JP3418360B2 - 樹脂供給装置 - Google Patents
樹脂供給装置Info
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Description
蒸着方式で製造する装置において、誘電体膜形成用の熱
硬化性樹脂の蒸気を供給するために主として利用される
樹脂供給装置に関するものである。
照しながら説明する。
はヒータ、28は樹脂を流すチューブノズル、24は樹
脂を滴下するノズル口、25は樹脂を冷却する水冷ブロ
ック、27は樹脂配管、26は真空をシールする状態で
樹脂配管27を貫通状態において支持する樹脂配管フィ
ールドスルーである。
は、ヒータ22により加熱されており、気体圧送方式に
より圧送される液状の熱硬化性樹脂は樹脂配管27を通
り真空チャンバ21内に入り、水冷ブロック25により
硬化しないように冷却されながらチューブノズル28に
達し、このチューブノズル28に設けられた複数のノズ
ル口24よりヒータ22に向け滴下され、ここで蒸発す
る。
来例では、樹脂の供給源側からの気泡等の混入により、
滴下周期及び各ノズル口からの滴下量が不安定になり易
い。またチューブノズル内の樹脂は水冷ブロックにより
冷却されているが、構造的に樹脂の流れ全域に冷却が及
ばないため冷却不足となり、特に水冷ブロックから離れ
ているノズル口では樹脂が硬化し穴詰まりが生じ、均一
な滴下が行なわれなくなる。
下する際、表面張力により樹脂同士が互いに干渉しあ
い、滴下位置、滴下量が安定しなくなる。これらの条件
がかさなり、樹脂の跳ね上げが生じたり、樹脂が均一に
蒸発しないといった問題があった。
る穴詰まりすることなく、また気泡等が混入することな
く、熱硬化性樹脂を安定した状態で加熱ヒータに少量滴
下・供給し、樹脂を均一に蒸発させることができる樹脂
供給装置を提供することを目的としている。
するために、真空チャンバ内にヒータとノズル体とを備
え、外部より樹脂供給管を通じて気体圧送方式により液
状の熱硬化性樹脂を前記ノズル体に供給し、ノズル体に
設けたノズル口より前記熱硬化性樹脂を前記ヒータに向
けて滴下して、熱硬化性樹脂を蒸発させる樹脂供給装置
において、ノズル体の下面にノズル口を設けると共に、
ノズル体に前記樹脂供給管及び前記ノズル口に連通する
樹脂通路を形成し、ノズル体の前記樹脂通路の上方部分
に、金属薄板からなる隔壁板を介して樹脂通路の大部分
に接する冷却液路を形成すると共に、この冷却液路に冷
却液を外部との間で循環させる冷却液給排管を接続した
ことを特徴とする。
いて、図1、図2及び図3を参照して説明する。
している。
空チャンバ1内に設置され熱硬化性樹脂を加熱し蒸発さ
せるヒータ、3は液状の前記樹脂を気体圧送方式により
圧送する加圧タンク、4は前記樹脂の流量を制御する流
体マスフローコントローラ、5はN2 パージバルブ、6
は樹脂供給バルブ、7は三方弁、8はノズル体、17は
ノズル体8に前記樹脂を供給する樹脂供給管、20a、
20bはノズル体8に冷却水を給排する冷却液給排管で
ある。
かじめ流体マスフローコントローラ4にて前記樹脂の流
量を設定し、三方弁7はA方向に流れるように切り替え
ておく。まず、N2 パージバルブ5を開放し、加圧タン
ク3にN2 ガスを流入させて加圧し、加圧状態で樹脂供
給バルブ6を開放すると、前記樹脂は気体圧送方式によ
り、前記流体マスフローコントローラ4にて設定された
量が樹脂供給管17を通り真空チャンバ1内のノズル体
8へ供給される。ノズル体8は冷却液給排管20a、2
0bにより給排されて循環する冷却水で前記樹脂が硬化
しないよう冷却されており、前記樹脂はノズル体8の後
記ノズル口15よりヒータ2に向け滴下される。滴下し
た熱硬化性樹脂はヒータ2の加熱により、ヒータ2の蒸
発板部2aで蒸発する。
給バルブ6を閉鎖し、樹脂供給管17への樹脂供給を停
止させ、N2 パージバルブ5を閉鎖し、加圧タンク3内
の内圧を低下させ、三方弁7をB方向に流れるように切
り替え、樹脂供給管17の途中及びノズル体8内に残っ
た前記樹脂を排出するために、N2 ガスによるパージを
かけてクリーニング動作を行なわしめる。
示している。
aに樹脂供給管17、17を導入させる樹脂供給管導入
孔30a、30bと冷却液供給管20aと冷却液排出管
20bを導入させる冷却液供給管導入孔31、冷却液排
出管貫通孔32が設けられており、前記樹脂供給管導入
孔30a、30bには前記樹脂供給管17、17が、冷
却液供給管導入孔31と冷却液排出管貫通孔32には冷
却液供給管20aと冷却液排出管20bがそれぞれ貫通
しており、これら管17、17、20a、20bは真空
チャンバ1内の気密性を保つための配管フィードスルー
19によって夫々の孔部において支持されている。前記
真空チャンバ1内に、偏平な直方体形状のノズル体8が
設置されており、このノズル体8は冷却液路側ブロック
8aと樹脂通路側プレート8bとで構成されている。前
記冷却液路側ブロック8aには樹脂供給管17、17を
挿通するための挿通孔33a、33bと冷却液給排管2
0a、20bと連通する冷却液連通孔34、35が形成
されている。前記挿通孔33a、33bには上記樹脂供
給管17が挿通されており、前記冷却液連通孔34、3
5には前記冷却液給排管20a、20bのフランジ部3
6、37が接合されている。またこの接合部にはシール
22が介装されていて、冷却水の漏れを防止している。
前記冷却液路側ブロック8aの下面には両冷却液連通孔
34、35に連通する冷却液路12が凹設されている。
上記樹脂通路側プレート8bの上面には樹脂供給管17
より大の通路断面積を有する樹脂通路11が凹設されて
おり、下面には前記樹脂通路11に連通する複数のノズ
ル口15が設けられている。また樹脂通路側プレート8
bの下面の各ノズル口15の中間位置にはスリット状凹
部16が設けられている。樹脂通路11と冷却液路12
との間に配設された銅薄板等の金属薄板からなる隔壁板
13には挿通孔33c、33dが設けられ、ここに樹脂
供給管17が挿通されている。その挿通部には締結固定
されるシール18が配設されて、液状の熱硬化性樹脂の
漏れを防止している。また、隔壁板13は、締結一体化
された冷却液路側ブロック8aと樹脂通路側プレート8
bとの間に挟持されている。前記冷却液路側ブロック8
a、樹脂通路側プレート8b及び隔壁板13によりノズ
ル体8が構成される。
に鏡面加工を施した左右1対のリフレクタ23、23が
固定されており、ノズル体8の両側面およびノズル口1
5周辺を除く下面をヒータ2の輻射熱から保護するよう
に設けられている(但し図2にはリフレクタ23の図示
を省略している。)。なお、図3において、50、50
は冷却水の漏れ防止用のシールである。
上方部分に薄い金属薄板からなる隔壁板13を介して樹
脂通路11の大部分に接する冷却液路12が形成されて
いる。このため樹脂通路11の全域に渡って冷却が可能
である。またこの金属薄板は熱伝導率がよく冷却効果が
高いため、熱硬化性樹脂の硬化を防ぐことが可能であ
る。また、ノズル体8に樹脂供給管17及びノズル口1
5に連通する樹脂通路11があり、前記樹脂通路11の
通路断面積は樹脂供給管17の通路断面積に比して大に
形成しているので、樹脂通路11において熱硬化性樹脂
中の気体を分離することが容易である。この機能により
熱硬化性樹脂と共に気泡等がノズル口15より吐出され
ることを防止でき、熱硬化性樹脂の滴下を安定したもの
とすることができる。さらに、隣接する各ノズル口15
の中間位置にスリット状凹部16を設けており、樹脂同
士が干渉して滴下が不安定になるのを防止し、確実に独
立した状態で滴下できるようにしている。
は0.5mm、ノズル口15の口ピッチ20mmに対し
てスリット状凹部16の幅を10mmに設定している。
リフレクタ23は、ノズル体8の両側面およびノズル口
15周辺を除く下面を、ヒータ2の輻射熱で温度が上昇
するのを防ぎ、熱硬化性樹脂に対する冷却効果をさらに
上げている。さらに、図3で示されているリフレクタ2
3は一重で示しているが、このリフレクタ23を二重、
三重またはそれ以上に設けることにより、さらに輻射熱
からの保護を確実なものとすることができる。
性樹脂を樹脂通路全域で冷却することが可能なので、ノ
ズル体内、ノズル口での樹脂硬化による穴詰まりが防止
でき、安定した状態で樹脂を滴下させることができる。
また樹脂通路の通路断面積を樹脂供給管のそれに比して
大にすることにより、滴下する樹脂中に気泡等が混入す
るのを防止することができ、安定した状態で樹脂を滴下
させることができる。さらに、各ノズル口間に設けたス
リット状凹部により樹脂同士の干渉を防止でき、滴下位
置、滴下量を正確なものとすることができる。これらの
結果熱硬化性樹脂を均一かつ効果的に蒸発させて、供給
することができる。
Claims (4)
- 【請求項1】 真空チャンバ内にヒータとノズル体とを
備え、外部より樹脂供給管を通じて気体圧送方式により
液状の熱硬化性樹脂を前記ノズル体に供給し、ノズル体
に設けたノズル口より前記熱硬化性樹脂を前記ヒータに
向けて滴下して、熱硬化性樹脂を蒸発させる樹脂供給装
置において、ノズル体の下面にノズル口を設けると共
に、ノズル体に前記樹脂供給管及び前記ノズル口に連通
する樹脂通路を形成し、ノズル体の前記樹脂通路の上方
部分に、金属薄板からなる隔壁板を介して樹脂通路の大
部分に接する冷却液路を形成すると共に、この冷却液路
に冷却液を外部との間で循環させる冷却液給排管を接続
したことを特徴とする樹脂供給装置。 - 【請求項2】 ノズル体の両側面およびノズル口周辺を
除く下面を、ヒータの輻射熱から保護するリフレクタを
設けたことを特徴とする請求項1記載の樹脂供給装置。 - 【請求項3】 ノズル体の下面に、ノズル口が複数設け
られると共に、隣接するノズル口の中間位置にスリット
状凹部が形成されていることを特徴とする請求項1また
は2記載の樹脂供給装置。 - 【請求項4】 前記樹脂通路を、その通路断面積が前記
樹脂供給管の通路断面積より大となるように形成したこ
とを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹
脂供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22587799A JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22587799A JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001052975A JP2001052975A (ja) | 2001-02-23 |
JP3418360B2 true JP3418360B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16836273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22587799A Expired - Lifetime JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3418360B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4965774B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2012-07-04 | パナソニック株式会社 | 樹脂蒸着ユニットおよび成膜装置 |
JP5055044B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2012-10-24 | ニッコーシ株式会社 | 多層構造のcvd用マルチシャワーヘッド |
JP2012052187A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Kaneka Corp | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
JP2012216744A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-11-08 | Sharp Corp | 気相成長装置及び気相成長方法 |
JP6631817B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-01-15 | 株式会社エコロ | Toc計測方法及びそれに使用するtoc計測装置 |
-
1999
- 1999-08-10 JP JP22587799A patent/JP3418360B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2001052975A (ja) | 2001-02-23 |
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