JP3437845B1 - Magneto-optical recording medium and reproducing method thereof - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 ゴースト信号の発生を防止し、再生磁界を印
加することなく磁区拡大再生することが可能な光磁気記
録媒体及びその記録再生装置を提供する。 【解決手段】 光磁気記録媒体は、記録層５、中間層４
及び再生層３を備える。再生層３は希土類金属優位の希
土類遷移金属合金から形成され、中間層４及び記録層５
は遷移金属優位の希土類遷移金属合金から形成される。
中間層４は１４０℃以上で面内磁化を示すので再生時に
記録層５と再生層３の交換結合力を遮断する。中間層４
と再生層の静磁的反発力により、再生層３に転写された
磁区３Ａは最小磁区径の大きさに拡大する。ゴースト信
号の発生を防止することができる。A magneto-optical recording medium capable of preventing generation of a ghost signal and performing magnetic domain expansion reproduction without applying a reproduction magnetic field, and a recording / reproducing apparatus therefor. SOLUTION: The magneto-optical recording medium comprises a recording layer 5, an intermediate layer 4
And a reproduction layer 3. The reproducing layer 3 is formed of a rare earth transition metal alloy in which rare earth metal is superior, and the intermediate layer 4 and the recording layer 5
Is formed from a transition metal dominant rare earth transition metal alloy.
Since the intermediate layer 4 shows in-plane magnetization at 140 ° C. or higher, the exchange coupling force between the recording layer 5 and the reproducing layer 3 is cut off during reproduction. Middle layer 4
And the magnetostatic repulsive force of the reproducing layer causes the magnetic domain 3A transferred to the reproducing layer 3 to expand to the size of the minimum magnetic domain diameter. Generation of a ghost signal can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体及びそ
の記録再生装置に関し、更に詳細には、高密度記録され
た情報を確実に十分な再生信号強度で再生可能な光磁気
記録媒体及びその記録再生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium and a recording / reproducing apparatus therefor, and more particularly to a magneto-optical recording medium capable of reliably reproducing information recorded at high density with sufficient reproduction signal strength. The present invention relates to the recording / reproducing apparatus.

【０００２】[0002]

【従来の技術】情報化社会の進展により、膨大な情報を
記憶するための外部記憶装置においては記録密度の向上
が著しい。媒体可換な光磁気ディスクにおいても同様
で、青色レーザー、高ＮＡレンズによる光スポットサイ
ズを小さくすることによる高密度化の研究が盛んに行わ
れている。しかし、青色レーザーを大量に且つ安価に供
給することは現時点においては困難であるため、赤色レ
ーザーを用いつつ別な技術で大容量化することが望まれ
ている。このような技術は、将来青色レーザーが大量に
供給可能になった際にも適応することができるため、更
なる大容量記録が可能となると考えられる。このような
背景から、光磁気記録においては熱と磁気の特徴を利用
した大容量化技術が提案されている。かかる大容量化技
術として、例えば、特開平３−９３０５６号において開
示された磁気超解像技術、特開平６−２９０４９６号に
おいて開示された磁壁移動再生技術、特開平８―１８２
９０１号において開示された磁区拡大再生技術、特開平
１１−１６２０３０号において開示された中央開口後方
拡大検出技術などがある。2. Description of the Related Art With the progress of information society, the recording density of an external storage device for storing enormous amount of information has been remarkably improved. The same is true for magneto-optical disks with exchangeable media, and studies on high density by reducing the light spot size by a blue laser and a high NA lens are being actively conducted. However, since it is difficult to supply a large amount of blue laser at low cost at present, it is desired to increase the capacity with another technique while using the red laser. Since such a technique can be applied even when a large amount of blue lasers can be supplied in the future, it is considered that further large capacity recording will be possible. From such a background, in magneto-optical recording, there has been proposed a large-capacity technology utilizing the characteristics of heat and magnetism. As such a capacity increasing technique, for example, a magnetic super-resolution technique disclosed in JP-A-3-93056, a domain wall displacement reproducing technique disclosed in JP-A-6-290496, and JP-A-8-182 are disclosed.
The magnetic domain expansion reproduction technology disclosed in Japanese Patent No. 901 and the central aperture rear expansion detection technology disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-162030 are available.

【０００３】記録再生に使用する光の波長をλ、対物レ
ンズの開口数をＮＡとするとき、集光した光スポットの
回折限界はλ／ＮＡで表わされ、この半分の大きさが再
生可能な最小マークサイズとなる。上記青色レーザー
は、赤色レーザーよりも波長λが小さいため、青色レー
ザーの光スポットサイズは赤色レーザーよりも小さくな
る。したがって、青色レーザーを用いることにより、従
来よりも狭い領域から再生信号を検出することが可能と
なる。これは、高密度記録された微小な磁区を再生する
ことができることを意味する。When the wavelength of the light used for recording / reproducing is λ and the numerical aperture of the objective lens is NA, the diffraction limit of the focused light spot is represented by λ / NA, and half of this size can be reproduced. The minimum mark size. Since the wavelength of the blue laser is smaller than that of the red laser, the light spot size of the blue laser is smaller than that of the red laser. Therefore, by using the blue laser, it becomes possible to detect the reproduction signal from a narrower area than the conventional one. This means that it is possible to reproduce minute magnetic domains recorded at high density.

【０００４】しかしながら、レーザー光のスポット径を
小さくすることなく、信号再生領域を実効的に狭くする
ことも可能である。磁気超解像再生技術（Magnetic Sup
er Resolution : MSR）では、記録膜の温度に対する磁
化特性を利用して実効光スポット径を小さくしている。
磁気超解像再生技術で用いられる光磁気記録媒体は、記
録膜上に、キュリー温度の低い中間層と再生層が設けら
れている。これら３層は、いずれも遷移金属優勢な希土
類遷移金属合金を用いて形成される。However, it is possible to effectively narrow the signal reproducing area without reducing the spot diameter of the laser beam. Magnetic super-resolution reproduction technology (Magnetic Sup
er Resolution: MSR), the effective light spot diameter is reduced by utilizing the magnetization characteristics of the recording film with respect to temperature.
The magneto-optical recording medium used in the magnetic super-resolution reproducing technique is provided with an intermediate layer having a low Curie temperature and a reproducing layer on a recording film. All of these three layers are formed by using a transition metal-dominant rare earth transition metal alloy.

【０００５】磁気超解像再生技術を用いた光磁気記録媒
体の磁気特性は、例えば、特開平３−９３０５６号やト
リケップス超高密度光磁気記録技術５４ページに詳細に
記載されているが、ここで特開平３−９３０５６号に記
載された磁気超解像再生の原理について図４９を参照し
て簡単に説明する。図４９に、磁気超解像再生用の光磁
気記録媒体の記録層、中間層及び再生層の低温時におけ
る磁区の磁化状態をそれぞれ示す。これらの３層は交換
結合しているため、記録層の磁区はそのまま中間層及び
再生層に順次転写されている。また、図４９に概念的に
示したように、３層の磁区は互いに引き付けあってお
り、静磁的にも安定化している。ここで、光磁気記録媒
体に大きな再生パワーの再生光を照射して、中間層がキ
ュリー温度以上に加熱されると、中間層のキュリー温度
を超えた領域（高温領域）は磁化が消失して（非磁性と
なり）、その領域の上下に位置する再生層と記録層の磁
区間の交換結合が途絶える。そこに、再生磁界（マスク
形成用再生磁界）を印加すると、交換結合力が途絶えた
再生層の領域の磁化は、再生磁界の方向に揃えられて磁
気的なマスクが形成される。これにより、記録層の記録
マークは、中間層のキュリー温度よりも低温の領域だ
け、すなわち、マスクされていない狭い領域を通じて再
生されることができる。この光磁気記録媒体において、
再生層に保磁力の小さな磁性膜を使用すると、再生光を
照射して光スポット中心温度を中間層のキュリー温度以
上にした状態で外部磁界を印加したときに、キュリー温
度以上になった中間層の非磁性部分に近接している再生
層に残された記録磁区は外部磁界によって容易に消去さ
れることができる。したがって、再生層の高温部分は、
記録磁区の情報が転写されておらず、磁気的なマスクと
して機能する。線速を早くすると光照射による記録膜上
の温度分布は光スポット進行方向と逆に流れることとな
り、光スポット前方では記録磁区が再生できるが、光ス
ポット中央部より後方では上記マスクにより情報は再生
されない。このタイプの磁気超解像再生は光スポットの
前方部分を開口部とするため、前方開口検出（Front Ap
erture Detection）またはＦＡＤと呼ばれている。しか
し、ＦＡＤでは分解能を高める（マスクを大きくする）
ほど再生信号を享受できる面積が小さくなり絶対信号量
が大幅に低下してしまう。これが、光磁気記録媒体を高
密度化したときの問題点となり、記録密度向上の限界を
もたらす原因となっていた。磁気超解像再生には、中央
開口検出（Center Aperture Detection）や後方開口検
出（Rear Aperture Detection）などのタイプが知られ
ているが、どのタイプの磁気超解像再生も同様の問題を
抱えている。The magnetic characteristics of the magneto-optical recording medium using the magnetic super-resolution reproducing technique are described in detail in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-93056 and Trikeps ultra-high density magneto-optical recording technique, page 54. The principle of magnetic super-resolution reproduction described in JP-A-3-93056 will be briefly described with reference to FIG. FIG. 49 shows the magnetization states of the magnetic domains of the recording layer, the intermediate layer and the reproducing layer of the magneto-optical recording medium for magnetic super-resolution reproduction at low temperatures. Since these three layers are exchange-coupled, the magnetic domain of the recording layer is sequentially transferred as it is to the intermediate layer and the reproducing layer. Further, as conceptually shown in FIG. 49, the magnetic layers of the three layers are attracted to each other and are also magnetostatically stabilized. Here, when the magneto-optical recording medium is irradiated with reproducing light having a large reproducing power and the intermediate layer is heated to the Curie temperature or higher, magnetization disappears in a region (high temperature region) in which the Curie temperature of the intermediate layer is exceeded. (Becomes non-magnetic), and the exchange coupling between the magnetic sections of the reproducing layer and the recording layer located above and below that area is broken. When a reproducing magnetic field (reproducing magnetic field for mask formation) is applied thereto, the magnetization of the region of the reproducing layer where the exchange coupling force is disrupted is aligned in the direction of the reproducing magnetic field to form a magnetic mask. As a result, the recording mark of the recording layer can be reproduced only in a region having a temperature lower than the Curie temperature of the intermediate layer, that is, through a narrow region which is not masked. In this magneto-optical recording medium,
If a magnetic film with a small coercive force is used for the reproducing layer, the intermediate layer that has reached the Curie temperature when the external magnetic field is applied when the reproducing light is irradiated and the optical spot center temperature is set to the Curie temperature of the intermediate layer or higher The recording magnetic domain left in the reproducing layer adjacent to the non-magnetic portion can be easily erased by the external magnetic field. Therefore, the high temperature part of the regeneration layer is
The information of the recording magnetic domain is not transferred, and it functions as a magnetic mask. When the linear velocity is increased, the temperature distribution on the recording film due to light irradiation flows in the opposite direction to the light spot traveling direction, and the recording magnetic domain can be reproduced in front of the light spot, but the information is reproduced by the mask above the center of the light spot. Not done. Since this type of magnetic super-resolution reproduction uses the front part of the light spot as the opening, the front aperture detection (Front Ap
erture detection) or FAD. However, in FAD, the resolution is increased (the mask is enlarged).
The smaller the area where the reproduced signal can be enjoyed becomes, the more the absolute signal amount decreases. This has been a problem when the density of the magneto-optical recording medium is increased, and has been a cause of limiting the improvement of recording density. Types such as center aperture detection (Rear Aperture Detection) and rear aperture detection (Rear Aperture Detection) are known for magnetic super-resolution reproduction, but any type of magnetic super-resolution reproduction has similar problems. There is.

【０００６】そこで、本発明者らは、この再生信号の低
下を解決するために、特開平８―１８２９０１号におい
て、記録層に記録した微小な記録磁区を再生層に転写す
るとともにして再生磁界で拡大することによって再生信
号を増大させる磁区拡大再生（Magnetic Amplifying MO
System）、すなわちＭＡＭＭＯＳを開示した。しか
し、ＭＡＭＭＯＳでは磁区拡大用に再生磁界を用いるた
めに、装置構成が複雑になるという課題があった。Therefore, in order to solve this reduction of the reproduction signal, the inventors of the present invention, in Japanese Patent Laid-Open No. 182901/1996, transfer a minute recording magnetic domain recorded in the recording layer to the reproducing layer and simultaneously reproduce the reproducing magnetic field. Magnetic Amplifying MO that increases the reproduced signal by expanding with
System), or MAMMOS. However, the MAMMOS has a problem that the device configuration is complicated because the reproducing magnetic field is used for expanding the magnetic domains.

【０００７】一方、絶対信号量はさほど増えないが、必
要最小限の信号強度を確保して分解能高く再生するため
の技術として、磁壁移動再生技術が特開平６−２９０４
９６号公報に開示されている。磁壁移動再生技術におい
て用いられる光磁気記録媒体の構成は、上記ＦＡＤと同
様に、記録層中間層及び再生層からなる。磁壁移動再生
技術では、記録層から再生層に転写した磁区の前方の磁
壁が、中間層が加熱されて非磁性化した領域で記録層と
の結合を絶たれ、この磁壁が光スポット内に存在する熱
中心（最高到達温度位置）まで移動する。この結果、再
生層に転写した磁区は拡大し、すなわち実効的に微小磁
区の面積が増大し、それにより再生信号がわずかに増大
する。これは磁壁を移動して検出するということから磁
壁移動型検出（Domain Wall Displacement Detection）
またはＤＷＤＤと呼ばれている。この技術では磁壁が磁
壁エネルギーの低い位置に移動する力を利用しているた
め、この方法を実施可能にするには、発明者らが日本工
業出版の月刊誌１９９８年光アライアンス７月号１９ペ
ージ左コラム６から１１行目に記載しているように、各
層の飽和磁化を可能な限り下げて、磁壁移動に障害にな
らないようにすることが必要とされる。このため、ＤＷ
ＤＤにおける、記録層、中間層及び再生層は、いずれも
補償温度がキュリー温度よりも低い磁性材料から構成さ
れている。このことは、社団法人電気学会１９９８年研
究会資料ＭＡＧ９８−１８９ ４３ページ右コラム下か
ら３行目から４４ページ左コラム上から５行目において
も述べられている。On the other hand, although the absolute signal amount does not increase so much, a domain wall moving reproducing technique is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-2904 as a technique for ensuring a necessary minimum signal intensity and reproducing with high resolution.
No. 96 publication. The structure of the magneto-optical recording medium used in the domain wall motion reproducing technique is composed of a recording layer intermediate layer and a reproducing layer as in the FAD. In the domain wall motion reproducing technology, the domain wall in front of the magnetic domain transferred from the recording layer to the reproducing layer is disconnected from the recording layer in the region where the intermediate layer is heated and demagnetized, and this domain wall exists in the light spot. Move to the center of heat (maximum temperature reached). As a result, the magnetic domain transferred to the reproducing layer is enlarged, that is, the area of the minute magnetic domain is effectively increased, thereby slightly increasing the reproduced signal. This is because domain wall displacement type detection (Domain Wall Displacement Detection)
It is also called DWDD. Since this technique uses the force of the domain wall to move to a position where the domain wall energy is low, the inventors of the present invention can make this method feasible by the inventors' monthly publication 1998 Optical Alliance July issue page 19 As described in the left column, lines 6 to 11, it is necessary to reduce the saturation magnetization of each layer as much as possible so as not to hinder the domain wall motion. Therefore, DW
The recording layer, the intermediate layer, and the reproducing layer in the DD are all made of a magnetic material whose compensation temperature is lower than the Curie temperature. This is also described in the Institute of Electrical Engineers of Japan 1998 Study Group Material MAG98-189, page 43, right column, lower row, third line to page 44, left column, upper column, fifth line.

【０００８】ＤＷＤＤによれば微小な磁区を再生するこ
とが可能であるが、再生信号が小さく、正確に再生でき
る最低限度の信号の大きさにすぎないという問題があ
る。また、上記原理に基づくため、中間層の非磁性化し
た領域の前方で磁区を拡大することは良いが、その後方
でも同じように磁区が拡大するため再生信号が複雑にな
り実用上の大問題となった。後方からの磁区拡大は、再
生信号の上で余計な拡大信号として現れ、ゴースト信号
と呼ばれていた。ゴースト信号の発生は、磁区拡大の動
作を磁壁エネルギーだけに委ねていることに起因してい
る。According to DWDD, it is possible to reproduce a minute magnetic domain, but there is a problem that the reproduction signal is small and the signal size is only the minimum level that can be accurately reproduced. Also, since it is based on the above principle, it is good to expand the magnetic domain in front of the non-magnetized region of the intermediate layer, but since the magnetic domain also expands in the rear of the non-magnetized region, the reproduced signal becomes complicated, which poses a practical problem. Became. The magnetic domain expansion from the rear appeared as an extra expansion signal on the reproduction signal and was called a ghost signal. The generation of the ghost signal is caused by devoting only the domain wall energy to the operation of domain expansion.

【０００９】ＤＷＤＤのゴースト信号を解決するため
に、更にキュリー温度が若干高く且つ飽和磁化の小さな
中間層を設けることでわずかに改善された。しかしなが
ら、再生信号の大きさについては未だ不十分である。In order to solve the ghost signal of DWDD, it was slightly improved by providing an intermediate layer having a slightly higher Curie temperature and a smaller saturation magnetization. However, the magnitude of the reproduced signal is still insufficient.

【００１０】また、ＤＷＤＤにおいて、再生層の磁壁が
スムーズに移動できるようにするためにランドグルーブ
基板のグルーブのみを高レーザーパワーで高温アニール
して磁壁エネルギーを低下する方法や、ランドグルーブ
基板の溝深さを極端に深くして実質的に記録膜が溝の壁
部分にわずかにしか付着しないようにすることが必須で
ある。しかしながら、これらの技術には次のような不便
を伴う。すなわち、高密度化のための高密度トラックピ
ッチでの深溝成型基板作製が難しくなる点、深溝だとＩ
ＮＴＥＲＭＡＧ２０００で金子らが発表しているように
微小磁区の正確な記録が極めて難しくなるという点であ
る。In DWDD, in order to allow the domain wall of the reproducing layer to move smoothly, only the groove of the land groove substrate is annealed at a high temperature with a high laser power to lower the domain wall energy, or the groove of the land groove substrate is reduced. It is essential to make the depth extremely deep so that the recording film practically adheres only slightly to the wall portion of the groove. However, these techniques have the following inconveniences. That is, it is difficult to fabricate a deep groove molded substrate with a high density track pitch for high density.
As Kaneko et al. Announced at NTERMAG2000, it is very difficult to accurately record the minute magnetic domains.

【００１１】さらにＤＷＤＤの磁壁の移動量を多くする
ための技術が特開平１１−１６２０３０号に開示されて
いる。この公報によると、面内磁化膜の中間層と、再生
温度付近では面内磁化膜から垂直磁化膜に変化する再生
層を用いている。このため、再生層が所定の温度以下で
は面内磁化膜となってマスクを形成し、所定の温度以上
の光スポット中央部でのみ磁壁を移動することができ
る。このような構成にすると、再生層の保磁力が低下し
てより磁壁がスムーズに動くようになることから前述の
ＤＷＤＤよりも磁壁の移動量が大きくなるという特徴が
ある。これは、光スポット中央部分だけを開口部とした
磁壁移動検出なのでＣＡＲＥＤ（Center Aperture Rear
Expansion Detection）と呼ばれている。Further, a technique for increasing the amount of movement of the domain wall of the DWDD is disclosed in JP-A-11-162030. According to this publication, an intermediate layer of the in-plane magnetized film and a reproducing layer which changes from the in-plane magnetized film to the perpendicular magnetized film near the reproducing temperature are used. Therefore, when the reproducing layer is a predetermined temperature or lower, it becomes an in-plane magnetized film to form a mask, and the domain wall can be moved only in the central portion of the light spot having a predetermined temperature or higher. With such a configuration, the coercive force of the reproducing layer is lowered and the domain wall moves more smoothly, so that the amount of movement of the domain wall becomes larger than that of the DWDD described above. Since this is a domain wall movement detection with only the central part of the light spot as the opening, it is possible to use CARED (Center Aperture Rear
Expansion Detection) is called.

【００１２】しかし、ＣＡＲＥＤでもＤＷＤＤと同様に
ゴースト信号が出るため、やはり別の磁性層を追加の中
間層として加えてゴースト信号を防止しようとしてい
る。しかしながら、追加の中間層を加えた場合に、短い
磁気マークに対してはゴーストを防止することができる
が、ＣＡＲＥＤの場合でもＤＷＤＤと同様に、長い磁気
マークに関してはゴースト信号を防止することができな
かった。したがって、記録再生装置においては、長さ制
限のある信号処理系しか利用することができない。However, since a ghost signal is produced in CARE as in DWDD, another magnetic layer is added as an additional intermediate layer to prevent the ghost signal. However, when an additional intermediate layer is added, it is possible to prevent ghosts for short magnetic marks, but it is possible to prevent ghost signals for long magnetic marks in the case of CARED as well as DWDD. There wasn't. Therefore, in the recording / reproducing apparatus, only a signal processing system with a limited length can be used.

【００１３】本発明は、前述のＭＳＲ、ＭＡＭＭＯＳ、
ＤＷＤＤ及びＣＡＲＥＤの持つ不便性を解消すべく達成
されたものであり、その第１目的は、十分な大きさの再
生信号が得られる光磁気記録媒体、その再生方法及び再
生装置を提供することにある。The present invention is based on the above-mentioned MSR, MAMMOS,
The present invention has been achieved in order to eliminate the inconvenience of DWDD and CARED, and its first object is to provide a magneto-optical recording medium, a reproducing method and a reproducing apparatus therefor capable of obtaining a reproduced signal of a sufficiently large size. is there.

【００１４】本発明の第２の目的は、記録マークのマー
ク長に拘わらず、ゴースト信号が発生しない光磁気記録
媒体、その磁区拡大再生方法及び装置を提供することに
ある。A second object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium in which a ghost signal does not occur regardless of the mark length of a recording mark, a magnetic domain expansion reproducing method and apparatus thereof.

【００１５】本発明の第３の目的は、再生磁界を印加す
ることなく、光磁気記録媒体の磁区拡大再生を実行する
ことができる光磁気記録媒体、その再生方法及び装置を
提供することにある。A third object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium capable of executing magnetic domain expansion reproduction of a magneto-optical recording medium without applying a reproducing magnetic field, and a reproducing method and apparatus thereof. .

【００１６】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に従
えば、光磁気記録媒体であって、磁性材料から形成され
ている記録層と；磁性材料から形成され、垂直磁化を示
す再生層と；磁性材料から形成され、上記記録層と再生
層との間に存在し、１６０℃以下の温度で上記記録層と
再生層の交換結合力を遮断する中間層と；を備え、上記
再生層の補償温度Ｔcomp１、上記中間層の補償温度Ｔco
mp２及び上記記録層の補償温度Ｔcomp３が、下記式
（１）及び（２）： Ｔcomp２＜１２０℃＜Ｔcomp１ ・・・（１） Ｔcomp３＜１２０℃＜Ｔcomp２ ・・・（２） のいずれか一方を満足し、上記中間層と上記記録層の界
面または上記中間層と上記再生層の界面に、上記 中間層
を構成する物質とは異なる物質が介在されており、それ
により該界面またはその近傍のキュリー温度が中間層の
キュリー温度より低下していることを特徴とする光磁気
記録媒体 が提供される。According to a first aspect of the present invention, there is provided a magneto-optical recording medium formed of a magnetic material.
Recording layer; formed of magnetic material and exhibiting perpendicular magnetization
A reproducing layer; formed of a magnetic material and reproducing with the recording layer
Exists between the recording layer and the recording layer at a temperature of 160 ° C. or lower.
An intermediate layer that blocks the exchange coupling force of the reproduction layer;
Compensation temperature Tcomp1 of the reproducing layer, compensation temperature Tco of the intermediate layer
mp2 and the compensation temperature Tcomp3 of the recording layer are expressed by the following equations.
(1) and (2): Tcomp2 <120 ° C. <Tcomp1 (1) Tcomp3 <120 ° C. <Tcomp2 (2) , which satisfies one of the requirements of the intermediate layer and the recording layer.
Surface or the interface between the intermediate layer and the reproducing layer, the intermediate layer
A substance different from the substance that constitutes
The Curie temperature at or near the interface is
Magneto-optically characterized by a temperature lower than the Curie temperature
A recording medium is provided.

【００１７】本発明の第１の態様に従う光磁気記録媒体
では、上記中間層を成膜後、該中間層を表面処理するこ
とによって、上記中間層と上記記録層の界面または上記
中間層と上記再生層の界面に上記中間層を構成する物質
とは異なる物質が導入されていることが好ましい。 A magneto-optical recording medium according to the first aspect of the present invention.
Then, after forming the intermediate layer, the intermediate layer may be surface-treated.
Depending on the interface between the intermediate layer and the recording layer or
Material that constitutes the intermediate layer at the interface between the intermediate layer and the reproduction layer
It is preferable that a substance different from that is introduced.

【００１８】本発明の第１の態様に従う光磁気記録媒体
では、上記再生層、中間層及び記録層のキュリー温度が
それぞれＴｃ１、Ｔｃ２及びＴｃ３であるとき、Ｔｃ１
＜Ｔｃ２＜Ｔｃ３を満足することが好ましい。 A magneto-optical recording medium according to the first aspect of the present invention.
Then, the Curie temperatures of the reproducing layer, the intermediate layer and the recording layer are
When Tc1, Tc2 and Tc3 respectively, Tc1
It is preferable to satisfy <Tc2 <Tc3.

【００１９】本発明の第１の態様に従う光磁気記録媒体
では、上記再生層は、ＧｄＦｅを主体とする希土類遷移
金属合金から形成されていることが好ましい。 A magneto-optical recording medium according to the first aspect of the present invention.
Then, the reproduction layer has a rare earth transition mainly composed of GdFe.
It is preferably formed of a metal alloy.

【００２０】本発明の第１の態様に従う光磁気記録媒体
では、上記中間層は、ＴｂＧｄＦｅを主体とする希土類
遷移金属合金から形成されていることが好ましい。 A magneto-optical recording medium according to the first aspect of the present invention.
Then, the intermediate layer is a rare earth element mainly composed of TbGdFe.
It is preferably formed of a transition metal alloy.

【００２１】本発明の第１の態様に従う光磁気記録媒体
では、上記記録層は、ＴｂＦｅＣｏを主体とする希土類
遷移金属合金から形成されていることが好ましい。 A magneto-optical recording medium according to the first aspect of the present invention.
Then, the recording layer is a rare earth element mainly composed of TbFeCo.
It is preferably formed of a transition metal alloy.

【００２２】本発明の第２の態様に従えば、第１の態様
に従う光磁気記録媒体に再生光を照射して上記記録層と
再生層の交換結合力を遮断する温度以上に加熱して光磁
気記録媒体から情報を再生することを特徴とする光磁気
記録媒体の再生方法が提供される。 According to a second aspect of the present invention, the first aspect
The recording layer by irradiating the magneto-optical recording medium according to
Magnetization is performed by heating above the temperature that cuts off the exchange coupling force of the reproducing layer.
Magneto-optical characteristic of reproducing information from an air recording medium
A method of reproducing a recording medium is provided.

【００２３】本発明の第２の態様に従う光磁気記録媒体
の再生方法では、記録層から再生層に転写した磁区を拡
大することにより、再生しようとする記録磁区が再生光
の中 心に到達する前に該記録磁区を検出することが好ま
しい。 A magneto-optical recording medium according to the second aspect of the present invention.
In the reproducing method, the magnetic domain transferred from the recording layer to the reproducing layer is expanded.
If the recording magnetic domain to be reproduced is increased by the reproduction light
It preferred to detect the recording magnetic domain before reaching the center of the
Good

【００２４】本発明の第３の態様に従えば、第１の態様
に従う光磁気記録媒体から記録情報を再生するための再
生装置であって、レーザー光照射部と、磁界印加部と、
信号を検出及び処理する信号処理部と、ディスク駆動部
とを備えた再生装置が提供される。 According to a third aspect of the present invention, the first aspect
For reproducing recorded information from a magneto-optical recording medium according to
A raw device, a laser light irradiation unit, a magnetic field application unit,
A signal processing unit for detecting and processing signals, and a disk drive unit
There is provided a reproducing device including and.

【００２５】本発明の光磁気記録媒体では、記録層（以
下、情報記録層とも言う）から中間層を介して再生層
（以下、拡大再生層とも言う）に転写された磁区を外部
磁界を印加することなく再生光照射により拡大させて検
出することが可能である。本発明において、このような
磁区拡大を可能ならしめるのは、１）拡大再生層の最小
磁区径の存在、２）中間層と記録層間または中間層と再
生層間の反発力の発生、３）拡大再生層と記録層間の交
換結合力の制御などの因子に基づく。最初にそれらの因
子について説明し、次いで、本発明の光磁気記録媒体を
実現する３つのタイプの光磁気記録媒体の拡大再生原理
を説明する。 In the magneto-optical recording medium of the present invention, the recording layer (hereinafter
Below, also referred to as the information recording layer) through the intermediate layer to the reproducing layer
The magnetic domain transferred to the magnetic field
Magnify by reproducing light irradiation without applying magnetic field
It is possible to put it out. In the present invention, such
If the magnetic domain expansion is possible, 1) the minimum of the expansion reproduction layer
Presence of magnetic domain diameter, 2) Reconstruction between the intermediate layer and recording layer or the intermediate layer
Generation of repulsive force between raw layers, 3) Intersection between magnifying reproduction layer and recording layer
It is based on factors such as the control of binding force. First those factors
Of the magneto-optical recording medium of the present invention.
Enlargement reproduction principle of three types of magneto-optical recording media realized
Will be explained.

【００２６】［磁区拡大の因子］ １）最小磁区径の存在による磁区拡大原理 外部磁界を必要としないで再生層の磁区を拡大させるに
は、再生層中で安定に存在し得る最小（安定）磁区の大
きさを考慮する必要がある。温度が均一な磁性層におけ
る最小磁区の磁区径をｄ、拡大再生層の磁壁のエネルギ
をσｗ、飽和磁化をＭｓ、保磁力をＨｃとすると、最小
磁区径ｄは、ｄ＝σｗ/（Ｍｓ・Ｈｃ）と表記できる。
一般に、Ｍｓが比較的小さい場合ｄは大きく、Ｍｓが大
きな場合にはｄは小さくなる。 [ Factor of magnetic domain expansion] 1) Principle of magnetic domain expansion due to existence of minimum magnetic domain diameter For expanding the magnetic domain of the reproducing layer without requiring an external magnetic field.
Is the size of the smallest (stable) magnetic domain that can exist stably in the reproducing layer.
It is necessary to consider the size. In a magnetic layer with uniform temperature
D is the domain diameter of the minimum domain, and the energy of the domain wall of the magnified reproduction layer is
Is σw, the saturation magnetization is Ms, and the coercive force is Hc, the minimum
The magnetic domain diameter d can be expressed as d = σw / (Ms · Hc).
Generally, when Ms is relatively small, d is large and Ms is large.
In the case where it is difficult, d becomes small.

【００２７】本発明では、図１（ａ）に示すように、拡
大再生層３の材料として、拡大再生層３において磁気的
に安定して存在し得る磁区ＳＭ１の最小径（以下、「最
小磁区径」という）が比較的大きい材料、例えば、Ｇｄ
Ｆｅを使用している。すなわち、拡大再生層３において
は、磁区ＳＭ１より小さな磁区は磁気的に安定に存在 す
ることができない。一方、情報記録層５には図１（ｂ）
に示すように磁区ＳＭ２の最小磁区径が小さくなるよう
な磁気材料、例えば、ＴｂＦｅＣｏを使用しているため
に、情報記録層５に小さな記録磁区を高密度に記録する
ことが可能になる。ここで、そのような拡大再生層３と
情報記録層５が強力な交換結合力で結びついた場合に
は、図１（ｃ）に示すように情報記録層５に記録された
磁区ＳＭ２が拡大再生層３に磁気的に転写されて磁区Ｓ
Ｍ３が生じる。但し、拡大再生層３に磁気転写された磁
区ＳＭ３は拡大再生層３における最小磁区径よりも小さ
いために不安定である。それゆえ、図１（ｄ）に示した
ように拡大再生層３を情報記録層５から引き離したとす
ると、拡大再生層３に転写されていた微小磁区は拡大し
て図１（ａ）に示したような最小磁区径を有する安定な
磁区ＳＭ１に戻る。本発明では、図１（ｃ）から図１
（ｄ）に遷移するプロセスを、後述する種々の中間層
（拡大トリガー層）を用いて拡大再生層３と情報記録層
５の交換結合力の大きさを制御することによって実行し
ている。 In the present invention, as shown in FIG.
As a material of the large reproducing layer 3, a magnetic material is used in the expanding reproducing layer 3.
The minimum diameter of the magnetic domain SM1 that can stably exist in the
A material with a relatively large "small magnetic domain diameter", for example Gd
Fe is used. That is, in the enlarged reproduction layer 3
Indicates that magnetic domains smaller than the magnetic domain SM1 are magnetically stable .
I can't. On the other hand, the information recording layer 5 is shown in FIG.
As shown in, the minimum magnetic domain diameter of the magnetic domain SM2 is reduced.
Because it uses a magnetic material such as TbFeCo
In addition, small recording magnetic domains are recorded in the information recording layer 5 with high density.
It will be possible. Here, with such an enlarged reproduction layer 3
When the information recording layer 5 is bound by a strong exchange coupling force
Was recorded on the information recording layer 5 as shown in FIG.
The magnetic domain S M2 is magnetically transferred to the magnified reproducing layer 3 and the magnetic domain S
M3 occurs. However, the magnetic field magnetically transferred to the expansion reproducing layer 3
The area SM3 is smaller than the minimum magnetic domain diameter in the expansion reproducing layer 3.
It is unstable because of Therefore, as shown in FIG.
As described above, the enlargement reproducing layer 3 is separated from the information recording layer 5.
Then, the small magnetic domains transferred to the expansion reproducing layer 3 expand.
Stable with a minimum magnetic domain diameter as shown in FIG.
Return to magnetic domain SM1. In the present invention, FIG.
Various intermediate layers, which will be described later, in the process of transitioning to (d)
Enlargement reproduction layer 3 and information recording layer using (enlargement trigger layer)
5 by controlling the magnitude of the exchange coupling force
ing.

【００２８】２）磁性層の反発力と交換結合力 記録層、中間層及び再生層の磁性材料には、例えば、希
土類遷移金属合金を用い得る。希土類は重希土類が用い
られ、この場合には、希土類金属と遷移金属の磁気スピ
ンは互いに反対方向を向くので、磁性層はフェリ磁性を
示す。希土類金属と遷移金属の磁気スピンが同じ大きさ
であれば、磁化方向が互いに逆、すなわち磁化を打ち消
しあうことになるため、全体の磁化（磁気スピンの和）
はゼロとなる。この状態は補償状態と呼ばれ、補償状態
となる温度は補償温度と呼ばれる。また、補償状態とな
る磁性層の組成は補償組成と呼ばれる。また、遷移金属
の磁気スピンが希土類金属の磁気スピンよりも大きい場
合には遷移金属リッチ（Transition Metal rich :ＴＭ
リッチ）と呼ばれ、希土類金属の磁気スピンが遷移金属
の磁気スピンよりも大きい場合には希土類リッチ（Rare
Earth rich : ＲＥリッチ）と呼ばれる。本発明では、
再生層の補償温度Ｔcomp１、中間層の補償温度Ｔcomp２
及び記録層の補償温度Ｔcomp３が、以下の（１）式及び
（２）式のいずれか一方の式を満足する。 Ｔcomp２＜１２０℃＜Ｔcomp１ ・・・（１） Ｔcomp３＜１２０℃＜Ｔcomp２ ・・・（２） 2) Repulsive force of magnetic layer and exchange coupling force The magnetic material of the recording layer, the intermediate layer and the reproducing layer is, for example, a rare material.
Earth transition metal alloys may be used. Rare earth is used by heavy rare earth
In this case, the magnetic spin of rare earth metals and transition metals is
Since the magnetic layers face in opposite directions, the magnetic layer exhibits ferrimagnetism.
Show. Rare earth metal and transition metal have the same magnetic spin
If so, the magnetization directions are opposite to each other, that is, the magnetization is canceled.
Since they will work together, the overall magnetization (sum of magnetic spins)
Is zero. This state is called the compensation state, and the compensation state
The temperature at which is called the compensation temperature. Also, the compensation status
The composition of the magnetic layer is called compensation composition. Also transition metals
The magnetic spin of is larger than that of rare earth metals
Transition Metal rich: TM
It is called “rich”, and the magnetic spin of rare earth metals is a transition metal.
Rare earth rich (Rare
Earth rich: called RE rich). In the present invention,
Compensation temperature Tcomp1 of the reproducing layer, compensation temperature Tcomp2 of the intermediate layer
And the compensation temperature Tcomp3 of the recording layer is expressed by the following equation (1) and
Either one of the expressions (2) is satisfied. Tcomp2 <120 ° C <Tcomp1 (1) Tcomp3 <120 ° C <Tcomp2 (2)

【００２９】式（１）及び（２）は、本発明において磁
区の拡大が起こるためのトリガーとなる反発力の存在を
条件を表している。式（１）の場合には、１２０℃より
低い温度に中間層４の補償温度が存在し、１２０℃より
も高い温度に再生層の補償温度が存在する。例えば、再
生層３及び中間層４がそれぞれフェリ磁性の希土類遷移
金属から構成されている場合、図２（ａ）に示すように
１２０℃では中間層４がＴＭリッチであり、再生層３が
ＲＥリッチとなる。従って、中間層４と再生層３の遷移
金属の磁気スピン（副ネットワーク磁化）は同一方向を
向き、磁化（全体の磁化）は互いに反対方向となり反発
力が生じる。本発明では、このような反発力の発生が再
生層３における磁区拡大の要件となる。ここで、記録層
５が中間層４と同じくＴＭリッチな希土類遷移金属から
構成されているとすると、再生層３、中間層４及び記録
層５間でそれらの遷移金属の磁気スピンがつながり、再
生層３と記録層５間で中間層４を介して交換結合力が働
く。ここで、交換結合力には温度依存性があるので、１
２０℃から温度が上昇すると、反発力が交換結合力を上
回り、再生層３の磁区が反転しやすくなる。この磁区反
転は磁区拡大をもたらす。 Equations (1) and (2) are used in the present invention as a magnetic field.
The presence of repulsive force that triggers the expansion of the ward
Indicates the condition. In the case of formula (1), from 120 ℃
The compensation temperature of the intermediate layer 4 exists at a low temperature, and
There is a compensation temperature of the reproducing layer at a higher temperature. For example,
Raw layer 3 and intermediate layer 4 are ferrimagnetic rare earth transitions
When it is composed of metal, as shown in FIG.
At 120 ° C, the middle layer 4 is TM rich and the reproduction layer 3 is
Become RE rich. Therefore, the transition between the intermediate layer 4 and the reproduction layer 3
The magnetic spin (subnetwork magnetization) of a metal is in the same direction.
Direction and magnetization (overall magnetization) are opposite to each other and repelled
Power is generated. In the present invention, the occurrence of such repulsive force
This is a requirement for magnetic domain expansion in the green layer 3. Where the recording layer
5 is a TM-rich rare earth transition metal like the intermediate layer 4
If configured, the reproduction layer 3, the intermediate layer 4 and the recording layer
The magnetic spins of those transition metals are connected between layers 5 and
Exchange coupling force acts between the raw layer 3 and the recording layer 5 via the intermediate layer 4.
Ku. Here, since the exchange coupling force has temperature dependence, 1
When the temperature rises from 20 ° C, the repulsive force increases the exchange coupling force.
As a result, the magnetic domains of the reproducing layer 3 are easily reversed. This domain anti
Rolling causes magnetic domain expansion.

【００３０】式（２）の場合には、１２０℃より低い温
度に記録層５の補償温度が存在し、１２０℃よりも高い
温度に中間層４の補償温度が存在する。例えば、記録層
５及び中間層４がそれぞれフェリ磁性の希土類遷移金属
から構成されている場合、図２（ｂ）に示すように１２
０℃では記録層５がＴＭリッチであり、中間層４がＲＥ
リッチとなる。従って、記録層５の磁化と中間層４の磁
化は互いに反対方向となり反発力が生じる。ここで、再
生層３が中間層４と同じくＲＥリッチな希土類遷移金属
から構成されているとすると、再生層３と記録層５には
中間層４を介して交換結合力が働いている。交換結合力
には温度依存性があるので、１２０℃から温度が上昇す
ると、再生層３及び中間層４の磁化と記録層５の磁化と
の反発力が記録層５と再生層３の交換結合力を上回り、
中間層４及び再生層３の磁区がそれぞれ反転しやすくな
る。再生層３の磁区反転は磁区拡大をもたらす。上記の
式 （１）あるいは式（２）のいずれか一方が満足されて
いれば、本発明において磁区拡大のきっかけとなる反発
力が発生することになる。以下の各タイプの光磁気記録
媒体の再生原理の説明では主に式（１）の条件を用いて
説明するものとする。 In the case of the formula (2), the temperature lower than 120 ° C.
There is a compensation temperature of the recording layer 5 every time, and it is higher than 120 ° C.
There is a compensation temperature of the intermediate layer 4 at the temperature. For example, recording layer
5 and the intermediate layer 4 are ferrimagnetic rare earth transition metals, respectively.
If it is composed of 12 as shown in FIG.
At 0 ° C., the recording layer 5 is TM rich and the intermediate layer 4 is RE.
Become rich. Therefore, the magnetization of the recording layer 5 and the magnetization of the intermediate layer 4 are
The repulsion is generated in the opposite directions. Where again
The green layer 3 is a RE-rich rare earth transition metal like the intermediate layer 4.
If the playback layer 3 and the recording layer 5 are composed of
Exchange coupling force is exerted via the intermediate layer 4. Exchange coupling force
Has a temperature dependency, the temperature rises from 120 ° C.
Then, the magnetization of the reproducing layer 3 and the intermediate layer 4 and the magnetization of the recording layer 5
Repulsive force exceeds the exchange coupling force between the recording layer 5 and the reproducing layer 3,
The magnetic domains of the intermediate layer 4 and the reproducing layer 3 are easily reversed.
It The domain reversal of the reproducing layer 3 causes the domain expansion. above
Either equation (1) or equation (2) is satisfied
That is, the repulsion that triggers the expansion of magnetic domains in the present invention.
Power will be generated. Each type of magneto-optical recording
In the explanation of the reproduction principle of the medium, the condition of equation (1) is mainly used.
I shall explain.

【００３１】上記のように本発明では、反発力と交換結
合力の関係が磁区拡大を制御する。なお、１２０℃とい
う温度は、再生光照射により磁区拡大が起こり始めるで
あろう領域の温度を想定している。すなわち、本発明で
は磁区拡大が起こり始める領域は、再生光が照射されて
加熱された領域のうち、中央部すなわち高温部分（熱中
心）ではなく周縁部すなわち低温部分である。一方、高
温部分では後述するように記録層と拡大再生層の交換結
合力が遮断される。この高温領域は本発明では１４０℃
を超える温度であると想定している。 As described above, in the present invention, the repulsive force and the exchange coupling are
The resultant force relationship controls domain expansion. In addition, it is 120 ℃
The temperature is such that the magnetic domain expansion will begin to occur due to the irradiation of the reproducing light.
We assume the temperature of the region. That is, in the present invention
The area where magnetic domain expansion begins
Of the heated area, the central or high temperature part
It is not the heart) but the peripheral portion, that is, the low temperature portion. On the other hand, high
In the warm part, the recording layer and the expansion reproducing layer are exchanged as described later.
The resultant force is cut off. This high temperature region is 140 ° C. in the present invention.
It is assumed that the temperature exceeds.

【００３２】３）交換結合力の制御 本発明の光磁気記録媒体において、中間層はいずれのタ
イプの光磁気記録媒体においても記録層と拡大再生層と
の間に働く交換結合力と反発力の大きさを制御すること
によって拡大再生層における磁区拡大を最適化するとと
もに、ゴースト信号の発生を防止している。特に、情報
再生時には、中間層により、再生光が照射されている領
域内の高温領域において記録層と拡大再生層との間に働
く交換結合力が遮断されて、低温領域の拡大再生層の磁
区が高温領域にまで拡大する。この交換結合力が遮断さ
れる温度を交換結合力遮断温度と称する。交換結合力遮
断温度は交換結合力（交換結合磁界）の温度依存性から
求めることができる。交換結合力は拡大再生層側から磁
気光学Ｋｅｒｒ回転角の磁界依存性から決定できる。図
２５には、室温における本発明の光磁気記録媒体の磁気
光学Ｋｅｒｒ回転角（θ）のヒステリシス曲線の測定例
を示している。拡大再生層には、保磁力の大きな情報記
録層から交換結合力（交換結合磁界）がバイアス磁界と
して作用している。したがって、ヒステリシス曲線はそ
の磁界分だけ左にシフトしており、このシフト量が交換
結合力である。この交換結合力の温度依存性の一例を図
４４に示した。交換結合力遮断温度はこの交換結合力が
ほぼゼロとなる温度に相当する 。 3) Control of Exchange Coupling Force In the magneto-optical recording medium of the present invention, the intermediate layer is of any type.
In the magneto-optical recording medium of Ip
Controlling the magnitude of exchange coupling force and repulsive force acting between
By optimizing the magnetic domain expansion in the expansion reproducing layer by
At the same time, it prevents the generation of ghost signals. Especially the information
During playback, the area where the playback light is emitted by the intermediate layer
It works between the recording layer and the expansion reproducing layer in the high temperature area of the region.
The exchange coupling force is cut off, and the magnetic field of the expanded reproducing layer in the low temperature region is blocked.
The area expands to the high temperature area. This exchange coupling force is blocked
The temperature that is maintained is called the exchange coupling force cutoff temperature. Exchange coupling power cutoff
The breaking temperature depends on the temperature dependence of the exchange coupling force (exchange coupling magnetic field).
You can ask. The exchange coupling force is magnified from the magnifying reproducing layer side.
It can be determined from the magnetic field dependence of the aero-optic Kerr rotation angle. Figure
25 is the magnetic field of the magneto-optical recording medium of the present invention at room temperature.
Optical Kerr rotation angle (θ) hysteresis curve measurement example
Is shown. The magnified reproduction layer has information with a large coercive force.
The exchange coupling force (exchange coupling magnetic field) from the recording layer becomes the bias magnetic field.
And is working. Therefore, the hysteresis curve is
Is shifted to the left by the magnetic field of
It is a binding force. Figure showing an example of the temperature dependence of this exchange coupling force
44. The exchange coupling force cutoff temperature is
It corresponds to a temperature of almost zero .

【００３３】［第１のタイプの光磁気記録媒体］ 拡大再生層と情報記録層の交換結合力の大きさを制御す
るのに、第１のタイプの光磁気記録媒体では、高温、例
えば１４０℃以上で面内磁化を示し、低温、例えば１２
０℃以下では垂直磁化を示すような中間層を用いる。記
録層及び再生層は垂直磁化の磁性層を用い得る。この場
合、中間層が垂直磁化を示すときには拡大再生層と情報
記録層の中間層を介した交換結合力が強いが、中間層が
高温時に面内磁化を示すときには拡大再生層と情報記録
層の交換結合力は中間層により切断または遮断されて弱
まる。低温での拡大再生層と情報記録層の交換結合力を
大きくするためには、中間層のキュリー温度Ｔｃ２を拡
大再生層のキュリー温度Ｔｃ１よりも高くすればよい。
ただし、情報記録層への記録の悪影響を避けるために
は、Ｔｃ２は情報記録層のキュリー温度Ｔｃ３よりも低
くしておく必要がある。したがって、第１のタイプの光
磁気記録媒体では、それらの磁性層のキュリー温度の関
係はＴｃ１＜Ｔｃ２＜Ｔｃ３にし得る。 [ First Type Magneto-Optical Recording Medium] The magnitude of the exchange coupling force between the magnifying reproducing layer and the information recording layer is controlled.
However, in the first type of magneto-optical recording medium,
For example, it shows in-plane magnetization at 140 ° C. or higher, and at low temperature,
An intermediate layer that exhibits perpendicular magnetization at 0 ° C. or lower is used. Record
A perpendicularly magnetized magnetic layer may be used as the recording layer and the reproducing layer. This place
When the intermediate layer shows perpendicular magnetization,
The exchange coupling force through the intermediate layer of the recording layer is strong, but the intermediate layer
Expanded reproducing layer and information recording when in-plane magnetization is shown at high temperature
The exchange coupling force of the layer is weakened by being cut or blocked by the intermediate layer.
Maru The exchange coupling force between the expansion reproducing layer and the information recording layer at low temperature
To increase the temperature, increase the Curie temperature Tc2 of the intermediate layer.
It may be higher than the Curie temperature Tc1 of the large regeneration layer.
However, in order to avoid the adverse effects of recording on the information recording layer
Indicates that Tc2 is lower than the Curie temperature Tc3 of the information recording layer.
You need to keep it. Therefore, the first type of light
In magnetic recording media, the Curie temperature of these magnetic layers is related.
The contact can be Tc1 <Tc2 <Tc3.

【００３４】ここで、図３に示したように、情報記録層
５と拡大再生層３の間に、高温で面内磁化を示し、低温
では垂直磁化を示すような中間層、例えば拡大トリガー
層４’が存在する光磁気記録媒体を考えてみる。記録層
５に微小磁区が高密度に記録されているものとする。レ
ーザー光が照射されていない場合には、情報記録層５に
記録された磁区５Ａは拡大トリガー層４’を介した拡大
再生層３と情報記録層５との大きな交換結合力により拡
大再生層３に磁気転写されて磁区３Ａを形成している。
図４に示すように、光磁気記録媒体が矢印ＤＤの方向に
進行しつつレーザー光が照射されると光磁気記録媒体の
レーザースポット内の領域の温度が上昇する。このとき
温度上昇した領域のうち特に高温部分（例えば１４０℃
以上）では拡大トリガー層４’の磁気異方性は急激に小
さくなるため拡大トリガー層４’の磁化容易軸は垂直方
向から膜面方向に向くことになる。このとき、拡大トリ
ガー層４’の垂直磁化成分が減少するために拡大再生層
３と情報記録層５の交換結合力は急激に低下して遮断さ
れる。この交換結合力が遮断する温度をＴｒとする と、
図５に示したように、Ｔｒを超える温度領域において
は、拡大再生層３と情報記録層５は磁気的に独立な状態
になる。Ｔｒは、例えば、１２０℃〜１８０℃、好まし
くは１４０℃〜１８０℃である。 Here, as shown in FIG. 3, the information recording layer
5 and the enlarged reproduction layer 3 exhibit in-plane magnetization at high temperature and low temperature
Then an intermediate layer that exhibits perpendicular magnetization, such as an expansion trigger
Consider a magneto-optical recording medium in which layer 4'is present. Recording layer
It is assumed that minute magnetic domains are recorded at a high density in FIG. Les
If the laser light is not applied, the information recording layer 5
The recorded magnetic domain 5A is expanded through the expansion trigger layer 4 '.
Expansion due to the large exchange coupling force between the reproducing layer 3 and the information recording layer 5.
Magnetically transferred to the large reproducing layer 3 to form magnetic domains 3A.
As shown in FIG. 4, the magneto-optical recording medium moves in the direction of arrow DD.
When the laser light is irradiated while it is proceeding,
The temperature of the area within the laser spot increases. At this time
Particularly high temperature part (for example, 140 ° C) of the region where the temperature rises
In the above), the magnetic anisotropy of the expanded trigger layer 4'is drastically reduced.
The axis of easy magnetization of the enlarged trigger layer 4'is vertical because it becomes smaller.
From the direction to the film surface. At this time, the expansion bird
Since the perpendicular magnetization component of the Gar layer 4'is reduced, the magnified reproducing layer is formed.
The exchange coupling force between the information recording layer 3 and the information recording layer 5 drops sharply and is blocked.
Be done. If the temperature at which this exchange coupling force is cut off is Tr ,
As shown in FIG. 5, in the temperature range exceeding Tr
Indicates that the expansion reproducing layer 3 and the information recording layer 5 are magnetically independent.
become. Tr is, for example, 120 ° C. to 180 ° C., preferably
The temperature is 140 ° C to 180 ° C.

【００３５】さらに、光磁気記録媒体が矢印方向ＤＤに
進行して、図６に示したように、記録磁区５Ａが温度Ｔ
＞Ｔｒの領域付近に近づいてくると、情報記録層５の磁
区５Aの磁化及び拡大トリガー層４’の磁区４’Ａの磁
化の合成磁化と、拡大再生層３の転写磁区３Ａの磁化と
の静磁気的な反発力が、拡大再生層３の磁区３Ａと拡大
トリガー層４’を介した情報記録層５の磁区５Ａの交換
結合力に勝ることになる。特に、拡大再生層３の磁区３
Ｂは記録層５の磁区５Ｂから交換結合力により転写され
た磁区であるが、レーザスポット内にあるために交換結
合力よりも拡大トリガー層の磁区４’Ｂとの反発力の方
が強くなっている。さらに、前述のように拡大再生層３
の安定磁区径は大きいので、磁区３Ａは本来の大きさに
戻ろうとする力が働く。それゆえ、磁区３Ａと磁区３Ｂ
との間の磁壁（３ＡＦ）には磁気的な圧力が作用して、
図７に示すように、磁区３Ｂが反転した結果、磁区３Ａ
が拡大する。そして、この拡大した磁区３Ａは、図８に
示すように交換結合力が衰弱した領域付近一杯に広が
る。その拡大した領域は拡大再生層３の安定磁区径に相
当する大きさと考えることもできる。このように拡大ト
リガー層４’は温度変化により拡大再生層３の磁区が拡
大するきっかけをもたらしている。 Further, the magneto-optical recording medium is moved in the arrow direction DD.
As shown in FIG. 6, the recording magnetic domain 5A is heated to the temperature T.
When approaching the vicinity of the area> Tr, the magnetic field of the information recording layer 5 is increased.
Magnetization of Area 5A and Magnetization of Expansion Trigger Layer 4'Magnet of Domain 4'A
And the magnetization of the transfer magnetic domain 3A of the expansion reproducing layer 3
The magnetostatic repulsive force of the magnetic field expands with the magnetic domain 3A of the expansion reproducing layer 3.
Exchange of magnetic domain 5A of information recording layer 5 via trigger layer 4 '
It will be superior to the bond strength. In particular, the magnetic domain 3 of the expansion reproducing layer 3
B is transferred from the magnetic domain 5B of the recording layer 5 by the exchange coupling force.
Magnetic domain, but exchanged because it is in the laser spot.
Repulsive force with magnetic domain 4'B of the expansion trigger layer rather than resultant force
Is getting stronger. Further, as described above, the expansion reproducing layer 3
Since the stable magnetic domain diameter of is large, the magnetic domain 3A has its original size.
The power to return is working. Therefore, magnetic domain 3A and magnetic domain 3B
Magnetic pressure acts on the domain wall (3AF) between
As shown in FIG. 7, when the magnetic domain 3B is inverted, the magnetic domain 3A
Expands. The enlarged magnetic domain 3A is shown in FIG.
As shown in the figure, the area around the weakened exchange coupling force spreads
It The expanded region corresponds to the stable magnetic domain diameter of the expanded reproducing layer 3.
It can be thought of as the size to be hit. Like this
The rigger layer 4'expands the magnetic domains of the reproducing layer 3 due to temperature changes.
It is a great opportunity.

【００３６】ここで重要なことは、磁区３Ａが拡大する
際、磁区３Ａの前側エッジ３ＡＦ（図６参照）がスポッ
ト中心に向かって拡大しても後側エッジ３ＡＲは動かな
いことである。もし、前側エッジ３ＡＦの拡大に連動し
て後側エッジ３ＡＲもスポット中心に向かって動いた場
合には、磁区３Ａの面積は増大しないからである。した
がって、磁区拡大再層３として重要な点は、前側エッジ
３ＡＦは拡大しやすく、前側エッジ３ＡＦよりも若干温
度の低い後側エッジ３ＡＲは動かずに記録層５の磁区が
転写されたままの状態を保存していることである。これ
を達成するには、交換結合力の温度勾配がＴｒ近傍で急
峻になるような材料を用いればよい。この温度勾配は実
験的には、Ｔｒ近傍と考えられる１３０℃近傍で−１０
０（Ｏｅ ／℃）以上であることが望ましい。また、拡大
再生層３の膜厚が厚いと拡大しにくい傾向にあり、好ま
しくは１５〜３０ｎｍである。 What is important here is that the magnetic domain 3A expands.
At this time, the front edge 3AF (see FIG. 6) of the magnetic domain 3A is spotted.
The rear edge 3AR does not move even if it expands toward the center
That's a good thing. If the front edge 3AF is enlarged,
When the rear edge 3AR also moves toward the center of the spot
In this case, the area of the magnetic domain 3A does not increase. did
Therefore, the important point as the magnetic domain expansion re-layer 3 is the front edge.
3AF is easy to expand and slightly warmer than front edge 3AF
The rear edge 3AR having a low degree of movement does not move and the magnetic domain of the recording layer 5 is
That is, the state of being transferred is preserved. this
To achieve the above, the temperature gradient of the exchange coupling force becomes steep near Tr.
A material that is sharp may be used. This temperature gradient is
Experimentally, -10 near 130 ° C, which is considered to be near Tr.
It is preferably 0 (Oe / ° C.) or more. Also expansion
If the thickness of the reproducing layer 3 is large, it tends to be difficult to expand, which is preferable.
It is preferably 15 to 30 nm.

【００３７】図９には、光磁気記録媒体が光スポットに
対して移動して、磁区５Ａに隣接する磁区５Ｃが本発明
の原理に従って拡大再生される様子を示している。図１
０には、さらに光磁気記録媒体が光スポットに対して移
動して図９において再生された磁区５Ｃに隣接する磁区
５Ｄが拡大再生される様子を示している。図１０から分
るように、Ｔｒを超える温度領域内にある情報記録層５
の磁区５Ａは拡大再生層３に向かって漏洩磁界を発して
いるが、その上に位置する拡大トリガー層４’の磁区が
面内磁化を示しているためにこの漏洩磁界が遮断されて
いる。したがって、拡大が起こっている領域内に位置す
る記録層５の磁区の向きがいずれであろうと拡大再生層
３の拡大動作には影響を与えることはない。 In FIG . 9, the magneto-optical recording medium is used as a light spot.
The magnetic domain 5C adjacent to the magnetic domain 5A that moves relative to the present invention is the present invention.
It shows a state of enlarged reproduction according to the principle of. Figure 1
0, the magneto-optical recording medium is further moved to the optical spot.
A magnetic domain adjacent to the magnetic domain 5C which is moved and reproduced in FIG.
5D shows a state in which 5D is enlarged and reproduced. Minutes from Figure 10
Information recording layer 5 located in the temperature range exceeding Tr
The magnetic domain 5A of the
However, the magnetic domain of the expanded trigger layer 4'located above it
This leakage magnetic field is blocked because it shows in-plane magnetization.
There is. Therefore, it is located within the area where the expansion is occurring.
Whichever direction the magnetic domain of the recording layer 5 has
3 does not affect the enlargement operation.

【００３８】さて、図１１に示したように、拡大再生し
て再生が終了した記録磁区５Ａは光スポットから脱出す
る際に冷却される。冷却が進んだ領域では拡大トリガー
層４’の磁区４’Ａの垂直磁気異方性が復活するため、
拡大再生層３の磁区３Ａと記録層５の磁区５Ａの交換結
合が復活することになる。しかしながら、静磁気的反発
力が交換結合力よりも勝っているために、磁区５Ａは拡
大再生層３に転写されない。さらに、磁区３Ａがスポッ
トから離れた図１２においては、交換結合力が大きくな
るが、図１において説明したように拡大再生層３の安定
磁区径からすれば微小磁区が拡大再生層３に転写される
には大きなエネルギーが必要となる。従って、この状態
でもまだ記録層の磁区５Ａは拡大再生層３に転写されな
い。それゆえ、本発明では情報の再生が終了している記
録層の磁区５Ａが拡大再生層３に再転写することによる
ゴースト信号は現れない。 Now, as shown in FIG. 11, enlarged reproduction is performed.
The recording magnetic domain 5A, which has been reproduced by the operation, escapes from the light spot.
When it is cooled down. Expansion trigger in areas where cooling has advanced
Since the perpendicular magnetic anisotropy of the magnetic domain 4'A of the layer 4'is restored,
Exchange connection between the magnetic domain 3A of the expansion reproducing layer 3 and the magnetic domain 5A of the recording layer 5
Will be revived. However, magnetostatic repulsion
The magnetic domain 5A expands because the force exceeds the exchange coupling force.
It is not transferred to the large reproduction layer 3. Furthermore, the magnetic domain 3A is spotted.
In Fig. 12 away from the
However, as described in FIG. 1, the expansion reproducing layer 3 is stable.
From the magnetic domain diameter, a minute magnetic domain is transferred to the magnified reproducing layer 3.
Requires a lot of energy. Therefore, this state
However, the magnetic domain 5A of the recording layer has not yet been transferred to the magnifying reproduction layer 3.
Yes. Therefore, according to the present invention, the information reproduction is finished.
By retransferring the magnetic domain 5A of the recording layer to the expansion reproducing layer 3
No ghost signal appears.

【００３９】［第２のタイプの光磁気記録媒体］ 第２のタイプの光磁気記録媒体の動作原理について図面
を用いて以下に説明する。このタイプの光磁気記録媒体
の記録層、中間層及び再生層は、いずれも垂直磁化を示
す希土類遷移金属合金を用いて形成されている。中間層
は１６０℃以下 のキュリー温度、室温以下の補償温度を
有する。それゆえ、再生光が照射されて光磁気記録媒体
が加熱されたときに、中間層における高温領域（１６０
℃以上）では磁化が消失している。図１３に、再生光が
照射される前の光磁気記録媒体の記録層５、中間層４及
び再生層３のそれぞれの磁区の状態を示した。各層のそ
れぞれの磁区の大きさは、ディスク進行方向において全
て同じものとする。図１３中、太い矢印（白抜き矢印）
は、それぞれの層の全体の（合成）磁化を示し、太い矢
印の内部に記載された細い矢印は、遷移金属（ＦｅやＣ
ｏ）の磁気スピンを示している。このタイプの光磁気記
録媒体においては、再生時に、再生光を照射して再生温
度付近（例えば、１２０℃〜２００℃）に加熱したと
き、図１３に示したように、再生層３はＲＥリッチであ
り、中間層４と記録層５はＴＭリッチであるか（前記式
（１）を満足）、あるいは、再生層３及び中間層４がは
ＲＥリッチであり、記録層５がＴＭリッチである（前記
式（２）を満足）。 [ Second Type Magneto-Optical Recording Medium] The operation principle of the second type magneto-optical recording medium is shown in the drawings.
Will be described below. This type of magneto-optical recording medium
The recording layer, the intermediate layer, and the reproducing layer of the all show perpendicular magnetization.
It is formed using a rare earth-transition metal alloy. Middle class
Curie temperature below 160 ℃ , compensation temperature below room temperature
Have. Therefore, the reproducing light is irradiated to the magneto-optical recording medium.
When heated to a high temperature region (160
The magnetization disappears at temperatures above ℃. In Fig. 13, the reproduction light
The recording layer 5, the intermediate layer 4 and the magneto-optical recording medium before being irradiated
And the state of each magnetic domain of the reproducing layer 3 is shown. Each layer
The size of each magnetic domain is
The same. In Fig. 13, a thick arrow (white arrow)
Indicates the overall (composite) magnetization of each layer, with a thick arrow
The thin arrow inside the mark indicates a transition metal (Fe or C
The magnetic spin of o) is shown. This type of magneto-optical writing
When recording, the recording medium is irradiated with reproduction light to reproduce the temperature.
When heated to near (for example, 120 ℃ ~ 200 ℃)
As shown in FIG. 13, the reproducing layer 3 is RE rich.
Therefore, is the intermediate layer 4 and the recording layer 5 rich in TM (see the above formula)
(1) is satisfied), or the reproduction layer 3 and the intermediate layer 4 are
RE rich, and the recording layer 5 is TM rich (the above
Expression (2) is satisfied).

【００４０】記録層５、中間層４及び再生層３のそれぞ
れの遷移金属同士は、室温において数１０ｋＯｅ以上の
強い結合力で結合しているために、図１３に示すよう
に、記録層５、中間層４及び再生層３の遷移金属の同じ
縦列の磁区では、磁気スピンを示す細い矢印は全て同じ
方向を向いている。中間層４及び記録層５はＴＭリッチ
であるため、同じ縦列の磁区では、それらの全体の磁化
は遷移金属のスピンと同じ方向を向いている。一方、再
生層３はＲＥリッチであるため、全体の磁化は遷移金属
のスピンと逆方向を向いている。すなわち、再生層３に
おける磁区の全体の磁化は、その下方の中間層４及び記
録層５の磁区の全体の磁化と互いに反対を向いており、
記録層５の磁区が再生層３に逆向きで転写されている。
ここで、再生層３及び中間層４のそれぞれの磁区を、例
えば、図１３の右側に示したように概念的に磁石３ａ及
び４ｂとみなせば、再生層３と中間層４の全体磁化が互
いに逆向きの状態は、磁石３ａ及び４ａの同じ極同士が
近接している状態と同様であり、静磁気的には極めて不
安定な状態である。すなわち、中間層４と再生層３との
間で働く静磁エネルギー反発力のために不安定な状態と
なっている。しかしながら、再生層３及び中間層４の遷
移金属のスピン同士の交換結合力の方が、静磁エネルギ
ー反発力よりも強いために、図１３に示したような、再
生層３及び中間 層４の全体の磁化が互いに反対を向いた
状態が持続されている。 Each of the recording layer 5, the intermediate layer 4 and the reproducing layer 3
These transition metals have tens of kOe or more at room temperature.
As shown in Fig. 13, due to the strong binding force.
In addition, the same transition metal of the recording layer 5, the intermediate layer 4 and the reproducing layer 3 is used.
In the magnetic domains in the column, all thin arrows indicating magnetic spin are the same.
Facing the direction. The intermediate layer 4 and the recording layer 5 are TM rich
Therefore, in the same column domain, their overall magnetization
Is in the same direction as the spin of the transition metal. Meanwhile, re
Since the green layer 3 is RE-rich, the overall magnetization is a transition metal.
Facing the opposite direction from the spin. That is, in the reproduction layer 3
The overall magnetization of the magnetic domain in the
The magnetizations of the magnetic domains of the recording layer 5 are opposite to each other,
The magnetic domains of the recording layer 5 are transferred to the reproducing layer 3 in the opposite direction.
Here, the respective magnetic domains of the reproducing layer 3 and the intermediate layer 4 are taken as an example.
For example, as shown on the right side of FIG.
And 4b, the reproducing layer 3 and the intermediate layer 4 have the same overall magnetization.
In the opposite state, if the same poles of the magnets 3a and 4a are
It is similar to the state of being close to each other, and it is extremely magnetostatically extremely
It is in a stable state. That is, between the intermediate layer 4 and the reproduction layer 3
Instability due to repulsive magnetostatic energy
Has become. However, the transition of the reproduction layer 3 and the middle layer 4
The exchange coupling force between the spins of the metal transfer is the magnetostatic energy.
-Because it is stronger than the repulsive force,
The overall magnetizations of the green layer 3 and the intermediate layer 4 are opposite to each other.
The condition is persistent.

【００４１】情報を再生するために、図１４（ａ）に示
すように、光磁気記録媒体に再生レーザー光を対物レン
ズで集光させて照射して再生層３上に光スポットＳを形
成すると、レーザー光の光強度分布に従って光スポット
Ｓ内に温度分布が生じ、特に光スポットＳの中央付近の
温度が高くなる。このとき、中間層４のキュリー温度以
上に加熱された領域１１（以下、再生温度領域という）
では磁化が消失し、中間層の再生温度領域１１の上下に
それぞれ位置する記録層５の磁区１５と再生層３の磁区
１３との間の磁気的結合（交換結合）が失われる。この
ように、中間層４は、レーザー光照射による加熱によっ
て記録層５と再生層３との交換結合力を遮断することか
ら、この中間層のことを交換結合力遮断層とも呼ぶこと
ができる。 To reproduce the information, shown in FIG. 14 (a).
The reproducing laser beam onto the magneto-optical recording medium.
And irradiate it to form a light spot S on the reproducing layer 3.
When formed, a light spot follows the light intensity distribution of the laser light.
A temperature distribution occurs in S, especially near the center of the light spot S.
The temperature rises. At this time, the Curie temperature of the intermediate layer 4
Area 11 heated above (hereinafter referred to as regeneration temperature area)
Then, the magnetization disappears, and
The magnetic domain 15 of the recording layer 5 and the magnetic domain of the reproducing layer 3 respectively located
The magnetic coupling (exchange coupling) with 13 is lost. this
As described above, the intermediate layer 4 is heated by irradiation with laser light.
To block the exchange coupling force between the recording layer 5 and the reproducing layer 3.
This intermediate layer is also called an exchange coupling force blocking layer.
You can

【００４２】ここで、図１４（ａ）に示すように、再生
レーザー光照射による加熱で中間層４の再生温度領域１
１の磁化が消失している部分と隣接している再生層３の
磁区２３とその下方の中間層４の磁区２５について考え
る。この状況では、再生層３の再生温度領域に存在する
磁区１３は、記録層５の記録磁区１５との交換結合力も
失っている。このとき再生層３の光スポット内の転写磁
区２３は、図１４（ｂ）に示すように拡大する場合、あ
るいは図１４（ｃ）に示すように縮小する場合のいずれ
かになると考えられる。 Here, as shown in FIG. 14A, reproduction is performed.
Regeneration temperature region 1 of the intermediate layer 4 by heating by laser light irradiation
Of the reproducing layer 3 adjacent to the part where the magnetization of 1 disappears.
Consider the magnetic domain 23 and the magnetic domain 25 of the intermediate layer 4 thereunder.
It In this situation, it exists in the regeneration temperature region of the regeneration layer 3.
The magnetic domain 13 also has an exchange coupling force with the recording magnetic domain 15 of the recording layer 5.
I have lost. At this time, the transfer magnet in the light spot of the reproducing layer 3
When the ward 23 is enlarged as shown in FIG.
In either case, the size is reduced as shown in FIG. 14 (c).
I think it will happen.

【００４３】ここで、図１５（ａ）に示すように、再生
レーザー光が照射されたときに再生層３の磁区２３の磁
壁２６が移動せずに、そのままの状態になっていると仮
定し、そのとき、再生層３下面に働いている静磁エネル
ギー反発力と交換エネルギー引力（交換結合力）との関
係を図１５（ｂ）に示した。図１５（ａ）に示すよう
に、再生光スポット内の右側の部分は、まだ温度が低い
状態で、再生層３に、大きな交換エネルギー引力と比較
的大きな静磁エネルギー反発力が働いている。交換エネ
ルギー引力は、再生層３の遷移金属と中間層４の遷移金
属との交換結合エネルギーに基づいて発生する引力であ
り、遷移金属同士は強い結合力を示すため に、低温領域
においては極めて大きな値を示し、静磁エネルギー反発
力を上回っている。そして、低温領域から再生温度領域
に近づくに従って交換エネルギー引力は急激に減少し、
再生温度領域においてゼロとなる。これは、再生温度領
域で中間層４の磁化が消失して、交換結合力がなくなる
ためである。一方、静磁エネルギー反発力は、互いに逆
向きの、中間層の全体の磁化と再生層の全体の磁化との
間で働く静磁気的なエネルギーに基づく反発力である。
中間層４の領域４Ａでは静磁反発力が交換結合力を上回
っている。静磁エネルギー反発力は、図１５（ｂ）に示
すように、低温領域から再生温度領域に近づくに従って
中間層４の磁化が小さくなるために減少している。しか
しながら、静磁エネルギー反発力は、再生温度領域にお
いてもゼロとはならず、所定の値を有している。すなわ
ち、再生温度領域の再生層の磁区２７には、静磁エネル
ギー反発力が働いている。これは、図１５（ａ）に示す
ように、再生温度領域の再生層の磁区２７の磁化が、再
生温度領域の記録層の磁区２８の磁化と反対向きで、そ
れら磁区の間で反発力が働いているためである。この場
合、図１６（ａ）に示すように、まず再生層３の磁区２
３の左側の磁区２３’において、静磁エネルギー反発力
が交換エネルギー引力を上回るため、磁区２３’が反転
する。この拡大再生層の最小磁区径は記録磁区の最小磁
区径よりも大きく、光スポット径と同程度になるよう磁
気特性を調整（８０μｅｍｕ／ｃｍ ^２ ＜再生層の飽和磁
化×膜厚＜２２０μｅｍｕ／ｃｍ ^２ ）してあるため、図
１６（ｂ）の磁区２３Ａのように拡大再生層の磁区はほ
ぼ光スポット径になるまで拡大する。このとき、図１６
（ｂ）に示すように、再生層の拡大した磁区２３Ａの磁
化が記録層の磁区２８の磁化と同方向を向くので静磁エ
ネルギー反発力は更に減少する。すなわち、図１４
（ａ）に示した拡大再生層３の光スポット内の再生温度
領域の転写磁区２３は、図１４（ｂ）に示すように拡大
することになる。これは、拡大再生層３の磁化が比較的
小さい場合、最小磁区径の大きさにより、小さな磁区を
維持することができないという磁気的な性質に起因して
いる。このような磁区拡大を利用した場合、再生層から
は、大きな再生信号を検出することができる。更にディ
スクが矢印方向に進んで図１６（ｂ）の記録磁区２５が
光スポット内の高温部に移動した場合を図１９に示し
た。この場合、記録磁区２５から拡大再生層３に漏洩磁
界が及んでいるが、前述したように 拡大再生層３には転
写可能な最小磁区径が存在するため、これより小さな磁
区は転写することができない。すなわち、高温部分の記
録層５の状態（記録磁区２５）は拡大再生層３に転写さ
れることはない。 Here, as shown in FIG.
When the laser light is irradiated, the magnetic field of the magnetic domain 23 of the reproducing layer 3 is
If the wall 26 does not move and remains as it is,
The magnetostatic energy acting on the lower surface of the reproducing layer 3 at that time.
The relationship between Gee repulsive force and exchange energy attractive force (exchange coupling force)
The contact is shown in FIG. As shown in FIG.
The temperature on the right side of the playback light spot is still low.
Compared with a large exchange energy attractive force on the regeneration layer 3 in the state
Large repulsive force of magnetostatic energy is working. Exchange energy
The rugie attraction is the transition metal of the regeneration layer 3 and the transition metal of the intermediate layer 4.
It is an attractive force generated based on the exchange coupling energy with the genus.
In addition, the transition metals show strong bonding force with each other ,
Shows an extremely large value, and repulsion of magnetostatic energy
Outweighs the power. And from the low temperature range to the regeneration temperature range
The exchange energy attractive force decreases sharply as
It becomes zero in the regeneration temperature range. This is the regeneration temperature range
In the region, the magnetization of the intermediate layer 4 disappears and the exchange coupling force disappears.
This is because. On the other hand, the repulsive force of magnetostatic energy is opposite to each other.
Of the total magnetization of the intermediate layer and the total magnetization of the reproducing layer
It is the repulsive force based on the magnetostatic energy that works between them.
In the region 4A of the mid layer 4, the magnetostatic repulsive force exceeds the exchange coupling force.
ing. The repulsive force of magnetostatic energy is shown in Fig. 15 (b).
As you approach the regeneration temperature range from the low temperature range,
It decreases because the magnetization of the intermediate layer 4 becomes smaller. Only
However, the repulsive force of magnetostatic energy falls within the regeneration temperature range.
However, it does not become zero and has a predetermined value. Sanawa
Then, the magnetic domain 27 of the reproducing layer in the reproducing temperature region has a magnetostatic energy.
Ghee repulsion is working. This is shown in Figure 15 (a).
As described above, the magnetization of the magnetic domain 27 of the reproducing layer in the reproducing temperature region is
In the direction opposite to the magnetization of the magnetic domain 28 of the recording layer in the raw temperature region,
This is because the repulsive force works between these magnetic domains. This place
16A, first, as shown in FIG.
In the magnetic domain 23 'on the left side of 3, magnetostatic energy repulsive force
Exceeds the exchange energy attractive force, so the magnetic domain 23 'reverses
To do. The minimum magnetic domain diameter of this magnified reproducing layer is the minimum magnetic domain of the recording magnetic domain.
It is larger than the zone diameter and is magnetized to be about the same as the light spot diameter.
Adjust the gas characteristics (80 μemu / cm ² <saturation magnetic field of the reproducing layer
X film thickness <220 μemu / cm ² )
Like the magnetic domain 23A of 16 (b), the magnetic domain of the expansion reproducing layer is almost
Enlarge until it reaches the light spot diameter. At this time, FIG.
As shown in (b), the magnetic domain
The magnetic field is oriented in the same direction as the magnetization of the magnetic domain 28 of the recording layer.
Energy repulsion is further reduced. That is, FIG.
Reproduction temperature in the light spot of the enlarged reproduction layer 3 shown in (a)
The transfer magnetic domain 23 in the area is enlarged as shown in FIG.
Will be done. This is because the magnetization of the expansion reproducing layer 3 is relatively
If it is small, a small magnetic domain can be
Due to the magnetic nature of being unable to maintain
There is. When such magnetic domain expansion is used,
Can detect a large reproduced signal. Further Di
The disk moves in the direction of the arrow and the recording magnetic domain 25 in FIG.
Figure 19 shows the case of moving to a high temperature part in the light spot.
It was In this case, the leakage magnetic field from the recording magnetic domain 25 to the expansion reproducing layer 3
Field is span but, rolling the enlarged reproduction layer 3 as described above
Since there is a minimum domain size that can be copied, magnets smaller than this
Wards cannot be transcribed. That is, the high temperature part
The state of the recording layer 5 (recording magnetic domain 25) is transferred to the magnifying reproducing layer 3.
It will not be done.

【００４４】図１４（ｃ）に示すように、再生層の転写
磁区が縮小する場合は、再生層内で静磁エネルギーが上
昇するためにエネルギー的に不安定に状態なる。したが
って、図１４（ｃ）に示すような磁区２３の縮小は起こ
らないと考えられる。 As shown in FIG . 14C, transfer of the reproduction layer
If the magnetic domain shrinks, the magnetostatic energy in the reproducing layer will increase.
Ascending, it becomes energetically unstable. But
Therefore, the magnetic domain 23 shrinks as shown in FIG.
It is considered not to be.

【００４５】このような再生層における磁区拡大を、よ
り良好に行うには、中間層が、大きな垂直磁気異方性エ
ネルギー（Ｋｕ）を有し、キュリー温度付近まで垂直磁
化膜であることが好ましい。ここで中間層のＫｕが小さ
い場合の例を図１７（ａ），（ｂ）に示した。中間層４
のＫｕが小さい場合、中間層４のキュリー温度付近の磁
区５９は、再生層３からの静磁エネルギー反発力のため
に面内方向を向くことになる。したがって、再生層３の
磁区拡大は、図１７（ｂ）に示すように、中間層４のキ
ュリー温度以上の非磁性領域（（Ｔｃ≦Ｔ）の直上の再
生層領域２３Ｂにおいて起こるため、拡大率が小さい。
また、この場合、再生層と中間層の結合の切れる場所が
曖昧になりジッター量を増やす恐れがある。それゆえ、
中間層４は、大きな垂直磁気異方性を有することが好ま
しい。しかしながら、キュリー温度が１５０度近傍で最
も大きなＫｕを有するＴｂＦｅ合金を中間層に使用して
実験した場合、交換エネルギー引力の温度勾配が急峻に
なりすぎるために、図１６（ａ）に示した静磁エネルギ
ー反発力による磁区拡大の芽がふぞろいになる場合があ
った。実験結果からすると、中間層のＫｕは０．４ｅｒ
ｇ／ｃｍ ^３ 〜１ｅｒｇ／ｃｍ ^３ が好ましいことがわかっ
た。実験結果からすると、特にエラーレートを低下させ
るためには、最適な中間層は、ＴｂＧｄＦｅ合金を使用
したときで、Ｔｂに対するＧｄの原子比が５分の１以下
の場合であった。なお、ＴｂＦｅＣｏ合金に非磁性金属
等を添加してＫｕを減少させ、Ｋｕの値を上記範囲内に
することによっても比較的良好な記録再生結果が得られ
る。 The magnetic domain expansion in the reproducing layer is
For better performance, the intermediate layer should have a large perpendicular magnetic anisotropy.
It has energy (Ku) and perpendicular magnetism near the Curie temperature.
It is preferably a chemical film. Ku of the middle layer is small here
An example in the case of no is shown in FIGS. 17 (a) and 17 (b). Middle layer 4
When Ku is small, the magnetic field near the Curie temperature of the intermediate layer 4
Area 59 is due to the repulsive force of magnetostatic energy from the reproducing layer 3.
To face in-plane. Therefore, the reproduction layer 3
As shown in FIG. 17 (b), the magnetic domain expansion is performed by the key of the intermediate layer 4.
Of the nonmagnetic region above the Curie temperature ((Tc ≦ T))
Since it occurs in the raw layer region 23B, the enlargement ratio is small.
Moreover, in this case, the place where the bond between the reproduction layer and the intermediate layer is broken
There is a risk of becoming vague and increasing the amount of jitter. therefore,
The intermediate layer 4 preferably has a large perpendicular magnetic anisotropy.
Good However, when the Curie temperature is around 150 degrees,
Using a TbFe alloy with a large Ku for the intermediate layer
In the experiment, the temperature gradient of the exchange energy attraction becomes steep.
16A, the magnetostatic energy shown in FIG.
-Repulsive force may cause buds of magnetic domain expansion to become uneven.
It was. From the experimental results, the Ku of the intermediate layer is 0.4er.
It was found that g / cm ^{3 to 1} erg / cm ³ is preferable.
It was From the experimental results, especially the error rate is reduced
In order to use the optimal intermediate layer, use TbGdFe alloy
The atomic ratio of Gd to Tb is less than 1/5
Was the case. Note that the TbFeCo alloy is a non-magnetic metal.
And so on to reduce Ku and keep the value of Ku within the above range.
By doing so, relatively good recording and reproducing results can be obtained.
It

【００４６】ここで、第２のタイプの光磁気記録媒体に
おいて磁区拡大再生したときに、Ｄ ＷＤＤやＣＡＲＥＤ
において発生していたゴースト信号が防止される理由に
ついて図を用いて以下に説明する。 Here, in the second type of magneto-optical recording medium,
When the magnetic domain is expanded and played back, D WDD or CARED
The reason why the ghost signal generated in
This will be described below with reference to the drawings.

【００４７】図１８（ａ）には、光スポットで媒体を走
査したときに、光スポット内に存在する記録層５の記録
磁区２５が、キュリー温度以下に冷却されて再び磁化を
取り戻した中間層４に転写されて再転写磁区３１が生成
された様子を示している。このとき中間層の再転写磁区
３１の高温側、すなわち右側の領域３１Ａでは静磁エネ
ルギー反発力が強いために、中間層の再転写磁区３１と
再生層の磁区は交換結合できない。また、再転写磁区３
１の左側の領域３１Ｂでは、再転写磁区３１と再生層の
磁区は交換結合できる状態であるが、転写磁区サイズが
小さすぎて転写できない。したがって、転写磁区が現れ
ないからゴースト信号も現れない。更に、図１８（ｂ）
に示すように、図１８（ａ）に示した状態からディスク
がさらに回転移動した場合（記録磁区２５が光スポット
から離れた場合）、再転写磁区３１の左側の交換結合し
ようとしている部分の面積が増えるために、再生層に転
写磁区２３が現れる。しかしながら、再生層の転写磁区
２３の右側の磁区５５（光スポット側の磁区）は、中間
層４との界面３１Ａにおいて静磁エネルギー反発力が優
勢であるために反転することができず、したがって、ゴ
ースト信号も発生しない。 In FIG . 18A, the medium is driven by a light spot.
Recording of the recording layer 5 existing in the light spot when examined
The magnetic domain 25 is cooled to below the Curie temperature and remagnetized.
The retransferred magnetic domain 31 is generated by being transferred to the intermediate layer 4 which has been regained.
It shows how it was done. At this time, the retransfer magnetic domain of the intermediate layer
In the region 31A on the high temperature side of 31, that is, on the right side, magnetostatic energy is used.
Due to the strong Rugie repulsion, the retransfer magnetic domain 31 of the intermediate layer
The magnetic domains in the reproducing layer cannot be exchange-coupled. In addition, retransfer magnetic domain 3
In the region 31B on the left side of 1, the retransfer magnetic domain 31 and the reproducing layer are
The magnetic domains can be exchange-coupled, but the size of the transferred magnetic domain is
It is too small to transfer. Therefore, the transfer magnetic domain appears
Since there is no ghost signal, it does not appear. Further, FIG. 18 (b)
As shown in FIG. 18, from the state shown in FIG.
Is further rotated (the recording magnetic domain 25 is a light spot)
Away from each other), exchange coupling on the left side of the retransfer magnetic domain 31
Since the area of the part to be
The magnetic domain 23 appears. However, the transfer domain of the reproducing layer
The magnetic domain 55 on the right side of 23 (the magnetic domain on the light spot side) is the middle
The magnetostatic energy repulsive force is excellent at the interface 31A with the layer 4.
It cannot be reversed because it is
It does not generate the fastest signal.

【００４８】ＤＷＤＤでは、再生層、中間層、記録層の
磁化を極めて小さく設計しているため、本発明のように
再生層と中間層の静磁エネルギー反発力は作用せず、容
易に再生層に磁区が再転写する。したがって、再転写磁
区の高温側磁壁は温度勾配に沿って移動してゴースト信
号を発生させる。また、ＣＡＲＥＤでは２０００年日本
応用磁気学会学術講演会で中間層の最適化した結果とし
て、中間層にはＫｕの小さなＧｄＦｅＣｒが良く、Ｔｂ
ＦｅＣｏＳｉでは特性が良くならないことを報告してい
る。しかしながら、本発明では、ＴｂＧｄＦｅを中間層
に用いてゴースト信号が出現しないという結果が得られ
た。これは、中間層の非磁性領域が高温部から再び低温
部に復活する場合、ＧｄＦｅＣｒのＫｕがわずか２×１
０ ^５ ｅｒｇ／ｃｍ ^３ 程度しかないために、再生層の静磁
エネルギー反発力および交換エネ ルギー引力に反目しな
いよう面内方向を向いてそれらの力を減少させている。
したがって、記録層の磁区は再生層に交換エネルギー引
力で容易に転写し、ゴースト信号を発生させることとな
る。しかし、後述する実施例８において使用したＴｂＧ
ｄＦｅのＫｕは７×１０ ^５ ｅｒｇ／ｃｍ ^３ と大きいため
に、中間層から再生層への再転写を容易に許さないため
にゴースト信号は現れていないと考えられる。また、光
磁気ディスクに膜面側から光を入射させて磁気光学カー
効果を調べると、中間層にＧｄＦｅＣｒを用いた光磁気
ディスクの場合には、カーヒステリシスループは左右ど
ちらかにシフトして、しかも垂直磁化膜特有な急激な遷
移を示さない。しかし、中間層にＴｂＧｄＦｅを用いた
光磁気ディスクの場合には、外部磁界に対しシフトした
部分で急峻な遷移を示す。したがって、中間層のＫｕに
よる影響を調べる方法として上記方法を使うことができ
る。 In DWDD, the reproduction layer, the intermediate layer, and the recording layer are
Since the magnetization is designed to be extremely small,
The repulsive force of the magnetostatic energy of the reproducing layer and the intermediate layer does not act,
The magnetic domains are easily retransferred to the reproducing layer. Therefore, the retransfer magnetism
The domain wall on the high temperature side moves along the temperature gradient and the ghost signal is transmitted.
Issue. In addition, in 2000, Japan
As a result of optimization of the intermediate layer
For the intermediate layer, GdFeCr with a small Ku is good, and Tb is
It has been reported that FeCoSi does not improve the characteristics.
It However, in the present invention, TbGdFe is used as an intermediate layer.
The result is that the ghost signal does not appear.
It was This is because the non-magnetic region of the intermediate layer is cooled again from the high temperature part to the low temperature part.
When returning to the club, Ku of GdFeCr is only 2 × 1
Since there is only about 0 ⁵ erg / cm ³ , the magnetostatic property of the reproducing layer
Do feuding in energy repulsive force and exchange energy attraction
It is directed in the in-plane direction to reduce those forces.
Therefore, the magnetic domain of the recording layer is attracted to the reproducing layer by the exchange energy.
It can be easily transferred by force to generate a ghost signal.
It However, the TbG used in Example 8 described later
Ku of dFe is as large as 7 × 10 ⁵ erg / cm ³
In addition, it is not easy to allow retransfer from the intermediate layer to the reproducing layer.
It is considered that there is no ghost signal appearing at. Also light
Light is incident on the magnetic disk from the film surface side, and
When the effect is investigated, the magneto-optical property using GdFeCr for the intermediate layer
In the case of a disc, the Kerr hysteresis loop is
A slight shift that is unique to the perpendicular magnetization film
Show no transfer. However, TbGdFe was used for the intermediate layer.
In the case of magneto-optical disk, it was shifted with respect to the external magnetic field
The part shows a sharp transition. Therefore, in Ku of the middle layer
The above method can be used as a method to investigate the effect of
It

【００４９】上記第２のタイプの光磁気記録媒体では、
前述の式（１）に従って中間層４にＴＭリッチな希土類
遷移金属を用いた例を説明した。しかし、静磁気的な反
発力は拡大再生層３と記録層５の間に成り立っていても
よく、すなわち、前述の式（２）に従って中間層はＲＥ
リッチであってもよい。図４７には、再生温度近傍（１
２０℃〜１６０℃）で中間層がＲＥリッチな状態を示し
た。この場合、光スポットに記録磁区５Ａが近づいた状
態では交換結合力によって拡大再生層３、中間層４及び
記録層５の遷移金属のスピンは同一方向（上向き）を向
いており、中間層４の磁区４Ａと記録層５の磁区５Ａと
の間で静磁気的な反発力が生じていることがわかる。更
にディスクが回転して光スポットに近づくと、図４８に
示すように、磁区４Ａに隣接する磁区４Ｂでは、その直
下の磁区５Ｂとの交換結合力が衰弱してそれらの磁区間
での静磁気的な反発力が交換結合力よりも勝るので、中
間層の磁区４Ｂが反転する。これをきっかけとして磁区
４Ｂと交換結合力によって転写されていた拡大再生層の
磁区３Ｂもまた反転する。磁区３Ｂの反転は、磁区３Ａ
の拡大開始に相当する。磁区３Ａはこの後さらに最小磁
区径までの拡大することになる。このように、静磁気的
な反発力が拡大再生層３と記録層５の間に存在する場
合、すなわち、前述の式（２）が成立する場合であって
も本発明の磁区拡大再生の効果が得られる。なお、前述
の式（２）は、上記の第１のタイプの光 磁気記録媒体で
も後述する第３のタイプの光磁気記録媒体にも適用可能
である。 In the second type of magneto-optical recording medium,
TM rich rare earth in the intermediate layer 4 in accordance with the above formula (1)
An example using a transition metal has been described. But magnetostatic
Even if the force is generated between the expansion reproducing layer 3 and the recording layer 5,
Well, that is, the intermediate layer is RE according to equation (2) above.
It may be rich. In FIG. 47, near the regeneration temperature (1
20 ° C to 160 ° C) shows the RE rich state of the intermediate layer
It was In this case, the recording magnetic domain 5A is approaching the light spot.
In the state, due to the exchange coupling force, the expansion reproducing layer 3, the intermediate layer 4 and
The spins of the transition metal in the recording layer 5 are oriented in the same direction (upward).
The magnetic domain 4A of the intermediate layer 4 and the magnetic domain 5A of the recording layer 5.
It can be seen that a magnetostatic repulsive force is generated between. Change
When the disc rotates and approaches the light spot,
As shown in the magnetic domain 4B adjacent to the magnetic domain 4A,
The exchange coupling force with the lower magnetic domain 5B weakens and those magnetic domains
Since the magnetostatic repulsive force at is superior to the exchange coupling force,
The magnetic domain 4B in the interlayer is reversed. The magnetic domain
4B and the magnified reproduction layer that was transferred by exchange coupling force
The magnetic domain 3B is also inverted. Inversion of magnetic domain 3B
Corresponds to the start of expansion. The magnetic domain 3A is the minimum magnetic after this
It will be expanded to the ward diameter. Thus, magnetostatic
If a strong repulsive force exists between the expansion reproducing layer 3 and the recording layer 5,
In other words, if the above equation (2) holds,
Also, the effect of magnetic domain expansion reproduction of the present invention can be obtained. In addition, the above
Equation (2) in the above is the magneto- optical recording medium of the first type described above.
Can also be applied to the third type magneto-optical recording medium described later.
Is.

【００５０】［第３のタイプの光磁気記録媒体］ 第３のタイプの光磁気記録媒体は、中間層と記録層の界
面または中間層と拡大再生層の界面に中間層を構成する
物質とは異なる物質を介在させて有する。この物質は、
それらの界面における中間層のキュリー温度を低下させ
るか、あるいはその物質自体のキュリー温度が中間層の
キュリー温度よりも低い。そのような物質を中間層の表
面または中間層と記録層若しくは拡大再生層との界面に
有することにより記録層と拡大再生層の交換結合力が再
生温度にて遮断される。そのような物質を導入するに
は、中間層またはその界面をスパッタリング、イオンエ
ッチングまたは加熱処理すればよい。あるいは、記録層
と中間層の界面または拡大再生層と中間層の界面にキュ
リー温度の低い物質、例えば希土類元素またはニッケル
からなる層を気相法などで堆積してもよい。 [ Third Type Magneto-Optical Recording Medium] The third type magneto-optical recording medium is composed of an intermediate layer and a recording layer.
Constructing an intermediate layer at the interface between the surface or intermediate layer and the magnified reproduction layer
A substance different from the substance is interposed. This substance is
Lowering the Curie temperature of the intermediate layer at their interface
Or the Curie temperature of the material itself is
Lower than Curie temperature. The surface of the intermediate layer
On the interface between the surface or the intermediate layer and the recording layer or the magnifying and reproducing layer.
By having this, the exchange coupling force between the recording layer and the magnifying / reproducing layer is restored.
Shut off at raw temperature. To introduce such substances
Sputters the intermediate layer or its interface,
Etching or heat treatment may be performed. Or recording layer
And the intermediate layer or the interface between the magnified reproduction layer and the intermediate layer.
Substances with low Lee temperatures, such as rare earth elements or nickel
May be deposited by a vapor phase method or the like.

【００５１】第３のタイプの光磁気記録媒体では、中間
層４は、再生温度以上において磁化が残っていても良
い。すなわち、中間層４の材料としてそのキュリー温度
が再生温度、特に１６０℃以上であってもよい。従っ
て、第３のタイプの光磁気記録媒体では、第１のタイプ
の光磁気記録媒体と同様に中間層のキュリー温度は拡大
再生層のキュリー温度よりも高く設定してもよい。 In the third type of magneto-optical recording medium, the intermediate
The layer 4 may remain magnetized above the reproduction temperature.
Yes. That is, the Curie temperature as the material of the intermediate layer 4
May be a regeneration temperature, especially 160 ° C. or higher. Obey
In the third type of magneto-optical recording medium, the first type
The Curie temperature of the intermediate layer is expanded as in the magneto-optical recording media of
It may be set higher than the Curie temperature of the reproducing layer.

【００５２】第１〜第３のタイプの光磁気記録媒体にお
いて、再生層に転写された磁区を、より一層容易に拡大
させるためには、再生層の磁化をある程度小さくするこ
とが望ましく、例えば再生層の飽和磁化が、１２０℃の
温度で８０ｅｍｕ／ｃｍ ^３ 以下であることが好ましい。
更に、ゴースト信号の発生を防止するために、再生層の
飽和磁化は、１２０℃近傍で４０ｅｍｕ／ｃｍ ^３ 以上で
あることが好ましい。 For the first to third types of magneto-optical recording media
The magnetic domain transferred to the reproducing layer more easily.
To achieve this, the magnetization of the reproducing layer must be reduced to some extent.
Is desirable, for example, the saturation magnetization of the reproducing layer is 120 ° C.
The temperature is preferably 80 emu / cm ³ or less.
Furthermore, in order to prevent the generation of ghost signals,
The saturation magnetization is 40 emu / cm ³ or more at around 120 ° C.
Preferably there is.

【００５３】第１〜第３のタイプの光磁気記録媒体にお
いて、図１５（ｂ）に示すような交換エネルギー引力
（交換結合力）が再生温度領域と低温領域との境界で急
激に減少するように設計することが好ましい。これによ
り、再生層に転写された微小磁 区の光スポット中心側の
磁壁が光スポット中心側に向かうことにより、再生層に
転写された微小磁区が拡大しても、微小磁区の光スポッ
ト中心と反対側の磁壁は動かずに固定されている（図６
の前側エッジ３ＡＦ及び後側エッジ３ＡＲ参照）ので、
より安定な拡大再生が可能になる。図１５（ｂ）に示す
交換エネルギー引力曲線の傾きを再生温度領域と低温領
域との境界において急峻にするためには、例えば、中間
層の室温での垂直磁気異方性エネルギーを０．４×１０
^６ ｅｒｇ／ｃｍ ^３ 以上にすればよい。 For the first to third types of magneto-optical recording media
And the exchange energy attractive force as shown in FIG.
The (exchange coupling force) is sharp at the boundary between the regeneration temperature region and the low temperature region.
It is preferable to design it so as to drastically reduce it. By this
Ri, the micro-magnetic Ward transferred to the reproducing layer of the optical spot center side
As the domain wall moves toward the center of the light spot,
Even if the transferred micro-domains expand, the optical spots of the micro-domains
The domain wall on the side opposite to the center is fixed and does not move (Fig. 6).
(See front edge 3AF and rear edge 3AR) of
More stable expansion playback is possible. As shown in FIG.
The slope of the exchange energy attractive force curve is defined as the regeneration temperature region and the low temperature region.
To make it steep at the boundary with the area, for example, in the middle
The perpendicular magnetic anisotropy energy of the layer at room temperature is 0.4 × 10
^It may be ⁶ erg / cm ³ or more.

【００５４】本発明において、特に第２のタイプの光磁
気記録媒体において、中間層の磁化は、ある程度大きい
ことが好ましく、１００℃付近での飽和磁化を５０ｅｍ
ｕ／ｃｍ ^３ 以上にすることが好ましい。これにより、再
生層の転写磁区を容易に拡大させるための適当な静磁エ
ネルギー反発力が得られ、また、ＤＷＤＤやＣＡＲＥＤ
のようなゴースト信号の発生を防止することができる。
かかる特性を有する材料としては、例えば、Ｔｂに対し
てＧｄが５分の１以下の割合で含まれるようなＴｂＧｄ
Ｆｅ合金が好ましい。若干のＧｄのかわりに非磁性金属
を添加しても良い。また、第２のタイプの光磁気記録媒
体において、中間層のキュリー温度が高すぎると、情報
を再生したときに、再生層からの磁区拡大信号が小さく
なる恐れがあるので、中間層のキュリー温度は１６０℃
以下が好ましい。 In the present invention, in particular, the second type of magneto-optical
In a magnetic recording medium, the magnetization of the intermediate layer is large to some extent
It is preferable that the saturation magnetization near 100 ° C. be 50 em.
It is preferably u / cm ³ or more. This will
Appropriate static magnetic field to easily expand the transfer magnetic domain of the green layer
Energy repulsion is obtained, and DWDD and CARED
It is possible to prevent the occurrence of such a ghost signal.
As a material having such characteristics, for example, for Tb
TbGd containing less than one fifth of Gd
Fe alloys are preferred. Non-magnetic metal instead of some Gd
May be added. The second type of magneto-optical recording medium
If the Curie temperature of the middle layer is too high in the body, information
When reproducing, the magnetic domain expansion signal from the playback layer is small.
The Curie temperature of the intermediate layer is 160 ° C.
The following are preferred.

【００５５】また、図１５（ｂ）に示すように適度な静
磁エネルギー反発力を得るためには記録層の飽和磁化が
１５０℃から２００℃の温度範囲で５０ｅｍｕ／ｃｍ ^３
以上であることが好ましい。 Moreover, as shown in FIG.
To obtain magnetic energy repulsion, the saturation magnetization of the recording layer
50 emu / cm ^{3 in} the temperature range of 150 ° C to 200 ° C
The above is preferable.

【００５６】本発明の光磁気記録媒体は、再生層が２０
℃からキュリー温度付近までの温度範囲において垂直磁
化膜であるため、再生層に再び記録層の磁区が再転写さ
れてゴースト信号が発生することを有効に防止してい
る。かかる再生層としては、ＧｄＦｅ、ＧｄＦｅＣｏな
どのＧｄＦｅ合金が最適である。 The magneto-optical recording medium of the present invention has a reproducing layer of 20.
Perpendicular magnetism in the temperature range from ℃ to near Curie temperature
The magnetic domain of the recording layer is re-transferred to the reproducing layer because it is a film.
Effectively prevents ghost signals from being generated.
It Such a reproducing layer is made of GdFe, GdFeCo, or the like.
Which GdFe alloy is most suitable.

【００５７】本発明の光磁気記録媒体の記録層は、アル
ゴンを主体とするスパッタガスを用 いて０．４Ｐａ以上
のガス圧で成膜されていることが好ましい。０．４Ｐａ
以上のガス圧で成膜された記録層は、磁性粒子が微細化
しているために、記録層に細かな反転磁区が存在できる
ようになり、微小磁区を確実に形成することが可能とな
る。 The recording layer of the magneto-optical recording medium of the present invention is
0.4Pa or more and have use a sputtering gas consisting mainly of Gon
It is preferable that the film is formed at a gas pressure of. 0.4 Pa
In the recording layer formed with the above gas pressure, the magnetic particles become finer.
Therefore, there is a possibility that a fine inversion domain exists in the recording layer.
As a result, it becomes possible to reliably form a minute magnetic domain.
It

【００５８】また、記録層に微小磁区を形成するには、
情報記録時に、記録層以外の磁性層からの漏洩磁界の影
響を低減することが好ましい。そのためには、例えば、
再生層のキュリー温度を、記録層のキュリー温度よりも
３０℃以上低くすればよい。これにより、情報記録時の
記録用レーザー光の照射による加熱で再生層の磁化が消
失または小さくなるため、記録層に漏洩磁界が印加され
ることが防止または低減される。また、記録層に微小磁
区を形成することができるようにするために、記録層
に、例えば、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ等の貴金属を主体
とする金属、あるいはＳｉＯ _２ 等の誘電体からなる粒径
２０ｎｍ以下のクラスターを、３０％以下の濃度で混入
させればよい。記録層に混入させる物質の濃度が３０％
を超えると、磁化や垂直磁気異方性エネルギーが減少し
て記録性能が落ちる恐れがあるため３０％以下であるこ
とが好ましい。かかる記録層は１５０℃付近で交流消磁
した場合に、磁区径が５０ｎｍ以下になり、１００ｎｍ
以下の磁区の記録が容易になる。 To form a minute magnetic domain in the recording layer,
When recording information, the effect of leakage magnetic fields from magnetic layers other than the recording layer
It is preferable to reduce the sound. To do this, for example,
The Curie temperature of the reproducing layer is higher than that of the recording layer.
It may be lower than 30 ° C. This allows you to
The magnetization of the reproducing layer is erased by heating with irradiation of the recording laser beam.
The leakage magnetic field is applied to the recording layer.
Are prevented or reduced. In addition, a small magnetic
Recording layer so that the ward can be formed
Mainly of noble metals such as Pt, Pd, Au, Ag
Particle size consisting of metal or dielectric such as SiO ₂
Incorporate clusters of 20 nm or less at a concentration of 30% or less
You can do it. The concentration of the substance mixed in the recording layer is 30%
, The magnetization and perpendicular magnetic anisotropy energy decrease.
Therefore, the recording performance may deteriorate, so it should be 30% or less.
And are preferred. This recording layer is demagnetized by AC at around 150 ° C.
The magnetic domain diameter becomes 50 nm or less,
Recording of the following magnetic domains becomes easy.

【００５９】また、更に細かな微小磁区を記録層に記録
するために、記録層の一部あるいは全部を、例えばＣｏ
を主体とする０．４ｎｍ以下の磁性層と、Ｐｄあるいは
Ｐｔを主体とする１．２ｎｍ以下、好ましくは０．８ｎ
ｍ以下の厚さの金属層とを５組以上４０組以下で交互に
積層した磁性多層膜を利用すると良い。かかる磁性多層
膜は、ＴｂＦｅＣｏ単層に比べて２倍以上も垂直磁気異
方性エネルギーが大きい。垂直磁気異方性エネルギーの
大きな記録層は、形成される微小磁区を長期にわたって
安定に保存することができる。また、磁性多層膜の大き
な垂直磁気異方性エネルギーは、この磁性多層膜の下地
の状態に応じて異なってくる。記録層として磁性多層膜
を用いた場合、その下地層には、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａ
ｇ等の貴金属を主体とする金属あるいはＳｉＯ _２ 等の誘
電体からなる粒径２０ｎｍ以下の クラスターが混入して
粒径２０ｎｍ以下になっている状態が好ましい。細かな
微小磁区を記録層に記録するために、記録層の一部ある
いは全部をＣｏとＰｄあるいはＰｔを主体とする局所化
合物合金から形成してもよい。あるいは、情報記録層に
接して磁区拡大用再生層の反対側にＰｔ、Ｐｄ、Ａｕ、
Ａｇ等貴金属を主体とする金属層あるいはこれにＳｉＯ
_２ 等誘電体の粒径５０ｎｍ以下のクラスターが原子量比
にして１０％以上混入している層を厚さ２０ｎｍ以上で
形成してもよい。 Further, finer minute magnetic domains are recorded in the recording layer.
In order to achieve this, part or all of the recording layer is
A magnetic layer mainly composed of 0.4 nm or less and Pd or
1.2 nm or less with Pt as a main component, preferably 0.8 n
Alternately with 5 to 40 pairs of metal layers with a thickness of m or less
It is preferable to use a laminated magnetic multilayer film. Such magnetic multilayer
The film has a perpendicular magnetic field that is more than twice that of the TbFeCo single layer.
It has a large amount of anisotropic energy. Of perpendicular magnetic anisotropy energy
The large recording layer keeps the minute magnetic domains formed over a long period of time.
It can be stored stably. Also, the size of the magnetic multilayer film
The perpendicular magnetic anisotropy energy is
It depends on the state of. Magnetic multilayer film as recording layer
When Pd, Pd, Au, A
induction of metal or SiO ₂ or the like which is mainly a noble metal, such as g
Clusters of electric particles with a particle size of 20 nm or less are mixed
A state in which the particle size is 20 nm or less is preferable. fine
There is a part of the recording layer in order to record a minute magnetic domain in the recording layer.
Or localize mainly with Co and Pd or Pt
It may be formed from a compound alloy. Or in the information recording layer
And Pt, Pd, Au, on the opposite side of the magnetic domain expansion reproducing layer
A metal layer mainly composed of a noble metal such as Ag or SiO
Particle size 50nm The following clusters of _2, such as dielectric atomic weight ratio
And a layer containing 10% or more of the layer with a thickness of 20 nm or more
You may form.

【００６０】本発明の光磁気記録媒体を用いて高分解能
な記録再生を行った場合、再生波形に以下のような特徴
が生ずる。例えば、レーザー光の波長をλ、対物レンズ
の開口数をＮＡとし、λ／ＮＡの２倍の長さを周期Ｌと
した場合、０．２（または０．１）×Ｌの長さの最密記
録磁区を最も大きな信号対雑音比（Ｃ／Ｎ）が得られる
再生パワー（Ｐｒ）において、周期Ｌで０．２（または
０．１）×Ｌの長さの孤立磁区を記録した時の再生波形
の信号強度Ａ及び半値幅Ｂに比べて、この孤立磁区をＰ
ｒの２分の１の再生パワーで再生した再生波形の信号強
度がＡの２分の１以下、半値幅がＢの２倍以上になって
いる。このような条件を満たした場合、分解能、再生信
号強度共に高密度記録再生を可能にすることができる。 High resolution using the magneto-optical recording medium of the present invention
When recording / playback is performed properly, the playback waveform has the following characteristics.
Occurs. For example, the wavelength of the laser light is λ, the objective lens
The numerical aperture of NA is NA, and the length twice λ / NA is the cycle L.
If you do, close packing with a length of 0.2 (or 0.1) x L
The largest signal-to-noise ratio (C / N) can be obtained in the recording domain
At the reproduction power (Pr), 0.2 (or
0.1) × L length reproduction waveform when recording an isolated magnetic domain
Signal strength A and half width B of
Signal strength of reproduced waveform reproduced with reproduction power of 1/2 of r
The degree is less than half of A and the half width is more than double of B
There is. If such conditions are met, the resolution and playback signal
It is possible to enable high-density recording / reproduction with both signal strength.

【００６１】以上述べてきたことは、線密度方向の密度
向上に極めて有効な方法であるが、トラック方向に密度
を詰めるには、以下の方法が有効である。例えば、基板
として、ランド部、グルーブ部両方を記録エリアとする
時、グルーブの半値幅をランドの半値幅よりも広くする
のが有利である。これは成膜によって実効的にグルーブ
幅が狭くなるためである。これにより、ランド部とグル
ーブ部での記録再生特性の差を解消することができる。
あるいは、ランドまたはグルーブのいずれか一方に情報
を記録してもよい。この場合には、情報記録する一方の
面積を他方の面積よりも少なくすることができる。 What has been described above is the density in the linear density direction.
This is an extremely effective method for improving the
The following method is effective for packing. For example, the substrate
Both the land area and the groove area are used as the recording area.
At this time, the half width of the groove is made wider than the half width of the land.
Is advantageous. This is an effective groove due to film formation
This is because the width becomes narrower. This allows the land and
It is possible to eliminate the difference in the recording / reproducing characteristics in the servo section.
Alternatively, information on either the land or the groove
May be recorded. In this case, one of the information recording
The area can be smaller than the other area.

【００６２】また、本発明の光磁気記録媒体は、ＤＷＤ
Ｄ媒体と異なり、深溝ランドグルーブ基板を用いる必要
がなく、既存の基板を用いることができる。 The magneto-optical recording medium of the present invention is a DWD.
Unlike the D medium, it is necessary to use a deep groove land groove substrate
However, the existing substrate can be used.

【００６３】本発明の光磁気記録媒体が基板側から光を
入射させて記録再生が行われる場合、用いられる基板
は、その屈折率をｎとしたときに、基板成型の容易さか
ら、ランドの側壁の高さ（またはグルーブ深さ）がλ／
（１６ｎ）〜λ／（５ｎ）であることが好ましい。光磁
気記録媒体の基板と反対側から光を入射させて記録再生
が行われる場合には、ランドの側壁の高さ（またはグル
ーブ深さ）がλ／１６〜λ／５であることが好ましい。 The magneto-optical recording medium of the present invention emits light from the substrate side.
Substrate used when recording / reproducing is performed by incident light
Is the ease of molding the substrate when its refractive index is n.
, The land sidewall height (or groove depth) is λ /
It is preferably (16n) to λ / (5n). Magneto-optical
Recording and reproduction by making light incident from the side opposite the substrate of the air recording medium
The height of the land sidewall (or
It is preferable that the groove depth) is λ / 16 to λ / 5.

【００６４】本発明においては、図２１に示すように、
光磁気記録媒体の基板上に形成されるグルーブの半値幅
Ｇ（グルーブ深さＤの２分の１の深さにおけるグルーブ
幅をいう）がランド半値幅Ｌ（グルーブ深さＤの２分の
１の深さにおけるランド幅をいう）より大きく、該グル
ーブ部に情報を記録することにより記録再生パワー感度
を向上させることができる。本発明者の実験によると、
ランド記録方式媒体とグルーブ記録方式媒体とでは、記
録再生パワー感度が異なることが分かった。基板の形状
に起因して記録再生時の熱流の挙動がランド部とグルー
ブ部で異なり、特に、ランド部では熱が逃げやすく、こ
のためパワー感度が低下すると考えられる。本発明で
は、光磁気記録媒体のグルーブ半値幅（Ｇ）とランド半
値幅（Ｌ）との比（Ｇ／Ｌ）が１．３≦（Ｇ／Ｌ）≦
４．０であることが望ましい。Ｇ／Ｌをこの範囲に維持
することにより、ビットエラーレートを低減して良好な
Ｃ／Ｎを得ることができる。また、トラッキングに必要
な十分なプッシュプル信号を確保することができる。 In the present invention, as shown in FIG.
FWHM of groove formed on substrate of magneto-optical recording medium
G (groove at a depth of 1/2 the groove depth D)
The width of the land is the half value width L of the land (half the groove depth D).
The land width at a depth of 1)
Recording / reproducing power sensitivity by recording information in the
Can be improved. According to the inventor's experiment,
The land recording method medium and the groove recording method medium are described below.
It was found that the recording and reproducing power sensitivities were different. Board shape
The behavior of the heat flow during recording and reproduction due to
It is different in the ridge part, especially heat easily escapes in the land part,
Therefore, the power sensitivity is considered to decrease. In the present invention
Is the groove half width (G) and land half of the magneto-optical recording medium.
The ratio (G / L) to the price range (L) is 1.3 ≦ (G / L) ≦
It is preferably 4.0. Maintain G / L within this range
By reducing the bit error rate,
C / N can be obtained. Also required for tracking
It is possible to secure a sufficient push-pull signal.

【００６５】上記のようなＧ／Ｌ比の場合、グルーブ・
ランドの形成されている領域の基板グルーブ深さ（Ｄ）
が３０ｎｍ〜８０ｎｍであることが望ましい。再生グル
ーブ深さをこの範囲にすると、トラッキングを安定して
行うのに十分なプッシュプル信号を確保することがで
き、また、グルーブ上で記録層等の層を必要な厚みで形
成することができる。 In the case of the above G / L ratio, the groove
Substrate groove depth in the area where the land is formed (D)
Is preferably 30 nm to 80 nm. Play glue
If the depth of the curve is in this range, tracking will be stable.
You can ensure that you have enough push-pull signals to do
Also, form the recording layer and other layers on the groove with the required thickness.
Can be made.

【００６６】ランド側壁面の傾斜角度（θ）は４０°〜
７５°であることが望ましい。傾斜 角度（θ）をこの範
囲にすると、隣接するトラックの影響による再生信号の
劣化防ぎ、また、グルーブ上で記録層等の層形成を必要
な厚みで形成することができる。 The inclination angle (θ) of the land side wall surface is 40 ° to
It is preferably 75 °. The tilt angle (θ)
When surrounded, the playback signal due to the influence of adjacent tracks
Prevents deterioration and requires layer formation such as recording layer on the groove
It can be formed with various thicknesses.

【００６７】本発明に従えば、本発明の光磁気記録媒体
に再生光を照射して上記記録層と再生層の交換結合力を
遮断する温度以上に加熱して光磁気記録媒体から情報を
再生することを特徴とする光磁気記録媒体の再生方法が
提供される。この方法を用いるとゴースト信号を生じる
ことなく、再生層に転写された磁区を確実に拡大して検
出することができるので、高Ｃ／Ｎで大きな再生信号が
得られる。この方法では、再生しようと記録磁区が再生
光の中心に到達する前に記録磁区を検出することができ
る。また、この方法では、情報再生時に、外部磁界を光
磁気記録媒体に印加する必要はない。 According to the present invention, the magneto-optical recording medium of the present invention
By irradiating a reproducing light on the recording layer, the exchange coupling force between the recording layer and the reproducing layer is increased.
Information is read from the magneto-optical recording medium by heating above the cutoff temperature.
A reproducing method of a magneto-optical recording medium characterized by reproducing
Provided. This method produces a ghost signal
The magnetic domain transferred to the reproducing layer without fail.
Since it can be output, a large reproduction signal with a high C / N
can get. This way, the recording
It is possible to detect the recording domain before it reaches the center of the light.
It Also, with this method, when reproducing information, an external magnetic field
It is not necessary to apply it to the magnetic recording medium.

【００６８】本発明に従えば、本発明の光磁気記録媒体
を磁界変調記録するための光磁気記録再生装置が提供さ
れる。 According to the present invention, the magneto-optical recording medium of the present invention
A magneto-optical recording / reproducing apparatus for magnetic field modulation recording is provided.
Be done.

【００６９】本発明の光磁気記録再生装置は、本発明の
光磁気記録媒体に、オーバーライト可能で、高線密度記
録に優れた磁界変調記録方式により情報を記録すること
ができる。記録再生装置は、光パルス磁界変調記録方式
で光磁気記録媒体に情報を記録することができる。光パ
ルス磁界変調記録の場合、パルスデュ―ティーは２５％
〜４５％で良好な微小磁区記録が遂行できている。これ
は高速な熱レスポンスを必要とするためである。本発明
の光磁気記録媒体は、再生信号のＤＣ成分変動が比較的
大きい。本発明の記録再生装置は、ＤＣ成分の変動を補
うために、差分検出、微分検出あるいは１００ｋＨｚ以
下の低域除去フィルターを用いて低域信号をカットする
ための信号処理装置を備え得る。更に、安定した磁区拡
大再生を実現するためには、磁区拡大を積極的に誘発す
るトリガーが必要となる。これは、再生光パワーを一定
値ではなく変調して照射することにより実現できる。よ
り好ましくは、基板上に基準クロックを予め埋め込んで
おいて、これよりＰＬＬ回路で精密なクロックを作製
し、記録再生の同期精度を高める装置を用いることで あ
る。トリガーを発生させる別の方法としては、再生磁界
を印加する方法や再生磁界を一定値ではなく変調して印
加することが有効である。この場合も基板に埋め込んだ
クロックピットにより記録再生の正確な同期再生を行う
ことが好ましい。 The magneto-optical recording / reproducing apparatus of the present invention is the same as that of the present invention.
High linear density recording that can be overwritten on magneto-optical recording media
Recording information by the magnetic field modulation recording method, which is excellent for recording
You can The recording / reproducing apparatus uses an optical pulse magnetic field modulation recording method.
Thus, information can be recorded on the magneto-optical recording medium. Optical power
In the case of loose magnetic field modulation recording, the pulse duty is 25%
Good magnetic domain recording can be achieved at 45%. this
Is required for high-speed thermal response. The present invention
In the magneto-optical recording medium, the DC component fluctuation of the reproduction signal is relatively
large. The recording / reproducing apparatus of the present invention compensates for fluctuations in the DC component.
In order to detect the difference, differential detection or 100 kHz or less
Cut the low-pass signal using the lower low-pass filter
A signal processing device for Furthermore, stable domain expansion
In order to achieve large reproduction, actively induce magnetic domain expansion
A trigger is required. This keeps the playback light power constant
It can be realized by modulating and irradiating instead of the value. Yo
More preferably, the reference clock is embedded in advance on the substrate.
I made a precise clock with a PLL circuit.
And, Oh By using the device to improve the synchronization accuracy of recording and reproduction
It Another way to generate a trigger is to use a regenerative magnetic field.
The method of applying
It is effective to add. Also in this case embedded in the substrate
Accurate synchronous playback of recording and playback by clock pit
It is preferable.

【００７０】[0070]

【発明の実施の形態】以下、本発明に従う光磁気記録媒BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A magneto-optical recording medium according to the present invention will now be described.
体、その再生方法及び記録再生装置の実施例について具Example of body, reproducing method and recording / reproducing apparatus
体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではPhysically, the present invention is not limited to this.
ない。Absent.

【００７１】[0071]

【実施例１】この実施例では、図２０に示したような構[Embodiment 1] In this embodiment, a structure as shown in FIG.
造の光磁気ディスク３００を製造する。光磁気ディスクThe manufactured magneto-optical disk 300 is manufactured. Magneto-optical disk
３００は、本発明の第１のタイプの光磁気記録媒体に相300 is a magneto-optical recording medium of the first type of the present invention.
当する。光磁気ディスク３００は、基板１上に、誘電体Hit The magneto-optical disk 300 is composed of a dielectric on the substrate 1.
層２、拡大再生層(磁区拡大再生層)３、拡大トリガー層Layer 2, expansion reproducing layer (magnetic domain expansion reproducing layer) 3, expansion trigger layer
４’、記録層５、保護層７、ヒートシンク層８及び保護4 ', recording layer 5, protective layer 7, heat sink layer 8 and protection
コート層９を備える。かかる光磁気記録媒体３００は、The coat layer 9 is provided. The magneto-optical recording medium 300 is
高周波スパッタ装置を用いて以下のようにして製造しIt is manufactured using the high-frequency sputtering device as follows.
た。It was

【００７２】基板１には、図２１に示したような形状の
ポリカーボネート基板を用いた。基板１は、トラックピ
ッチＴＰ＝７００ｎｍ、ランド半値幅Ｌ＝２００ｎｍ、
グルーブ半値幅Ｇ＝５００ｎｍ、グルーブ深さＤ＝６０
ｎｍ及び厚さ０．６ｍｍを有する。なお、ランド半値幅
Ｌ及びグルーブ半値幅Ｇはそれぞれグルーブ深さＤがＤ
／２となる深さ位置におけるランド及びグルーブの幅を
意味する。ランド側壁の傾斜角（あるいはグルーブの傾
斜角）θは約６５°であった。基板１を、高周波スパッ
タ装置の成膜室内の基板ホルダに装着し、成膜室を到達
真空度１．０×１０ ^−５ Ｐａまで排気した後、基板１上
に誘電体層２としてＳｉＮを６０ｎｍの膜厚で成膜し
た。 The substrate 1 has a shape as shown in FIG.
A polycarbonate substrate was used. Substrate 1 is a track
Switch TP = 700 nm, land half width L = 200 nm,
Groove half width G = 500 nm, groove depth D = 60
nm and a thickness of 0.6 mm. Land half width
L and groove half-width G are respectively groove depth D
The width of the land and groove at the depth of 1/2
means. Land sidewall slope (or groove slope)
The oblique angle) θ was about 65 °. Substrate 1 is high frequency spatter
Mounted on the substrate holder in the deposition chamber of the film deposition equipment and reached the deposition chamber
After evacuating to a vacuum degree of 1.0 × 10 ⁻⁵ Pa, on the substrate 1
SiN is deposited as a dielectric layer 2 to a film thickness of 60 nm on
It was

【００７３】次いで、誘電体層２上に拡大再生層３とし
て、希土類リッチなＧｄＦｅＣｏアモルファス合金を膜
厚２０ｎｍで成膜した。このＧｄＦｅＣｏアモルファス
合金 は、キュリー温度が約２３０℃、補償温度がキュリ
ー温度以上である。１６０℃における飽和磁化は約３０
ｅｍｕ／ｃｍ ^３ であった。拡大再生層３を成膜する際の
スパッタガス圧は０．３Ｐａに調整した。次いで、拡大
再生層３上に、拡大トリガー層４’として、遷移金属リ
ッチなＴｂＧｄＦｅＣｏアモルファス合金層を膜厚１０
ｎｍで形成した。このＴｂＧｄＦｅＣｏアモルファス合
金は約２４０℃のキュリー温度、室温以下の補償温度を
有する。この拡大トリガー層４’は、室温から約１２０
℃までは垂直磁化を示し、約１４０℃から面内磁化成分
が増大し、キュリー温度までは面内磁化を示す。 Then, an enlarged reproduction layer 3 was formed on the dielectric layer 2.
A rare earth-rich GdFeCo amorphous alloy film
The film was formed with a thickness of 20 nm. This GdFeCo amorphous
The alloy has a Curie temperature of about 230 ° C and a compensation temperature of Curie.
-It is above the temperature. Saturation magnetization at 160 ℃ is about 30
It was emu / cm ³ . When forming the enlarged reproduction layer 3
The sputtering gas pressure was adjusted to 0.3 Pa. Then expand
A transition metal layer is formed on the reproduction layer 3 as an expansion trigger layer 4 '.
A TbGdFeCo amorphous alloy layer with a thickness of 10
nm. This TbGdFeCo amorphous compound
Gold has a Curie temperature of about 240 ° C and a compensation temperature below room temperature.
Have. This expanded trigger layer 4'is from room temperature to about 120
It shows perpendicular magnetization up to ℃, and the in-plane magnetization component from about 140 ℃
Increases and shows in-plane magnetization up to the Curie temperature.

【００７４】次いで、拡大トリガー層４’上に記録層５
としてＴｂＦｅＣｏアモルファス合金を膜厚６０ｎｍで
形成した。記録層５のＣｏ量は拡大トリガー層中のＣｏ
量よりも多い。このＴｂＦｅＣｏアモルファス合金は約
２７０℃のキュリー温度、８０℃の補償温度を有する。
記録層５の成膜時のスパッタガス圧は１Ｐａとした。こ
のように記録層成膜時のスパッタガス圧を拡大再生層成
膜時の２倍以上にするのは、スパッタガスを高くするこ
とによって微小磁区が形成されやすくして記録密度を高
くするためである。記録層成膜時のスパッタガス圧は、
０．４Ｐａ以上が好ましい。一方、拡大再生層について
は最小磁区径を大きくするために、スパッタガス圧をそ
れほど上げないほうがよい。 Then, the recording layer 5 is formed on the expansion trigger layer 4 '.
As a TbFeCo amorphous alloy with a film thickness of 60 nm
Formed. The amount of Co in the recording layer 5 is the Co in the expansion trigger layer.
More than quantity. This TbFeCo amorphous alloy is about
It has a Curie temperature of 270 ° C. and a compensation temperature of 80 ° C.
The sputtering gas pressure during film formation of the recording layer 5 was 1 Pa. This
Expand the sputter gas pressure during recording layer formation as shown in
It is necessary to increase the sputtering gas to be more than double that for film formation.
To increase the recording density by facilitating the formation of minute magnetic domains.
This is to make it easier. The sputtering gas pressure during the recording layer deposition is
0.4 Pa or more is preferable. On the other hand, regarding the enlarged playback layer
The sputter gas pressure to increase the minimum magnetic domain diameter.
It is better not to raise it so much.

【００７５】次いで、記録層５上に、保護層７としてＳ
ｉＮを膜厚２０ｎｍにて成膜し、保護層７上にヒートシ
ンク層８としてＡｌを膜厚３０ｎｍにて成膜した。その
後、このディスクをスパッタ装置から取り出して、紫外
線硬化樹脂を約５μｍの厚みでスピンコートし、紫外線
を照射して硬化させた。こうして図２０に示した積層構
造を有する光磁気ディスク３００を得た。 Then, as the protective layer 7, S is formed on the recording layer 5.
A film of iN is formed to a thickness of 20 nm, and a heat shield is formed on the protective layer 7.
An Al layer having a thickness of 30 nm was formed as the ink layer 8. That
After that, remove this disc from the sputtering system and
Spin-coated with a line curable resin to a thickness of about 5 μm
Was irradiated to cure. Thus, the laminated structure shown in FIG.
A magneto-optical disk 300 having a structure was obtained.

【００７６】こうして得られた光磁気ディスク３００の
性能を以下のようにして評価した。評価には、波長６５
０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡ＝０．６０の光学ヘッ
ドを搭載した市販テスターを用いた。光学ヘッドから照
射した光ビームの光磁気ディスク上での光スポット径は
約１μｍであった。ディスク線速度が３．５〜５．０ ｍ
／ｓｅｃになるようにディスクを回転した。最初に、光
スポット径の５分の１に相当する直径０．２μｍの磁区
を光パルス磁界変調記録で記録層に形成した。この際、
記録クロック周期を４０ｎｓｅｃとし、光パルス幅は１
８ｎｓｅｃ、記録レーザーパワーはディスク記録面で約
１０ｍＷとした。この光パルスを光磁気ディスクに照射
しながら、記録磁界としてパルス幅４０ｎｓｅｃの＋３
００Ｏｅの正磁界と、パルス幅３６０ｎｓｅｃの−３０
０Ｏｅの負磁界を組み合わせてそれを繰り返し印加し
た。したがって、記録磁区長は、例えば、プラス磁界が
記録方向（黒磁区形成）で、マイナス方向が消去方向
（白磁区）であるとすると、黒磁区が２００ｎｍ、白磁
区が１８００ｎｍの長さでそれぞれ形成された。 The magneto-optical disk 300 thus obtained is
The performance was evaluated as follows. For evaluation, wavelength 65
Optical head with 0 nm and numerical aperture NA = 0.60 of the objective lens
A commercially available tester equipped with a code was used. Illuminated from the optical head
The diameter of the light spot on the magneto-optical disk of the emitted light beam is
It was about 1 μm. Disk linear velocity is 3.5 to 5.0 m
The disc was rotated so that it would be / sec. First light
A magnetic domain with a diameter of 0.2 μm, which corresponds to 1/5 of the spot diameter
Was formed on the recording layer by optical pulse magnetic field modulation recording. On this occasion,
The recording clock period is 40 nsec and the optical pulse width is 1
8nsec, the recording laser power is about the disk recording surface
It was set to 10 mW. Irradiate this optical pulse on the magneto-optical disk
However, the recording magnetic field is +3 with a pulse width of 40 nsec.
Positive magnetic field of 00 Oe and -30 with pulse width of 360 nsec
Apply a negative magnetic field of 0 Oe and apply it repeatedly
It was Therefore, the recording magnetic domain length is
Recording direction (black magnetic domain formation), minus direction is erasing direction
(White magnetic domain), black magnetic domain is 200 nm, white magnetic domain
Each section was formed with a length of 1800 nm.

【００７７】こうして光磁気ディスクに形成された繰り
返し記録パターンを再生光を照射して再生した。再生光
は連続光とした。再生光パワーＰｗ＝１．５ｍＷの場
合、この繰り返し記録パターンはわずかな信号強度では
あるが、図２２に示すような波形として観察することが
できた。光スポット径は約１μｍであったので、０．２
μｍの記録磁区の再生信号波形の裾野の長さは１μｍ＋
０．２μｍ、すなわち１．２μｍとなっていることがわ
かる。半値幅は約０．６μｍであった。次いで、再生光
パワーを３．０ｍＷに変更して上記繰り返し記録パター
ンを再生したところ、図２２に示すような再生波形が得
られた。図２２からわかるように半値幅は記録磁区の長
さと同じ０．２μｍであり、この半値幅は再生光パワー
が１．５ｍＷのときの約３分の１と狭くなっていること
がわかる。一方で、再生信号強度は再生光パワーが１．
５ｍＷのときに比べて２倍以上に増大している。図２２
の再生信号波形からすれば、再生光パワーが３．０ｍＷ
の場合には、記録磁区が再生層に転写され拡大されて再
生されていることがわかる。一方、再生光パワーが１．
５ｍＷの場合には拡大が起こっておらず、再生層に転写
された記録磁区がそのまま再生されていると考えられ
る。 Thus, the loop formed on the magneto-optical disk
The return recording pattern was reproduced by irradiating the reproduction light. Reproduction light
Is continuous light. Playback light power Pw = 1.5 mW
If this repeated recording pattern is
However, it may be observed as a waveform as shown in FIG.
did it. The light spot diameter was about 1 μm, so 0.2
The length of the skirt of the reproduction signal waveform of the recording magnetic domain of μm is 1 μm +
It can be seen that it is 0.2 μm, that is, 1.2 μm.
Light The full width at half maximum was about 0.6 μm. Then the playback light
Change the power to 3.0mW and repeat the above recording pattern
When the playback waveform is reproduced, a playback waveform as shown in Fig. 22 is obtained.
Was given. As can be seen from FIG. 22, the half width is the length of the recording magnetic domain.
Which is 0.2 μm, which is the same as
Is about one-third that of 1.5 mW
I understand. On the other hand, the reproduction signal strength is 1.
It is more than doubled compared to the case of 5 mW. FIG. 22
From the reproduction signal waveform of, the reproduction light power is 3.0 mW.
In the case of, the recording magnetic domain is transferred to the reproducing layer, enlarged, and reproduced.
You can see that it is alive. On the other hand, the reproduction light power is 1.
In case of 5mW, no expansion occurs and transfer to the reproduction layer
It is considered that the recorded magnetic domain is reproduced as it is.
It

【００７８】さらに、図２２の波形を比較すると以下の
重要なことがわかる。再生光パワーが３．０ｍＷの場合
のピーク中心は再生光パワーが１．５ｍＷのピーク中心
に比べて時間的に早く現れている。すなわち、再生層に
転写された磁区の拡大が起こ るときには、転写された磁
区が光スポットの中心に到達する前にこの磁区を検出す
ることができる。これは、図５に示したように、光スポ
ットに入りかけた記録磁区５Ａが拡大再生層３に転写さ
れて光スポット内で拡大しているという理論説明からも
分ろう。このように、記録磁区を光スポットの中心から
時間的にアドバンスして検出することは、本発明の光磁
気記録媒体を用いた再生方法の大きな特徴である。 Further, comparing the waveforms of FIG. 22, the following is obtained.
I understand what is important. When the reproducing light power is 3.0 mW
The center of the peak is the center of the peak when the reproduction light power is 1.5 mW.
It appears earlier in time than. That is, in the playback layer
Magnetic expanding transferred magnetic domains in the Oko Rutoki, transcribed
Detect this domain before it reaches the center of the light spot
You can This is an optical
The recording magnetic domain 5A, which is about to enter, is transferred to the expansion reproducing layer 3.
From the theoretical explanation that it is being expanded in the light spot
Let's see. In this way, the recording domain from the center of the light spot
The time-advanced detection is the magneto-optical characteristic of the present invention.
This is a major feature of the reproducing method using the air recording medium.

【００７９】次に、光スポット径の約１０分の１に相当
する最短マーク長０．１２μｍのＮＲＺＩランダムパタ
ーンを記録して、このパターンを種々の再生光パワーで
再生した。再生信号からエラーレートの再生パワー依存
性を測定し、結果を図２３に示す。５０００個のデータ
を記録した場合に、エラーが一つであればエラーレート
は５×１０ ^−４ であり、実用的にはデータ修正が可能で
ある。図２３より５×１０ ^−４ 以下のエラーレートを満
足する再生パワーマージンは２０．５％であり、±１０
％以上を実現していることがわかる。それゆえ、本発明
の光磁気ディスクは再生パワーマージンに関して充分実
用可能な媒体であるといえよう。次に、記録パワーを変
化させて最短マーク長０．１２μｍのＮＲＺＩランダム
パターンを記録し、これらの記録情報を再生した場合の
エラーレートを求めた。記録パワーに対するエラーレー
トの変化を図２４に示した。再生パワーと同様に記録パ
ワーが±１０％以上（２２．５％以上）変化しても５×
１０ ^−４ 以下のエラーレートが確保できることがわかっ
た。それゆえ、本発明の光磁気ディスクは記録パワーマ
ージンに関しても満足している。さらに、光磁気ディス
クの傾きに対する実効レーザーパワーの低下を観測した
ところ、実用化目標である±０．６°を満足しているこ
とがわかった。 Next, it corresponds to about 1/10 of the light spot diameter.
NRZI random pattern with the shortest mark length of 0.12 μm
By recording the pattern with various reproducing light powers.
Replayed. Playback signal depends on playback power of error rate
The sex was measured and the results are shown in FIG. 5000 data
Error rate if there is one error when recording
Is 5 × 10 ⁻⁴ , and data can be corrected practically.
is there. From FIG. 23, the error rate of 5 × 10 ⁻⁴ or less is satisfied.
The reproduction power margin to be added is 20.5%, which is ± 10.
You can see that it has achieved more than%. Therefore, the present invention
The magneto-optical disk of
It can be said that it is a usable medium. Next, change the recording power.
NRZI random with the shortest mark length of 0.12 μm
When a pattern is recorded and these recorded information are reproduced
The error rate was calculated. Error rate for recording power
The change in temperature is shown in FIG. Recording power as well as playback power
5 × even if the power changes ± 10% or more (22.5% or more)
It turns out that an error rate of 10 ^-4 or less can be secured
It was Therefore, the magneto-optical disk of the present invention is a recording power medium.
I'm also happy with Jin. In addition, a magneto-optical disk
Observed a decrease in effective laser power with respect to the inclination of
However, if the practical target of ± 0.6 ° is satisfied,
I understood.

【００８０】[0080]

【実施例２】光磁気ディスクの拡大再生層３を１０〜５[Embodiment 2] The magnifying reproducing layer 3 of the magneto-optical disk is set to 10 to 5
０ｎｍの種々の膜厚に変更した以外は、実施例１と同様Same as Example 1 except that the thickness was changed to various values of 0 nm.
にして複数の光磁気ディスクのサンプルを製造した。そThen, a plurality of magneto-optical disk samples were manufactured. So
れらの光磁気ディスクについて実施例１と同様にしてビThese magneto-optical disks were recorded in the same manner as in Example 1.
ットエラーレート（ＢＥＲ）を測定した。拡大再生層３Error rate (BER) was measured. Enlarged playback layer 3
の種々の膜厚ｔと測定したビットエラーレートの関係Between the various film thicknesses t and the measured bit error rate をTo
図３１に示す。図３１より、拡大再生層３の膜厚ｔが１It shows in FIG. From FIG. 31, the thickness t of the enlarged reproduction layer 3 is 1
５〜３０ｎｍの範囲で１×１０1 × 10 in the range of 5 to 30 nm ^−４-4 のビットエラーレーBit error rate
トを達成していることがわかる。これは、拡大再生層３You can see that you have achieved This is the enlarged reproduction layer 3
の膜厚がこれよりも薄いと再生層を通して拡大トリガーIf the film thickness is thinner than this, the trigger will expand through the playback layer
層および記録層の記録磁区が見えるため正確な信号再生Accurate signal reproduction because the recording magnetic domains of the recording layer and recording layer are visible
が困難になる。また、拡大再生層３の膜厚が３０ｎｍよBecomes difficult. In addition, the thickness of the expansion reproducing layer 3 is 30 nm.
りも厚くなると微小記録磁区の磁気転写が困難になり、If the thickness is too thick, it becomes difficult to magnetically transfer minute recording magnetic domains.
微小磁区の拡大が起こり難いと考えられるからである。This is because it is considered that the expansion of the minute magnetic domain is unlikely to occur.
それゆえ、拡大再生層３の膜厚としては１５〜３０ｎｍTherefore, the thickness of the expansion reproducing layer 3 is 15 to 30 nm.
が望ましい。Is desirable.

【００８１】[0081]

【実施例３】この実施例では、実施例１で製造した光磁Example 3 In this example, the magneto-optical disk manufactured in Example 1 was used.
気ディスクの拡大再生層と記録層との間で働く交換結合Exchange coupling working between the magnifying reproducing layer and the recording layer of an air disk.
磁界（交換結合力）の大きさの求め方について説明すExplain how to find the magnitude of magnetic field (exchange coupling force)
る。交換結合力は拡大再生層側から磁気光学カー（ＫｅIt The exchange coupling force is from the magnifying reproducing layer side to the magneto-optical car (Ke
ｒｒ）効果の磁界依存性を測定することにより求めるこrr) can be obtained by measuring the magnetic field dependence of the effect.
とができる。図２５に、実施例１の光磁気ディスクの室You can FIG. 25 shows the chamber of the magneto-optical disk of Example 1.
温におけるヒステリシス曲線を示している。このヒステThe hysteresis curve in temperature is shown. This hysteria
リシス曲線は、測定光を拡大再生層側から入射し極磁気The lysis curve is the polar magnetic
光学Ｋｅｒｒ回転角の磁界依存性測定により求めた。拡It was determined by measuring the magnetic field dependence of the optical Kerr rotation angle. Expansion
大再生層には、保磁力の大きな情報記録層から交換結合Exchange coupling from the information recording layer with large coercive force to the large reproducing layer
磁界が作用しており、ヒステリシス曲線はその分左（マThe magnetic field is acting, and the hysteresis curve is correspondingly left (marked
イナス磁界側）にシフトしている。このシフト量が交換It has been shifted to the magnetic field side. This shift amount is exchanged
結合磁界に相当する。It corresponds to the coupling magnetic field.

【００８２】交換結合磁界（Ｈexc）の温度依存性を図
２６に示す。拡大再生層に転写された磁区を維持するの
に必要な交換結合磁界の大きさとして、例えば、３ｋＯ
ｅ程度になる温度において、交換結合磁界（交換結合
力）の温度勾配を測定するとー３５０〜−１８５Ｏｅ／
℃であった。この交換結合磁界は、拡大再生層の厚みが
薄くなると大きくなり、拡大再生層の飽和磁化が小さく
なるほど大きくなることがわかっている。そこで、拡大
再生層の膜厚や飽和磁化等を変化させた種々の光磁気デ
ィスクを作製し、これらの交換結合磁界の温度依存性を
測定し、交換結合磁界が３ｋＯｅ程度になる温度におけ
る温度勾配を求めた。なお、飽和磁化は拡大再生層中の
Ｇｄの組成を変更して調整した。これらの光磁気ディス
クの最短マーク長０．１２μｍにおけるビットエラーレ
ート（ＢＥＲ）を測定し、温度勾配 とビットエラーレー
トの関係を調べた。記録パターンにはＮＲＺＩを用い
た。この最短マーク長は光スポット径の約８分の１であ
り、光の分解能をはるかに越えている。絶対値で表示し
た温度勾配に対するビットエラーレートの変化を図４５
に示した。一般に、良好なビットエラーレートは１×１
０ ^−４ あるいは５×１０ ^−４ 以下が実用的なところであ
り、５×１０ ^−４ で見てみると、この温度勾配が−１０
０Ｏｅ／℃以上の急勾配であれば良好なビットエラーレ
ートが得られることがわかった。 The temperature dependence of the exchange coupling magnetic field (Hexc) is shown in FIG.
26. To maintain the magnetic domains transferred to the magnified reproducing layer
As the magnitude of the exchange coupling magnetic field required for, for example, 3 kO
At a temperature of about e, the exchange coupling magnetic field (exchange coupling
Force) temperature gradient is -350 to -185 Oe /
It was ℃. This exchange coupling magnetic field is
It becomes larger as it becomes thinner, and the saturation magnetization of the magnified reproducing layer becomes smaller.
I know it will grow. So expand
Various magneto-optical devices with varying thickness and saturation magnetization of the reproducing layer
Disk to determine the temperature dependence of these exchange coupling magnetic fields.
Measure the temperature at an exchange coupling magnetic field of about 3 kOe.
The temperature gradient was calculated. Note that the saturation magnetization in the expansion reproducing layer
The composition of Gd was changed and adjusted. These magneto-optical disks
Bit error at the shortest mark length of 0.12 μm
(BER) is measured and the temperature gradient and bit error rate are measured.
I investigated the relationship between the two. NRZI is used for the recording pattern
It was This shortest mark length is about 1/8 of the light spot diameter.
, Which is far beyond the resolution of light. Display in absolute value
FIG. 45 shows changes in the bit error rate with respect to the temperature gradient.
It was shown to. Generally, a good bit error rate is 1x1
0 ^-4 or 5 × ^{10 -4} or less der practical place
As a result of looking at 5 × 10 ⁻⁴ , this temperature gradient is −10.
If the gradient is 0 Oe / ° C or more, good bit error
I found out that I could get a booth.

【００８３】[0083]

【実施例４】実施例１で製造した光磁気ディスクの拡大[Example 4] Expansion of the magneto-optical disk manufactured in Example 1
再生層の膜厚を１０ｎｍから４０ｎｍまで変化させるとWhen the thickness of the reproducing layer is changed from 10 nm to 40 nm
ともに、拡大再生層の組成を変更することで飽和磁化In both cases, the saturation magnetization can be changed by changing the composition of the expansion reproducing layer.
（室温での飽和磁化）を種々の値に変更した拡大再生層Expanded reproducing layer with various values of (saturation magnetization at room temperature)
を備えた光磁気ディスクを用意した。これらの光磁気デA magneto-optical disk provided with was prepared. These magneto-optical devices
ィスクについて実施例１と同様にしてビットエラーレーFor the disk, the bit error rate is the same as in the first embodiment.
ト（ＢＥＲ）を測定した。最短マーク長は０．１３μｍ(BER) was measured. The shortest mark length is 0.13 μm
とした。膜厚と飽和磁化の積とビットエラーレートの関And Relationship between product of film thickness and saturation magnetization and bit error rate
係を図２７に示した。拡大再生層の膜厚ｔと飽和磁化ＭThe contact is shown in FIG. Film thickness t of the reproducing layer and saturation magnetization M
ｓの積は、磁区拡大を生じさせる磁気的なエネルギーにThe product of s is the magnetic energy that causes the domain expansion.
相当する。ビットエラーレート５×１０Equivalent to. Bit error rate 5 × 10 ^−４-4 を満足するTo satisfy
範囲を見てみると、膜厚と飽和磁化の積が８０μｅｍｕLooking at the range, the product of film thickness and saturation magnetization is 80 μemu.
／ｃｍ/ Cm ^２Two 〜２２０μｅｍｕ／ｃｍ~ 220μemu / cm ^２Two であれば比較的良好Then relatively good
なビットエラーレートが得られることが図２７よりわかIt can be seen from Fig. 27 that a high bit error rate can be obtained.
る。It

【００８４】拡大再生層のＭｓ×ｔは、製造された光磁
気ディスクからも測定することができる。図４６に本発
明ディスクの１２０℃付近での単位面積（ｃｍ ^２ ）あた
りの磁化測定の結果を示す。拡大再生用磁性層は保磁力
が小さいために比較的小さな磁界で反転させることが可
能である。しかし、情報記録層は保磁力が大きく簡単に
は磁化反転しない。したがって、図４６中、負の低磁界
側で現れるヒステリシスカーブの落下部、すなわち、外
部磁界約７ｋＯｅでの磁化変化（図中、Ａ）は再生層の
磁化反転に対応していると考えられる。また、更に印加
磁界を大きくすると、情報記録層は外部磁界１２ｋＯｅ
付近で反転し始めることがわかる。このように、磁化曲
線の低磁界側のヒステリシスカーブの落下部から拡大再
生層の単 位面積あたりの磁化測定が可能になる。但し、
光磁気ディスクには中間層も含まれているために、ヒス
テリシスループから読み取れる磁化は中間層の磁化も含
まれている。 Ms × t of the magnified reproducing layer is the manufactured magneto-optical
It can also be measured from the Qi disk. Main issue in Figure 46
Warm the unit area (cm ² ) of the bright disc at around 120 ° C
2 shows the result of the magnetization measurement. Coercive force of magnifying magnetic layer
Can be reversed with a relatively small magnetic field due to its small
Noh. However, the information recording layer has a large coercive force and is easily
Does not reverse magnetization. Therefore, in FIG. 46, a negative low magnetic field
The falling part of the hysteresis curve that appears on the side, that is, the outside
The magnetization change (A in the figure) at a partial magnetic field of about 7 kOe
It is considered to correspond to the magnetization reversal. In addition, further application
When the magnetic field is increased, the information recording layer has an external magnetic field of 12 kOe.
You can see that it begins to flip around. Like this,
Expand from the falling part of the hysteresis curve on the low magnetic field side of the line.
Magnetization measurement of per unit area of Namaso becomes possible. However,
Since the magneto-optical disk also contains an intermediate layer,
The magnetization that can be read from the teresis loop includes the magnetization of the intermediate layer.
It is rare.

【００８５】[0085]

【実施例５】基板のグルーブ深さを種々の深さに変更し[Embodiment 5] The groove depth of the substrate was changed to various depths.
た以外は、実施例１と同様にして光磁気ディスクを作製A magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 1 except that
した。作製したそれぞれの光磁気ディスクについて実施did. Conducted for each manufactured magneto-optical disk
例１と同様にしてビットエラーレートを測定した。グルThe bit error rate was measured in the same manner as in Example 1. Guru
ーブ深さＤの変化に対するビットエラーレート（ＢＥBit error rate (BE
Ｒ）の依存性を図２８に示す。図２８より、グルーブ深FIG. 28 shows the dependency of R). From Figure 28, the groove depth
さが２７ｎｍ〜８２ｎｍであると５×１０Is 27 nm to 82 nm, 5 × 10 ^−４-4 以下のビThe following
ットエラーレートが得られることがわかる。一般にグルIt can be seen that the bit error rate can be obtained. Generally guru
ーブ深さは光の反射率に基づいて光の波長の関数としてDepth is a function of light wavelength based on light reflectance
決定されるので、光の波長をλ、光入射側基板あるいはThe wavelength of light is λ, and the light incident side substrate or
保護層の屈折率をｎとすると、最適グルーブ深さはλ／If the refractive index of the protective layer is n, the optimum groove depth is λ /
１６ｎ〜λ／５ｎとなる。16n to λ / 5n.

【００８６】[0086]

【実施例６】ランド半値幅Ｌに対するグルーブ半値幅Ｇ[Sixth Embodiment] Groove half width G relative to land half width L
の比Ｇ／Ｌを種々の値に変化させた基板を用いた以外はExcept that substrates with various ratios G / L of
実施例１と同様にして光磁気ディスクを作製した。これA magneto-optical disk was manufactured in the same manner as in Example 1. this
らの光磁気ディスクについて実施例１と同様にして最短As for the magneto-optical disk, the shortest length in the same manner as in Example 1.
マーク長を０．１３μｍ（ＮＲＺＩ）とした場合のビッBit when the mark length is 0.13 μm (NRZI)
トエラーレートを測定した。Ｇ／Ｌに対するビットエラThe error rate was measured. Bit error against G / L
ーレートの変化を図２９に示す。Ｇ／Ｌが１．２〜４．The change in the rate is shown in FIG. G / L is 1.2-4.
５の範囲内であれば５×１０5 × 10 within the range of 5 ^−４-4 以下のビットエラーレThe following bit error
ートが得られていることがわかる。You can see that the booth has been obtained.

【００８７】[0087]

【実施例７】ランド側壁の傾斜角θを種々の値に変化さ[Embodiment 7] The inclination angle θ of the land side wall is changed to various values.
せた基板を用いた以外は実施例１と同様にして光磁気デIn the same manner as in Example 1 except that the substrate provided with the magneto-optical disk was used.
ィスクを作製した。これらの光磁気ディスクについて実I made a disk. About these magneto-optical disks
施例１と同様にしてビットエラーレートを測定した。但The bit error rate was measured in the same manner as in Example 1. However
し、記録したＮＲＺＩランダムパターンにおける最短マThe recorded NRZI random pattern.
ーク長は０．１３μｍとした。測定結果を図３０に示The peak length was 0.13 μm. The measurement results are shown in Fig. 30.
す。図３０よりランド側壁の傾斜角θが３５°〜７７°You From FIG. 30, the inclination angle θ of the land side wall is 35 ° to 77 °.
の範囲で５×１０5 × 10 in the range of ^−４-4 以下のエラーレートが得られるこThe following error rates can be obtained.
とがわかる。I understand.

【００８８】[0088]

【実施例８】図３２に、本発明に従う光磁気記録媒体のEmbodiment 8 FIG. 32 shows a magneto-optical recording medium according to the present invention.
概略構成を示す。光磁気記録媒体１００は、基板１上A schematic configuration is shown. The magneto-optical recording medium 100 is on the substrate 1.
に、誘電体層２、拡大再生層３、中間層４、記録層５、A dielectric layer 2, an expansion reproducing layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5,
補助磁性層６、保護層７及びヒートシンク層８を備えAuxiliary magnetic layer 6, protective layer 7 and heat sink layer 8 are provided.
る。かかる光磁気記録媒体１００は、高周波スパッタ装It The magneto-optical recording medium 100 has a high-frequency sputtering device.
置を用いて以下のようにして成膜した。A film was formed as follows using a table.

【００８９】基板１には、０．６μｍのランド幅、０．
６μｍのグルーブ幅、溝深さ６０ｎｍを有する厚さ０．
６ｍｍのポリカーボネート基板を用いた。スパッタ装置
の成膜室に基板１を装着し、成膜室を到達真空度８×１
０ ^−５ Ｐａまで排気した後、基板を８０℃で５時間真空
ベークし、かかる基板１上に、誘電体層２としてＳｉＮ
を６０ｎｍの膜厚で成膜した。 The substrate 1 has a land width of 0.6 μm,
A groove width of 6 μm, a groove depth of 60 nm and a thickness of 0.
A 6 mm polycarbonate substrate was used. Sputtering device
Substrate 1 is attached to the film forming chamber and the film forming chamber reaches a vacuum degree of 8 × 1
0 ^-5 was evacuated to Pa, 5 hours in vacuum to the substrate at 80 ° C.
After baking, SiN is formed as a dielectric layer 2 on the substrate 1.
Was formed into a film having a thickness of 60 nm.

【００９０】次いで、誘電体層２上に拡大再生層３とし
て、希土類遷移金属合金ＧｄＦｅを膜厚２０ｎｍで成膜
した。ＧｄＦｅは、キュリー温度が約２４０℃、補償温
度がキュリー温度以上である。１６０℃における飽和磁
化は約５５ｅｍｕ／ｃｍ ^３ であった。次いで、拡大再生
層３上に、中間層４として、室温以下に補償温度を有す
る希土類遷移金属合金ＴｂＧｄＦｅを膜厚１０ｎｍで成
膜した。キュリー温度は約１５０℃である。ＴｂとＧｄ
の比率は１４％であった。次いで、中間層４上に記録層
５としてキュリー温度が２８０℃で補償温度が室温付近
にある希土類遷移金属合金ＴｂＦｅＣｏを膜厚６０ｎｍ
で成膜した。拡大再生層３、中間層４及び記録層５の３
層の磁性層は全て室温からキュリー温度まで垂直磁化膜
であった。 Then, an enlarged reproducing layer 3 was formed on the dielectric layer 2.
Forming a rare-earth transition metal alloy GdFe with a film thickness of 20 nm
did. GdFe has a Curie temperature of about 240 ° C and a compensation temperature.
The temperature is above the Curie temperature. Saturation magnetism at 160 ℃
The conversion was about 55 emu / cm ³ . Then enlarge playback
On the layer 3, as the intermediate layer 4, has a compensation temperature below room temperature.
A rare earth-transition metal alloy TbGdFe with a film thickness of 10 nm.
Filmed The Curie temperature is about 150 ° C. Tb and Gd
Was 14%. Then, the recording layer is formed on the intermediate layer 4.
5, the Curie temperature is 280 ° C and the compensation temperature is near room temperature
Rare-earth transition metal alloy TbFeCo in
It was formed into a film. Expansion reproduction layer 3, intermediate layer 4, and recording layer 5
All magnetic layers are perpendicular magnetization films from room temperature to Curie temperature
Met.

【００９１】次いで、記録層５上に、小さな記録磁界で
正確な記録ができるようにするために、補助磁性層６と
して、補償温度が室温以下で２９０℃のキュリー温度を
有する希土類遷移金属合金ＧｄＦｅＣｏを膜厚１０ｎｍ
にて成膜した。次いで、補助磁性層６上に、保護層７と
してＳｉＮを膜厚２０ｎｍにて成膜し、保護層７上にヒ
ートシンク層８としてＡｌを膜厚３０ｎｍにて成膜し
た。こうして図３２に示 した積層構造を有する光磁気記
録媒体１００を作製した。 Then, a small recording magnetic field is applied onto the recording layer 5.
In order to enable accurate recording, the auxiliary magnetic layer 6 and
And the Curie temperature of 290 ° C when the compensation temperature is below room temperature.
Rare earth transition metal alloy GdFeCo having a film thickness of 10 nm
Was deposited. Then, a protective layer 7 is formed on the auxiliary magnetic layer 6.
Then, SiN is formed to a film thickness of 20 nm, and the SiN film is formed on the protective layer 7.
Al was formed into a thickness of 30 nm as the gate sink layer 8.
It was Thus optical magnetic recording having shown the laminated structure in Figure 32
The recording medium 100 was produced.

【００９２】つぎに、光磁気記録媒体を評価機に装着し
て記録再生テストを行った。記録再生テストでは、波長
６５０ｎｍのレーザー光と、開口数ＮＡが０．６０の対
物レンズを用いた。線速度は５ｍ／ｓｅｃである。ま
ず、磁気記録再生層における磁区拡大現象を確認するた
めに、光磁気記録媒体に、光パルス磁界変調記録方式を
用いて、レーザー光の記録パワーを１０ｍＷ、記録磁界
±２００Ｏｅとして、長さ０．２０μｍの孤立磁区を記
録した。光のパルスデューティーは３０％とした。記録
周期は２．０μｍとした。この値は、光スポット径λ／
ＮＡ（約１μｍ）の約２倍の長さである。一方、記録し
た孤立磁区長さは、光スポット径λ／ＮＡの約５分の１
の長さに相当する。 Next, the magneto-optical recording medium was mounted on the evaluation machine.
A recording / reproduction test was performed. In the recording / reproduction test, the wavelength
A pair of 650 nm laser light and a numerical aperture NA of 0.60
An object lens was used. The linear velocity is 5 m / sec. Well
First, the magnetic domain expansion phenomenon in the magnetic recording / reproducing layer was confirmed.
For this reason, the optical pulse magnetic field modulation recording method was applied to the magneto-optical recording medium.
Using the recording power of laser light of 10 mW, recording magnetic field
± 200 Oe, 0.20 μm long isolated magnetic domain
I recorded it. The pulse duty of light was set to 30%. Record
The period was 2.0 μm. This value is the light spot diameter λ /
It is about twice as long as NA (about 1 μm). Meanwhile, recorded
The isolated magnetic domain length is about 1/5 of the light spot diameter λ / NA.
Equivalent to the length of.

【００９３】かかる孤立磁区が形成された光磁気記録媒
体を、再生パワー１．５ｍＷと３．０ｍＷの２種類の再
生パワーを用いて再生した。図３３に、再生パワー１．
５ｍＷにて再生した場合と、再生パワー３．０ｍＷにて
再生した場合の孤立磁区再生信号を示す。ここで、３．
０ｍＷの再生パワーは、予備実験によって、信号対雑音
比（Ｃ／Ｎ）が最大となる最適再生パワーであることを
確認した。再生パワーが１．５ｍＷの場合には、再生信
号波形の半値幅が０．６６μｍ、裾野の幅が１．３４μ
ｍ、信号振幅が約５４ｍＶである。一方、再生パワーが
３．０ｍＷの場合には、再生信号波形の半値幅が０．２
０μｍ、裾野の幅が０．６４μｍ、信号振幅が約１２６
ｍＶである。この結果から、再生信号波形の幅が狭くな
って分解能が向上し、信号振幅も増大しており、再生パ
ワーを３．０ｍＷに調節することにより磁区拡大再生に
成功していることがわかる。 Magneto-optical recording medium in which such isolated magnetic domains are formed
The body has two types of reproduction power of 1.5 mW and 3.0 mW.
Reproduced using raw power. FIG. 33 shows that reproduction power 1.
Playback at 5 mW and playback power at 3.0 mW
The reproduced signal of an isolated magnetic domain when reproduced is shown. Here, 3.
Playback power of 0 mW was determined by
The optimum reproduction power that maximizes the ratio (C / N)
confirmed. When the reproduction power is 1.5 mW, the reproduction signal
No. waveform has a half-value width of 0.66 μm and a skirt width of 1.34 μm
m, the signal amplitude is about 54 mV. On the other hand, the playback power
In the case of 3.0 mW, the full width at half maximum of the reproduced signal waveform is 0.2
0 μm, skirt width 0.64 μm, signal amplitude about 126
mV. From this result, the width of the reproduced signal waveform becomes narrower.
Therefore, the resolution is improved and the signal amplitude is also increased.
For magnetic domain expansion reproduction by adjusting the power to 3.0 mW
You know you're successful.

【００９４】一般に、信号振幅は再生パワーが高いほど
増大する。しかし、再生パワーが高くなると、再生層の
温度が上昇して磁気光学効果が減少してしまう。実際
に、高温ではかなり磁気光学効果が減少してしまう。そ
こで、参考のために、拡大再生層における磁区の拡大率
を算出した。拡大率は、再生パワーで上記信号振幅を規
格化することにより概算した。再生パワー１．５ｍＷの
時の規格化された信号振 幅は３６ｍＶ／ｍＷ、３．０ｍ
Ｗの時の規格化された信号振幅は４２ｍＶ／ｍＷとな
り、少なくとも１６％以上拡大していることがわかる。 Generally, the higher the reproduction power, the higher the signal amplitude.
Increase. However, when the reproduction power becomes high, the reproduction layer
The temperature rises and the magneto-optical effect decreases. In fact
Moreover, the magneto-optical effect is considerably reduced at high temperatures. So
Here, for reference, the expansion ratio of the magnetic domain in the expanded reproducing layer.
Was calculated. The magnifying power is determined by the reproduction power and the above signal amplitude.
Estimated by grading. Playback power of 1.5mW
Normalized signal amplitude when the 36 mV / mW, 3.0 m
The standardized signal amplitude at W is 42 mV / mW.
It can be seen that it has expanded by at least 16% or more.

【００９５】つぎに、本実施例の光磁気記録媒体の信号
対雑音比（Ｃ／Ｎ）のマーク長依存性を調べた。図３４
に、その結果を示す。図３４には、比較として、ＤＷＤ
Ｄの報告例（T.Shiratori : J. Magn.Soc.Jpn., Vol.22
Supplement No.2(1998) p50Fig.10）の光磁気記録媒体
及び通常の光磁気記録媒体の信号対雑音比（Ｃ／Ｎ）の
マーク長依存性も示した。図３４のグラフから、例え
ば、上記０．２０μｍのＣ／Ｎは、本発明では４５．４
ｄＢと極めて大きな値を示しているが、ＤＷＤＤでは４
１ｄＢ程度と低い。また、ＤＷＤＤでは長いマークはゴ
ースト信号のため測定できていないが、本発明ではマー
ク長が１．０μｍであっても４５ｄＢを超える再生信号
が得られている。 Next, the signal of the magneto-optical recording medium of this embodiment is
The dependence of the noise ratio (C / N) on the mark length was investigated. FIG. 34
The results are shown in. In FIG. 34, for comparison, DWD
D report example (T. Shiratori: J. Magn.Soc. Jpn., Vol.22
Supplement No.2 (1998) p50Fig.10) Magneto-optical recording medium
And the signal-to-noise ratio (C / N) of conventional magneto-optical recording media
Mark length dependence is also shown. From the graph in Figure 34,
For example, the above C / N of 0.20 μm is 45.4 in the present invention.
It shows an extremely large value of dB, but it is 4 in DWDD.
It is as low as about 1 dB. In DWDD, the long mark is
Although it cannot be measured because it is the worst signal, the present invention
Playback signal exceeding 45 dB even if the recording length is 1.0 μm
Has been obtained.

【００９６】図３５には、本発明の最短マーク長０．１
２μｍのＮＲＺＩランダムパターンの再生波形を示す。
本発明の光磁気記録媒体はゴースト信号が出ないため
に、記録マークの長さを制限する必要がなく、マーク長
にかかわらず良好なアイパターンが得られた。図３５の
信号の真中を単純にスライスしてビットエラーレートを
測定したところ４．７×１０ ^−５ であった。実用上の目
安となる１×１０ ^−４ を大幅にクリアしている。 In FIG . 35, the shortest mark length of the present invention is 0.1.
3 shows a reproduced waveform of a 2 μm NRZI random pattern.
The magneto-optical recording medium of the present invention produces no ghost signal.
In addition, it is not necessary to limit the length of the recording mark,
A good eye pattern was obtained regardless of Of FIG.
Simply slice the middle of the signal to get the bit error rate
The measurement result was 4.7 × 10 ⁻⁵ . Practical eyes
It has cleared the cheap 1 × 10 ^-4 .

【００９７】[0097]

【実施例９】図３６に、本発明の光磁気記録媒体の記録[Embodiment 9] FIG. 36 shows the recording of the magneto-optical recording medium of the present invention.
再生に最適な記録再生装置の構成を示す。図３６に示しThe structure of a recording / reproducing apparatus most suitable for reproduction is shown. Shown in Figure 36
た記録再生装置７１は、光磁気ディスク１００にコードThe recording / reproducing apparatus 71 is configured to record the code on the magneto-optical disk 100.
データと同期した一定周期でパルス化された光を照射すIrradiate light that is pulsed with a constant period that is synchronized with the data
るためのレーザー光照射部と、記録再生時に光磁気ディLaser beam irradiator for recording and
スク１００に制御された磁界を印加する磁界印加部と、A magnetic field applying section for applying a controlled magnetic field to the disk 100,
光磁気ディスク１００からの信号を検出及び処理する信A signal for detecting and processing a signal from the magneto-optical disk 100.
号処理系とから主に構成する。レーザー光照射部においIt mainly consists of a signal processing system. Smell in the laser irradiation area
て、レーザー７２はレーザー駆動回路７３及び記録パルThe laser 72 is a laser drive circuit 73 and a recording pulse.
ス幅／位相調整回路７４（ＲＣ−ＰＰＡ）に接続し、レConnected to the pulse width / phase adjustment circuit 74 (RC-PPA),
ーザー駆動回路７３は記録パルス幅位相調整回路７４かThe laser drive circuit 73 is a recording pulse width phase adjustment circuit 74
らの信号を受けてレーザー７２のレーザLaser signal from the laser 72 パルス幅及び位Pulse width and position
相を制御するようにする。記録パルス幅／位相調整回路Try to control the phase. Recording pulse width / phase adjustment circuit
７４はＰＬＬ回路７５から後述するクロック信号を受け74 receives a clock signal described later from the PLL circuit 75
て記録光の位相及びパルス幅を調整するための第１同期Synchronization for adjusting the phase and pulse width of recording light
信号を発生させる。Generate a signal.

【００９８】磁界印加部において、磁界を印加する磁気
コイル７６は磁気コイル駆動回路（Ｍ−ＤＲＩＶＥ）７
７と接続し、記録時には磁気コイル駆動回路７７はデー
タが入力される符号器７０から位相調整回路（ＲＥ−Ｐ
Ａ）７８を通じて入力データを受けて磁気コイル７６を
制御する。一方、再生時には、ＰＬＬ回路７５から後述
するクロック信号を受けて再生パルス幅・位相調整回路
（ＲＰ−ＰＰＡ）７９を通じて位相およびパルス幅を調
整するための第２同期信号を発生し、第２同期信号に基
づいて磁気コイル７６を制御する。磁気コイル駆動回路
７７に入力される信号を記録時と再生時で切り換えるた
めに、記録再生切換器（ＲＣ／ＲＰＳＷ）８０を磁気コ
イル駆動回路７７に接続する。 In the magnetic field applying section, the magnetism for applying the magnetic field
The coil 76 is a magnetic coil drive circuit (M-DRIVE) 7
7 and the magnetic coil drive circuit 77 is used for recording during recording.
The phase adjustment circuit (RE-P
A) The input data is received through 78 and the magnetic coil 76 is received.
Control. On the other hand, at the time of reproduction, the PLL circuit 75 will be described later.
Receiving a clock signal to reproduce pulse width / phase adjustment circuit
Adjust the phase and pulse width through (RP-PPA) 79.
Generate a second synchronization signal for adjusting, and based on the second synchronization signal
Then, the magnetic coil 76 is controlled. Magnetic coil drive circuit
The signal input to 77 can be switched between recording and playback.
For this purpose, a recording / playback switch (RC / RPSW) 80
It is connected to the drive circuit 77.

【００９９】信号処理系において、レーザー７２と光磁
気ディスク１００との間には第１の偏光プリズム８１を
配置し、その側方には第２の偏光プリズム８２及び検出
器８３及び８４を配置する。検出器８３及び８４は、そ
れぞれ、Ｉ／Ｖ変換器８５及び８６を介して、共に、減
算器８７及び加算器８８に接続する。加算器８８はクロ
ック抽出回路（ＳＣＣ）８９を介してＰＬＬ回路７５に
接続する。減算器８７はクロックに同期して信号をホー
ルドするサンプルホールド（Ｓ／Ｈ）回路９０、同様に
クロックと同期してアナログデジタル変換を行うＡ／Ｄ
変換回路９１、２値化信号処理回路（ＢＳＣ）９２を介
して復号器９３に接続する。 In the signal processing system, the laser 72 and the magneto-optical
A first polarization prism 81 is provided between the air disk 100 and
The second polarizing prism 82 and the detector are arranged on the side thereof.
Arrange the vessels 83 and 84. The detectors 83 and 84 are
Both are reduced via I / V converters 85 and 86 respectively.
It is connected to the calculator 87 and the adder 88. The adder 88 is black
To the PLL circuit 75 via the clock extraction circuit (SCC) 89.
Connecting. The subtractor 87 outputs the signal in synchronization with the clock.
Sample hold (S / H) circuit 90,
A / D that performs analog-to-digital conversion in synchronization with the clock
Via a conversion circuit 91, a binary signal processing circuit (BSC) 92
Then, it connects to the decoder 93.

【０１００】信号処理系は、図３６に示すように、Ｓ／
Ｈ回路９０とＡ／Ｄ変換回路９１との間に、低域信号を
カットする信号処理装置１９０を備える。信号処理装置
１９０は、サンプルホールドの後、イコライジング回路
で波形等価し低域のノイズを圧縮してＡ／Ｄ回路で変調
信号を形成する。 The signal processing system, as shown in FIG.
Between the H circuit 90 and the A / D conversion circuit 91, a low frequency signal is
A signal processing device 190 for cutting is provided. Signal processor
190 is an equalizing circuit after sample and hold
The waveform is equivalent to and the low frequency noise is compressed and modulated by the A / D circuit.
Form a signal.

【０１０１】上記装置構成において、レーザー７２から
出射した光をコリメータレンズ９４ によって平行光に
し、偏光プリズム８１を通って対物レンズ９５によって
光磁気ディスク１００上に集光する。ディスクからの反
射光は偏光プリズム８１によって偏光プリズム８２の方
向に向け、１／２波長板９６を透過した後、偏光プリズ
ム８２で二方向に分割する。分割した光はそれぞれ検出
レンズ９７で集光して光検出器８３及び８４に導く。こ
こで、光磁気ディスク１００上にはトラッキングエラー
信号及びクロック信号生成用のピットが予め形成してお
けば良い。クロック信号生成用ピットからの反射光を示
す信号を検出器８３及び８４で検出した後、クロック抽
出回路８９において抽出する。次いでクロック抽出回路
８９に接続したＰＬＬ回路７５においてデータチャネル
クロックを発生させる。 In the above device configuration, from the laser 72
The emitted light is collimated by the collimator lens 94 .
Through the polarizing prism 81 and by the objective lens 95
The light is focused on the magneto-optical disk 100. Anti from disc
The polarized light is directed toward the polarizing prism 82 by the polarizing prism 81.
After passing through the half-wave plate 96, the polarization prism
The frame 82 is divided into two directions. Each divided light is detected
The light is condensed by the lens 97 and guided to the photodetectors 83 and 84. This
Now, the tracking error on the magneto-optical disk 100
Pre-formed pits for signal and clock signal generation
It's good. Shows the reflected light from the clock signal generation pit
After the signal is detected by the detectors 83 and 84, the clock extraction
It is extracted in the output circuit 89. Next is the clock extraction circuit
Data channel in PLL circuit 75 connected to 89
Generate a clock.

【０１０２】データ記録の際に、レーザー７２はレーザ
ー駆動回路７３によってデータチャネルクロックに同期
するように一定周波数で変調し、幅の狭い連続したパル
ス光を放射し、回転する光磁気ディスク１００のデータ
記録エリアを等間隔に局部的に加熱する。また、データ
チャネルクロックは、磁界印加部の符号器７０を制御し
て、基準クロック周期のデータ信号を発生させる。デー
タ信号は位相調整回路７８を経て磁気コイル駆動装置７
７に送る。磁気コイル駆動装置７７は、磁界コイル７６
を制御してデータ信号に対応した極性の磁界を光磁気デ
ィスク１００のデータ記録エリアの加熱部分に印加す
る。 When data is recorded, the laser 72 is the laser.
-Synchronized to data channel clock by drive circuit 73
Modulation at a constant frequency to
Data of the magneto-optical disk 100 that emits light and rotates
The recording area is locally heated at equal intervals. Also the data
The channel clock controls the encoder 70 of the magnetic field applying unit.
Then, the data signal of the reference clock cycle is generated. Day
The data signal passes through the phase adjusting circuit 78 and the magnetic coil driving device 7
Send to 7. The magnetic coil drive device 77 includes a magnetic field coil 76.
To control the magnetic field of the polarity corresponding to the data signal.
It is applied to the heated part of the data recording area of the disk 100.
It

【０１０３】記録方式としては光パルス磁界変調方式を
用いる。この方式は印加した記録磁界が十分な大きさに
到達したところでレーザー光をパルス状に照射するた
め、外部磁界の切り換わる領域で記録されるのを省くこ
とができ、その結果微小な磁区を低ノイズで記録するこ
とが可能な技術である。 The optical pulse magnetic field modulation method is used as the recording method.
To use. This method ensures that the applied recording magnetic field is large enough.
When it arrives, it irradiates the laser light in pulses.
Therefore, avoid recording in the area where the external magnetic field switches.
As a result, minute magnetic domains can be recorded with low noise.
It is a possible technology.

【０１０４】情報の再生には、光磁気記録媒体に再生磁
界を印加する必要はなく、光磁気記録媒体に再生光を照
射し、前述の第１〜第３のタイプの光磁気記録媒体の再
生原理に基づいて、記録層の微小磁区を再生層に転写し
て拡大させる。光磁気記録媒体からの戻り光を光検出器
で検出して情報を再生する。再生光には、連続光または
パルス光を用いることができる。再生パワーが変調され
た再生光を用いること もできる。 For reproducing information, a reproducing magnetic field is recorded on the magneto-optical recording medium.
It is not necessary to apply a field, and the reproduction light is irradiated onto the magneto-optical recording medium.
To reproduce the above-mentioned magneto-optical recording media of the first to third types.
Based on the raw principle, the minute magnetic domain of the recording layer is transferred to the reproducing layer.
To enlarge. Photodetector for returning light from magneto-optical recording medium
To detect and reproduce the information. Continuous light or
Pulsed light can be used. Playback power is modulated
It is also possible to use reproduced light .

【０１０５】光磁気記録媒体を再生する際、前述の原理
に基づく再生層の磁区の拡大を容易にするために、変調
された再生磁界を印加することもできる。 When reproducing the magneto-optical recording medium, the above-mentioned principle
Modulation to facilitate the expansion of the magnetic domain of the reproducing layer based on
It is also possible to apply the generated reproducing magnetic field.

【０１０６】[0106]

【実施例１０】本発明に従う別の光磁気記録媒体を、図Embodiment 10 Another magneto-optical recording medium according to the present invention is shown in FIG.
３７及び図１４を用いて説明する。図３７に示したようIt demonstrates using 37 and FIG. As shown in Figure 37
に、光磁気ディスク２００は、基板１上に、誘電体層In addition, the magneto-optical disk 200 includes a dielectric layer on the substrate 1.
２、拡大再生層３、拡大トリガー層４’、記録層５、記2, enlargement reproduction layer 3, enlargement trigger layer 4 ', recording layer 5, description
録補助層６’、保護層７及びヒートシンク層８を備えA recording auxiliary layer 6 ', a protective layer 7 and a heat sink layer 8 are provided.
る。かかる光磁気ディスク２００は、上記各層を高周波It In such a magneto-optical disk 200, each of the above layers has a high frequency.
スパッタ装置（不図示）を用いて以下のように成膜しA film is formed as follows using a sputtering device (not shown).
た。It was

【０１０７】基板１は、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６ｍ
ｍの透明なポリカーボネートである。基板１の表面に
は、射出成形により、図２１に示すようにランド１Ｌ
と、ランド１Ｌ間に画成されるグルーブ１Ｇが形成され
ている。図２１に示したように、ランド側壁ＬＷの傾斜
角をθとし、ランド１Ｌの高さ、即ち、グルーブ１Ｇの
深さＤの半分（Ｄ／２）の高さ位置におけるランド１Ｌ
の幅をランド半値幅Ｌとする。また、グルーブ１Ｇの深
さＤの半分の高さ位置におけるグルーブの幅をグルーブ
半値幅Ｇとする。グルーブ半値幅は、あるランドのラン
ド側壁ＬＷの高さ方向の中間地点と隣接するランドのラ
ンド側壁ＬＷの高さ方向の中間地点の間の距離である。
この場合、トラックピッチＴＰは、ＴＰ＝Ｇ＋Ｌで表さ
れる。 The substrate 1 has a diameter of 120 mm and a thickness of 0.6 m.
m is a transparent polycarbonate. On the surface of substrate 1
21L by land injection molding as shown in FIG.
And a groove 1G defined between the lands 1L is formed.
ing. As shown in FIG. 21, the inclination of the land side wall LW
The angle is θ and the height of the land 1L, that is, the groove 1G
Land 1L at a height of half the depth D (D / 2)
Is defined as the land half width L. Also, the depth of the groove 1G
The width of the groove at the height of half the height D
The half-value width G is set. The half-width of the groove is the run of a certain land.
Of the land adjacent to the midpoint in the height direction of the side wall LW
It is the distance between the midpoints in the height direction of the sidewall LW.
In this case, the track pitch TP is represented by TP = G + L
Be done.

【０１０８】本実施例では、表１に示すような種々の形
状寸法を有する基板を用意した。 In this embodiment, various shapes as shown in Table 1 are used.
A substrate having uniform dimensions was prepared.

【０１０９】[0109]

【表１】 [Table 1]

【０１１０】上記の基板の表面に、それぞれ紫外線ラン
プを用いて、ピーク波長λが１８５＋２５４ｎｍの紫外
線を照射した。上記ランプを基板１表面から７０ｍｍ上
方に設置し、基板１を２ｒｐｍの速度で回転させること
により、表面粗さ０．３ｎｍとなるような平滑化した。 On the surface of the above-mentioned substrate, ultraviolet rays are run, respectively.
UV with a peak wavelength 185 + 254 nm
The line was irradiated. 70mm above the surface of the substrate 1
The substrate 1 and rotate the substrate 1 at a speed of 2 rpm.
Was used to smooth the surface to a surface roughness of 0.3 nm.

【０１１１】次いで、基板１のランド・グルーブ形成面
上に、ターゲット材料としてＳｉを用い、Ａｒ＋Ｎ _２ 雰
囲気中にて、誘電体層２を厚さ６０ｎｍで形成した。誘
電体層２は、層内で再生用光ビームを多重干渉させ、検
出されるカー回転角を実質的に増加させるための層であ
る。 Next, the land / groove forming surface of the substrate 1
On top, Si is used as a target material and an Ar + N ₂ atmosphere is used.
The dielectric layer 2 having a thickness of 60 nm was formed in the atmosphere. Invitation
The electric body layer 2 multiplexes the reproduction light beam in the layer to cause interference.
A layer to substantially increase the car rotation angle issued.
It

【０１１２】次いで、誘電体層２表面上に、Ｇｄ及びＦ
ｅの単体ターゲットを同時スパッタし、膜厚２０ｎｍと
なるように拡大再生層３を形成した。これにより、形成
されたＧｄＦｅ拡大再生層３は垂直磁化膜であり、キュ
リー温度は約２４０℃、補償温度はキュリー温度以上で
あった。拡大再生層３は、記録補助層６’から転写され
る磁区が拡大される層である。 Then, Gd and F are formed on the surface of the dielectric layer 2.
Simultaneous sputtering of a single target (e) to obtain a film thickness of 20 nm
The enlarged reproduction layer 3 was formed so that This forms
The GdFe magnified reproducing layer 3 thus formed is a perpendicularly magnetized film.
Lee temperature is about 240 ℃, compensation temperature is above Curie temperature
there were. The expansion reproducing layer 3 is transferred from the recording auxiliary layer 6 '.
Is a layer in which the magnetic domain is expanded.

【０１１３】次いで、拡大再生層３上に、Ｔｂ、Ｇｄ及
びＦｅの単体ターゲットを同時にスパッタすることによ
り、拡大トリガー層４’を膜厚１０ｎｍで形成した。こ
のとき、ＴｂＧｄＦｅ拡大トリガー層４’は垂直磁化膜
であり、キュリー温度が１４０℃、補償温度が室温以下
であった。拡大トリガー層４’は、拡大再生層３及び記
録層５とそれぞれ磁気的に交換結合している。 Then, Tb, Gd and
And a single Fe target are simultaneously sputtered
Thus, the enlarged trigger layer 4 ′ was formed with a film thickness of 10 nm. This
At this time, the TbGdFe expansion trigger layer 4'is a perpendicular magnetization film.
And the Curie temperature is 140 ° C and the compensation temperature is below room temperature.
Met. The expansion trigger layer 4'is the expansion reproduction layer 3 and
Each of them is magnetically exchange-coupled with the recording layer 5.

【０１１４】次いで、拡大トリガー層４’上に、Ｔｂ、
Ｆｅ及びＣｏの単体ターゲットを同時にスパッタするこ
とにより、ＴｂＦｅＣｏ記録層５を膜厚７５ｎｍで形成
した。記録層５のキュリー温度が２５０℃、補償温度が
約２５℃であった。記録層５は、情報が磁化として記録
される層である。 Then, on the expansion trigger layer 4 ', Tb,
Simultaneous sputtering of Fe and Co single targets
To form the TbFeCo recording layer 5 with a film thickness of 75 nm
did. The Curie temperature of the recording layer 5 is 250 ° C. and the compensation temperature is
It was about 25 ° C. Information is recorded as magnetization on the recording layer 5.
It is a layer to be.

【０１１５】次いで、記録層５上に、Ｇｄ、Ｆｅ及びＣ
ｏの単体ターゲットを同時にスパッタすることにより、
ＧｄＦｅＣｏ記録補助層６’を膜厚１０ｎｍで形成し
た。記録補助層６’のキュリー温度が２７０℃、補償温
度が室温以下であった。記録補助層６’は、記録層５と
交換結合して、より小さい変調磁界で記録層５への記録
を可能とする層である。 Then, on the recording layer 5, Gd, Fe and C are added.
By sputtering the single target of o at the same time,
A GdFeCo recording auxiliary layer 6'is formed with a film thickness of 10 nm.
It was Curie temperature of the recording auxiliary layer 6 ′ is 270 ° C., compensation temperature
The temperature was below room temperature. The recording auxiliary layer 6 ′ and the recording layer 5 are
Recording on the recording layer 5 by exchange coupling and a smaller modulation magnetic field
Is a layer that enables.

【０１１６】次いで、記録補助層６’上に、Ａｒ＋Ｎ _２
雰囲気中においてターゲット材料としてＳｉを用いてス
パッタを行うことにより、保護層７を膜厚２０ｎｍで形
成した。保護層７は、基板１上に積層された各層２〜６
を保護するための層である。 Then, Ar + N _{2 is formed} on the recording auxiliary layer 6 '.
Using Si as the target material in the atmosphere,
The protective layer 7 is formed with a film thickness of 20 nm by performing the putter.
I made it. The protective layer 7 includes layers 2 to 6 laminated on the substrate 1.
Is a layer for protecting the.

【０１１７】また、保護層７上に、ＡｌＴｉの合金をタ
ーゲットに用いることにより、ヒートシンク層８を膜厚
３０ｎｍで形成した。ヒートシンク層８は、記録時に光
磁気ディスク内に発生する熱を外部に放熱するため層で
ある。さらに、ヒートシンク層８上に、アクリル系の紫
外線硬化型樹脂を塗布し、その後、紫外線を照射し、硬
化させることにより、保護コート層９を膜厚１０μｍで
形成した。 On the protective layer 7, an AlTi alloy is applied.
The heat sink layer 8 has a thickness of
It was formed with a thickness of 30 nm. The heat sink layer 8 is a light
A layer to dissipate the heat generated in the magnetic disk to the outside
is there. Furthermore, on the heat sink layer 8, an acrylic purple
Apply an external line curable resin and then irradiate it with ultraviolet rays to harden it.
Of the protective coating layer 9 with a film thickness of 10 μm
Formed.

【０１１８】次に、本実施例で作製した光磁気ディスク
２００を、不図示の光磁気記録再生装置を用いて情報の
記録再生テストを行った。光磁気記録再生装置は、波長
６４ ０ｎｍのレーザー光と開口数（ＮＡ）０．６の対物
レンズを有する光ヘッドを備えている。記録方式とし
て、レーザー光をパルス状に照射して、外部磁界を記録
情報に応じて変調させながら印加する、光パルス磁界変
調方式を用いた。記録時の線速度は３．５ｍ／ｓｅｃで
あり、記録磁界は±２００Ｏｅに変調した。また、記録
時のパルス光のデューティを３０％とし、レーザー光の
記録パワーに関しては最適化を行った。グルーブ部に最
短マーク長０．１２μｍのランダムパターンを記録した
後、最適化した再生パワーの再生光を用いて、ビットエ
ラーレート（ＢＥＲ）を測定した。表１に示した種々の
Ｇ／Ｌ比を有する光磁気ディスクについて、ビットエラ
ーレートをそれぞれ測定し、図３８のグラフにＧ／Ｌに
対するビットエラーレートの変化を表した。ビットエラ
ーレートの閾値（上限）を５×１０ ^−４ と定めた。図３
８のグラフより、Ｇ／Ｌが１．３≦Ｇ／Ｌ≦４．０のと
きに、良好なビットエラーレートを示すことが分かる。 Next, the magneto-optical disk manufactured in this example.
200 by using a magneto-optical recording / reproducing device (not shown).
A recording / reproduction test was conducted. Magneto-optical recording / reproducing device
640 nm laser light and numerical aperture (NA) 0.6 objective
An optical head having a lens is provided. Recording method
Pulsed laser light to record the external magnetic field
Optical pulse magnetic field change applied while being modulated according to information
The keying method was used. The linear velocity during recording is 3.5m / sec
And the recording magnetic field was modulated to ± 200 Oe. Also record
When the duty of the pulsed light is set to 30%,
The recording power was optimized. Up to the groove
A random pattern with a short mark length of 0.12 μm was recorded.
After that, using reproduction light with optimized reproduction power, bit
The lurr rate (BER) was measured. The various types shown in Table 1
For a magneto-optical disk having a G / L ratio, a bit error
-Rate is measured respectively, and G / L is shown in the graph of FIG. 38.
The change in bit error rate is shown. Bit error
The threshold (upper limit) of the rate is set to 5 × 10 ⁻⁴ . Figure 3
From the graph of 8, G / L is 1.3 ≦ G / L ≦ 4.0.
It can be seen that it shows a good bit error rate.

【０１１９】本実施例においては、光磁気ディスクとし
て８層（保護コート層９を除く）を有する例を示した
が、基本的な層構成として、基板上に情報を保持する記
録層とその保持された情報が再生時に転写される拡大再
生層とを有する光磁気ディスクであれば、Ｇ／Ｌの上記
範囲が有効であることが分かった。また、本実施例にお
いては、基板表面の平滑化方法として紫外線照射法を用
いたが、基板加熱法やプラズマエッチング法等を用いて
もよい。 In this embodiment, a magneto-optical disk is used.
And an example having 8 layers (excluding the protective coat layer 9) is shown.
However, as a basic layer structure, the information is retained on the substrate.
An expansion replay in which the recording layer and its retained information are transferred during playback.
If it is a magneto-optical disk having a green layer, the above G / L
The range was found to be valid. In addition, in this embodiment
In this case, the UV irradiation method is used as a method for smoothing the substrate surface.
However, using the substrate heating method, plasma etching method, etc.
Good.

【０１２０】[0120]

【実施例１１】基板１のグルーブ及びランドの形状寸法[Embodiment 11] Shapes of grooves and lands of the substrate 1
を表２のように作製した以外は、実施例１０と同様に光Was prepared in the same manner as in Example 10, except that
磁気ディスクを作製した。A magnetic disk was produced.

【０１２１】[0121]

【表２】 [Table 2]

【０１２２】本実施例においては、グルーブの深さＤの
みを変更して、複数の光磁気ディスクを作製した。実施
例１０と同様にして、不図示の光磁気記録再生装置を用
いて、ランダムパターンを記録再生した。各光磁気ディ
スクについて、グルーブ深さＤに対するビットエラーレ
ートの変化を調べた。その結果を、図３９に示した。ビ
ットエラーレートの閾値を１×１０ ^−４ とした場合、図
３９より、Ｄの値が３０ｎｍ〜８０ｎｍであるときに、
良好なビットエラーレートを達成していることが分か
る。 In the present embodiment, the groove depth D
A plurality of magneto-optical disks were manufactured by changing only the point. Implementation
A magneto-optical recording / reproducing apparatus (not shown) was used in the same manner as in Example 10.
The random pattern was recorded and reproduced. Each magneto-optical disc
The bit error level for the groove depth D
I examined the changes in the game. The result is shown in FIG. 39. B
When the threshold of the input error rate is 1 × 10 ⁻⁴ ,
From 39, when the value of D is 30 nm to 80 nm,
Do you know you are achieving a good bit error rate?
It

【０１２３】変形例として、拡大トリガー層として、Ｔ
ｂＧｄＦｅＣｏを膜厚１０ｎｍで形成し、基板のグルー
ブ深さを７０ｎｍ、６５ｎｍ、６０ｎｍ、５５ｎｍ、５
０ｎｍ、４５ｎｍ、４０ｎｍ、３５ｎｍ及び３０ｎｍに
した以外はこの実施例と同様にして種々の光磁気ディス
クを作製した。この拡大トリガー層は、Ｔｂ、Ｇｄ、Ｆ
ｅ、Ｃｏの単体ターゲットを同時スパッタし、補償温度
が室温以下の垂直磁化 膜となるよう、膜組成を調整し
た。拡大トリガー層４は１４０℃で再生層３と記録層５
の交換結合力を遮断する働きをする。これらの光磁気デ
ィスクについて実施例１１と同様にしてビットエラーレ
ートを測定し、グルーブ深さＤに対するビットエラーレ
ートの変化を調べた。その結果を、図３９に変形例とし
て示した。最短マーク長は０．１３μｍである。Ｄの値
が３５ｎｍ〜６５ｎｍであるときに、良好なビットエラ
ーレートを達成していることが分かる。 As a modification, as the expansion trigger layer, T
bGdFeCo is formed with a film thickness of 10 nm, and
Depth of 70 nm, 65 nm, 60 nm, 55 nm, 5
0 nm, 45 nm, 40 nm, 35 nm and 30 nm
Except for the above, various magneto-optical disks were prepared in the same manner as in this embodiment.
Ku was made. This expansion trigger layer is made of Tb, Gd, F
e, Co single target is sputtered at the same time, compensation temperature
The film composition is adjusted so that
It was The expansion trigger layer 4 is a reproducing layer 3 and a recording layer 5 at 140 ° C.
Acts to block the exchange coupling force of. These magneto-optical devices
For the disk, the bit error level is the same as in the eleventh embodiment.
The bit error rate with respect to the groove depth D.
I examined the changes in the game. The result is shown in FIG. 39 as a modified example.
Showed. The shortest mark length is 0.13 μm. Value of D
Bit error of 35 nm to 65 nm
-It can be seen that the rate has been achieved.

【０１２４】基板のグルーブ深さが、７０ｎｍ以上に深
い場合はグルーブの端が熱せられにくく記録マークの拡
大再生が妨げられるからエラーレートが低下すると考え
られる。一方、基板の深さが３０ｎｍ以下となるとトラ
ッキング信号が小さくなり、グルーブを追跡することが
できなくなった。それゆえ、グルーブ深さは３０〜７
０、特に３５ｎｍ〜６５ｎｍがこの例における光磁気デ
ィスクに最適であることがわかる。 The groove depth of the substrate is 70 nm or more.
If not, the edges of the groove will not be heated easily and the recording marks will not expand.
It is thought that the error rate will decrease because large playback will be hindered.
To be On the other hand, if the depth of the substrate is 30 nm or less,
The tracking signal will be smaller and the groove can be tracked.
I can no longer. Therefore, the groove depth is 30-7
0, especially 35 nm to 65 nm, is the magneto-optical data in this example.
It turns out that it is the best for the disc.

【０１２５】本実施例では、一例として波長６５０ｎｍ
の再生レーザ光を使用したが、一般に基板に入射する入
射光と基板からの反射光の位相差は、再生レーザー光の
波長と基板の屈折率と基板のグルーブ深さによって一意
的に決定されるので、この例からはグルーブ深さがλ／
１２ｎ〜λ／７ｎの基板を有する光磁気ディスクが望ま
しいことがわかる。 In this embodiment, as an example, the wavelength is 650 nm.
Although the regenerated laser beam of
The phase difference between the emitted light and the reflected light from the substrate is
Unique by wavelength, substrate refractive index and substrate groove depth
Since the groove depth is λ /
A magneto-optical disk having a substrate of 12n to λ / 7n is desired.
I understand that.

【０１２６】[0126]

【実施例１２】基板１のグルーブ及びランドの形状寸法[Embodiment 12] Shape and dimensions of groove and land of substrate 1
を表３のように作製した以外は、実施例１０と同様に光Was prepared in the same manner as in Example 10 except that
磁気ディスクを作製した。A magnetic disk was produced.

【０１２７】[0127]

【表３】 [Table 3]

【０１２８】本実施例においては、基板のランド側壁面
（グルーブを区画する壁面）の傾斜角度θのみを変更し
て、表３に示した基板を用いて複数の光磁気ディスクを
作製した。実施例１０と同様にして、不図示の光磁気記
録再生装置を用いて、ランダムパターンを記録再生し
た。各光磁気ディスクについて、ランド側壁面の傾斜角
度θに対するビットエラーレートの変化を調べた。その
結果を、図４０に示した。ビットエラーレートの閾値
（上限）を５×１０ ^−４ とした場合、図４０より、θの
値３５°〜７７°が好ましく、ビットエラーレートの閾
値を１×１０ ^−４ とした場合、θの値４０°〜７５°が
好ましい。 In the present embodiment, the side wall surface of the land of the substrate
Change only the inclination angle θ of (the wall that divides the groove)
Then, using the substrates shown in Table 3, a plurality of magneto-optical disks can be
It was made. In the same manner as in Example 10, a magneto-optical recording device (not shown) was used.
Use a recording / playback device to record / playback a random pattern.
It was Angle of land sidewall for each magneto-optical disk
The change in bit error rate with respect to the degree θ was investigated. That
The results are shown in Fig. 40. Bit error rate threshold
When (upper limit) is set to 5 × 10 ⁻⁴ , from FIG.
A value of 35 ° to 77 ° is preferable, and the threshold of bit error rate
When the value is set to 1 × 10 ⁻⁴ , the value of θ is 40 ° to 75 °
preferable.

【０１２９】[0129]

【比較例（ランド記録）】基板１のグルーブ及びランド[Comparative example (land recording)] Grooves and lands of the substrate 1
を、トラックピッチ（ＴＰ）０．７０μｍ、ランド半値Track pitch (TP) 0.70 μm, land half value
幅（Ｌ）０．５０μｍ、グルーブ半値幅（Ｇ）０．２０Width (L) 0.50 μm, groove half width (G) 0.20
μｍ、グルーブ深さ（Ｄ）６０ｎｍ、ランド側壁面傾斜μm, groove depth (D) 60 nm, land sidewall slope
角度（θ）が６５°となるように形成した以外は、実施Except for forming the angle (θ) to be 65 °
例１０と同様にして光磁気ディスクを作製した。次いA magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 10. Next
で、この光磁気ディスクに、実施例１０と同様にして、Then, on this magneto-optical disk, in the same manner as in Example 10,
光磁気記録再生装置を用いて、ランダムパターンを記録Random patterns are recorded using a magneto-optical recording / reproducing device
再生した。但し、レーザー光の記録パワーを変化させ、Replayed. However, changing the recording power of the laser light,
ランドland 部に最短マーク長０．１３μｍのランダムパターRandom pattern with the shortest mark length of 0.13 μm
ンを記録した。各記録パターンを再生してビットエラーRecorded. Bit error by playing each recording pattern
レートの記録パワー依存性を調べた。図４１にビットエThe recording power dependence of the rate was investigated. Figure 41
ラーレートの記録パワー依存性を表すグラフを示す。次The graph which shows the recording power dependence of a Llar rate is shown. Next
いで、記録パワーを一定とし、再生パワーを変動させてThe recording power is constant and the reproduction power is varied.
再生した場合のビットエラーレートの再生パワー依存性Playback power dependence of bit error rate during playback
を求めた。図４２にビットエラーレートの再生パワー依I asked. FIG. 42 shows the reproduction power of the bit error rate.
存性を表すグラフを示す。閾値の上限として、いずれのThe graph which shows existence is shown. As the upper limit of the threshold,
場合も１×１０Also 1 x 10 ^−４-4 とした。And

【０１３０】[0130]

【参考例（グルーブ記録）】基板１のグルーブ及びラン[Reference example (groove recording)] Groove and run of substrate 1
ドを、トラックピッチ（ＴＰ）０．７０μｍ、ランド半Track pitch (TP) 0.70 μm, land half
値幅（Ｌ）０．２０μｍ、グルーブ半値幅（Ｇ）０．５Value width (L) 0.20 μm, groove half-value width (G) 0.5
０μｍ、グルーブ深さ（Ｄ）６０ｎｍ、ランド側壁面傾0 μm, groove depth (D) 60 nm, land side wall surface inclination
斜角度（θ）６５°になるように形成した以外は、比較Comparison except that it was formed to have an oblique angle (θ) of 65 °
例と同様に、光磁気ディスクを作製した。但し、この光A magneto-optical disk was produced in the same manner as the example. However, this light
磁気ディスクでは、グルーブにランダムパターンを、比For magnetic disks, use a random pattern
較例と同様に記録した。ビットエラーレートの記録パワIt recorded like the comparative example. Bit error rate recording power
ー依存性及び再生パワー依存性を調べた。その結果を、-Dependence and reproduction power dependence were investigated. The result is
ランド記録と比較するために、図４１及び図４２に示Shown in FIGS. 41 and 42 for comparison with the land record.
す。You

【０１３１】図４１及び図４２より、ランド部に情報を
記録した場合に比べ、グルーブ部に情報記録した場合の
方が、ビットエラーレートに対する記録及び再生のパワ
ー感度を増大することができることが分かる。これによ
り、光磁気記録再生装置のドライブ、ひいては光磁気記
録再生装置自体の消費電力の低減が可能となる。 From FIGS. 41 and 42, information is written in the land portion.
Compared to the case of recording, the case of recording information in the groove
Better recording and playback power for the bit error rate.
-It turns out that the sensitivity can be increased. By this
Drive of the magneto-optical recording / reproducing device, and
The power consumption of the recording / reproducing apparatus itself can be reduced.

【０１３２】[0132]

【実施例１３】この例では図４３に示すような構造の光[Embodiment 13] In this embodiment, light having a structure as shown in FIG. 43 is used.
磁気ディスク４００を製造する。光磁気ディスク４００The magnetic disk 400 is manufactured. Magneto-optical disk 400
は、拡大再生層３、中間層４及び記録層５以外は、実施Except for the enlargement reproduction layer 3, the intermediate layer 4 and the recording layer 5,
例１で作製した光磁気ディスクと同様である。誘電体層This is the same as the magneto-optical disk manufactured in Example 1. Dielectric layer
２上に拡大再生層３として、希土類遷移金属合金ＧｄＦ2 is used as an enlarged reproducing layer 3 on which a rare earth transition metal alloy GdF is formed.
ｅを膜厚２０ｎｍで成膜した。このＧｄＦｅ膜は、キュe was formed into a film having a thickness of 20 nm. This GdFe film is
リー温度が約２００℃、補償温度がキュリー温度以上でThe Lee temperature is about 200 ° C and the compensation temperature is above the Curie temperature.
あった。拡大再生層３の１３０℃における飽和磁化は約there were. The saturation magnetization of the expansion reproducing layer 3 at 130 ° C. is about
５０ｅｍｕ／ｃｍ50 emu / cm ^３Three であった。Met.

【０１３３】拡大再生層３上に、中間層４として、補償
温度が室温以下である希土類遷移金属合金ＴｂＧｄＦｅ
Ｃｏを膜厚１０ｎｍで成膜した。このＴｂＧｄＦｅＣｏ
膜のキュリー温度は、拡大再生層のキュリー温度より高
く約２２０℃であった。ＴｂＧｄＦｅＣｏ膜におけるＴ
ｂとＧｄの比率（Ｔｂ／Ｇｄ）は２０％であり、Ｆｅと
Ｃｏの比率（Ｆｅ／Ｃｏ）は１５％であった。中間層４
の製膜後に、中間層の表面をわずかに窒化ないし酸化処
理をする。 On the enlarged reproduction layer 3, as the intermediate layer 4, compensation is performed.
Rare earth transition metal alloy TbGdFe whose temperature is below room temperature
Co was deposited to a film thickness of 10 nm. This TbGdFeCo
The Curie temperature of the film is higher than that of the expanded regeneration layer.
It was about 220 ° C. T in TbGdFeCo film
The ratio of b and Gd (Tb / Gd) is 20%, and Fe and
The Co ratio (Fe / Co) was 15%. Middle layer 4
After film formation, the surface of the intermediate layer is slightly nitrided or oxidized.
Make sense.

【０１３４】処理方法として、中間層４の製膜後にスパ
ッタ装置の真空チャンバー内に窒素ないし酸素を混合し
たＡｒガスを導入し、積層した中間層に対してスパッタ
エッチングを行なうことができる。この処理により中間
層４の表面に薄い、例えば、１原子から数原子層の窒化
層または酸化層が形成される。あるいは、この処理によ
り、中間層４を構成するＴｂＧｄＦｅＣｏの表面に酸素
原子または窒素原子が混入される。それゆえ、中間層４
の表面部分のキュリー温度が低下する。この低下したキ
ュリー温度が再生温度より低ければ、再生光照射により
この表面部分の磁化が消失して、記録層と拡大再生層の
交換結合力が遮蔽または遮断されることになる。それゆ
え、中間層の磁化の温度変化とは独立に記録層と拡大再
生層の交換結合力及びその温度変化を制御することが可
能となる。そして、拡大再生層と結合した中間層の磁化
が消失することなく、拡大再生層では再生時のある温度
で臨界的に記録層との交換結合力から解放され、磁区が
急峻に拡大し始め、最小磁区径まで拡大する。この拡大
した磁区から大きな再生信号が得られる。 As a processing method, a spa is applied after the formation of the intermediate layer 4.
Mix nitrogen or oxygen into the vacuum chamber of the
Ar gas is introduced, and sputtering is performed on the laminated intermediate layer.
Etching can be performed. Intermediate by this process
Nitriding of thin, eg one to several atomic layers on the surface of layer 4
A layer or oxide layer is formed. Alternatively, this process
Oxygen on the surface of TbGdFeCo forming the intermediate layer 4.
Atoms or nitrogen atoms are mixed in. Therefore, the middle layer 4
The Curie temperature of the surface part of is decreased. This lowered key
If the Curie temperature is lower than the regeneration temperature,
The magnetization of this surface part disappears, and
The exchange coupling force will be shielded or blocked. Soreyu
The recording layer and the expansion layer are independent of temperature changes in the magnetization of the intermediate layer.
It is possible to control the exchange coupling force of the green layer and its temperature change.
It becomes Noh. And the magnetization of the intermediate layer coupled with the magnifying reproducing layer
The temperature at the time of regeneration does not disappear in the expanded regeneration layer.
Critically released from exchange coupling with the recording layer,
It begins to expand rapidly and expands to the minimum domain size. This expansion
A large reproduced signal can be obtained from the magnetic domain.

【０１３５】中間層の表面処理の程度は、スパッタガス
として窒素、酸素のＡｒガスに対する分圧比や全ガス
圧、投入パワー、スパッタエッチング時間などに依存す
るので、適宜調整することができる。重要なことは、中
間層４と拡大再生層３の界面で交換結合力が遮蔽又は遮
断される温度を、再生光のスポット中央部付近に発生す
る温度（高温）になるよう設定する。通常、この温度は
１６０〜１８０℃であると考えられる。再生層及び記録
層の交換結合力の温度変化は、前述のようにカーヒステ
リシスカーブのマイナーループの温度変化から測定する
ことができる。 The degree of surface treatment of the intermediate layer depends on the sputtering gas.
As a partial pressure ratio of nitrogen and oxygen to Ar gas and total gas
Depends on pressure, input power, sputter etching time, etc.
Therefore, it can be adjusted appropriately. The important thing is
The exchange coupling force is blocked or blocked at the interface between the interlayer 4 and the expansion reproducing layer 3.
The temperature to be cut off is generated near the center of the spot of the playback light.
Temperature (high temperature). Usually this temperature is
It is considered to be 160 to 180 ° C. Playback layer and recording
As described above, the change in temperature of the exchange coupling force of the layer depends on the car hysteresis.
Measure from temperature change of minor loop of lysis curve
be able to.

【０１３６】本実施例では、表面処理条件として、窒素
を５％混入したＡｒガスを０．３Ｐａの圧力でチャンバ
ー内に導入し、５０ＷのＲＦ電力を印加して３秒間のス
パッタエッチングを行なった。これにより交換結合力が
遮断される温度が１６０℃であった。この交換結合力遮
断温度は、中間層の表面処理により中間層のキュリー温
度（約２２０℃）よりも低くなる。そのため、中間層４
のキュリー温度は拡大再生層３のキュリー温度に対し独
立に設定することができる。一般には、中間層４の表面
処理により交換結合力遮断温度は中間層のキュリー温度
より低くなるので、中間層４のキュリー温度は拡大再生
層３のキュリー温度よりも高く設定するほうが効果的で
ある。 In this embodiment, nitrogen is used as the surface treatment condition.
Ar gas mixed with 5% of Ar at a pressure of 0.3 Pa
Introduced into the chamber, apply RF power of 50W and switch for 3 seconds.
Putter etching was performed. This makes the exchange coupling force
The shutoff temperature was 160 ° C. This exchange coupling force is blocked
The cutoff temperature is the Curie temperature of the intermediate layer due to the surface treatment of the intermediate layer.
Degrees (about 220 ° C). Therefore, the middle layer 4
The Curie temperature of is independent of the Curie temperature of the expanded regeneration layer 3.
It can be set upright. Generally, the surface of the mid layer 4
Depending on the treatment, the exchange coupling blocking temperature is the Curie temperature of the intermediate layer.
Curie temperature of the middle layer 4 is expanded and regenerated because it becomes lower
It is more effective to set it higher than the Curie temperature of layer 3
is there.

【０１３７】上記のように表面処理した中間層４上に、
記録層５としてキュリー温度が２６０℃で補償温度が室
温付近にある希土類遷移金属合金ＴｂＦｅＣｏを膜厚４
０ｎｍで成膜した。拡大再生層３、中間層４及び記録層
５の３層は全て室温からキュリー温度まで垂直磁化膜で
あった。 On the intermediate layer 4 surface-treated as described above,
As the recording layer 5, the Curie temperature is 260 ° C. and the compensation temperature is room temperature.
The rare-earth transition metal alloy TbFeCo near the temperature is deposited to a film thickness of 4
The film was formed at 0 nm. Enlargement reproduction layer 3, intermediate layer 4 and recording layer
All three layers of 5 are perpendicular magnetic films from room temperature to Curie temperature
there were.

【０１３８】上記のように構成した光磁気ディスクにお
いては、中間層のキュリー温度が拡大再生層より高い
が、中間層と記録層の界面の交換結合力を遮断する温度
が１６０℃であり、中間層のキュリー温度を１５０℃と
した実施例８と同じ温度で磁区拡大がおこるため、両者
の記録再生特性はほとんど同じであった。 The magneto-optical disk having the above structure
In addition, the Curie temperature of the intermediate layer is higher than that of the expanded playback layer.
Is the temperature at which the exchange coupling force at the interface between the intermediate layer and the recording layer is cut off.
Is 160 ° C, and the Curie temperature of the intermediate layer is 150 ° C.
Since magnetic domain expansion occurs at the same temperature as in Example 8 described above,
The recording and reproducing characteristics of were almost the same.

【０１３９】この例では、中間層を成膜後、中間層の表
面を処理したが、拡大再生層を成膜後に拡大再生層の表
面を上記と同様にして処理してもよいし、記録層の中間
層側の表面を処理しても良い。あるいは、中間層と記録
層の界面または中間層と拡大再生層の界面にその界面近
傍のキュリー温度を低下させる物質をアイランド状に分
布させるか、または１〜数原子層の厚みで堆積させても
よい。キュリー温度を低下させる物質として希土類元素
やニッケルを用い得る。あるいは中間層を堆積している
途中で上記のような表面処理を行ってもよい。 In this example, after forming the intermediate layer, the surface of the intermediate layer is
The surface was treated, but the surface of the expanded reproduction layer was
The surface may be treated in the same manner as above, or the middle of the recording layer
The surface on the layer side may be treated. Or the middle layer and recording
Near the interface of the layer or the interface between the intermediate layer and the magnified reproduction layer.
Substances that lower the Curie temperature nearby are separated into islands
Can be applied or deposited to a thickness of one to several atomic layers
Good. Rare earth elements as substances that lower the Curie temperature
Or nickel can be used. Or depositing an intermediate layer
The surface treatment as described above may be performed on the way.

【０１４０】[0140]

【発明の効果】【The invention's effect】 本発明の光磁気記録媒体を用いると、例Using the magneto-optical recording medium of the present invention,
えば、記録層５に直径０．３マイクロメートルの円形磁For example, the recording layer 5 has a circular magnet with a diameter of 0.3 μm.
区が記録されていても充分に大きな再生信号が得られEven if the area is recorded, a sufficiently large reproduction signal can be obtained.
る。したがって、本発明では、磁区拡大を円滑に行えるIt Therefore, in the present invention, the magnetic domain can be smoothly expanded.
ようランド部あるいはグルーブ部をレーザーアニールすLaser anneal the land or groove
ることや、特殊な製膜方法を使ってランド部とグルーブOr using special film forming method, land and groove
部の境界部に付着する記録膜を薄くする等の複雑な処理Processing such as thinning the recording film that adheres to the boundary between the parts
は不要であり、通常の基板を用いても微小磁区から増幅Is unnecessary, and amplification from minute magnetic domains is possible even with a normal substrate.
された再生信号を得ることが可能である。It is possible to obtain the reproduced signal.

【０１４１】本発明の光磁気記録媒体は、記録層に記録
された微小な磁区を、再生磁界を印加することなく、再
生層に逆向きの磁化で転写して再生層で拡大することが
でき、また、ＤＷＤＤやＣＡＲＥＤと異なり、３層構造
と層数が少ないにも関わらずゴースト信号の発生もない
ので、次世代型大容量光磁気記録媒体として極めて有効
である。 The magneto-optical recording medium of the present invention records on the recording layer.
The minute magnetic domains that have been generated without applying a reproducing magnetic field.
It can be transferred to the raw layer with the opposite magnetization and enlarged in the reproducing layer.
Yes, and unlike DWDD and CARED, it has a three-layer structure
No ghost signal is generated despite the small number of layers
Therefore, it is extremely effective as a next-generation large-capacity magneto-optical recording medium.
Is.

【０１４２】光磁気記録媒体、特に、再生磁界を印加し
ないタイプのＭＡＭＭＯＳを利用した光磁気記録媒体の
基板溝形状を、上述の範囲における値で設計し、且つ、
特に情報をグルーブに記録する方式を採用することによ
り、記録再生パワー感度の増大が可能となる。即ち、光
磁気記録媒体への記録・再生における特性を従来のもの
よりも大幅に改善することが可能となる。 Magneto-optical recording medium, especially when a reproducing magnetic field is applied
Of a magneto-optical recording medium using a non-type MAMMOS
Design the substrate groove shape within the above range, and
Especially by adopting the method of recording information in the groove.
Therefore, the recording / reproducing power sensitivity can be increased. That is, light
The conventional recording / reproducing characteristics for magnetic recording media
It is possible to improve significantly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 再生層の磁区が拡大する原理を説明する図で
ある（（ａ）〜（ｄ））。FIG. 1 is a diagram illustrating a principle of expanding a magnetic domain of a reproducing layer ((a) to (d)).

【図２】 情報記録層と拡大再生層の間に生じる交換結
合力及び反発力を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an exchange coupling force and a repulsive force generated between an information recording layer and an expansion reproducing layer.

【図３】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a reproducing principle of a first type magneto-optical recording medium.

【図４】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図５】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a reproduction principle of a first type magneto-optical recording medium.

【図６】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図７】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図８】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図９】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理を
説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図１０】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理
を説明する図である。FIG. 10 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図１１】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理
を説明する図である。FIG. 11 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図１２】 第１のタイプの光磁気記録媒体の再生原理
を説明する図である。FIG. 12 is a diagram for explaining the reproducing principle of the first type magneto-optical recording medium.

【図１３】 第２のタイプの光磁気記録媒体の再生原理
を説明する図であり、再生光が照射される前の再生層、
中間層及び記録層の磁化の様子を示す。FIG. 13 is a diagram for explaining the reproducing principle of the second type magneto-optical recording medium, which is a reproducing layer before being irradiated with reproducing light;
The magnetization state of the intermediate layer and the recording layer is shown.

【図１４】 第２のタイプの光磁気記録媒体における磁
区拡大の原理について説明するための図であり、図１４
（ａ）は再生光が照射されている様子を示し、図１４
（ｂ）は、（ａ）の状態から再生層の磁区が拡大する場
合の様子を示し、図１４（ｃ）は、（ａ）の状態から再
生層の磁区が縮小する場合の様子を示す。FIG. 14 is a diagram for explaining the principle of magnetic domain expansion in the second type magneto-optical recording medium.
FIG. 14A shows a state in which reproduction light is irradiated.
FIG. 14B shows a state where the magnetic domain of the reproducing layer expands from the state of FIG. 14A, and FIG. 14C shows a state where the magnetic domain of the reproducing layer contracts from the state of FIG.

【図１５】 図１５（ａ）及び（ｂ）は再生層の磁区が
拡大していないときの静磁エネルギー反発力と交換エネ
ルギー引力との関係を示す図である。15 (a) and 15 (b) are diagrams showing a relationship between magnetostatic energy repulsive force and exchange energy attractive force when the magnetic domain of the reproducing layer is not expanded.

【図１６】 図１６（ａ）及び（ｂ）は第２タイプの光
磁気記録媒体の再生層の磁区が拡大する様子を説明する
ための図である。16 (a) and 16 (b) are diagrams for explaining how the magnetic domain of the reproducing layer of the second type magneto-optical recording medium expands.

【図１７】 図１７（ａ）及び（ｂ）は第２タイプの光
磁気記録媒体の中間層の垂直磁気異方性が小さい場合の
再生層の磁区拡大の様子を説明するための図である。17 (a) and 17 (b) are diagrams for explaining the magnetic domain expansion of the reproducing layer when the perpendicular magnetic anisotropy of the intermediate layer of the second type magneto-optical recording medium is small. .

【図１８】 図１８（ａ）及び（ｂ）は第２タイプの光
磁気記録媒体においてゴースト信号が発生しない理由を
説明するための図である。18A and 18B are views for explaining the reason why a ghost signal does not occur in the second type magneto-optical recording medium.

【図１９】 磁区が拡大している拡大再生層の領域にお
いて記録磁区からの漏洩磁界の影響を受けないことを説
明する図である。FIG. 19 is a diagram illustrating that the region of the magnified reproduction layer in which the magnetic domain is enlarged is not affected by the leakage magnetic field from the recording magnetic domain.

【図２０】 実施例１で製造した光磁気記録媒体の概略
断面図である。20 is a schematic cross-sectional view of the magneto-optical recording medium manufactured in Example 1. FIG.

【図２１】 実施例１、１０〜１３、比較例及び参考例
で作製した光磁気記録媒体のランド及びグルーブの断面
形状を概略的に示した図である。FIG. 21 is a diagram schematically showing cross-sectional shapes of lands and grooves of magneto-optical recording media produced in Examples 1, 10 to 13, Comparative Examples and Reference Examples.

【図２２】 実施例１で製造した光磁気ディスクを異な
る再生光パワーで再生したときの再生信号波形を示すグ
ラフである。FIG. 22 is a graph showing a reproduction signal waveform when the magneto-optical disk manufactured in Example 1 is reproduced with different reproduction light powers.

【図２３】 実施例１で製造した光磁気ディスクを再生
したときのビットエラーレートの再生光パワー依存性を
示すグラフである。FIG. 23 is a graph showing the reproduction light power dependency of the bit error rate when reproducing the magneto-optical disk manufactured in Example 1.

【図２４】 実施例１で製造した光磁気ディスクを種々
の記録光パワーで記録したときのビットエラーレートの
記録光パワー依存性を示すグラフである。FIG. 24 is a graph showing the recording light power dependence of the bit error rate when the magneto-optical disk manufactured in Example 1 was recorded with various recording light powers.

【図２５】 実施例１で製造した光磁気ディスクの交換
結合力を求めるためのヒステリシスループを示すグラフ
である。FIG. 25 is a graph showing a hysteresis loop for obtaining the exchange coupling force of the magneto-optical disk manufactured in Example 1.

【図２６】 実施例１で製造した光磁気ディスクの交換
結合力の温度依存性を示すグラフである。26 is a graph showing temperature dependence of exchange coupling force of the magneto-optical disk manufactured in Example 1. FIG.

【図２７】 実施例１で製造した光磁気ディスクの拡大
再生層の厚みｔ×飽和磁化Ｍｓに対するビットエラーレ
ートの関係を示すグラフである。FIG. 27 is a graph showing the relationship of the bit error rate to the thickness t of the magnified reproduction layer of the magneto-optical disk manufactured in Example 1 × the saturation magnetization Ms.

【図２８】 実施例１で製造した光磁気ディスクの基板
のグルーブの深さＤに対するビットエラーレートの関係
を示すグラフである。28 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the groove depth D of the substrate of the magneto-optical disk manufactured in Example 1. FIG.

【図２９】 実施例１で製造した光磁気ディスクの基板
のＧ／Ｌ比に対するビットエラーレートの関係を示すグ
ラフである。FIG. 29 is a graph showing the relationship between the G / L ratio of the substrate of the magneto-optical disk manufactured in Example 1 and the bit error rate.

【図３０】 実施例１で製造した光磁気ディスクの基板
のランド側壁の傾斜角度θに対するビットエラーレート
の関係を示すグラフである。FIG. 30 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the inclination angle θ of the land side wall of the substrate of the magneto-optical disk manufactured in Example 1.

【図３１】 実施例２において製造した光磁気ディスク
のビットエラーレートと拡大再生層の厚みｔの関係を示
したグラフである。FIG. 31 is a graph showing the relationship between the bit error rate of the magneto-optical disc manufactured in Example 2 and the thickness t of the magnifying reproducing layer.

【図３２】 実施例８で作製した光磁気記録媒体の概略
断面図である。FIG. 32 is a schematic cross-sectional view of the magneto-optical recording medium manufactured in Example 8.

【図３３】 実施例８の光磁気記録媒体に記録されたマ
ーク長０．２μｍの孤立磁区を再生パワー１．５ｍＷ及
び３．０ｍＷで再生したときの再生波形である。FIG. 33 shows a reproduced waveform when an isolated magnetic domain having a mark length of 0.2 μm recorded in the magneto-optical recording medium of Example 8 was reproduced at reproducing powers of 1.5 mW and 3.0 mW.

【図３４】 実施例８の光磁気記録媒体のＣ／Ｎに対す
るマーク長依存性を示すグラフである。FIG. 34 is a graph showing the mark length dependence of C / N of the magneto-optical recording medium of Example 8.

【図３５】 最短マーク長０．１２μｍのＮＲＺＩラン
ダム信号記録時のアイパターンである。FIG. 35 is an eye pattern at the time of recording an NRZI random signal having a shortest mark length of 0.12 μm.

【図３６】 本発明に従う記録再生装置の概略構成図で
ある。FIG. 36 is a schematic configuration diagram of a recording / reproducing apparatus according to the present invention.

【図３７】 実施例１０〜１２、比較例及び参考例で作
製した光磁気記録媒体の概略断面図である。FIG. 37 is a schematic cross-sectional view of magneto-optical recording media manufactured in Examples 10 to 12, Comparative Examples and Reference Examples.

【図３８】 実施例１０におけるビットエラーレートと
グルーブ半値幅Ｇ及びランド半値幅Ｌの比Ｇ／Ｌとの関
係を示したグラフである。38 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the ratio G / L of the groove half width G and the land half width L in Example 10. FIG.

【図３９】 実施例１１におけるビットエラーレートと
グルーブ深さＤとの関係を示したグラフである。FIG. 39 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the groove depth D in Example 11.

【図４０】 実施例１２におけるビットエラーレートと
ランド側壁面傾斜角度θとの関係を示したグラフであ
る。FIG. 40 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the land side wall surface inclination angle θ in Example 12.

【図４１】 比較例及び参考例におけるビットエラーレ
ートと記録パワーとの関係を示したグラフである。FIG. 41 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the recording power in the comparative example and the reference example.

【図４２】 比較例及び参考例におけるビットエラーレ
ートと再生パワーとの関係を示したグラフである。FIG. 42 is a graph showing the relationship between the bit error rate and the reproduction power in the comparative example and the reference example.

【図４３】 実施例１３の光磁気ディスクの構造を示す
概略断面図である。43 is a schematic sectional view showing the structure of the magneto-optical disk of Example 13. FIG.

【図４４】 交換結合力遮断温度を示すグラフである。FIG. 44 is a graph showing exchange coupling force cutoff temperature.

【図４５】 交換結合力の温度勾配とビットエラーレー
トとの関係を示すグラフである。FIG. 45 is a graph showing a relationship between a temperature gradient of exchange coupling force and a bit error rate.

【図４６】 本発明の光磁気ディスクの１２０℃付近で
のヒステリシス曲線を示す。FIG. 46 shows a hysteresis curve of the magneto-optical disk of the present invention near 120 ° C.

【図４７】 式（２）が成立する第２のタイプの光磁気
記録媒体の再生原理を説明する概念図である。FIG. 47 is a conceptual diagram illustrating the reproducing principle of the second type magneto-optical recording medium satisfying the expression (2).

【図４８】 図４７に示した状態からさらに光磁気ディ
スクが光スポットに対して移動した状態を示す図であ
る。FIG. 48 is a diagram showing a state in which the magneto-optical disk has further moved with respect to the light spot from the state shown in FIG.

【図４９】 ＦＡＤ磁気超解像の原理を説明するための
図である。FIG. 49 is a diagram for explaining the principle of FAD magnetic super-resolution.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 基板 ２ 誘電体層 ３ 再生層 ４ 中間層 ４’ 拡大トリガー層 ５ 記録層 ６ 補助磁性層 ６’ 記録補助層 ７ 保護層 ８ ヒートシンク層 ９ 保護コート層 ７１ 記録再生装置 １００、２００ 光磁気記録媒体 1 substrate 2 Dielectric layer 3 playback layers 4 Middle class 4'Expansion trigger layer 5 recording layers 6 Auxiliary magnetic layer 6'recording auxiliary layer 7 protective layer 8 Heat sink layer 9 Protective coating layer 71 recording / reproducing apparatus 100, 200 Magneto-optical recording medium

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ１１Ｂ 11/105 ５２１ Ｇ１１Ｂ 11/105 ５２１Ｆ ５８６ ５８６Ｍ (72)発明者 島崎 勝輔 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (72)発明者 今井 奨 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (72)発明者 井上 和子 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (72)発明者 鈴木 芳和 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (72)発明者 國府田 安彦 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (72)発明者 石崎 修 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立 マクセル株式会社内 (56)参考文献 特開2000−173117（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−120636（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−92031（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−54994（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 11/105 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification code FI G11B 11/105 521 G11B 11/105 521F 586 586M (72) Inventor Katsukesuke Shimazaki 1-88, Torora, Ibaraki-shi, Osaka Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Sho Imai 1-88 Irakura, Ibaraki-shi, Osaka Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Kazuko Inoue 1-88, Torora, Ibaraki-shi, Osaka Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor, Yoshikazu Suzuki, 1-88, Torora, Ibaraki-shi, Osaka, Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor, Yasuhiko Kokuda, 1-88, Torora, Ibaraki, Osaka (72) Inventor Osamu Ishizaki 1-88, Torora, Ibaraki City, Osaka Prefecture Hitachi Maxell Co., Ltd. (56) References Japanese Patent Laid-Open No. 2000-173117 (JP, ) Patent flat 11-120636 (JP, A) JP flat 10-92031 (JP, A) JP flat 9-54994 (JP, A) (58 ) investigated the field (Int.Cl. ^7, DB name) G11B 11/105

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 光磁気記録媒体であって、 磁性材料から形成されている記録層と； 磁性材料から形成され、垂直磁化を示す再生層と； 磁性材料から形成され、上記記録層と再生層との間に存
在し、１６０℃以下の温度で上記記録層と再生層の交換
結合力を遮断する中間層と；を備え、 上記再生層の補償温度Ｔcomp１、上記中間層の補償温度
Ｔcomp２及び上記記録層の補償温度Ｔcomp３が、下記式
（１）及び（２）： Ｔcomp２＜１２０℃＜Ｔcomp１ ・・・（１） Ｔcomp３＜１２０℃＜Ｔcomp２ ・・・（２） のいずれか一方を満足し、 上記中間層と上記記録層の界面または上記中間層と上記
再生層の界面に、上記中間層を構成する物質とは異なる
物質が介在されており、それにより該界面またはその近
傍のキュリー温度が中間層のキュリー温度より低下して
いることを特徴とする光磁気記録媒体。 1. A magneto-optical recording medium, a recording layer formed of a magnetic material ; a reproducing layer formed of a magnetic material and exhibiting perpendicular magnetization; a recording layer formed of a magnetic material, and the reproducing layer. Exist between
Exchanging the recording layer and the reproducing layer at a temperature of 160 ° C or less
An intermediate layer to block the binding force; includes a compensation temperature Tcomp1 of the reproduction layer, the compensation temperature of the intermediate layer
Tcomp2 and the compensation temperature Tcomp3 of the recording layer are expressed by the following equations.
(1) and (2): Tcomp2 <120 ° C. <Tcomp1 (1) Tcomp3 <120 ° C <Tcomp2 (2) is satisfied, and the interface between the intermediate layer and the recording layer Above middle layer and above
At the interface of the reproduction layer, different from the material that constitutes the intermediate layer
Intervening material, which causes the interface or its proximity
The Curie temperature of the side is lower than the Curie temperature of the middle layer
A magneto-optical recording medium characterized by the following. 【請求項２】 上記中間層を成膜後、該中間層を表面処
理することによって、上記中間層と上記記録層の界面ま
たは上記中間層と上記再生層の界面に上記中間層を構成
する物質とは異なる物質が導入されていることを特徴と
する請求項１に記載の光磁気記録媒体。 2. After forming the intermediate layer, the intermediate layer is surface-treated.
The interface between the intermediate layer and the recording layer.
Or, the intermediate layer is formed at the interface between the intermediate layer and the reproduction layer.
The substance is different from the substance
The magneto-optical recording medium according to claim 1. 【請求項３】 上記再生層、中間層及び記録層のキュリ
ー温度がそれぞれＴｃ１、Ｔｃ２及びＴｃ３であると
き、Ｔｃ１＜Ｔｃ２＜Ｔｃ３を満足することを特徴とす
る請求項１または２に記載の光磁気記録媒体。 3. Curie of the reproducing layer, the intermediate layer and the recording layer.
-If the temperatures are Tc1, Tc2 and Tc3 respectively
And Tc1 <Tc2 <Tc3 are satisfied.
The magneto-optical recording medium according to claim 1 or 2. 【請求項４】 上記再生層は、ＧｄＦｅを主体とする希
土類遷移金属合金から形成されていることを特徴とする
請求項１〜３のいずれか一項に記載の光磁気記録媒体。 4. The reproducing layer comprises a rare earth containing GdFe as a main component.
Characterized by being formed from an earth-transition metal alloy
The magneto-optical recording medium according to claim 1. 【請求項５】 上記中間層は、ＴｂＧｄＦｅを主体とす
る希土類遷移金属合金から形成されていることを特徴と
する請求項１〜４のいずれか一項に記載の光 磁気記録媒
体。 5. The intermediate layer is mainly composed of TbGdFe.
Characterized by being formed from a rare earth transition metal alloy
The magneto- optical recording medium according to claim 1.
body. 【請求項６】 上記記録層は、ＴｂＦｅＣｏを主体とす
る希土類遷移金属合金から形成されていることを特徴と
する請求項１〜５のいずれか一項に記載の光磁気記録媒
体。 6. The recording layer is mainly composed of TbFeCo.
Characterized by being formed from a rare earth transition metal alloy
The magneto-optical recording medium according to claim 1.
body. 【請求項７】 請求項１に記載の光磁気記録媒体に再生
光を照射して上記記録層と再生層の交換結合力を遮断す
る温度以上に加熱して光磁気記録媒体から情報を再生す
ることを特徴とする光磁気記録媒体の再生方法。 7. A reproduction on the magneto-optical recording medium according to claim 1.
Irradiate light to block the exchange coupling force between the recording and playback layers.
The information is reproduced from the magneto-optical recording medium by heating it above the temperature
A reproducing method of a magneto-optical recording medium characterized by the above. 【請求項８】 記録層から再生層に転写した磁区を拡大
することにより、再生しようとする記録磁区が再生光の
中心に到達する前に該記録磁区を検出することを特徴と
する請求項７に記載の光磁気記録媒体の再生方法。 8. A magnetic domain transferred from a recording layer to a reproducing layer is enlarged.
By doing so, the recording magnetic domain to be reproduced is
The recording magnetic domain is detected before reaching the center.
The reproducing method of the magneto-optical recording medium according to claim 7. 【請求項９】 請求項１に記載の光磁気記録媒体から記
録情報を再生するための再生装置であって、レーザー光
照射部と、磁界印加部と、信号を検出及び処理する信号
処理部と、ディスク駆動部とを備えた再生装置。 9. The magneto-optical recording medium according to claim 1.
A reproducing device for reproducing recorded information, which is a laser beam
Irradiation unit, magnetic field application unit, signal for detecting and processing signals
A reproducing apparatus including a processing unit and a disk drive unit.