JP3429898B2 - ペリクルの製造方法 - Google Patents
ペリクルの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はLSI、超LSIなどの
半導体装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミよけ
として使用される、実質的に500nm以下の光を用い
る露光方式における帯電防止されたペリクルの製造方法
に関するものである。 【0002】 【従来の技術】LSI、超LSIなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶表示板に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版(マスクま
たはレチクルとも呼ばれる)にゴミが付着していると、
このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転
写したパターニングが変形したり、エッジががさついた
ものとなるほか、下地が黒く汚れ寸法、品質、外観など
が損なわれるという問題があった。 【0003】このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方式が一般的に取られている。この場
合、ゴミは露光原版の表面には直接付着せずペリクル上
に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原版の
パターン上に合わせておけば、ペリクル上のゴミは転写
に無関係となる。このペリクルの構造は、紫外線をよく
通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピ
オン酸セルロースなどのセルロース系ポリマーや、非晶
質フッ素系ポリマーなどの薄膜と、アルミニウム、ステ
ンレス、プラスチックスなどの材質からなるペリクルフ
レームとをフレームの上部にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾する(特開昭 58-219023号公報参照)か、アク
リル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着したもの
(米国特許第 4861402号、特公昭 63-27707 号公報参
照)である。また、ペリクルフレームの下部には露光原
版にペリクルを固定するために、ポリブテン樹脂、ポリ
酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層を設
け、更にその粘着層の表面に、粘着層の保護を目的とし
たセパレーターを貼り合わせた構造となっている。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】このペリクルの使用に
当って直接露光光源(g線、i線などの紫外線、または
エキシマレーザー光)に照射されるのはペリクル膜であ
るが、このペリクル膜をペリクルフレームに固着させる
接着剤にもこの露光光源の一部が照射されるおそれがあ
るために、この接着剤についても耐久性が重要な性質と
され、この接着剤は厚さが数ミクロンの超薄膜であるペ
リクル膜を常に張った状態でペリクルフレームに接着さ
せておくことが必要であることから、ペリクルの性能上
重要な材料とされている。しかし、従来使用されている
アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤は接着強度が不十
分であったり、接着面積が一定しないために、シワが発
生するなどの信頼性に欠けるもので、さらにこれらの接
着剤は露光光源による劣化が激しく、ある程度使用する
と接着剤が固化、分解してこれがゴミの発生源となり、
さらにペリクル膜の張力変化で膜が剥離したり、亀裂を
起こすという欠点があり、特にペリクル膜の材料として
非晶質のフッ素系ポリマーを用いた場合には、フッ素系
ポリマーが離型性に優れているためにアクリル系接着剤
やエポキシ系接着剤では実用的な接着力を得ることが不
可能であるという問題点もある。 【0005】そこで、本発明者らは非晶質のフッ素系ポ
リマーを用いたペリクル膜の接着剤としてペリクル膜と
同一もしくは類似の構造をもつフッ素系接着剤を用い
て、ガラス転移温度付近またはそれ以上に加熱すると、
ペリクル膜と接着剤が強固に接着するということを提案
した(特開平 6-67409号公報参照)が、この場合には膜
とフレームとを接着するときに、十分な接着強度を得る
ためにこれをペリクル膜形成ポリマーのガラス転移温度
以上に加熱すると、膜自体にシワや歪みが発生し易く、
それを防止するためにこの加熱温度をガラス転移温度以
下とすると、接着強度が不十分になるという不利のある
ことが確認された。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決したペリクルの製造方法に関するもので、これは
ペリクル膜とフレームを該ペリクル膜と同等のポリマー
からなる接着剤を用いて接着する工程において、該ペリ
クル膜と該フレームを該接着剤を介して密着させたの
ち、該ペリクル膜と同等のポリマーを溶解した有機溶剤
溶液を該ペリクル膜の上から該フレーム上面の形に合せ
て塗布し、加熱して該ペリクル膜と該フレームを接着す
ることを特徴とするものである。 【0007】すなわち、本発明者らはペリクル膜とフレ
ームが強固に接着され、接着後もシワや歪みなどの発生
しないペリクルを開発すべく種々検討した結果、これに
ついてはペリクル膜とフレームを該ペリクル膜と同等の
ポリマーからなる接着剤を用いて接着するときに、ペリ
クル膜とフレームを該接着剤で密着後、該ペリクル膜と
同等のポリマーを溶解した有機溶剤溶液を該ペリクル膜
の上から該フレーム上面の形に合せて塗布し、加熱して
ペリクル膜とフレームを接着してなるものであることか
ら、ペリクル膜とフレームが強く接着されたものとなる
ことを見出すと共に、接着剤による接着および溶液の乾
燥の際に、膜に加える温度もこのポリマーのガラス転移
温度以下でよいので、接着後このペリクル膜にシワや歪
みの発生することがないということを確認して本発明を
完成させた。以下にこれをさらに詳述する。 【0008】 【作用】本発明はペリクル及びその製造方法に関するも
のであり、これは上記したようにペリクル膜とフレーム
を該ペリクル膜と同等のポリマーからなる接着剤を用い
て接着する工程において、ペリクル膜とフレームを該接
着剤で密着後該ペリクル膜と同様のポリマーを溶解した
溶液を該ペリクル膜の上から塗布し、加熱してペリクル
膜とフレームを接着させることを特徴とするものであ
り、これによればペリクルにはペリクル膜とフレームと
が強く接着されており、このペリクル膜にはシワや歪み
の発生することもないという有利性が与えられる。 【0009】本発明のペリクルの製造方法はペリクル膜
とフレームとを該ペリクル膜と同等のポリマーからなる
接着剤を用いて接着する際ペリクル膜とフレームを接着
剤で密着後、ペリクル膜と同等のポリマーを溶解した有
機溶媒溶液を用いてペリクル膜の上から塗布し、ペリク
ル膜をフレームに接着させたものである。このペリクル
膜は従来公知のいずれの種類のものであってもよく、こ
れにはニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピオン
酸セルロース、非晶質のフッ素ポリマーとしてのパーフ
ルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体、テトラフル
オロエチレンとパーフルオロ(2,2−ジメチル−1,
3−ジオキソール)との共重合体などが例示され、これ
についてはこの接着剤を従来公知のアクリル樹脂やエポ
キシ樹脂の代わりに、ペリクル膜と同等のポリマーを使
用することも提案されており、これによってもかなり強
い接着強度が与えられるけれども、この場合には充分な
接着強度を得るためにはそのポリマーのガラス転移点以
上に加熱することが必要でその為にペリクル膜にしわや
歪が発生しやすいという問題があった。 【0010】しかし、この接着剤をこのペリクル膜と同
等のポリマーを溶解した有機溶剤溶液で溶解接着する
と、このものはペリクル膜と同等のポリマーを含んでい
るので、ペリクル膜との接着強度が上昇するし、粘度も
あるので、塗布の位置精度や溶解接着の際の溶解スピー
ドも安定し、このポリマーのガラス転移点以下の温度で
接着出来るのでペリクル膜にシワや歪みが発生すること
もなくなるという有利性が与えられる。 【0011】なお、このものにおけるペリクル膜と同等
のポリマーを溶解した溶液中におけるポリマーの濃度
は、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体の
場合は1.0重量%未満ではこの溶液の粘度が 30cps未満
で塗布の際広がりすぎてしまい、位置精度が高めにくく
なるため、この濃度は1重量%以上とすることが必要で
あり、又15.0重量%を超える場合は溶液の粘度が上がっ
てしまいペリクル膜への浸透性が低下するため充分な接
着力が得られない。 【0012】 【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例1 パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイ
トップCTXSタイプ[旭硝子(株)製商品名]をその
溶媒としての CT solv 180[旭硝子(株)製商品名]に
溶解して濃度5%(濃度は重量%を示す、以下同じ)の
溶液を調製した。ついで、この溶液を直径 200mm、厚さ
3mmの表面研磨した石英基板面に、スピンコーターを用
いて膜厚が0.84μmの透明膜を形成させ、 180℃で15分
間乾燥してペリクル膜を形成した。 【0013】つぎに、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・
サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒・ CT so
lv 180(前出)に溶解した10%濃度のフッ素ポリマー接
着剤を塗布し、 150℃で1時間乾燥して厚みが 0.2mmの
接着剤層を形成したのち、これに上記で得たペリクル膜
を3分間 100℃に加熱し押しつけて密着させ、この膜の
上からパーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体
・サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒・ CT
solv 180(前出)に溶解した3%濃度のフッ素系ポリマ
ー溶液をペリクル膜の上よりフレームの上面の形に合せ
て塗布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥機で
10分間加熱乾燥してペリクル膜とペリクルフレームを接
着させたのち、余分な膜を取り除いたところ、外観が良
好で膜の接着強度が 150gf/cm2であるペリクルが得られ
た。 【0014】実施例2 テトラフルオロエチレンとパーフルオロ(2,2−ジメ
チル−1,3−ジオキソール)との共重合体・テフロン
AF1600[米国デュポン社製商品名]をその溶剤・フロ
リナートFC−75[住友スリーエム(株)製商品名]に
溶解して濃度3%の溶液を調製し、この溶液を直径 200
mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板面に、スピンコー
ターを用いて膜厚が0.84μmの透明膜を形成させ、 180
℃で15分間乾燥してペリクル膜を形成させた。 【0015】ついで、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、上記したてテフロンAF1600(前出)をその溶媒・
フロリナートFC−75(前出)に溶解した濃度10%のフ
ッ素ポリマー接着剤を塗布し、 150℃で1時間乾燥し厚
みが 0.2mmの接着層を形成し、これに上記で得たペリク
ル膜を3分間 150℃で加熱し押しつけて密着させ、この
膜の上からフレーム上面の形に合わせて、上記したテフ
ロンAF1600(前出)をその溶媒・フロリナートFC−
75(前出)に溶解した濃度1%のフッ素系ポリマー溶液
を塗布し、フレーム温度が 150℃になるように乾燥機で
10分間加熱乾燥してペリクル膜とペリクルフレームを接
着させたのち、余分な膜を除去したところ、外観が良好
で膜の接着強度が 140gf/cm2であるペリクルが得られ
た。 【0016】実施例3 プロピオン酸セルロースをその溶媒としての2−ブタノ
ンに溶解して濃度5%の溶液を調製し、この溶液を直径
200mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板上に、スピン
コーターを用いて膜厚が 1.4μmの透明膜を形成させ、
150℃で20分間乾燥してペリクル膜を形成させた。 【0017】ついで、アルマイト処理をした 120mm角の
アルミニウムフレームからなるペリクルフレームの上面
に、プロピオン酸セルロースをその溶媒としての2−ブ
タノンに溶解した濃度20%の接着剤溶液を塗布し、 150
℃で20分間乾燥して厚みが0.2mm の接着剤層を形成させ
たのち、これに上記で得たペリクル膜を3分間90℃に加
熱し押しつけて密着させ、この膜の上からフレーム上面
の形に合わせてプロピオン酸セルロースを2−ブタノン
に溶解した濃度2%の溶液を塗布し、フレーム温度が90
℃になるように乾燥機で10分間加熱乾燥しペリクル膜と
ペリクルフレームを接着させたのち、余分な膜を除去し
たところ、外観が良好で膜の接着強度が125gf/cm2であ
るペリクルが得られた。 【0018】比較例1 パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイ
トップCTXSタイプ(前出)をその溶媒である CT so
lv 180(前出)に溶解して濃度5%の溶液を調製し、こ
の溶液を直径 200mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板
面に、スピンコーターを用いて膜厚が0.84μmの透明膜
を形成させ、 180℃で15分間乾燥してペリクル膜を形成
した。 【0019】ついで、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・
サイトップCTXAタイプ(前出)を溶媒 CT solv 180
(前出)に溶解した10%濃度のフッ素ポリマー接着剤を
塗布し、 150℃で1時間乾燥し厚みが 0.2mmの接着剤層
を形成した後、これに上記で得たペリクル膜を3分間 1
00℃に加熱し押しつけ密着させ、この膜の上からフレー
ム上面の形に合わせて、溶媒 CT solv 100(前出)を塗
布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥機で10分
間加熱乾燥しペリクル膜とペリクルフレームを接着させ
たのち、余分な膜を取り除いたところ、得られたペリク
ルは塗布した CT solv 100(前出)の粘度が低すぎて、
フレーム端面の幅から溶媒がはみ出したために外観が悪
かった。なお膜の接着強度は 125gf/cm2であった。 【0020】比較例2 比較例1と同様の方法でパーフルオロ(ブテニルビニル
エーテル)重合体・サイトップCTXSタイプ(前出)
の0.84μmのペリクル膜を作製し、アルマイト処理をし
た 120mm角のアルミニウムフレームの上面に、パーフル
オロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイトップC
TXAタイプ(前出)を溶媒 CT solv 180(前出)に溶
解した10%濃度のフッ素ポリマー接着剤を塗布し 150℃
で1時間乾燥し厚みが 0.2mmの接着剤層を形成した後、
これに上記で得たペリクル膜を3分間 100℃に加熱し押
しつけ密着させ、この膜の上からフレーム上面の形に合
わせて、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合
体・サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒 CT
solv 100(前出)に溶解した16%濃度のフッ素ポリマー
溶液を塗布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥
機で10分間加熱乾燥しペリクル膜とペリクルフレームを
接着させたのち、余分な膜を取り除いたところ、得られ
たペリクルは塗布した溶液の濃度が高すぎたために塗布
した場所が盛り上がって外観の悪いものとなり、また溶
液の溶解度が低かったために十分な接着強度が得られ
ず、接着強度も10gf/cm2以下であった。 【0021】 【発明の効果】本発明はペリクル及びその製造方法に関
するものであり、これは前記したようにペリクル膜とフ
レームを該ペリクル膜と同等のポリマーからなる接着剤
を用いて接着する工程において、ペリクル膜とフレーム
を接着剤で密着後、該ペリクル膜と同等のポリマーを溶
解した有機溶媒溶液を該ペリクル膜の上から塗布し加熱
して接着させることを特徴とするものであるが、これに
よればシワや歪みのない、強力に接着した膜を有するペ
リクルを得ることができる。
半導体装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミよけ
として使用される、実質的に500nm以下の光を用い
る露光方式における帯電防止されたペリクルの製造方法
に関するものである。 【0002】 【従来の技術】LSI、超LSIなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶表示板に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版(マスクま
たはレチクルとも呼ばれる)にゴミが付着していると、
このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転
写したパターニングが変形したり、エッジががさついた
ものとなるほか、下地が黒く汚れ寸法、品質、外観など
が損なわれるという問題があった。 【0003】このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方式が一般的に取られている。この場
合、ゴミは露光原版の表面には直接付着せずペリクル上
に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原版の
パターン上に合わせておけば、ペリクル上のゴミは転写
に無関係となる。このペリクルの構造は、紫外線をよく
通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピ
オン酸セルロースなどのセルロース系ポリマーや、非晶
質フッ素系ポリマーなどの薄膜と、アルミニウム、ステ
ンレス、プラスチックスなどの材質からなるペリクルフ
レームとをフレームの上部にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾する(特開昭 58-219023号公報参照)か、アク
リル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着したもの
(米国特許第 4861402号、特公昭 63-27707 号公報参
照)である。また、ペリクルフレームの下部には露光原
版にペリクルを固定するために、ポリブテン樹脂、ポリ
酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層を設
け、更にその粘着層の表面に、粘着層の保護を目的とし
たセパレーターを貼り合わせた構造となっている。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】このペリクルの使用に
当って直接露光光源(g線、i線などの紫外線、または
エキシマレーザー光)に照射されるのはペリクル膜であ
るが、このペリクル膜をペリクルフレームに固着させる
接着剤にもこの露光光源の一部が照射されるおそれがあ
るために、この接着剤についても耐久性が重要な性質と
され、この接着剤は厚さが数ミクロンの超薄膜であるペ
リクル膜を常に張った状態でペリクルフレームに接着さ
せておくことが必要であることから、ペリクルの性能上
重要な材料とされている。しかし、従来使用されている
アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤は接着強度が不十
分であったり、接着面積が一定しないために、シワが発
生するなどの信頼性に欠けるもので、さらにこれらの接
着剤は露光光源による劣化が激しく、ある程度使用する
と接着剤が固化、分解してこれがゴミの発生源となり、
さらにペリクル膜の張力変化で膜が剥離したり、亀裂を
起こすという欠点があり、特にペリクル膜の材料として
非晶質のフッ素系ポリマーを用いた場合には、フッ素系
ポリマーが離型性に優れているためにアクリル系接着剤
やエポキシ系接着剤では実用的な接着力を得ることが不
可能であるという問題点もある。 【0005】そこで、本発明者らは非晶質のフッ素系ポ
リマーを用いたペリクル膜の接着剤としてペリクル膜と
同一もしくは類似の構造をもつフッ素系接着剤を用い
て、ガラス転移温度付近またはそれ以上に加熱すると、
ペリクル膜と接着剤が強固に接着するということを提案
した(特開平 6-67409号公報参照)が、この場合には膜
とフレームとを接着するときに、十分な接着強度を得る
ためにこれをペリクル膜形成ポリマーのガラス転移温度
以上に加熱すると、膜自体にシワや歪みが発生し易く、
それを防止するためにこの加熱温度をガラス転移温度以
下とすると、接着強度が不十分になるという不利のある
ことが確認された。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決したペリクルの製造方法に関するもので、これは
ペリクル膜とフレームを該ペリクル膜と同等のポリマー
からなる接着剤を用いて接着する工程において、該ペリ
クル膜と該フレームを該接着剤を介して密着させたの
ち、該ペリクル膜と同等のポリマーを溶解した有機溶剤
溶液を該ペリクル膜の上から該フレーム上面の形に合せ
て塗布し、加熱して該ペリクル膜と該フレームを接着す
ることを特徴とするものである。 【0007】すなわち、本発明者らはペリクル膜とフレ
ームが強固に接着され、接着後もシワや歪みなどの発生
しないペリクルを開発すべく種々検討した結果、これに
ついてはペリクル膜とフレームを該ペリクル膜と同等の
ポリマーからなる接着剤を用いて接着するときに、ペリ
クル膜とフレームを該接着剤で密着後、該ペリクル膜と
同等のポリマーを溶解した有機溶剤溶液を該ペリクル膜
の上から該フレーム上面の形に合せて塗布し、加熱して
ペリクル膜とフレームを接着してなるものであることか
ら、ペリクル膜とフレームが強く接着されたものとなる
ことを見出すと共に、接着剤による接着および溶液の乾
燥の際に、膜に加える温度もこのポリマーのガラス転移
温度以下でよいので、接着後このペリクル膜にシワや歪
みの発生することがないということを確認して本発明を
完成させた。以下にこれをさらに詳述する。 【0008】 【作用】本発明はペリクル及びその製造方法に関するも
のであり、これは上記したようにペリクル膜とフレーム
を該ペリクル膜と同等のポリマーからなる接着剤を用い
て接着する工程において、ペリクル膜とフレームを該接
着剤で密着後該ペリクル膜と同様のポリマーを溶解した
溶液を該ペリクル膜の上から塗布し、加熱してペリクル
膜とフレームを接着させることを特徴とするものであ
り、これによればペリクルにはペリクル膜とフレームと
が強く接着されており、このペリクル膜にはシワや歪み
の発生することもないという有利性が与えられる。 【0009】本発明のペリクルの製造方法はペリクル膜
とフレームとを該ペリクル膜と同等のポリマーからなる
接着剤を用いて接着する際ペリクル膜とフレームを接着
剤で密着後、ペリクル膜と同等のポリマーを溶解した有
機溶媒溶液を用いてペリクル膜の上から塗布し、ペリク
ル膜をフレームに接着させたものである。このペリクル
膜は従来公知のいずれの種類のものであってもよく、こ
れにはニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピオン
酸セルロース、非晶質のフッ素ポリマーとしてのパーフ
ルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体、テトラフル
オロエチレンとパーフルオロ(2,2−ジメチル−1,
3−ジオキソール)との共重合体などが例示され、これ
についてはこの接着剤を従来公知のアクリル樹脂やエポ
キシ樹脂の代わりに、ペリクル膜と同等のポリマーを使
用することも提案されており、これによってもかなり強
い接着強度が与えられるけれども、この場合には充分な
接着強度を得るためにはそのポリマーのガラス転移点以
上に加熱することが必要でその為にペリクル膜にしわや
歪が発生しやすいという問題があった。 【0010】しかし、この接着剤をこのペリクル膜と同
等のポリマーを溶解した有機溶剤溶液で溶解接着する
と、このものはペリクル膜と同等のポリマーを含んでい
るので、ペリクル膜との接着強度が上昇するし、粘度も
あるので、塗布の位置精度や溶解接着の際の溶解スピー
ドも安定し、このポリマーのガラス転移点以下の温度で
接着出来るのでペリクル膜にシワや歪みが発生すること
もなくなるという有利性が与えられる。 【0011】なお、このものにおけるペリクル膜と同等
のポリマーを溶解した溶液中におけるポリマーの濃度
は、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体の
場合は1.0重量%未満ではこの溶液の粘度が 30cps未満
で塗布の際広がりすぎてしまい、位置精度が高めにくく
なるため、この濃度は1重量%以上とすることが必要で
あり、又15.0重量%を超える場合は溶液の粘度が上がっ
てしまいペリクル膜への浸透性が低下するため充分な接
着力が得られない。 【0012】 【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例1 パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイ
トップCTXSタイプ[旭硝子(株)製商品名]をその
溶媒としての CT solv 180[旭硝子(株)製商品名]に
溶解して濃度5%(濃度は重量%を示す、以下同じ)の
溶液を調製した。ついで、この溶液を直径 200mm、厚さ
3mmの表面研磨した石英基板面に、スピンコーターを用
いて膜厚が0.84μmの透明膜を形成させ、 180℃で15分
間乾燥してペリクル膜を形成した。 【0013】つぎに、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・
サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒・ CT so
lv 180(前出)に溶解した10%濃度のフッ素ポリマー接
着剤を塗布し、 150℃で1時間乾燥して厚みが 0.2mmの
接着剤層を形成したのち、これに上記で得たペリクル膜
を3分間 100℃に加熱し押しつけて密着させ、この膜の
上からパーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体
・サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒・ CT
solv 180(前出)に溶解した3%濃度のフッ素系ポリマ
ー溶液をペリクル膜の上よりフレームの上面の形に合せ
て塗布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥機で
10分間加熱乾燥してペリクル膜とペリクルフレームを接
着させたのち、余分な膜を取り除いたところ、外観が良
好で膜の接着強度が 150gf/cm2であるペリクルが得られ
た。 【0014】実施例2 テトラフルオロエチレンとパーフルオロ(2,2−ジメ
チル−1,3−ジオキソール)との共重合体・テフロン
AF1600[米国デュポン社製商品名]をその溶剤・フロ
リナートFC−75[住友スリーエム(株)製商品名]に
溶解して濃度3%の溶液を調製し、この溶液を直径 200
mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板面に、スピンコー
ターを用いて膜厚が0.84μmの透明膜を形成させ、 180
℃で15分間乾燥してペリクル膜を形成させた。 【0015】ついで、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、上記したてテフロンAF1600(前出)をその溶媒・
フロリナートFC−75(前出)に溶解した濃度10%のフ
ッ素ポリマー接着剤を塗布し、 150℃で1時間乾燥し厚
みが 0.2mmの接着層を形成し、これに上記で得たペリク
ル膜を3分間 150℃で加熱し押しつけて密着させ、この
膜の上からフレーム上面の形に合わせて、上記したテフ
ロンAF1600(前出)をその溶媒・フロリナートFC−
75(前出)に溶解した濃度1%のフッ素系ポリマー溶液
を塗布し、フレーム温度が 150℃になるように乾燥機で
10分間加熱乾燥してペリクル膜とペリクルフレームを接
着させたのち、余分な膜を除去したところ、外観が良好
で膜の接着強度が 140gf/cm2であるペリクルが得られ
た。 【0016】実施例3 プロピオン酸セルロースをその溶媒としての2−ブタノ
ンに溶解して濃度5%の溶液を調製し、この溶液を直径
200mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板上に、スピン
コーターを用いて膜厚が 1.4μmの透明膜を形成させ、
150℃で20分間乾燥してペリクル膜を形成させた。 【0017】ついで、アルマイト処理をした 120mm角の
アルミニウムフレームからなるペリクルフレームの上面
に、プロピオン酸セルロースをその溶媒としての2−ブ
タノンに溶解した濃度20%の接着剤溶液を塗布し、 150
℃で20分間乾燥して厚みが0.2mm の接着剤層を形成させ
たのち、これに上記で得たペリクル膜を3分間90℃に加
熱し押しつけて密着させ、この膜の上からフレーム上面
の形に合わせてプロピオン酸セルロースを2−ブタノン
に溶解した濃度2%の溶液を塗布し、フレーム温度が90
℃になるように乾燥機で10分間加熱乾燥しペリクル膜と
ペリクルフレームを接着させたのち、余分な膜を除去し
たところ、外観が良好で膜の接着強度が125gf/cm2であ
るペリクルが得られた。 【0018】比較例1 パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイ
トップCTXSタイプ(前出)をその溶媒である CT so
lv 180(前出)に溶解して濃度5%の溶液を調製し、こ
の溶液を直径 200mm、厚さ3mmの表面研磨した石英基板
面に、スピンコーターを用いて膜厚が0.84μmの透明膜
を形成させ、 180℃で15分間乾燥してペリクル膜を形成
した。 【0019】ついで、ペリクルフレームとしてのアルマ
イト処理をした 120mm角のアルミニウムフレームの上面
に、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・
サイトップCTXAタイプ(前出)を溶媒 CT solv 180
(前出)に溶解した10%濃度のフッ素ポリマー接着剤を
塗布し、 150℃で1時間乾燥し厚みが 0.2mmの接着剤層
を形成した後、これに上記で得たペリクル膜を3分間 1
00℃に加熱し押しつけ密着させ、この膜の上からフレー
ム上面の形に合わせて、溶媒 CT solv 100(前出)を塗
布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥機で10分
間加熱乾燥しペリクル膜とペリクルフレームを接着させ
たのち、余分な膜を取り除いたところ、得られたペリク
ルは塗布した CT solv 100(前出)の粘度が低すぎて、
フレーム端面の幅から溶媒がはみ出したために外観が悪
かった。なお膜の接着強度は 125gf/cm2であった。 【0020】比較例2 比較例1と同様の方法でパーフルオロ(ブテニルビニル
エーテル)重合体・サイトップCTXSタイプ(前出)
の0.84μmのペリクル膜を作製し、アルマイト処理をし
た 120mm角のアルミニウムフレームの上面に、パーフル
オロ(ブテニルビニルエーテル)重合体・サイトップC
TXAタイプ(前出)を溶媒 CT solv 180(前出)に溶
解した10%濃度のフッ素ポリマー接着剤を塗布し 150℃
で1時間乾燥し厚みが 0.2mmの接着剤層を形成した後、
これに上記で得たペリクル膜を3分間 100℃に加熱し押
しつけ密着させ、この膜の上からフレーム上面の形に合
わせて、パーフルオロ(ブテニルビニルエーテル)重合
体・サイトップCTXSタイプ(前出)をその溶媒 CT
solv 100(前出)に溶解した16%濃度のフッ素ポリマー
溶液を塗布し、フレーム温度が 100℃になるように乾燥
機で10分間加熱乾燥しペリクル膜とペリクルフレームを
接着させたのち、余分な膜を取り除いたところ、得られ
たペリクルは塗布した溶液の濃度が高すぎたために塗布
した場所が盛り上がって外観の悪いものとなり、また溶
液の溶解度が低かったために十分な接着強度が得られ
ず、接着強度も10gf/cm2以下であった。 【0021】 【発明の効果】本発明はペリクル及びその製造方法に関
するものであり、これは前記したようにペリクル膜とフ
レームを該ペリクル膜と同等のポリマーからなる接着剤
を用いて接着する工程において、ペリクル膜とフレーム
を接着剤で密着後、該ペリクル膜と同等のポリマーを溶
解した有機溶媒溶液を該ペリクル膜の上から塗布し加熱
して接着させることを特徴とするものであるが、これに
よればシワや歪みのない、強力に接着した膜を有するペ
リクルを得ることができる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 白崎 享
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(72)発明者 永田 愛彦
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(72)発明者 樫田 周
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(72)発明者 久保田 芳宏
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(56)参考文献 特開 平6−67409(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G03F 1/14
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 ペリクル膜とフレームを該ペリクル膜と
同等のポリマーからなる接着剤を用いて接着する工程に
おいて、該ペリクル膜と該フレームを該接着剤を介して
密着させたのち、該ペリクル膜と同等のポリマーを溶解
した有機溶媒溶液を該ペリクル膜の上から該フレーム上
面の形に合わせて塗布し、加熱して該ペリクル膜と該フ
レームを接着することを特徴とするペリクルの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP25993694 | 1994-10-25 | ||
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JP6-158845 | 1994-10-25 | ||
JP10356495A JP3429898B2 (ja) | 1994-07-11 | 1995-04-27 | ペリクルの製造方法 |
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Family
ID=27310022
Family Applications (1)
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US5772817A (en) * | 1997-02-10 | 1998-06-30 | Micro Lithography, Inc. | Optical pellicle mounting system |
US5769984A (en) * | 1997-02-10 | 1998-06-23 | Micro Lithography, Inc. | Optical pellicle adhesion system |
-
1995
- 1995-04-27 JP JP10356495A patent/JP3429898B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH08179495A (ja) | 1996-07-12 |
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