JP3389914B2 - 集積回路の電源電流値のサンプリング方法及び装置、及びその制御プログラムを記録した記憶媒体 - Google Patents
集積回路の電源電流値のサンプリング方法及び装置、及びその制御プログラムを記録した記憶媒体Info
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R31/317—Testing of digital circuits
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- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のテスト
技術に関し、特に集積回路にテスト信号を印加している
ときに集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の電源電流値のサンプリング方法、サンプリング装置、
及び、サンプリング装置を制御する制御プログラムを記
録した記録媒体に関する。
技術に関し、特に集積回路にテスト信号を印加している
ときに集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の電源電流値のサンプリング方法、サンプリング装置、
及び、サンプリング装置を制御する制御プログラムを記
録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の集積回路の電源電流値のサ
ンプリング方法は、集積回路の電源電流の周波数スペク
トルを求める為に用いられている。
ンプリング方法は、集積回路の電源電流の周波数スペク
トルを求める為に用いられている。
【０００３】例えば、SEMI Technology Symposium9
8、3-84から3-9に掲げられている、坂口和宏、神村重弘
による、「電源電流のパワースペクトル解析による高速
不良検出」と題する文献には、電源電流の周波数スペク
トルを求める為の電源電流値のサンプリング方法が示さ
れている。
8、3-84から3-9に掲げられている、坂口和宏、神村重弘
による、「電源電流のパワースペクトル解析による高速
不良検出」と題する文献には、電源電流の周波数スペク
トルを求める為の電源電流値のサンプリング方法が示さ
れている。
【０００４】上記文献に記載される方法においては、テ
ストパターンを集積回路に印加しながら、電源電流値を
サンプリングしている。
ストパターンを集積回路に印加しながら、電源電流値を
サンプリングしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記文
献に記載されるサンプリング方法は、被試験集積回路
(デバイス)に流れる電源電流情報を完全に取得できない
可能性がある、という問題点を有している。
献に記載されるサンプリング方法は、被試験集積回路
(デバイス)に流れる電源電流情報を完全に取得できない
可能性がある、という問題点を有している。
【０００６】その理由は、電源や電流測定ユニット、被
試験デバイスからなる回路には、容量成分、誘導成分が
あり、仮に、テストパタンの印加が終了しても、電源電
流は回路の時定数で定められる時間にわたり、流れ続け
る。
試験デバイスからなる回路には、容量成分、誘導成分が
あり、仮に、テストパタンの印加が終了しても、電源電
流は回路の時定数で定められる時間にわたり、流れ続け
る。
【０００７】そのため、テストパタンの印加による被試
験デバイスの動作に関わる電源電流の情報を完全に取得
するためには、テストパタンの印加終了と同時に、電源
電流値のサンプリングを停止せずに、ある程度の時間、
サンプリングを継続する必要がある。
験デバイスの動作に関わる電源電流の情報を完全に取得
するためには、テストパタンの印加終了と同時に、電源
電流値のサンプリングを停止せずに、ある程度の時間、
サンプリングを継続する必要がある。
【０００８】したがって本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであって、その目的は、被試験デバイスに
テストパタンを印加したときに流れる電源電流の全ての
情報を余すことなく取得するために、集積回路の電源電
流値のサンプリング方法、及び装置、及びその制御プロ
グラムを記録した記録媒体を提供することにある。
なされたものであって、その目的は、被試験デバイスに
テストパタンを印加したときに流れる電源電流の全ての
情報を余すことなく取得するために、集積回路の電源電
流値のサンプリング方法、及び装置、及びその制御プロ
グラムを記録した記録媒体を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明は、集積回路にテスト信号を印加しているときに前記
集積回路に流れる電源電流を周波数解析するための前記
電源電流値のサンプリング装置において、被試験集積回
路(ＤＵＴ)の電源端子に供給する所定の電源を生成する
電源と、前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流
値を観測し、その値を示す電源電流値信号を生成する電
流検出手段と、前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子
に印加する所定のテスト信号を生成し、また前記テスト
信号の印加中を示すテスト信号印加信号を生成するテス
ト信号生成手段と、前記電源電流値信号をサンプリング
するサンプリング手段と、前記サンプリング手段に対
し、前記テスト信号印加信号に基づきサンプリングの開
始と終了を指示するサンプリング時間決定手段と、前記
サンプリング手段によりサンプリングされたデータを格
納するサンプリングデータ格納手段と、前記サンプリン
グデータをフーリエ演算するフーリエ変換手段と、前記
各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる主制
御手段と、を含む。
明は、集積回路にテスト信号を印加しているときに前記
集積回路に流れる電源電流を周波数解析するための前記
電源電流値のサンプリング装置において、被試験集積回
路(ＤＵＴ)の電源端子に供給する所定の電源を生成する
電源と、前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流
値を観測し、その値を示す電源電流値信号を生成する電
流検出手段と、前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子
に印加する所定のテスト信号を生成し、また前記テスト
信号の印加中を示すテスト信号印加信号を生成するテス
ト信号生成手段と、前記電源電流値信号をサンプリング
するサンプリング手段と、前記サンプリング手段に対
し、前記テスト信号印加信号に基づきサンプリングの開
始と終了を指示するサンプリング時間決定手段と、前記
サンプリング手段によりサンプリングされたデータを格
納するサンプリングデータ格納手段と、前記サンプリン
グデータをフーリエ演算するフーリエ変換手段と、前記
各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる主制
御手段と、を含む。
【００１０】本発明は、回路の時定数情報を保持する時
定数情報記憶手段を備え、前記サンプリング時間決定手
段が、前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印
加信号と、前記時定数情報記憶手段の前記時定数情報に
基づき、前記サンプリングの開始と終了を指示する。
定数情報記憶手段を備え、前記サンプリング時間決定手
段が、前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印
加信号と、前記時定数情報記憶手段の前記時定数情報に
基づき、前記サンプリングの開始と終了を指示する。
【００１１】本発明は、前記サンプリングデータを解析
し、前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後の前記
電源電流値信号のサンプリングの継続時間を決定するサ
ンプリングデータ解析手段を備えた構成としてもよい。
し、前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後の前記
電源電流値信号のサンプリングの継続時間を決定するサ
ンプリングデータ解析手段を備えた構成としてもよい。
【００１２】本発明は、前記サンプリングデータから、
前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後、どの位の
時間で前記電源電流が停止するか、あるいは安定化する
かを判定し、前記サンプリングの延長時間を決定する安
定化判定手段を備えた構成としてもよい。
前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後、どの位の
時間で前記電源電流が停止するか、あるいは安定化する
かを判定し、前記サンプリングの延長時間を決定する安
定化判定手段を備えた構成としてもよい。
【００１３】本発明は、前記サンプリングデータのうち
フーリエ変換演算の対象となるデータ範囲を記憶したフ
ーリエ変換区間情報格納手段を含む構成としてもよい。
フーリエ変換演算の対象となるデータ範囲を記憶したフ
ーリエ変換区間情報格納手段を含む構成としてもよい。
【００１４】本発明は、回路の時定数情報を記憶保持す
る時定数情報記憶手段と、前記時定数情報に基づき、前
記フーリエ変換演算の対象となる前記サンプリングデー
タ範囲を決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む
構成としてもよい。
る時定数情報記憶手段と、前記時定数情報に基づき、前
記フーリエ変換演算の対象となる前記サンプリングデー
タ範囲を決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む
構成としてもよい。
【００１５】本発明は、前記サンプリングデータを解析
するサンプリングデータ解析手段と、前記サンプリング
データ解析手段の結果から前記サンプリングデータのう
ち、前記フーリエ変換演算の対象となるデータの範囲を
決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む構成とし
てもよい。
するサンプリングデータ解析手段と、前記サンプリング
データ解析手段の結果から前記サンプリングデータのう
ち、前記フーリエ変換演算の対象となるデータの範囲を
決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む構成とし
てもよい。
【００１６】本発明は、前記テスト信号が前記ＤＵＴに
印加終了後、どの位の時間で前記電源電流が停止する
か、あるいは安定するかを解析する安定化判定手段と、
前記安定化判定手段の結果から前記サンプリングデータ
のうち、前記フーリエ変換演算の対象となるデータの範
囲を決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む構成
としてもよい。
印加終了後、どの位の時間で前記電源電流が停止する
か、あるいは安定するかを解析する安定化判定手段と、
前記安定化判定手段の結果から前記サンプリングデータ
のうち、前記フーリエ変換演算の対象となるデータの範
囲を決定するフーリエ変換区間決定手段と、を含む構成
としてもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。本発明の一実施の形態に係る集積回路の電源電流
値のサンプリング装置は、集積回路にテスト信号を印加
したときに前記集積回路に流れる電源電流の値をサンプ
リングする装置において、テスト信号の前記集積回路へ
の印加中だけでなく、テスト信号の印加終了後も引き続
き電源電流値のサンプリングを継続する装置であって、
テスト信号を生成、印加するテスト信号生成手段(図１
の２)と、被試験集積回路(ＤＵＴ)(図１の１)と、前記
集積回路への電源を供給する電源(図１の５)と、前記電
源より前記集積回路に供給される電源電流の値を検出す
る電流検出手段(図１の４)と、前記電流検出手段により
検出された電源電流値をサンプリングするサンプリング
手段(図１の７)と、前記サンプリング手段に対し、サン
プリングの開始、及び終了を指示するサンプリング時間
決定手段(図１の６)と、前記サンプリングされた値を保
存するサンプリングデータ格納手段(図１の８)と、前記
サンプリングデータの値をフーリエ演算するフーリエ変
換手段(図１の９)と、装置全体の制御を司どる主制御手
段(図１の１)と、を含む。
する。本発明の一実施の形態に係る集積回路の電源電流
値のサンプリング装置は、集積回路にテスト信号を印加
したときに前記集積回路に流れる電源電流の値をサンプ
リングする装置において、テスト信号の前記集積回路へ
の印加中だけでなく、テスト信号の印加終了後も引き続
き電源電流値のサンプリングを継続する装置であって、
テスト信号を生成、印加するテスト信号生成手段(図１
の２)と、被試験集積回路(ＤＵＴ)(図１の１)と、前記
集積回路への電源を供給する電源(図１の５)と、前記電
源より前記集積回路に供給される電源電流の値を検出す
る電流検出手段(図１の４)と、前記電流検出手段により
検出された電源電流値をサンプリングするサンプリング
手段(図１の７)と、前記サンプリング手段に対し、サン
プリングの開始、及び終了を指示するサンプリング時間
決定手段(図１の６)と、前記サンプリングされた値を保
存するサンプリングデータ格納手段(図１の８)と、前記
サンプリングデータの値をフーリエ演算するフーリエ変
換手段(図１の９)と、装置全体の制御を司どる主制御手
段(図１の１)と、を含む。
【００１８】本発明の一実施の形態に係る集積回路の電
源電流値のサンプリング方法は、集積回路にテスト信号
を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の値を
サンプリングする方法において、テスト信号の前記集積
回路への印加中だけでなく、テスト信号の印加終了後も
引き続き電源電流値のサンプリングを継続する方法であ
って、集積回路の電源のために所定の電圧の電源を生成
し前記集積回路に供給し(図９のステップS101)、前記集
積回路に印加するテスト信号を生成し前記集積回路にテ
スト信号を印加し(図９のステップS102)、前記テスト信
号の印加を示すテスト信号印加信号を生成し(図９のス
テップS103)、前記集積回路に流れる電源電流値を観測
して電源電流値信号を生成し(図９のステップS104)、電
源電流値信号のサンプリングを開始し(図９のステップS
105)、予め定められたテスト信号が生成、印加されたら
テスト信号の生成を終了し(図９のステップS106)、電源
電流値信号のサンプリング停止時刻を決定し(図９のス
テップS107)、電源電流値信号のサンプリングを停止し
(図９のステップS108)、サンプリングデータのフーリエ
変換演算を実施し(図９のステップS109)、電源の供給を
停止する(図９のステップS110)。
源電流値のサンプリング方法は、集積回路にテスト信号
を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の値を
サンプリングする方法において、テスト信号の前記集積
回路への印加中だけでなく、テスト信号の印加終了後も
引き続き電源電流値のサンプリングを継続する方法であ
って、集積回路の電源のために所定の電圧の電源を生成
し前記集積回路に供給し(図９のステップS101)、前記集
積回路に印加するテスト信号を生成し前記集積回路にテ
スト信号を印加し(図９のステップS102)、前記テスト信
号の印加を示すテスト信号印加信号を生成し(図９のス
テップS103)、前記集積回路に流れる電源電流値を観測
して電源電流値信号を生成し(図９のステップS104)、電
源電流値信号のサンプリングを開始し(図９のステップS
105)、予め定められたテスト信号が生成、印加されたら
テスト信号の生成を終了し(図９のステップS106)、電源
電流値信号のサンプリング停止時刻を決定し(図９のス
テップS107)、電源電流値信号のサンプリングを停止し
(図９のステップS108)、サンプリングデータのフーリエ
変換演算を実施し(図９のステップS109)、電源の供給を
停止する(図９のステップS110)。
【００１９】本発明に係る記憶媒体は、集積回路にテス
ト信号を印加しているときに前記集積回路に流れる電源
電流を周波数解析するための前記電源電流値のサンプリ
ング装置において、(a)電源に対し所定の電圧を発生さ
せ、ＤＵＴの電源端子に供給させる処理と、(b)電流検
出手段に対し、前記電源から前記ＤＵＴに供給される電
源電流の大きさを観測させ、その値を示す電源電流値信
号を生成させる処理と、(c)テスト信号生成手段に対し
所定のテスト信号を生成させ、前記ＤＵＴの入出力端子
に印加させるとともに、前記テスト信号の印加中を示す
テスト信号印加信号を生成させる処理と、(d)テスト信
号印加信号から前記電源電流値のサンプリングの開始と
終了のタイミングを決定し、サンプリング手段に指示を
出力する処理と、(e)前記サンプリング手段に対し前記
サンプリングの開始と終了のタイミングに基づき前記電
源電流値信号のサンプリングを実行させる処理と、(f)
サンプリングデータ格納手段に前記サンプリングにより
得られた前記電源電流値信号のサンプリングデータを記
憶させる処理と、(g)フーリエ変換手段に前記サンプリ
ングデータをフーリエ変換演算させ、前記電源電流の周
波数スペクトルを求める処理と、を、前記電源電流値の
サンプリング装置を構成するコンピュータで実行するた
めのプログラムを記録している。本発明の一実施の形態
において、該プログラムを記録した記録媒体（ＣＤ−Ｒ
ＯＭ、ＤＶＤ（digital versatile disk）、ＦＤ（フ
ロッピーディスク）、ＨＤＤ（ハードディスク）、ＭＴ
（磁気テープ）、半導体メモリ等）から、該プログラム
を該コンピュータに読み出して実行するか、もしくは通
信媒体を介してサーバ等から該プログラムを該コンピュ
ータにダウンロードして実行することで本発明を実施す
ることができる。
ト信号を印加しているときに前記集積回路に流れる電源
電流を周波数解析するための前記電源電流値のサンプリ
ング装置において、(a)電源に対し所定の電圧を発生さ
せ、ＤＵＴの電源端子に供給させる処理と、(b)電流検
出手段に対し、前記電源から前記ＤＵＴに供給される電
源電流の大きさを観測させ、その値を示す電源電流値信
号を生成させる処理と、(c)テスト信号生成手段に対し
所定のテスト信号を生成させ、前記ＤＵＴの入出力端子
に印加させるとともに、前記テスト信号の印加中を示す
テスト信号印加信号を生成させる処理と、(d)テスト信
号印加信号から前記電源電流値のサンプリングの開始と
終了のタイミングを決定し、サンプリング手段に指示を
出力する処理と、(e)前記サンプリング手段に対し前記
サンプリングの開始と終了のタイミングに基づき前記電
源電流値信号のサンプリングを実行させる処理と、(f)
サンプリングデータ格納手段に前記サンプリングにより
得られた前記電源電流値信号のサンプリングデータを記
憶させる処理と、(g)フーリエ変換手段に前記サンプリ
ングデータをフーリエ変換演算させ、前記電源電流の周
波数スペクトルを求める処理と、を、前記電源電流値の
サンプリング装置を構成するコンピュータで実行するた
めのプログラムを記録している。本発明の一実施の形態
において、該プログラムを記録した記録媒体（ＣＤ−Ｒ
ＯＭ、ＤＶＤ（digital versatile disk）、ＦＤ（フ
ロッピーディスク）、ＨＤＤ（ハードディスク）、ＭＴ
（磁気テープ）、半導体メモリ等）から、該プログラム
を該コンピュータに読み出して実行するか、もしくは通
信媒体を介してサーバ等から該プログラムを該コンピュ
ータにダウンロードして実行することで本発明を実施す
ることができる。
【００２０】本発明の実施の形態においては、集積回路
にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電
源電流の値をサンプリングする方法において、テスト信
号の前記集積回路への印加中だけでなく、テスト信号の
印加終了後も、引き続き電源電流値のサンプリングを継
続することにより、電源電流値の完全な情報を取得する
方法である。
にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電
源電流の値をサンプリングする方法において、テスト信
号の前記集積回路への印加中だけでなく、テスト信号の
印加終了後も、引き続き電源電流値のサンプリングを継
続することにより、電源電流値の完全な情報を取得する
方法である。
【００２１】具体的には、電源は集積回路の電源のため
に所定の電圧の電源を生成し、前記集積回路に供給す
る。テスト信号生成手段は前記集積回路に印加するテス
ト信号を生成し前記集積回路にテスト信号を印加すると
ともに、前記テスト信号が印加中であることを示すテス
ト信号印加信号を生成する。電流観測手段は前記集積回
路に流れる電源電流値を観測し電源電流値信号を生成す
る。この電源電流値信号はサンプリング手段によりサン
プリングされる。
に所定の電圧の電源を生成し、前記集積回路に供給す
る。テスト信号生成手段は前記集積回路に印加するテス
ト信号を生成し前記集積回路にテスト信号を印加すると
ともに、前記テスト信号が印加中であることを示すテス
ト信号印加信号を生成する。電流観測手段は前記集積回
路に流れる電源電流値を観測し電源電流値信号を生成す
る。この電源電流値信号はサンプリング手段によりサン
プリングされる。
【００２２】このとき、サンプリングの開始と終了のタ
イミングは、テスト信号印加信号により、テスト信号の
印加開始とともに開始され、テスト信号印加終了後、予
め定められた時間経過した後に終了となる。このサンプ
リング開始と終了のタイミングはサンプリング時間決定
手段により定められる。
イミングは、テスト信号印加信号により、テスト信号の
印加開始とともに開始され、テスト信号印加終了後、予
め定められた時間経過した後に終了となる。このサンプ
リング開始と終了のタイミングはサンプリング時間決定
手段により定められる。
【００２３】サンプリングされたデータは、一旦サンプ
リングデータ格納手段に保存され、フーリエ変換手段に
よって最終的に電源電流の周波数スペクトルが得られ
る。このような構成により、電源、電流検出手段、集積
回路からなる回路系に存在する時定数によるテスト信号
の印加終了後も引き続き流れる電源電流情報も獲得する
ことで、電源電流値の情報を完全に取得することができ
る。
リングデータ格納手段に保存され、フーリエ変換手段に
よって最終的に電源電流の周波数スペクトルが得られ
る。このような構成により、電源、電流検出手段、集積
回路からなる回路系に存在する時定数によるテスト信号
の印加終了後も引き続き流れる電源電流情報も獲得する
ことで、電源電流値の情報を完全に取得することができ
る。
【００２４】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
詳細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
【００２５】［実施例１］図１は、本発明の第１の実施
例の構成を示す図である。図１を参照すると、本発明の
第１の実施例をなす、電源電流値のサンプリング装置
は、主制御手段１と、テスト信号生成手段２と、被試験
デバイス(ＤＵＴ)３と、電流検出手段４と、電源５と、
サンプリング時間決定手段６と、サンプリング手段７
と、サンプリングデータ格納手段８と、フーリエ変換手
段９とを備えている。
例の構成を示す図である。図１を参照すると、本発明の
第１の実施例をなす、電源電流値のサンプリング装置
は、主制御手段１と、テスト信号生成手段２と、被試験
デバイス(ＤＵＴ)３と、電流検出手段４と、電源５と、
サンプリング時間決定手段６と、サンプリング手段７
と、サンプリングデータ格納手段８と、フーリエ変換手
段９とを備えている。
【００２６】テスト信号生成手段２は、主制御手段１か
らの指示により、予め定められたテスト信号を生成し、
被試験デバイス(ＤＵＴ)３の電源端子を除いた所定の入
出力端子に、テスト信号を印加する。またテスト信号生
成手段２は、テスト信号がＤＵＴ３に印加されている
間、テスト信号が印加中であることを表すテスト信号印
加信号を生成する。
らの指示により、予め定められたテスト信号を生成し、
被試験デバイス(ＤＵＴ)３の電源端子を除いた所定の入
出力端子に、テスト信号を印加する。またテスト信号生
成手段２は、テスト信号がＤＵＴ３に印加されている
間、テスト信号が印加中であることを表すテスト信号印
加信号を生成する。
【００２７】電源５は、主制御手段１からの指示によ
り、所定の電圧を発生させ、電流検出手段４を介してＤ
ＵＴ３に電源を供給する。
り、所定の電圧を発生させ、電流検出手段４を介してＤ
ＵＴ３に電源を供給する。
【００２８】電流検出手段４は、ＤＵＴ３に供給される
電源電流値を観測し、その値を表わす信号(電源電流値
信号)を生成し、サンプリング手段７に伝達する。
電源電流値を観測し、その値を表わす信号(電源電流値
信号)を生成し、サンプリング手段７に伝達する。
【００２９】サンプリング時間決定手段６は、主制御手
段１からの指示、及びテスト信号生成手段２からのテス
ト信号のＤＵＴ３への印加中を示すテスト信号印加信号
に基づき、サンプリング手段７に対して、電源電流値信
号のサンプリング開始、終了を指示する。
段１からの指示、及びテスト信号生成手段２からのテス
ト信号のＤＵＴ３への印加中を示すテスト信号印加信号
に基づき、サンプリング手段７に対して、電源電流値信
号のサンプリング開始、終了を指示する。
【００３０】サンプリングした電源電流値信号は、サン
プリングデータ格納手段８に送られ格納される。
プリングデータ格納手段８に送られ格納される。
【００３１】フーリエ変換手段９は、サンプリングデー
タ格納手段８に格納されたサンプリングデータに対し
て、離散フーリエ変換（もしくは高速フーリエ変換）を
実行し、電源電流の周波数スペクトル情報を出力する。
タ格納手段８に格納されたサンプリングデータに対し
て、離散フーリエ変換（もしくは高速フーリエ変換）を
実行し、電源電流の周波数スペクトル情報を出力する。
【００３２】主制御手段１は、各手段に指示を出し、装
置全体の動作を司どる。
置全体の動作を司どる。
【００３３】図９は、本発明の第１の実施例の動作を説
明するためのフローチャートであり。図１０は、本発明
の第１の実施例の動作を説明する説明図である。図１、
図９、及び図１０を参照して、本発明の第１の実施例の
動作について詳細に説明する。
明するためのフローチャートであり。図１０は、本発明
の第１の実施例の動作を説明する説明図である。図１、
図９、及び図１０を参照して、本発明の第１の実施例の
動作について詳細に説明する。
【００３４】図１０の時刻Ａ'において、電源５では、
主制御手段１からの指示で、予め定められた電圧の発生
を開始し、電流検出手段４を介してＤＵＴ３の電源端子
に電源電圧を印加する(図９のステップS101)。なお、こ
の電源電圧は、定電圧に限らず、時変電圧(時間によっ
て電圧が変化する)の場合もあり得る。
主制御手段１からの指示で、予め定められた電圧の発生
を開始し、電流検出手段４を介してＤＵＴ３の電源端子
に電源電圧を印加する(図９のステップS101)。なお、こ
の電源電圧は、定電圧に限らず、時変電圧(時間によっ
て電圧が変化する)の場合もあり得る。
【００３５】テスト信号生成手段２は、時刻Ａにて、主
制御手段１からの指示により予め定められたテスト信号
の生成を開始し、ＤＵＴ３の電源端子を除く入出力端子
に前記テスト信号の印加を開始する(図９のステップS10
2)。
制御手段１からの指示により予め定められたテスト信号
の生成を開始し、ＤＵＴ３の電源端子を除く入出力端子
に前記テスト信号の印加を開始する(図９のステップS10
2)。
【００３６】また、テスト信号生成手段２では、テスト
信号の印加開始とともにテスト信号の印加を示すテスト
信号印加信号を生成し、サンプリング時間決定手段６に
伝達する(図９のステップS103)。
信号の印加開始とともにテスト信号の印加を示すテスト
信号印加信号を生成し、サンプリング時間決定手段６に
伝達する(図９のステップS103)。
【００３７】電流検出手段４では、電源５で発生し、Ｄ
ＵＴ３に供給される電源電流を常時観測し、その電流値
の大きさを示す電源電流値信号を生成し、サンプリング
手段７に伝達する(図９のステップS104)。
ＵＴ３に供給される電源電流を常時観測し、その電流値
の大きさを示す電源電流値信号を生成し、サンプリング
手段７に伝達する(図９のステップS104)。
【００３８】サンプリング時間決定手段６では、テスト
信号生成手段２からテスト信号印加信号を受信し、テス
ト信号がＤＵＴ３に印加開始されると同時にサンプリン
グ手段７に対し、電源電流値信号のサンプリング開始を
指示する。
信号生成手段２からテスト信号印加信号を受信し、テス
ト信号がＤＵＴ３に印加開始されると同時にサンプリン
グ手段７に対し、電源電流値信号のサンプリング開始を
指示する。
【００３９】サンプリング手段７は、サンプリング開始
の指示により電源電流値信号のサンプリングを開始し
(図１０の時刻Ａ)、サンプリングした値をサンプリング
データ格納手段８に随時送付する(図９のステップS10
5)。
の指示により電源電流値信号のサンプリングを開始し
(図１０の時刻Ａ)、サンプリングした値をサンプリング
データ格納手段８に随時送付する(図９のステップS10
5)。
【００４０】時刻Ｂ（図１０参照）にて、テスト信号生
成手段２は、テスト信号の生成を終了し、ＤＵＴ３への
テスト信号の印加を終了する。また、テスト信号の印加
終了と共に、テスト信号印加信号の生成も終了する(図
９のステップS106)。
成手段２は、テスト信号の生成を終了し、ＤＵＴ３への
テスト信号の印加を終了する。また、テスト信号の印加
終了と共に、テスト信号印加信号の生成も終了する(図
９のステップS106)。
【００４１】サンプリング時間決定手段６は、テスト信
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号の印加終了時刻Ｂから一定時間遅れた時刻Ｃ（図１０
参照）において、サンプリングの停止をサンプリング手
段７に対して指示する(図９のステップS107)。
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号の印加終了時刻Ｂから一定時間遅れた時刻Ｃ（図１０
参照）において、サンプリングの停止をサンプリング手
段７に対して指示する(図９のステップS107)。
【００４２】サンプリング停止の指示を受けたサンプリ
ング手段７は、電源電流値信号のサンプリングを停止す
る(図９のステップS108)。
ング手段７は、電源電流値信号のサンプリングを停止す
る(図９のステップS108)。
【００４３】サンプリングの終了により時刻Ａより時刻
Ｃ（図１０参照）まで、電源電流値信号をサンプリング
した全てのデータはサンプリングデータ格納手段８への
格納が完了する。
Ｃ（図１０参照）まで、電源電流値信号をサンプリング
した全てのデータはサンプリングデータ格納手段８への
格納が完了する。
【００４４】そしてフーリエ変換手段９にて、全てのサ
ンプリングデータを離散フーリエ変換し、電源電流値信
号の周波数スペクトル情報を得る。そして得られた周波
数スペクトル情報を出力する(図９のステップS109)。
ンプリングデータを離散フーリエ変換し、電源電流値信
号の周波数スペクトル情報を得る。そして得られた周波
数スペクトル情報を出力する(図９のステップS109)。
【００４５】時刻Ｂ'（図１０参照）において電源５に
よる電源の生成は終了する(図９のステップS110)。
よる電源の生成は終了する(図９のステップS110)。
【００４６】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００４７】次に本発明の第１の実施例の作用効果につ
いて説明する。
いて説明する。
【００４８】図１１は、本発明の第１の実施例の効果を
説明するための説明図である。従来の電源電流値信号の
サンプリングは、ＤＵＴ３へのテスト信号の印加終了と
同時に終了していたため、サンプリングされた電源電流
値信号はサンプリングデータAに示されるように、時刻
Ｂで打ち切られたデータとなる。ところで、電源、電流
検出手段、ＤＵＴからなる回路系には、通常ＤＵＴに印
加される電源電圧を安定化させるためのバイパスコンデ
ンサや、電源内の容量、誘導成分、さらには寄生容量等
が存在し、回路系が一定の時定数を持つこととなる。こ
のことは、ＤＵＴへのテスト信号の印加が終了(時刻Ｂ)
し、ＤＵＴの動作が停止したのちも、電流検出手段で検
出される電源電流は存在し、一定の時間が経過したとき
に(時刻Ｃ)電源電流の流れが停止(あるいは安定化)す
る。そのため、テスト信号の印加によるＤＵＴの動作に
よる電源電流の周波数スペクトル情報を得るためには、
時刻Ｃまで電源電流値信号をサンプリングし、得られた
サンプリングデータに基づいて離散フーリエ変換を実施
し、電源電流の周波数スペクトル情報を得る必要があ
る。
説明するための説明図である。従来の電源電流値信号の
サンプリングは、ＤＵＴ３へのテスト信号の印加終了と
同時に終了していたため、サンプリングされた電源電流
値信号はサンプリングデータAに示されるように、時刻
Ｂで打ち切られたデータとなる。ところで、電源、電流
検出手段、ＤＵＴからなる回路系には、通常ＤＵＴに印
加される電源電圧を安定化させるためのバイパスコンデ
ンサや、電源内の容量、誘導成分、さらには寄生容量等
が存在し、回路系が一定の時定数を持つこととなる。こ
のことは、ＤＵＴへのテスト信号の印加が終了(時刻Ｂ)
し、ＤＵＴの動作が停止したのちも、電流検出手段で検
出される電源電流は存在し、一定の時間が経過したとき
に(時刻Ｃ)電源電流の流れが停止(あるいは安定化)す
る。そのため、テスト信号の印加によるＤＵＴの動作に
よる電源電流の周波数スペクトル情報を得るためには、
時刻Ｃまで電源電流値信号をサンプリングし、得られた
サンプリングデータに基づいて離散フーリエ変換を実施
し、電源電流の周波数スペクトル情報を得る必要があ
る。
【００４９】そこで、本発明の第１の実施例において
は、ＤＵＴへのテスト信号の印加終了後、一定の時間電
源電流値信号のサンプリングを継続することで、正確な
電源電流の周波数スペクトル情報を獲得することができ
る。
は、ＤＵＴへのテスト信号の印加終了後、一定の時間電
源電流値信号のサンプリングを継続することで、正確な
電源電流の周波数スペクトル情報を獲得することができ
る。
【００５０】［実施例２］次に、本発明の第２の実施例
について説明する。図２は、本発明の第２の実施例の構
成を示す図である。図２を参照すると、本発明の第２の
実施例は、図１に示した前記第１の実施例による構成と
比較し、時定数情報記憶手段１０をさらに備えている。
時定数情報記憶手段１０は、電源５、電流検出手段４、
ＤＵＴ３からなる回路系の時定数情報を記憶保持してお
り、主制御手段１からの指示で、時定数情報を送出す
る。その他の構成については、図１に示した前記第１の
実施例の構成と同じである。
について説明する。図２は、本発明の第２の実施例の構
成を示す図である。図２を参照すると、本発明の第２の
実施例は、図１に示した前記第１の実施例による構成と
比較し、時定数情報記憶手段１０をさらに備えている。
時定数情報記憶手段１０は、電源５、電流検出手段４、
ＤＵＴ３からなる回路系の時定数情報を記憶保持してお
り、主制御手段１からの指示で、時定数情報を送出す
る。その他の構成については、図１に示した前記第１の
実施例の構成と同じである。
【００５１】図１２は、本発明の第２の実施例の動作を
説明するためのフローチャートである。ステップS201〜
S206、S208〜S210については前記第１の実施例の動作に
おいて説明したステップS101〜S106、S108〜S110と同じ
動作であるため、その説明を省略する。
説明するためのフローチャートである。ステップS201〜
S206、S208〜S210については前記第１の実施例の動作に
おいて説明したステップS101〜S106、S108〜S110と同じ
動作であるため、その説明を省略する。
【００５２】時定数情報記憶手段１０では、電源５、電
流検出手段４、ＤＵＴ３からなる回路系の時定数情報を
記憶している。電源５、電流検出手段４、ＤＵＴ３から
なる回路では、電源５の種類や、ＤＵＴ３の種類が変る
ことで、回路系の時定数が変化する。そこで、予め、回
路系を構成する、電源５や、電流検出手段４、ＤＵＴ３
の種類毎に時定数を求めておき時定数情報記憶手段１０
に予め記憶する。
流検出手段４、ＤＵＴ３からなる回路系の時定数情報を
記憶している。電源５、電流検出手段４、ＤＵＴ３から
なる回路では、電源５の種類や、ＤＵＴ３の種類が変る
ことで、回路系の時定数が変化する。そこで、予め、回
路系を構成する、電源５や、電流検出手段４、ＤＵＴ３
の種類毎に時定数を求めておき時定数情報記憶手段１０
に予め記憶する。
【００５３】そして、主制御手段1からの指示により、
適当な時定数情報を主制御手段１に送り、主制御手段１
は、この情報をサンプリング時間決定手段６に送付す
る。サンプリング時間決定手段６では、主制御手段１か
ら送られた時定数情報に基づき、サンプリングの延長時
間を決定する(図１２のステップS207)。
適当な時定数情報を主制御手段１に送り、主制御手段１
は、この情報をサンプリング時間決定手段６に送付す
る。サンプリング時間決定手段６では、主制御手段１か
ら送られた時定数情報に基づき、サンプリングの延長時
間を決定する(図１２のステップS207)。
【００５４】なお、これら一連の動作は、その制御動作
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。
【００５５】本発明の第２の実施例の作用効果について
説明する。
説明する。
【００５６】電源、電流検出手段、ＤＵＴからなる回路
系の時定数は、電源やＤＵＴなどの種類によりさまざま
に変化する。そこで各電源、ＤＵＴ毎に予め時定数情報
を求めておき、記憶しておくことで、電源、電流検出手
段、ＤＵＴからなる回路系の時定数情報を直ちに得るこ
とが可能となる。ところで、ＤＵＴに対するテスト信号
の印加終了後、電源電流が停止、あるいは安定化するま
での時間は回路系の時定数により決定される。そこで、
回路例の時定数情報に基づき電源電流値信号のサンプリ
ング延長時間を決定することで、容易に正確な電源電流
の周波数スペクトル情報が得られることとなる。
系の時定数は、電源やＤＵＴなどの種類によりさまざま
に変化する。そこで各電源、ＤＵＴ毎に予め時定数情報
を求めておき、記憶しておくことで、電源、電流検出手
段、ＤＵＴからなる回路系の時定数情報を直ちに得るこ
とが可能となる。ところで、ＤＵＴに対するテスト信号
の印加終了後、電源電流が停止、あるいは安定化するま
での時間は回路系の時定数により決定される。そこで、
回路例の時定数情報に基づき電源電流値信号のサンプリ
ング延長時間を決定することで、容易に正確な電源電流
の周波数スペクトル情報が得られることとなる。
【００５７】［実施例３］次に、本発明の第３の実施例
について説明する。図３は、本発明の第３の実施例の構
成を示す図である。図３を参照すると、本発明の第３の
実施例は、図１に示した第１の実施例の構成と比較し、
新たにサンプリングデータ解析手段１１を備えている。
サンプリングデータ解析手段１１は、サンプリング手段
７でサンプリングされた電源電流信号を解析し、電源電
流値信号のサンプリングすべき延長時間を求め、その値
を主制御手段１に送付している。
について説明する。図３は、本発明の第３の実施例の構
成を示す図である。図３を参照すると、本発明の第３の
実施例は、図１に示した第１の実施例の構成と比較し、
新たにサンプリングデータ解析手段１１を備えている。
サンプリングデータ解析手段１１は、サンプリング手段
７でサンプリングされた電源電流信号を解析し、電源電
流値信号のサンプリングすべき延長時間を求め、その値
を主制御手段１に送付している。
【００５８】図１３は、本発明の第３の実施例の動作を
示すフローチャートである。図１３のステップS301〜S3
06、S308、S310、S311と、図９に示した前記第1の実施
例の動作を示すフローチャートのステップS101〜S106、
S108〜S110はそれぞれ同じ動作を示すため、その説明を
省略する。
示すフローチャートである。図１３のステップS301〜S3
06、S308、S310、S311と、図９に示した前記第1の実施
例の動作を示すフローチャートのステップS101〜S106、
S108〜S110はそれぞれ同じ動作を示すため、その説明を
省略する。
【００５９】サンプリング時間決定手段６は、テスト信
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号のＤＵＴ３への印加終了時刻より十分遅れた時刻にお
いてサンプリングの停止をサンプリング手段７に対して
指示する(図１３のステップS307)。
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号のＤＵＴ３への印加終了時刻より十分遅れた時刻にお
いてサンプリングの停止をサンプリング手段７に対して
指示する(図１３のステップS307)。
【００６０】サンプリングデータ解析手段１１では、得
られた電流値信号のサンプリングデータを解析し、テス
ト信号生成手段２によるテスト信号のＤＵＴ３への印加
終了後、どの程度電流値信号をサンプリングすれば正確
な電源電流の情報を取得できるかを決定し、その延長時
間を求める。求められた時間の値は、主制御手段１に送
られる(図１３のステップS309)。
られた電流値信号のサンプリングデータを解析し、テス
ト信号生成手段２によるテスト信号のＤＵＴ３への印加
終了後、どの程度電流値信号をサンプリングすれば正確
な電源電流の情報を取得できるかを決定し、その延長時
間を求める。求められた時間の値は、主制御手段１に送
られる(図１３のステップS309)。
【００６１】なお、一度、この時間が求められた後は主
制御手段１から、この情報がサンプリング時間決定手段
６に送られ、必要な時間のみサンプリング時間を延長し
てサンプリングの停止をサンプリング手段７に対して指
示する(図１３のステップS307)。その場合には、図１３
のステップS309は、実施しない。
制御手段１から、この情報がサンプリング時間決定手段
６に送られ、必要な時間のみサンプリング時間を延長し
てサンプリングの停止をサンプリング手段７に対して指
示する(図１３のステップS307)。その場合には、図１３
のステップS309は、実施しない。
【００６２】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００６３】次に本発明の第３の実施例の作用効果を説
明する。
明する。
【００６４】電源電流値信号のサンプリング延長時間は
電源、電流検出手段、ＤＵＴからなる回路系の時定数で
定められる。しかし、この時定数が不明な場合、実際に
どの程度の時間サンプリング時間を延長すれば、電源電
流情報を確実に取得できるかどうかは不明である。そこ
で、一度、十分な時間電源電流値信号をサンプリング
し、サンプリングした結果を解析することで、テスト信
号のＤＵＴへの印加終了後、どの位の時間サンプリング
を継続すれば正確な電源電流の情報が取得できるかが分
る。すなわち、第３の実施例では回路系の詳細な時定数
を知ることなしに、電源電流情報を確実に取得すること
ができる。
電源、電流検出手段、ＤＵＴからなる回路系の時定数で
定められる。しかし、この時定数が不明な場合、実際に
どの程度の時間サンプリング時間を延長すれば、電源電
流情報を確実に取得できるかどうかは不明である。そこ
で、一度、十分な時間電源電流値信号をサンプリング
し、サンプリングした結果を解析することで、テスト信
号のＤＵＴへの印加終了後、どの位の時間サンプリング
を継続すれば正確な電源電流の情報が取得できるかが分
る。すなわち、第３の実施例では回路系の詳細な時定数
を知ることなしに、電源電流情報を確実に取得すること
ができる。
【００６５】［実施例４］次に、本発明の第４の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。図４は、本発
明の第４の実施例の構成を示す図である。図４を参照す
ると、本発明の第４の実施例は、前記第３の実施例の構
成と比較して、サンプリングデータ解析手段１１の代わ
りに、安定化判別手段１２を備えている。安定化判別手
段１２は、電源電流値信号のサンプリング結果から、テ
スト信号のＤＵＴへの印加終了後、どの程度の時間で電
源電流が停止、あるいは安定化するかを解析する。その
他の構成に関しては、第３の実施例の構成と同じであ
る。
について図面を参照して詳細に説明する。図４は、本発
明の第４の実施例の構成を示す図である。図４を参照す
ると、本発明の第４の実施例は、前記第３の実施例の構
成と比較して、サンプリングデータ解析手段１１の代わ
りに、安定化判別手段１２を備えている。安定化判別手
段１２は、電源電流値信号のサンプリング結果から、テ
スト信号のＤＵＴへの印加終了後、どの程度の時間で電
源電流が停止、あるいは安定化するかを解析する。その
他の構成に関しては、第３の実施例の構成と同じであ
る。
【００６６】図１４は、本発明の第４の実施例の動作を
示すフローチャートである。図１４のステップS401〜S4
08、及びステップS410〜S411は、図１３に示した第３の
実施例の動作を示すフローチャートのステップS301〜S3
08、及びS310〜S311とそれぞれ同じ動作であるため、そ
の説明を省略する。
示すフローチャートである。図１４のステップS401〜S4
08、及びステップS410〜S411は、図１３に示した第３の
実施例の動作を示すフローチャートのステップS301〜S3
08、及びS310〜S311とそれぞれ同じ動作であるため、そ
の説明を省略する。
【００６７】安定化判別手段１２は、サンプリングデー
タ格納手段８に格納されている電流値信号のサンプリン
グデータを解析し、テスト信号生成手段２によるテスト
信号のＤＵＴ３への印加終了後、どの程度の時間で電源
電流値が停止、あるいは安定化するかを調べる。そして
その時間の値は主制御手段１に送られる(図１４ステッ
プS409)。なお、一度、この時間が求められた後は主制
御手段１から、この情報がサンプリング時間決定手段６
に送られ、必要な時間のみサンプリング時間を延長して
サンプリングの停止をサンプリング手段７に対して指示
する（図１４のステップS407）。その場合には、図１４
ステップS409は、実行しない。
タ格納手段８に格納されている電流値信号のサンプリン
グデータを解析し、テスト信号生成手段２によるテスト
信号のＤＵＴ３への印加終了後、どの程度の時間で電源
電流値が停止、あるいは安定化するかを調べる。そして
その時間の値は主制御手段１に送られる(図１４ステッ
プS409)。なお、一度、この時間が求められた後は主制
御手段１から、この情報がサンプリング時間決定手段６
に送られ、必要な時間のみサンプリング時間を延長して
サンプリングの停止をサンプリング手段７に対して指示
する（図１４のステップS407）。その場合には、図１４
ステップS409は、実行しない。
【００６８】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００６９】次に本発明の第４の実施例の作用効果につ
いて説明する。
いて説明する。
【００７０】電源電流情報を確実に取得するための、テ
スト信号のＤＵＴへの印加終了後の電源電流値信号のサ
ンプリング延長時間は電源、電流検出手段、ＤＵＴから
なる回路系の時定数で定められる。しかし、この時定数
が不明な場合、実際にどの程度の時間サンプリング時間
を延長すれば、電源電流情報を確実に取得できるかどう
かは不明である。そこで、一度十分な時間電源電流値信
号をサンプリングし、サンプリングした結果を解析する
ことで、テスト信号のＤＵＴへの印加終了後、どの位の
時間サンプリングを継続すれば電源電流が流れなくなる
か、あるいは安定するかが分る。すなわち、第４の実施
例では回路系の詳細な時定数を知ることなしに、電源電
流が停止する時間、あるいは安定化するまでの時間情報
を得るため、この時間だけサンプリングを延長すること
で、正確な電源電流情報の取得することができる。
スト信号のＤＵＴへの印加終了後の電源電流値信号のサ
ンプリング延長時間は電源、電流検出手段、ＤＵＴから
なる回路系の時定数で定められる。しかし、この時定数
が不明な場合、実際にどの程度の時間サンプリング時間
を延長すれば、電源電流情報を確実に取得できるかどう
かは不明である。そこで、一度十分な時間電源電流値信
号をサンプリングし、サンプリングした結果を解析する
ことで、テスト信号のＤＵＴへの印加終了後、どの位の
時間サンプリングを継続すれば電源電流が流れなくなる
か、あるいは安定するかが分る。すなわち、第４の実施
例では回路系の詳細な時定数を知ることなしに、電源電
流が停止する時間、あるいは安定化するまでの時間情報
を得るため、この時間だけサンプリングを延長すること
で、正確な電源電流情報の取得することができる。
【００７１】［実施例５］次に、本発明の第５の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。図５は、本発
明の第５の実施例の構成を示すブロック図である。図５
を参照すると、本発明の第５の実施例は、図１に示した
第１の実施例の構成に、新たにフーリエ変換区間情報格
納手段１３を備えている。その他の構成は第１の実施例
の構成と同じである。
について図面を参照して詳細に説明する。図５は、本発
明の第５の実施例の構成を示すブロック図である。図５
を参照すると、本発明の第５の実施例は、図１に示した
第１の実施例の構成に、新たにフーリエ変換区間情報格
納手段１３を備えている。その他の構成は第１の実施例
の構成と同じである。
【００７２】サンプリング時間決定手段６は、テスト信
号生成手段２からのテスト信号印加信号を受信し、テス
ト信号のＤＵＴ３への印加開始と同時に電源電流値信号
のサンプリング開始をサンプリング手段７に指示し、テ
スト信号のＤＵＴ3への印加終了後十分な時間が経過し
た後にサンプリング終了をサンプリング手段７に指示す
る。
号生成手段２からのテスト信号印加信号を受信し、テス
ト信号のＤＵＴ３への印加開始と同時に電源電流値信号
のサンプリング開始をサンプリング手段７に指示し、テ
スト信号のＤＵＴ3への印加終了後十分な時間が経過し
た後にサンプリング終了をサンプリング手段７に指示す
る。
【００７３】フーリエ変換区間情報格納手段１３は、サ
ンプリングデータ格納手段８に格納されている電源電流
値をサンプリングしたデータのうち、離散フーリエ変換
するデータの範囲の情報を格納している。この情報はフ
ーリエ変換手段９に送られ、離散フーリエ変換演算を実
施する際に、変換対象とするサンプリングデータの範囲
を決定する際に用いられる。
ンプリングデータ格納手段８に格納されている電源電流
値をサンプリングしたデータのうち、離散フーリエ変換
するデータの範囲の情報を格納している。この情報はフ
ーリエ変換手段９に送られ、離散フーリエ変換演算を実
施する際に、変換対象とするサンプリングデータの範囲
を決定する際に用いられる。
【００７４】図１５は、本発明の第５の実施例の動作を
示すフローチャートである。図１５のステップS501〜S5
06、S508、S510、S511は、それぞれ図９に示した第１の
実施例の動作を示すステップS101〜S106、S108〜S110と
同じ動作を表わすため、説明を省略する。
示すフローチャートである。図１５のステップS501〜S5
06、S508、S510、S511は、それぞれ図９に示した第１の
実施例の動作を示すステップS101〜S106、S108〜S110と
同じ動作を表わすため、説明を省略する。
【００７５】サンプリング時間決定手段６は、テスト信
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号印加終了後十分時間が経過した時点でサンプリングの
停止をサンプリング手段７に対して指示する(図１５の
ステップS507)。
号印加信号、及び主制御手段１からの指示で、テスト信
号印加終了後十分時間が経過した時点でサンプリングの
停止をサンプリング手段７に対して指示する(図１５の
ステップS507)。
【００７６】フーリエ変換区間情報格納手段１３は、主
制御手段１からの指示を受け、フーリエ変換手段９に対
し、離散フーリエ変換の対象となるサンプリングデータ
の範囲を指示する。この範囲は、電源５、電流検出手段
４、ＤＵＴ３からなる回路系の特性に基づき予め決定さ
れている(図１５のステップS509)。
制御手段１からの指示を受け、フーリエ変換手段９に対
し、離散フーリエ変換の対象となるサンプリングデータ
の範囲を指示する。この範囲は、電源５、電流検出手段
４、ＤＵＴ３からなる回路系の特性に基づき予め決定さ
れている(図１５のステップS509)。
【００７７】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００７８】次に本発明の第５の実施例の作用効果につ
いて説明する。
いて説明する。
【００７９】電源電流情報を確実に取得するための、テ
スト信号のＤＵＴへの印加終了後の電源電流値信号のサ
ンプリング延長時間は電源、電流検出手段、ＤＵＴから
なる回路系の時定数で定められる。そのため、異なる回
路系毎にサンプリングの終了時刻を定める必要があり、
回路系によって異なる終了時刻まで電源電流値信号のサ
ンプリングを継続しつづけるための装置構成が必要とな
る。
スト信号のＤＵＴへの印加終了後の電源電流値信号のサ
ンプリング延長時間は電源、電流検出手段、ＤＵＴから
なる回路系の時定数で定められる。そのため、異なる回
路系毎にサンプリングの終了時刻を定める必要があり、
回路系によって異なる終了時刻まで電源電流値信号のサ
ンプリングを継続しつづけるための装置構成が必要とな
る。
【００８０】一方、サンプリングの終了タイミングを一
定時刻とし、余分に電源電流値信号をサンプリングし、
サンプリングしたデータのうち必要な範囲のデータのみ
を離散フーリエ変換することは、単にフーリエ演算上の
問題であり、特段の装置構成を必要としない。すなわ
ち、本発明の第５の実施例によれば、より簡便な装置構
成で正確な電源電流情報の取得が可能となる効果があ
る。
定時刻とし、余分に電源電流値信号をサンプリングし、
サンプリングしたデータのうち必要な範囲のデータのみ
を離散フーリエ変換することは、単にフーリエ演算上の
問題であり、特段の装置構成を必要としない。すなわ
ち、本発明の第５の実施例によれば、より簡便な装置構
成で正確な電源電流情報の取得が可能となる効果があ
る。
【００８１】［実施例６］次に、本発明の第６の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。図６は、本発
明の第６の実施例の構成を示す図である。図６を参照す
ると、本発明の第６の実施例は、図５に示した前記第５
の実施例の構成と比較して、フーリエ変換区間情報格納
手段１３の代りに、フーリエ変換区間決定手段１４を備
え、また時定数情報記憶手段１０を備えている。
について図面を参照して詳細に説明する。図６は、本発
明の第６の実施例の構成を示す図である。図６を参照す
ると、本発明の第６の実施例は、図５に示した前記第５
の実施例の構成と比較して、フーリエ変換区間情報格納
手段１３の代りに、フーリエ変換区間決定手段１４を備
え、また時定数情報記憶手段１０を備えている。
【００８２】時定数情報記憶手段１０は、電源５、電流
検出手段４、ＤＵＴ３からなる回路系の特性を表わす時
定数情報を記憶している。
検出手段４、ＤＵＴ３からなる回路系の特性を表わす時
定数情報を記憶している。
【００８３】フーリエ変換区間決定手段１４は、時定数
情報記憶手段１０に記憶されている回路系の時定数情報
を受け取り、テスト信号のＤＵＴ３への印加終了後、ど
の位の時間でＤＵＴ３に流れる電源電流が停止、あるい
は安定化するかを判定し、その結果からサンプリングデ
ータ格納手段８に格納されている電源電流値信号のサン
プリング結果のうち、離散フーリエ変換演算の対象とな
るデータ範囲をフーリエ変換手段９に対して指示する。
情報記憶手段１０に記憶されている回路系の時定数情報
を受け取り、テスト信号のＤＵＴ３への印加終了後、ど
の位の時間でＤＵＴ３に流れる電源電流が停止、あるい
は安定化するかを判定し、その結果からサンプリングデ
ータ格納手段８に格納されている電源電流値信号のサン
プリング結果のうち、離散フーリエ変換演算の対象とな
るデータ範囲をフーリエ変換手段９に対して指示する。
【００８４】図１６は、本発明の第６の実施例の動作を
表わすフローチャートである。図１６において、ステッ
プS601〜S608、S610、S611は、前記第５の実施例のステ
ップS501〜S508、S510、S511と同じ動作を示すため、そ
の説明を省略する。
表わすフローチャートである。図１６において、ステッ
プS601〜S608、S610、S611は、前記第５の実施例のステ
ップS501〜S508、S510、S511と同じ動作を示すため、そ
の説明を省略する。
【００８５】フーリエ変換区間決定手段１４は、時定数
情報記憶手段１０からの情報に基づき、電流値信号のサ
ンプリング結果のうち、フーリエ変換の対象とする範囲
を決定し、その値をフーリエ変換手段９に送付する(図
１６のステップS609)。
情報記憶手段１０からの情報に基づき、電流値信号のサ
ンプリング結果のうち、フーリエ変換の対象とする範囲
を決定し、その値をフーリエ変換手段９に送付する(図
１６のステップS609)。
【００８６】なお、これら一連の動作は、その制御動作
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。
【００８７】本発明の第６の実施例は、前記第２の実施
例と第５の実施例の効果を合わせたものである。
例と第５の実施例の効果を合わせたものである。
【００８８】［実施例７］次に、本発明の第７の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。図７は、本発
明の第７の実施例の構成を示す図である。図７を参照す
ると、本発明の第７の実施例は、本発明の第５の実施例
の構成と比較して、フーリエ変換区間情報格納手段１３
の代りにサンプリングデータ解析手段１１と、フーリエ
変換区間決定手段１４とが新たに設けられている。
について図面を参照して詳細に説明する。図７は、本発
明の第７の実施例の構成を示す図である。図７を参照す
ると、本発明の第７の実施例は、本発明の第５の実施例
の構成と比較して、フーリエ変換区間情報格納手段１３
の代りにサンプリングデータ解析手段１１と、フーリエ
変換区間決定手段１４とが新たに設けられている。
【００８９】サンプリングデータ解析手段１１は、サン
プリング手段７でサンプリングされた電源電流値信号を
解析し、正確な電源電流情報を得るために必要なサンプ
リング延長時間を決定する。決定されたサンプリング延
長時間はフーリエ変換区間決定手段１４に送られ、フー
リエ変換区間決定手段１４ではフーリエ変換手段９に対
し、延長時間に対応するフーリエ変換すべきサンプリン
グデータ範囲を指示する。
プリング手段７でサンプリングされた電源電流値信号を
解析し、正確な電源電流情報を得るために必要なサンプ
リング延長時間を決定する。決定されたサンプリング延
長時間はフーリエ変換区間決定手段１４に送られ、フー
リエ変換区間決定手段１４ではフーリエ変換手段９に対
し、延長時間に対応するフーリエ変換すべきサンプリン
グデータ範囲を指示する。
【００９０】図１７は、本発明の第７の実施例の動作を
説明するためのフローチャートである。図１７におい
て、ステップS701〜S708、S711〜S712は第５の実施例の
ステップS501〜S508、S510、S511と同じ動作を示すた
め、その説明を省略する。
説明するためのフローチャートである。図１７におい
て、ステップS701〜S708、S711〜S712は第５の実施例の
ステップS501〜S508、S510、S511と同じ動作を示すた
め、その説明を省略する。
【００９１】サンプリングデータ解析手段１１では、サ
ンプリングデータ格納手段８に保存されている電源電流
値信号のサンプリングデータを検査し、テスト信号のＤ
ＵＴ３への印加終了後どの位の時間電源電流値信号のサ
ンプリングを継続すれば正確な電源電流の情報が取得で
きるかを判定し、その範囲をフーリエ変換区間決定手段
１４に送付する(図１７のステップS709)。
ンプリングデータ格納手段８に保存されている電源電流
値信号のサンプリングデータを検査し、テスト信号のＤ
ＵＴ３への印加終了後どの位の時間電源電流値信号のサ
ンプリングを継続すれば正確な電源電流の情報が取得で
きるかを判定し、その範囲をフーリエ変換区間決定手段
１４に送付する(図１７のステップS709)。
【００９２】フーリエ変換区間決定手段１４では、電源
電流値信号のサンプリングデータのうち、前記範囲から
該当するサンプリングデータの範囲を決定し、そのデー
タの範囲をフーリエ変換手段９に送付する(図１７のス
テップS710)。
電流値信号のサンプリングデータのうち、前記範囲から
該当するサンプリングデータの範囲を決定し、そのデー
タの範囲をフーリエ変換手段９に送付する(図１７のス
テップS710)。
【００９３】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段1で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段1に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００９４】本発明の第７の実施例の作用効果は、本発
明の第３の実施例の効果、及び本発明の第５の実施例の
効果を合わせたものである。
明の第３の実施例の効果、及び本発明の第５の実施例の
効果を合わせたものである。
【００９５】［実施例８］次に、本発明の第８の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。図８は、本発
明の第８の実施例の構成を示す図である。図８を参照す
ると、本発明の第８の実施例は、図７に示した前記第７
の実施例の構成と比較して、サンプリングデータ解析手
段１１の代りに、安定化判別手段１２を備えている。
について図面を参照して詳細に説明する。図８は、本発
明の第８の実施例の構成を示す図である。図８を参照す
ると、本発明の第８の実施例は、図７に示した前記第７
の実施例の構成と比較して、サンプリングデータ解析手
段１１の代りに、安定化判別手段１２を備えている。
【００９６】安定化判定手段１２では、サンプリング手
段７でサンプリングされた電源電流値信号を解析し、テ
スト信号のＤＵＴ３への印加終了後、どの位の時間で電
源電流が停止するか、あるいは安定化するかを調査し、
その時間を算出する。その結果はフーリエ変換区間決定
手段１４に送られる。
段７でサンプリングされた電源電流値信号を解析し、テ
スト信号のＤＵＴ３への印加終了後、どの位の時間で電
源電流が停止するか、あるいは安定化するかを調査し、
その時間を算出する。その結果はフーリエ変換区間決定
手段１４に送られる。
【００９７】図１８は、本発明の第８の実施例の動作を
説明するためのフローチャートである。図１８におい
て、ステップS801〜S808、S810〜S812は、前記第7の実
施例のステップS701〜S708、S710〜S712と同じ動作を示
すため、その説明を省略する。
説明するためのフローチャートである。図１８におい
て、ステップS801〜S808、S810〜S812は、前記第7の実
施例のステップS701〜S708、S710〜S712と同じ動作を示
すため、その説明を省略する。
【００９８】安定化判定手段１２では、サンプリングデ
ータ格納手段８にアクセスし、サンプリング手段7でサ
ンプリングされた電源電流値信号を受信し、解析する。
解析する内容は、テスト信号のＤＵＴ３への印加終了
後、どの位の時間で電流検出手段4で検出される電源電
流が停止するか、あるいは安定化するかを調査し、その
時間を算出することである。その結果はフーリエ変換区
間決定手段１４に送られる(図１８のステップS809)。
ータ格納手段８にアクセスし、サンプリング手段7でサ
ンプリングされた電源電流値信号を受信し、解析する。
解析する内容は、テスト信号のＤＵＴ３への印加終了
後、どの位の時間で電流検出手段4で検出される電源電
流が停止するか、あるいは安定化するかを調査し、その
時間を算出することである。その結果はフーリエ変換区
間決定手段１４に送られる(図１８のステップS809)。
【００９９】なお、これら一連の動作は、その制御動作
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。本発明の第８の実施例の効果は、本発明
の第４の実施例の効果、及び本発明の第５の実施例の効
果を合わせたものである。
を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラム
を主制御手段１で実行することで、各部の動作を制御す
るようにしてもよい。この場合、主制御手段１に付設さ
れるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に
制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロード
して実行する。本発明の第８の実施例の効果は、本発明
の第４の実施例の効果、及び本発明の第５の実施例の効
果を合わせたものである。
【０１００】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
テスト信号のＤＵＴへの印加により流れる電源電流の挙
動(情報)をより正確に取得できる、という効果を奏す
る。その理由は次の通りである。
テスト信号のＤＵＴへの印加により流れる電源電流の挙
動(情報)をより正確に取得できる、という効果を奏す
る。その理由は次の通りである。
【０１０１】すなわち、電源、電流検出手段、ＤＵＴか
らなる回路系には時定数が存在し、テスト信号のＤＵＴ
への印加終了後も電源電流はある程度の時間継続して流
れるが、テスト信号のＤＵＴへの印加開始から印加終了
までの時間について電源電流を観測するだけでは、完全
な電源電流の挙動を把握できたとはいえず、テスト信号
の印加終了後に流れる電源電流も含めて観測すること
で、より完全な電源電流の挙動を把握することが可能と
なる。
らなる回路系には時定数が存在し、テスト信号のＤＵＴ
への印加終了後も電源電流はある程度の時間継続して流
れるが、テスト信号のＤＵＴへの印加開始から印加終了
までの時間について電源電流を観測するだけでは、完全
な電源電流の挙動を把握できたとはいえず、テスト信号
の印加終了後に流れる電源電流も含めて観測すること
で、より完全な電源電流の挙動を把握することが可能と
なる。
【０１０２】つまり、本発明においては、テスト信号の
ＤＵＴへの印加終了後も、予め定められた時間、あるい
は回路系の時定数に応じた時間、あるいは実測した電源
電流値を解析して得られた時間分の電源電流情報を取得
して解析することで、より正確な電源電流情報を獲得す
ることができる。
ＤＵＴへの印加終了後も、予め定められた時間、あるい
は回路系の時定数に応じた時間、あるいは実測した電源
電流値を解析して得られた時間分の電源電流情報を取得
して解析することで、より正確な電源電流情報を獲得す
ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例の構成を示す図である。
【図４】本発明の第４の実施例の構成を示す図である。
【図５】本発明の第５の実施例の構成を示す図である。
【図６】本発明の第６の実施例の構成を示す図である。
【図７】本発明の第７の実施例の構成を示す図である。
【図８】本発明の第８の実施例の構成を示す図である。
【図９】本発明の第１の実施例の動作を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図１０】本発明の第１の実施例の動作を説明する説明
図である。
図である。
【図１１】本発明の第１の実施例の動作を説明する説明
図である。
図である。
【図１２】本発明の第２の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１３】本発明の第３の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１４】本発明の第４の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１５】本発明の第５の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１６】本発明の第６の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１７】本発明の第７の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１８】本発明の第８の実施例の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
１ 主制御手段
２ テスト信号生成手段
３ 被試験集積回路(ＤＵＴ)
４ 電流検出手段
５ 電源
６ サンプリング時間決定手段
７ サンプリング手段
８ サンプリングデータ格納手段
９ フーリエ変換手段
１０ 時定数情報記憶手段
１１ サンプリングデータ解析手段
１２ 安定化判定手段
１３ フーリエ変換区間情報格納手段
１４ フーリエ変換区間決定手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０１Ｒ 31/319 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｒ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/26
G01R 19/00 - 19/32
G01R 27/00 - 27/32
G01R 31/28 - 31/3193
Claims (17)
- 【請求項１】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング方法において、 (a)予め定められた電圧の発生を開始し、前記集積回路
の電源端子に電源電圧を印加するステップと、 (b)テスト信号の生成を開始し、前記集積回路の電源端
子を除く入出力端子に前記テスト信号の印加を開始する
ステップと、 (c)前記テスト信号の印加開始とともに前記テスト信号
の印加を示すテスト信号印加信号を生成するステップ
と、 (d)前記集積回路に供給される電源電流の値を観測し、
前記電源電流値を示す電源電流値信号を生成するステッ
プと、 (e)前記テスト信号が前記集積回路に印加開始されると
同時に前記電源電流値信号のサンプリングを開始するス
テップと、 (f)前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、回
路の時定数情報から定められる延長時間が経過した後に
前記電源電流値信号のサンプリングを停止するステップ
と、 (g)前記サンプリングにより得られた全てのデータをフ
ーリエ変換し、前記電源電流値信号の周波数スペクトル
情報を得るステップと、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング方法。 - 【請求項２】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング方法において、 (a)予め定められた電圧の発生を開始し、前記集積回路
の電源端子に電源電圧を印加するステップと、 (b)テスト信号の生成を開始し、前記集積回路の電源端
子を除く入出力端子に前記テスト信号の印加を開始する
ステップと、 (c)前記テスト信号の印加開始とともに前記テスト信号
の印加を示すテスト信号印加信号を生成するステップ
と、 (d)前記集積回路に供給される電源電流の値を観測し、
前記電源電流値を示す電源電流値信号を生成するステッ
プと、 (e)前記テスト信号が前記集積回路に印加開始されると
同時に前記電源電流値信号のサンプリングを開始するス
テップと、 (f)前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、十
分な時間が経過した後に前記電源電流値信号のサンプリ
ングを停止するステップと、 (g)前記サンプリングにより得られた全てのデータをフ
ーリエ変換し、前記電源電流値信号の周波数スペクトル
情報を得るステップと、 (h)前記サンプリングにより得られた全てのデータを解
析して、前記フーリエ変換すべき範囲を決定し、前記テ
スト信号の前記集積回路への印加終了後のサンプリング
延長時間を決定するステップと、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング方法。 - 【請求項３】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング方法において、 (a)予め定められた電圧の発生を開始し、前記集積回路
の電源端子に電源電圧を印加するステップと、 (b)テスト信号の生成を開始し、前記集積回路の電源端
子を除く入出力端子に前記テスト信号の印加を開始する
ステップと、 (c)前記テスト信号の印加開始とともに前記テスト信号
の印加を示すテスト信号印加信号を生成するステップ
と、 (d)前記集積回路に供給される電源電流の値を観測し、
前記電源電流値を示す電源電流値信号を生成するステッ
プと、 (e)前記テスト信号が前記集積回路に印加開始されると
同時に前記電源電流値信号のサンプリングを開始するス
テップと、 (f)前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、十
分な時間が経過した後に前記電源電流値信号のサンプリ
ングを停止するステップと、 (g)前記サンプリングにより得られた全てのデータをフ
ーリエ変換し、前記電源電流値信号の周波数スペクトル
情報を得るステップと、 (h)前記サンプリングにより得られた全てのデータを解
析し、前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、
前記電源電流が停止、あるいは安定化するまでの時間を
求め、前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後の
サンプリング延長時間を決定するステップと、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング方法。 - 【請求項４】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング方法において、 (a)予め定められた電圧の発生を開始し、前記集積回路
の電源端子に電源電圧を印加するステップと、 (b)テスト信号の生成を開始し、前記集積回路の電源端
子を除く入出力端子に前記テスト信号の印加を開始する
ステップと、 (c)前記テスト信号の印加開始とともに前記テスト信号
の印加を示すテスト信号印加信号を生成するステップ
と、 (d)前記集積回路に供給される電源電流の値を観測し、
前記電源電流値を示す電源電流値信号を生成するステッ
プと、 (e)前記テスト信号が前記集積回路に印加開始されると
同時に前記電源電流値信号のサンプリングを開始するス
テップと、 (f)前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、十
分な時間が経過した後に前記電源電流値信号のサンプリ
ングを停止するステップと、 (g)前記サンプリングにより得られた全てのデータのう
ち、回路の時定数情報に基づきフーリエ変換すべきデー
タ範囲を定め、前記範囲のデータについてフーリエ変換
し、前記電源電流値信号の周波数スペクトル情報を得る
ステップと、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング方法。 - 【請求項５】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング方法において、 (a)予め定められた電圧の発生を開始し、前記集積回路
の電源端子に電源電圧を印加するステップと、 (b)テスト信号の生成を開始し、前記集積回路の電源端
子を除く入出力端子に前記テスト信号の印加を開始する
ステップと、 (c)前記テスト信号の印加開始とともに前記テスト信号
の印加を示すテスト信号印加信号を生成するステップ
と、 (d)前記集積回路に供給される電源電流の値を観測し、
前記電源電流値を示す電源電流値信号を生成するステッ
プと、 (e)前記テスト信号が前記集積回路に印加開始されると
同時に前記電源電流値信号のサンプリングを開始するス
テップと、 (f)前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、十
分な時間が経過した後に前記電源電流値信号のサンプリ
ングを停止するステップと、 (g)前記サンプリングにより得られた全てのデータを解
析し、前記テスト信号の前記集積回路への印加終了後、
前記電源電流が停止、あるいは安定化するまでの時間か
ら、フーリエ変換すべきデータ範囲を定め、前記範囲の
データについてフーリエ変換し、前記電源電流値信号の
周波数スペクトル情報を得るステップと、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング方法。 - 【請求項６】前記フーリエ変換として、離散フーリエ変
換を用いる、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれ
か一に記載の集積回路の電源電流値のサンプリング方
法。 - 【請求項７】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング装置において、 被試験集積回路(Device Under Test；以下「ＤＵＴ」
という)の電源端子に供給する所定の電源を生成する電
源と、 前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流値を観測
し、その値を示す電源電流値信号を生成する電流検出手
段と、 前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子に印加する所定
のテスト信号を生成し、また前記テスト信号の印加中を
示すテスト信号印加信号を生成するテスト信号生成手段
と、 前記電源電流値信号をサンプリングするサンプリング手
段と、 前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印加信号
に基づきサンプリングの開始と終了を指示するサンプリ
ング時間決定手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされたデータ
を格納するサンプリングデータ格納手段と、 前記サンプリングデータをフーリエ変換するフーリエ変
換手段と、 前記各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる
主制御手段と、 前記サンプリングデータを解析し、前記テスト信号の前
記ＤＵＴへの印加終了後の前記電源電流値信号のサンプ
リングの継続時間を決定するサンプリングデータ解析手
段をさらに含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流
値のサンプリング装置。 - 【請求項８】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング装置において、 被試験集積回路(Device Under Test；以下「ＤＵＴ」
という)の電源端子に供給する所定の電源を生成する電
源と、 前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流値を観測
し、その値を示す電源電流値信号を生成する電流検出手
段と、 前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子に印加する所定
のテスト信号を生成し、また前記テスト信号の印加中を
示すテスト信号印加信号を生成するテスト信号生成手段
と、 前記電源電流値信号をサンプリングするサンプリング手
段と、 前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印加信号
に基づきサンプリングの開始と終了を指示するサンプリ
ング時間決定手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされたデータ
を格納するサンプリングデータ格納手段と、 前記サンプリングデータをフーリエ変換するフーリエ変
換手段と、 前記各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる
主制御手段と、 前記サンプリングデータから、前記テスト信号の前記Ｄ
ＵＴへの印加終了後、どの位の時間で前記電源電流が停
止するか、あるいは安定化するかを判定し、前記サンプ
リングの延長時間を決定する安定化判定手段をさらに含
む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサンプリ
ング装置。 - 【請求項９】集積回路にテスト信号を印加しているとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するため
の前記電源電流値のサンプリング装置において、 被試験集積回路(Device Under Test；以下「ＤＵＴ」
という)の電源端子に供給する所定の電源を生成する電
源と、 前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流値を観測
し、その値を示す電源電流値信号を生成する電流検出手
段と、 前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子に印加する所定
のテスト信号を生成し、また前記テスト信号の印加中を
示すテスト信号印加信号を生成するテスト信号生成手段
と、 前記電源電流値信号をサンプリングするサンプリング手
段と、 前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印加信号
に基づきサンプリングの開始と終了を指示するサンプリ
ング時間決定手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされたデータ
を格納するサンプリングデータ格納手段と、 前記サンプリングデータをフーリエ変換するフーリエ変
換手段と、 前記各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる
主制御手段と、 前記サンプリングデータのうち、前記フーリエ変換演算
の対象となるデータ範囲を記憶したフーリエ変換区間情
報格納手段を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電
流値のサンプリング装置。 - 【請求項１０】集積回路にテスト信号を印加していると
きに前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するた
めの前記電源電流値のサンプリング装置において、 被試験集積回路(Device Under Test；以下「ＤＵＴ」
という)の電源端子に供給する所定の電源を生成する電
源と、 前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流値を観測
し、その値を示す電源 電流値信号を生成する電流検出手
段と、 前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子に印加する所定
のテスト信号を生成し、また前記テスト信号の印加中を
示すテスト信号印加信号を生成するテスト信号生成手段
と、 前記電源電流値信号をサンプリングするサンプリング手
段と、 前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印加信号
に基づきサンプリングの開始と終了を指示するサンプリ
ング時間決定手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされたデータ
を格納するサンプリングデータ格納手段と、 前記サンプリングデータをフーリエ変換するフーリエ変
換手段と、 前記各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる
主制御手段と、 回路の時定数情報を記憶保持する時定数情報記憶手段
と、 前記時定数情報に基づき、前記フーリエ変換演算の対象
となる前記サンプリングデータ範囲を決定するフーリエ
変換区間決定手段と、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング装置。 - 【請求項１１】集積回路にテスト信号を印加していると
きに前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するた
めの前記電源電流値のサンプリング装置において、 被試験集積回路(Device Under Test；以下「ＤＵＴ」
という)の電源端子に供給する所定の電源を生成する電
源と、 前記電源から前記ＤＵＴに供給される電源電流値を観測
し、その値を示す電源電流値信号を生成する電流検出手
段と、 前記ＤＵＴの電源端子を除く入出力端子に印加する所定
のテスト信号を生成し、また前記テスト信号の印加中を
示すテスト信号印加信号を生成するテスト信号生成手段
と、 前記電源電流値信号をサンプリングするサンプリング手
段と、 前記サンプリング手段に対し、前記テスト信号印加信号
に基づきサンプリングの開始と終了を指示するサンプリ
ング時間決定手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされたデータ
を格納するサンプリン グデータ格納手段と、 前記サンプリングデータをフーリエ変換するフーリエ変
換手段と、 前記各手段に対し指示を出し、装置全体の制御を司どる
主制御手段と、 前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後、どの位の
時間で前記電源電流が停止するか、あるいは安定するか
を解析する安定化判定手段と、 前記安定化判定手段の結果から前記サンプリングデータ
のうち、前記フーリエ変換演算の対象となるデータの範
囲を決定するフーリエ変換区間決定手段と、 を含む、ことを特徴とする集積回路の電源電流値のサン
プリング装置。 - 【請求項１２】前記フーリエ変換手段が、離散フーリエ
変換を行う、ことを特徴とする請求項７乃至１１のいず
れか一に記載の集積回路の電源電流値のサンプリング装
置。 - 【請求項１３】集積回路にテスト信号を印加していると
きに前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するた
めの前記電源電流値のサンプリング装置において、 (i)電源電流が、前記テスト信号の前記ＤＵＴへの印加
終了後、どの位の時間で停止するか、あるいは安定化す
るか解析する処理と、 (a)電源に対し所定の電圧を発生させ、ＤＵＴの電源端
子に供給させる処理と、 (b)電流検出手段に対し、前記電源から前記ＤＵＴに供
給される電源電流の大きさを観測させ、その値を示す電
源電流値信号を生成させる処理と、 (c)テスト信号生成手段に対し所定のテスト信号を生成
させ、前記ＤＵＴの入出力端子に印加させるとともに、
前記テスト信号の印加中を示しテスト信号印加信号を生
成させる処理と、 (d)テスト信号印加信号、及び、前記電源電流が、前記
テスト信号の前記ＤＵＴへの印加終了後、どの位の時間
で停止するか、あるいは安定化するかの解析結果から前
記電源電流値のサンプリングの開始と終了のタイミング
を決定させ、サンプリング手段に指示を出力する処理
と、 (e)前記サンプリング手段に対し前記サンプリングの開
始と終了のタイミングに基づき前記電源電流値信号のサ
ンプリングを実行させる処理と、 (f)サンプリングデータ格納手段に前記サンプリングに
より得られた前記電源電流値信号のサンプリングデータ
を記憶させる処理と、 (g)フーリエ変換手段に前記サンプリングデータをフー
リエ変換演算させ、前記電源電流の周波数スペクトルを
求める処理と、 の前記各処理を、前記電源電流値のサンプリング装置を
構成するコンピュータで実行するためのプログラムを記
録した記録媒体。 - 【請求項１４】集積回路にテスト信号を印加していると
きに前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析するた
めの前記電源電流値のサンプリング装置において、 (m)サンプリングデータを解析し、前記テスト信号の前
記ＤＵＴへの印加終了後、前記電源電流が停止するまで
の時間、あるいは安定化するまでの時間を調査する安定
化判定処理と、 (n)安定化判定処理の解析結果から前記サンプリングデ
ータのうち、フーリエ変換演算の対象となるデータ範囲
を決定する処理と、 (a)電源に対し所定の電圧を発生させ、ＤＵＴの電源端
子に供給させる処理と、 (b)電流検出手段に対し、前記電源から前記ＤＵＴに供
給される電源電流の大きさを観測させ、その値を示す電
源電流値信号を生成させる処理と、 (c)テスト信号生成手段に対し所定のテスト信号を生成
させ、前記ＤＵＴの入出力端子に印加させるとともに、
前記テスト信号の印加中を示しテスト信号印加信号を生
成させる処理と、 (d)テスト信号印加信号から前記電源電流値のサンプリ
ングの開始と終了のタイミングを決定し、サンプリング
手段に指示を出力する処理と、 (e)前記サンプリング手段に対し前記サンプリングの開
始と終了のタイミングに基づき前記電源電流値信号のサ
ンプリングを実行させる処理と、 (f)サンプリングデータ格納手段に前記サンプリングに
より得られた前記電源電流値信号のサンプリングデータ
を記憶させる処理と、 (g)フーリエ変換手段に、前記サンプリングデータのう
ち、前記データ範囲で指示された範囲の前記サンプリン
グデータをフーリエ変換演算させ、前記電源電流の周波
数スペクトルを求めさせる処理と、 を、前記電源電流値のサンプリング装置を構成するコン
ピュータで実行するためのプログラムを記録した記録媒
体。 - 【請求項１５】請求項１３又は１４に記載の記録媒体に
おいて、前記フーリエ変換手段が離散フーリエ変換を行
う、ことを特徴とする記録媒体。 - 【請求項１６】被試験デバイスにテストパターンを印加
しその時の前記被試験デバイスに流れる電源電流をサン
プリングして解析する電源電流のサンプリング方法にお
いて、 前記テストパターンの前記被試験デバイスへの印加が終
了した後も、予め定められた時間、回路系の時定数に応
じた時間、あるいは実測した電源電流値を解析して得ら
れた時間分、引き続き電源電流値のサンプリングを継続
し、前記取得した電源電流情報の周波数解析を行う、こ
とを特徴とする電源電流のサンプリング方法。 - 【請求項１７】被試験デバイスにテストパターンを印加
しその時の前記被試験デバイスに流れる電源電流の値を
サンプリングして解析する電源電流のサンプリング装置
において、 前記テストパターンの前記被試験デバイスへの印加が終
了した後も、予め定められた時間、回路系の時定数に応
じた時間、あるいは実測した電源電流値を解析して得ら
れた時間分、引き続き電源電流値のサンプリングを継続
する手段を備え、前記取得した電源電流情報の周波数解
析を行う、ことを特徴とする電源電流のサンプリング装
置。
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