JP3441835B2 - プローブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】この発明は、複数のプローブ針を
被測定電極に接触させる形式のプローブ装置に関し、特
に、プローブ針が被測定電極に接触したことを検知する
コンタクトセンサを備えたプローブ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図８の（Ａ）は、コンタクトセンサを備
えた従来のプローブ装置の一部分を示す斜視図である。
この従来例は、液晶表示パネルを検査するためのプロー
ブ装置の例であり、複数のプローブブロックで構成され
ている。各プローブブロック２０には、測定用の多数の
プローブ針１０があり、これらのプローブ針１０は、液
晶表示パネル上の電極１２に接触できる。これらのプロ
ーブ針１０の一群の隣には、１対のセンサ針１４、１６
からなるコンタクトセンサが設けられている。プローブ
装置が液晶表示パネルから離れているときは、センサ長
針１４とセンサ短針１６は互いに接触した状態にある。 【０００３】このプローブ装置が液晶表示パネルに接触
すると、センサ長針１４の針先が液晶表示パネル上のダ
ミー電極１８（あるいは電極を形成していないガラス基
板上）に接触してわずかに上昇する。すると、センサ長
針１４がセンサ短針１６から離れて両者の導通が遮断さ
れ、これが電気的に検知される。センサ長針１４の針先
とプローブ針１０の針先は同じ高さにあるので、上述の
導通遮断を検知することによって、プローブ針１０の針
先が液晶表示パネル上の電極１２に接触したことを検知
できる。 【０００４】図示の例では、各プローブブロック２０に
１個のコンタクトセンサを設けてあるが、実際には、各
プローブブロック２０の両端に１個ずつコンタクトセン
サを取り付けて、プローブブロック２０の平行調整にも
利用される。 【０００５】図８の（Ｂ）に示す別の従来例では、同一
のダミー電極２６に、２本のセンサ針２２、２４が接触
するようになっている（特公平２−１０８９８３号参
照）。そして、この２本のセンサ針２２、２４の針先の
高さはプローブ針１０の針先の高さと同じになってい
る。測定用のプローブ針１０が電極１２に接触するとき
は、２本のセンサ針２２、２４もダミー電極２６に同時
に接触し、このダミー電極２６を介して２本のセンサ針
２２、２４が導通する。この導通を電気的に検知するこ
とによりプローブ針１０の電極１２へのコンタクトを検
知する。 【０００６】ところで、本発明では光学式のコンタクト
センサを用いているが、これに関連する従来技術とし
て、プローブ針の移動の原点を設定するために光学式の
検出装置を用いたものが知られている（特開平４−７４
９７６号、特開平４−２３３４８１号）。この従来例で
は、発光器と受光器との間に、移動可能なスリット部材
を配置して、このスリット部材に形成した複数のスリッ
トのいずれかが発光器と受光器の間に来たときに信号が
得られるようにしている。これにより、スリット部材に
取り付けたプローブ針の移動の原点を複数箇所で決定で
きるようにしている。この従来例は、発光器と受光器の
組み合わせを使ってプローブ針の位置を検出できるよう
にした点で、本発明に関連しているが、スリットの箇所
だけでプローブ針のＺ方向の位置を確認できるだけであ
り、プローブ針の任意の移動位置を検出することはでき
ない。また、プローブ針が電極に接触したときのプロー
ブ針の変位を検知するようにもなっていない。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】図８に示した２種類の
従来例では、いずれも、コンタクト検知信号が得られる
のは、センサ針が導通したり遮断したりするときだけで
ある。すなわち、コンタクト検知信号が得られるのは、
プローブ装置と液晶表示パネルとが特定の接近状態にな
った場合に限られており、プローブ針が電極に接触して
からの任意のオーバードライブ量のところで、コンタク
ト検知信号を出すようなことはできない。センサ針の針
先高さを変えれば任意のオーバードライブ量のところで
コンタクト検知信号は出せるが、そのためにはプローブ
ブロックを作り直さなければならない。 【０００８】また、図８に示す２種類の従来例は、いず
れも、測定用のプローブ針とは別個のセンサ針が必要に
なり、このセンサ針を配列するためのスペースが必要に
なる。ところで、被測定基板によっては被測定電極が同
一ピッチで密に多数並んでいるものがあり、このような
被測定基板に対しては測定用のプローブ針以外にセンサ
針を配置する余裕のない場合もある。特に図８の（Ｂ）
の従来例では、ＬＣＤ電極とは別に導電性のダミー電極
が必要になり、このようなダミー電極を用いると、液晶
表示パネルのプロセス効率が悪く、また、液晶表示パネ
ルの狭ピッチ化や小スペース配線化を妨げることにな
る。 【０００９】さらに、図８に示す２種類の従来例では、
センサ針の電気的接触の有無をもってコンタクトを検知
しているが、その信頼性も問題となる。特に図８の
（Ａ）の従来例では、１対のセンサ針１４、１６の接触
部に変質（酸化、炭化、ゴミ付着など）が生じて、信頼
性が低下しやすいことが確認されている。 【００１０】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、プローブ針の側にお
いて任意のオーバードライブ量を検出できるようにし
て、これをもってプローブ針の電極へのコンタクトを検
知できるようにしたプローブ装置を提供することにあ
る。 【００１１】 【課題を解決するための手段】この発明のプローブ装置
は、複数のプローブ針を被測定電極に接触させる形式の
プローブ装置において、複数のプローブ針のうちの少な
くとも１本のプローブ針の変位に応じて変位するシャッ
タと、このシャッタを挟んで対向して配置された発光装
置及び受光装置とを有するコンタクトセンサと，前記受
光装置の出力信号に基づいてコンタクト信号を出力する
コンタクト信号検知回路とを備えている。そして，発光
装置から受光装置に至る光通過領域の断面積がシャッタ
の変位量に応じて変化すると共に、受光装置の出力信号
が受光装置の受光量に応じて変化する。 【００１２】発光装置と受光装置は、発光ダイオードと
フォトトランジスタとの組み合わせとすることができ
る。 【００１３】前記コンタクト信号検知回路は、二つの入
力端子に入力される電圧の大小関係に応じて出力信号が
反転するような比較器と，基準電圧回路とを含み、前記
比較器の一方の入力端子に前記受光装置の出力信号が入
力され、前記比較器の他方の入力端子に前記基準電圧回
路が接続される。この基準電圧回路は、前記コンタクト
センサに含まれる前記発光装置及び前記受光装置と同じ
構造の基準側発光装置及び基準側受光装置を含み，前記
基準側発光装置から前記基準側受光装置に至る光通過領
域の断面積が一定に維持されていて，前記前記基準側受
光装置の出力信号に基づいた基準電圧を出力する。 【００１４】前記シャッタはプローブ針に接触するタイ
プでもよいし、プローブ針に固着されていてもよい。 【００１５】 【作用】プローブ針が被測定電極に接触して変位する
と、その変位はシャッタに伝わる。シャッタの変位量は
受光装置の受光量の変化として検出される。受光装置の
出力電圧はプローブ針の変位量に応じて変化する。受光
装置の出力電圧を電圧比較回路に入力するようにして、
この電圧比較回路の基準値を任意の値に設定すれば、プ
ローブ針が被測定電極に接触してからの任意のオーバー
ドライブ量のところで、コンタクト検知信号を得ること
ができる。また、このコンタクト検知信号をオーバード
ライブのリミッタとしても使うことができる。 【００１６】このコンタクトセンサは、測定用のプロー
ブ針に直接作用するので、専用のセンサ針が不要とな
り、プローブブロック側にセンサ針の設置スペースをと
る必要がなく、また、被測定基板側に測定電極以外の領
域やダミー電極を設ける必要もない。 【００１７】このコンタクトセンサは、光学的な検知方
式を採用しているので、電流測定に有害となるような電
気ノイズがコンタクトセンサから発生しないという利点
がある。 【００１８】コンタクト信号検知回路の基準電圧回路に
おいて、コンタクトセンサに使用しているのと同じ構造
の発光装置と受光装置を用いれば、コンタクト信号検知
回路の供給電圧に変動があっても、安定した感度特性が
維持できる。 【００１９】 【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す斜視図で
ある。この実施例は、液晶表示パネルを検査するための
プローブ装置であり、複数のプローブブロックを備えて
いる。図１はそのうちの一つのプローブブロックを示し
ている。プローブブロック３０には、測定用の多数のプ
ローブ針３２が設けられており、プローブブロック３０
の両端付近にそれぞれコンタクトセンサ３４が取り付け
られている。このコンタクトセンサ３４は、交換が容易
なように、取付ネジ３６、３７によってプローブブロッ
ク３０に固定されている。このコンタクトセンサ３４に
は配線３８がつながっている。センサハウジング４２は
取付ネジ３６で固定され、ガイドブロック４３は取付ネ
ジ３７で固定されている。コンタクトセンサ３４の下側
に突き出た接触体４０はプローブ針３２に接触してお
り、プローブ針３２の上下動を感知できるようになって
いる。 【００２０】接触体４０は、１本のプローブ針に接触す
るようにしてもよいし、数本のプローブ針に接触可能に
してもよい。この実施例では、２〜４本のプローブ針３
２に接触体４０が接触可能である。この接触体４０は、
測定用のプローブ針３２に直接作用してプローブ針３２
の変位を検知できるので、コンタクトセンサのための専
用のセンサ針は必要ない。 【００２１】図２は、コンタクトセンサ３４の側面断面
図である。プローブブロック３０にはセンサハウジング
４２が取付ネジで固定されており、このセンサハウジン
グ４２に形成された貫通溝にシャッタ４４がスライド可
能に挿入されている。このシャッタ４４は貫通溝の内部
で上下に移動できる。この貫通溝は、センサハウジング
４２の一つの側面だけに開口しており、この開口部分か
らシャッタ４４を貫通溝に組み込むことができる。シャ
ッタ４４を組み込んだ後は、貫通溝の開口部分はガイド
ブロック４３（図１参照）で覆うことができる。シャッ
タ４４の下端には接触体４０が一体に形成されていて、
この接触体４０の下面がプローブ針３２に接触してい
る。シャッタ４４は圧縮コイルバネ４６の作用によって
常に下方に押されている。一方、シャッタ４４の上端に
は調整ネジ４８が噛み合っており、この調整ネジ４８の
下端がセンサハウジング４２の上面に接触している。こ
の調整ネジ４８のネジ込み量を調節することにより、シ
ャッタ４４の下限位置を調整できる。 【００２２】センサハウジング４２の内部には、発光素
子５４と受光素子５６とからなるフォトカプラが組み込
まれている。発光素子５４と受光素子５６は、円形断面
の光通過孔５０を介して、互いに対面している。一方、
シャッタ４４には円形断面のシャッタ孔５２が形成され
ている。発光素子５４を出た光は、光通過孔５０とシャ
ッタ孔５２とを通過してから、受光素子５６に達する。
受光素子５６は受光量に応じた信号を出力する。この実
施例では、発光素子５４として発光ダイオードを、受光
素子５６としてフォトトランジスタを用いている。 【００２３】このコンタクトセンサ３４は、専用のセン
サ針を用いていないので、コンタクトセンサが故障して
も、プローブブロック３０から取り外して簡単に交換で
きる。これに対して、従来のコンタクトセンサでは、専
用のセンサ針がプローブブロックに固着されているの
で、プローブブロック全体を交換するか、センサ針の立
て直しをする必要がある。 【００２４】このコンタクトセンサ３４の基本的な働き
を説明すると、液晶表示パネル５８がプローブ針３２か
ら離れている状態では、シャッタ４４は下限位置にあ
る。この初期状態においても接触体４０はプローブ針３
２に接触している。すなわち、こうなるようにシャッタ
４４の下限位置を調整してある。そして、接触体４０が
接触しているプローブ針とその他のプローブ針は、初期
状態では、すべて同じ針先高さになるように調整されて
いる。プローブ針３２が液晶表示パネル５８の電極に接
触すると、プローブ針３２が上方に変位する。これに応
じて、シャッタ４４もセンサハウジング４２に対して相
対的に上方に変位し、その変位量に応じた信号が受光素
子５６から出力される。 【００２５】図３は、コンタクトセンサの動作を示した
説明図である。図３の（Ａ）は、プローブ針３２が液晶
表示パネル５８から離れている初期状態を示したもの
で、右側がシャッタ４４の側面断面図、左側がシャッタ
４４の正面図である。このときシャッタ４４は下限位置
にあり、シャッタ４４の接触体４０はプローブ針３２に
接触している。正面から見ると、フォトカプラの光通過
孔５０とシャッタ孔５２はわずかに重なり合っている。
すなわち、シャッタ孔５２からは、光通過孔５０の下端
付近だけがわずかに見える。この重なり部分が光通過領
域６０となり、この領域６０の断面積に応じて受光素子
の受光量が決まる。 【００２６】図３の（Ｂ）は、液晶表示パネル５８を上
昇させてその電極をプローブ針３２に接触させた直後の
状態である。このとき、プローブ針３２はわずかに上昇
し、このプローブ針３２に接触しているシャッタ４４も
プローブ針３２と同じ量だけ上昇する。したがって、光
通過孔５０とシャッタ孔５２の重なり部分の光通過領域
６０も拡大し、受光素子の受光量が増加する。 【００２７】図３の（Ｃ）は、液晶表示パネル５８をさ
らに上昇させてオーバードライブをかけた状態である。
プローブ針３２とシャッタ４４の変位量も大きくなり、
オーバードライブ量に応じて光通過領域６０の断面積も
さらに増加し、受光素子の受光量もさらに増加する。 【００２８】図４はコンタクトセンサの出力特性を示し
たグラフである。横軸はオーバードライブ量であり、こ
れは、液晶表示パネルの電極がプローブ針に接触した時
点からの液晶表示パネルの上昇量を意味する。縦軸はシ
ャッタ移動量と受光素子の出力電圧とを示す。シャッタ
移動量は、オーバードライブ量にほぼ比例した曲線とな
る。完全には比例しない理由は、主として、プローブ針
のたわみによる。受光素子の出力電圧の曲線は、オーバ
ードライブ量が少ないときには傾きが小さく、オーバー
ドライブ量が多くなるにつれて傾きが大きくなり、オー
バードライブ量がさらに多くなると再び傾きが小さくな
る。その理由は、シャッタ孔の上端が光通過孔の下端付
近や上端付近にあるときよりも、光通過孔の中央付近に
あるときの方が、シャッタの単位変位量に対する光通過
領域の断面積変化が大きくなるからである。 【００２９】このような出力特性を備えるコンタクトセ
ンサでは、プローブ針が液晶表示パネルの電極に接触し
たことを示す信号（以下、コンタクト信号という。）
を、任意のオーバードライブ量のときに出すことができ
る。例えば、オーバードライブ量が２０μｍになったと
きにコンタクト信号を出そうとすれば、このオーバード
ライブ量に対応する出力電圧に等しい基準電圧を備える
比較器に受光素子の出力を入力するようにしておけば、
この比較器の出力信号が反転したことをもって、これを
コンタクト信号とすることができる。 【００３０】図５は、フォトカプラの出力信号に基づい
てコンタクト信号を出力するコンタクト信号検知回路の
一例を示す回路図である。この検知回路は、大きく分け
ると、比較器６２と、この比較器６２の正端子側に接続
される測定回路６４と、比較器６２の負端子側に接続さ
れる基準電圧回路６６とからなる。測定回路６４は、フ
ォトカプラ６８と測定側ポテンショメータ７０とを含
む。この測定回路６４のフォトカプラ６８は、図２のコ
ンタクトセンサ３４に内蔵されたものであり、図４に示
したような出力特性を示す。一方、基準電圧回路６６
は、基準側フォトカプラ６９と基準側ポテンショメータ
７１とを含む。こちらのフォトカプラ６９は、図３の
（Ａ）の状態に固定された基準用コンタクトセンサに内
蔵されている。この基準用コンタクトセンサは、プロー
ブ針に接触するものではなく、図３の（Ａ）の状態のま
までシャッタ４４がセンサハウジングに固定されてい
る。この基準用コンタクトセンサは、プローブブロック
とは別に、コンタクト信号検知回路を含んだ基板に取り
付けておく。この基準電圧回路６６からは、基準側ポテ
ンショメータ７１で設定した一定の基準電圧が出力され
る。 【００３１】比較器６２では、測定電圧が基準電圧を越
えたときに「Ｈｉｇｈ」出力となり、それ以下では「Ｌ
ｏｗ」出力となる。したがって、基準電圧回路６６のポ
テンショメータ７１を調節して、基準電圧を、検知した
いオーバードライブ量に相当するコンタクトセンサ出力
電圧に等しくしておけば、目的のオーバードライブ量で
比較器６２の出力が反転し、コンタクト信号が得られ
る。 【００３２】ところで、比較器６２では、測定電圧が基
準電圧を越えたときに出力が反転するが、反転するため
には測定電圧が基準電圧よりもわずかに大きくなる必要
がある。その差分は比較器の特性による。一般に、この
差分は２〜１０ｍＶ程度であり、これは、本実施例のコ
ンタクトセンサでは、プローブ針の０．４〜２．０μｍ
の変位に相当する。この変位量は非常に小さいものであ
り、プローブ針の変位の検出感度としては十分である。 【００３３】図５では基準電圧回路６６として基準用の
フォトカプラ６９を利用して基準電圧を発生させている
が、これは次のような理由による。基準電圧回路６６と
して、フォトカプラを用いない通常の定電圧発生回路を
用いることもできる。しかし、このようにすると、この
検知回路に供給される電圧（＋５Ｖ）が変動した場合
に、測定回路６４の出力はこの電圧変動の影響を受けて
も、定電圧発生回路の出力は電圧変動の影響を受けな
い。したがって、電圧変動によってスイッチング感度が
変化してしまう。これに対して、フォトカプラを利用し
た基準電圧回路を用いると、供給電圧の変動は測定回路
と基準電圧回路に同様に影響を与えて、スイッチング感
度が一定に保たれる。このような利点は、供給電圧の変
動の影響に限らず、フォトカプラの経年変化の影響など
も、測定回路と基準電圧回路とで同様となる。このよう
に、測定回路と基準電圧回路とで同一の構成を採用する
ことにより、さまざまな誤差要因を除くことができる。 【００３４】図５の比較器６２の出力のスイッチング動
作の状態を、プローブ装置の制御パネル上に発光ダイオ
ードで表示できるようにすれば、コンタクト検知を容易
に確認できる。また、プローブブロックの両端にあるコ
ンタクトセンサを用いてプローブブロックの平行調整を
することもできる。 【００３５】図５の回路はアナログ回路であるが、この
検知回路をデジタル回路で構成してもよい。 【００３６】ところで、複数のプローブブロックのプロ
ーブ針を一括して液晶表示パネルの電極に接触させるよ
うな場合には、この実施例のコンタクトセンサを次のよ
うに使うこともできる。各プローブブロックのコンタク
トセンサがすべてコンタクト信号を出力する位置まで液
晶表示パネルを上昇させ、この位置を基準にして、液晶
表示パネルを搭載したＺステージのオーバードライブ量
を設定して、その設定値までＺステージを上昇させる。
これにより、正確なオーバードライブ量の制御が可能に
なる。 【００３７】以上述べた動作例は、コンタクトセンサの
出力に基づいて「コンタクト信号」を得るようにした例
であるが、このコンタクト信号をオーバードライブのリ
ミッタとして使うこともできる。すなわち、コンタクト
センサは、図４に示すような出力特性を備えているの
で、比較器の基準電圧を、測定に必要な所望のオーバー
ドライブ量に相当する出力電圧に等しくすれば、所望の
オーバードライブ量が得られた時点で、この比較器の出
力信号が反転する。このようにすると、液晶表示パネル
を搭載したＺステージの側でオーバードライブ量を制御
しなくても、コンタクトセンサと検知回路を用いるだけ
で、所望のオーバードライブ量を得ることができる。 【００３８】図６は液晶表示パネルにおいて、信号線
（ソース線）８１のパターンを模式的に示したものであ
る。なお、実際の液晶表示パネルでは、この信号線８１
に直交してゲート線も存在しているがその図示は省略し
ている。この信号線８１の良否を検査するには次の二つ
の方法がある。第１の方法は、信号線８１の一端８０に
テスト電極を形成して、このテスト電極の列にプローブ
針を接触させることにより、信号線間のショートの有無
を検出するものである。このような検査方法は、信号線
８１のピッチ（信号線同士の間隔）が比較的広い場合に
実施される。第２の方法は、信号線８１の他端８２にも
テスト電極を形成して、一端８０と他端８２の両方でテ
スト電極にプローブ針を接触させるものである。これに
より、信号線間のショートに加えて、信号線の断線も検
出できる。信号線８１のピッチが狭くなると、信号線８
１も細くする必要があって断線の危険性も高まるため、
このような第２の検査方法を実施する必要性が高まる。
ところで、信号線８１の各グループ８４、８６には、プ
ローブ装置の各プローブブロックが対応するが、図示の
ように信号線グループ８４、８６が互いに接近して密に
配置されている場合には、二つのグループ８４、８６の
境界８８において、信号線８１を配置する以外の余分な
スペースはほとんど存在しない。このような信号線パタ
ーンにあって、他端８２でもプローブ針をテスト電極に
接触させようとすれば、図８に示したような従来のコン
タクトセンサを備えるプローブブロックでは、センサ針
を配置するスペースが確保できないので、検査は不可能
となる。これに対して、本発明のプローブセンサを備え
たプローブブロックでは、特別なスペースが必要ないの
で、図６のような信号線パターンでも他端８２のテスト
電極にプローブ針を接触させることができる。 【００３９】図７は本発明の別の実施例である。図７の
（Ａ）は、コンタクトセンサの側面断面図であり、図７
の（Ｂ）はその正面図である。この実施例では、シャッ
タ７２の下端に連結体７４が固定され、この連結体７４
の下端がプローブ針３２に接着されている。したがっ
て、図２の実施例における圧縮コイルバネ４６や調整ネ
ジ４８は、この実施例では必要ない。この実施例のその
他の部分の構成や働きは、図２の実施例と同様である。 【００４０】以上の説明では、液晶表示パネルを測定す
るためのプローブ装置を例にとって説明したが、本発明
のプローブ装置は、液晶表示パネルのためのプローブ装
置に限定されない。 【００４１】 【発明の効果】この発明のプローブ装置では、測定用の
プローブ針の変位を直接シャッタで受けているので、専
用のセンサ針が不要となり、また、被測定基板側にも測
定電極以外の領域やダミー電極を設ける必要がない。ま
た、このプローブ装置のコンタクトセンサは、光学的な
検知方式を採用しているので、電流測定に有害となるよ
うな電気ノイズがコンタクトセンサから発生しない。さ
らに、コンタクト信号検知回路において、コンタクトセ
ンサに使用しているのと同じ構造の発光装置と受光装置
を基準電圧回路にも用いれば、安定した感度特性が維持
できる。

【図面の簡単な説明】 【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。 【図２】コンタクトセンサの側面断面図である。 【図３】コンタクトセンサの動作を示した説明図であ
る。 【図４】コンタクトセンサの出力特性を示したグラフで
ある。 【図５】コンタクト信号検知回路の回路図である。 【図６】テスト電極のパターンである。 【図７】本発明の別の実施例のコンタクトセンサの側面
断面図と正面図である。 【図８】従来のコンタクトセンサ付きプローブ装置の斜
視図である。 【符号の説明】 ３０ プローブブロック ３２ プローブ針 ３４ コンタクトセンサ ４０ 接触体 ４２ センサハウジング ４４ シャッタ ４６ 圧縮コイルバネ ４８ 調整ネジ ５０ 光通過孔 ５２ シャッタ孔 ５４ 発光素子 ５６ 受光素子 ５８ 液晶表示パネル

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−140479（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−134244（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−6012（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/26

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数のプローブ針を被測定電極に接触さ
   せる形式のプローブ装置において、次の特徴を備えるプ
   ローブ装置。 （ａ）このプローブ装置は，複数のプローブ針のうちの
   少なくとも１本のプローブ針の変位に応じて変位するシ
   ャッタと、このシャッタを挟んで対向して配置された発
   光装置及び受光装置とを有するコンタクトセンサと，前
   記受光装置の出力信号に基づいてコンタクト信号を出力
   するコンタクト信号検知回路とを備えている。 （ｂ）前記発光装置から前記受光装置に至る光通過領域
   の断面積が前記シャッタの変位量に応じて変化すると共
   に、前記受光装置の出力信号が前記受光装置の受光量に
   応じて変化する。 （ｃ）前記コンタクト信号検知回路は、二つの入力端子
   に入力される電圧の大小関係に応じて出力信号が反転す
   るような比較器と，基準電圧回路とを含み、前記比較器
   の一方の入力端子に前記受光装置の出力信号が入力さ
   れ、前記比較器の他方の入力端子に前記基準電圧回路が
   接続される。 （ｄ）前記基準電圧回路は、前記コンタクトセンサに含
   まれる前記発光装置及び前記受光装置と同じ構造の基準
   側発光装置及び基準側受光装置を含み，前記基準側発光
   装置から前記基準側受光装置に至る光通過領域の断面積
   が一定に維持されていて，前記前記基準側受光装置の出
   力信号に基づいた基準電圧を出力する。