JP3393056B2 - スローアウェイチップ類の検査装置 - Google Patents
スローアウェイチップ類の検査装置Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスローアウェイチッ
プ類の検査装置に関する。
プ類の検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】切削加工要素として超硬合金などからな
るスローアウェイチップ(以下チップと称す)が汎用さ
れている。かかるチップを量産した場合、製品の管理の
ため、外観および寸法を検査する必要がある。かかるチ
ップの検査法として、従来では、外観については、人手
で整列させて目視検査を行い、折れたり欠けたりしてい
るチップをふるいでふるい分けており、また、寸法につ
いては、抜き取りで検査を行い、不合格品が出た場合に
は全数を寸法選別するという方法が一般に採用されてい
た。
るスローアウェイチップ(以下チップと称す)が汎用さ
れている。かかるチップを量産した場合、製品の管理の
ため、外観および寸法を検査する必要がある。かかるチ
ップの検査法として、従来では、外観については、人手
で整列させて目視検査を行い、折れたり欠けたりしてい
るチップをふるいでふるい分けており、また、寸法につ
いては、抜き取りで検査を行い、不合格品が出た場合に
は全数を寸法選別するという方法が一般に採用されてい
た。
【0003】しかし、外観の良否を人手で目視検査する
には熟練を要するとともに時間がかかり、かつ、不良品
を見落としする可能性が高い点、不良品について小さな
破片はふるい分けることができるが半分程度に折れたチ
ップはふるい分けられないという問題があった。また、
寸法不良を抜き取り検査で行なうため、不良を見落とす
危険が非常に大きいという問題があった。
には熟練を要するとともに時間がかかり、かつ、不良品
を見落としする可能性が高い点、不良品について小さな
破片はふるい分けることができるが半分程度に折れたチ
ップはふるい分けられないという問題があった。また、
寸法不良を抜き取り検査で行なうため、不良を見落とす
危険が非常に大きいという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
問題点を解消するために創案されたもので、その目的と
するところは、チップないしこれに類する物品の外観検
査および寸法検査を自動的に能率よくしかも精度よく実
施することができるスローアウェイチップの検査装置を
提供することにある。
問題点を解消するために創案されたもので、その目的と
するところは、チップないしこれに類する物品の外観検
査および寸法検査を自動的に能率よくしかも精度よく実
施することができるスローアウェイチップの検査装置を
提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の、スローアウェイチップ類の検査装置は、チッ
プ供給機からの排出経路に、チップの姿勢を光学的に検
出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段とを備えたチップ整列検査機構を設け、該チップ
整列検査機構よりも下流の経路には、チップの公差上限
寸法の検出用切欠きを有する昇降自在なゲートとこの検
出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する手
段とを備えた形状検査用の第1検査機構を設け、該第1
検査機構の下流の経路には、レーザー帯の投光器と受光
器を備えた光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経
路外に排除する手段とを備えた寸法検査用の第2検査機
構を設けたことを特徴としている。
本発明の、スローアウェイチップ類の検査装置は、チッ
プ供給機からの排出経路に、チップの姿勢を光学的に検
出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段とを備えたチップ整列検査機構を設け、該チップ
整列検査機構よりも下流の経路には、チップの公差上限
寸法の検出用切欠きを有する昇降自在なゲートとこの検
出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する手
段とを備えた形状検査用の第1検査機構を設け、該第1
検査機構の下流の経路には、レーザー帯の投光器と受光
器を備えた光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経
路外に排除する手段とを備えた寸法検査用の第2検査機
構を設けたことを特徴としている。
【0006】また、本発明は、前記第2検査機構よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第3検査機構を設けたことを特徴
としている。本発明は、前記第1検査機構と第2検査機
構の間にチップが連なって進行するのを防止するための
昇降自在なストッパー部材を備えたチップストッカーを
排しているものを含んでいる。
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第3検査機構を設けたことを特徴
としている。本発明は、前記第1検査機構と第2検査機
構の間にチップが連なって進行するのを防止するための
昇降自在なストッパー部材を備えたチップストッカーを
排しているものを含んでいる。
【0007】好適な態様の例を挙げると以下のとおりで
ある。チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学的に検
出する手段は、チップの先端部と後端部に対して光線を
照射して反射光を受光する2つの反射型光電スイッチで
あり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除する手段
が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配されたエア
ノズルである。また、第1検査機構は、ゲートがアクチ
ュエータにより経路上に下降されるようになっており、
検出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する
手段が、ゲート近傍上流に配されたエアノズルと、これ
の近傍にあってチップの進入を検知する光電スイッチで
ある。第2検査機構においては、投光器と受光器が前後
の経路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配
置されており、寸法不合格チップを経路外に排除する手
段が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである。
ある。チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学的に検
出する手段は、チップの先端部と後端部に対して光線を
照射して反射光を受光する2つの反射型光電スイッチで
あり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除する手段
が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配されたエア
ノズルである。また、第1検査機構は、ゲートがアクチ
ュエータにより経路上に下降されるようになっており、
検出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する
手段が、ゲート近傍上流に配されたエアノズルと、これ
の近傍にあってチップの進入を検知する光電スイッチで
ある。第2検査機構においては、投光器と受光器が前後
の経路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配
置されており、寸法不合格チップを経路外に排除する手
段が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである。
【0008】
【発明の実施の態様】以下本発明の実施例を添付図面に
基いて説明する。図1ないし図9は本発明によるスロー
アウェイチップの検査装置の一実施例を示している。1
は基床に設置された架台、2は架台1に取り付けられた
チップ供給機であり、検査対象のチップCを多数収容す
るボール2aとこれに振動を与えて移動させるための振
動部2bを有しており、ボール2aの内側壁には底側か
らチップCを登攀移動させるように螺旋状に経路2cが
設けられている。前記経路2cには直進フィーダ400
を備えた第1経路4aが連接され,この第1経路4aの
端末にはわずかなギャップをおいて第2経路4bが直列
状に設けられ、第2経路4bにも直進フィーダ410が
設けられ、また第2経路4bの端末には検査済み良品チ
ップC’を収容するボックスBが配置されている。
基いて説明する。図1ないし図9は本発明によるスロー
アウェイチップの検査装置の一実施例を示している。1
は基床に設置された架台、2は架台1に取り付けられた
チップ供給機であり、検査対象のチップCを多数収容す
るボール2aとこれに振動を与えて移動させるための振
動部2bを有しており、ボール2aの内側壁には底側か
らチップCを登攀移動させるように螺旋状に経路2cが
設けられている。前記経路2cには直進フィーダ400
を備えた第1経路4aが連接され,この第1経路4aの
端末にはわずかなギャップをおいて第2経路4bが直列
状に設けられ、第2経路4bにも直進フィーダ410が
設けられ、また第2経路4bの端末には検査済み良品チ
ップC’を収容するボックスBが配置されている。
【0009】5は前記チップ供給機2の経路2cの出口
領域に設けたチップ整列検査機構である。経路2cはチ
ップCが移動する平坦な路面20の一側に、所要高さの
側壁21を立設している。このチップ整列検査機構5
は、チップCの姿勢(ないし方向)を光学的に検知して
一定以外の姿勢(ないし方向)のチップCを除外してチ
ップ供給機2に戻すためのものである。
領域に設けたチップ整列検査機構である。経路2cはチ
ップCが移動する平坦な路面20の一側に、所要高さの
側壁21を立設している。このチップ整列検査機構5
は、チップCの姿勢(ないし方向)を光学的に検知して
一定以外の姿勢(ないし方向)のチップCを除外してチ
ップ供給機2に戻すためのものである。
【0010】この実施例においては、チップ整列検査機
構5は、図3のように、チップ供給機2の外壁に固定し
たブラケット50に所要の傾斜角度で固定した上流側光
電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bとを有してい
る。それら上流側光電スイッチ5aと反射型の下流側光
電スイッチ5bは、おのおのチップCの後端面c2と先
端傾斜面c1とにそれぞれ所要の角度で光線を入射する
投光部51と、後端面c2と先端傾斜面c1とから反射
された光線を受ける受光部52とを有した反射型のもの
が用いられており、少なくとも下流側光電スイッチ5b
はチップの形状に応じてブラケット50に対する取付角
度が可変となっている。
構5は、図3のように、チップ供給機2の外壁に固定し
たブラケット50に所要の傾斜角度で固定した上流側光
電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bとを有してい
る。それら上流側光電スイッチ5aと反射型の下流側光
電スイッチ5bは、おのおのチップCの後端面c2と先
端傾斜面c1とにそれぞれ所要の角度で光線を入射する
投光部51と、後端面c2と先端傾斜面c1とから反射
された光線を受ける受光部52とを有した反射型のもの
が用いられており、少なくとも下流側光電スイッチ5b
はチップの形状に応じてブラケット50に対する取付角
度が可変となっている。
【0011】前記下流側光電スイッチ5bの近傍下流の
経路側壁21には、姿勢不良のチップC”を経路外に排
出する手段として、路面20の所要高さレベルに噴孔を
臨ませたエアノズル5cが取り付けられている。前記上
流側光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bは、架
台1の下部に設けた制御盤内のコントローラDに電気的
に接続されている。コントローラDはシーケンサーとリ
レー、タイマー、スイッチ類ないしはCPUおよび画像
処理装置類を内蔵しており、所定のプログラムでチップ
整列検査機構5を含む後述する各機構の制御指令を発す
るようになっている。図9はこうした関係を模式的に示
している。
経路側壁21には、姿勢不良のチップC”を経路外に排
出する手段として、路面20の所要高さレベルに噴孔を
臨ませたエアノズル5cが取り付けられている。前記上
流側光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bは、架
台1の下部に設けた制御盤内のコントローラDに電気的
に接続されている。コントローラDはシーケンサーとリ
レー、タイマー、スイッチ類ないしはCPUおよび画像
処理装置類を内蔵しており、所定のプログラムでチップ
整列検査機構5を含む後述する各機構の制御指令を発す
るようになっている。図9はこうした関係を模式的に示
している。
【0012】図9のようにエアノズル5cはホース5
c’を介してエアコントロールユニットEに接続されて
いる。エアコントロールユニットEはたとえば架台1の
下部に設けられており、エアコンプレッサと減圧弁のほ
かに複数の電磁弁を有し、それぞれの電磁弁は前記コン
トローラDからの信号で作動され、当該チップ整列検査
機構5のエアノズル5cを含む後述する各機構のエアノ
ズルおよびアクチュエータを発停されるようになってい
る。このチップ整列検査機構5においては、コントロー
ラDは、上流側光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ
5bの双方の受光部がオンとなったときに、所定時間た
とえば1秒間だけ電磁弁を作動してエアノズル5cへの
エアの供給を停止するようなシーケンスが構築されてい
る。
c’を介してエアコントロールユニットEに接続されて
いる。エアコントロールユニットEはたとえば架台1の
下部に設けられており、エアコンプレッサと減圧弁のほ
かに複数の電磁弁を有し、それぞれの電磁弁は前記コン
トローラDからの信号で作動され、当該チップ整列検査
機構5のエアノズル5cを含む後述する各機構のエアノ
ズルおよびアクチュエータを発停されるようになってい
る。このチップ整列検査機構5においては、コントロー
ラDは、上流側光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ
5bの双方の受光部がオンとなったときに、所定時間た
とえば1秒間だけ電磁弁を作動してエアノズル5cへの
エアの供給を停止するようなシーケンスが構築されてい
る。
【0013】6は前記チップ整列検査機構5よりも下流
の第1経路4aに設けられた第1検査機構であり、チッ
プCが異形状かどうかや異物付着の有無などの形状と大
まかな寸法(大きすぎ)を検査するためのものである。
第1経路4aもチップCが移動する平坦な路面40の一
側に所要高さの側壁41を立設しており、第1検査機構
6は、昇降自在なゲート6aと、適合しなかった形状不
良のチップC”を第1経路4a外に排除するエアノズル
6cと、該エアノズル6bから排除された不良チップ
C”を収容する回収箱6eとを有している。
の第1経路4aに設けられた第1検査機構であり、チッ
プCが異形状かどうかや異物付着の有無などの形状と大
まかな寸法(大きすぎ)を検査するためのものである。
第1経路4aもチップCが移動する平坦な路面40の一
側に所要高さの側壁41を立設しており、第1検査機構
6は、昇降自在なゲート6aと、適合しなかった形状不
良のチップC”を第1経路4a外に排除するエアノズル
6cと、該エアノズル6bから排除された不良チップ
C”を収容する回収箱6eとを有している。
【0014】図4は第1検査機構6の詳細を示してお
り、ゲート6aは路面40を横切るような幅の板または
ブロックからなり、側壁41に対向する面と路面40に
面する側に、チップCの幅Wと高さHの寸法公差上限に
則した形状寸法の検出用切欠き60を形成している。前
記ゲート6aは、第1経路4aから立ち上がるように設
けたブラケット61に固定したアクチュエータたとえば
エアシリンダ6bの作動部62に連結されることにより
昇降自在となっており、常態においてゲート6aは下降
位置に置かれる。そして、エアノズル6cは、このゲー
ト6aの近傍上流の側壁41に、噴孔が路面20の所要
高さレベルに臨むように取り付けられている。また、こ
のエアノズル6bの近傍上流には、チップCが第1検査
機構6に進入したことを検出するための光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ6dが対向配置されている。
なお、エアノズル6cはホース6c’を介してエアコン
トロールユニットEに接続されている。
り、ゲート6aは路面40を横切るような幅の板または
ブロックからなり、側壁41に対向する面と路面40に
面する側に、チップCの幅Wと高さHの寸法公差上限に
則した形状寸法の検出用切欠き60を形成している。前
記ゲート6aは、第1経路4aから立ち上がるように設
けたブラケット61に固定したアクチュエータたとえば
エアシリンダ6bの作動部62に連結されることにより
昇降自在となっており、常態においてゲート6aは下降
位置に置かれる。そして、エアノズル6cは、このゲー
ト6aの近傍上流の側壁41に、噴孔が路面20の所要
高さレベルに臨むように取り付けられている。また、こ
のエアノズル6bの近傍上流には、チップCが第1検査
機構6に進入したことを検出するための光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ6dが対向配置されている。
なお、エアノズル6cはホース6c’を介してエアコン
トロールユニットEに接続されている。
【0015】前記アクチュエータ6bはコントローラD
からの指令で駆動されるようになつている。また、透過
型光電スイッチ6dはコントローラDとタイマーを介し
て電気的に接続されており、透過型光電スイッチ6dか
らのスイッチオフ信号が入力され、その時間が一定時間
とえば1秒以内であるときには、コントローラDからエ
アコントロールユニットEの電磁弁をオフに保持してエ
アノズル6cへエアの供給を停止させておき、透過型光
電スイッチ6dのスイッチオフ時間が異常の場合たとえ
ば3秒以上のときには、コントローラDからの指令でア
クチュエータ6bが上昇側に作動し、かつ電磁弁がオン
作動してエアノズル6cへエアを供給するようなシーム
ンスが構築されている。
からの指令で駆動されるようになつている。また、透過
型光電スイッチ6dはコントローラDとタイマーを介し
て電気的に接続されており、透過型光電スイッチ6dか
らのスイッチオフ信号が入力され、その時間が一定時間
とえば1秒以内であるときには、コントローラDからエ
アコントロールユニットEの電磁弁をオフに保持してエ
アノズル6cへエアの供給を停止させておき、透過型光
電スイッチ6dのスイッチオフ時間が異常の場合たとえ
ば3秒以上のときには、コントローラDからの指令でア
クチュエータ6bが上昇側に作動し、かつ電磁弁がオン
作動してエアノズル6cへエアを供給するようなシーム
ンスが構築されている。
【0016】7は前記第1検査機構6の下流の第1経路
4aと第2経路4bとの境界領域に設けられた第2検査
機構であり、チップCの寸法すなわち、幅寸法Wないし
は高さ寸法Hが公差内に収まっているかを測定検査する
ための手段である。この第2検査機構7は、図6(a)
(b)に示されており、図6(a)は、チップCの幅寸
法Wを測定するため、第1経路4aと第2経路4bとの
分離隙間43に経路上方から帯状レーザー光Lを投光す
るレーザー投光器7aと、経路下方に対向状に配され前
記帯状レーザー光Lを受光するレーザー受光器7bとを
備えている。図6(b)では、チップCの高さ寸法Hを
測定するため、前記レーザー投光器7aを経路幅方向一
側に設け、他側に対向状にレーザー受光器7bを配して
いる。
4aと第2経路4bとの境界領域に設けられた第2検査
機構であり、チップCの寸法すなわち、幅寸法Wないし
は高さ寸法Hが公差内に収まっているかを測定検査する
ための手段である。この第2検査機構7は、図6(a)
(b)に示されており、図6(a)は、チップCの幅寸
法Wを測定するため、第1経路4aと第2経路4bとの
分離隙間43に経路上方から帯状レーザー光Lを投光す
るレーザー投光器7aと、経路下方に対向状に配され前
記帯状レーザー光Lを受光するレーザー受光器7bとを
備えている。図6(b)では、チップCの高さ寸法Hを
測定するため、前記レーザー投光器7aを経路幅方向一
側に設け、他側に対向状にレーザー受光器7bを配して
いる。
【0017】そして、いずれの場合にも、適合しなかっ
た寸法不良チップC”を経路外に排除するため、レーザ
ー投光器7aとレーザー受光器7bの近傍下流の第2経
路4bには、エアノズル7cと、該エアノズル7cから
排除された寸法不良チップC”を収容する回収箱7eと
を設け、かつ、エアノズル7cの作動タイミングを検出
するため、エアノズル7cと送り方向で略同一位置に光
電スイッチたとえば透過型光電スイッチ7dを対向配置
している。なお、エアノズル7cはホース7c’を介し
てエアコントロールユニットEに接続されている。
た寸法不良チップC”を経路外に排除するため、レーザ
ー投光器7aとレーザー受光器7bの近傍下流の第2経
路4bには、エアノズル7cと、該エアノズル7cから
排除された寸法不良チップC”を収容する回収箱7eと
を設け、かつ、エアノズル7cの作動タイミングを検出
するため、エアノズル7cと送り方向で略同一位置に光
電スイッチたとえば透過型光電スイッチ7dを対向配置
している。なお、エアノズル7cはホース7c’を介し
てエアコントロールユニットEに接続されている。
【0018】前記レーザー投光器7aとレーザー受光器
7bは、これらの間にチップCが介在することによりレ
ーザー帯を遮光した量により寸法測定を行なうものであ
り、レーザー受光器7bの出力側はコントローラDに電
気的に接続され、該受光器またはコントローラにて遮光
量を電圧化し、コントローラDではデジタルメーターリ
レーまたはCPUにて寸法(mm)に換算し、かつその
寸法が公差以内かを判定するようになっている。そし
て、公差以内であったときには、コントローラDからの
信号によりエアコントロールユニットEの電磁弁をオフ
に保持してエアノズル7cからのエアの噴出を停止させ
ておき、公差外であったときには、前記透過型光電スイ
ッチ7dからの信号によりコントローラDから電磁弁を
オン作動してエアノズル7cへエアを供給するようなシ
ームンスが組まれている。
7bは、これらの間にチップCが介在することによりレ
ーザー帯を遮光した量により寸法測定を行なうものであ
り、レーザー受光器7bの出力側はコントローラDに電
気的に接続され、該受光器またはコントローラにて遮光
量を電圧化し、コントローラDではデジタルメーターリ
レーまたはCPUにて寸法(mm)に換算し、かつその
寸法が公差以内かを判定するようになっている。そし
て、公差以内であったときには、コントローラDからの
信号によりエアコントロールユニットEの電磁弁をオフ
に保持してエアノズル7cからのエアの噴出を停止させ
ておき、公差外であったときには、前記透過型光電スイ
ッチ7dからの信号によりコントローラDから電磁弁を
オン作動してエアノズル7cへエアを供給するようなシ
ームンスが組まれている。
【0019】8,8’は前記第2検査機構7の下流に設
けられた第3検査機構であり、チップCの欠けの有無、
表面性状(異物の付着、くぼみ等)の部分的形状不良を
検出するためのものである。該第3検査機構8,8’
は、図1のように、上流側と下流側でレンズ80,80
を反対方向に向けた第1,第2のCCDカメラ8a,8
bを備え、第2経路4bを移動するチップCの上面c3
と下面c4を撮影するようになっている。そして、それ
らCCDカメラ8a,8bの下流近傍の第2経路4bに
は、それぞれエアノズル8cと、該エアノズル8cから
排除された不良チップC”を収容する回収箱8eとが設
けられており、かつ、エアノズル8cの作動タイミング
を検出するため、エアノズル8cと送り方向で略同一位
置には、光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ8d
が対向配置されている。なお、エアノズル8cはホース
8c’を介してエアコントロールユニットEに接続され
ている。
けられた第3検査機構であり、チップCの欠けの有無、
表面性状(異物の付着、くぼみ等)の部分的形状不良を
検出するためのものである。該第3検査機構8,8’
は、図1のように、上流側と下流側でレンズ80,80
を反対方向に向けた第1,第2のCCDカメラ8a,8
bを備え、第2経路4bを移動するチップCの上面c3
と下面c4を撮影するようになっている。そして、それ
らCCDカメラ8a,8bの下流近傍の第2経路4bに
は、それぞれエアノズル8cと、該エアノズル8cから
排除された不良チップC”を収容する回収箱8eとが設
けられており、かつ、エアノズル8cの作動タイミング
を検出するため、エアノズル8cと送り方向で略同一位
置には、光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ8d
が対向配置されている。なお、エアノズル8cはホース
8c’を介してエアコントロールユニットEに接続され
ている。
【0020】前記各CCDカメラ8a,8bの出力部は
画像処理装置Fに電気的に接続され、画像処理装置Fは
コントローラDに接続されている。該画像処理装置Fは
CCDカメラ8a,8bによって撮影された撮像を取り
込むとともに、暗明を図8(a)(b)のように白黒画
面に置き換え処理して正常な面を白く、欠けなどのある
場合にはその部分を黒く表示する機能を少なくとも有し
ている。コントローラDは黒の面積を正常なチツプの面
積と比較し、あらかじめ入力してある設定量よりも多か
どうかを判定する回路を有し、かつ設定量よりも黒の面
積が多い場合には、前記透過型光電スイッチ8eの信号
の入力を待って、電磁弁をオン作動させ、エアノズル8
cへエアを供給するシームンスが組まれている。
画像処理装置Fに電気的に接続され、画像処理装置Fは
コントローラDに接続されている。該画像処理装置Fは
CCDカメラ8a,8bによって撮影された撮像を取り
込むとともに、暗明を図8(a)(b)のように白黒画
面に置き換え処理して正常な面を白く、欠けなどのある
場合にはその部分を黒く表示する機能を少なくとも有し
ている。コントローラDは黒の面積を正常なチツプの面
積と比較し、あらかじめ入力してある設定量よりも多か
どうかを判定する回路を有し、かつ設定量よりも黒の面
積が多い場合には、前記透過型光電スイッチ8eの信号
の入力を待って、電磁弁をオン作動させ、エアノズル8
cへエアを供給するシームンスが組まれている。
【0021】9は前記前記第1検査機構6と第2検査機
構7の間の第1経路4aに設けられた第1チップストッ
カーであり、第1検査機構6を通過したチップCが前後
接触したまま第2検査機構7に進入することによる誤作
動すなわち、前後2つのチップC,Cを1つのチップと
誤認して後側のチップCの寸法測定が行われないことを
防止するためのものである。9’は第1のCCDカメラ
8aと第2のCCDカメラ8bの間の第2経路4bに設
けられた第2チップストッカーであり、第1のCCDカ
メラ8aを通過したチップC,Cが前後接触したまま第
2のCCDカメラ8bに進入することによる誤作動すな
わち、前後2つのチップCを1つのチップと誤認し、白
黒部分の面積が変化して不良と判定されてしまうことを
防止するためのものである。
構7の間の第1経路4aに設けられた第1チップストッ
カーであり、第1検査機構6を通過したチップCが前後
接触したまま第2検査機構7に進入することによる誤作
動すなわち、前後2つのチップC,Cを1つのチップと
誤認して後側のチップCの寸法測定が行われないことを
防止するためのものである。9’は第1のCCDカメラ
8aと第2のCCDカメラ8bの間の第2経路4bに設
けられた第2チップストッカーであり、第1のCCDカ
メラ8aを通過したチップC,Cが前後接触したまま第
2のCCDカメラ8bに進入することによる誤作動すな
わち、前後2つのチップCを1つのチップと誤認し、白
黒部分の面積が変化して不良と判定されてしまうことを
防止するためのものである。
【0022】前記第1と第2のチップストッカー9,
9’は、図5のように、第1経路4aと第2経路4bの
路面40に当接可能なストッパ部90を突設したストッ
パ9aと、これを昇降するため、第2経路4bから立ち
上がるブラケツト91に固定されたアクチュエータたと
えばエアシリンダ9bとを備えており、ストッパ9a
は、ストッパ部90の上流側に、複数のチップCの進入
を許す大きさの空隙部92を形成している。常態におい
てストッパ9aはチップCの通過を許すように上昇され
ている。そして、前記ストッパ9aの近傍下流に相当す
る第2経路4bには、ストッパ開閉用の光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ9dが対向配置されている。
また、空隙部92の端部に対応する第2経路4bには、
満杯検出用の光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ
9eが対向配置されている。
9’は、図5のように、第1経路4aと第2経路4bの
路面40に当接可能なストッパ部90を突設したストッ
パ9aと、これを昇降するため、第2経路4bから立ち
上がるブラケツト91に固定されたアクチュエータたと
えばエアシリンダ9bとを備えており、ストッパ9a
は、ストッパ部90の上流側に、複数のチップCの進入
を許す大きさの空隙部92を形成している。常態におい
てストッパ9aはチップCの通過を許すように上昇され
ている。そして、前記ストッパ9aの近傍下流に相当す
る第2経路4bには、ストッパ開閉用の光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ9dが対向配置されている。
また、空隙部92の端部に対応する第2経路4bには、
満杯検出用の光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ
9eが対向配置されている。
【0023】前記アクチュエータ9bと透過型光電スイ
ッチ9dはコントローラDに電気的に接続されており、
チップCが第1チップストッカー9のストッパ部90の
下方を過ぎて透過型光電スイッチ9dを遮光することに
よりその信号がコントローラDに入力され、それにより
アクチュエータ9bが作動してストッパ部90が路面4
0に接近するようにストッパ9aを下降させ、そして、
チップCが進行して第2検査機構7の透過型光電スイッ
チ7eが作動したときに、その信号を受けたコントロー
ラDからの信号でアクチュエータ9bが作動してストッ
パ9aを上昇させるプログラムが構築されている。
ッチ9dはコントローラDに電気的に接続されており、
チップCが第1チップストッカー9のストッパ部90の
下方を過ぎて透過型光電スイッチ9dを遮光することに
よりその信号がコントローラDに入力され、それにより
アクチュエータ9bが作動してストッパ部90が路面4
0に接近するようにストッパ9aを下降させ、そして、
チップCが進行して第2検査機構7の透過型光電スイッ
チ7eが作動したときに、その信号を受けたコントロー
ラDからの信号でアクチュエータ9bが作動してストッ
パ9aを上昇させるプログラムが構築されている。
【0024】同様に、第2チップストッカー9’におい
ても、チップCが透過型光電スイッチ9dを遮光するこ
とによりその信号がコントローラDに入力され、それに
よりアクチュエータ9bが作動し、ストッパ部90が路
面40に接近するようにストッパ9aを下降させ、そし
て、チップCが進行して第2のCCDカメラ8bの透過
型光電スイッチ8dが作動したときに、その信号を受け
たコントローラDからの信号でアクチュエータ9bが作
動してストッパ9aを上昇させるプログラムが構築され
ている。
ても、チップCが透過型光電スイッチ9dを遮光するこ
とによりその信号がコントローラDに入力され、それに
よりアクチュエータ9bが作動し、ストッパ部90が路
面40に接近するようにストッパ9aを下降させ、そし
て、チップCが進行して第2のCCDカメラ8bの透過
型光電スイッチ8dが作動したときに、その信号を受け
たコントローラDからの信号でアクチュエータ9bが作
動してストッパ9aを上昇させるプログラムが構築され
ている。
【0025】前記のようにしてチップCは順次供給され
るが、ストッパ9aが下降している間にストッパ部90
で進行が止められた複数のチップCが空隙部92を満た
したときには、満杯検出用の透過型光電スイッチ9eを
チップCが遮光する。透過型光電スイッチ9eはタイマ
ーを介してコントローラDに電気的に接続されており、
これにより、設定時間(たとえば3秒間)透過型光電ス
イッチ9eがオフの場合には、コントローラDからの信
号によりチップ供給機2の振動部2bの作動が停止さ
れ、新たなチップCの供給が停止されるようになってい
る。そして、チップCのストック数が減り、透過型光電
スイッチ9eがオンとなったときに、コントローラDか
らの信号によりチップ供給機2の振動部2bが再稼動さ
れるようにプログラムが構築されている。
るが、ストッパ9aが下降している間にストッパ部90
で進行が止められた複数のチップCが空隙部92を満た
したときには、満杯検出用の透過型光電スイッチ9eを
チップCが遮光する。透過型光電スイッチ9eはタイマ
ーを介してコントローラDに電気的に接続されており、
これにより、設定時間(たとえば3秒間)透過型光電ス
イッチ9eがオフの場合には、コントローラDからの信
号によりチップ供給機2の振動部2bの作動が停止さ
れ、新たなチップCの供給が停止されるようになってい
る。そして、チップCのストック数が減り、透過型光電
スイッチ9eがオンとなったときに、コントローラDか
らの信号によりチップ供給機2の振動部2bが再稼動さ
れるようにプログラムが構築されている。
【0026】なお、第2検査機構7と第3検査機構8の
間隔によっては、チップストッカーは第1のものだけで
もよいし、場合によってはチップストッカー部は設けな
くてもよい。また第3検査機構8,8’はチップCの平
面数のCCDカメラを設けるので、場合によっては、上
方から撮像するもう1つのCCDカメラを設けてもよ
い。整列検査機構5と、第1ないし第3検査機構6,
7,8の不合格チップC”を経路外に排除する手段はエ
アノズルが機構的に簡易であるため推奨されるが、場合
によっては、出没可能なピン類であってもよい。また、
本発明は、単列だけの場合に限らず、図2のように複列
としてもよい。
間隔によっては、チップストッカーは第1のものだけで
もよいし、場合によってはチップストッカー部は設けな
くてもよい。また第3検査機構8,8’はチップCの平
面数のCCDカメラを設けるので、場合によっては、上
方から撮像するもう1つのCCDカメラを設けてもよ
い。整列検査機構5と、第1ないし第3検査機構6,
7,8の不合格チップC”を経路外に排除する手段はエ
アノズルが機構的に簡易であるため推奨されるが、場合
によっては、出没可能なピン類であってもよい。また、
本発明は、単列だけの場合に限らず、図2のように複列
としてもよい。
【0027】
【実施例の作用】次に本発明の作用を説明する。チップ
Cの検査に当たっては、チップ供給機2にチップCを投
入し、振動部2bを作動してチップCを経路2cに順次
送り出すとともに、第1経路4aと第2経路4bの直進
フィーダ400,410を作動する。チップCが振動に
より送られて経路2cを進行すると、チップ整列検査機
構5にいたる。この領域では上流側光電スイッチ5aと
下流側光電スイッチ5bの各投光部51,51から光線
が照射されており、その直近下流ではエアノズル5cか
ら所定の圧力のエアが経路2cの幅方向に噴出されてい
る。
Cの検査に当たっては、チップ供給機2にチップCを投
入し、振動部2bを作動してチップCを経路2cに順次
送り出すとともに、第1経路4aと第2経路4bの直進
フィーダ400,410を作動する。チップCが振動に
より送られて経路2cを進行すると、チップ整列検査機
構5にいたる。この領域では上流側光電スイッチ5aと
下流側光電スイッチ5bの各投光部51,51から光線
が照射されており、その直近下流ではエアノズル5cか
ら所定の圧力のエアが経路2cの幅方向に噴出されてい
る。
【0028】チップCが検査に適合する姿勢ないし方向
すなわち、図示するような上面c3と下面c4を横に向
けた姿勢である場合には、投光部51からの光線は後端
面c2と先端傾斜面c1とにそれぞれ入射され、後端面
c2と先端傾斜面c1に当たって反射された光線が受光
部52,52に受光される。このように入反射が上流側
光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bともに得ら
れた場合には、これを入力したコントローラDからの信
号で電磁弁が閉じられ、エアノズル5cからのエア吹出
しが所定時間だけ止められる。これに対して、チップC
が前記以外の姿勢である場合には、上流側光電スイッチ
5aと下流側光電スイッチ5bのいずれか一方におい
て、投光部51からの光線が反射して受光部52に戻っ
てこなくなる。この場合には、エアノズル5cからのエ
ア吹出しが停止されない。このため、不良チップC”は
側面からのエア圧を受けて経路2cから吹き飛ばされ、
チップ供給機2内に自動的に戻される。
すなわち、図示するような上面c3と下面c4を横に向
けた姿勢である場合には、投光部51からの光線は後端
面c2と先端傾斜面c1とにそれぞれ入射され、後端面
c2と先端傾斜面c1に当たって反射された光線が受光
部52,52に受光される。このように入反射が上流側
光電スイッチ5aと下流側光電スイッチ5bともに得ら
れた場合には、これを入力したコントローラDからの信
号で電磁弁が閉じられ、エアノズル5cからのエア吹出
しが所定時間だけ止められる。これに対して、チップC
が前記以外の姿勢である場合には、上流側光電スイッチ
5aと下流側光電スイッチ5bのいずれか一方におい
て、投光部51からの光線が反射して受光部52に戻っ
てこなくなる。この場合には、エアノズル5cからのエ
ア吹出しが停止されない。このため、不良チップC”は
側面からのエア圧を受けて経路2cから吹き飛ばされ、
チップ供給機2内に自動的に戻される。
【0029】かくして、前記チップ整列検査機構5を通
過することにより、正常な姿勢ないし方向のチップCだ
けが経路2cから第1経路4aに送り出され、直進フィ
ーダ40により下流に送られる。ついで、正常な姿勢の
チップCが第1検査機構6にいたると、この領域に設け
られている透過型光電スイッチ6dを遮光するため、ゲ
ート6aに進入したことが確認され、同時にタイマーが
作動して透過型光電スイッチ6dのオフ時間が計測され
る。ゲート6aはチップCの幅Wと高さHの寸法公差上
限に則した形状寸法の検出用切欠き60を有しているた
め、チップCが異形状でなく異物も付着していない場合
には、検出用切欠き60をスムーズに通過する。この場
合には、タイマーの設定時間以内であるため、エアノズ
ル6cからエアは噴出されない。
過することにより、正常な姿勢ないし方向のチップCだ
けが経路2cから第1経路4aに送り出され、直進フィ
ーダ40により下流に送られる。ついで、正常な姿勢の
チップCが第1検査機構6にいたると、この領域に設け
られている透過型光電スイッチ6dを遮光するため、ゲ
ート6aに進入したことが確認され、同時にタイマーが
作動して透過型光電スイッチ6dのオフ時間が計測され
る。ゲート6aはチップCの幅Wと高さHの寸法公差上
限に則した形状寸法の検出用切欠き60を有しているた
め、チップCが異形状でなく異物も付着していない場合
には、検出用切欠き60をスムーズに通過する。この場
合には、タイマーの設定時間以内であるため、エアノズ
ル6cからエアは噴出されない。
【0030】しかし、寸法の一部または全部が大きかっ
たり、異物が付着して大きくなっているような場合に
は、検出用切欠き60にひっかかり、スムーズに通過で
きない。このときには、タイマーの設定時間を過ぎるこ
とによりコントローラDからの信号でアクチュエータ6
bが作動してゲート6aが上昇される。それと同時に、
エアノズル6cからエアが噴出される。これにより異形
状または異物付着などの形状不良チップC”は側面から
のエア圧を受けて第1経路4aから吹き飛ばされ、回収
箱6dに回収される。
たり、異物が付着して大きくなっているような場合に
は、検出用切欠き60にひっかかり、スムーズに通過で
きない。このときには、タイマーの設定時間を過ぎるこ
とによりコントローラDからの信号でアクチュエータ6
bが作動してゲート6aが上昇される。それと同時に、
エアノズル6cからエアが噴出される。これにより異形
状または異物付着などの形状不良チップC”は側面から
のエア圧を受けて第1経路4aから吹き飛ばされ、回収
箱6dに回収される。
【0031】このように第1検査機構6で粗い寸法外観
検査が行われたのち、適合したチップCは直進フィーダ
40により下流に送られる。この領域には、第1チップ
ストッカー9が位置しており、ストッパ9aはアクチュ
エータ9bにより引き上げられて上昇位置にあるため、
チップCはストッパ9aの下方を通過し、透過型光電ス
イッチ9dを遮光する。すると、その信号がコントロー
ラDに入力されることによりアクチュエータ9bが作動
し、ストッパ部90が路面40に接近するようにストッ
パ9aが下降させられる。したがって、後続のチップC
は一時的に進行が止められる。
検査が行われたのち、適合したチップCは直進フィーダ
40により下流に送られる。この領域には、第1チップ
ストッカー9が位置しており、ストッパ9aはアクチュ
エータ9bにより引き上げられて上昇位置にあるため、
チップCはストッパ9aの下方を通過し、透過型光電ス
イッチ9dを遮光する。すると、その信号がコントロー
ラDに入力されることによりアクチュエータ9bが作動
し、ストッパ部90が路面40に接近するようにストッ
パ9aが下降させられる。したがって、後続のチップC
は一時的に進行が止められる。
【0032】先行するチップCが第2検査機構7の領域
にいたると、ここでは第1経路4aと第2経路4bとの
分離隙間43にレーザー投光器7aからレーザー受光器
7bに帯状レーザー光Lが投光されている。このため、
かかる帯状レーザー光LをチップCが横切ることによ
り、帯状レーザー光Lは遮光され、その遮光量が電圧に
変換されてコントローラDに送られることにより厚さ寸
法または幅寸法に換算される。それとともにあらかじめ
入力してある公差と比較され、公差内であった場合に
は、エアノズル7cからエアは噴出されない。しかし、
公差外であった場合には、レーザー投光器7aおよびレ
ーザー受光器7bの直近下流の透過型光電スイッチ7d
でチップCの通過を確認した瞬間、透過型光電スイッチ
7dからの信号を受けたコントローラDからの信号によ
りエアノズル7cが作動してエアが噴出される。これに
より寸法不良のチップC”は側面からのエア圧を受けて
自動的に第2経路4bから吹き飛ばされ、回収箱7eに
回収される。
にいたると、ここでは第1経路4aと第2経路4bとの
分離隙間43にレーザー投光器7aからレーザー受光器
7bに帯状レーザー光Lが投光されている。このため、
かかる帯状レーザー光LをチップCが横切ることによ
り、帯状レーザー光Lは遮光され、その遮光量が電圧に
変換されてコントローラDに送られることにより厚さ寸
法または幅寸法に換算される。それとともにあらかじめ
入力してある公差と比較され、公差内であった場合に
は、エアノズル7cからエアは噴出されない。しかし、
公差外であった場合には、レーザー投光器7aおよびレ
ーザー受光器7bの直近下流の透過型光電スイッチ7d
でチップCの通過を確認した瞬間、透過型光電スイッチ
7dからの信号を受けたコントローラDからの信号によ
りエアノズル7cが作動してエアが噴出される。これに
より寸法不良のチップC”は側面からのエア圧を受けて
自動的に第2経路4bから吹き飛ばされ、回収箱7eに
回収される。
【0033】したがって、この第2検査機構7を通過す
ることにより、寸法が公差内に収まったチップCだけが
下流に進行する。そして、このチップCは第3検査機構
8にいたり、第1のCCDカメラ8aにより上面c3ま
たは下面c4が撮影される。この撮像は画像処理装置F
に送られて図8のように、正常な面を白く、欠けやくぼ
み等のある部分が黒く表示されるように転換され、それ
とともに黒色部分の面積が計算され、良品の場合と比較
される。その黒色の面積が所定量よりも多いと判断され
た場合には、第1のCCDカメラ8aの直近下流の透過
型光電スイッチ8dで不良チップC”を検出した瞬間、
透過型光電スイッチ8dからの信号を受けたコントロー
ラDからの信号によりエアノズル8cが作動してエアが
噴出される。これにより、寸法不良のチップC”は側面
からのエア圧を受けて第2経路4bから吹き飛ばされ、
回収箱8eに回収される。
ることにより、寸法が公差内に収まったチップCだけが
下流に進行する。そして、このチップCは第3検査機構
8にいたり、第1のCCDカメラ8aにより上面c3ま
たは下面c4が撮影される。この撮像は画像処理装置F
に送られて図8のように、正常な面を白く、欠けやくぼ
み等のある部分が黒く表示されるように転換され、それ
とともに黒色部分の面積が計算され、良品の場合と比較
される。その黒色の面積が所定量よりも多いと判断され
た場合には、第1のCCDカメラ8aの直近下流の透過
型光電スイッチ8dで不良チップC”を検出した瞬間、
透過型光電スイッチ8dからの信号を受けたコントロー
ラDからの信号によりエアノズル8cが作動してエアが
噴出される。これにより、寸法不良のチップC”は側面
からのエア圧を受けて第2経路4bから吹き飛ばされ、
回収箱8eに回収される。
【0034】かくして一面の形状検査がなされたチップ
Cは直進フィーダ41により下流に送られる。この領域
には、第2チップストッカー9’が設けられており、ス
トッパ9aは上昇位置にあるため、チップCはストッパ
9aの下方を通過し、その下流で透過型光電スイッチ9
dを遮光すると、その信号がコントローラDに入力され
ることによりアクチュエータ9bが作動し、ストッパ部
90が路面40に接近するようにストッパ9aが下降さ
せられる。したがって、後続のチップCは一時的に進行
が止められ、自動的に所定の間隔があけられる。先行す
るチップCは続いて第3検査機構8’にいたり、第2の
CCDカメラ8bにより下面c4または上面c3が撮影
され、前記のように画像処理され、寸法不良のチップ
C”は側面からのエア圧を受けて第2経路4bから吹き
飛ばされ、回収箱8eに回収される。そして検査済み良
品チップC’は第2経路4bの端末に達し、ここからボ
ックスBに収容される。以上、本発明の実施例を説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものでないこ
とは勿論である。
Cは直進フィーダ41により下流に送られる。この領域
には、第2チップストッカー9’が設けられており、ス
トッパ9aは上昇位置にあるため、チップCはストッパ
9aの下方を通過し、その下流で透過型光電スイッチ9
dを遮光すると、その信号がコントローラDに入力され
ることによりアクチュエータ9bが作動し、ストッパ部
90が路面40に接近するようにストッパ9aが下降さ
せられる。したがって、後続のチップCは一時的に進行
が止められ、自動的に所定の間隔があけられる。先行す
るチップCは続いて第3検査機構8’にいたり、第2の
CCDカメラ8bにより下面c4または上面c3が撮影
され、前記のように画像処理され、寸法不良のチップ
C”は側面からのエア圧を受けて第2経路4bから吹き
飛ばされ、回収箱8eに回収される。そして検査済み良
品チップC’は第2経路4bの端末に達し、ここからボ
ックスBに収容される。以上、本発明の実施例を説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものでないこ
とは勿論である。
【0035】
【発明の効果】以上説明した本発明の請求項1によれ
ば、チップ供給機2からの排出経路に、チップの姿勢を
光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路
外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構5を設
け、該チップ整列検査機構5よりも下流の経路には、チ
ップの公差上限寸法の検出用切欠き60を有する昇降自
在なゲート6aとこの検出用切欠き60を通過しえない
チップC”を経路外に排除する手段とを備えた形状検査
用の第1検査機構6を設け、該第1検査機構6の下流の
経路には、レーザー帯の投光器7aと受光器7bを備え
た光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経路外に排
除する手段とを備えた寸法検査用の第2検査機構7を設
けたので、異形状や異物付着があったり寸法が交差外の
チップが自動的に排除され、外観と寸法の良好なチップ
だけを能率よくまた精度よく選別することができるとい
うすぐれた効果が得られる。
ば、チップ供給機2からの排出経路に、チップの姿勢を
光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路
外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構5を設
け、該チップ整列検査機構5よりも下流の経路には、チ
ップの公差上限寸法の検出用切欠き60を有する昇降自
在なゲート6aとこの検出用切欠き60を通過しえない
チップC”を経路外に排除する手段とを備えた形状検査
用の第1検査機構6を設け、該第1検査機構6の下流の
経路には、レーザー帯の投光器7aと受光器7bを備え
た光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経路外に排
除する手段とを備えた寸法検査用の第2検査機構7を設
けたので、異形状や異物付着があったり寸法が交差外の
チップが自動的に排除され、外観と寸法の良好なチップ
だけを能率よくまた精度よく選別することができるとい
うすぐれた効果が得られる。
【0036】請求項2によれば、第2検査機構7よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラ8aと該
カメラ8aによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の
有無を検出する手段と、不合格品を経路外に排除する手
段とを備えた部分不良検査用の第3検査機構8を設けた
ので、請求項1の効果に加えて、部分的に欠けやくぼみ
があったりするチップが自動的に排除され、形状、寸
法、外観の全体が良好なチップを能率よくまた精度よく
選別することができるというすぐれた効果が得られる。
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラ8aと該
カメラ8aによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の
有無を検出する手段と、不合格品を経路外に排除する手
段とを備えた部分不良検査用の第3検査機構8を設けた
ので、請求項1の効果に加えて、部分的に欠けやくぼみ
があったりするチップが自動的に排除され、形状、寸
法、外観の全体が良好なチップを能率よくまた精度よく
選別することができるというすぐれた効果が得られる。
【0037】請求項3によれば、第1検査機構6と第2
検査機構7の間にチップが連なって進行するのを防止す
るための昇降自在なストッパー9aを備えたチップスト
ッカー9を配しているため、第1検査機構6を通過した
複数のチップCが前後接触したまま第2検査機構7に進
入することによる誤作動すなわち、前後のチップC,C
を1つのチップと誤認して後側のチップCの寸法測定が
行われないことを防止でき、精度のよい検査を円滑に行
なうことができるというすぐれた効果が得られる。
検査機構7の間にチップが連なって進行するのを防止す
るための昇降自在なストッパー9aを備えたチップスト
ッカー9を配しているため、第1検査機構6を通過した
複数のチップCが前後接触したまま第2検査機構7に進
入することによる誤作動すなわち、前後のチップC,C
を1つのチップと誤認して後側のチップCの寸法測定が
行われないことを防止でき、精度のよい検査を円滑に行
なうことができるというすぐれた効果が得られる。
【0038】請求項4,5,6,7によれば、光学系要
素を用いるためチップ整列検査機構をはじめとする各検
査機構の構造を簡易化できるとともに、チップを損傷せ
ずまた、精度を高くすることができるというすぐれた効
果が得られる。
素を用いるためチップ整列検査機構をはじめとする各検
査機構の構造を簡易化できるとともに、チップを損傷せ
ずまた、精度を高くすることができるというすぐれた効
果が得られる。
【図1】本発明によるスローアウェイチップ類の検査装
置の一例を示す斜視図である。
置の一例を示す斜視図である。
【図2】図1の平面図である。
【図3】本発明におけるチップ整列検査機構の斜視図で
ある。
ある。
【図4】本発明における形状検査用の第1検査機構の斜
視図である。
視図である。
【図5】本発明におけるチップストッカーの斜視図であ
る。
る。
【図6】(a)は本発明における寸法検査用の第2検査
機構の第1例を示す斜視図(b)は同じくその第2例を
示す斜視図である。
機構の第1例を示す斜視図(b)は同じくその第2例を
示す斜視図である。
【図7】本発明で検査対象とするスローアウェイチップ
の一例を示す斜視図である。
の一例を示す斜視図である。
【図8】本発明における第3検査機構により処理された
正常チップ画像の平面図(b)は本発明における第3検
査機構により処理された不良チップ画像の平面図であ
る。
正常チップ画像の平面図(b)は本発明における第3検
査機構により処理された不良チップ画像の平面図であ
る。
【図9】本発明における制御系を模式的に示す説明図で
ある。
ある。
2c 経路
4a 第1経路
4b 第2経路
5 チップ整列検査機構
5a 上流側光電スイッチ
5b 下流側光電スイッチ
5c エアノズル
6 第1検査機構
6a ゲート
6c エアノズル
6d 光電スイッチ
7 第2検査機構
7a レーザー投光器
7b レーザー受光器
7c エアノズル
7d 光電スイッチ
8 第3検査機構
8a,8b CCDカメラ
8d 光電スイッチ
9 チツプストッカー
9a ストッパ
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI
G01B 11/24 G01B 21/00 H
21/00 11/24 A
Claims (6)
- 【請求項1】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップ
を経路外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構
を設け、該チップ整列検査機構よりも下流の経路には、
チップの公差上限寸法の検出用切欠きを有する昇降自在
なゲートとこの検出用切欠きを通過しえないチップを経
路外に排除する手段とを備えた形状検査用の第1検査機
構を設け、該第1検査機構の下流の経路には、レーザー
帯の投光器と受光器を備えた光学的寸法検出手段と寸法
不合格チップを経路外に排除する手段とを備えた寸法検
査用の第2検査機構を設けたことを特徴とするスローア
ウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項2】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップ
を経路外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構
を設け、該チップ整列検査機構よりも下流の経路には、
チップの公差上限寸法の検出用切欠きを有する昇降自在
なゲートとこの検出用切欠きを通過しえないチップを経
路外に排除する手段とを備えた形状検査用の第1検査機
構を設け、該第1検査機構の下流の経路には、レーザー
帯の投光器と受光器を備えた光学的寸法検出手段と寸法
不合格チップを経路外に排除する手段とを備えた寸法検
査用の第2検査機構を設け、かつ、第2検査機構よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第3検査機構を設けたことを特徴
とするスローアウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項3】前記第1検査機構と第2検査機構の間にチ
ップが連なって進行するのを防止するための昇降自在な
ストッパーを備えたチップストッカーを配しているもの
を含む請求項1または請求項2に記載のスローアウェイ
チップ類の検査装置。 - 【請求項4】チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学
的に検出する手段が、チップの先端部と後端部に対して
光線を照射して反射光を受光する2つの反射型光電スイ
ッチであり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配され
たエアノズルである請求項1または請求項2に記載のス
ローアウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項5】第1検査機構のゲートがアクチュエータに
より経路上に下降されるようになっており、検出用切欠
きを通過しえないチップを経路外に排除する手段が、ゲ
ート近傍上流に配されたエアノズルと、これの近傍にあ
ってチップの進入を検知する光電スイッチである請求項
1または請求項2に記載のスローアウェイチップ類の検
査装置。 - 【請求項6】第2検査機構の投光器と受光器が前後の経
路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配置さ
れており、寸法不合格チップを経路外に排除する手段
が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである請求項1または請求項2に記載のスローア
ウェイチップ類の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03407298A JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03407298A JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11217116A JPH11217116A (ja) | 1999-08-10 |
JP3393056B2 true JP3393056B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=12404071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03407298A Expired - Fee Related JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3393056B2 (ja) |
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JP2009066609A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | World One Kk | 圧造機 |
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-
1998
- 1998-01-30 JP JP03407298A patent/JP3393056B2/ja not_active Expired - Fee Related
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