JP3397453B2 - Parts transfer device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、部品を吸着した状態で
搬送する部品搬送装置に係り、特に、吸着面が凹凸形状
とされた部品を搬送する部品搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component transporting device for transporting a component in a sucked state, and more particularly to a component transporting device for transporting a component having an uneven suction surface.

【０００２】[0002]

【従来の技術】電子部品を取扱う装置として、例えば部
品供給装置があり、この部品供給装置は、トレイ上に設
けられた部品を吸着ノズルで吸着し、これを、部品搬送
装置に載置させて実装装置へ供給するように構成されて
いる。そして、上記部品搬送装置は、吸着ノズルで押し
付けられた部品をその下面側から、真空発生源に連通す
る真空吸引通路が内側に設けられたパッドで吸着し、こ
の吸着状態を維持して搬送を行なうようになっている。2. Description of the Related Art As a device for handling electronic parts, there is, for example, a parts supply device. This parts supply device sucks parts provided on a tray with suction nozzles and places them on a parts conveyor device. It is configured to supply the mounting device. Then, the above-mentioned component transfer device sucks the component pressed by the suction nozzle from the lower surface side thereof with a pad provided inside a vacuum suction passage communicating with the vacuum generation source, and transports while maintaining this suction state. I am supposed to do it.

【０００３】ところで、従来、図７に示すように、ＱＦ
Ｐ（Quad Flat Package）等のように、矩形状をなすパ
ッケージ５０の側辺部に多数本のリード５１を備えたＩ
Ｃが主として用いられてきたが、小型・薄型化を図るこ
とができ、また、取扱いが容易で、実装装置に汎用性を
持たせることができ等の理由から、矩形状をなすパッケ
ージの下面に格子状に配設された半田ボールを有するＢ
ＧＡ（Ball Grid Array）と呼ばれるＩＣが部品の多ピ
ン化に合せて採用されてきている。By the way, conventionally, as shown in FIG.
Like a P (Quad Flat Package) or the like, a package 50 having a rectangular shape is provided with a large number of leads 51 on a side portion thereof.
Although C has been mainly used, it is possible to reduce the size and thickness of the package, and because it is easy to handle and allows the mounting device to have general versatility, it can be mounted on the bottom surface of a rectangular package. B having solder balls arranged in a grid pattern
An IC called GA (Ball Grid Array) has been adopted in accordance with the increase in the number of pins of parts.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図７に示す
ように、従来のＱＦＰ等、パッケージ５０の下面がフラ
ットな部品用の部品搬送装置においては、パッドとして
フラットなゴムパッド５３を用いれば、真空吸引通路５
３ａの真空圧により確実に吸着を行なうことができる。
しかしながら、このようなゴムパッド５３をＢＧＡ用の
部品搬送装置に適用した場合には、図８に示すように、
ゴムパッド５３とＢＧＡ５５の下面５５ａの半田ボール
との間に隙間が形成される。そして、この隙間から、内
側の真空吸引通路５３ａにエアリークを生じてしまい、
十分な真空圧すなわち吸着力が得られないため、正確な
搬送ができないという問題があった。By the way, as shown in FIG. 7, in the conventional QFP or the like, in a parts conveying device for parts having a flat lower surface of the package 50, if a flat rubber pad 53 is used as a pad, a vacuum is generated. Suction passage 5
The vacuum pressure of 3a ensures reliable adsorption.
However, when such a rubber pad 53 is applied to a component transfer device for BGA, as shown in FIG.
A gap is formed between the rubber pad 53 and the solder ball on the lower surface 55a of the BGA 55. Then, an air leak occurs in the vacuum suction passage 53a inside from this gap,
Since a sufficient vacuum pressure, that is, a suction force cannot be obtained, there is a problem in that accurate conveyance cannot be performed.

【０００５】したがって、本発明は、吸着面がフラット
でなく凹凸形状をなす部品を確実に吸着し正確に搬送す
ることができる部品搬送装置を提供することを目的とし
ている。Therefore, it is an object of the present invention to provide a component transporting device capable of reliably sucking and accurately transporting a component whose suction surface is not flat but has an uneven shape.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
部品搬送装置は、トレイの部品を上面側から吸着し、水
平移動されて所定位置に載置するピックアンドプレイス
ヘッドを有する部品供給装置に搭載され、ピックアンド
プレイスヘッドにより移載される前記部品を、ピックア
ンドプレイスヘッドから受け取って遠方へ水平搬送する
部品搬送装置であって、前記ピックアンドプレイスヘッ
ドにより移載された前記部品が載置される載置台と、当
該載置台が上側に固定されて移動可能とされ、前記載置
台を前記ピックアンドプレイスヘッドから前記部品を受
け取る位置と前記部品を供給する供給位置の間で移動さ
せる移動台部とを具備し、前記載置台には、上方に開口
する突出部を有し、載置された前記部品を吸着時部品の
吸着面の凹凸形状に合わせて変形し隙間を埋めるため
に、前記突出部が弾性体で形成されたパッドが配置さ
れ、前記移動台部には、前記突出部内側に連結される真
空発生器が取り付けられていることを特徴とする。 According to claim 1 of the present invention.
The parts transporter picks up tray parts from the top side and
Pick and place that is moved flat and placed at a predetermined position
Mounted on a component supply device with a head,
Pick up the parts transferred by the place head.
And place it horizontally from a place-and-place head
A parts transfer device, comprising the pick and place head
The mounting table on which the parts transferred by
The mounting table is fixed to the upper side and is movable, and
The stand receives the parts from the pick and place head.
Moved between the scraping position and the feeding position for feeding the parts
And a movable table part that allows the table to be opened.
Has a protruding part that
In order to fill the gap by deforming according to the uneven shape of the suction surface
The pad with the protrusion formed of an elastic body
The movable table part is connected to the inside of the protrusion part.
It is characterized in that an empty generator is attached .

【０００７】また、本発明の請求項２記載の部品搬送装
置は、請求項１記載のものに加えて、前記パッドが多孔
質材料からなることを特徴としている。In addition to the apparatus according to claim 1, the component transfer apparatus according to claim 2 of the present invention is characterized in that the pad is made of a porous material.

【０００８】さらに、本発明の請求項３記載の部品搬送
装置は、請求項１又は２に記載のものに加えて、前記パ
ッドは、外筒部とその内側の内筒部とを有しており、こ
れら外筒部と内筒部とは、いずれか一方が他方に対し突
出・引込可能とされていることを特徴としている。Further, in the component carrying device according to claim 3 of the present invention, in addition to the device according to claim 1 or 2, the pad has an outer cylinder part and an inner cylinder part inside thereof. The outer cylinder portion and the inner cylinder portion are characterized in that either one of them can be projected and retracted with respect to the other.

【０００９】[0009]

【作用】請求項１記載の部品搬送装置によれば、移動台
部に取り付けられた真空発生器による真空圧の作用によ
り、載置台に載置された部品はパッドにより吸着され
る。これにより、移動台部を水平方向（実装装置側等）
に移動させた場合であっても、該部品を載置台上側に確
実に保持し続けることができる。 According to the component carrying device of the first aspect, the movable table is provided.
By the action of vacuum pressure by the vacuum generator attached to the
The parts mounted on the mounting table are absorbed by the pads.
It As a result, the movable base is moved horizontally (mounting device side, etc.).
Even if it is moved to the upper side of the mounting table,
You can really keep it.

【００１０】請求項２記載の部品搬送装置によれば、パ
ッドが多孔質材料からなるため、容易に変形可能で、し
かも変形時には孔がつぶれてパッド自体を介しての真空
吸引通路へのエアリークを防止する。According to the component transfer device of the second aspect, since the pad is made of a porous material, it can be easily deformed, and the hole is crushed at the time of deformation so that air leaks to the vacuum suction passage through the pad itself. To prevent.

【００１１】請求項３記載の部品搬送装置によれば、吸
着面の大きな部品を吸着する場合には、外筒部を内筒部
に対し相対的に突出させ、また吸着面の小さな部品を吸
着する場合には、内筒部を外筒部に対し相対的に突出さ
せる。これにより、吸着面の大きさの違う部品を取扱う
場合にも、パッドを交換する必要がなくなる。According to the third aspect of the present invention, in the case of picking up a component having a large suction surface, the outer cylinder portion is relatively projected with respect to the inner cylinder portion, and the component having a small suction surface is suctioned. In this case, the inner tubular portion is made to project relatively to the outer tubular portion. This eliminates the need to replace the pad even when handling a component having a different suction surface.

【００１２】[0012]

【実施例】【Example】

（１）実施例の構成 本発明の一実施例による部品搬送装置について図１ない
し図５を参照して説明する。図１は、本発明の部品搬送
装置が適用された部品供給装置を示すものである。この
部品供給装置は、特にＢＧＡのように下面に半田ボール
を有する部品を実装装置へ供給するものである。図１に
おいて、符号１は、部品が整列状態で載置されたトレー
（図示略）に係合するフック、符号２は、フック１をこ
れと係合状態にあるトレーとともに移動させるロッドレ
スエアシリンダ、符号３は、移動されたトレーから部品
を上面側から真空圧により吸着するピックアンドプレイ
スヘッド（以下、「Ｐ＆Ｐヘッド」と略称する。）をそ
れぞれ示している。なお、トレーは、部品供給装置に上
下方向へ並べて配置され、空になると交換されるように
なっている。(1) Configuration of Embodiments A component transfer device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. FIG. 1 shows a component supply device to which the component transfer device of the present invention is applied. This component supply device supplies a component having solder balls on its lower surface, such as a BGA, to a mounting device. In FIG. 1, reference numeral 1 is a hook that engages with a tray (not shown) on which components are placed in an aligned state, and reference numeral 2 is a rodless air cylinder that moves the hook 1 together with the tray in an engaged state with the tray. , Reference numeral 3 denotes a pick-and-place head (hereinafter, abbreviated as “P & P head”) that sucks components from the moved tray from the upper surface side by vacuum pressure. The trays are arranged side by side in the vertical direction on the component supply device, and are replaced when empty.

【００１３】ここで、Ｐ＆Ｐヘッド３は、鉛直配置され
たＺ軸エアシリンダ４により上下動可能とされ、また相
互に直交して水平配置されたＸ軸移動機構５およびＹ軸
移動機構６により水平移動可能とされており、下降時に
部品の吸着および吸着解除を行ない、上昇状態で水平移
動されて、吸着状態にある部品を所定位置へ移載させる
ようになっている。そして、図１中符号１０で示される
ものが、Ｐ＆Ｐヘッド３により移載された部品を図示し
ない実装装置側に水平搬送する本実施例の部品搬送装置
である。Here, the P & P head 3 is vertically movable by a Z-axis air cylinder 4 vertically arranged, and horizontally by an X-axis moving mechanism 5 and a Y-axis moving mechanism 6 which are horizontally arranged orthogonal to each other. It is movable, and when it descends, it picks up and releases parts, and when it is in a raised state, it is horizontally moved to move the part in a picked state to a predetermined position. The reference numeral 10 in FIG. 1 denotes the component transfer device of this embodiment for horizontally transferring the components transferred by the P & P head 3 to the mounting device (not shown).

【００１４】部品搬送装置１０は、水平配置されたロッ
ドレスエアシリンダ１１と、このロッドレスエアシリン
ダ１１によって、上記Ｐ＆Ｐヘッド３から部品を受け取
る受取位置と図示しない実装装置の吸着ヘッドによる吸
着位置へ部品を供給する供給位置との間を移動されるト
ラバーサ１２とを具備している。The component transfer device 10 has a rodless air cylinder 11 arranged horizontally, and by this rodless air cylinder 11, a receiving position for receiving a component from the P & P head 3 and a suction position by a suction head of a mounting device (not shown). And a traverser 12 which is moved to and from a supply position for supplying components.

【００１５】図２（ａ），（ｂ）に示すように、トラバ
ーサ１２は、ロッドレスエアシリンダ１１で移動される
移動台部１３と、この移動台部１３の上側に固定された
載置台部１４とを有している。そして、移動台部１３に
は、二つの真空発生器（真空発生源）１６と、これら真
空発生器１６にそれぞれ個別に連結された吸着ノズル１
７とが取り付けられている。吸着ノズル１７は、図３に
示すように、略段付円筒状をなすとともに移動台部１３
に固定される支持部１８と、この支持部１８に上下に所
定寸法摺動自在に取り付けられた略段付円筒状のノズル
ヘッド部１９と、このノズルヘッド部１９を上方に付勢
するスプリング２０とを備えている。As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), the traverser 12 includes a movable base 13 which is moved by the rodless air cylinder 11, and a mounting base fixed above the movable base 13. 14 and. The moving base 13 includes two vacuum generators (vacuum generation sources) 16 and the suction nozzles 1 individually connected to the vacuum generators 16.
7 and are attached. As shown in FIG. 3, the suction nozzle 17 has a substantially stepped cylindrical shape and also has a moving base portion 13.
A support portion 18 fixed to the support portion 18, a substantially stepped cylindrical nozzle head portion 19 mounted on the support portion 18 slidably up and down by a predetermined size, and a spring 20 for biasing the nozzle head portion 19 upward. It has and.

【００１６】ノズルヘッド部１９は、その中心の中空部
分が真空発生器１６に連通されている。そして、その中
間所定位置にはフランジ部２１が形成されており、この
フランジ部２１より上側の外周部に、円筒状のパッド２
３が嵌合固定されている。このパッド２３は、ノズルヘ
ッド部１９の上端面よりさらに上方に突出させられた突
出部２３ａを有しており、その上端面が水平方向に沿う
平面状とされている。そして、パッド２３の突出部２３
ａの内側が真空発生器１６に連通される真空吸引通路２
３ｂとなっている。The hollow portion at the center of the nozzle head portion 19 communicates with the vacuum generator 16. A flange portion 21 is formed at a predetermined intermediate position thereof, and the cylindrical pad 2 is provided on the outer peripheral portion above the flange portion 21.
3 is fitted and fixed. The pad 23 has a protruding portion 23a that is protruded further upward from the upper end surface of the nozzle head portion 19, and the upper end surface is a flat surface extending in the horizontal direction. Then, the protruding portion 23 of the pad 23
Vacuum suction passage 2 whose inside is communicated with the vacuum generator 16
It is 3b.

【００１７】ここで、吸着ノズル１７は、支持部１８を
移動台部１３の所定位置に固定した状態において、載置
台部１４に形成された貫通孔２４に、パッド２３が装着
されたノズルヘッド部１９を隙間をもって挿通させてい
る。しかも、スプリング２０の付勢力によってノズルヘ
ッド部１９が上方位置に位置しているときに、パッド２
３が載置台部１４より上方に所定量突出した状態とされ
ている。なお、図２において右側の吸着ノズル１７は、
トレーから受け取った部品を実装装置へ搬送する際に用
いられるもので、左側の吸着ノズル１７は、実装装置側
でエラーが出た部品をＰ＆Ｐヘッド３側へ戻す際に用い
られるものである。Here, in the suction nozzle 17, the nozzle head portion in which the pad 23 is attached to the through hole 24 formed in the mounting table portion 14 in a state where the support portion 18 is fixed at a predetermined position of the moving table portion 13. 19 is inserted with a gap. Moreover, when the nozzle head portion 19 is located at the upper position by the urging force of the spring 20, the pad 2
3 is in a state of projecting above the mounting table portion 14 by a predetermined amount. The suction nozzle 17 on the right side in FIG.
The suction nozzle 17 on the left side is used when the component received from the tray is conveyed to the mounting apparatus, and is used when returning the component having an error on the mounting apparatus side to the P & P head 3 side.

【００１８】本実施例においては、パッド２３は、変形
容易な多孔質材料、例えばスポンジで形成されている。
そして、Ｐ＆Ｐヘッド３で吸着された部品２７の下面２
７ａがパッド２３に押し付けられると、図４に示すよう
に、突出部２３ａが下面２７ａに格子状に配置形成され
た半田ボール２８による凹凸形状に合せて変形し、半田
ボール２８間の隙間に入り込む。よって、突出部２３ａ
の端面と部品２７の下面におけるエアリークが防止され
る。しかも、突出部２３ａが圧縮されることにより、そ
れ自体が有する多数の孔をつぶして突出部２３ａ自体の
空気流路を塞ぐようになっている。In this embodiment, the pad 23 is made of a porous material that is easily deformable, such as sponge.
Then, the lower surface 2 of the component 27 attracted by the P & P head 3
When 7a is pressed against the pad 23, as shown in FIG. 4, the projecting portion 23a is deformed according to the uneven shape of the solder balls 28 arranged and formed in a grid pattern on the lower surface 27a, and enters the gaps between the solder balls 28. . Therefore, the protrusion 23a
Air leaks at the end surface of and the lower surface of the component 27 are prevented. Moreover, by compressing the protrusion 23a, many holes of the protrusion 23a are crushed to close the air flow path of the protrusion 23a itself.

【００１９】（２）実施例の動作 次に、図５のフローチャートを参照しながら上記構成の
部品供給装置の動作について説明する。まず、Ｐ＆Ｐヘ
ッド３が下降してトレーからＢＧＡ２６を吸着し（ステ
ップＳＰ１）、その後上昇して受取位置にあるトラバー
サ１２上へ移動する（ステップＳＰ２）。続いて、Ｐ＆
Ｐヘッド３が下降して、部品２７をトラバーサ１２の吸
着ノズル１７のパッド２３にその下面２７ａを押し付け
る（ステップＳＰ３）。その際、Ｐ＆Ｐヘッド３の押付
け力によってスプリング２０が圧縮され、ノズルヘッド
部１９が下降するとともに、パッド２３が下方へ向けて
圧縮されるので、部品２７はパッド２３によって弾性的
に受けとめられる。(2) Operation of the Embodiment Next, the operation of the component supplying apparatus having the above configuration will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the P & P head 3 moves down to adsorb the BGA 26 from the tray (step SP1), and then moves up and moves onto the traverser 12 at the receiving position (step SP2). Then P &
The P head 3 descends and presses the lower surface 27a of the component 27 against the pad 23 of the suction nozzle 17 of the traverser 12 (step SP3). At that time, the spring 20 is compressed by the pressing force of the P & P head 3, the nozzle head portion 19 is lowered, and the pad 23 is compressed downward, so that the component 27 is elastically received by the pad 23.

【００２０】また、パッド２３が圧縮されることによ
り、その突出部２３ａが部品２７の下面２７ａの半田ボ
ール２８による凹凸形状に合せて変形し、半田ボール２
８間の隙間を埋める。しかもこの状態においてパッド２
３は突出部２３ａ自体の孔をつぶして突出部２３ａ自体
の空気流路を塞いでいるため、突出部２３ａの内側すな
わち真空吸引通路２３ｂへのエアリークの流路を遮断す
る。よって、部品２７の下面２７ａに良好に真空圧が作
用し、部品２７が確実に吸着ノズル１７のパッド２３に
吸着される（ステップＳＰ４）。そして、この状態でト
ラバーサ１２がロッドレスエアシリンダ１１の駆動力で
図示しない実装装置側へ移動する（ステップＳＰ５）。Further, when the pad 23 is compressed, the projecting portion 23a is deformed according to the uneven shape of the solder ball 28 on the lower surface 27a of the component 27, and the solder ball 2
Fill the gap between 8. Moreover, in this state, the pad 2
Reference numeral 3 blocks the air passage of the protrusion 23a itself by collapsing the hole of the protrusion 23a itself, so that the air leak passage to the inside of the protrusion 23a, that is, the vacuum suction passage 23b is blocked. Therefore, the vacuum pressure is satisfactorily applied to the lower surface 27a of the component 27, and the component 27 is reliably attracted to the pad 23 of the suction nozzle 17 (step SP4). Then, in this state, the traverser 12 is moved to the mounting device side (not shown) by the driving force of the rodless air cylinder 11 (step SP5).

【００２１】上記構成の部品搬送装置によれば、部品押
し付け時にパッド２３の突出部２３ａが、ＢＧＡ２６の
パッケージ２７の下面２７ａのリード２８による凹凸形
状に合せて変形し、リード２８間の隙間を埋めるから、
真空吸引通路２３ｂへのエアリークの発生が防止され
る。よって、ＢＧＡ２６を確実にパッド２３で吸着する
ことができ、この吸着状態で正確に搬送を行なうことが
できる。According to the component transporting apparatus having the above-described structure, when the component is pressed, the projecting portion 23a of the pad 23 is deformed according to the uneven shape of the lead 28 on the lower surface 27a of the package 27 of the BGA 26 and the gap between the leads 28 is filled. From
The occurrence of air leak to the vacuum suction passage 23b is prevented. Therefore, the BGA 26 can be surely adsorbed by the pad 23, and the conveyance can be performed accurately in this adsorbed state.

【００２２】特に、上記実施例では、パッド２３がスポ
ンジで構成されているから、ＢＧＡ２６へ押し付けられ
ることにより圧縮されて内部の孔をつぶす。これによ
り、突出部２３ａの内側すなわち真空吸引通路２３ｂへ
のエアリークの流路を遮断する。このように、真空吸引
通路２３ｂへのエアリークの発生が防止されるため、部
品２７をパッド２３でより一層確実に吸着することがで
きる。Particularly, in the above embodiment, since the pad 23 is made of sponge, the pad 23 is compressed by being pressed against the BGA 26 to crush the internal hole. Thereby, the flow path of the air leak to the inside of the protruding portion 23a, that is, the vacuum suction passage 23b is blocked. In this way, since the occurrence of air leak to the vacuum suction passage 23b is prevented, the component 27 can be more surely adsorbed to the pad 23.

【００２３】（３）変更例 本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の
変更が可能である。たとえば、上記実施例においては、
パッド２３が円筒状をなすもの、すなわち一つの真空吸
引通路２３ｂを有するものを例にとり説明したが、内側
に真空吸引通路が形成されるものであれば、例えば複数
の真空吸引通路を形成することも可能であり、また、パ
ッド２３を角柱状のものとすることも可能である。さら
に、パッド２３の外周面に、エアリーク防止のための樹
脂をコーティングすることも可能である。加えて、上記
実施例では、パッドをスポンジ等の多孔質材料で構成し
ているが、容易に変形するものであればその材質は任意
である。(3) Modifications The present invention is not limited to the above embodiments, but various modifications are possible. For example, in the above embodiment,
The pad 23 has a cylindrical shape, that is, the one having one vacuum suction passage 23b has been described as an example, but if the vacuum suction passage is formed inside, for example, a plurality of vacuum suction passages should be formed. It is also possible to make the pad 23 into a prismatic shape. Further, the outer peripheral surface of the pad 23 can be coated with a resin for preventing air leak. In addition, although the pad is made of a porous material such as sponge in the above embodiment, any material can be used as long as it can be easily deformed.

【００２４】また、図６に示すように、パッドを円筒状
の外円筒部２９と、この外円筒部２９の内側に同心状に
隙間をもって配置された内円筒部３０とを有する二重構
造とし、内円筒部３０と外円筒部２９とを、いずれか一
方が他方に対し上側に突出した位置と下側に引込んだ位
置とにアクチュエータ等で切換自在の構成とすることも
可能である。Further, as shown in FIG. 6, the pad has a double structure having a cylindrical outer cylindrical portion 29 and an inner cylindrical portion 30 concentrically arranged inside the outer cylindrical portion 29 with a gap. The inner cylindrical portion 30 and the outer cylindrical portion 29 can be configured to be switchable by an actuator or the like between a position where one of them projects upward with respect to the other and a position where they retract downward.

【００２５】例えば、内円筒部３０を外円筒部２９に対
し突出する位置と引込む位置とにアクチュエータで切り
換え、しかも内円筒部３０の突出時には内円筒部３０の
内側のみ真空発生器１６に連通状態とし、他方内円筒部
３０引込時には外円筒部２９と内円筒部３０との隙間を
真空発生器１６に連通状態とするようソレノイドバルブ
等で流路を切り換える。For example, the inner cylindrical portion 30 is switched between a protruding position and a retracting position with respect to the outer cylindrical portion 29 by an actuator, and when the inner cylindrical portion 30 projects, only the inside of the inner cylindrical portion 30 communicates with the vacuum generator 16. On the other hand, when the inner cylindrical portion 30 is pulled in, the flow path is switched by a solenoid valve or the like so that the gap between the outer cylindrical portion 29 and the inner cylindrical portion 30 is in communication with the vacuum generator 16.

【００２６】このように構成することにより、吸着面の
大きな部品を吸着する場合には、内円筒部３０を引込ま
せて外円筒部２９で吸着を行なわせ、また吸着面の小さ
な部品を吸着する場合には、内円筒部３０を突出させこ
の内円筒部３０で吸着を行なわせれば、吸着面の大きさ
の違う部品を取扱う場合にも、パッドを交換する必要が
なくなる。よって、吸着面の大きさの異なる部品に対応
するための段取替え時間を短縮することができる。勿
論、これらは円筒状に限定されることなく、角筒状とす
ることも可能である。With this structure, when a component having a large suction surface is sucked, the inner cylindrical portion 30 is retracted so that the outer cylindrical portion 29 performs suction, and a component having a small suction surface is sucked. In this case, if the inner cylindrical portion 30 is projected and suction is performed by the inner cylindrical portion 30, it is not necessary to replace the pad even when handling a component having a different suction surface. Therefore, it is possible to shorten the setup change time for dealing with components having different suction surface sizes. Of course, these are not limited to the cylindrical shape, and may be a rectangular tube shape.

【００２７】[0027]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
移動台部に取り付けられた真空発生器による真空圧の作
用により、載置台に載置された部品はパッドにより吸着
される。これにより、移動台部を水平方向（実装装置側
等）に移動させた場合であっても、該部品を載置台上側
に確実に保持し続けることができ、これにより部品を正
確に搬送することができる等の効果が得られる。As described in detail above, according to the present invention,
Creating a vacuum pressure with a vacuum generator attached to the moving platform
The parts mounted on the mounting table are absorbed by the pads
To be done. As a result, the movable table is moved horizontally (on the mounting device side).
Etc.) even when the parts are moved to the upper side of the mounting table.
Therefore, it is possible to surely continue the holding, and thereby, it is possible to obtain an effect such that the component can be accurately conveyed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の一実施例による部品搬送装置が適用さ
れた部品供給装置の全体構成を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing the overall configuration of a component supply device to which a component transfer device according to an embodiment of the present invention is applied.

【図２】本発明の一実施例による部品搬送装置を示すも
ので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。2A and 2B show a parts conveying device according to an embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a front view.

【図３】本発明の一実施例による部品搬送装置の吸着ノ
ズルの要部を示す縦断面図である。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a main part of a suction nozzle of a component carrying device according to an embodiment of the present invention.

【図４】本発明の一実施例による部品搬送装置のパッド
によるＢＧＡ（部品）吸着時の状態を示す正面図であ
る。FIG. 4 is a front view showing a state when a BGA (component) is picked up by a pad of the component transfer device according to the embodiment of the present invention.

【図５】本発明の一実施例による部品搬送装置が適用さ
れた部品供給装置の部品供給の流れを説明するフローチ
ャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating a flow of component supply of a component supply device to which a component transfer device according to an embodiment of the present invention is applied.

【図６】本発明の別の実施例による部品搬送装置のパッ
ドを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a pad of a component carrying device according to another embodiment of the present invention.

【図７】従来の部品搬送装置のパッドでＱＦＰを吸着し
た状態を示す正面図である。FIG. 7 is a front view showing a state in which QFP is adsorbed by a pad of a conventional component transfer device.

【図８】従来の部品搬送装置のパッドでＢＧＡを吸着し
た状態を示す正面図である。FIG. 8 is a front view showing a state in which a BGA is sucked by a pad of a conventional component transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０…部品搬送装置、１６…真空発生器（真空発生
源）、２３…パッド、２３ｂ…真空吸引通路、２７…部
品、２７ａ…下面（吸着面）、２９…外円筒部（外筒
部）、３０…内円筒部（内筒部）。DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Parts conveying device, 16 ... Vacuum generator (vacuum generation source), 23 ... Pad, 23b ... Vacuum suction passage, 27 ... Parts, 27a ... Lower surface (suction surface), 29 ... Outer cylinder part (outer cylinder part), 30 ... Inner cylindrical part (inner cylindrical part).

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−191092（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−253878（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−65500（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−44535（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−177000（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−128732（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H05K 13/02 H05K 13/04 B65G 47/91 Continuation of the front page (56) Reference JP-A-5-191092 (JP, A) JP-A-5-253878 (JP, A) Actual opening 4-65500 (JP, U) Actual opening 3-44535 (JP , U) Actually open 1-177000 (JP, U) Actually open 63-128732 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. ⁷ , DB name) H05K 13/02 H05K 13/04 B65G 47/91

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 トレイの部品を上面側から吸着し、水平
移動されて所定位置に載置するピックアンドプレイスヘ
ッドを有する部品供給装置に搭載され、ピックアンドプ
レイスヘッドにより移載される前記部品を、ピックアン
ドプレイスヘッドから受け取って遠方へ水平搬送する部
品搬送装置であって、 前記ピックアンドプレイスヘッドにより移載された前記
部品が載置される載置台と、 当該載置台が上側に固定されて移動可能とされ、前記載
置台を前記ピックアンドプレイスヘッドから前記部品を
受け取る位置と前記部品を供給する供給位置の間で移動
させる移動台部とを具備し、 前記載置台には、上方に開口する突出部を有し、載置さ
れた前記部品を吸着時部品の吸着面の凹凸形状に合わせ
て変形し隙間を埋めるために、前記突出部が弾性体で形
成されたパッドが配置され、 前記移動台部には、前記突出部内側に連結される真空発
生器が取り付けられている ことを特徴とする部品搬送装
置。1. A tray part is attracted from the upper surface side and horizontally.
Pick and place to move and place in place
Mounted on a component supply device with a
Pick up the parts transferred by the wraith head
Part that receives from the replace head and horizontally conveys to a distant place
An article transfer device, wherein the pick and place head transfers the
The mounting table on which the parts are mounted and the mounting table are fixed on the upper side and are movable.
Place the table from the pick and place head
Move between receiving position and supplying position to supply the parts
The mounting table has a protruding portion that opens upward, and is mounted on the mounting table.
The above-mentioned parts that have been picked up to the uneven shape of the pick-up surface
The protrusion is made of an elastic material to deform and fill the gap.
And a vacuum pad connected to the inside of the protrusion is attached to the movable base.
A parts transporter that is equipped with raw containers . 【請求項２】 前記パッドは、多孔質材料からなること
を特徴とする請求項１記載の部品搬送装置。2. The component transfer device according to claim 1, wherein the pad is made of a porous material. 【請求項３】 前記パッドは、外筒部とその内側の内筒
部とを有しており、これら外筒部と内筒部とは、いずれ
か一方が他方に対し突出・引込可能とされていることを
特徴とする請求項１又は２に記載の部品搬送装置。3. The pad has an outer tubular portion and an inner tubular portion inside thereof, and one of the outer tubular portion and the inner tubular portion can be projected / retracted with respect to the other. The component transfer device according to claim 1 or 2, wherein