JP3396070B2 - 顕微鏡装置 - Google Patents
顕微鏡装置Info
- Publication number
- JP3396070B2 JP3396070B2 JP31508393A JP31508393A JP3396070B2 JP 3396070 B2 JP3396070 B2 JP 3396070B2 JP 31508393 A JP31508393 A JP 31508393A JP 31508393 A JP31508393 A JP 31508393A JP 3396070 B2 JP3396070 B2 JP 3396070B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective
- objective lens
- switching
- sample stage
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
べき対物レンズを交換できると共に電動焦準機構を備え
た顕微鏡装置に関する。
察像を写真やビデオ画像として記録することのできる顕
微鏡は、生物分野の研究を初め工業分野の検査工程まで
幅広く利用されている。
る複数の対物レンズを回転式のレボルバーに取り付け、
上記レボルバーを電動又は手動にて回転して、観察光路
系内に挿入されるべき対物レンズを切換えることによっ
て観察倍率の変更は行っている。
物レンズ切換の際に対物レンズと標本のスライドガラス
又は検査ウエハ等が干渉し、標本等が破損する事故が起
こり易かった。特に、高倍対物レンズ等は動作距離(以
下、「WD」と呼ぶ)が短いために、このような事故が
起きる可能性が高い。例えば、病理検査等において、特
に手術中の迅速な診断を要するような場面でこのような
事故が起きた場合、サンプル破損により的確な検査を行
えず、人命に関わる重大な事故につながり兼ねない。
対物レンズと試料との衝突による破損は生産の歩留まり
を悪くする要因となり、生産量の低下を招く恐れがあ
る。これに対して、例えば、顕微鏡の焦準部を電動化
し、観察試料の交換時に試料ステージの退避スイッチを
操作することにより試料ステージを退避させるととも
に、再度退避スイッチを操作することで試料ステージを
元の位置に復帰させるようにした顕微鏡装置がある(特
開昭59−172619)。
レンズの同焦補正動作を行うようにした顕微鏡装置が開
発されている(特開平3−15015)。この顕微鏡装
置によれば、交換後の対物レンズの焦点合わせに要する
時間を短縮できると共に操作性を改善できる利点があ
る。
た2つの顕微鏡装置の前者は観察試料の交換作業の容易
化、後者は対物レンズ交換時の同焦ずれの補正を目的と
したもであり、対物レンズ交換時の観察試料と対物レン
ズとの干渉の問題については言及されていない。一方、
医療分野等では、近年の医療技術の進歩により、手術内
容の難度も増し、より迅速に正確な診断が要求されるよ
うになり、顕微鏡操作の高速化が要求されている。
ステージ退避量が必要以上に大きいと、焦準部の機械的
磨耗が進むことから、半導体製造工程などで最も気を付
けなければならない、埃が発生する要因となる。特に、
クリームルーム内では埃の発生は厳禁であることから、
この様な用途に供するためには焦準部の機械的磨耗を低
減させる必要がある。
の使用だけであっても顕微鏡の磨耗が激しい上に、必要
以上の焦準部の酷使は顕微鏡そのものの寿命を短縮す
る。本発明は、以上のような実情に鑑みてなされたもの
で、対物レンズ交換時におけるサンプルの保護を図るこ
とができると共に、対物レンズの高速交換動作を実現で
き、かつ機械的磨耗が少なくコンタミを抑えることがで
き顕微鏡寿命を延ばすことのできる顕微鏡装置を提供す
ることを目的とする。
に、本発明は以下のような手段を講じた。
対物レンズを保持し観察光路内に挿入すべき対物レンズ
を切換える対物切換機構と、前記観察光路内に挿入され
た対物レンズに対向する位置に設けられ観察試料を載置
するための試料ステージと、前記試料ステージ及び前記
対物切換機構の少なくとも一方を光軸方向へ移動する電
動焦準機構とを有する顕微鏡装置において、前記各対物
レンズ毎に前記試料ステージ又は前記対物切換機構の退
避量データが記憶された記憶手段と、前記対物切換機構
に対して対物レンズの切り換えを指示するための交換対
物指示手段と、前記対物切換機構及び前記電動焦準機構
を駆動制御する制御手段と、前記交換対物指示手段から
対物レンズの切り換えを指示されたときに、少なくとも
切り換え先の対物レンズの前記退避量データに基づいて
前記電動焦準機構の退避距離を決定する退避量決定手段
とを備え、前記制御手段は、前記対物切換機構の切換動
作の開始前に前記退避量決定手段で決定された退避距離
だけ前記観察試料と前記対物レンズとの間隔を離す方向
に前記電動焦準機構を駆動して、前記対物切換機構の切
換動作を行ない、当該切換動作の完了後に前記電動焦準
機構を再び駆動して元の位置まで復帰させるように制御
する構成とした。
成において、前記記憶手段は、前記退避量データとして
各対物レンズの動作距離または焦点深度の少なくとも一
方を記憶した。
成において、前記退避量決定手段は、切り換え先と切り
換え前の各対物レンズを含む切り換え過程で通過する全
ての対物レンズの中で、動作距離または焦点深度が最も
大きな対物レンズの前記退避量データに基づいて前記退
避距離を決定するようにした。
り、次のような作用を奏する。
対物指示手段から対物レンズの交換が指示されると、退
避量決定手段により記憶手段の記憶内容を参照して試料
ステージ又は対物切換機構の退避距離が決定される。そ
して制御手段により電動焦準機構が駆動されて試料ステ
ージ又は対物切換機構が上記決定した退避距離だけ退避
せしめられ、その後対物レンズの交換動作が行なわれ
る。また、対物レンズの交換後には、試料ステージ又は
対物切換機構が元の位置まで復帰される。従って、交換
先の対物レンズ毎に試料ステージ又は対物切換機構の退
避量が適当な距離へ変化することができ、焦準部の不必
要な駆動が削減され、対物交換に要する時間も短縮され
るものとなる。
レンズの動作距離または焦点深度の少なくとも一方に基
づいて定めた退避距離に基づいて、試料ステージまたは
対物切換機構の退避距離が決定される。
レンズの交換過程で観察光路を通過するすべての対物レ
ンズ(切り換え先と切り換え前の各対物レンズを含む)
の退避量データに基づいて前記退避距離を決定するの
で、観察試料を確実に保護できるととともに退避量が過
大になることもなく、最適な退避距離が決定される。
1は本発明の一実施例に係る顕微鏡装置の全体構成を示
しており、図2は該顕微鏡の光学系の構成を示してい
る。
例えばハロゲンランプからなる透過照明用光源1からの
光をコレクタレンズ2で集光して透過用フィルターユニ
ット3へ入射する。
光源1の色温度を変えずに明るさの調光を行う複数枚の
NDフィルターと、色補正を行うための複数枚の補正フ
ィルターとからなり、任意のフィルターを照明光学系の
光路中に選択的に挿脱可能になっている。
た照明光を、透過視野絞り4,透過開口絞り5,コンデ
ンサ光学素子ユニット6,コンデンサトップレンズユニ
ット7を介して試料ステージ8の下方からステージ上の
観察試料Sを照明する。
路中に選択的に挿入される複数のユニット6a〜6cか
らなり、コンデンサトップレンズユニット7は光路中に
選択的に挿入される複数のユニット7a,7bからな
る。また、試料ステージ8は観察試料Sを光軸と直交す
る平面内で2次元移動できると共に、ピント合わせのた
め光軸方向へ移動可能になっている。
なる複数の対物レンズ9a〜9cがレボルバ10に保持
されている。レボルバ10はその回転により観察光路内
の光軸上に挿入すべき対物レンズを交換可能に構成され
ている。レボルバ10は、例えば顕微鏡のアーム先端部
に回転自在に取付けられており、そのアーム先端部の観
察光路上にキューブユニット11が配設されている。キ
ューブユニット11は、各種検鏡法により選択的に挿入
される複数のユニット11a〜11cからなる。キュー
ブユニット11を透過した光をビームスプリッター12
で2方向に分岐し、一方の光をビームスプリッター13
を介して接眼レンズ14へ導いている。なお、ビームス
プリッタ12,13は光路に対して挿脱可能になってい
る。
源15からの光を、落射用フィルターユニット16,落
射シャッター17,落射視野絞り18,落射開口絞り1
9を介して、キューブユニット11の光路中に挿入され
ているユニットに入射し、観察試料S側へ反射させて落
射照明する。
射照明用光源15の色温度を変えずに明るさの調光を行
う複数枚のNDフィルターと、色補正を行うための複数
枚の補正フィルターとから構成される。
リッター12で分岐された他方の光を写真撮影用光路へ
導いている。写真撮影用光路に対してビームスプリッタ
ー20が挿脱自在に設けられており、光路中に挿入した
ビームスプリッター20で分岐した一方の光を、結像レ
ンズを介してピント検知用受光素子21へ入射してい
る。このピント検知用受光素子21はピント検知用の光
量を測光するためのものである。
ー20で分岐した他方の光を、写真撮影用倍率を任意に
調整するズームレンズ22を介して該光路中に挿入され
たビームスプリッター23に入射する。このビームスプ
リッター23は光路に対して挿脱自在になっており、光
路内に挿入したビームスプリッター23で反射させた光
を、さらに別のビームスプリッター24に入射して2方
向へ分岐している。ビームスプリッター24も光路に対
して挿脱自在になっている。光路内に挿入したビームス
プリッター24で反射した光は写真用受光素子25に入
射している。写真用受光素子25は写真撮影の露出時間
を測光するための素子である。そしてビームスプリッタ
ー24を光路から脱した状態で、ビームスプリッター2
3で反射させた光を写真撮影用シャッター26を介して
写真撮影用のフィルムを収納したカメラ27に入射して
いる。
系の構成について説明する。装置全体の動作を管理して
いるメインコントロール部30に対して専用シリアルバ
ス31を介して写真撮影コントロール部32,AFコン
トロール部33,フレームコントロール部34,透過フ
ィルターコントロール部35,透過視野絞りコントロー
ル部36,コンデンサコントロール部37,落射視野絞
りコントロール部38,落射フィルターコントロール部
39をそれぞれ接続している。
プリッター12,20,24を光路中に挿脱するための
駆動及び制御と、ズームレンズ22の駆動及び制御と、
写真用受光素子25の測光値から写真撮影時間を算出す
るための演算処理と、写真撮影用シャッターの開閉駆動
制御と、カメラ27のフィルム巻き上げ及び巻き戻し制
御とを行う。
受光素子21からのデータで所定の合焦演算を行い、そ
の演算結果に応じて試料ステージ8を駆動することによ
り自動合焦検出を行う。
用光源1,落射照明用光源15,レボルバー10,キュ
ーブユニット11,落射シャッター17を駆動制御する
ものである。
用フィルターユニット3の駆動及び制御を行い、透過視
野絞りコントロール部36は透過用視野絞り4の駆動及
び制御を行う。また、コンデンサコントロール部37は
コンデンサ光学素子ユニット6,コンデンサトップレン
ズユニット7,透過用開口絞り5の駆動及び制御を行
う。落射視野絞りコントロール部38は落射視野絞り1
8,落射開口絞り19の駆動及び制御を行う。また、落
射フィルターコントロール部39は落射用フィルタユニ
ット16の駆動及び制御を行う。
ぞれ図3に示す回路構成を備えている。すなわち、各コ
ントロール部は、CPU回路41と、このCPU回路4
1からの指令で制御対象の光学ユニットを駆動する駆動
回路42と、制御対象の光学ユニットの位置を検出して
CPU回路41へ知らせる位置検知回路43と、CPU
回路41と専用シリアルバス31とを接続する専用シリ
アル通信I/F回路44と、その他の図示しない周辺回
路とを内蔵する。上記CPU回路41は、CPU45が
ROM46,RAM47にCPUバス48を介して接続
され、ROM46に各々の制御内容を記述したプログラ
ムが記憶され、RAM47に制御演算用のデータが格納
されている。そして各コントロール部32〜39に専用
シリアルバス31を介してメインコントロール部30か
ら制御指示が送り込まれ、CPU45がROM46のプ
ログラムに従って動作することにより各々受け持ちの光
学ユニット等の制御が行われる。
示す図である。同図に示すメインコントロール部30
は、上記各コントロール部と同様のCPU回路41と、
顕微鏡の各種設定状態を記憶するための不揮発性メモリ
50と、各種操作スイッチを設けたSW入力部51と、
各種情報を表示するための表示部52と、専用シリアル
バス31をコントロールするための専用シリアルバス駆
動回路53とを備えている。
LCD等の表示部材から構成されており、CPU45よ
り送られてくる表示内容を表示する。表示部52に表示
される各種画面はROM46に予め記憶されている。S
W入力部51は透明シートからなるスイッチで構成さ
れ、図5に示すように表示部52の上面に貼り合わされ
ている。SW入力部51上の任意の位置を押下すると、
その位置がCPU45に認識されるようになっている。
本実施例では、例えば図6に示すような画面を表示す
る。201〜203は区画されたスイッチエリアを示す
表示である。例えばスイッチエリア203を指等で押下
すれば、その押下位置データとその押下位置の表示デー
タとからCPU45が何のスイッチが押されたかを認識
して、そのスイッチに対応した制御が行われるようにし
ている。
動作について説明する。通常、光学顕微鏡には4〜7本
程度の対物レンズが取付けられるが、各対物レンズのW
D(合焦位置での試料ステージ8から対物レンズまでの
距離)は、対物レンズの倍率や対物レンズの種類によっ
て異なる。図7は、対物倍率(又は種類)の異なる複数
の対物レンズ9a,9b,9c…と、各対物レンズのW
D9a′,9b′,9c′…との関係を示している。こ
れら各対物レンズのWDは、対物レンズの設計上決定す
る固有値である。
レンズ9a,9b,9c…とそれら各対物レンズのWD
9a′,9b′,9c′…とを対応させたテーブルデー
タを作成し、そのテーブルデータをメインコントロール
部30におけるCPU回路41のROM46にプログラ
ムと共に格納する。
何の種類(倍率)の対物レンズが取付けられているかを
CPU45に認識させる。そのために、まず顕微鏡操作
の前段階として初期設定を行う。
表示することから始める。この画面において初期設定動
作を開始するためのスイッチINITIAL を押すことによ
り、CPU45がSW入力部51の押下げ位置データと
表示部52の表示データとからスイッチINITIAL が押さ
れたことを認識する。
5は表示部52の画面を図9に示す画面へ変更する。図
9に示す画面上にはレボルバー10に設けられた対物取
付け穴の各位置を指定するSW表示領域54が表示され
る。SW表示領域54はスイッチREVO1〜REVO7からな
り7つの対物取付け穴を指定可能になっている。SW表
示領域54のスイッチ数は現在装着されているレボルバ
ー10の対物取付け穴の数に対応させている。
10のどの対物取付け穴に何の対物レンズが取付けられ
ているかを表す一覧表55と、初期設定動作を中止する
ためのスイッチCANCELと、初期設定動作を終了するため
のスイッチEND とが表示される。
のスイッチREVO1を押下げれば、レボルバー10の対物
取付け穴の第1位置に装着される対物レンズの設定操作
へ移行する。すなわち、スイッチREVO1が押されると、
CPU45が表示部52の画面を図9の画面から図11
の画面へと変更し、使用対物レンズの一覧表56を表示
させる。
バス駆動回路53を駆動して専用シリアルバス31を介
してフレームコントロール部34にレボルバー10の回
転指示を与える。この回転指示を受けたフレームコント
ロール部34が駆動回路42を駆動してレボルバー10
の対物取付け穴1番を光軸位置に挿入する。その結果、
スイッチREVO1で指示された対物レンズが観察光路上に
挿入される。
察は行わない為、試料ステージ8はメインコントロール
部30からの指示によりAFコントロール部33が最下
限まで下降させている。
から、現在光路中に挿入されている対物レンズを確認
し、その対物レンズを表示部52の一覧表56から捜し
て指定する。対物レンズの指定は、図示しない操作ツマ
ミを回すことにより対物一覧表56の指示表示部57を
上下(図示A,B方向)へ移動させて指定する。
R が押されたならば、対物一覧表56において指示表示
部57で指示されている対物レンズのWDを、ROM4
6に格納している図10のテーブルデータから読出し、
図12に示す別のテーブルデータを更新する。この図1
2に示すテーブルデータは、レボルバー10の対物取付
け穴の各位置に対応してWDを記憶しておくテーブルで
ある。このテーブルデータは不揮発性メモリ50に記憶
されている。
REVO1〜REVO7 まで繰り返すことにより、初期設定が終
了する。ここで、不揮発性メモリ50のテーブルデータ
に設定したデータは電源遮断後も保持されることから、
レボルバー10に装着されている対物レンズが変わらな
い限り再設定の必要はない。
9の画面においてスイッチEND を押す。スイッチEND が
押されたならば、再び図8に示す画面を表示部52に表
示させて、実際の観察を可能な状態になる。
2に示すように観察光路中に対物レンズ9bが挿入され
ているものとする。対物レンズ9bのWDは図7に示す
ように9b′であり、試料ステージ9bはWD9b′の
間を自由に上下動できる。
ジ8が合焦点Pよりも対物レンズ側(P′)にあるとす
る。この場合に、対物レンズ9bから対物レンズ9aへ
交換するのは問題ない。しかし、対物レンズ9bから対
物レンズ9cへ交換する場合に、試料ステージ8の位置
をそのままにしていたのでは、対物レンズ9cが試料ス
テージ8(観察試料S)に衝突する。
する対物レンズを交換すべく図8に示す画面を使ってス
イッチOB1〜スイッチOB7のいずれかが押された場合、
現在のレボルバー10で観察光路上に挿入されている対
物取付け穴位置と、交換指定先の対物レンズの対物取付
け穴を認識し、その変換過程で通過する対物レンズのW
Dデータを図12のテーブルデータより参照する。この
参照したWDデータの中で最も大きいWDに対応した距
離だけ試料ステージ8を下降させる。例えば、図12に
おける対物取付け穴位置1番から対物取付け穴位置3番
へ移動する場合であれば、交換過程で通過する対物レン
ズは交換先及び交換前の対物レンズを含めれば3本(対
物取付け穴1,2,3)となる。この3本の対物レンズ
の中で一番大きいWDを持つ対物レンズは対物取付け穴
2番に取付けられる対物レンズである。よって、対物取
付け穴2番に対応したWD(100)だけ試料ステージ
8を降下させる。そして試料ステージ8をWD(10
0)だけ降下させた後に、レボルバー10を回転させて
対物レンズの交換を行い、対物交換終了後に試料ステー
ジ8を元の位置へ戻す。これにより対物レンズ交換動作
を終了する。
ら対物レンズ9cへ交換する場合、対物交換後に試料ス
テージ8を元の位置に戻すと試料ステージ8と対物レン
ズ9cとが干渉する。しかし、通常は、WDの短い対物
レンズは、図14に示すように対物レンズの先端に図示
矢印A方向の押圧力を受けると内側へ縮むような機構が
備えられている。従って、対物レンズ9cの先端で観察
試料Sとが衝突しても試料Sを破損することがない。
ームコントロール部34に対して対物交換指示を出し、
対物レンズ9を交換している間に他のコントロール部が
不用意に動作することを防止するために、フレームコン
トロール部34を除く、コントロール部32,33,3
5〜39に動作禁止指令を出している。
ジ8の移動時には、AFコントロール部33にのみ動作
指令が送られ、不用意にレボルバー10が動作しないよ
うにフレームコントロール部34には動作禁止指示が出
されている。
現在観察光路中の対物取付け穴の位置を認識している
が、対物取付け穴の位置認識手段としては公知の検知手
段を用いている。例えば特願平2−65399号に記載
の方式を用いることができる。
10に取付けられた各対物レンズのWDを各対物取付け
穴に対応させて記憶し、対物レンズの交換指示を受ける
と交換過程に存在する対物レンズのWDのうち最大のW
Dだけ試料ステージ8を退避し、かつ対物交換終了後に
試料ステージ8を元の位置へ戻すようにしたので、対物
レンズの交換に伴う試料ステージ8の移動量を必要最小
限に抑えることができ、対物レンズ交換動作時間を短縮
できると共に試料の破損も防止することができる。ま
た、焦準部の不必要な駆動がなくなり、焦準部の機械的
磨耗を抑制でき、装置の寿命を延ばすことができる。さ
らに、焦準部の駆動が減ることから埃の発生を低減する
こともできる。
る。本実施例の顕微鏡装置は、ハードウエアの構成は前
述した第1実施例と同様である。本実施例は対物レンズ
毎に持つステージ退避量を対物レンズの焦点深度に依存
させた構成となっている。ここで、焦点深度とは人間の
目でピントがあっていると感じられる上限位置から下限
位置までの距離であり、本来のピント位置,即ちジャス
ピン位置はその中間点に位置していることになる。
通り、ステージ退避量をレボルバー10の対物取付け穴
位置別の対物レンズのWDとしていた。この方式によれ
ば試料ステージ8がどの位置にあっても試料の保護が可
能であり、かつ従来方式よりも高速化が図れた。しか
し、実際には顕微鏡操作中はピント位置近くにステージ
位置があることが多い。特に、対物レンズを切替えなが
ら観察している場合は、ほとんどピント位置にあると仮
定してもよい。
に示すテーブルに代えて、図15に示すテーブルデータ
を利用して試料ステージ8のステージ退避動作を行わせ
るものである。図15に示すテーブルデータは、使用可
能な対物レンズとそれら各対物レンズの焦点深度とを対
応させて記憶している。この図15に示すテーブルデー
タはメインコントロール部30のROM46に記憶して
おく。また、第1実施例と同様にして行われる初期設定
において、不揮発性メモリ50に図16に示す如きテー
ブルデータを作成する。
ている場合、試料ステージ8は図17に示す各対物レン
ズ毎に焦点深度9a′′,9b′′,9c′′…N′′
のいずれかの範囲にあることになる。例えば、光路中に
対物レンズ9bが挿入されているとし、試料ステージ8
が対物レンズ9bの焦点深度ぎりぎりの位置P′′にあ
る場合を考える。このような状態から対物レンズ9aへ
交換する場合は、第1実施例と同様に問題ない。しか
し、対物レンズ9cへ変換する場合は、試料ステージ8
と対物レンズ9cとが対物交換中に衝突する。
る対物取付け穴位置と交換指定先の対物レンズの対物取
付け穴位置とを認識し、その交換過程で通過する各対物
レンズの焦点深度のうち最大のものを求め、その最大の
焦点深度に合わせてステージ退避量を決定する。ステー
ジ退避量は次のようにして決定する。
の中間位置(ピント位置)まで試料ステージ8を降下さ
せれば、試料ステージ8と対物レンズとの衝突を回避さ
せることができる。よって、以下の式(1)によりステ
ージ退避量を求める。
cへの対物交換であれば、両者の焦点深度の関係は9
b′′>9c′′であるから、交換過程での焦点深度の
最大値は9b′′となる。よって、ステージ退避量は9
b′′/2ということになる。このようにして算出され
る距離だけステージ退避を行うことで、最悪焦点深度の
上限位置(P′′)に試料ステージが位置していた場合
でも対物交換中の試料ステージと対物レンズとの衝突を
回避できる。
交換時のステージ退避量を変換過程にある対物レンズの
焦点深度に依存させたことにより、第1実施例よりもス
テージ退避量を少なく抑えることができ、実際の使用上
で問題ないレベルで試料の保護が行える。
る。本実施例の顕微鏡装置は、ハードウエアの構成は前
述した第1実施例と同様である。本実施例は、レボルバ
ー10に取付けられる対物レンズのWDと焦点深度の双
方を利用してステージ退避量を決定する例である。
に、図10に示す構成のテーブルデータと、図15に示
す構成のテーブルデータとをそれぞれ格納する。そして
初期設定において、CPU45が不揮発性メモリ50に
図12及び図16に示すようなテーブルデータをそれぞ
れ構築する。
示している図8の画面に対しスイッチOB1〜OB7を使っ
て交換先対物レンズが指定される。CPU45はSW入
力部51の押下げ位置と表示部52の表示データとから
対物レンズの交換を指示するスイッチOBが押されたこと
を認識する。
されている対物レンズが合焦位置にあるかどうか確認す
べく、専用シリアルバス31を使用してAFコントロー
ル部33に問い合わせる。
受光素子21からのデータにより周知のコントラスト
法、又は瞳分割法、或いは光路差方式等のオートフォー
カス機構が設けられており、現在の試料ステージ8の位
置を常に把握しているようになっている。AFコントロ
ール部33は、専用シリアルバス31からのメインコン
トロール部30からの問い合わせに対して試料ステージ
8の位置が合焦位置にあるか否かの応答をメインコント
ロール部30へ返す。
は、AFコントロール部33からの応答により、試料ス
テージ8が合焦位置にある場合には焦点深度に依存した
図16のテーブルデータを参照して対物交換時のステー
ジ退避量を(1)式に基づいて決定する。また、試料ス
テージ8が合焦位置にない場合にはWDに依存した図1
2のテーブルデータを参照して対物交換時のステージ退
避量を決定する。ステージ退避量の決定の方法について
は、後者の場合は前述した第1実施例と同様であり、前
者の場合は第2実施例と同様である。
たならば、それ以降の処理は前記第1実施例又は第2実
施例と同様である。このように本実施例によれば、試料
ステージ8が合焦位置にない場合には安全性を考慮して
WDに依存したテーブルデータを参照してステージ退避
量を求め、試料ステージ8が合焦位置にある場合には高
速化を優先して焦点深度に依存したテーブルデータを参
照してステージ退避量を求めるようにしたので、第1実
施例と同様の試料の安全性と第2実施例と同様の高速性
を同時に実現できる。
る。本実施例の顕微鏡装置は、ハードウエアの構成は前
述した第1実施例と同様である。本実施例は、ステージ
退避量の決定処理において、新たな制御機能を付加した
例である。
て、対物交換時に交換過程にある全ての対物レンズのう
ち最も大きいWD又は焦点深度によりステージ退避量を
決定している。例えば、図13に示すところの対物レン
ズ9cが光路中に挿入されている状態で、他の対物レン
ズ9aを指定するスイッチOB(図8の画面において)が
押されたとする。この場合にはWD9b′又は9b′′
/2がステージ退避量となる。
ンズから焦点深度の深い対物レンズへ交換した場合、又
はWDの小さい対物レンズからWDの大きい対物レンズ
へ交換した場合には、試料ステージ8を退避動作させな
くても試料を破損する恐れはない。
うな組み合わせを検出した場合には、AFコントロール
部33へのステージ駆動指示は行わず、フレームコント
ロール部34へのレボルバー10の回転指示のみを出力
する。
に動作させる。例えば、図17に示す関係において、対
物レンズ9aから対物レンズ9cを通過して対物レンズ
9bに至る変換動作の場合、現在光路中に挿入されてい
るのが対物レンズ9aで交換先が対物レンズ9bである
ので、上記論理によればステージ退避動作は不要という
ことになる。しかし、対物レンズ9cを通過する時に試
料ステージ8(試料)と衝突する可能性が高い。従っ
て、このような不具合が発生する組み合わせの場合に
は、前述したいずれかの実施例に従いステージ退避動作
をとるようにする。
避動作が実質的に不要な場合にはステージ退避動作を行
わないようにしたので、不必要な焦準部の駆動を削減で
き、焦準部の機械的寿命を延ばすことができると共に、
埃の発生を抑えることもできる。
テージ移動型のものを用いているが、レボルバ上下機構
のものに適用することもできる。また、入力手段及び表
示手段として透明のタッチパネルを利用しているが、そ
の他のものを用いることもできる。本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で種々変形実施可能である。
物レンズを交換する場合に焦準部の退避動作における不
必要な駆動を無くすことができ、機械的磨耗が減少して
寿命を延ばすことができると共に埃の発生も抑えること
ができ、さらに操作性,安全性を改善できる顕微鏡装置
を提供できる。
成図である。
図である。
ル部に共通の機能ブロック図である。
ロール部の機能ブロック図である。
れた表示部の平面図である。
る。
図である。
現われた表示部の平面図である。
け穴位置に取り付けられた対物レンズのWDとのテーブ
ルデータを示す図である。
明するための図である。
ある。
示す図である。
け穴位置に取り付けられた対物レンズの焦点深度とのテ
ーブルデータを示す図である。
を説明するための図である。
ー、30…メインコントロール部、33…AFコントロ
ール部、34…フレームコントロール部、42…駆動回
路、45…CPU,46…ROM,47…RAM,51
…SW入力部、52…表示部。
Claims (3)
- 【請求項1】 複数の対物レンズを保持し観察光路内に
挿入すべき対物レンズを切換える対物切換機構と、前記
観察光路内に挿入された対物レンズに対向する位置に設
けられ観察試料を載置するための試料ステージと、前記
試料ステージ及び前記対物切換機構の少なくとも一方を
光軸方向へ移動する電動焦準機構とを有する顕微鏡装置
において、 前記各対物レンズ毎に前記試料ステージ又は前記対物切
換機構の退避量データが記憶された記憶手段と、 前記対物切換機構に対して対物レンズの切り換えを指示
するための交換対物指示手段と、前記対物切換機構及び前記電動焦準機構を駆動制御する
制御手段と、 前記交換対物指示手段から対物レンズの切り換えを指示
されたときに、少なくとも切り換え先の対物レンズの前
記退避量データに基づいて前記電動焦準機構の退避距離
を決定する退避量決定手段とを備え、前記制御手段は、前記対物切換機構の切換動作の開始前
に 前記退避量決定手段で決定された退避距離だけ前記観
察試料と前記対物レンズとの間隔を離す方向に前記電動
焦準機構を駆動して、前記対物切換機構の切換動作を行
ない、当該切換動作の完了後に前記電動焦準機構を再び
駆動して元の位置まで復帰させるように制御することを
特徴とする顕微鏡装置。 - 【請求項2】 前記記憶手段は、前記退避量データとし
て各対物レンズの動作距離または焦点深度の少なくとも
一方を記憶したことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡
装置。 - 【請求項3】 前記退避量決定手段は、切り換え先と切
り換え前の各対物レンズを含む切り換え過程で通過する
全ての対物レンズの中で、動作距離または焦点深度が最
も大きな対物レンズの前記退避量データに基づいて前記
退避距離を決定することを特徴とする請求項2記載の顕
微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31508393A JP3396070B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31508393A JP3396070B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07168101A JPH07168101A (ja) | 1995-07-04 |
JP3396070B2 true JP3396070B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=18061215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31508393A Expired - Fee Related JP3396070B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3396070B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2322967A1 (en) | 2009-11-12 | 2011-05-18 | Olympus Corporation | Microscope system |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005266083A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 観察装置及び観察方法 |
JP4267030B2 (ja) | 2006-12-26 | 2009-05-27 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置、コントローラ、及びプログラム |
EP2378341A1 (de) | 2010-04-15 | 2011-10-19 | Mmi Ag | Verfahren zur kollisionsfreien Positionierung eines Mikromanipulationswerkzeugs |
JP5969808B2 (ja) | 2012-04-27 | 2016-08-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
-
1993
- 1993-12-15 JP JP31508393A patent/JP3396070B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2322967A1 (en) | 2009-11-12 | 2011-05-18 | Olympus Corporation | Microscope system |
US8649088B2 (en) | 2009-11-12 | 2014-02-11 | Olympus Corporation | Microscope system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07168101A (ja) | 1995-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6674574B1 (en) | Focusing system for a microscope and a reflected illumination fluorescence microscope using the focusing system | |
US20040113043A1 (en) | Autofocus system and microscope | |
JPH08211295A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JPH0430565B2 (ja) | ||
WO2020066042A1 (ja) | 顕微鏡システム、投影ユニット、及び、画像投影方法 | |
JP3447357B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
EP1326116B1 (en) | Variable magnification microscope | |
JP3396070B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JPH1096848A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
JP3917952B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JP3497229B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JP4477181B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP4910382B2 (ja) | 顕微鏡 | |
JP5909902B2 (ja) | オートフォーカス装置、顕微鏡装置 | |
JP4873382B2 (ja) | 顕微鏡装置及び該顕微鏡装置の制御方法 | |
JP2007148161A (ja) | オートフォーカス装置とこれを有する顕微鏡 | |
JP3670331B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP3953591B2 (ja) | 自動焦点顕微鏡 | |
JPH1068888A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JPH08179218A (ja) | 顕微鏡システム | |
EP1972982B1 (en) | Microscope equipped with automatic focusing mechanism and method of adjusting the same | |
JP2003195176A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2000098256A (ja) | 顕微鏡の焦準装置 | |
JP4304548B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2001296467A (ja) | 自動焦点検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |