JP3388794B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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Description
特に少量多品種の半導体装置の生産に使用される半導体
製造装置に関する。
る半導体製造現場において、製造途中の半導体装置(半
製品)の品種に合わせて半導体製造装置の品種切換えは
日頃頻繁に発生している。この品種切換えとは、半導体
製造装置に製造加工条件を設定することあるいは半導体
製造装置のメカ段取のことである。
説明する。同図は製造装置31が図示しない中央制御装
置に管理される場合を示すブロック図である。上記中央
制御装置からは通信回線32を介して製造装置31の通
信制御部33に製造加工条件が送られる。それら製造加
工条件をもとに加工制御部34により加工ステ−ジ35
にて半製品に加工が施される。半製品は半製品供給部3
6にある半製品収納ケ−ス37aから加工ステ−ジ35
に供給され、加工後、半製品収納部38にある半製品収
納ケ−ス37bに収められる。
接続された構成の半導体製造装置であっても、作業者が
半製品収納ケ−ス37aに付随される管理表に従い、上
記中央制御装置に製造加工条件を設定している。つま
り、品種切換え作業は作業者の判断により行っている。
従って、作業者の判断ミスにより品種切換えを実施せず
に半製品を加工したりあるいは間違った品種切換えを行
い加工したため、不良品を作ることが多々あった。
の判断により品種切換え作業を行うことは、人為的ミス
により不良品を作ることもあり歩留まりが悪い。更に、
作業者の負担が高く、半導体製造装置の稼働率を低下さ
せている。それ故に、本発明の目的は、確実に品種切換
えが実施され、生産性の高い半導体製造装置を提供する
ことである。
体装置の半製品に加工を施す製造装置と、該製造装置に
通信回線を介して接続し上記製造装置を管理する中央制
御装置とから構成される。上記製造装置は、加工前の半
製品が収納される第一半製品収納ケ−スに添付された識
別表示を読み取る第一読み取り手段と、上記中央制御装
置とデ−タ送受を行う下位通信手段と、上記中央制御装
置に設定される製造加工条件により上記半製品を加工す
る加工手段と、加工後の半製品が収納される第二半製品
収納ケ−スに添付された識別表示を読み取る第二読み取
り手段とを有する。また、上記中央制御装置は、上記製
造装置とデ−タ送受を行う上位通信手段と、上記識別表
示に対応する半製品の品種情報を保持する情報保持手段
と、上記製造装置より送信された上記識別表示に基づき
上記製造装置の製造加工条件を判断する判断手段とを有
する。
一読み取り手段により上記第一半製品収納ケ−スの識別
表示が読み取られ、その識別表示は上記下位通信手段に
より上記上位通信手段に送られ、上記情報保持手段から
その識別表示に対応する半製品の品種情報が検索され製
造加工条件が上記判断手段により判断され、上記判断は
上記上位通信手段から上記下位通信手段により送られ
る。上記判断に従い上記製造装置に設定された製造加工
条件に基づき上記加工手段により上記半製品が加工され
る。上記半製品の加工後に、上記第二読み取り手段によ
り上記第二半製品収納ケ−スの識別表示が読み取られ、
その識別表示は上記下位通信手段により上記上位通信手
段に送られ、上記情報保持手段にその識別表示と上記半
製品の品種情報が対応するように記憶される。
明する。図1によれば、半導体装置の半製品に加工を施
す製造装置10は通信回線101を介して中央制御装置
20と接続される。半製品が収納される半製品収納ケ−
ス102には、他の半製品収納ケ−スと重複しない固有
の識別表示としてバ−コ−ド103が添付されている。
1にある半製品収納ケ−ス102aに添付されているバ
−コ−ド103aを読み取るバ−コ−ドリ−ダ12a及
びバ−コ−ド読み取り制御部13aと、半製品に加工を
施す加工ステ−ジ14及び加工制御部15と、加工後に
半製品収納部16にある半製品収納ケ−ス102bに添
付されているバ−コ−ド103bを読み取るバ−コ−ド
リ−ダ12b及びバ−コ−ド読み取り制御部13bと、
中央制御装置20と通信(デ−タ送受)を行う通信制御
部17とを有する。また中央制御装置20は、製造装置
10と通信を行う通信制御部21と、品種情報を有する
情報部22と、製造装置の品種切換えの有無を判断する
判断部23とから構成される。
ケ−ス102に添付されるバ−コ−ドに対応するよう
に、半製品の品種情報は情報部22に保持されている。
先ず、半製品供給部11にある半製品収納ケ−ス102
aに添付されたバ−コ−ド103aをバ−コ−ドリ−ダ
12aにて読み取り、そのバ−コ−ド情報を製造装置1
0の通信制御部17から通信回線を介して中央制御装置
20の通信制御部21に送信する。情報部22に保持さ
れる上記バ−コ−ド情報に対応した品種情報を判断部2
3が検索し、上記品種情報と製造装置10が現在設定さ
れている品種情報とを比較し、品種切換えの必要有無を
判断する。ここで品種切換えとは、製造装置10のメカ
段取りと製造装置10に設定する製造加工条件のことで
ある。
に対する加工数をパラメ−タにて保持している)があ
る。
種切換え(メカ段取り)をする必要があり、作業者が品
種切換えを行い、端末104を通じて中央制御装置に品
種交換の終了を通知する。その後、再び判断部23によ
り判断される。
10側の品種切換えは必要とせず製造装置10に製造加
工条件を設定する場合である。(2)の判断の場合は、
最大X個半製品を収納される半製品収納ケ−ス102
に、実際に収納されている半製品がY(Y<X)個であ
る場合に有効である。(3)の判断の場合は、製造装置
10側が加工数を設定している場合に有効である。
断部23にて決定されると、それら製造加工条件は通信
制御部21から通信回線101を介し通信制御部17へ
送信され、加工制御部15に上記製造加工条件が設定さ
れる。半製品収納ケ−ス102aから半製品は加工ステ
−ジ14に送られ加工され、半製品収納部16の半製品
収納ケ−ス102bに収められる。全ての半製品が加工
された後、半製品収納ケ−ス102bに添付されている
バ−コ−ド103bをバ−コ−ドリ−ダ12bが読み取
り、そのバ−コ−ド情報を通信制御部17より通信回線
101を介して通信制御部21に送信する。それによ
り、半製品収納ケ−ス102bを識別するバ−コ−ド1
03bの情報と、それに対応する半製品収納ケ−ス10
2bに収納される半製品の品種情報とが情報部22に記
憶される。
の中央制御装置20により複数の製造装置10を管理す
ることができる。半製品は各製造装置10間を半製品収
納ケ−ス102にて移動し、各半製品収納ケ−ス102
には各々重複しない固有のバ−コ−ド103が添付され
ている。また、各製造装置10は加工前に半製品供給部
11にある半製品収納ケ−ス102aを識別すると共
に、加工後に半製品収納部16にある半製品収納ケ−ス
102bに添付されたバ−コ−ド103bの情報と収納
された半製品の品種情報とを対応させ中央制御装置20
の情報部22に記憶させる。
給される半製品を収納する半製品収納ケ−ス102aに
添付されたバ−コ−ド103aの情報と,その半製品の
品種情報との対応を中央制御装置20の情報部22に入
力することにより、各製造装置10において作業者が介
在する事なく順次加工を行うことができる。言い換えれ
ば、一番目の製造装置10における加工後の半製品収納
ケ−ス103bが二番目の製造装置10における加工前
の半製品収納ケ−ス102aとなり、上記加工前の半製
品収納ケ−ス102aに添付されたバ−コ−ド103a
の情報に対応するその収納された半製品の品種情報は情
報部22が保持しているため、作業者を介在させる事な
く順次加工が実施される。
る。但し、図1と異なる部分のみ説明する。本実施例で
は、半製品収納ケ−ス102にはバ−コ−ドは添付され
ておらず、ロット毎に1枚存在するトラベルシ−ト10
5に品種により重複しないようなバ−コ−ド103が添
付されている。半製品収納ケ−ス102aに収納された
半製品を加工する前に、バ−コ−ドリ−ダ12によりト
ラベルシ−ト105のバ−コ−ド103を読み取り、そ
のバ−コ−ド情報をもとに製造加工条件が設定される。
半製品は、加工ステ−ジ14にて加工され半製品収納ケ
−ス102bに収納される。
ったバ−コ−ド情報を中央制御装置に送信し、中央制御
装置の判断に従い半製品は加工される。従って、作業者
のミスによる品種切換えの忘れ及び間違いがなくなり、
人為的ミスによる不良品の製造を防止でき、歩留まりの
向上及び品質の安定化を図ることができる。
ブロック図である。
のブロック図である。
る。
御部 20…中央制御装置、21…通信制御部、22…情報
部、23…判断部 101…通信回線、102…半製品収納ケ−ス、103
…バ−コ−ド 104…端末、105…トラベルシ−ト
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体装置の半製品に加工を施す製造装
置と、上記製造装置に通信回線を介して接続し上記製造
装置を管理する中央制御装置とを具備し、 上記製造装置は、加工前の半製品が収納される第一半製
品収納ケースに添付された第一識別表示を読み取る第一
読み取り手段と、上記中央制御装置とデータ送受を行う
下位通信手段と、上記中央制御装置に設定される製造加
工条件により上記半製品を加工する加工手段と、加工後
の半製品が収納される第二半製品収納ケースに添付され
た第二識別表示を読み取る第二読み取り手段とを有する
と共に、 上記中央制御装置は、上記製造装置とデータ送受を行う
上位通信手段と、上記第一及び第二識別表示に対応する
半製品の品種情報を保持する情報保持手段と、上記製造
装置より送信された上記第一識別表示に基づき上記製造
装置の製造加工条件を判断する判断手段とを有する半導
体製造装置であって、 上記判断手段は、加工禁止、条件付き加工許可及び限定
なしの加工許可を判断することを特徴とする 半導体製造
装置。 - 【請求項2】 上記加工禁止の際、端末により上記中央
制御装置に品種切換えデータを送信することを特徴とす
る請求項1記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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ID=11754600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01059593A Expired - Fee Related JP3388794B2 (ja) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | 半導体製造装置 |
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JP4564241B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2010-10-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置の生産システム |
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1993
- 1993-01-26 JP JP01059593A patent/JP3388794B2/ja not_active Expired - Fee Related
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