JP3427710B2 - Method of forming partition wall of plasma display panel - Google Patents
Method of forming partition wall of plasma display panelInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
ーパネルの隔壁形成方法に係り、特に、プラズマディス
プレーパネルの基板に隔壁を形成するに当り、感光性材
料のパターン露光及び現像を採用することにより容易且
つ高精度に隔壁を形成する方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming barrier ribs of a plasma display panel, and more particularly, to forming barrier ribs on a substrate of a plasma display panel by employing pattern exposure and development of a photosensitive material. The present invention relates to a method of forming a partition wall with high accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プラズマディスプレー(plasma display)
は、気体放電を利用した画像表示装置であって、通常、
多数の微小な放電セルを縦横（マトリクス状）に配列
し、必要な部分のセルを放電発光させて文字や図形を表
示する。この平面表示パネルはプラズマディスプレーパ
ネル (plasma display panel, ＰＤＰ）と称される。プ
ラズマディスプレーパネルは、構造が簡単で大形化が容
易である；メモリ機能を有する；カラー化が可能であ
る；などの様々な利点を有することから、テレビなどで
用いられているブラウン管よりもはるかに大きく且つ奥
行きが小さいＰＤＰの開発研究が進められている。2. Description of the Related Art Plasma display
Is an image display device using gas discharge,
A large number of minute discharge cells are arranged vertically and horizontally (in a matrix), and the cells of a required portion are discharged and emitted to display characters and figures. This flat display panel is called a plasma display panel (PDP). The plasma display panel has various advantages such as a simple structure and is easy to be upsized; it has a memory function; it can be colorized; The research and development of a PDP that is very large and has a small depth is underway.
【０００３】図２はプラズマディスプレーパネルの一般
的な構造を示す分解斜視図、図３は図２の両ガラス基板
を組み立てたときのIII部の詳細を示す断面の拡大図で
ある。図中、１は表面ガラス基板であり、表示電極２、
誘電体層３及びＭｇＯ（酸化マグネシウム）等の保護膜
４が設けられている。５は背面ガラス基板であり、隔壁
６が所定間隔で形成されている。この表面ガラス基板
１、背面ガラス基板５及び隔壁６，６で区画形成される
微細空間（放電セル）内に、アドレス用電極７及び蛍光
体８が形成され、放電ガス９が注入されている。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a general structure of a plasma display panel, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing details of a III portion when both glass substrates of FIG. 2 are assembled. In the figure, 1 is a surface glass substrate, and a display electrode 2,
A dielectric layer 3 and a protective film 4 such as MgO (magnesium oxide) are provided. Reference numeral 5 is a rear glass substrate, and partition walls 6 are formed at predetermined intervals. Address electrodes 7 and phosphors 8 are formed in a fine space (discharge cell) defined by the front glass substrate 1, the back glass substrate 5, and the partitions 6 and 6, and a discharge gas 9 is injected.
【０００４】このようなプラズマディスプレーパネルで
は、電極２，７間に電圧を印加して隔壁６，６間に形成
された放電セル内の蛍光体８を選択的に放電発光させる
ことで、文字や図形を表示する。In such a plasma display panel, a voltage is applied between the electrodes 2 and 7 to selectively cause the phosphor 8 in the discharge cell formed between the barrier ribs 6 and 6 to discharge and emit light. Display a figure.
【０００５】このプラズマディスプレーパネルの製造に
おいては、選択的放電発光が行える独立性に優れた放電
セルを形成し得る、比較的高さの高い隔壁を精度良く形
成することが、得られるプラズマディスプレーパネルの
表示特性上、極めて重要となる。In the production of this plasma display panel, it is possible to accurately form relatively high barrier ribs capable of forming highly independent discharge cells capable of selective discharge light emission. It is extremely important in terms of display characteristics.
【０００６】従来、プラズマディスプレーパネルの隔壁
形成方法としては、次のような方法がある。Conventionally, as a method of forming partition walls of a plasma display panel, there are the following methods.
【０００７】（１） 印刷法：隔壁材料ペーストのスク
リーン印刷と焼成を数回〜十数回繰り返す。
（２） サンドブラスト法：隔壁材料層の上に所望のパ
ターンのレジスト膜を形成し、サンドブラスト加工で不
要部を除去する。
（３） 金型等を用いる一般的なプレス法(1) Printing method: Screen printing and firing of the partition wall material paste are repeated several times to several tens of times. (2) Sandblast method: A resist film having a desired pattern is formed on the partition wall material layer, and unnecessary portions are removed by sandblasting. (3) General pressing method using a mold
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の隔壁形成方
法のうち、印刷法では、所望の高さになるまで数回〜十
数回に及ぶ印刷と焼成を繰り返し行わなければ、所望の
高さのものを位置精度良く形成することができず、製造
効率が悪い上に、スクリーン印刷版の加工精度の限界等
のために、大型化、高精細化が困難であるという欠点が
ある。Among the above-mentioned conventional partition wall forming methods, in the printing method, unless the printing and firing are repeated several times to several tens of times until the desired height is reached, the desired height is obtained. However, there is a drawback that it is not possible to form the same with high positional accuracy, the manufacturing efficiency is poor, and it is difficult to increase the size and the definition because of the limitation of the processing accuracy of the screen printing plate.
【０００９】また、サンドブラスト法では、次のような
欠点がある。Further, the sandblast method has the following drawbacks.
【００１０】 ガラス基板上に形成した隔壁材料層の
殆どを除去することとなり、隔壁材料の使用効率が低
い。
除去した隔壁材料の廃棄物の問題がある。現在、一
般的に隔壁材料には鉛を含有するガラスが多く用いられ
ており、サンドブラスト法のような除去法では大量の鉛
含有廃棄物の発生が問題となる。
ブラスト加工速度が遅い。
ブラスト加工条件の再現性が乏しい。
ブラスト加工し易い硬度に隔壁材料層を一旦仮焼
し、ブラスト加工後に本焼成する必要があり、工程が複
雑となる。Since most of the partition wall material layer formed on the glass substrate is removed, the use efficiency of the partition wall material is low. There is a waste problem with the removed septum material. At present, a glass containing lead is generally widely used as a partition wall material, and a large amount of lead-containing waste is a problem in the removal method such as the sandblast method. Blasting speed is slow. Poor reproducibility of blasting conditions. It is necessary to temporarily calcine the partition wall material layer to a hardness that facilitates blasting, and then to perform main firing after blasting, which complicates the process.
【００１１】また、金型等を用いる一般的なプレス法で
は、精度面で問題がある上に、型のコストが高い；型は
繰り返し使用するために次第に劣化し、隔壁形成に不具
合を生じるようになる；といった欠点がある。In addition, in the general pressing method using a die or the like, there is a problem in terms of accuracy and the cost of the die is high; the die is gradually deteriorated due to repeated use, which causes a problem in partition wall formation. There is a drawback such as.
【００１２】本発明は上記従来の問題点を解決し、プラ
ズマディスプレーパネルの隔壁を容易かつ高精度に形成
する方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above conventional problems and provide a method for easily and highly accurately forming partition walls of a plasma display panel.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレーパネルの隔壁形成方法は、プラズマディスプレー
パネルのガラス基板上に放電セル形成のための隔壁を形
成する方法において、該ガラス基板上の少なくとも隔壁
形成予定部に隔壁材料層を形成する工程と、該隔壁材料
層上に感光性材料層を形成する工程と、該感光性材料層
をパターン露光した後、現像することにより、隔壁形成
予定部に対応する箇所の感光性材料層を除去する工程
と、該感光性材料層を上方から加圧して上記除去部に隔
壁材料を圧入する工程と、該感光性材料の除去及び隔壁
材料の焼結を行う工程とを備えてなることを特徴とす
る。According to the method of forming barrier ribs of a plasma display panel of the present invention, in the method of forming barrier ribs for forming discharge cells on a glass substrate of a plasma display panel, at least barrier ribs are formed on the glass substrate. Corresponding to the partition wall formation planned portion by forming a partition wall material layer in a predetermined portion, forming a photosensitive material layer on the partition wall material layer, and developing the photosensitive material layer after pattern exposure A step of removing the photosensitive material layer at a desired position, a step of pressurizing the photosensitive material layer from above to press the partition material into the removal portion, and a step of removing the photosensitive material and sintering the partition material. And a process.
【００１４】このような本発明のプラズマディスプレー
パネルの隔壁形成方法によれば、次のような優れた作用
効果が奏される。
パターニング精度の高い感光性材料のパターン露光
及び現像で形成した溝を隔壁形成用の型とするため、高
い寸法精度及び位置精度にて所望の高さ及び幅の隔壁を
容易に形成することができる。
加圧により隔壁材料層を変形させて隔壁を形成する
ものであり、サンドブラスト法のように隔壁材料を除去
するものではないため、隔壁材料の使用効率が高く、発
生する廃棄物量も極めて少ない。
焼成は加圧後に１回実施すれば良く、印刷法やサン
ドブラスト法のように複数回の焼成の必要はないため、
工程が簡易で量産性に優れる。
型としての感光性材料は、隔壁材料の焼成過程で加
熱分解除去することができ、別途感光性材料除去のため
の処理を行う必要がない。
型としての感光性材料は一回限りの使い捨てである
ため、従来のプレス法のように型の劣化に起因する隔壁
形成の不具合が生じない。また露光用マスクを変えるこ
とで、寸法変更も容易に行うことができ、設計変更の自
由度が大きい。According to the partition wall forming method of the plasma display panel of the present invention as described above, the following excellent operational effects are exhibited. Since the groove formed by pattern exposure and development of a photosensitive material having high patterning accuracy is used as a partition wall forming mold, a partition wall having a desired height and width can be easily formed with high dimensional accuracy and positional accuracy. . Since the partition wall material layer is deformed by pressurization to form the partition wall, and the partition wall material is not removed unlike the sandblast method, the partition wall material is highly used and the amount of waste generated is extremely small. Firing may be performed once after pressurization, and it is not necessary to perform firing several times as in the printing method and the sandblasting method.
The process is simple and mass production is excellent. The photosensitive material as a mold can be decomposed and removed by heating during the firing process of the partition material, and it is not necessary to perform a separate treatment for removing the photosensitive material. Since the photosensitive material as the mold is a one-time disposable, there is no problem of forming the partition wall due to deterioration of the mold unlike the conventional pressing method. Further, by changing the exposure mask, the size can be easily changed, and the degree of freedom of design change is large.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１６】図１は本発明のプラズマディスプレーパネ
ルの隔壁形成方法の実施の形態を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a partition wall forming method for a plasma display panel according to the present invention.
【００１７】本発明においては、まず、プラズマディス
プレーパネルのガラス基板（背面ガラス基板）１１上に
隔壁材料層１２を形成する（図１（ａ））。この隔壁材
料層１２は、ガラス基板の全面に形成しても良く、ま
た、隔壁形成予定部及びその近傍に、形成する隔壁より
も広い幅で、従って隔壁を直接印刷により形成する場合
のような正確性を必要とすることなく形成しても良い。In the present invention, first, the partition material layer 12 is formed on the glass substrate (rear glass substrate) 11 of the plasma display panel (FIG. 1 (a)). The partition wall material layer 12 may be formed on the entire surface of the glass substrate, and may have a width wider than the partition wall to be formed in the partition wall formation planned portion and its vicinity, and thus the partition wall may be formed by direct printing. It may be formed without requiring accuracy.
【００１８】隔壁材料層１２は、隔壁材料のペーストを
塗布して乾燥することにより形成しても良いが、隔壁材
料のシートをガラス基板にラミネートすることにより形
成しても良い。いずれの場合においても、この隔壁材料
層１２は、寸法等において高度な制御を必要とすること
なく容易に形成することができる。The partition wall material layer 12 may be formed by applying a partition wall material paste and drying it, or may be formed by laminating a partition wall material sheet on a glass substrate. In any case, the partition wall material layer 12 can be easily formed without requiring a high degree of control in dimensions and the like.
【００１９】隔壁材料層１２の厚さは、隔壁材料層１２
の面積、形成する隔壁の高さ及び幅等によっても異なる
が、通常の場合、５０〜２００μｍ程度の厚さに形成す
るのが好ましい。The thickness of the partition wall material layer 12 is as follows.
In general, it is preferably formed to a thickness of about 50 to 200 μm, though it varies depending on the area, the height and width of the partition walls to be formed.
【００２０】次いで、隔壁材料層１２の上に感光性材料
層１３を形成する（図１（ｂ））。この感光性材料層１
３も隔壁材料層１２と同様に、感光性樹脂ペーストを塗
布することにより形成しても良く、また、感光性樹脂シ
ートをラミネートすることにより形成しても良い。この
感光性材料層１３もまた、このような塗布法又はラミネ
ート法等により容易に形成することができる。Next, a photosensitive material layer 13 is formed on the partition material layer 12 (FIG. 1 (b)). This photosensitive material layer 1
Similarly to the partition wall material layer 12, 3 may be formed by applying a photosensitive resin paste or may be formed by laminating a photosensitive resin sheet. The photosensitive material layer 13 can also be easily formed by such a coating method or laminating method.
【００２１】この感光性材料層１３の厚さは、形成する
隔壁の高さとほぼ同程度とし、通常の場合、厚さ１００
〜１５０μｍ程度とするのが好ましい。The thickness of the photosensitive material layer 13 is almost the same as the height of the partition wall to be formed, and in the normal case, the thickness is 100.
It is preferably about 150 μm.
【００２２】次いで、感光性材料層１３を常法に従って
所定のパターンで露光・現像し、隔壁相当部に溝１４を
形成する（図１（ｃ））。この溝１４は、隔壁形成のた
めの型となるものであり、従って、形成する隔壁と同程
度の幅及び間隔で形成され、通常の場合、幅ｘ＝３０〜
１００μｍ、間隔ｙ＝１００〜３００μｍ程度である。
この溝１４は、パターニング精度の高い露光・現像法に
より、高い寸法精度、位置精度にて容易に形成すること
ができる。Next, the photosensitive material layer 13 is exposed and developed in a predetermined pattern according to a conventional method to form a groove 14 in a portion corresponding to the partition wall (FIG. 1 (c)). The groove 14 serves as a mold for forming the partition wall, and is therefore formed with a width and a spacing similar to those of the partition wall to be formed.
It is 100 μm and the interval y is about 100 to 300 μm.
The groove 14 can be easily formed with high dimensional accuracy and positional accuracy by an exposure / development method with high patterning accuracy.
【００２３】次いで、隔壁材料層１２及び感光性材料層
１３を形成したガラス基板１１を、１２０〜１５０℃で
１０〜２０分程度予備加熱した後、温度１２０〜１５０
℃、圧力２〜５ｋｇｆ／ｃｍ2で２〜３分程度加熱加圧
することにより、隔壁材料層１２を変形させ感光性材料
層１３の溝１４内に隔壁材料を圧入する（図１
（ｄ））。この加熱加圧は、ゴムローラ１５等を用いて
行うのが好ましく、この場合には、例えば、表面温度１
２０〜１５０℃のゴムローラ１５を用いて上記圧力にて
基板速度０．１〜０．２ｍ／分でプレス加圧すれば良
い。Next, the glass substrate 11 on which the partition material layer 12 and the photosensitive material layer 13 are formed is preheated at 120 to 150 ° C. for about 10 to 20 minutes, and then the temperature is set to 120 to 150.
The partition wall material layer 12 is deformed by heating and pressing at a temperature of 2 ° C. and a pressure of 2 to 5 kgf / cm 2 for about 2 to 3 minutes, and the partition wall material is pressed into the grooves 14 of the photosensitive material layer 13 (FIG. 1).
(D)). This heating and pressing is preferably performed using the rubber roller 15 or the like. In this case, for example, the surface temperature 1
The rubber roller 15 at 20 to 150 ° C. may be used to press-press at the above pressure at a substrate speed of 0.1 to 0.2 m / min.
【００２４】このような圧入法によれば、隔壁材料の無
駄を生じることなく、廃棄物量も低減される。According to such a press-fitting method, the amount of waste is reduced without wasting the partition wall material.
【００２５】隔壁材料を感光性材料層１３の溝１４内に
圧入した後（図１（ｅ））は、５００〜５５０℃で１０
〜２０分程度焼成して感光性材料層１３を加熱分解除去
すると共に、隔壁材料を焼結させて隔壁１６を形成する
（図１（ｆ））。After the partition wall material is pressed into the groove 14 of the photosensitive material layer 13 (FIG. 1 (e)), it is heated at 500 to 550 ° C. for 10 minutes.
The photosensitive material layer 13 is thermally decomposed and removed by firing for about 20 minutes, and the partition wall material is sintered to form the partition wall 16 (FIG. 1F).
【００２６】このように焼成過程において、感光性材料
層の除去と隔壁材料の焼結を同時に行うことができる
が、当該焼成工程の前に感光性材料の除去工程を設け、
予め感光性材料の除去を行った後、焼成を行っても良
い。In this way, in the firing process, the removal of the photosensitive material layer and the sintering of the partition wall material can be performed at the same time. However, before the firing process, a step of removing the photosensitive material is provided.
Firing may be performed after removing the photosensitive material in advance.
【００２７】本発明においては、このような方法によ
り、幅６０〜７０μｍ程度で高さ１００〜１５０μｍ程
度の隔壁を、所望の位置に、容易かつ効率的に、高精度
に形成することができる。According to the present invention, a partition wall having a width of about 60 to 70 μm and a height of about 100 to 150 μm can be easily, efficiently and highly accurately formed at a desired position by such a method.
【００２８】[0028]
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
【００２９】実施例１
図１に示す本発明の方法に従って、プラズマディスプレ
ーパネルの隔壁を形成した。Example 1 A partition wall of a plasma display panel was formed according to the method of the present invention shown in FIG.
【００３０】まず、１００ｍｍ×１００ｍｍ×３ｍｍ厚
さのガラス（組成がＳｉＯ2 ：７１〜７３，Ｎａ2 Ｏ：
１２〜１４，ＣａＯ：１０〜１２，ＭｇＯ：１〜４，Ａ
ｌ2Ｏ3 ：０．５〜１なる組成のソーダガラス）基板上
に、Dupont社製の隔壁材料シート「ＤＧ１１１」（白
色，厚さ１００μｍ）を１層ラミネートした。First, glass having a thickness of 100 mm × 100 mm × 3 mm (composition: SiO 2 : 71 to 73, Na 2 O:
12-14, CaO: 10-12, MgO: 1-4, A
1 layer of a partition material sheet “DG111” (white, 100 μm in thickness) manufactured by Dupont was laminated on a soda glass substrate having a composition of l 2 O 3 : 0.5 to 1.
【００３１】その上に、日本合成化学工業社製のドライ
フィルムレジスト「ＮＥＦ１５０」（厚さ５０μｍ）を
２層ラミネートし、パターン露光した後、現像して、幅
ｘ＝８０μｍの溝を間隙ｙ＝２００μｍで形成した（残
留するレジストラインは幅１２０μｍで長さ９０ｍ
ｍ）。Two layers of dry film resist "NEF150" (thickness: 50 μm) manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. were laminated thereon, and after pattern exposure, development was performed to form a groove y = width x = 80 μm. Formed with a thickness of 200 μm (resisting line is 120 μm wide and 90 m long
m).
【００３２】このようにして隔壁材料層と感光性材料層
とを形成したガラス基板を１４０℃のオーブンで１０分
間予備加熱した後、表面温度１４０℃のゴムローラにて
圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2、基板速度０．２ｍ／分の条件で
プレス加工し、ドライフィルムレジストの溝内に隔壁材
料を圧入した。The glass substrate having the partition wall material layer and the photosensitive material layer thus formed is preheated in an oven at 140 ° C. for 10 minutes, and then a rubber roller having a surface temperature of 140 ° C. is applied thereto at a pressure of 5 kgf / cm 2 and a substrate speed. The partition wall material was pressed into the groove of the dry film resist by press working under the condition of 0.2 m / min.
【００３３】その後、大気中にて５３０℃で１０分焼成
し、ドライフィルムを除去すると共に隔壁材料を焼結さ
せて隔壁を完成した。After that, it was baked in air at 530 ° C. for 10 minutes to remove the dry film and sinter the partition material to complete the partition.
【００３４】その結果、幅８０μｍで高さ１２０μｍの
隔壁を２００μｍのピッチ（セル幅、即ち、隔壁間隔は
１２０μｍ）で、高い寸法精度、位置精度にて容易に形
成することができた。As a result, partition walls having a width of 80 μm and a height of 120 μm could be easily formed with a pitch of 200 μm (cell width, that is, a partition wall spacing of 120 μm) with high dimensional accuracy and positional accuracy.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のプラズマデ
ィスプレーパネルの隔壁形成方法によれば、プラズマデ
ィスプレーパネルの隔壁を容易かつ効率的に、所望の位
置に、所望の高さ及び幅で精度良く形成することができ
る。As described above in detail, according to the partition wall forming method of the plasma display panel of the present invention, the partition wall of the plasma display panel can be easily and efficiently located at a desired position with a desired height and width. It can be formed well.
【００３６】従って、本発明によれば、発光特性に優れ
たプラズマディスプレーパネルを高い生産性にて工業的
に有利に製造することができる。Therefore, according to the present invention, it is possible to industrially advantageously manufacture a plasma display panel having excellent light emitting characteristics with high productivity.
【図１】本発明のプラズマディスプレーパネルの隔壁形
成方法の実施の形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a partition wall forming method for a plasma display panel of the present invention.
【図２】プラズマディスプレーパネルの一般的な構成を
示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a general configuration of a plasma display panel.
【図３】図２のIII部の断面の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a cross section taken along the line III in FIG.
【符号の説明】 １ 表面ガラス基板 ２ 表示電極 ３ 誘電体層 ４ 保護膜 ５ 背面ガラス基板 ６ 隔壁 ７ アドレス電極 ８ 蛍光体 ９ 放電ガス １１ ガラス基板 １２ 隔壁材料層 １３ 感光性材料層 １４ 溝 １５ ゴムローラ １６ 隔壁[Explanation of symbols] 1 Surface glass substrate 2 Display electrode 3 Dielectric layer 4 protective film 5 Rear glass substrate 6 partitions 7 Address electrode 8 phosphor 9 discharge gas 11 glass substrate 12 Partition material layer 13 Photosensitive material layer 14 groove 15 rubber roller 16 partitions
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠原 義典 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三菱マテリアル株式会社 電子技術研究 所内 (56)参考文献 特開 平５−182592（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−110462（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−147741（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−109536（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/02 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yoshinori Shinohara 2270 Yokose, Yokose-cho, Chichibu-gun, Saitama Mitsubishi Materials Corporation Electronic Technology Research Laboratory (56) Reference JP 5-182592 (JP, A) 9-110462 (JP, A) JP 9-147741 (JP, A) JP 4-109536 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9 / 02
Claims (2)
板上に放電セル形成のための隔壁を形成する方法におい
て、 該ガラス基板上の少なくとも隔壁形成予定部に隔壁材料
層を形成する工程と、 該隔壁材料層上に感光性材料層を形成する工程と、 該感光性材料層をパターン露光した後、現像することに
より、隔壁形成予定部に対応する箇所の感光性材料層を
除去する工程と、 該感光性材料層を上方から加圧して上記除去部に隔壁材
料を圧入する工程と、 該感光性材料の除去及び隔壁材料の焼結を行う工程とを
備えてなることを特徴とするプラズマディスプレーパネ
ルの隔壁形成方法。1. A method of forming barrier ribs for forming discharge cells on a glass substrate of a plasma display panel, the step of forming a barrier rib material layer on at least a portion where barrier ribs are to be formed on the glass substrate, and the barrier rib material layer. A step of forming a photosensitive material layer thereon, a step of pattern-exposing the photosensitive material layer and then developing the photosensitive material layer to remove the photosensitive material layer at a portion corresponding to a partition wall formation planned portion; A partition wall of a plasma display panel, comprising: a step of pressing a material layer from above to press-fit a partition wall material into the removal portion; and a step of removing the photosensitive material and sintering the partition wall material. Forming method.
隔壁材料層上にラミネートすることにより、或いは感光
性樹脂ペーストを隔壁材料層上に塗布することにより、
前記感光性材料層を形成することを特徴とするプラズマ
ディスプレーパネルの隔壁形成方法。2. The method according to claim 1, wherein the photosensitive resin sheet is laminated on the partition material layer or the photosensitive resin paste is applied on the partition material layer.
A method of forming partition walls of a plasma display panel, comprising forming the photosensitive material layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34647397A JP3427710B2 (en) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | Method of forming partition wall of plasma display panel |
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|---|---|---|---|
| JP34647397A JP3427710B2 (en) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | Method of forming partition wall of plasma display panel |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH11176323A JPH11176323A (en) | 1999-07-02 |
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| JP (1) | JP3427710B2 (en) |
-
1997
- 1997-12-16 JP JP34647397A patent/JP3427710B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11176323A (en) | 1999-07-02 |
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