JP3429870B2 - 焼結部品表面硬化方法 - Google Patents
焼結部品表面硬化方法Info
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- JP3429870B2 JP3429870B2 JP23166994A JP23166994A JP3429870B2 JP 3429870 B2 JP3429870 B2 JP 3429870B2 JP 23166994 A JP23166994 A JP 23166994A JP 23166994 A JP23166994 A JP 23166994A JP 3429870 B2 JP3429870 B2 JP 3429870B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は鉄系の焼結すべき粉末材
をプレス成形後、連続的に加熱焼結する工程において内
部の靱性低下もなく、また、寸法変化も少なく、且つ、
一般焼結処理品より最表面の硬度のみを高め、耐摩耗
性、耐食性の向上をはかる連続焼結処理方法に関する。
をプレス成形後、連続的に加熱焼結する工程において内
部の靱性低下もなく、また、寸法変化も少なく、且つ、
一般焼結処理品より最表面の硬度のみを高め、耐摩耗
性、耐食性の向上をはかる連続焼結処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、自動車の部品等に使用される鉄系
焼結品にあって、表面硬化によって硬度を高める必要が
ある場合、焼結終了後、別の熱処理炉において、浸炭、
焼入、窒化あるいはガス軟窒化等の熱処理を行ってい
る。
焼結品にあって、表面硬化によって硬度を高める必要が
ある場合、焼結終了後、別の熱処理炉において、浸炭、
焼入、窒化あるいはガス軟窒化等の熱処理を行ってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】浸炭の場合、焼結品は
多孔質である為、浸炭剤（カーボン）が内部迄侵入し、
表面のみでなく、焼結品全体が硬化し、靱性の低下を招
く可能性が大きい。また、浸炭、焼入等は高温で処理す
る為、熱処理後の変形が大きくなり、研削による寸法矯
正等の問題が生ずる。
多孔質である為、浸炭剤（カーボン）が内部迄侵入し、
表面のみでなく、焼結品全体が硬化し、靱性の低下を招
く可能性が大きい。また、浸炭、焼入等は高温で処理す
る為、熱処理後の変形が大きくなり、研削による寸法矯
正等の問題が生ずる。
【０００４】一方の窒化あるいはガス軟窒化等の場合
は、浸炭、焼入等に比較して、熱処理温度は低い為熱処
理後の変形は小さく寸法変化も微少である。しかし浸炭
と同様、焼結品が多孔質であるので、内部迄窒化し、靱
性の低下を招くことがある。従って、此等の内部硬化を
防ぐ方法として、銅系の溶浸剤で、溶浸処理を行い、焼
結品の空孔を閉塞した後、窒化あるいはガス軟室化処理
をするか、または、焼結後スチーム処理を行い、空孔を
酸化被膜（四三酸化鉄）で閉塞した後、窒化処理を行う
等の方法がなされている。
は、浸炭、焼入等に比較して、熱処理温度は低い為熱処
理後の変形は小さく寸法変化も微少である。しかし浸炭
と同様、焼結品が多孔質であるので、内部迄窒化し、靱
性の低下を招くことがある。従って、此等の内部硬化を
防ぐ方法として、銅系の溶浸剤で、溶浸処理を行い、焼
結品の空孔を閉塞した後、窒化あるいはガス軟室化処理
をするか、または、焼結後スチーム処理を行い、空孔を
酸化被膜（四三酸化鉄）で閉塞した後、窒化処理を行う
等の方法がなされている。
【０００５】この場合、焼結後の表面硬化処理、即ち窒
化、あるいはガス軟窒化等の処理工程に加えて、溶浸処
理、スチーム処理等の工程が必要となり、窒化、あるい
はガス軟窒化等の熱処理装置だけでなく、溶浸処理ある
いはスチーム処置等の前処理装置、そして、当然操作す
る作業員も必要となる。
化、あるいはガス軟窒化等の処理工程に加えて、溶浸処
理、スチーム処理等の工程が必要となり、窒化、あるい
はガス軟窒化等の熱処理装置だけでなく、溶浸処理ある
いはスチーム処置等の前処理装置、そして、当然操作す
る作業員も必要となる。
【０００６】本発明は、このような問題を解消すべく案
出されたものであり脱ワックス、焼結、表面硬化を連続
的に且つ、簡便に処理することにより、別途熱処理炉、
スチーム処理等の装置の必要もなく、また操作上におけ
る特別の時間、作業員も必要とせず、従来の鉄系の焼結
部品材で焼結と表面硬化が成される方法を提供すること
を目的とする。
出されたものであり脱ワックス、焼結、表面硬化を連続
的に且つ、簡便に処理することにより、別途熱処理炉、
スチーム処理等の装置の必要もなく、また操作上におけ
る特別の時間、作業員も必要とせず、従来の鉄系の焼結
部品材で焼結と表面硬化が成される方法を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、その目的を達
成するため鉄系の焼結すべき部品材を連続焼結炉の加熱
焼結室において、（ｉ）水素、炭化水素等の還元ガスと
窒素、アルゴン等の不活性ガス、（ｉｉ）プロパン、ブ
タン等の変性ガス（ＲＸ）又はアンモニアの分解ガス
（ＡＸ）等の雰囲気下において１１００℃以上で加熱焼
結後、別の雰囲気ゾーンにおいてアンモニアを加えてそ
の雰囲気中のアンモニア濃度を０．５〜１０％（好まし
くは２〜５％）に調整し、２００〜６５０℃（好ましく
は３００〜５５０℃）の雰囲気温度で１０〜６０分間
（好ましくは２０〜４５分間）その焼結部品を表面硬化
させることを特徴とする表面硬化した鉄系焼結部品の製
造方法である。
成するため鉄系の焼結すべき部品材を連続焼結炉の加熱
焼結室において、（ｉ）水素、炭化水素等の還元ガスと
窒素、アルゴン等の不活性ガス、（ｉｉ）プロパン、ブ
タン等の変性ガス（ＲＸ）又はアンモニアの分解ガス
（ＡＸ）等の雰囲気下において１１００℃以上で加熱焼
結後、別の雰囲気ゾーンにおいてアンモニアを加えてそ
の雰囲気中のアンモニア濃度を０．５〜１０％（好まし
くは２〜５％）に調整し、２００〜６５０℃（好ましく
は３００〜５５０℃）の雰囲気温度で１０〜６０分間
（好ましくは２０〜４５分間）その焼結部品を表面硬化
させることを特徴とする表面硬化した鉄系焼結部品の製
造方法である。
【０００８】表面硬化処理工程においてアンモニアガス
中に２〜１０％の炭酸ガス（ＣＯ2）を加えることが好
ましい。一般にアンモニアガスは窒素ガスと水素ガスに
分解するが、炭酸ガス（ＣＯ2 ）は窒化反応を阻害する
水素と反応して一酸化炭素（ＣＯ）と水（Ｈ2 Ｏ）に変
換する。
中に２〜１０％の炭酸ガス（ＣＯ2）を加えることが好
ましい。一般にアンモニアガスは窒素ガスと水素ガスに
分解するが、炭酸ガス（ＣＯ2 ）は窒化反応を阻害する
水素と反応して一酸化炭素（ＣＯ）と水（Ｈ2 Ｏ）に変
換する。
【０００９】本発明の表面硬化工程においてアンモニア
ガス濃度、処理温度及び処理時間等は本発明者の幅広い
実験の結果得られたものである。これらの範囲を逸脱す
る時、目的とした表面硬化が得られない。例えば、これ
らより過大な条件で処理を行なうと、焼結部品の深部ま
で硬化され、焼結部品がもろくなる。又これらより過小
の条件で表面硬化処理を行なうと硬化層が薄くなり、目
的とする表面硬化処理品が得られない。
ガス濃度、処理温度及び処理時間等は本発明者の幅広い
実験の結果得られたものである。これらの範囲を逸脱す
る時、目的とした表面硬化が得られない。例えば、これ
らより過大な条件で処理を行なうと、焼結部品の深部ま
で硬化され、焼結部品がもろくなる。又これらより過小
の条件で表面硬化処理を行なうと硬化層が薄くなり、目
的とする表面硬化処理品が得られない。
【００１０】本発明において表面硬化は、連続焼結炉の
冷却ゾーンにおいて、行なわれる。
冷却ゾーンにおいて、行なわれる。
【００１１】その冷却ゾーンに耐熱カーテン、水冷構造
のカーテンボックス、並びに表面硬化の最適雰囲気にす
る為のアンモニアガスの供給口等を設けても良い。
のカーテンボックス、並びに表面硬化の最適雰囲気にす
る為のアンモニアガスの供給口等を設けても良い。
【００１２】
【作用】図面によって本発明をさらに詳しく説明する。
本発明は下記の図面の態様に限定されるものではない。
本発明は下記の図面の態様に限定されるものではない。
【００１３】図１に示されたメッシュベルト式連続焼結
炉に従って詳細に説明する。プレス成形された鉄系の焼
結すべき部品材１２を脱ワックス炉１３でステアリン酸
亜鉛、ワックス等潤滑剤を加熱分解除去した後、焼結室
１１において、窒素、水素混合ガス、ＲＸガスあるいは
ＡＸガス等還元性ガス雰囲気下で、加熱焼結を行う。
炉に従って詳細に説明する。プレス成形された鉄系の焼
結すべき部品材１２を脱ワックス炉１３でステアリン酸
亜鉛、ワックス等潤滑剤を加熱分解除去した後、焼結室
１１において、窒素、水素混合ガス、ＲＸガスあるいは
ＡＸガス等還元性ガス雰囲気下で、加熱焼結を行う。
【００１４】この場合の該焼結室は温度１，１００〜
１，１５０℃であることが好ましい。窒素−水素混合ガ
スであれば、水素４〜８０％、ＲＸガスであれば、水素
は約３０％の雰囲気の状態で焼結部品材１２が加熱焼結
され、冷却ゾーン９に搬送される。該冷却ゾーン内にお
いて前方に耐熱カーテン４を設置し、焼結室１１からの
ガス流入に抵抗をもたせる。特に焼結室１１での焼結部
品材（酸化鉄）との還元で生じた水分の冷却ゾーン９へ
の流入を抑える。また、冷却ゾーン９の進行方向にカー
テンボックス１を設置して、雰囲気ガスの前後からの流
入、前後に流出しにくいようにガスの流れに抵抗を持た
した硬化雰囲気ゾーン９ａをつくり、冷却ゾーンの外部
にアンモニアガスの供給口を設けてアンモニアガスを少
量供給する。硬化雰囲気ゾーン９ａにある焼結部品１４
は表面硬化、即ち焼結部品材の最表面での窒化を生じ
る。この場合の窒化作用はアンモニア（ＮＨ3 ）が鉄
（Ｆｅ）に接触して分解した原子状の〔Ｎ〕がＦｅと反
応してε相（Ｆｅ3 Ｎ）、γ相（Ｆｅ4 Ｎ）等の窒化層
を形成する。
１，１５０℃であることが好ましい。窒素−水素混合ガ
スであれば、水素４〜８０％、ＲＸガスであれば、水素
は約３０％の雰囲気の状態で焼結部品材１２が加熱焼結
され、冷却ゾーン９に搬送される。該冷却ゾーン内にお
いて前方に耐熱カーテン４を設置し、焼結室１１からの
ガス流入に抵抗をもたせる。特に焼結室１１での焼結部
品材（酸化鉄）との還元で生じた水分の冷却ゾーン９へ
の流入を抑える。また、冷却ゾーン９の進行方向にカー
テンボックス１を設置して、雰囲気ガスの前後からの流
入、前後に流出しにくいようにガスの流れに抵抗を持た
した硬化雰囲気ゾーン９ａをつくり、冷却ゾーンの外部
にアンモニアガスの供給口を設けてアンモニアガスを少
量供給する。硬化雰囲気ゾーン９ａにある焼結部品１４
は表面硬化、即ち焼結部品材の最表面での窒化を生じ
る。この場合の窒化作用はアンモニア（ＮＨ3 ）が鉄
（Ｆｅ）に接触して分解した原子状の〔Ｎ〕がＦｅと反
応してε相（Ｆｅ3 Ｎ）、γ相（Ｆｅ4 Ｎ）等の窒化層
を形成する。
【００１５】
【式１】
一般に鋼等の窒化あるいはガス軟窒化の最適条件は５０
０〜５８０℃の温度で、１時間以上の処理時間が必要と
されているが、この温度では、窒化スピードも速く、焼
結部品１４の空孔に〔Ｎ〕原子の侵入する可能性もあ
る。その為、該硬化ゾーン９ａの雰囲気温度を５５０〜
３００℃として空孔へ〔Ｎ〕原子が急激に侵入するのを
抑える。
０〜５８０℃の温度で、１時間以上の処理時間が必要と
されているが、この温度では、窒化スピードも速く、焼
結部品１４の空孔に〔Ｎ〕原子の侵入する可能性もあ
る。その為、該硬化ゾーン９ａの雰囲気温度を５５０〜
３００℃として空孔へ〔Ｎ〕原子が急激に侵入するのを
抑える。
【００１６】硬化ゾーン９ａの雰囲気温度は５５０〜３
００℃と低くても、焼結部品１４は加熱焼結（１，１０
０℃）から徐冷状態で、未だ５００℃以上の温度がある
為アンモニアガスと接触して５００℃で窒化を開始し、
硬化ゾーン９ａ出口で２〜４μｍ程度の薄膜窒化層が形
成される。
００℃と低くても、焼結部品１４は加熱焼結（１，１０
０℃）から徐冷状態で、未だ５００℃以上の温度がある
為アンモニアガスと接触して５００℃で窒化を開始し、
硬化ゾーン９ａ出口で２〜４μｍ程度の薄膜窒化層が形
成される。
【００１７】上記のように雰囲気温度を下げて、極力ア
ンモニアガスの分解を抑えてアンモニアガスの効率良い
消費を行う為にカーテンボックス１は水冷式とし、カー
テンボックス１の先端に耐熱カーテン３あるいは金属の
仕切板を設けて、該カーテンボックス先端に窒素ガス噴
射ノズル２その上部に窒素ガス供給口を設ける。窒素ガ
ス供給管６を通じて、窒素ガスを該カーテン１の付近に
噴射して、アンモニアガスを含む硬化ゾーン９ａからの
ガスの流出、並びに冷却ゾーン後部からのガスの流入を
抑える。
ンモニアガスの分解を抑えてアンモニアガスの効率良い
消費を行う為にカーテンボックス１は水冷式とし、カー
テンボックス１の先端に耐熱カーテン３あるいは金属の
仕切板を設けて、該カーテンボックス先端に窒素ガス噴
射ノズル２その上部に窒素ガス供給口を設ける。窒素ガ
ス供給管６を通じて、窒素ガスを該カーテン１の付近に
噴射して、アンモニアガスを含む硬化ゾーン９ａからの
ガスの流出、並びに冷却ゾーン後部からのガスの流入を
抑える。
【００１８】尚、還元ガスがＡＸ等のよう水素成分が多
い場合、硬化ゾーン９ａに水素ガスが、多量に流入して
窒化作用を阻害する。また硬化ゾーン内９ａで、アンモ
ニアの分解率が高い場合、雰囲気に水素成分が多くなり
同様の現象を起こすことがあり、窒化作用促進の目的で
炭酸ガス（ＣＯ2 ）の２〜１０％をアンモニアガスと混
合して硬化ゾーンに供給することも出来る。
い場合、硬化ゾーン９ａに水素ガスが、多量に流入して
窒化作用を阻害する。また硬化ゾーン内９ａで、アンモ
ニアの分解率が高い場合、雰囲気に水素成分が多くなり
同様の現象を起こすことがあり、窒化作用促進の目的で
炭酸ガス（ＣＯ2 ）の２〜１０％をアンモニアガスと混
合して硬化ゾーンに供給することも出来る。
【００１９】
【式２】
【００２０】
【実施例】次に図１に基づきプレス成形焼結部品材の連
続焼結・硬化の実施について説明する。本炉において焼
結室には窒素−水素混合ガス、硬化ゾーンにはアンモニ
アガスとカーテンボックスの窒素ガスノズルより窒素ガ
スを供給し、炭酸ガス（ＣＯ2 ）は使用していない。処
理品は鉄系プレス成形焼結品材（Ｆｅ−Ｃｕ−Ｃ）で、
脱ワックス処理後の処理条件として焼結室１１へのガス
は水素−窒素混合ガス１０ｍ3 ／Ｈ（Ｈ2 ６％、Ｎ2 ９
４％）、温度１，１４０℃、硬化ゾーン９ａへのガスは
窒素（水冷カーテンボックス１）６ｍ3 ／Ｈ、アンモニ
アガス０．２〜０．６ｍ3 ／Ｈ、（Ｈ2 ：４％、ＮＨ
3 ：２〜５％、残：Ｎ2 ）で雰囲気温度は３００〜５０
０℃を相定して処理実施。
続焼結・硬化の実施について説明する。本炉において焼
結室には窒素−水素混合ガス、硬化ゾーンにはアンモニ
アガスとカーテンボックスの窒素ガスノズルより窒素ガ
スを供給し、炭酸ガス（ＣＯ2 ）は使用していない。処
理品は鉄系プレス成形焼結品材（Ｆｅ−Ｃｕ−Ｃ）で、
脱ワックス処理後の処理条件として焼結室１１へのガス
は水素−窒素混合ガス１０ｍ3 ／Ｈ（Ｈ2 ６％、Ｎ2 ９
４％）、温度１，１４０℃、硬化ゾーン９ａへのガスは
窒素（水冷カーテンボックス１）６ｍ3 ／Ｈ、アンモニ
アガス０．２〜０．６ｍ3 ／Ｈ、（Ｈ2 ：４％、ＮＨ
3 ：２〜５％、残：Ｎ2 ）で雰囲気温度は３００〜５０
０℃を相定して処理実施。
【００２１】尚、炉後部はカーテンボックス１にて窒素
ガス１ｍ3 ／Ｈで外気侵入を防止、炉内排ガスも燃焼せ
ず、自然排気となっている。
ガス１ｍ3 ／Ｈで外気侵入を防止、炉内排ガスも燃焼せ
ず、自然排気となっている。
【００２２】この実施結果はまず以下の表１
【表１】
にあるように硬化処理をしたものが、約２０ポイント
（２０ＨＲＢ）硬度が高くなり、窒化層が２〜４μｍ形
成されている。
（２０ＨＲＢ）硬度が高くなり、窒化層が２〜４μｍ形
成されている。
【００２３】次に、図２においてＩＳＯ ４５０７『マ
イクロビッカース硬さ試験方法による有効硬化層深さの
測定及び検査』に基づいて測定した断面硬度分布（硬さ
推移曲線）からも示されているように硬化処理品は最表
面のみ硬度が高く内部は焼結処理のみで硬化処理をして
いないものとほぼ同レベルの硬度であり、靱性を保持し
ていることが確認される。
イクロビッカース硬さ試験方法による有効硬化層深さの
測定及び検査』に基づいて測定した断面硬度分布（硬さ
推移曲線）からも示されているように硬化処理品は最表
面のみ硬度が高く内部は焼結処理のみで硬化処理をして
いないものとほぼ同レベルの硬度であり、靱性を保持し
ていることが確認される。
【００２４】図３は硬化ゾーンにおける雰囲気と焼結部
の硬化過程における温度変化を示したものである。雰囲
気温度約４５０〜２００℃に対して焼結部品（表面）温
度６４０〜３８０℃、雰囲気−焼結品の温度差１８０〜
２００℃で変動している。
の硬化過程における温度変化を示したものである。雰囲
気温度約４５０〜２００℃に対して焼結部品（表面）温
度６４０〜３８０℃、雰囲気−焼結品の温度差１８０〜
２００℃で変動している。
【００２５】硬化ゾーンでの保持時間は約１８〜３６分
で、アンモニアガスの供給も全体供給ガス量の２〜５％
であったが、硬度その他大きな差は出ていない。今回は
硬化ゾーンの前方のカーテンには窒素ガス噴射はしてい
なかったが、窒素ガスを噴射して硬化ゾーン９ａ内の雰
囲気を極力一定に保つようにすれば、硬化ゾーン９ａ内
アンモニアガスも一定となり、均一な表面硬化がはかれ
るはずである。
で、アンモニアガスの供給も全体供給ガス量の２〜５％
であったが、硬度その他大きな差は出ていない。今回は
硬化ゾーンの前方のカーテンには窒素ガス噴射はしてい
なかったが、窒素ガスを噴射して硬化ゾーン９ａ内の雰
囲気を極力一定に保つようにすれば、硬化ゾーン９ａ内
アンモニアガスも一定となり、均一な表面硬化がはかれ
るはずである。
【００２６】
【発明の効果】図２の結果から硬化処理をしない焼結部
品に対し、硬化処理品は最表面だけ硬度が高くなって耐
摩耗性が増し、一方内部は硬化処理前とほぼ同レベルの
硬度で靱性を保持出来、最表面の低温での硬化だけであ
るので寸法変化も生じない。また、焼結時発生しやすい
表面の微脱炭による表面硬度の低下も、この硬化処理で
充分カバー出来る。今後、焼結部品材として低炭素材料
を使用することによるコスト節減も可能である。
品に対し、硬化処理品は最表面だけ硬度が高くなって耐
摩耗性が増し、一方内部は硬化処理前とほぼ同レベルの
硬度で靱性を保持出来、最表面の低温での硬化だけであ
るので寸法変化も生じない。また、焼結時発生しやすい
表面の微脱炭による表面硬度の低下も、この硬化処理で
充分カバー出来る。今後、焼結部品材として低炭素材料
を使用することによるコスト節減も可能である。
【００２７】また、スチーム処理装置、熱処理装置等の
特別設備の必要もなく、一般焼結と同一作業で連続的に
処理が可能であり、焼結硬化設備も焼結後の冷却ゾーン
内に硬化ゾーンを組み込むだけである。また従来の連続
炉においても簡単に改造が出来る。
特別設備の必要もなく、一般焼結と同一作業で連続的に
処理が可能であり、焼結硬化設備も焼結後の冷却ゾーン
内に硬化ゾーンを組み込むだけである。また従来の連続
炉においても簡単に改造が出来る。
【図１】本発明の方法を実施する好ましい態様の連続焼
結炉の概略図。
結炉の概略図。
【図２】焼結部品の断面硬度分布を示すグラフ。
【図３】硬化ゾーンの温度変化を示すグラフである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭60−224753（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−119629（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−52001（ＪＰ，Ａ)
特公 昭49−23990（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 8/24 - 8/32
Claims (2)
- 【請求項１】 鉄系の焼結すべき部品材を連続焼結炉の
加熱焼結室において、（ｉ）水素、炭化水素等の還元ガ
スと窒素、アルゴン等の不活性ガス、（ｉｉ）プロパ
ン、ブタン等の変性ガス（ＲＸ）又は（ｉｉｉ）アンモ
ニアの分解ガス（ＡＸ）の雰囲気下で１１００℃以上で
加熱焼結後、別の雰囲気ゾーンにおいてアンモニアガス
を加えてその雰囲気中のアンモニアガス濃度を０．５〜
１０％に調整し、２００〜６５０℃の雰囲気温度で１０
〜６０分間その焼結部品を表面硬化させることを特徴と
する表面硬化した鉄系焼結部品の製造方法。 - 【請求項２】 表面硬化工程において導入されるアンモ
ニアガスに炭酸ガス（ＣＯ2 ）２〜１０％を混合されて
いる請求項１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23166994A JP3429870B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 焼結部品表面硬化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23166994A JP3429870B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 焼結部品表面硬化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0892723A JPH0892723A (ja) | 1996-04-09 |
| JP3429870B2 true JP3429870B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=16927130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23166994A Expired - Fee Related JP3429870B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 焼結部品表面硬化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3429870B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5629436B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-11-19 | オリエンタルエンヂニアリング株式会社 | 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法 |
-
1994
- 1994-09-27 JP JP23166994A patent/JP3429870B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0892723A (ja) | 1996-04-09 |
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