JP3371817B2 - ペンシル型プローブユニット - Google Patents
ペンシル型プローブユニットInfo
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Description
に用いられるペンシル型プローブユニットに関し、特に
デバイス帯電モデル（CDM:Charged Device Model ）を
用い、配線基板上に実装されたＩＣチップの静電破壊試
験を行う装置に用いられるペンシル型プローブユニット
に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来より、半導体デバイスの製造元およ
びＬＳＩ部品を取り扱う電気機器セットメーカー等で
は、ＩＣチップのＥＳＤ（Electro-static Discharge）
破壊耐量試験方法として、ＨＢＭ（Human Body Model）
およびＭＭ（Machine Model ）を採用していた。すなわ
ち、これらは帯電した人体等がＩＣチップに接触してか
らＩＣチップへ放電することによって生じる破壊現象を
シミュレートしたものである。 【０００３】しかし、現在に至ってはＩＣチップ自体が
帯電し、その電荷が急速に放電することによってＩＣチ
ップの劣化や破壊が生じる現象をモデル化した、ＣＤＭ
が主流となりつつある。 【０００４】このＣＤＭについては、例えば「鈴木功一
他、ＬＳＩの静電破壊因子とその新計測法、電子情報通
信学会論文紙、VOL.J80-C-2 No.10 pp335-344,1997」等
にその詳細が記載され、またこのようなＣＤＭを用いた
静電破壊試験装置については、特開平２−２５９５８５
号公報、特開平３−１５７７３号公報、特開平５−１８
０８９９号公報等に開示されている。 【０００５】これらの公報に記載された試験装置および
試験方法は、何れも単体のＩＣチップの静電破壊試験に
利用した具体例であり、ＩＣチップの破壊耐量を破壊電
圧または絶縁破壊電圧として表示している。また、特開
平９−２１８２４１号公報には、これらの公報よりもさ
らに正確な破壊耐量を決定するため、電荷量およびエネ
ルギーのいずれか一方によって破壊耐量を定め、ＩＣチ
ップ単体の破壊耐量を測定環境等に依存することなく、
一義的な量によって正確に表せるようにした試験装置に
ついても開示されている。 【０００６】このように、単体のＩＣチップのＣＤＭ試
験については、従来から盛んに研究され、実用的で再現
性の良い試験装置および試験方法が数多く提供されてい
る。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところで、パーソナル
コンピュータ（以下、パソコンという）やゲーム機等の
普及に伴い、パソコン機能拡張用プリント基板，ＩＣカ
ードおよびゲーム用ＩＣカセット等の部品を、使用者自
らが本体装置に装着する機会が増えており、上記単体の
ＩＣチップ同様に、装着時における静電破壊が問題とな
っている。 【０００８】もちろん、このような場合においても静電
破壊モデルとして、部品が帯電してその部品自体から電
荷が極めて短い時間で放電するというデバイス帯電法
（ＣＤＭ）を適用することができるといえる。 【０００９】しかしながら、これらのパソコン機能拡張
用プリント基板，ＩＣカードおよびゲーム用ＩＣカセッ
ト等の部品に対して、従来の単体のＩＣチップ用のデバ
イス帯電法による静電破壊試験装置を使用することは、
プローバの機構上の制約から困難という問題点があっ
た。 【００１０】すなわち、単体のＩＣチップの試験におい
ては、その形状が標準化されているため、ＩＣチップを
試験ボード（ステージ）に固定して機械的にプローブを
移動させて試験を行うことができたが、パソコン用機能
拡張ボード等においてはその大きさおよび形状がまちま
ちであるため、従来の試験装置をそのまま利用すること
はできない。 【００１１】本発明は、このような課題を解決するため
のものであり、パソコン機能拡張用プリント基板，ＩＣ
カードおよびゲーム用ＩＣカセット等が混在し、端子等
の形状が一様でない場合においても、容易に静電破壊試
験を実施することができるペンシル型プローブユニット
を提供することを目的とする。 【００１２】 【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、所定の直流電圧を発生しかつ負極
がグランドと接続された直流電源と，この直流電源の正
極に接続された抵抗とを有した本体装置にケーブルを介
して接続されるペンシル型プローブユニットに、複数の
ＩＣチップが実装されかつこのＩＣチップと電気的に接
続された複数の端子を有した配線基板の静電破壊試験に
際し、上記配線基板の端子に押し当てられる金属プロー
ブと、この金属プローブと上記本体装置の抵抗との間に
上記ケーブルを介して接続された第１のスイッチ手段
と、上記金属プローブと上記本体装置のグランドとの間
に上記ケーブルを介して接続された第２のスイッチ手段
と、手動により操作される第３のスイッチ手段と、この
第３のスイッチ手段の手動操作に応じて上記第１のスイ
ッチ手段をオンとし、所定時間経過後、上記第１のスイ
ッチ手段をオフとするとともに上記第２のスイッチ手段
をオンとする制御手段とを設けたものである。 【００１３】 【００１４】 【００１５】このように構成することにより本発明は、
パソコン機能拡張用プリント基板，ＩＣカードおよびゲ
ーム用ＩＣカセット等が混在し、端子等の形状が一様で
ない場合においても、容易に静電破壊試験を実施するこ
とができる。 【００１６】 【発明の実施の形態】次に、本発明の一つの実施の形態
について図を用いて説明する。図１は、本発明の一つの
実施の形態を示す斜視図である。同図に示すように、絶
縁体テーブル５の上には、ＬＳＩ等の種々のＩＣチップ
が実装されたプリント配線基板４が載置されている。 【００１７】なお、ここでいうＩＣチップとは以下のよ
うなものをさす。すなわち、パソコン等の拡張用ボード
おいてはセラミックや樹脂等のパッケージに収容された
状態でＩＣチップをボード上に実装するが、ＩＣカード
等においてはベアチップのまま実装することが多い。し
たがって、本発明におけるＩＣチップとは、パッケージ
に収容されたものおよびベアチップの何れも含むものと
する。 【００１８】また、プリント配線基板４の縁には複数の
端子が形成されるとともに、これらの端子は、パソコン
やゲーム機本体との接続に使用されるコネクタ４ａを構
成している。さらに、絶縁体テーブル５とグランド面と
の間は電気的に絶縁されており、ここでは浮遊容量Ｃ１
が存在するものと仮定する。 【００１９】一方、絶縁体テーブル５の傍らには静電破
壊試験装置が設置され、この静電破壊試験装置は、本体
装置３とケーブル３ａとプローブユニット２とで構成さ
れている。 【００２０】この本体装置３は、直流電圧を発生する電
源，電荷量測定器およびオシロスコープ等を備えてい
る。そして、プローブユニット２はその先端にコネクタ
４ａと接触させるための金属プローブ１を備え、側面に
は充電および放電を制御するための機械的なスイッチで
あるボタンスイッチＢＳＷ１，ＢＳＷ２を備えている。 【００２１】また、プローブユニット２はその形状がペ
ンシル型をしており、作業者はペンを握る要領で取り扱
う使うことができる。もちろん、ボタンスイッチＢＳＷ
１，ＢＳＷ２もプローブユニット２を握った状態で操作
できるような位置に設けられており、人差し指で押すこ
とにより簡単に操作できる。 【００２２】したがって、作業者は試験対象であるプリ
ント配線基板４のコネクタ４ａに金属プローブ１を押し
当ててから、ボタンスイッチＢＳＷ１を押下することに
より、本体装置３で発生した直流電圧をケーブル３ａお
よび金属プローブ１を介してコネクタ４ａに印加して充
電を行う。 【００２３】その後、所定時間が経過して充電が完了す
ると、プローブユニット２内のスイッチの接続は自動的
に切り替わって金属プローブ１と直流電源との接続が切
れ、代わりに金属プローブ１はグランドと接続される。
その結果、今度は逆に配線基板４に充電された電荷は、
コネクタ４ａ，金属プローブ１およびケーブル３ａを介
してグランド面に放電される。なお、その際にボタンス
イッチＢＳＷ２を適宜押下することにより、充電電荷量
や放電電圧を測定し、その結果を本体装置３上に表示さ
せることもできる。 【００２４】次に、図１に係る静電破壊試験装置の詳細
について説明する。図２は、図１に係る静電破壊試験装
置の詳細を示すブロック図である。同図に示すように、
金属プローブ１にはスイッチＳＷ１，ＳＷ２が接続され
ている。これらスイッチＳＷ１，ＳＷ２としては、放電
時等にチャタリングが起こらないようにするため、水銀
リレー等で構成されることが望ましい。 【００２５】そして、これらスイッチＳＷ１，ＳＷ２は
制御手段２ａからの制御信号によってオンおよびオフが
制御されるようになっており、制御手段２ａにはボタン
スイッチＢＳＷ１が接続され、作業者によってこのボタ
ンスイッチＢＳＷ１が押下されると、制御手段２ａはス
イッチＳＷ１，ＳＷ２の接続をそれぞれ切り替える。な
お、動作については後述する。 【００２６】また、スイッチＳＷ１には１００ｋ〜１０
ＭΩの抵抗Ｒ１が接続され、充電時における急激な電荷
の移動を防止するようになっており、抵抗Ｒ１とスイッ
チＳＷ２との間には１０００Ｖ以上の直流電源が接続さ
れている。 【００２７】なお、プローブユニット２内のＧＮＤライ
ン（すなわち、スイッチＳＷ２とグランドとの間に接続
された配線）は、なるべく理想的な高速放電が起こるよ
うにするため、可能な限り大きな導体で構成する必要が
ある。例えば、プローブユニット２内に金属プレートま
たは金属棒を設置したり、プローブユニット２内の実装
基板の裏面に金属をプリントしたり、プローブユニット
２のボディに金属をメッキしたり等するとよい。この際
に用いる金属は、面積および厚さ共に可能な限り大きく
することにより、低インピーダンスかつ低インダクタン
スなものとし、なるべく金属プローブ１の先端に近い位
置に接続されることが望ましい。 【００２８】ここで、本実施の形態の動作について説明
する。まず、試験対象であるプリント配線基板４をグラ
ンド面上の絶縁体テーブル５に載置する。次いで、スイ
ッチＳＷ１，ＳＷ２の両者をオフ状態とし、金属プロー
ブ１をプリント配線基板４のコネクタ４ａの端子に接触
させる。このとき、接触時の電荷の移動によってＩＣチ
ップが破壊されるのを防止するため、スイッチＳＷ１を
オン状態で接触させてもよい。 【００２９】次いで、直流電源ＶをＤＣ１０００Ｖに設
定してからスイッチＳＷ１をオン状態にし、この状態を
充電が終了するまで保持し、その後オフ状態にする。次
いで、スイッチＳＷ２をオン状態にすることにより、電
荷を極めて短い時間で放電させる。 【００３０】なお、これらの充電および放電の一連の動
作は、作業者のボタンスイッチＢＳＷ１の押下により、
制御手段２ａが駆動されてその働きによって自動的に実
施される。 【００３１】［第２の実施の形態］図３は、本発明の第
２の実施の形態を示すブロック図である。同図におい
て、図１と同一符号のものは同一または同等の部品を示
し、本実施の形態においてはプリント配線基板４に充電
された電荷量を測定できるように、電荷量測定器６をさ
らに設けた点に特徴を有する。 【００３２】この電荷量測定器６は、例えば特開平７−
３２５１１９号公報に開示されている過剰動電荷量測定
器を用いるとよい。すなわち、プローブユニット２内に
は、金属プローブ１に接続されたスイッチＳＷ３と、こ
のスイッチＳＷ３に接続された抵抗Ｒ２と、この抵抗Ｒ
２に接続されたオペアンプＯＰとを備え、オペアンプＯ
Ｐの２個の入力端子間にはコンデンサＣ２が接続されて
いる。また、本体装置３には電荷量測定器６が設けら
れ、オペアンプＯＰからの出力が供給されて電荷量を測
定するようになっている。 【００３３】次に本実施の形態の動作について説明す
る。金属プローブ１をコネクタの４ａの端子に接触さ
せ、ボタンスイッチＢＳＷ１を押下して充電を行うまで
の手順は第１の実施の形態と同様である。 【００３４】次いで、ボタンスイッチＢＳＷ２を押下す
ることにより制御手段２ａを駆動し、その制御によって
スイッチＳＷ３をオン状態にさせる。その結果、抵抗Ｒ
２，コンデンサＣ２，オペアンプＯＰおよび電荷量測定
器６の働きにより、過剰動電荷量Ｑ［ｎＣ］が測定さ
れ、その結果は電荷量測定器６の表示部に表示される。
その後、再度ボタンスイッチＢＳＷ１を押下することに
よって上記充電された電荷を放電するようにすれば、デ
バイス帯電法による静電破壊耐量を、電荷量によって表
示させることができる。 【００３５】［第３の実施の形態］ 図４は、本発明の第３の実施の形態を示すブロック図で
ある。同図において、図１と同一または同等の部品には
同一符号を付しており、本実施の形態においてはプロー
ブユニット２内に電流プローブ７ａ（例えばＣＴ−２
等）の構成を取り入れ、本体装置３にはこの電流プロー
ブ７ａと接続したオシロスコープ７を設けている。すな
わち、このように構成することにより、放電時における
波形をオシロスコープ７に表示させることができる。 【００３６】ここで、本実施の形態の動作について説明
する。まず、金属プローブ１をコネクタ４ａの端子に接
触させ、ボタンスイッチＢＳＷ１を押下することにより
充電を行う。その後、スイッチＳＷ１をオフ状態とする
とともにスイッチＳＷ２をオン状態にし、電荷を極めて
短い時間で放電させる。このとき放電される電流は、電
流プローブ７ａによって検出され、その放電波形はオシ
ロスコープ７に表示される。 【００３７】なお、上記各実施の形態の金属プローブ１
を、半導体ウエハーと電気的なコンタクトを取るため
に、特別に細く作られた針状プローブに付け替えれば、
半導体ウエハーを試験する場合にも適用できる。また、
プローブユニット２は、作業者が手で持つことができる
程度にコンパクトなものであるため、機械的に保持する
こともでき、自動機への転用も容易である。 【００３８】 【発明の効果】以上説明したとおり本発明は、本体装置
にケーブルを介してペンシル型プローブユニットを接続
し、このペンシル型プローブユニットに第１のスイッチ
手段，第２のスイッチ手段，第３のスイッチ手段および
制御手段を設け、第３のスイッチ手段の手動操作に応じ
て制御手段を介して第１のスイッチ手段をオンとし、所
定時間経過後、第１のスイッチ手段をオフとするととも
に第２のスイッチ手段をオンとするようにしたことによ
り、作業者は配線基板上の所望の端子を選択して静電破
壊試験を実施することができる。したがって、単体のＩ
Ｃチップのみでなく、あらゆる構造を持つ電気部品の試
験に利用することができる。
る。 【図２】 図１に係る静電破壊試験装置を示すブロック
図である。 【図３】 本発明のその他の実施の形態を示すブロック
図である。 【図４】 本発明のその他の実施の形態を示すブロック
図である。 【符号の説明】 １…金属プローブ、２…プローブユニット、２ａ…制御
手段、３…本体装置、４…プリント配線基板、５…絶縁
体テーブル、６…電荷量測定器、７…オシロスコープ、
３ａ…ケーブル、４ａ…コネクタ、７ａ…電流プロー
ブ、ＳＷ１，ＳＷ２…スイッチ、ＢＳＷ１，ＢＳＷ２…
ボタンスイッチ、Ｒ１，Ｒ２…抵抗、Ｃ１…浮遊容量、
Ｃ２…コンデンサ、Ｖ…直流電源。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 所定の直流電圧を発生しかつ負極がグラ
ンドと接続された直流電源と，この直流電源の正極に接
続された抵抗とを有した本体装置にケーブルを介して接
続されるペンシル型プローブユニットであって、 複数のＩＣチップが実装されかつこのＩＣチップと電気
的に接続された複数の端子を有した配線基板の静電破壊
試験に際し、前記配線基板の端子に押し当てられる金属
プローブと、 この金属プローブと前記本体装置の抵抗との間に前記ケ
ーブルを介して接続された第１のスイッチ手段と、 前記金属プローブと前記本体装置のグランドとの間に前
記ケーブルを介して接続された第２のスイッチ手段と、 手動により操作される第３のスイッチ手段と、 この第３のスイッチ手段の手動操作に応じて前記第１の
スイッチ手段をオンとし、所定時間経過後、前記第１の
スイッチ手段をオフとするとともに前記第２のスイッチ
手段をオンとする制御手段とを備えたことを特徴とする
ペンシル型プローブユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25251698A JP3371817B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | ペンシル型プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25251698A JP3371817B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | ペンシル型プローブユニット |
Publications (2)
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|---|---|
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25251698A Expired - Fee Related JP3371817B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | ペンシル型プローブユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
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-
1998
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