JP3372224B2 - 表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体Info
- Publication number
- JP3372224B2 JP3372224B2 JP21743999A JP21743999A JP3372224B2 JP 3372224 B2 JP3372224 B2 JP 3372224B2 JP 21743999 A JP21743999 A JP 21743999A JP 21743999 A JP21743999 A JP 21743999A JP 3372224 B2 JP3372224 B2 JP 3372224B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flatness
- analysis
- surface inspection
- inspection
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は試料の表面形状を検
査する表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログ
ラムを記録した記録媒体に関する。
査する表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログ
ラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来技術】半導体ウェア、光ディスク、磁気ディスク
等においては表面形状が製品の品質に大きく影響する。
殊にガラス又はアルミニウムディスクに磁性材料を塗布
したハードディスク（ＨＤＤ）では、磁気ヘッドがディ
スク表面から数十ｎｍ程度浮上している状態でデータの
読取・記録が行われるため、表面に急激な凹凸部が存在
すると、磁気ヘッドとディスクが衝突してクラッシュし
たり、データの読取・記録が行われなくなる可能性があ
る。この場合、表面全体の平坦度を知ると同時に、急激
な形状変化の測定が重要となってくる。
等においては表面形状が製品の品質に大きく影響する。
殊にガラス又はアルミニウムディスクに磁性材料を塗布
したハードディスク（ＨＤＤ）では、磁気ヘッドがディ
スク表面から数十ｎｍ程度浮上している状態でデータの
読取・記録が行われるため、表面に急激な凹凸部が存在
すると、磁気ヘッドとディスクが衝突してクラッシュし
たり、データの読取・記録が行われなくなる可能性があ
る。この場合、表面全体の平坦度を知ると同時に、急激
な形状変化の測定が重要となってくる。
【０００３】また、急激な形状変化はディスクの製造工
程上、エッジ部分に現われやすい。エッジ付近の表面形
状は、エッジ部のダレ具合を示すロールオフ（以下、Ｒ
Ｏという）と、エッジ部の盛り上がり具合を示すスキー
ジャンプ（以下、ＳＪという）によって評価される。
程上、エッジ部分に現われやすい。エッジ付近の表面形
状は、エッジ部のダレ具合を示すロールオフ（以下、Ｒ
Ｏという）と、エッジ部の盛り上がり具合を示すスキー
ジャンプ（以下、ＳＪという）によって評価される。
【０００４】従来、このような試料の表面形状を測定す
る技術として触針式の検査装置や、静電容量プローブ等
による非接触式の検査装置が知られている。触針式検査
装置は針を試料表面に直接接触させた状態で試料上を一
方向に走査させ、針の上下動から表面形状を測定する。
非接触式検査装置においても、同様にプローブを一方向
に走査させ、プローブと試料表面との距離を検出するこ
とで表面形状を測定している。
る技術として触針式の検査装置や、静電容量プローブ等
による非接触式の検査装置が知られている。触針式検査
装置は針を試料表面に直接接触させた状態で試料上を一
方向に走査させ、針の上下動から表面形状を測定する。
非接触式検査装置においても、同様にプローブを一方向
に走査させ、プローブと試料表面との距離を検出するこ
とで表面形状を測定している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような検査装置では検査時に針やプローブを走査させる
必要があるため、１回の走査による測定に対して１断面
しか検査することができず、検査時間が長くなる。この
ため、多くても半径方向の８断面程度しか検査しておら
ず、検査断面以外については未検査のままであり、欠陥
部を見落としてしまう可能性があった。
ような検査装置では検査時に針やプローブを走査させる
必要があるため、１回の走査による測定に対して１断面
しか検査することができず、検査時間が長くなる。この
ため、多くても半径方向の８断面程度しか検査しておら
ず、検査断面以外については未検査のままであり、欠陥
部を見落としてしまう可能性があった。
【０００６】また、触針式検査装置では試料表面に接触
して測定を行うため、試料表面に傷が付く可能性があ
る。
して測定を行うため、試料表面に傷が付く可能性があ
る。
【０００７】さらに、このような表面形状測定と全体の
平坦度測定を別の検査装置で行うことは手間であるの
で、同時に行うことが望まれている。
平坦度測定を別の検査装置で行うことは手間であるの
で、同時に行うことが望まれている。
【０００８】本発明は上記従来技術の問題点を鑑み、試
料全面に渡って急激な形状変化、特にエッジ部分の形状
変化を、容易に検査できる表面検査装置を提供すること
を技術課題とする。
料全面に渡って急激な形状変化、特にエッジ部分の形状
変化を、容易に検査できる表面検査装置を提供すること
を技術課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【００１０】（１） ディスクの表面形状を検査する表
面検査装置において、斜入射干渉方式であって位相を変
えてディスク表面と参照面で反射した光により干渉縞を
順次形成する干渉縞形成手段と、位相の異なる干渉縞の
画像を取り込む画像取得手段と、を備え平坦度の解析を
行い所定の形式で表示する平坦度解析装置と、前記ディ
スクの半径方向での領域であって、急激な形状変化が生
じやすいエッジ部の検査領域、検査領域外であって検査
領域に近傍しかつ全体撓み等に影響されない小区間の近
傍領域を設定する設定手段と、近傍領域における三次元
形状データに基づいて所期する半径方向での断面の基準
腺を得て、基準腺に対する検査領域の断面方向での変位
量を得る解析手段と、該解析手段による解析結果を出力
すると共に、その解析結果と前記三次元形状データに基
づくエッジを含む平坦度の解析結果との対応関係を出力
する出力手段と、を備えたことを特徴とする。
面検査装置において、斜入射干渉方式であって位相を変
えてディスク表面と参照面で反射した光により干渉縞を
順次形成する干渉縞形成手段と、位相の異なる干渉縞の
画像を取り込む画像取得手段と、を備え平坦度の解析を
行い所定の形式で表示する平坦度解析装置と、前記ディ
スクの半径方向での領域であって、急激な形状変化が生
じやすいエッジ部の検査領域、検査領域外であって検査
領域に近傍しかつ全体撓み等に影響されない小区間の近
傍領域を設定する設定手段と、近傍領域における三次元
形状データに基づいて所期する半径方向での断面の基準
腺を得て、基準腺に対する検査領域の断面方向での変位
量を得る解析手段と、該解析手段による解析結果を出力
すると共に、その解析結果と前記三次元形状データに基
づくエッジを含む平坦度の解析結果との対応関係を出力
する出力手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】（２） （１）の表面検査装置において、
前記検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領
域とし、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係
は、平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロ
ールオフの最大値又はスキージャンプの最大値を示す位
置にマークを表示することによって得られることを特徴
とする。
前記検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領
域とし、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係
は、平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロ
ールオフの最大値又はスキージャンプの最大値を示す位
置にマークを表示することによって得られることを特徴
とする。
【００１２】（３） （１）の表面検査装置において、
前記検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領
域とし、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係
は、平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロ
ールオフ又はスキージャンプのデータの内からの設定さ
れた条件を充足する部分の分布を表示することによって
得られることを特徴とする。
前記検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領
域とし、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係
は、平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロ
ールオフ又はスキージャンプのデータの内からの設定さ
れた条件を充足する部分の分布を表示することによって
得られることを特徴とする。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明について一実施形態
を挙げ、図面に基づいて説明する。図１は表面検査装置
の要部構成図である。以下の説明では、測定試料として
ＨＤＤに使用されるガラス又はアルミニウムディスクを
対象とした場合について説明する。
を挙げ、図面に基づいて説明する。図１は表面検査装置
の要部構成図である。以下の説明では、測定試料として
ＨＤＤに使用されるガラス又はアルミニウムディスクを
対象とした場合について説明する。
【００１９】測定光源であるHe−Neレーザ光源１から出
射したレーザ光はエキスパンダレンズ２を通過した後、
コリメータレンズ３により平行光束とされプリズム４に
入射する。プリズム４の参照面４′はピエゾ素子５によ
りディスク６の被測定面６′との距離が変えられ、参照
光の位相が変化される。
射したレーザ光はエキスパンダレンズ２を通過した後、
コリメータレンズ３により平行光束とされプリズム４に
入射する。プリズム４の参照面４′はピエゾ素子５によ
りディスク６の被測定面６′との距離が変えられ、参照
光の位相が変化される。
【００２０】プリズム４に入射した光の一部は参照面
４′を透過して載置台７に載置されたディスク６の被測
定面６′で反射し、再びプリズム４を通過してスクリー
ン８に向かう。一方、プリズム４に入射した光の内、参
照面４′で反射した光はスクリーン８に向かい、被測定
面６′で反射した光と干渉現象を起こし、スクリーン８
に投影される。
４′を透過して載置台７に載置されたディスク６の被測
定面６′で反射し、再びプリズム４を通過してスクリー
ン８に向かう。一方、プリズム４に入射した光の内、参
照面４′で反射した光はスクリーン８に向かい、被測定
面６′で反射した光と干渉現象を起こし、スクリーン８
に投影される。
【００２１】スクリーン８に投影された干渉縞はレンズ
９によりカメラ１０の撮像面に結像し、撮像される。撮
像された干渉縞は映像信号として解析装置１１に送信さ
れ、各種の演算解析が行われる。解析装置１１にはキー
ボードやマウス等の入力部１１ａ、撮影画像や解析結果
を表示するモニタ１２が接続されている。１３は制御部
で、レーザ光源１、ピエゾ素子５等の駆動制御を行う。
９によりカメラ１０の撮像面に結像し、撮像される。撮
像された干渉縞は映像信号として解析装置１１に送信さ
れ、各種の演算解析が行われる。解析装置１１にはキー
ボードやマウス等の入力部１１ａ、撮影画像や解析結果
を表示するモニタ１２が接続されている。１３は制御部
で、レーザ光源１、ピエゾ素子５等の駆動制御を行う。
【００２２】以上のような構成を備える表面検査装置に
おいて、その動作を図２のフローチャート図に基づいて
以下に説明する。
おいて、その動作を図２のフローチャート図に基づいて
以下に説明する。
【００２３】ディスク６を載置台７に載置した後、所定
の測定位置に置く。制御部１３の制御によりレーザ光源
１からレーザ光が発せられ、参照面４′と被測定面６′
で反射した光とにより形成される干渉縞がスクリーン８
に投影される。また、制御部１３はピエゾ素子５に電圧
を印加し、参照面４′と被測定面６′との距離を変化さ
せることで、干渉縞の位相を変化させる。こうして位相
が変化した干渉縞像がカメラ１０によって撮像され、各
画像データは解析装置１１内のメモリに取り込まれる。
なお、通常、位相シフト干渉法では、位相シフトの数を
４ステップ以上で行う。
の測定位置に置く。制御部１３の制御によりレーザ光源
１からレーザ光が発せられ、参照面４′と被測定面６′
で反射した光とにより形成される干渉縞がスクリーン８
に投影される。また、制御部１３はピエゾ素子５に電圧
を印加し、参照面４′と被測定面６′との距離を変化さ
せることで、干渉縞の位相を変化させる。こうして位相
が変化した干渉縞像がカメラ１０によって撮像され、各
画像データは解析装置１１内のメモリに取り込まれる。
なお、通常、位相シフト干渉法では、位相シフトの数を
４ステップ以上で行う。
【００２４】解析装置１１はメモリに取り込んだ位相の
異なる複数の干渉縞画像にノイズ除去等の周知の処理を
施した後、位相シフト解析によって得られる振幅を基に
ディスク領域を決定し、これを基に位相の繋ぎ合わせを
行う。そしてこの位相データを高さデータに変換するこ
とによって被測定面６′の表面三次元形状を算出する。
なお、この位相シフト法による解析の詳細は、本出願人
による特開平１０−２２１０３３号公報を参照された
い。算出された三次元形状は、鳥瞰図や等高線図等でモ
ニタ１２に表示され、検者は被測定面６′の全体の平坦
度を評価できる。
異なる複数の干渉縞画像にノイズ除去等の周知の処理を
施した後、位相シフト解析によって得られる振幅を基に
ディスク領域を決定し、これを基に位相の繋ぎ合わせを
行う。そしてこの位相データを高さデータに変換するこ
とによって被測定面６′の表面三次元形状を算出する。
なお、この位相シフト法による解析の詳細は、本出願人
による特開平１０−２２１０３３号公報を参照された
い。算出された三次元形状は、鳥瞰図や等高線図等でモ
ニタ１２に表示され、検者は被測定面６′の全体の平坦
度を評価できる。
【００２５】次に、ＳＪ／ＲＯの評価を行う場合につい
て説明する。入力部１１ａにより、モニタ１２に表示さ
れるＳＪ／ＲＯの測定項目を選択し、測定条件の入力と
して、半径方向の断面における測定基準線作成のための
半径位置ｒ１，ｒ２、及びＳＪ／ＲＯの検査領域の半径
位置ｒ３，ｒ４を入力する。ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４は
それぞれディスク中心からの距離を示す。例えば、外周
エッジ部のＳＪ／ＲＯの測定では、ｒ４は最外周にと
り、ｒ３はそこから３ｍｍ内側にとる。ｒ１，ｒ２は検
査領域ｒ３−ｒ４間に近接する近傍領域として、ｒ２は
ｒ３と同じ距離に、ｒ１はｒ２から４ｍｍ内側にとる。
なお、これらｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を固定値として予
めプログラムに組込んでおき、任意位置を検査する場合
のみ、数値変更を行うようにしてもよい。
て説明する。入力部１１ａにより、モニタ１２に表示さ
れるＳＪ／ＲＯの測定項目を選択し、測定条件の入力と
して、半径方向の断面における測定基準線作成のための
半径位置ｒ１，ｒ２、及びＳＪ／ＲＯの検査領域の半径
位置ｒ３，ｒ４を入力する。ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４は
それぞれディスク中心からの距離を示す。例えば、外周
エッジ部のＳＪ／ＲＯの測定では、ｒ４は最外周にと
り、ｒ３はそこから３ｍｍ内側にとる。ｒ１，ｒ２は検
査領域ｒ３−ｒ４間に近接する近傍領域として、ｒ２は
ｒ３と同じ距離に、ｒ１はｒ２から４ｍｍ内側にとる。
なお、これらｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を固定値として予
めプログラムに組込んでおき、任意位置を検査する場合
のみ、数値変更を行うようにしてもよい。
【００２６】この条件入力によってＳＪ／ＲＯの解析が
行われる。以下、図３の断面形状の模式図を基にＳＪ／
ＲＯの解析について説明する。まず、測定開始の角度θ
１における断面について、半径位置ｒ１，ｒ２での表面
形状位置ｈ１，ｈ２を繋ぐ基準線Ｌを求める。この基準
線Ｌはディスク半径方向の断面でのＳＪ／ＲＯ算出の基
準となり、基準線Ｌに対する凸側偏位量をＳＪ値、基準
線Ｌに対する凹側偏位量をＲＯ値として求める。ディス
ク表面がなだらかに変化していれば磁気ヘッドは追従で
きるが、表面が急激に変化していると、磁気ヘッドとデ
ィスクのクラッシュが生じたり、データの読取・記録が
行われなくなる。よって、基準線Ｌを作成するｒ１，ｒ
２を検査領域ｒ３〜ｒ４の近傍で、かつ磁気ヘッドの追
従特性に応じた小区間で取ることにより、ディスク全体
の撓み等に影響されず、検査領域の急激な変化の程度を
測定することができる。また、基準線Ｌはｈ１〜ｈ２間
の最小二乗直線として得てもよい。
行われる。以下、図３の断面形状の模式図を基にＳＪ／
ＲＯの解析について説明する。まず、測定開始の角度θ
１における断面について、半径位置ｒ１，ｒ２での表面
形状位置ｈ１，ｈ２を繋ぐ基準線Ｌを求める。この基準
線Ｌはディスク半径方向の断面でのＳＪ／ＲＯ算出の基
準となり、基準線Ｌに対する凸側偏位量をＳＪ値、基準
線Ｌに対する凹側偏位量をＲＯ値として求める。ディス
ク表面がなだらかに変化していれば磁気ヘッドは追従で
きるが、表面が急激に変化していると、磁気ヘッドとデ
ィスクのクラッシュが生じたり、データの読取・記録が
行われなくなる。よって、基準線Ｌを作成するｒ１，ｒ
２を検査領域ｒ３〜ｒ４の近傍で、かつ磁気ヘッドの追
従特性に応じた小区間で取ることにより、ディスク全体
の撓み等に影響されず、検査領域の急激な変化の程度を
測定することができる。また、基準線Ｌはｈ１〜ｈ２間
の最小二乗直線として得てもよい。
【００２７】次に、基準線Ｌに対する表面形状の差（偏
位量）Δｈを検査領域であるｒ３〜ｒ４の間で求める。
ｒ３〜ｒ４の領域での偏位量Δｈを順に算出した後、こ
の断面内でのＳＪ値及びＲＯ値の最大値となるΔｈmax
（プラスの最大値）及びΔｈm in（マイナスの最大値）
を各々ＳＪ1及びＲＯ1とし、それぞれＳＪmax，ＲＯmax
として記憶する。
位量）Δｈを検査領域であるｒ３〜ｒ４の間で求める。
ｒ３〜ｒ４の領域での偏位量Δｈを順に算出した後、こ
の断面内でのＳＪ値及びＲＯ値の最大値となるΔｈmax
（プラスの最大値）及びΔｈm in（マイナスの最大値）
を各々ＳＪ1及びＲＯ1とし、それぞれＳＪmax，ＲＯmax
として記憶する。
【００２８】角度θ１における断面でのＳＪmax（Ｓ
Ｊ1）及びＲＯmax（ＲＯ1）を算出したら、次の角度θ
２の断面情報を抽出し、その断面内でｒ１，ｒ２による
基準線Ｌの算出後、上記同様にΔｈmax及びΔｈminを算
出し、それぞれＳＪ2及びＲＯ2とする。そして、Ｓ
Ｊ2，ＲＯ2と先に記憶したＳＪmax，ＲＯmaxを比較し、
値の大きいほうをＳＪmax，ＲＯmaxとして更新記憶す
る。
Ｊ1）及びＲＯmax（ＲＯ1）を算出したら、次の角度θ
２の断面情報を抽出し、その断面内でｒ１，ｒ２による
基準線Ｌの算出後、上記同様にΔｈmax及びΔｈminを算
出し、それぞれＳＪ2及びＲＯ2とする。そして、Ｓ
Ｊ2，ＲＯ2と先に記憶したＳＪmax，ＲＯmaxを比較し、
値の大きいほうをＳＪmax，ＲＯmaxとして更新記憶す
る。
【００２９】以下、断面情報を抽出する角度θを順次変
更し、各角度毎における断面についてＳＪ値及びＲＯ値
を算出し、ＳＪmax及びＲＯmaxと比較、更新すること
で、全周に対するＳＪmax及びＲＯmaxを得る。このよう
にして、干渉計から得られる三次元表面形状データを基
に解析することで、容易に試料全面に対するＳＪ
max値、ＲＯmax値を得ることができる。
更し、各角度毎における断面についてＳＪ値及びＲＯ値
を算出し、ＳＪmax及びＲＯmaxと比較、更新すること
で、全周に対するＳＪmax及びＲＯmaxを得る。このよう
にして、干渉計から得られる三次元表面形状データを基
に解析することで、容易に試料全面に対するＳＪ
max値、ＲＯmax値を得ることができる。
【００３０】なお、解析を行う断面の角度は所定角度毎
（例えば、１度毎）で行ってもよいが、本実施形態では
外側端部ＥＯが存在する画素毎に、その画素とディスク
中心Ｏと結ぶ直線を測定断面として解析を行うように構
成している。
（例えば、１度毎）で行ってもよいが、本実施形態では
外側端部ＥＯが存在する画素毎に、その画素とディスク
中心Ｏと結ぶ直線を測定断面として解析を行うように構
成している。
【００３１】こうして全周に対するＳＪmax及びＲＯmax
が解析されると、モニタ１２の画面上には、図４（ａ）
及び（ｂ）に示すように、ＳＪmax、ＲＯmaxを持つ各断
面の断面形状が表示される。各表示には各断面形状の角
度θ、ＳＪmax値、ＲＯmax値等が表示される。各断面の
ＳＪmax値、ＲＯmax値を持つ位置は、それぞれマーク２
０ａ、２０ｂにより示される。なお、図４（ａ）及び
（ｂ）の断面形状の表示においては、縦軸の水平基準
（０の位置）は試料表面形状の全データを基に最小二乗
法により求めた仮想平面を基準として表示している。
が解析されると、モニタ１２の画面上には、図４（ａ）
及び（ｂ）に示すように、ＳＪmax、ＲＯmaxを持つ各断
面の断面形状が表示される。各表示には各断面形状の角
度θ、ＳＪmax値、ＲＯmax値等が表示される。各断面の
ＳＪmax値、ＲＯmax値を持つ位置は、それぞれマーク２
０ａ、２０ｂにより示される。なお、図４（ａ）及び
（ｂ）の断面形状の表示においては、縦軸の水平基準
（０の位置）は試料表面形状の全データを基に最小二乗
法により求めた仮想平面を基準として表示している。
【００３２】また、図５に示すように、平坦度の解析結
果として表示された等高線図３０上には、ＳＪmaxの位
置がマーク３１ａで、ＲＯmaxの位置がマーク３１ｂで
示される。
果として表示された等高線図３０上には、ＳＪmaxの位
置がマーク３１ａで、ＲＯmaxの位置がマーク３１ｂで
示される。
【００３３】このように解析された結果に対し、さらに
入力部１１ａによって所望する角度を指定すれば、解析
装置１１によって指定された角度θにおける断面形状、
ＳＪ max値、ＲＯmax値が計算され、任意角度での結果が
モニタ１２に表示される。
入力部１１ａによって所望する角度を指定すれば、解析
装置１１によって指定された角度θにおける断面形状、
ＳＪ max値、ＲＯmax値が計算され、任意角度での結果が
モニタ１２に表示される。
【００３４】また、解析結果としては、次のように各種
の変更が可能である。例えば、ＳＪ値やＲＯ値が０．１
μｍ以上の部分を知りたいときには、この条件を入力す
ることにより、図５に示した等高線図３０上に、その分
布状態が表示されるようにする。
の変更が可能である。例えば、ＳＪ値やＲＯ値が０．１
μｍ以上の部分を知りたいときには、この条件を入力す
ることにより、図５に示した等高線図３０上に、その分
布状態が表示されるようにする。
【００３５】以上のようにしてモニタ１２に表示される
断面形状やＳＪ値，ＲＯ値によって、検者はディスクの
表面形状を評価することができる。また、全体形状（三
次元形状）に対するＳＪmax、ＲＯmaxの位置が表示され
るので、平坦度とＳＪ，ＲＯとの関連性も知ることがで
きる。さらに、全面に対するＳＪ値，ＲＯ値の結果を基
にした分布図を作成したり、統計を取ることにより生産
管理や生産工程の改善等に利用することができる。
断面形状やＳＪ値，ＲＯ値によって、検者はディスクの
表面形状を評価することができる。また、全体形状（三
次元形状）に対するＳＪmax、ＲＯmaxの位置が表示され
るので、平坦度とＳＪ，ＲＯとの関連性も知ることがで
きる。さらに、全面に対するＳＪ値，ＲＯ値の結果を基
にした分布図を作成したり、統計を取ることにより生産
管理や生産工程の改善等に利用することができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、試
料の平坦度の検査と、試料エッジ部の形状の変化の度合
いを検査する検査とを１台の機械で短時間に行うことが
できる。また、平坦度とロールオフ又はスキージャンプ
との関連性を知ることができる。
料の平坦度の検査と、試料エッジ部の形状の変化の度合
いを検査する検査とを１台の機械で短時間に行うことが
できる。また、平坦度とロールオフ又はスキージャンプ
との関連性を知ることができる。
【図１】表面検査装置の要部構成図である。
【図２】表面検査のフローチャート図である。
【図３】ＳＪ／ＲＯの検出方法の説明図である。
【図４】断面形状の表示例である。
【図５】等高線図上のＳＪ／ＲＯの表示例である。
４′ 参照面
６ ディスク
６′ 被測定面
１１ 画像処理装置
１２ モニタ
１３ 制御部
２０ａ，２０ｂ マーク
３１ａ，３１ｂ マーク
Ｌ 基準線
Claims (3)
- 【請求項１】 ディスクの表面形状を検査する表面検査
装置において、斜入射干渉方式であって位相を変えてデ
ィスク表面と参照面で反射した光により干渉縞を順次形
成する干渉縞形成手段と、位相の異なる干渉縞の画像を
取り込む画像取得手段と、を備え平坦度の解析を行い所
定の形式で表示する平坦度解析装置と、前記ディスクの
半径方向での領域であって、急激な形状変化が生じやす
いエッジ部の検査領域、検査領域外であって検査領域に
近傍しかつ全体撓み等に影響されない小区間の近傍領域
を設定する設定手段と、近傍領域における三次元形状デ
ータに基づいて所期する半径方向での断面の基準腺を得
て、基準腺に対する検査領域の断面方向での変位量を得
る解析手段と、該解析手段による解析結果を出力すると
共に、その解析結果と前記三次元形状データに基づくエ
ッジを含む平坦度の解析結果との対応関係を出力する出
力手段と、を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】 請求項１の表面検査装置において、前記
検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領域と
し、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係は、
平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロール
オフの最大値又はスキージャンプの最大値を示す位置に
マークを表示することによって得られることを特徴とす
る表面検査装置。 - 【請求項３】 請求項１の表面検査装置において、前記
検査領域はロールオフ又はスキージャンプの検査領域と
し、前記解析結果と平坦度の解析結果との対応関係は、
平坦度の解析図に前記解析手段によって得られるロール
オフ又はスキージャンプのデータの内からの設定された
条件を充足する部分の分布を表示することによって得ら
れることを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21743999A JP3372224B2 (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21743999A JP3372224B2 (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001041736A JP2001041736A (ja) | 2001-02-16 |
| JP3372224B2 true JP3372224B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=16704258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21743999A Expired - Fee Related JP3372224B2 (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3372224B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4464033B2 (ja) | 2002-06-13 | 2010-05-19 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハの形状評価方法及び形状評価装置 |
| JP5234740B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2013-07-10 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスク用基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 |
| SG10201504278QA (en) | 2007-02-20 | 2015-07-30 | Hoya Corp | Magnetic disk substrate, magnetic disk, and magnetic disk device |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP21743999A patent/JP3372224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001041736A (ja) | 2001-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4351522B2 (ja) | パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法 | |
| KR101489030B1 (ko) | 광학적 모양 및 위치 측정을 위한 구조-광 시스템의 정확한 이미지 획득 방법 | |
| KR100266439B1 (ko) | 고속 결함 분석용 광학 장치 | |
| US7860297B2 (en) | Method and apparatus for detecting the deformation of objects | |
| JP2011523459A (ja) | 超音波検査の走査計画のためのビジョン・システム | |
| JP2018528397A (ja) | 静的縞パターンを使用した干渉ロールオフ測定 | |
| JP2000275182A (ja) | 円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法 | |
| JPH09507293A (ja) | 形状測定システム | |
| US7435941B2 (en) | Methods for measuring optical characteristics by differential diffractive scanning | |
| JP3730831B2 (ja) | 収差測定装置及び調整装置 | |
| JP3372224B2 (ja) | 表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体 | |
| TW200938803A (en) | Device and method for testing thickness and gaps of transparent objects by means of dual optical probes | |
| JP3228458B2 (ja) | 光学的３次元計測装置 | |
| JP6196841B2 (ja) | 透過波面計測装置及び透過波面計測方法 | |
| US5142588A (en) | Method of and apparatus for measuring track displacement on a magnetic tape | |
| US5703684A (en) | Apparatus for optical differential measurement of glide height above a magnetic disk | |
| JP2005024505A (ja) | 偏心測定装置 | |
| CN205562427U (zh) | 反射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置 | |
| JP3863408B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダの検査装置 | |
| Alvarez et al. | Toward online non-contact roughness profile measurements with a sensor based on conoscopic holography: current developments | |
| WO2024034067A1 (ja) | 試料表面品質管理装置 | |
| JPH10122833A (ja) | 表面測定装置 | |
| JP2950579B2 (ja) | トロイダル面の測定方法及び測定装置 | |
| JP2001004337A (ja) | 搬送縞発生手段を具備した被検体検査装置 | |
| JPH0757349A (ja) | テープ速度変動測定方法および記録トラック検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071122 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081122 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081122 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091122 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122 Year of fee payment: 11 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |