JP3429437B2 - 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置

Info

Publication number
JP3429437B2
JP3429437B2 JP21309597A JP21309597A JP3429437B2 JP 3429437 B2 JP3429437 B2 JP 3429437B2 JP 21309597 A JP21309597 A JP 21309597A JP 21309597 A JP21309597 A JP 21309597A JP 3429437 B2 JP3429437 B2 JP 3429437B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
package
wire connection
imaging device
state imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP21309597A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1154543A (ja
Inventor
一志 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP21309597A priority Critical patent/JP3429437B2/ja
Publication of JPH1154543A publication Critical patent/JPH1154543A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3429437B2 publication Critical patent/JP3429437B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/1012Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
    • H01L2224/10122Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers being formed on the semiconductor or solid-state body to be connected
    • H01L2224/10125Reinforcing structures
    • H01L2224/10126Bump collar
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01039Yttrium [Y]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15153Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/15165Monolayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光電変換を行う
ためのフォトダイオードおよびCCDが多数表面に配置
された固体撮像素子を実装可能な固体撮像装置用パッケ
ージ及びそれを用いた固体撮像装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の固体撮像装置用パッケー
ジは、図4(a)およびそのA−A′断面である(b)
に示すように、電気絶縁性材料からなる樹脂などを用
い、上面が凹形状で裏面が平坦になったパッケージ基板
51に、固体撮像素子53の搭載部となるダイアタッチ
51aを設けている(図6および図7参照)。このダイ
アタッチ51aの両側の一段高い位置には複数のリード
端子52が一部上面を露出した状態で埋め込まれてい
る。なお、リード端子52のワイヤ接続側を内部リード
52aと呼び、この部分の上面がワイヤ接続のため露出
した状態になっている。また、小型化設計のため各部品
実装部は必要最小限の寸法からなっている。さらに詳し
くは、図4(a)のB部の拡大図である図5に示すよう
に、内部リード52aの先端は直角に切断した形状で、
その先のパッケージ基板51の肉厚は、小型化のため薄
い構造になっている。
【0003】また、図6は上記のように構成したパッケ
ージを用いた固体撮像装置の平面図、図7は図6のC−
C′断面図である。図6および図7において、固体撮像
素子53は、固着剤54を介してダイアタッチ部51a
に固定されている。固体撮像素子53と内部リード52
aの間は内部配線のため金属細線のワイヤ55が接続さ
れており、上方にはガラス板などの蓋材56を配置して
密閉封着されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、内部リード52aの先端のパッケージ基
板51の肉厚は、理論値として左右同じとなるように設
定してあるが、実際に製造される製品は加工ばらつきを
持ったある範囲の中でずれがあり左右厚みの大小を持つ
ものができる。
【0005】特にこの厚みが小のものは、図5に示すよ
うに、加工応力や熱応力の影響でパッケージ基板51の
欠けが生じる。この欠け部60は内部リード52aの先
端両角Dを起点に発生するため、この位置に応力集中が
あると考えられる。図8は図4(b)のパッケージにお
いて、欠けが発生した状態を示す斜視図である。一方、
固体撮像装置は、半導体基板表面に約5μmのフォトダ
イオードが数十万個形成され、受光した光信号を電気信
号に変換処理して映像化する機能を持つものであり、微
細なダスト(数μm以上)が映像不良の原因になる。す
なわち、パッケージ基板51の欠けは、単一製品を欠け
不良にするだけでなくダスト発生源となり、複数個の製
品をダスト不良にする問題を有していた。
【0006】したがって、この発明の目的は、リード端
子のワイヤ接続側先端のパッケージ基板の欠けを防止す
ることができる固体撮像装置用パッケージ及びそれを用
いた固体撮像装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、この発明の請求項1記載の固体撮像装置用パッケ
ージは、蓋材の搭載部を周囲に形成した上面に、固体撮
像素子を実装可能な断面凹形状のダイアタッチ部が形成
されたパッケージ基板と、このパッケージ基板の上面の
ダイアタッチ部の両側に上面が露出した状態でワイヤ接
続側先端部が埋設された複数のリード端子とを備えた固
体撮像装置用パッケージであって、リード端子のワイヤ
接続側先端部は両角を切除した形状とし、この形状に合
わせてワイヤ接続側先端部を埋め込む凹部がパッケージ
基板の上面に形成されていることを特徴とする。
【0008】このように、リード端子のワイヤ接続側先
端部は両角を切除した形状とし、この形状に合わせてワ
イヤ接続側先端部を埋め込む凹部がパッケージ基板の上
面に形成されているので、リード端子のワイヤ接続側の
先端に位置するパッケージ基板の肉厚が、リード端子の
ワイヤ接続側先端部の両角を切除した分だけ増加補強さ
れ、また角部切除によって応力集中を緩和または無くす
ことができる。これにより、リード端子のワイヤ接続側
の先端に生じるパッケージ基板の欠けを防止することが
でき、しかも固体撮像装置用パッケージの基本構成を変
えない制約の中で実現できる。
【0009】請求項2記載の固体撮像装置用パッケージ
は、請求項1において、リード端子のワイヤ接続側先端
部は、ワイヤ接続に必要な範囲を残して両角を切除し
た。このように、リード端子のワイヤ接続側先端部は、
ワイヤ接続に必要な範囲を残して両角を切除したので、
ワイヤの接続を従来と同様の手法で行うことができ、リ
ード端子のワイヤ接続側先端部の両角を切除したことに
よってワイヤの接触面積が縮減されることはなく良好な
接続状態を確保できる。
【0010】請求項3記載の固体撮像装置用パッケージ
は、請求項2において、リード端子のワイヤ接続側先端
部の両角を曲線形状で切除した。このように、リード端
子のワイヤ接続側先端部の両角を曲線形状で切除したの
で、このリード端子のワイヤ接続側先端部を納めるパッ
ケージ基板の凹部も同様に曲線形状となり、応力集中を
無くすことができる。
【0011】請求項4記載の固体撮像装置は、請求項
1,2または3記載の固体撮像装置用パッケージのパッ
ケージ基板のダイアタッチ部に固体撮像素子を実装し、
この固体撮像素子とリード端子のワイヤ接続側先端部を
ワイヤ接続し、パッケージ基板の上面の周囲に設けた搭
載部に蓋材を載せて密閉封着した。上記のように構成し
た固体撮像装置は、請求項1,2または3記載の固体撮
像装置用パッケージと同様の作用効果がある。また、上
記のようにパッケージ基板に応力集中を無くすことがで
きるため、結果としてパッケージの欠け不良や、パッケ
ージの欠けによって発生するダストにより複数個の製品
が不良となるダスト不良の問題を解消することができ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態の固体撮像
装置用パッケージ及びそれ用いた固体撮像装置を図1〜
図3に基づいて説明する。図1(a)はこの発明の実施
の形態の固体撮像装置用パッケージの一部破断平面図、
(b)は(a)のE−E′断面図、図2は図1(a)の
F部の拡大図である。
【0013】図1および図2において、パッケージ基板
1は、絶縁性を有したエポキシ樹脂の成形体であり、蓋
材6の搭載部1bを周囲に形成した上面に、固体撮像素
子3を実装固着するための断面凹形状のダイアタッチ部
1aが形成してある。ダイアタッチ部1aの両側の一段
高い位置には、複数のリード端子2が一部上面を露出し
た状態で埋め込まれている。この場合、リード端子2は
凹部1cに埋め込まれ、この凹部1cはパッケージ基板
1の内側中空部10からパッケージ基板1の側面に開口
するように形成されている。そして、この開口1dより
リード端子2を差し込めるようにしている。
【0014】リード端子2は、電気良導体の金属薄板で
厚み0.25mm程度の鉄、ニッケル系合金などが用い
られる。また、リード端子2で、パッケージ基板1の内
側中空部10に位置する部分はワイヤ接続をする箇所で
内部リード2aと呼ぶ。内部リード2aの先端部は両角
を切除した形状とし、この形状に合わせてパッケージ基
板1の凹部1cが形成されている。この場合、図2に示
すように、内部リード2aの先端部は、ワイヤ接続に必
要な範囲5a(ワイヤボンディングのツールを含めた接
続ばらつき範囲)で示される円と同心円で、この内部リ
ード2a先端と接する円形で両角を切除してある。
【0015】また、図2において各部の寸法を示すと、
内部リード2aの幅Xは350μm、この先端のパッケ
ージ基板1の肉厚Yは100μmであり、内部リード2
aの先端からのワイヤ接続位置Zは200μmの中央面
となり、ワイヤ接続に必要な範囲5aは半径150μm
とした。内部リード2aの先端はワイヤ接続に必要な範
囲5aと同心円でその半径200μmとしている。
【0016】図3はこの発明の実施の形態の固体撮像装
置の断面図である。図3において、固体撮像素子3を実
装するパッケージは上記のように構成され、そのダイア
タッチ部1aに固体撮像素子3が固着剤4を介して固定
してある。固体撮像素子3と内部リード2aの先端部は
金属細線のワイヤ5で接続され、ガラス板などの蓋材6
を搭載部1bに載せて密閉封着してある。
【0017】上記の構成において、内部リード2aの先
端部は両角を円形に切除しているため、切除した部分の
パッケージ基板1の肉厚の増加と、応力集中を分散させ
て緩和し、または形状によっては無くすことができ、パ
ッケージ基板1の欠けを防止できる。また、固体撮像装
置用パッケージは、固体撮像素子3や、その他部品を高
密度で実装するうえで決められた基本構成を有し、この
構成を変えない制約の中で実現できる。
【0018】また、このように内部リード2aの先端部
のパッケージ基板1への応力集中を無くすことができる
ため、結果として固体撮像装置用パッケージの欠け不良
や、パッケージの欠けによって発生するダストにより複
数個の製品が不良となるダスト不良を解消することがで
きる。100個検査した結果、パッケージの欠けの発生
する個数は、従来20個であったがこの実施の形態では
0個となった。
【0019】また、内部リード2aの先端部の両角の切
除は、ワイヤ接続に必要な範囲5aと同心円でこのリー
ド先端に接する円形となる構成で述べてきたが、両角の
切除は、ワイヤ接続に支障のない範囲であれば、直線あ
るいは幾何学的な形状であっても類似の効果が得られ
る。
【0020】
【発明の効果】この発明の請求項1記載の固体撮像装置
用パッケージによれば、リード端子のワイヤ接続側先端
部は両角を切除した形状とし、この形状に合わせてリー
ド端子のワイヤ接続側先端部を納める凹部がパッケージ
基板の上面に形成されているので、リード端子のワイヤ
接続側の先端に位置するパッケージ基板の肉厚が、リー
ド端子のワイヤ接続側先端部の両角を切除した分だけ増
加補強され、また角部切除によって応力集中を緩和また
は無くすことができる。これにより、リード端子のワイ
ヤ接続側の先端に生じるパッケージ基板の欠けを防止す
ることができる。また、固体撮像装置用パッケージは、
固体撮像素子や、その他部品を高密度で実装するうえで
決められた基本構成を有し、この構成を変えない制約の
中で実現できる。このため、従来のパッケージの基本構
成をそのままにして製作でき、また新規パッケージの小
型化製作において有効である。
【0021】請求項2では、リード端子のワイヤ接続側
先端部は、ワイヤ接続に必要な範囲を残して両角を切除
したので、ワイヤの接続を従来と同様の手法で行うこと
ができ、リード端子のワイヤ接続側先端部の両角を切除
したことによってワイヤの接触面積が縮減されることは
なく良好な接続状態を確保できる。請求項3では、リー
ド端子のワイヤ接続側先端部の両角を曲線形状で切除し
たので、このリード端子のワイヤ接続側先端部を納める
パッケージ基板の凹部も同様に曲線形状となり、応力集
中を無くすことができる。
【0022】この発明の請求項4記載の固体撮像装置に
よれば、請求項1,2または3記載の固体撮像装置用パ
ッケージと同様の作用効果がある。また、上記のように
パッケージ基板に応力集中を無くすことができるため、
結果としてパッケージの欠け不良や、パッケージの欠け
によって発生するダストにより複数個の製品が不良とな
るダスト不良の問題を解消することができる。このた
め、固体撮像装置の信頼性が高く、また製品の歩留りが
向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)はこの発明の実施の形態の固体撮像装置
用パッケージの一部破断平面図、(b)は(a)のE−
E′断面図である。
【図2】図1(a)のF部の拡大図である。
【図3】この発明の実施の形態の固体撮像装置の断面図
である。
【図4】(a)は従来の固体撮像装置用パッケージの一
部破断平面図、(b)は(a)のA−A′断面図であ
る。
【図5】図4(a)のB部の拡大図である。
【図6】この発明の実施の形態の固体撮像装置の平面図
である。
【図7】図6のC−C′断面図である。
【図8】従来の問題点を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 パッケージ基板 1a ダイアタッチ部 1b 搭載部 1c 凹部 2 リード端子 2a 内部リード 3 固体撮像素子 4 固着剤 5 ワイヤ 6 蓋材 D 応力集中点

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体撮像素子を実装可能な断面凹形状の
    ダイアタッチ部が上面に形成されたパッケージ基板と、
    このパッケージ基板の上面の前記ダイアタッチ部の両側
    に上面が露出した状態でワイヤ接続側先端部が埋設され
    た複数のリード端子とを備えた固体撮像装置用パッケー
    ジであって、前記リード端子のワイヤ接続側先端部は両
    角を切除した形状とし、この形状に合わせて前記ワイヤ
    接続側先端部を埋め込む凹部が前記パッケージ基板の上
    面に形成されていることを特徴とする固体撮像装置用パ
    ッケージ。
  2. 【請求項2】 リード端子のワイヤ接続側先端部は、ワ
    イヤ接続に必要な範囲を残して両角を切除した請求項1
    記載の固体撮像装置用パッケージ。
  3. 【請求項3】 リード端子のワイヤ接続側先端部の両角
    を曲線形状で切除した請求項2記載の固体撮像装置用パ
    ッケージ。
  4. 【請求項4】 請求項1,2または3記載の固体撮像装
    置用パッケージのパッケージ基板のダイアタッチ部に固
    体撮像素子を実装し、この固体撮像素子とリード端子の
    ワイヤ接続側先端部をワイヤ接続し、前記パッケージ基
    板の上面の周囲に設けた搭載部に蓋材を載せて密閉封着
    した固体撮像装置。
JP21309597A 1997-08-07 1997-08-07 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置 Expired - Fee Related JP3429437B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21309597A JP3429437B2 (ja) 1997-08-07 1997-08-07 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21309597A JP3429437B2 (ja) 1997-08-07 1997-08-07 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1154543A JPH1154543A (ja) 1999-02-26
JP3429437B2 true JP3429437B2 (ja) 2003-07-22

Family

ID=16633488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21309597A Expired - Fee Related JP3429437B2 (ja) 1997-08-07 1997-08-07 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3429437B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1154543A (ja) 1999-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9847282B2 (en) Semiconductor device
JP3782405B2 (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
US7595839B2 (en) Image sensor chip packaging method
US7273765B2 (en) Solid-state imaging device and method for producing the same
US20070108561A1 (en) Image sensor chip package
US7719585B2 (en) Solid-state imaging device
JP2005079537A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
US20200227343A1 (en) Semiconductor device package
JP2002064224A (ja) 発光ダイオード及びその製造方法
JP3429437B2 (ja) 固体撮像装置用パッケージ及びそれを用いた固体撮像装置
JP2006332685A (ja) 固体撮像装置
JP2010177272A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2007199049A (ja) 半導体装置
JP2006332686A (ja) 固体撮像装置
WO2019146339A1 (ja) 半導体装置
JP3209119B2 (ja) 圧力センサ
JP3407631B2 (ja) 圧力センサ
JPH1098122A (ja) 半導体装置
JPH0621304A (ja) リードフレーム及び半導体装置の製造方法
JPS6130286Y2 (ja)
JP2001177016A (ja) 表面実装型パッケージ及びその作製方法
JPH04217350A (ja) 固体撮像装置
JP2001358361A (ja) 面実装フォトカプラ
JPH02246270A (ja) 固体撮像装置及び電子部品用パッケージ
JP3799348B2 (ja) パッケージ及びそれを用いた電子装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees