JP3425937B2 - ゲート弁 - Google Patents
ゲート弁Info
- Publication number
- JP3425937B2 JP3425937B2 JP2000368435A JP2000368435A JP3425937B2 JP 3425937 B2 JP3425937 B2 JP 3425937B2 JP 2000368435 A JP2000368435 A JP 2000368435A JP 2000368435 A JP2000368435 A JP 2000368435A JP 3425937 B2 JP3425937 B2 JP 3425937B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve plate
- opening
- bellows
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
- F16K3/10—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
特に、ベローズで接続された一対の弁板を用いて弁箱等
の開閉弁を行うことにより、弁開閉駆動力から駆動弁板
に作用する差圧発生力を軽減し、弁板及び弁板駆動部の
軽量化及び低剛性化を可能とするための新規な改良に関
する。
としては、図示していないが、例えば、特開平8−42
715号公報、特開平10−110834号公報に開示
された無摺動型真空ゲート弁の構成が一般に採用されて
いた。
ート弁は、以上のように構成されていたため、次のよう
な課題が存在していた。すなわち、ベローズを有しない
単なる弁板を上下動させて弁箱の開口の開閉弁を行って
いるため、図15に示されるように、閉弁動作の場合、
弁板1側の圧力P0と弁箱2側の圧力P1とはP1>P0の
関係を前提条件とすると、シール部材3で囲まれた面積
SaがP1の圧力を受け、弁板1を弁座4から離間する
方向に作用する。この力をfとすると、f=(P1−
P0)・Saとなり、この構造の閉弁(シール)動作は
本来必要なシート力に前記fを加えた操作力が必要とな
り、弁板及び弁板駆動部の重量化、高剛性化を必要と
し、ゲート弁自体の構成が大形化すると共に複雑化して
安価に作ることが困難であった。
めになされたもので、特に、ベローズで接続された一対
の弁板を用いて弁箱等の開閉弁を行うことにより、弁開
閉駆動力に対し抗力となる差圧力を軽減し、弁板及び弁
板駆動部の軽量化及び低剛性化を可能としたゲート弁を
提供することを目的とする。
る弁箱内に移動自在に設けられ弁開口を有する第1弁板
と、前記第1弁板に第1ベローズを介して設けられた第
2弁板とよりなると共に、前記弁開口は前記第1弁板の
厚さ方向に貫通して前記第1開口に直接対向し、前記弁
開口は前記第1開口に相当又は前記第1開口よりも小さ
い大きさよりなる構成であり、また、前記第1弁板に
は、弁棒が接続されている構成であり、また、前記第1
ベローズは複数個並設され、前記第1弁板には前記各第
1ベローズ毎に弁開口が形成されている構成であり、ま
た、前記第1弁板の一面には第1シール部材が設けられ
ている構成であり、また、前記弁箱の第1開口に形成さ
れ前記第1シール部材が当接するための第1弁座と、前
記弁箱の第2開口に形成され前記第2弁板が当接する第
1ストッパーとよりなる構成であり、また、前記弁箱の
内側には、前記第1、第2弁板間に位置し前記第2弁板
の内面と当接する第2ストッパーが設けられている構成
であり、また、前記弁箱の第1開口に設けられた第1シ
ール部材と、前記弁箱の第2開口に形成され前記第2弁
板が当接する第1ストッパーとよりなる構成であり、ま
た、前記第1弁板には、前記第2弁板と当接するための
第2ストッパーが前記第1ベローズの内側に位置して設
けられている構成であり、また、前記第2弁板の内面に
は、前記第1弁板側に突出し前記第1ベローズの内側に
位置する第2ストッパーを有する構成であり、また、前
記第2弁板の内面には、前記第1弁板側に突出し前記第
1ベローズの外側に位置する第2ストッパーを有する構
成であり、また、前記第1弁板のシート部受圧面積は、
前記第1ベローズの開口に基づく第1ベローズ受圧面積
より小である構成であり、また、前記第1弁板に形成さ
れた前記弁開口は、円形、四角形、三角形及び楕円形の
何れかよりなる構成である。
ート弁の好適な実施の形態について説明する。なお、従
来例と同一又は同等部分については同一符号を付して説
明する。図1において符号2で示されるものは第1、第
2開口10、11を有する弁箱であり、この弁箱2の内
側には、第1、第2弁板1、1Aが第1ベローズ12を
介して互いに離間して接続されている。
1弁座13に当接し、この第1弁板1に接続された弁棒
14は第2ベローズ15を介して弁箱2の下部2aの案
内孔2bに上下動自在に配設されている。前記第2弁板
1Aは弁箱2の第2開口11の内側に設けられた第1ス
トッパー16に当接するように構成されている。
が行っている時、差圧が弁板のシート方向に作用してい
る正圧シールと、弁板を弁座から離間する方向に作用す
る逆圧シールがある。図1におけるゲート弁の逆圧シー
ルの場合、第1弁板1の弁開口1cにより、シート側
(チャンバー)の圧力が導入され、第2弁板1Aは、弁
板内部と弁板外部との圧力差がベローズの有効受圧面積
分作用し、第1弁板1との距離が一定量伸びて弁箱2の
第1ストッパー16に当接するように構成されている。
つまり本来第1弁板1に作用する差圧力の内、ベローズ
の有効受圧面積に作用する力は第1弁板1からキャンセ
ルされ、第2弁板1Aに振り替えられて、更にその力を
第1ストッパー16で受け止める構成となっている。尚
この第1シール部材3は、図1のように第1弁板1に取
り付けるだけではなく、図9から図12のように弁箱2
の第1弁座13側に取り付けた場合も同じ作用が得られ
る。また、前記第2ベローズ12の有効受圧面積を変え
ることにより、第1弁板1に作用する差圧力のキャンセ
ル量の割合を変えることができる。但し、ここでいう有
効受圧面積とは、ベローズの内側と外側で差圧が発生し
た場合ベローズの伸縮方向に力が発生するが、差圧との
積が伸縮方向の発生力と等しくなる面積を示す。なお、
前記弁開口1cは、図1、図5、図6等に示されるよう
に、第1弁板1の厚さ方向に貫通して第1開口10に直
接対向し、この弁開口1cは第1開口10に相当又は第
1開口10よりも小さい大きさで構成されている。
シート側の第1弁板1に発生する差圧力を第1ストッパ
ー16で受け、開口面積に比例して増大する差圧力をキ
ャンセルできるため、従来、高い剛性が必要であった弁
板及び弁駆動部の軽量化及び低剛性化を可能にすること
ができる。
ャンセルの原理について詳述する。すなわち、図16に
示されるように、差圧キャンセル構造における閉弁動作
を図16の例で説明する。図16の第1弁板1は、実際
は弁開口1c(破線部)を有する形状であるが第1弁板
1に作用する差圧力の計算を簡単に説明するため、弁開
口1cを閉じ、弁体ユニット1B内部の圧力をP1に設
定した図であり、弁開口1cがある場合と同じ条件とな
っている。 P1>P0 Sa:第1シール部材3で囲まれた面積 Sb:弁体ユニット1B内部の圧力P1により第1弁板
1をシート方向に作用をうける有効受圧面積で、その大
きさは第1ベローズ12によって決まる。 Sc:弁体ユニット1B内部の圧力P1により第2弁板
1Aをシート面から離間する方向に作用をうける有効受
圧面積で、その大きさは第1ベローズ12によって決ま
る。 第1弁板1には従来の弁構造と同様、第1弁板1を第1
弁座13から離間する方向へ受圧面積SaにP1が作用
すると同時に、第1ベローズ12で囲まれた受圧面積S
bが弁体ユニット1B内部の圧力P1の作用を受けシー
ル方向に力を受ける。ここで第1弁板1がP1から(弁
座から離間する方向へ)受ける差圧力をfとすると f=(P1−P0)・(Sa−Sb) f>0 の時第1弁板1と第1弁座13が離間する方向
にfが作用 f<0 の時第1弁板1と第1弁座13が互いに押しつ
ける方向にfが作用 となり、第1弁板1の受圧面積Saに作用する差圧力を
受圧面積Sb分軽減(キャンセル)することができる。
通常製品仕様で要求されているSaが固定の値であるの
に対し、Sbの値を変化させることで自由に差圧力のキ
ャンセル量を設定することができる。一方第1ベローズ
12は伸縮方向に対し直角方向への変形(膨らみ)がな
いとすると、(伸縮部材で構成される内面形状が均一な
平行筒形状の場合明らかなように) Sb=Sc であり、第2弁体1Aには弁板ユニット1B内部圧力P
1が受圧面積Scに作用し、シート方向と離れる方向に
力が働く。この力を受け、第2弁板1Aは第1ベローズ
12の伸びにより第1弁板1から離れ一定量移動する
が、図示していないストッパーに当たり差圧力を吸収す
る。但し、第1ベローズ12は一般的には伸縮量に応じ
た反力が発生するが、その力量は、fに対して微少なた
め無視した。
4を下方へ降下させて弁箱2の開口10、11を開放し
て開弁した状態を示している。また、図4及び図5の構
成の場合、各弁板1、1A間に複数個の第1ベローズ1
2を横方向に並設し、第1弁板1には各第1ベローズ1
2に対応して弁開口1cを各々形成した場合も図1と同
様の作用を得ることができることを示す他の形態であ
る。
り、図1の構成において、閉弁時に2枚の弁板1、1A
の距離がシール面の両側に作用する圧力差によって縮ん
だ時この第2弁板1Aの縮小変位を一定の値で停止させ
る第2ストッパー20を第1弁板1と一体状でかつ第1
ベローズ12内側から第2弁板1Aに向けて突出して延
設された構成を示している。なお、この第2ストッパー
20は第1弁板1ではなく第2弁板1Aに取付けること
もできる。また、図7の他の形態においては、第2スト
ッパー20が前記弁箱2の内面でかつ第1、第2弁板
1、1A間で第1ベローズ12の外側に位置している構
成で、何れの場合も、第2ストッパー20が第2弁板1
Aの内面1Aaに当接するように構成されている。従っ
て、正シール時に、各弁板1、1Aに作用する差圧力に
よる各弁板1、1A間の第1ベローズ12で発生する過
剰な圧縮変形を防止し、正シール時の各弁板1、1Aに
作用する差圧力をキャンセルし、第1シール部材3及び
弁板1、1Aに必要以上の力が作用しないようにしてい
る。すなわち、同時に閉弁状態から開弁動作時に、差圧
力に抗した過剰な開弁動作力を必要としないようにして
いる。
合を示しており、この場合、シール開始時に、僅かなシ
ート力を弁板1に与えると、第1ベローズ12には差圧
力がシールする方向に作用するセルフシール状態とな
る。従って、シール開始時のみ、シールのきっかけを弁
板1、1Aに与えるだけで、差圧発生後は弁板1、1A
へのシール動作のための駆動力を解除してもシール動作
を保持することができる。すなわち、シートのための弁
板1、1Aの駆動は極めて小さい力で済み、かつ、差圧
が発生した後はセルフシールが可能な弁機能を確保する
ことができる。従って、セルフシール力は、セルフシー
ル力=差圧×(第1ベローズ12の有効受圧面積Sb−
シート部受圧面積Sa)で求めることができる。
においては、前述の図1、図2、図3及び図6の形態に
対応して前記第1シール部材3を、第1弁板1側ではな
く、弁箱2の第1開口10の内側に形成された第1弁座
13に相当する位置に取付けても、前述の図1、図2、
図6及び図4と同様の作用が得られることを示してい
る。特に、図11の構成の場合、第2ストッパー20が
第1弁板1と一体であるが、この第2ストッパー20
は、第2弁板1Aに取付けた場合も同じ作用が得られ
る。
は、図1の形態の他の形態を示すもので、図13の場合
には、第2ストッパー20を第2弁板1Aから第1弁板
1側に突出させ、かつ、第1ベローズ12の内側に位置
させた構成である。また、図14の場合には、第2スト
ッパー20を第2弁板1Aから第1弁板1側に突出さ
せ、かつ、第1ベローズ12の外側に位置させた構成で
ある。すなわち、前述の図1の構成において、図の右側
の室が高圧になった場合、第2弁板1Aに作用した差圧
力が第1弁板1をシート方向に押すため、第1シール部
材3によるシールの解除に大きい力が必要となる。しか
しながら、図13及び図14の構成においては、第2ス
トッパー20が第1弁板1の外端とほぼ同一位置にまで
突出しているため、この第2ストッパー16の先端が弁
箱2の第1弁座13に当接することで、これ以上の押圧
が避けられ、シール解除には図3及び図6の構成で強く
押圧された場合よりも小さい力でシール解除を行うこと
ができる。
構成されているため、次のような効果を得ることができ
る。すなわち、一方の弁板に開口を設け、他方の弁板と
の間をベローズで接続して差圧力をキャンセルできる構
成であるため、従来剛性が必要であった弁板や弁板駆動
部の軽量化・低剛性化を可能にする事ができる。またシ
ート位置における閉弁動作も要求される駆動力を大幅に
低下する事ができる為、駆動機構の簡素化、部材に要求
される加工精度の低下、シール動作の余裕(安全率)の
増加を実現でき装置全体の製造コスト低減とともに動作
機能の信頼性の大幅な向上が可能となる。また、ストッ
パーを第2弁板側だけでなく、第1、第2弁板間にも設
けているため、正シール時に弁板に作用する差圧力によ
る2枚の弁板間のベローズに過剰な圧縮変形が発生する
ことを防止できる。また、ベローズの有効受圧面積を開
口部シール面積より大としているため、逆圧シールの場
合、シール開始時の僅かなシート力を弁板に与えると、
弁板には差圧力がシールする方向に作用するセルフシー
ル構造が得られる。従って、シール開始時のみシールの
きっかけを弁板に与えるだけで差圧発生後は弁板へのシ
ール動作のための駆動力を解除してもシール動作を保持
することができる。そのため、シールのための弁板駆動
は小さい力で済み、かつ、差圧が発生した後はセルフシ
ールが可能な弁板機能を確保することができる。また、
第2弁板に第1弁板側へ向けて延設したストッパーによ
り、大きい差圧力が弁板にかかって大きい押圧力でシー
ルされた場合でも、このストッパーにより弁板シール位
置が制限され、シール解除には大きい力を必要とせずに
シール解除が達成できる。
る。
面図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 第1開口(10)を有する弁箱(2)内に移動
自在に設けられ弁開口(1c)を有する第1弁板(1)と、前
記第1弁板(1)に第1ベローズ(12)を介して設けられた
第2弁板(1A)とよりなると共に、前記弁開口(1c)は前記
第1弁板(1)の厚さ方向に貫通して前記第1開口(10)に
直接対向し、前記弁開口(1c)は前記第1開口(10)に相当
又は前記第1開口(10)よりも小さい大きさよりなること
を特徴とするゲート弁。 - 【請求項2】 前記第1弁板(1)には、弁棒(14)が接続
されていることを特徴とする請求項1記載のゲート弁。 - 【請求項3】 前記第1ベローズ(12)は複数個並設さ
れ、前記第1弁板(1)には前記各第1ベローズ(12)毎に
弁開口(1c)が形成されていることを特徴とする請求項1
記載のゲート弁。 - 【請求項4】 前記第1弁板(1)の一面には第1シール
部材(3)が設けられていることを特徴とする請求項1な
いし3の何れかに記載のゲート弁。 - 【請求項5】 前記弁箱(2)の第1開口(10)に形成され
前記第1シール部材(3)が当接するための第1弁座(13)
と、前記弁箱(2)の第2開口(11)に形成され前記第2弁
板(1A)が当接する第1ストッパー(16)とよりなることを
特徴とする請求項4記載のゲート弁。 - 【請求項6】 前記弁箱(2)の内側には、前記第1、第
2弁板(1、1A)間に位置し前記第2弁板(1A)の内面と当
接する第2ストッパー(20)が設けられていることを特徴
とする請求項5記載のゲート弁。 - 【請求項7】 前記弁箱(2)の第1開口(10)に設けられ
た第1シール部材(3)と、前記弁箱(2)の第2開口(11)に
形成され前記第2弁板(1A)が当接する第1ストッパー
(16)とよりなることを特徴とする請求項1ないし3の何
れかに記載のゲート弁。 - 【請求項8】 前記第1弁板(1)には、前記第2弁板(1
A)と当接するための第2ストッパー(20)が前記第1ベロ
ーズ(12)の内側に位置して設けられていることを特徴と
する請求項1から5及び7の何れかに記載のゲート弁。 - 【請求項9】 前記第2弁板(1A)の内面には、前記第1
弁板(1)側に突出し前記第1ベローズ(12)の内側に位置
する第2ストッパー(20)を有することを特徴とする請求
項1から5及び7の何れかに記載のゲート弁。 - 【請求項10】 前記第2弁板(1A)の内面には、前記第
1弁板(1)側に突出し前記第1ベローズ(12)の外側に位
置する第2ストッパー(20)を有することを特徴とする請
求項1から5及び7の何れかに記載のゲート弁。 - 【請求項11】 前記第1弁板(1)のシート部受圧面積
(Sa)は、前記第1ベローズ(12)の開口に基づく第1ベロ
ーズ受圧面積(Sb)より小であることを特徴とする請求項
1ないし10の何れかに記載のゲート弁。 - 【請求項12】 前記第1弁板(1)に形成された前記弁
開口(1c)は、円形、四角形、三角形及び楕円形の何れか
よりなることを特徴とする請求項1ないし11の何れか
に記載のゲート弁。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000368435A JP3425937B2 (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | ゲート弁 |
US09/876,947 US6561483B2 (en) | 2000-12-04 | 2001-06-11 | Gate valve |
KR10-2001-0075617A KR100472118B1 (ko) | 2000-12-04 | 2001-12-01 | 게이트 밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000368435A JP3425937B2 (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | ゲート弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002174350A JP2002174350A (ja) | 2002-06-21 |
JP3425937B2 true JP3425937B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=18838670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000368435A Expired - Lifetime JP3425937B2 (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | ゲート弁 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6561483B2 (ja) |
JP (1) | JP3425937B2 (ja) |
KR (1) | KR100472118B1 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006526125A (ja) * | 2003-05-13 | 2006-11-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 |
US7396001B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-07-08 | Vat Holding Ag | Valve for essentially gastight closing a flow path |
US7802772B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-09-28 | Vat Holding Ag | Pendulum and slide gate vacuum valve |
KR20070113122A (ko) * | 2006-05-24 | 2007-11-28 | 배트 홀딩 아게 | 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치 |
JP5171137B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
DE102007030006B4 (de) * | 2006-07-19 | 2009-12-17 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
CN201028020Y (zh) * | 2007-05-24 | 2008-02-27 | 朱力艳 | 先导式中高压闸阀 |
JP5324827B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2013-10-23 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | 脚部要素を有する真空ゲートバルブ |
CA2708547C (en) * | 2007-12-11 | 2016-04-19 | Isentropic Ltd | Valve |
KR100945806B1 (ko) | 2008-08-25 | 2010-03-05 | 한국기계연구원 | 대향 스프링 구조의 벨로우즈를 구비한 전자식 팽창밸브 |
DE102008051349B3 (de) * | 2008-10-15 | 2009-11-12 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
US20110006236A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Incorporated | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
US20110006235A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Inc. | Retractable and expandable valve gate |
US8434511B2 (en) * | 2009-07-08 | 2013-05-07 | Gt Advanced Cz Llc | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
JP5365867B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2013-12-11 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
EP2551564A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
EP2749798B1 (de) | 2012-12-27 | 2016-03-02 | VAT Holding AG | Vakuumschieberventil |
KR101528458B1 (ko) * | 2013-01-18 | 2015-06-18 | (주) 유앤아이솔루션 | 슬라이딩 역압 차단 밸브 |
EP2781813A1 (de) | 2013-03-21 | 2014-09-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
EP3922888A1 (en) * | 2013-05-31 | 2021-12-15 | Dayco IP Holdings, LLC | Sprung gate valves movable by an actuator |
US9574677B2 (en) | 2013-05-31 | 2017-02-21 | Dayco Ip Holdings, Llc | Solenoid-powered gate valve |
JP6571083B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2019-09-04 | デイコ アイピー ホールディングス, エルエルシーDayco Ip Holdings, Llc | ソレノイドアクチュエータによって移動可能なバネ装填式ゲートバルブ |
BR112016010714A2 (pt) | 2013-11-12 | 2017-09-12 | Dayco Ip Holdings Llc | sistema de arrefecimento de fluido de motor diesel, tendo uma válvula de gaveta acionada por solenoide |
EP2876341B1 (de) * | 2013-11-21 | 2015-10-21 | VAT Holding AG | Verfahren zum Betrieb eines Ventils |
US10221867B2 (en) | 2013-12-10 | 2019-03-05 | Dayco Ip Holdings, Llc | Flow control for aspirators producing vacuum using the venturi effect |
EP3094900B1 (en) | 2013-12-11 | 2020-09-16 | Dayco IP Holdings, LLC | Magnetically actuated shut-off valve |
EP3094897B1 (en) * | 2013-12-11 | 2018-10-24 | Dayco IP Holdings, LLC | Solenoid-powered gate valve |
US10352248B2 (en) | 2014-10-01 | 2019-07-16 | United Technologies Corporation | Synchronized air modulating system |
US9835043B2 (en) * | 2014-10-01 | 2017-12-05 | United Technologies Corporation | Guided binding-resistant actuation apparatus and method |
US9470319B2 (en) | 2015-01-26 | 2016-10-18 | King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. | Gate valve with linkage structure |
US9599246B2 (en) | 2015-08-05 | 2017-03-21 | Dayco Ip Holdings, Llc | Magnetically actuated shut-off valve |
US9599234B1 (en) * | 2015-12-07 | 2017-03-21 | Dayco Ip Holdings, Llc | Sprung gate valve |
US11328943B2 (en) | 2020-04-03 | 2022-05-10 | Applied Materials, Inc. | Dual gate and single actuator system |
DE102021114422A1 (de) * | 2021-06-04 | 2022-12-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3241807A (en) * | 1963-01-11 | 1966-03-22 | Oscar C Holderer | Fluid pressure actuated flow control gate valve |
US3343562A (en) * | 1965-01-15 | 1967-09-26 | Grove Valve & Regulator Co | Pivoted valve construction |
US3524467A (en) * | 1967-10-13 | 1970-08-18 | Exxon Research Engineering Co | Fluid expanded disk valve |
US4157169A (en) * | 1977-10-12 | 1979-06-05 | Torr Vacuum Products | Fluid operated gate valve for use with vacuum equipment |
US4381100A (en) * | 1981-01-02 | 1983-04-26 | Fairchild Industries, Inc. | Valve and valving apparatus |
JPS5990664U (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-19 | 川崎重工業株式会社 | 両シ−ト形切替弁 |
JPS63254275A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Irie Koken Kk | 高真空用無しゆう動ゲ−トバルブ |
JPH01261573A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-18 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空仕切弁 |
JPH02186172A (ja) * | 1989-01-10 | 1990-07-20 | Irie Koken Kk | 無しゅう動ゲートバルブ用弁体 |
JP2766190B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1998-06-18 | 入江工研株式会社 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
JPH09296870A (ja) * | 1996-05-03 | 1997-11-18 | Shinku Kagaku Kenkyusho | メタルシール式ゲートバルブ |
JP3138645B2 (ja) * | 1996-10-02 | 2001-02-26 | 入江工研株式会社 | 無摺動真空ゲートバルブ及び弁板 |
CH692821A5 (de) * | 1998-02-04 | 2002-11-15 | Unaxis Trading Ag | Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen. |
DE19857201A1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Leybold Systems Gmbh | Schleusenventil |
-
2000
- 2000-12-04 JP JP2000368435A patent/JP3425937B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-06-11 US US09/876,947 patent/US6561483B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-01 KR KR10-2001-0075617A patent/KR100472118B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6561483B2 (en) | 2003-05-13 |
KR20020044059A (ko) | 2002-06-14 |
US20020066877A1 (en) | 2002-06-06 |
JP2002174350A (ja) | 2002-06-21 |
KR100472118B1 (ko) | 2005-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3425937B2 (ja) | ゲート弁 | |
JP2002228043A (ja) | 真空バルブ | |
JP2766190B2 (ja) | 無しゅう動真空ゲートバルブ | |
US4205704A (en) | Exhaust brake valve | |
JP2001304428A (ja) | 止め弁 | |
JPH10281310A (ja) | 弁 | |
JPH0137640B2 (ja) | ||
JP2652854B2 (ja) | 複合弁を備えた排気ブレーキ装置 | |
JP3674768B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP3667976B2 (ja) | 高圧電磁弁 | |
JPH0792058B2 (ja) | 圧縮機 | |
JPH0645405Y2 (ja) | 液圧制御弁 | |
JP2568815Y2 (ja) | 弁 体 | |
JP4063329B2 (ja) | バルブ | |
JP4251590B2 (ja) | 仕切弁 | |
JP3472616B2 (ja) | 流体制御器 | |
JP3375444B2 (ja) | 真空バルブ | |
JPH09256958A (ja) | 圧縮機の起動負荷低減装置 | |
JPH0624615Y2 (ja) | ポペット式方向切換弁 | |
JP3067963B2 (ja) | 高温用バタフライ弁のシート構造 | |
JP3540353B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
JP3510659B2 (ja) | スクロール圧縮機のスラスト方向コンプライアンス機構 | |
JPS6342210Y2 (ja) | ||
JP2643446B2 (ja) | チェックバルブ | |
JP2591626Y2 (ja) | 液体弁装置のシール構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3425937 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100509 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100509 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120509 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130509 Year of fee payment: 10 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130509 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130509 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140509 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |