JP3436145B2 - Method for concentrating gallium from sediment containing gallium compound, abrasive grains and cutting oil - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リン化ガリウム等
ガリウムを含む化合物半導体結晶ウエハの製造過程で発
生するガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物か
らガリウム分を濃縮して回収するガリウム分の濃縮方法
に係り、特に、その回収率の向上が図れる濃縮方法の改
良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to gallium for concentrating and recovering a gallium component from a gallium compound generated in the process of manufacturing a compound semiconductor crystal wafer containing gallium such as gallium phosphide, abrasive grains and cutting oil. The present invention relates to a method for concentrating a component, and more particularly, to an improvement in a method for concentrating the recovery rate.

【０００２】[0002]

【従来の技術】リン化ガリウム等ガリウムを含む化合物
半導体結晶ウエハの製造過程で、ガリウムを含む化合物
半導体結晶（以下、ガリウム化合物という）を切断する
際には、従来、ダイヤモンド内周刃切断装置が用いられ
ていた。この際に切削屑として発生する澱物はガリウム
化合物の切削粉がほとんどであり、金属ガリウム回収の
ための原料として有効利用されていた。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing a compound semiconductor crystal wafer containing gallium such as gallium phosphide, when cutting a compound semiconductor crystal containing gallium (hereinafter referred to as a gallium compound), a diamond inner peripheral blade cutting device is conventionally used. Was used. Most of the starch generated as cutting waste at this time is a cutting powder of a gallium compound, and was effectively used as a raw material for recovering metallic gallium.

【０００３】ところで、近年、切断ロス低減による低コ
スト化のため、ガリウム化合物の切断方法については、
切断しろのより少ないワイヤーソー切断による方法に置
き換わってきた。このワイヤーソー切断による方法では
砥粒を分散させた切削油を用いるため、ワイヤーソー切
断の際に発生する澱物は、微細な切削粉（細粉）、より
粗大な砥粒（粗粉）および切削油を含む混合物として捕
集される。そして、ワイヤーソー切断では砥粒の使用量
が多いため、上記澱物中のガリウム化合物含有量は１０
重量％以下となりガリウム濃度は低かった。By the way, in recent years, in order to reduce the cost by reducing the cutting loss, the cutting method of the gallium compound is as follows.
It has replaced the method of cutting with a wire saw, which has less cutting margin. In this method of cutting with a wire saw, cutting oil in which abrasive particles are dispersed is used, so the precipitates generated during cutting with a wire saw are fine cutting powder (fine powder), coarser abrasive particles (coarse powder) and Collected as a mixture containing cutting oil. Since the amount of abrasive grains used in wire saw cutting is large, the gallium compound content in the above-mentioned starch is 10
The gallium concentration was low, since it was less than wt%.

【０００４】そして、ワイヤーソー切断の際に発生した
上記澱物からガリウム分を回収しようとした場合、ガリ
ウム濃度の低い澱物に対して回収処理を施す必要がある
ことから回収効率が悪く、また、上記澱物には切削油が
含まれているため回収される金属ガリウムに不純物が多
く含まれるといった問題を有していた。When the gallium content is to be recovered from the above-mentioned starch generated during the cutting with a wire saw, the recovery efficiency is poor because the recovery treatment needs to be performed on the starch having a low gallium concentration. However, since the above-mentioned starch contains cutting oil, there is a problem that the recovered metallic gallium contains a large amount of impurities.

【０００５】このようにワイヤーソー切断の際に発生し
た澱物からガリウム分を回収することは経済的に見合わ
ないと共に不純物も多く含むことから、従来、上記澱物
は産業廃棄物として処分されていた。Thus, it is economically unprofitable to recover the gallium component from the starch generated during the wire saw cutting, and it also contains a large amount of impurities. Therefore, the above-mentioned starch is conventionally disposed as industrial waste. Was there.

【０００６】しかし、不足しがちなガリウム資源を有効
に利用するという観点から、ワイヤーソー切断の際に発
生した澱物から経済的に有利にかつ不純物も多く含まな
いガリウム分を回収する方法が強く要望されていた。However, from the viewpoint of effectively utilizing the gallium resource which tends to be insufficient, there is a strong method for recovering gallium content which is economically advantageous and does not contain a large amount of impurities from the precipitate generated during the wire saw cutting. It was requested.

【０００７】この様な技術的背景の下、本出願人は、ガ
リウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物からのガリ
ウム分を簡便に、かつ、著しく濃縮して回収する２つの
方法を既に提案している（特願平１０−１１０６３３号
明細書参照）。Under such a technical background, the present applicant has already established two methods for recovering the gallium content from the gallium compound, the abrasive grains and the precipitate containing the cutting oil in a simple and extremely concentrated manner. It has been proposed (see Japanese Patent Application No. 10-110633).

【０００８】すなわち、出願人が提案した第一の方法
は、ガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物中の
切削油を除去するために上記ガリウム化合物の熱分解温
度未満の温度で澱物を加熱することにより乾燥物を得る
第一工程と、上記砥粒を除去するために得られた乾燥物
についてガリウム分を主に含む細粉と砥粒を主に含む粗
粉とに分級することにより細粉を回収する第二工程から
成ることを特徴とし、また、第二の方法は、上記澱物を
有機溶媒に分散して澱物中の切削油を溶解させた後に固
液分離することにより固形物を得る第一工程と、この固
形物中に残留する上記切削油および有機溶媒を除去する
ために上記ガリウム化合物の熱分解温度未満の温度で固
形物を加熱することにより乾燥物を得る第二工程、およ
び、上記砥粒を除去するために得られた乾燥物について
ガリウム分を主に含む細粉と上記砥粒を主に含む粗粉と
に分級することにより上記細粉を回収する第三工程から
成ることを特徴とするものであった。That is, the first method proposed by the applicant is to remove the cutting oil in the starch containing the gallium compound, abrasive grains and cutting oil at a temperature lower than the thermal decomposition temperature of the gallium compound. First step of obtaining a dried product by heating, and to classify the dried product obtained to remove the abrasive grains into fine powder containing mainly gallium content and coarse powder containing mainly abrasive grains The second method is to disperse the above-mentioned starch in an organic solvent to dissolve the cutting oil in the starch, and then to perform solid-liquid separation. The first step of obtaining a solid by the above, and to obtain a dried product by heating the solid at a temperature below the thermal decomposition temperature of the gallium compound in order to remove the cutting oil and the organic solvent remaining in the solid Second step, and remove the above abrasive Characterized in that it comprises a third step of recovering the fine powder by classifying the dried product obtained for fine powder mainly containing gallium content and coarse powder mainly containing the abrasive grains Met.

【０００９】そして、第一の方法によれば、第一工程で
澱物から切削油が除去され、また、第一工程で得た乾燥
物から第二工程で砥粒が除去されるので、上記澱物から
ガリウム分を簡便、かつ、著しく濃縮させることがで
き、また、第二の方法においても、第一工程および第二
工程で澱物から切削油が除去され、また、第二工程で得
た乾燥物から第三工程で砥粒が除去されるので、上記澱
物からガリウム分を簡便、かつ、著しく濃縮させること
ができるものであった。According to the first method, the cutting oil is removed from the precipitate in the first step, and the abrasive grains are removed from the dried product obtained in the first step in the second step. The gallium content can be simply and significantly concentrated from the starch, and in the second method, the cutting oil is removed from the starch in the first step and the second step, and the gallium content is obtained in the second step. Since the abrasive grains were removed from the dried product in the third step, the gallium content could be easily and significantly concentrated from the above-mentioned precipitate.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、これ等第一
の方法と第二の方法を比較した場合、第一の方法は、澱
物中の切削油を溶解させる有機溶媒を用いない点におい
て第二の方法より経済的でありかつ処理工数的にも有利
であった。By the way, when these first method and second method are compared, the first method is that in the point that an organic solvent that dissolves cutting oil in the starch is not used. It was more economical and advantageous in terms of processing man-hours than the second method.

【００１１】しかし、第一の方法においては、ガリウム
化合物、砥粒および切削油を含む澱物を加熱して乾燥物
を得る第一工程において、切削油中の不揮発成分がガリ
ウム化合物と砥粒とを焼き付かせてこれ等の密着凝集体
を形成してしまう場合があった。このため、この密着凝
集体の存在により上記乾燥物を分級する第二工程におい
てガリウム分を主に含む細粉の回収率が低下してしまう
ことがあり、その分、第二の方法に較べてガリウム分の
回収率に劣る問題を有していた。However, in the first method, in the first step of heating the starch containing the gallium compound, the abrasive grains and the cutting oil to obtain a dried product, the non-volatile components in the cutting oil are the gallium compound and the abrasive grains. In some cases, these were coagulated to form these adhered aggregates. For this reason, the presence of this adhered aggregate may reduce the recovery rate of fine powder mainly containing gallium in the second step of classifying the dried product, which is more than that of the second method. It had a problem of poor recovery of gallium.

【００１２】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、経済的、処理工
数的に有利な上記第一の方法を改良してガリウム分の回
収率向上が図れる澱物からのガリウム分の濃縮方法を提
供することにある。The present invention has been made by paying attention to such a problem, and its object is to improve the above-mentioned first method which is economically and economically advantageous in terms of processing man-hours to recover the gallium content. It is an object of the present invention to provide a method for concentrating gallium content from a starch that can be improved.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に係
る発明は、ガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱
物からのガリウム分の濃縮方法を前提とし、上記澱物中
の切削油を除去するためにガリウム化合物の熱分解温度
未満の温度で澱物を加熱することにより乾燥物を得る第
一工程と、得られた乾燥物中に含まれるガリウム化合物
と砥粒との密着凝集体を解砕するため粉砕粒径が砥粒の
平均粒径より大きい条件で上記乾燥物を粉砕する第二工
程、および、上記砥粒を除去するために粉砕された乾燥
物についてガリウム分を主に含む細粉と上記砥粒を主に
含む粗粉とに分級して上記細粉を回収する第三工程から
成ることを特徴とするものである。That is, the invention according to claim 1 is premised on a method for concentrating gallium content from a starch containing a gallium compound, abrasive grains and cutting oil, and A first step of obtaining a dried product by heating the starch at a temperature lower than the thermal decomposition temperature of the gallium compound for removal, and a gallium compound contained in the obtained dried product.
Adhesion between abrasive and abrasive grains
The second step of crushing the dried product under a condition larger than the average particle size , and a fine powder mainly containing gallium content and a coarse particle mainly containing the abrasive grains in the dried product crushed to remove the abrasive grains. It is characterized by comprising a third step of classifying the fine powder into powder and collecting the fine powder.

【００１４】そして、請求項１記載の発明に係るガリウ
ム分の濃縮方法によれば、第一工程において切削油中の
不揮発成分がガリウム化合物と砥粒とを焼き付かせて上
述した密着凝集体を形成する場合でも、この密着凝集体
が含まれる乾燥物をその粉砕粒径が砥粒の平均粒径より
大きい条件で粉砕して上記密着凝集体を解砕する第二工
程を有しているため、第三工程でのガリウム化合物と砥
粒との分離性を低下させずに向上させることが可能とな
る。According to the method for concentrating gallium according to the first aspect of the present invention, in the first step, the non-volatile component in the cutting oil burns the gallium compound and the abrasive grains to form the above-mentioned adhesion aggregate. Even when forming, the crushed particle size of the dried product containing this adhesion aggregate is larger than the average particle size of the abrasive grains.
Since it has the second step of crushing the adhered aggregates by crushing under a large condition, it becomes possible to improve the separability of the gallium compound and the abrasive grains in the third step without lowering. .

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below.

【００１６】まず、本発明に係るガリウム分の濃縮方法
は以下の第一工程から第三工程とで構成されることを特
徴とするものである。First, the method for concentrating gallium according to the present invention is characterized by comprising the following first step to third step.

【００１７】（１）第一工程 この方法の第一工程では、澱物中の切削油を蒸発させる
ために澱物中のガリウム化合物の熱分解温度未満の温度
で上記澱物を加熱する。そして、ガリウム分を主に含む
細粉と砥粒を主に含む粗粉とから成る乾燥物を得る。(1) First Step In the first step of this method, the above-mentioned starch is heated at a temperature lower than the thermal decomposition temperature of the gallium compound in the starch in order to evaporate the cutting oil in the starch. Then, a dried product including fine powder mainly containing gallium and coarse powder mainly containing abrasive grains is obtained.

【００１８】ここで、上記ガリウム化合物の熱分解温度
未満の温度を加熱温度とするのは、ガリウム化合物の熱
分解温度以上とするとガリウム化合物が熱分解し、生成
した熔融金属ガリウムのためガリウムを主に含む細粉を
第三工程（後述）で回収することが困難となるからであ
る。The heating temperature below the thermal decomposition temperature of the gallium compound is that the gallium compound is thermally decomposed when the temperature is higher than the thermal decomposition temperature of the gallium compound, and gallium is mainly generated due to the molten metal gallium produced. This is because it becomes difficult to collect the fine powder contained in the third step (described later).

【００１９】また、上記加熱温度が切削油の沸点以上で
あると切削油を速やかに蒸発させることができるため好
ましい（請求項２）。尚、切削油の沸点や比較例で述べ
る有機溶媒（灯油）の沸点には温度範囲が通常あるが、
温度範囲のある沸点の高低をいう場合に用いる沸点は
『沸点の上限』を本明細書では意味する。Further, it is preferable that the heating temperature is equal to or higher than the boiling point of the cutting oil because the cutting oil can be quickly evaporated (claim 2). The boiling point of the cutting oil and the boiling point of the organic solvent (kerosene) described in the comparative example usually have a temperature range,
In the present specification, the boiling point used when referring to the high and low boiling points in a temperature range means the "upper limit of the boiling point".

【００２０】（２）第二工程 第二工程では、上述したガリウム化合物と砥粒との密着
凝集体を含む上記乾燥物を粉砕機により粉砕する。すな
わち、本発明に係る濃縮方法においては、澱物中に含ま
れる切削油を溶解させてこれを取除く有機溶媒を適用し
ないため、上記第一工程において切削油中の不揮発成分
がガリウム化合物と砥粒とを焼き付かせてガリウム化合
物と砥粒との密着凝集体を形成させてしまう場合があ
る。そこで、本発明に係る濃縮方法においては、この密
着凝集体を含む乾燥物を粉砕機によりその粉砕粒径が砥
粒の平均粒径より大きい条件で粉砕し、上記密着凝集体
を解砕してガリウム化合物を主に含む細粉と砥粒を主に
含む粗粉とを別々に分離させる。このため、第三工程
（後述）の分級処理においてガリウム化合物と砥粒との
分離性を向上させることが可能となる。(2) Second Step In the second step, the dried product containing the above-mentioned adhered aggregate of gallium compound and abrasive grains is pulverized by a pulverizer. That is, in the concentration method according to the present invention, since the organic solvent that dissolves the cutting oil contained in the starch and removes it is not applied, the nonvolatile component in the cutting oil in the first step is the gallium compound and the abrasive. There is a case where the grains are burned to form an adhered aggregate of the gallium compound and the abrasive grains. Therefore, in the concentrating method according to the present invention, the dried product containing the adhered aggregate is crushed by a crusher so that
The above adhered aggregate is crushed under the condition that the average particle size is larger than the average particle size.
Are crushed to separate fine powder mainly containing gallium compound and coarse powder mainly containing abrasive grains. Therefore, it becomes possible to improve the separability between the gallium compound and the abrasive grains in the classification process of the third step (described later).

【００２１】尚、第二工程における乾燥物の粉砕粒径に
ついては、上記砥粒の平均粒径以下まで粉砕してしまう
と、第三工程の分級時に、砥粒の一部が細粉側に混入し
てガリウム化合物の含有率を低下させてしまい、かつ、
砥粒の再利用も困難にさせるため、第二工程における乾
燥物の粉砕粒径については砥粒の平均粒径より大きくな
るように設定することを要する（請求項１）。With respect to the crushed particle size of the dried product in the second step, if the crushed particles are crushed to the average particle size of the above-mentioned abrasive particles or less, a part of the abrasive particles becomes fine powder side during the classification in the third step. Mix to reduce the content of the gallium compound, and
In order to make it difficult to reuse the abrasive grains, it is necessary to set the crushed particle size of the dried product in the second step to be larger than the average particle size of the abrasive particles (claim 1 ).

【００２２】（３）第三工程 第三工程では、澱物中の砥粒を除去するため、第二工程
で粉砕された上記乾燥物についてガリウム分を主に含む
細粉と砥粒を主に含む粗粉とに分級する。(3) Third Step In the third step, in order to remove the abrasive grains in the precipitate, the fine powder mainly containing gallium and the abrasive grains are mainly contained in the dried product crushed in the second step. Classify into coarse powder containing.

【００２３】そして、上記細粉を回収する。Then, the fine powder is collected.

【００２４】この分級は、ガリウム分を主に含む細粉と
砥粒を主に含む粗粉との粒径差や密度差などを利用し
て、細粉と粗粉とをできるだけ分離性よく分離する条件
で行えばよい。また、分級方法については特に制限はな
いが、風力分級が簡便で好ましい（請求項３）。In this classification, the fine powder and the coarse powder are separated with good separability by utilizing the difference in particle size and the density between the fine powder mainly containing the gallium content and the coarse powder mainly containing the abrasive grains. It is sufficient to carry out under the conditions. The classification method is not particularly limited, but wind classification is preferred because it is simple (claim 3 ).

【００２５】また、上記澱物中にワイヤーソーのワイヤ
ー片など磁性物が含まれている場合には、この磁性物を
除去することが好ましい。具体的には、第一工程で得ら
れた乾燥物を粉砕する第二工程あるいは粉砕された乾燥
物を分級する第三工程の少なくとも一方の工程時に、乾
燥物中に含まれるワイヤー片などの磁性物を磁石を用い
て除去する（請求項４）。この除去処理により、金属ガ
リウムとして回収するまでに必要でかつ繁雑な脱Ｆｅ処
理を省略することが可能となる。When the above-mentioned sediment contains a magnetic substance such as a wire piece of a wire saw, it is preferable to remove this magnetic substance. Specifically, during at least one of the second step of pulverizing the dried product obtained in the first step or the third step of classifying the pulverized dried material, magnetic properties such as wire pieces contained in the dried material are obtained. The object is removed using a magnet (claim 4 ). By this removal process, it becomes possible to omit the complicated and necessary Fe removal process before recovering as metallic gallium.

【００２６】このように本発明に係る濃縮方法によれ
ば、第一工程で澱物から切削油が除去され、第三工程で
砥粒が除去されるため、澱物からガリウム分を簡便かつ
著しく濃縮することができ、また、第一工程での加熱処
理によりガリウム化合物と砥粒との密着凝集体が形成さ
れた場合でも、この密着凝集体は第二工程で解砕される
ため上記第三工程においてガリウム分の回収率が低下す
ることもない。As described above, according to the concentration method of the present invention, the cutting oil is removed from the precipitate in the first step and the abrasive grains are removed in the third step. It is possible to condense, and even when the adhesion aggregate of the gallium compound and the abrasive grains is formed by the heat treatment in the first step, the adhesion aggregate is crushed in the second step, so The recovery rate of gallium is not reduced in the process.

【００２７】[0027]

【実施例】以下、本発明の実施例について具体的に説明
する。EXAMPLES Examples of the present invention will be specifically described below.

【００２８】リン化ガリウム単結晶（熱分解温度：６８
０℃）をワイヤーソーで切断した際に切削屑として発生
した澱物を以下のように処理した。尚、この澱物は、リ
ン化ガリウムの切削粉、ＳｉＣが主成分の砥粒、および
切削油（沸点：２００〜３００℃）を含む。この澱物を
分析した結果を以下の表１に示す。Gallium phosphide single crystal (pyrolysis temperature: 68
At 0 ° C.), a starch generated as cutting scraps when cut with a wire saw was treated as follows. The starch contains cutting powder of gallium phosphide, abrasive grains containing SiC as a main component, and cutting oil (boiling point: 200 to 300 ° C.). The results of analysis of this starch are shown in Table 1 below.

【００２９】[0029]

【表１】 [Table 1]

【００３０】まず、上記澱物７７１ｇ（ガリウム含有量
４８．８ｇ）を３００℃で加熱し、澱物中の切削油を蒸
発させた。また、この第一工程で得られた乾燥物を分析
した結果を以下の表２に示す。First, 771 g of the above-mentioned starch (gallium content 48.8 g) was heated at 300 ° C. to evaporate the cutting oil in the starch. The results of analysis of the dried product obtained in this first step are shown in Table 2 below.

【００３１】[0031]

【表２】 [Table 2]

【００３２】尚、上記乾燥物を顕微鏡で観察したとこ
ろ、約１０μｍの粒子と１〜３μｍの粒子とが凝集して
より大きな粒子（密着凝集体）を形成していることが確
認された。また、この乾燥物を１２５μｍメッシュの篩
で篩分けしたところ、篩上に約５０％の残留物が残っ
た。すなわち、粒径が１２５μｍ以上の上記密着凝集体
が５０％程度形成されていることが確認された。Observation of the dried product under a microscope confirmed that particles of about 10 μm and particles of 1 to 3 μm aggregated to form larger particles (adhesive aggregates). When the dried product was sieved with a 125 μm mesh sieve, about 50% of the residue remained on the sieve. That is, it was confirmed that about 50% of the above-mentioned adherent aggregate having a particle size of 125 μm or more was formed.

【００３３】そこで、篩落とされた乾燥物と篩上の乾燥
物（密着凝集体）とを再度混ぜ合わせ、これ等乾燥物の
粒径が５０μｍ以下になるように粉砕機にて粉砕した。Then, the sieved dry matter and the dried matter on the sieve (adhesive agglomerates) were mixed again, and pulverized by a pulverizer so that the particle size of these dried matter was 50 μm or less.

【００３４】この第二工程で粉砕された乾燥物につい
て、風力分級機により５μｍを境として分級し、１０３
ｇの細粉と５９１ｇの粗粉を得た。また、この分級時
に、風力分級機内に磁石を入れて磁石吸着物を除去して
いる。The dried product crushed in the second step is classified by a wind classifier at a boundary of 5 μm, and 103
g fine powder and 591 g coarse powder were obtained. In addition, at the time of this classification, a magnet is put in the wind force classifier to remove the magnet adsorbate.

【００３５】尚、上記粗粉の主体をなすものはＳｉＣの
砥粒であり、リン化ガリウムは細粉の方に多く含まれ
る。細粉の分析結果を以下の表３に示す。The coarse powder is mainly composed of SiC abrasive grains, and gallium phosphide is contained more in the fine powder. The analysis results of the fine powder are shown in Table 3 below.

【００３６】[0036]

【表３】 [Table 3]

【００３７】次に、上記細粉１０３ｇから従来方法によ
り金属ガリウムを回収した。Next, metallic gallium was recovered from 103 g of the fine powder by a conventional method.

【００３８】すなわち、上記細粉を酸に溶解した後中和
して、ガリウムを一旦水酸化ガリウムとした。その後、
水酸化ガリウムをアルカリ性溶液に溶解し、電解にて金
属ガリウムを回収した。その結果、３９ｇの金属ガリウ
ムが得られた。That is, the fine powder was dissolved in an acid and then neutralized to once convert gallium into gallium hydroxide. afterwards,
Gallium hydroxide was dissolved in an alkaline solution, and metallic gallium was recovered by electrolysis. As a result, 39 g of metallic gallium was obtained.

【００３９】［比較例１］実施例で用いた澱物７７０ｇ
（ガリウム含有量４８．７ｇ）を３００℃で加熱して上
記切削油分を蒸発させ、実施例１と同様の（表２に示す
組成の）乾燥物を得た。[Comparative Example 1] 770 g of the starch used in the examples
(Gallium content 48.7 g) was heated at 300 ° C. to evaporate the cutting oil, and a dried product (having the composition shown in Table 2) similar to that of Example 1 was obtained.

【００４０】次に、この乾燥物に対し粉砕処理を行うこ
となく、風力分級機により５μｍを境として分級し、５
６ｇの細粉と６２７ｇの粗粉を得た。Next, the dried material was classified by a wind classifier at a boundary of 5 μm without crushing treatment, and 5
6 g of fine powder and 627 g of coarse powder were obtained.

【００４１】酸溶解・中和以降の実施例と同様の方法に
より上記細粉５６ｇから金属ガリウムを回収した。その
結果、２１ｇの金属ガリウムが得られた。Metal gallium was recovered from 56 g of the above-mentioned fine powder by the same method as in the examples after acid dissolution / neutralization. As a result, 21 g of metallic gallium was obtained.

【００４２】［比較例２］実施例で用いた澱物７６４ｇ
（ガリウム含有量４８．４ｇ）を灯油（沸点：１５０〜
２８０℃）２０００ミリリットルに攪拌・分散した後、
永久磁石を入れて磁石吸着物を除去し、上記灯油ともど
も切削油を固液分離した。Comparative Example 2 764 g of the starch used in the examples
(Gallium content 48.4 g) kerosene (boiling point: 150-
(280 ° C) After stirring and dispersing in 2000 ml,
A permanent magnet was put in to remove the magnet adsorbed matter, and the kerosene and the cutting oil were solid-liquid separated.

【００４３】次に、得られた固形物を３００℃で加熱し
て残留灯油分を蒸発させ、乾燥物を得た。Next, the obtained solid matter was heated at 300 ° C. to evaporate the residual kerosene content to obtain a dried matter.

【００４４】得られた乾燥物について、風力分級機によ
り５μｍを境として分級し、９２ｇの細粉と５８９ｇの
粗粉を得た。The dried product thus obtained was classified by an air classifier at a boundary of 5 μm to obtain 92 g of fine powder and 589 g of coarse powder.

【００４５】酸溶解・中和以降の実施例と同様の方法に
より上記細粉９２ｇから金属ガリウムを回収した。その
結果、３７ｇの金属ガリウムが得られた。Metal gallium was recovered from 92 g of the fine powder by the same method as in the examples after acid dissolution / neutralization. As a result, 37 g of metallic gallium was obtained.

【００４６】『ガリウム回収率の比較』 １．実施例のガリウム回収率 （３９ｇ／４８．８ｇ）×１００＝８０％ ２．比較例１のガリウム回収率 （２１ｇ／４８．７ｇ）×１００＝４３％ ３．比較例２のガリウム回収率 （３７ｇ／４８．４ｇ）×１００＝７６％“Comparison of gallium recovery rates” 1. Example gallium recovery (39g / 48.8g) x 100 = 80% 2. Gallium recovery rate of Comparative Example 1 (21g / 48.7g) x 100 = 43% 3. Gallium recovery rate of Comparative Example 2 (37g / 48.4g) x 100 = 76%

【００４７】『確 認』比較例１と実施例との比較から
明らかなように、『粉砕』という簡単な工程を追加した
ことにより、ガリウム回収率が４３％から８０％に改善
されたことが確認された。As is clear from the comparison between the “confirmation” Comparative Example 1 and the Example, the gallium recovery rate was improved from 43% to 80% by adding the simple step of “crushing”. confirmed.

【００４８】また、比較例２と実施例との比較から明ら
かなように、『粉砕』という簡単な工程を追加したこと
により、切削油を溶解して除去する有機溶媒を適用する
ことなくガリウム回収率を比較例２より改善できること
が確認された。Further, as is clear from the comparison between Comparative Example 2 and Example, the addition of a simple step of "grinding" allows gallium recovery without applying an organic solvent for dissolving and removing cutting oil. It was confirmed that the rate could be improved as compared with Comparative Example 2.

【００４９】[0049]

【発明の効果】このように本発明に係る澱物からのガリ
ウム分の濃縮方法によれば、第一工程で澱物から切削油
が除去され、第三工程で砥粒が除去されるため、澱物か
らガリウム分を簡便かつ著しく濃縮することができ、ま
た、第一工程での加熱処理によりガリウム化合物と砥粒
との密着凝集体が形成された場合でも、この密着凝集体
は第二工程で解砕されるため上記第三工程においてガリ
ウム分の回収率が低下することもない。As described above, according to the method for concentrating gallium content from a precipitate according to the present invention, the cutting oil is removed from the precipitate in the first step and the abrasive grains are removed in the third step. The gallium component can be simply and remarkably concentrated from the starch, and even when the heat treatment in the first step forms an adherent aggregate of the gallium compound and the abrasive grains, this adherent aggregate is used in the second step. Since it is crushed in step 3, the recovery rate of gallium content does not decrease in the third step.

【００５０】従って、ガリウム化合物、砥粒および切削
油を含む澱物から簡便かつ高回収率でガリウム分を回収
することができる効果を有する。Therefore, there is an effect that the gallium component can be easily and highly recovered from the precipitate containing the gallium compound, the abrasive grains and the cutting oil.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−270425（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−188638（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C22B 1/00 - 61/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-63-270425 (JP, A) JP-A-1-188638 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. ⁷ , DB name) C22B 1/00-61/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】ガリウム化合物、砥粒および切削油を含む
澱物からのガリウム分の濃縮方法において、 上記澱物中の切削油を除去するためにガリウム化合物の
熱分解温度未満の温度で澱物を加熱することにより乾燥
物を得る第一工程と、得られた乾燥物中に含まれるガリ
ウム化合物と砥粒との密着凝集体を解砕するため粉砕粒
径が砥粒の平均粒径より大きい条件で上記乾燥物を粉砕
する第二工程、および、上記砥粒を除去するために粉砕
された乾燥物についてガリウム分を主に含む細粉と上記
砥粒を主に含む粗粉とに分級して上記細粉を回収する第
三工程から成ることを特徴とするガリウム化合物、砥粒
および切削油を含む澱物からのガリウム分の濃縮方法。1. A method for concentrating gallium content from a starch containing a gallium compound, abrasive grains and cutting oil, which comprises removing the cutting oil in the starch at a temperature lower than the thermal decomposition temperature of the gallium compound. The first step of obtaining a dried product by heating the gully contained in the obtained dried product
Grinded particles for crushing the cohesive aggregates of um compounds and abrasive particles
The second step of crushing the dried product under the condition that the diameter is larger than the average particle size of the abrasive grains , and the fine powder containing mainly gallium content in the dried product crushed to remove the abrasive grains and the abrasive grains. A method for concentrating gallium from a gallium compound, a grain containing abrasive grains and a starch containing cutting oil, which comprises a third step of recovering the fine powder by classifying it into a coarse powder containing mainly. 【請求項２】上記第一工程における澱物の加熱温度は、
切削油の沸点以上であることを特徴とする請求項１記載
のガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物からの
ガリウム分の濃縮方法。2. The heating temperature of the starch in the first step is
The method for concentrating gallium from a gallium compound, an abrasive grain, and a precipitate containing cutting oil according to claim 1, wherein the boiling point is equal to or higher than the boiling point of the cutting oil. 【請求項３】上記第三工程における乾燥物の分級は、風
力分級であることを特徴とする請求項１〜２のいずれか
に記載のガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物
からのガリウム分の濃縮方法。3. The classification of the dried product in the third step is air classification, wherein the gallium compound according to any one of claims 1 to 2 is removed from a precipitate containing abrasive grains and cutting oil. Method for concentrating gallium content. 【請求項４】上記第二工程と第三工程の少なくとも一方
の工程時に、磁石を用いて乾燥物中に含まれる磁性物を
除去することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載のガリウム化合物、砥粒および切削油を含む澱物から
のガリウム分の濃縮方法。4. A time the second step and at least one step of the third step, according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the removal of magnetic material contained in the dried substance using a magnet Method for concentrating gallium content from a precipitate containing a gallium compound, abrasive grains, and cutting oil of 1.