JP2000306538A - Charged particle beam scanning type image display device - Google Patents
Charged particle beam scanning type image display deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子ビーム走
査型画像表示装置において、観察視野の拡大、縮小に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a charged particle beam scanning type image display device, which relates to enlargement and reduction of an observation field.
【0002】[0002]
【従来の技術】荷電粒子ビームを走査して得られる二次
荷電粒子強度を試料像としてコンピュータ画面に表示さ
せている荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、
試料像を見ながらステージを動かし、偏向機構の走査範
囲を制御する事により観察倍率を拡大、縮小するという
操作を通常行っている。2. Description of the Related Art In a charged particle beam scanning type image display device which displays a secondary charged particle intensity obtained by scanning a charged particle beam on a computer screen as a sample image,
Usually, the operator moves the stage while watching the sample image, and controls the scanning range of the deflection mechanism to enlarge or reduce the observation magnification.
【0003】この操作のために前記コンピュータ画面の
上には、試料像表示部と観察倍率コントロール部が別の
位置に配置されている。このとき比較的低い観察倍率で
試料像を観察して、詳細に観察したい試料像の位置へ試
料ステージを移動させ観察倍率を拡大させるが、前記低
い観察倍率と最終的に観察したい観察倍率とを比べると
前記最終的に観察したい観察倍率が桁違いに大きいの
で、前記試料ステージ移動操作と観察倍率の拡大操作を
交互に行ってゆく必要がある。For this operation, a sample image display unit and an observation magnification control unit are arranged at different positions on the computer screen. At this time, the sample image is observed at a relatively low observation magnification, and the observation stage is moved to a position of the sample image to be observed in detail to enlarge the observation magnification. In comparison, since the observation magnification to be finally observed is orders of magnitude higher, it is necessary to alternately perform the operation of moving the sample stage and the operation of increasing the observation magnification.
【0004】前記試料ステージ移動操作では前記コンピ
ュータ画面の上の前記試料像表示部のうえにマウスカー
ソルをもってゆき拡大したいポイントをマウスクリック
する操作を行う。この操作でクリックしたポイントが視
野中心になるようにステージを移動させる。以降この操
作をイメージセンタリング操作と呼ぶ。一方観察倍率の
拡大、縮小は前記コンピュータ画面上にある前記観察倍
率コントロール部へマウスカーソルをもってゆき倍率を
選択あるいは倍率をアップ、ダウンさせる。この操作で
前記偏向機能の操作範囲を変更する。以降この操作を観
察倍率変更操作と呼ぶ。[0004] In the sample stage moving operation, an operation of moving a mouse cursor on the sample image display section on the computer screen and clicking a mouse on a point to be enlarged is performed. The stage is moved so that the point clicked by this operation becomes the center of the field of view. Hereinafter, this operation is referred to as an image centering operation. On the other hand, to enlarge or reduce the observation magnification, move the mouse cursor to the observation magnification control section on the computer screen to select a magnification or to increase or decrease the magnification. This operation changes the operation range of the deflection function. Hereinafter, this operation is referred to as an observation magnification change operation.
【0005】荷電粒子ビーム走査型画像表示装置を使う
オペレータはイメージセンタリング操作と観察倍率変更
操作を交互に行いながら観察したい対象物を探して、詳
細な構造が判断できる観察倍率まであげてゆくという操
作をおこなっていた。An operator using the charged particle beam scanning type image display device searches for an object to be observed while alternately performing an image centering operation and an observation magnification changing operation, and increases the observation magnification to a level at which a detailed structure can be determined. I was doing.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】このイメージセンタリ
ング操作と観察倍率変更操作を交互におこなうとき、オ
ペレータの目線がまず前記試料像表示部の上にゆき拡大
したい対象物を探してイメージセンタリング操作をおこ
ない、次に前記観察倍率コントロール部にオペレータの
目線が動かなくてはならない。この操作を交互におこな
うということは、オペレータの目線がいったりきたりす
るために操作性の悪いものになっていた。When the image centering operation and the observation magnification changing operation are alternately performed, the operator's line of sight first looks over the sample image display section for an object to be enlarged, and performs the image centering operation. Next, the operator's eyes must move to the observation magnification control section. Performing this operation alternately causes poor operability due to the operator's eyes coming and going.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明では、ホイールコントロール付きマウスを使い前
記試料像表示位置にマウスカーソルをもってゆきマウス
クリックするとクリックした位置が視野中心になるよう
にステージを移動させ前記ホイールコントロールを操作
すると観察倍率の拡大、縮小を制御する機構にしたもの
である。In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, a mouse with a wheel control is used to hold the mouse cursor at the sample image display position, and when the mouse is clicked, the stage is set so that the clicked position becomes the center of the visual field. The mechanism controls the enlargement / reduction of the observation magnification by moving and operating the wheel control.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面に基づいて
詳細に説明する。図1は本発明のシステム構成を表す。
荷電粒子源1から発生する荷電粒子ビームaは集束レン
ズ系2,偏向機構3を通って試料ステージ4に載置され
た試料5に照射される。荷電粒子ビームaが集束レンズ
系2を通過するときにそのレンズ効果で収束されて試料
5に照射される。この照射により二次荷電粒子bが発生
し二次電子検出器6により捕捉されコンピュータ7にそ
の強度が取り込まれる。偏向機構3は荷電粒子ビームa
が試料4に照射される位置をx方向とy方向に振ること
ができる。偏向機構3もコンピュータ7により制御され
るので、x方向/y方向に振った位置と二次荷電粒子検
出器6の強度の情報を合わせることにより試料5のイメ
ージデータがコンピュータ7で得られる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a system configuration of the present invention.
The charged particle beam a generated from the charged particle source 1 passes through the focusing lens system 2 and the deflecting mechanism 3 and irradiates the sample 5 placed on the sample stage 4. When the charged particle beam “a” passes through the focusing lens system 2, the charged particle beam “a” is converged by the lens effect and is irradiated on the sample 5. This irradiation generates secondary charged particles b, which are captured by the secondary electron detector 6 and the intensity thereof is taken into the computer 7. Deflection mechanism 3 is charged particle beam a
Can be shifted in the x direction and the y direction. Since the deflection mechanism 3 is also controlled by the computer 7, image data of the sample 5 can be obtained by the computer 7 by matching information on the intensity of the secondary charged particle detector 6 with the position swung in the x direction / y direction.
【0009】コンピュータ7は荷電粒子源1、集束レン
ズ系2、偏向機構3、試料ステージ4を制御する機構を
有している。そのほかにコンピュータ7は表示機器8と
ホイールコントロール付きマウス9を備えており表示機
器8で表示されているマウスカーソル11(図2参照)
はマウス9の動きと連動している。この表示機器8の中
の一部の領域に前記イメージデータを表示している。表
示機器8に表示されているのは前記イメージデータのほ
かに制御、操作に必要なソフトウェアボタンが配置され
ている。The computer 7 has a mechanism for controlling the charged particle source 1, the focusing lens system 2, the deflection mechanism 3, and the sample stage 4. In addition, the computer 7 includes a display device 8 and a mouse 9 with wheel control, and a mouse cursor 11 displayed on the display device 8 (see FIG. 2).
Is linked to the movement of the mouse 9. The image data is displayed in a part of the display device 8. Displayed on the display device 8 are software buttons required for control and operation in addition to the image data.
【0010】図2は表示機器8に表示される操作画面の
一例を表している。操作画面の中には試料像を表示する
試料像表示エリア10が配置されている。必要に応じて
制御、操作に必要なその他のソフトウェアボタンも配置
されるがここでは明示していない。試料像表示部10の
中に表示されている試料像の上のさらに詳しく観察した
いところへマウスカーソル11をもってゆき、マウス9
をクリックする。FIG. 2 shows an example of an operation screen displayed on the display device 8. A sample image display area 10 for displaying a sample image is arranged in the operation screen. Other software buttons necessary for control and operation are arranged as required, but are not explicitly shown here. Move the mouse cursor 11 to a position on the sample image displayed in the sample image display section 10 to be observed in more detail, and move the mouse 9
Click.
【0011】コンピュータ7はクリックされた時のマウ
スカーソル11の位置と試料像表示エリア10の中心と
の距離から、試料ステージ4の移動量に変換して試料ス
テージ4を移動させる。この試料ステージ移動が終了す
ると、先ほどのさらに詳しく観察したいところが試料像
表示エリア10の表示中心に表示されている。The computer 7 converts the distance between the position of the mouse cursor 11 when clicked and the center of the sample image display area 10 to the amount of movement of the sample stage 4, and moves the sample stage 4. When the movement of the sample stage is completed, the place to be observed in more detail is displayed at the display center of the sample image display area 10.
【0012】このとき試料像表示エリア10の中にマウ
スカーソル11が表示されたままになっているのでここ
でホイールコントロール付きマウス9のホイールを上に
動かすと観察倍率が大きくなりホイールを下方向に動か
すと観察倍率が小さくなる。すなわち、ホイールコント
ロールは観察倍率の変更を指示する機能を果たす。ホイ
ールコントロール付きマウス9のホイールを上方向に動
かしたとき観察倍率が小さくなり、ホイールを下方向に
動かしたとき観察倍率が大きくなるような機構を組み込
んでも同様の効果が得られる。At this time, since the mouse cursor 11 is still displayed in the sample image display area 10, when the wheel of the mouse 9 with the wheel control is moved upward, the observation magnification is increased and the wheel is moved downward. Movement decreases the observation magnification. That is, the wheel control has a function of instructing a change in the observation magnification. A similar effect can be obtained by incorporating a mechanism in which the observation magnification decreases when the wheel of the mouse 9 with the wheel control is moved upward and the observation magnification increases when the wheel is moved downward.
【0013】マウスカーソル11を試料像表示部10の
中においたままマウスクリックするとイメージセンタリ
ング操作ができ、ホイールコントロールを操作すると観
察倍率を操作できるのでこの二つの操作を交互に繰り返
してもオペレータの目線は試料像表示部10からでるこ
とはなくなり操作性が格段に向上する。またホイールコ
ントロール付きマウス10がホイールコントロールでは
なくモーメンタリボタンが2個ついているマウスあるい
は2方向可倒型ボタンがついたマウスでも同様の効果が
得られる。モーメンタリボタンが2個ついているマウス
の場合は一方のボタンを押しているときは観察倍率をア
ップさせ、もう一方のボタンを押しているときは観察倍
率をダウンさせればよい。2方向可倒型ボタンがついた
マウスの場合は一方に2方向可倒型ボタンを倒せば観察
倍率をアップさせもう一方に倒せば観察倍率をダウンさ
せる。このような機構を組み込めば同様に操作性の向上
が図れることは明らかである。The image centering operation can be performed by clicking the mouse while the mouse cursor 11 is kept in the sample image display section 10, and the observation magnification can be operated by operating the wheel control. Does not come out of the sample image display section 10, and the operability is remarkably improved. The same effect can be obtained if the mouse 10 with a wheel control is not a wheel control but a mouse with two momentary buttons or a mouse with a two-way tiltable button. In the case of a mouse having two momentary buttons, the observation magnification may be increased when one button is pressed, and the observation magnification may be decreased when the other button is pressed. In the case of a mouse with a two-way tilt button, tilting the two-way tilt button on one side increases the observation magnification, and tilting it to the other lowers the observation magnification. It is clear that operability can be similarly improved by incorporating such a mechanism.
【0014】[0014]
【発明の効果】本発明によれば、操作目線を試料画像上
に残したままイメージセンタリング操作と観察倍率の拡
大、縮小操作ができ操作性が格段に向上する。According to the present invention, the image centering operation and the enlargement / reduction operation of the observation magnification can be performed while keeping the operation line of sight on the sample image, and the operability is remarkably improved.
【図1】本発明のシステム構成図である。FIG. 1 is a system configuration diagram of the present invention.
【図2】表示機器8に表示される操作画面である。FIG. 2 is an operation screen displayed on a display device 8;
1 荷電粒子源 2 集束レンズ系 3 偏向機構 4 試料ステージ 5 試料 6 二次荷電粒子検出器 7 コンピュータ 8 表示機器 9 マウス 10 試料像表示部 11 マウスカーソル a 荷電粒子ビーム b 二次荷電粒子 Reference Signs List 1 charged particle source 2 focusing lens system 3 deflection mechanism 4 sample stage 5 sample 6 secondary charged particle detector 7 computer 8 display device 9 mouse 10 sample image display section 11 mouse cursor a charged particle beam b secondary charged particle
Claims (1)
された荷電粒子ビームを集束するための集束レンズ系か
らなる荷電粒子ビーム発生部と、前記荷電粒子ビームを
偏向走査するための偏向機構と、前記荷電粒子ビームが
照射される試料を載置し移動可能な試料ステージと、前
記荷電粒子ビームを照射することにより発生する二次荷
電粒子を検出する二次荷電粒子検出器と、前記二次荷電
粒子検出器の出力強度を読み込んで二次荷電粒子像を表
示する表示機器を有するコンピュータと、前記コンピュ
ータの入力手段のホイールコントロール付きマウスから
なる荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、前記
マウスカーソルを前記表示機器のうえに表示されている
前記二次荷電粒子像の上にもってゆき、前記ホイールを
回転させることにより前記偏向機構の走査範囲を変化さ
せ前記二次荷電粒子像の観察視野を変化させることを特
徴とする荷電粒子ビーム走査型画像表示装置。1. A charged particle beam generator comprising a charged particle source and a focusing lens system for focusing a charged particle beam extracted from the charged particle source; and a deflecting mechanism for deflecting and scanning the charged particle beam. A sample stage on which a sample to be irradiated with the charged particle beam is placed and movable, a secondary charged particle detector for detecting a secondary charged particle generated by irradiating the charged particle beam, and the secondary In a charged particle beam scanning type image display device comprising a computer having a display device for reading an output intensity of a charged particle detector and displaying a secondary charged particle image and a mouse with a wheel control as input means of the computer, the mouse cursor By bringing the secondary charged particle image displayed on the display device and rotating the wheel. A scanning range of the deflecting mechanism to change an observation field of view of the secondary charged particle image.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11109788A JP2000306538A (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Charged particle beam scanning type image display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11109788A JP2000306538A (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Charged particle beam scanning type image display device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000306538A true JP2000306538A (en) | 2000-11-02 |
Family
ID=14519245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP11109788A Pending JP2000306538A (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Charged particle beam scanning type image display device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000306538A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002098897A (en) * | 2000-09-21 | 2002-04-05 | Shimadzu Corp | Microscope |
JP2006343193A (en) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | X-ray fluoroscope |
-
1999
- 1999-04-16 JP JP11109788A patent/JP2000306538A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002098897A (en) * | 2000-09-21 | 2002-04-05 | Shimadzu Corp | Microscope |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
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A521 | Written amendment |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060606 |