。さらに、水洗後の
リードフレームを乾燥部で個別に乾燥するため、乾燥効
率としてもきわめて良好なものとなる。
置によれば、水洗部から送出されたバリ取り済みのリー
ドフレームを乾燥部で乾燥させてから収納部に収納する
構成となっているため、従来のように水洗済のリードフ
レームが湿潤状態のまま収納部に収納されることがなく
なる。これにより、リードフレーム同士が水分の介在で
張り付くことがなくなるため、それに起因したリードフ
レームの搬送不良等を未然に防止することが可能とな
る。また、収納部で収納されるリードフレームには水分
の付着がないため、次工程の仕掛かり時にリードフレー
ムに錆が発生することも皆無となる。さらに、水洗後の
リードフレームを乾燥部で個別に乾燥するため、乾燥効
率としてもきわめて良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るバリ取り装置の全体構成を示す概
略図である。
略図である。
【図２】実施形態における乾燥部の下部平面図である。
【図３】実施形態における乾燥部の全体側面図である。
【図４】従来のバリ取り装置の全体構成を示す概略図で
ある。
ある。
１ バリ取り装置
２ 繰出部
３ バリ取り部
４ 水洗部
５ 乾燥部
６ 収納部
７ リードフレーム
８ フレーム搬送機構
９ 加熱処理部
１０ 水切り処理部
１３ａ，１３ｂ 第１回転軸
１５ａ，１５ｂ 第２回転軸
１６ａ，１６ｂ 搬送ベルト
２３ 熱風ノズル
２６ エアーブローパイプ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−31669（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−17934（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−204378（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−23810（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 23/50
H01L 21/50
Claims (6)
- 【請求項１】 樹脂成形後でかつ外装処理前にリードフ
レームのバリ取りを行うバリ取り装置であって、 樹脂成形済のリードフレームを繰り出す繰出部と、 前記繰出部から繰り出されたリードフレームの樹脂バリ
を除去するバリ取り部と、 前記バリ取り部から送出されたリードフレームを水洗す
る水洗部と、 前記水洗部から送出されたリードフレームを乾燥する乾
燥部と、 前記乾燥部から送出されたリードフレームを収納する収
納部とを備え、 前記乾燥部は、前記水洗部から送出されたリードフレー
ムを前記収納部へと搬送するフレーム搬送機構と、この
フレーム搬送機構によって搬送されるリードフレームを
加熱乾燥する加熱処理部とを有し、 前記フレーム搬送機構は、前記収納部側に配設された第
１回転軸と前記水洗部側に配設された第２回転軸との間
に架け渡された複数本の搬送ベルトを有するとともに、
前記第１回転軸側のベルト配列ピッチを前記第２回転軸
側のベルト配列ピッチよりも狭く設定してなる ことを特
徴とするバリ取り装置。 - 【請求項２】 前記乾燥部は、前記加熱処理部よりもフ
レーム搬送方向上流側に、前記フレーム搬送機構によっ
て搬送されるリードフレームにエアーを吹き付ける水切
り処理部を有することを特徴とする請求項１記載のバリ
取り装置。 - 【請求項３】 前記加熱処理部は、前記リードフレーム
に熱風を吹き付ける熱風ノズルを有することを特徴とす
る請求項１記載のバリ取り装置。 - 【請求項４】 前記複数本の搬送ベルトを、前記リード
フレームに対して線状に接触可能に形成してなることを
特徴とする請求項１記載のバリ取り装置。 - 【請求項５】 前記搬送ベルトが断面略円形の丸ベルト
であることを特徴とする請求項４記載のバリ取り装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１項に記載のバ
リ取り装置を用いてリードフレームのバリ取りを行うこ
とを特徴とするバリ取り方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14127797A JP3467169B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | バリ取り装置及びバリ取り方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14127797A JP3467169B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | バリ取り装置及びバリ取り方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335562A JPH10335562A (ja) | 1998-12-18 |
| JP3467169B2 true JP3467169B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=15288158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14127797A Expired - Fee Related JP3467169B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | バリ取り装置及びバリ取り方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3467169B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5311938B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2013-10-09 | Ｎｓマテリアルズ株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP14127797A patent/JP3467169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10335562A (ja) | 1998-12-18 |
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