JP3360560B2 - Infrared thickness gauge infrared light source - Google Patents
Infrared thickness gauge infrared light sourceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オンラインでフィ
ルムの厚さを、赤外線の透過吸収を利用して、フィルム
上をスキャンしながら測定する赤外線式厚さ計の赤外線
光源部分に関するものである。更に詳述すれば、Ｓ／Ｎ
比の改善による測定分解能の向上と、測定ヘッド走行に
よるスキャン誤差が低減し得る赤外線厚さ計の赤外線光
源に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an infrared light source portion of an infrared type thickness gage for measuring the thickness of a film online while scanning the film by utilizing infrared transmission and absorption. More specifically, S / N
The present invention relates to an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of improving a measurement resolution by improving a ratio and reducing a scanning error caused by running a measuring head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の赤外線光源としては、ハロゲンラ
ンプや、白熱ランプなどの赤外線ランプがある。現在に
於いては、一般に、ハロゲンランプが使用されている。
図５は、従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図で、例えば、特開平４−２１２００３号（特願平３
−０５７３６０号）に示されている。2. Description of the Related Art Conventional infrared light sources include infrared lamps such as halogen lamps and incandescent lamps. At present, halogen lamps are generally used.
FIG. 5 is an explanatory view of a configuration of a conventional example generally used in the related art. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei.
No. -05360).
【０００３】図において、１はフィラメント、２はガラ
ス管である。以上の構成において、フィラメント１から
放射された長波長の赤外線光は、周囲のガラス管２に吸
収され、図６に示す範囲の赤外線光しか取り出せない。In the figure, reference numeral 1 denotes a filament, and 2 denotes a glass tube. In the above configuration, the long-wavelength infrared light emitted from the filament 1 is absorbed by the surrounding glass tube 2, and only the infrared light in the range shown in FIG. 6 can be extracted.
【０００４】この問題解決として、図７に示す黒体炉６
が採用されている。黒体炉６は、物体を加熱すると表面
から赤外線光が放射されることを利用し、赤外線光が放
射される表面を、熱放射を良くするために、黒く塗装し
た金属ブロック７にカートリッジヒーター（図示せず）
と測温抵抗体（図示せず）を埋め込んでいる。As a solution to this problem, a blackbody furnace 6 shown in FIG.
Has been adopted. The black body furnace 6 uses the fact that infrared light is radiated from the surface when an object is heated, and a cartridge heater ( (Not shown)
And a resistance thermometer (not shown) are embedded.
【０００５】ヒーターを加熱することで赤外線光を放射
し、金属ブロック７の温度は測温抵抗体（図示せず）で
モニタしながら、温度制御を行っている。金属ブロック
７の周囲は、断熱材８で囲われており、外乱温度の影響
を取り除いている。赤外線光を放射する窓９、および、
レンズ１１には、赤外線吸収のないフッ化カルシウム
（CaF2）が使用されている。The heater controls the temperature of the metal block 7 while monitoring the temperature of the metal block 7 with a resistance temperature detector (not shown). The periphery of the metal block 7 is surrounded by a heat insulating material 8 to eliminate the influence of the disturbance temperature. A window 9 for emitting infrared light, and
For the lens 11, calcium fluoride (CaF2) having no infrared absorption is used.
【０００６】ここで、１２は厚さ測定の測定対象である
フィルムである。１３は検出側のヘッド、１４は検出側
のヘッド１３に設けられた検出器である。[0006] Here, reference numeral 12 denotes a film to be measured for thickness measurement. Reference numeral 13 denotes a head on the detection side, and 14 denotes a detector provided on the head 13 on the detection side.
【０００７】図８に示す如く、フィルム厚さ計は、光源
側のヘッド１５と検出側のヘッド１３とより構成されて
いて、測定するフィルム１２を挟む位置に配置されてい
る。As shown in FIG. 8, the film thickness gauge comprises a head 15 on the light source side and a head 13 on the detection side, and is arranged at a position sandwiching the film 12 to be measured.
【０００８】オンラインでフィルム１２の厚さを測定す
る場合には、それぞれのヘッドが対面に向き合う位置を
保ちながら、両ヘッド１３，１５が共に走行しながら測
定をおこなうが、お互いのヘッド位置のアライメント誤
差により測定誤差（スキャン誤差）が発生する。スキャ
ン誤差をなくす為には、赤外線光源を平面状にして、か
つ、発光部分からの赤外線の放射を均一にすることが必
要である。When the thickness of the film 12 is measured on-line, the measurement is performed while the heads 13 and 15 run together while maintaining the positions where the heads face each other. An error causes a measurement error (scan error). In order to eliminate the scanning error, it is necessary to make the infrared light source flat and to make the infrared radiation from the light emitting portion uniform.
【０００９】一方、光源から放射される赤外線光の強さ
は、温度ともに増加し、S／N比の感度を上げるために
は、光源の温度を上げれば良い。従来の厚さ計の測定分
解能を上げるためには、赤外線光源である黒体炉６の温
度を上昇させれば、放射される赤外線の光量が増加して
簡単ではある。On the other hand, the intensity of the infrared light emitted from the light source increases with the temperature, and the sensitivity of the S / N ratio can be increased by increasing the temperature of the light source. In order to increase the measurement resolution of the conventional thickness gauge, if the temperature of the black body furnace 6 as the infrared light source is increased, the amount of emitted infrared light is increased, which is simple.
【００１０】しかし、黒体炉内部の金属ブロック７の容
積が大きいために、図８における赤外線光源６のヒータ
ーの温度を上昇させると、黒体炉のケース１６の表面温
度も上昇する。光源以外の機構部分は、ヘッドケース１
７の内部に収められており、黒体炉のケース１６の表面
温度が上昇すると、光源側のヘッド１５内部の光源以外
の機構部分、例えば、フィルター回転機構１８が熱的に
ダメージを受ける。However, since the volume of the metal block 7 inside the black body furnace is large, when the temperature of the heater of the infrared light source 6 in FIG. 8 is increased, the surface temperature of the case 16 of the black body furnace also increases. The mechanical parts other than the light source are the head case 1
When the surface temperature of the case 16 of the black body furnace rises, mechanical parts other than the light source inside the head 15 on the light source side, for example, the filter rotating mechanism 18 are thermally damaged.
【００１１】現実には、黒体炉のケース１６の表面の温
度を８０℃以下にするために、ヒーターの温度は、３５
０℃に抑えている。ここで、１９は増幅器、２１は同期
検波回路、２２はマイクロプロセッサである。In practice, in order to keep the temperature of the surface of the case 16 of the black body furnace at 80 ° C. or less, the temperature of the heater is set at 35 ° C.
It is kept at 0 ° C. Here, 19 is an amplifier, 21 is a synchronous detection circuit, and 22 is a microprocessor.
【００１２】そこで、測定精度の向上を目的に、黒体炉
光源６にかわる赤外線光源として、電熱線を採用する。Therefore, for the purpose of improving the measurement accuracy, a heating wire is adopted as an infrared light source instead of the black body furnace light source 6.
【００１３】電熱線は、発熱部分の体積が小さいため、
光源外部に逃げる熱量が小さく、大電流も消費する必要
がないため効率的である。熱容量が小さいため、黒体炉
光源６に比べて高い光源温度が実現できる。[0013] Since the heating wire has a small volume at the heat generating portion,
Since the amount of heat escaping to the outside of the light source is small and a large current does not need to be consumed, it is efficient. Since the heat capacity is small, a light source temperature higher than that of the black body furnace light source 6 can be realized.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、 １）電熱線を螺旋状に卷き、円柱の形にしただけでは、
平面状の赤外線光源が実現できない。 ２）電熱線を平面状に巻いた場合、線径が細いため巻き
むらが生じ、均一な面発光源が実現できない。 ３）電熱線を固定して固く均等に巻いた場合でも、加熱
すると自らの長さが伸びてしまい緩んでしまう。 測定に使用した場合、振動や姿勢状態により電熱線の位
置が移動したり、電熱線を巻いている間隔が変化してし
まい、安定した再現性のある測定が実現できない。However, in such an apparatus, 1) simply winding the heating wire in a spiral shape and forming it into a columnar shape
A planar infrared light source cannot be realized. 2) When the heating wire is wound in a flat shape, the wire diameter is so small that winding unevenness occurs and a uniform surface light source cannot be realized. 3) Even if the heating wire is fixed and wound evenly and firmly, heating will cause the length of the heating wire itself to be elongated and loosened. When used for measurement, the position of the heating wire is moved or the interval around which the heating wire is wound changes depending on the vibration or posture, and stable reproducible measurement cannot be realized.
【００１５】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、Ｓ／Ｎ比の改善による測定分解能
の向上と、測定ヘッド走行によるスキャン誤差が低減し
得る赤外線厚さ計の赤外線光源を提供するにある。The present invention solves this problem. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an infrared light source of an infrared thickness gage capable of improving a measurement resolution by improving an S / N ratio and reducing a scanning error due to running of a measuring head.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）赤外線厚さ計に使用される赤外線光源において、
互いに平行に設けられた２本の光源支持棒と、該２本の
光源支持棒の軸方向に平行した平面状の光源を構成する
ように前記２本の光源支持棒を内包し直線部を有するほ
ぼ楕円形状の外包括線を形成するように巻回された電熱
線とを具備したことを特徴とする赤外線厚さ計の赤外線
光源。In order to achieve this object, the present invention provides: (1) an infrared light source used in an infrared thickness gauge;
Two light source support rods provided in parallel with each other, and a straight line portion including the two light source support rods so as to constitute a planar light source parallel to the axial direction of the two light source support rods. Ho
And a heating wire wound so as to form a substantially elliptical outer package line .
【００１７】（２）前記巻回された電熱線の外表面に塗
布されたコーティング剤を具備したことを特徴とする請
求項１記載の赤外線厚さ計の赤外線光源。 （３）前記巻回された電熱線の近傍に接することなく設
けられ該電熱線の光源温度制御のための温度センサを具
備したことを特徴とする（１）又は（２）記載の赤外線
厚さ計の赤外線光源。を構成したものである。(2) The infrared light source of the infrared thickness gauge according to claim 1, further comprising a coating agent applied to an outer surface of the wound heating wire. (3) The infrared thickness according to (1) or (2) , further including a temperature sensor provided without being in contact with the wound heating wire for controlling a light source temperature of the heating wire. Infrared light source. It is what constituted.
【００１８】[0018]
【作用】以上の構成において、赤外線光源は、電熱線
が、互いに平行に設けられた２本の光源支持棒に、２本
の光源支持棒の軸方向に平行した平面状の光源を構成す
るように、２本の光源支持棒を内包し直線部を有するほ
ぼ楕円形状の外包括線を形成するように巻回されて構成
される。以下、実施例に基づき詳細に説明する。In the above arrangement, the infrared light source is configured such that the heating wire is formed as a planar light source parallel to the axial direction of the two light source support rods on the two light source support rods provided in parallel with each other. in, Ho has a straight portion enclosing the two light source support rods
It is wound and formed so as to form a substantially elliptical outer covering line . Hereinafter, a detailed description will be given based on embodiments.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の要部構
成説明図、図２は図１の平面図、図３は図１２の要部詳
細説明図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view of a main part of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 3 is a detailed explanatory view of a main part of FIG.
【００２０】図において、３１は取付プレート、３２は
取付プレート３１に取付られた金属のケースである。３
３はケース３２の内側側面に設けられた断熱材である。
３４はケース３２の底面に設けられた断熱材である。In the figure, 31 is a mounting plate, and 32 is a metal case mounted on the mounting plate 31. 3
3 is a heat insulating material provided on the inner side surface of the case 32.
Reference numeral 34 denotes a heat insulating material provided on the bottom surface of the case 32.
【００２１】３５は、赤外線光源本体で、取付プレート
３１にスタッド３６により支持されている。３７は、取
付プレート３１の窓の延長上に配置され、光を収束する
ためのレンズである。Reference numeral 35 denotes an infrared light source main body, which is supported on the mounting plate 31 by studs 36. Reference numeral 37 denotes a lens that is disposed on an extension of the window of the mounting plate 31 and converges light.
【００２２】赤外線光源本体３５は、図３に示す如く、
互いに平行に設けられた２本の光源支持棒３５１と、２
本の光源支持棒３５１の軸方向に平行した平面状の光源
Ａを構成するように、２本の光源支持棒３５１を内包し
直線部を有するほぼ楕円形状の外包括線を形成するよう
に巻回された電熱線３５２とを有する。The infrared light source body 35 is, as shown in FIG.
Two light source support rods 351 provided in parallel with each other;
The two light source support rods 351 are included so as to form a planar light source A parallel to the axial direction of the two light source support rods 351.
A heating wire 352 wound so as to form a substantially elliptical outer covering wire having a straight portion .
【００２３】光源支持棒３５１は、この場合は、棒状セ
ラミックが使用されている。電熱線３５２は、タングス
テン線やニクロム線が一般的であると思うが、この場合
は、赤外線ガス分析計に使用実績があり、耐高温性があ
るカンタル線が使用されている。In this case, the light source support rod 351 is made of a rod-shaped ceramic. It is considered that the heating wire 352 is generally a tungsten wire or a nichrome wire. In this case, a high-temperature-resistant Kanthal wire, which has been used in infrared gas analyzers, is used.
【００２４】３５３は、２本の光源支持棒３５１の両端
を支持するステンレスの支持プレートである。３５４
は、支持プレート３５３の一端側が取付られるステンレ
スよりなるベースプレートである。Reference numeral 353 denotes a stainless steel support plate that supports both ends of the two light source support rods 351. 354
Is a base plate made of stainless steel to which one end of the support plate 353 is attached.
【００２５】３５５は、電熱線３５２の近傍に、接する
ことなく設けられ、電熱線３５２の光源温度制御のため
の温度センサである。この場合は、測温抵抗体が使用さ
れている。測温抵抗体３５５を光源に密着させると、正
確な温度測定ができるかもしれないが、測温抵抗体３５
５を通じて熱が逃げ、温度バランスが崩れる可能性があ
るため、間隔を置いて設置されている。A temperature sensor 355 is provided near the heating wire 352 without being in contact with the heating wire 352, and controls the temperature of the light source of the heating wire 352. In this case, a resistance temperature detector is used. If the RTD 355 is brought into close contact with the light source, accurate temperature measurement may be possible.
5 is provided at intervals because heat may escape through 5 and the temperature balance may be lost.
【００２６】なお、電熱線３５に流れる電流が一定にな
るように制御を行うことも考えられるが、電流一定の制
御方法では、周囲温度が変化した場合などには、安定し
た赤外線光量を得ることが難しい欠点を有する。It is conceivable to perform control so that the current flowing through the heating wire 35 is constant. However, in the case of a constant current control method, a stable amount of infrared light can be obtained when the ambient temperature changes. Has difficult disadvantages.
【００２７】以上の構成において、赤外線光源本体３５
は、図３に示す如く、電熱線３５２が、互いに平行に設
けられた２本の光源支持棒３５１に、２本の光源支持棒
３５１の軸方向に平行した平面状の光源Ａを構成するよ
うに、２本の光源支持棒３５１を内包し直線部を有する
ほぼ楕円形状の外包括線を形成するように巻回されて構
成される。In the above configuration, the infrared light source body 35
As shown in FIG. 3, the heating wire 352 constitutes a planar light source A parallel to the two light source support rods 351 in two light source support rods 351 provided in parallel with each other. Includes two light source support rods 351 and has a linear portion.
It is wound and formed to form a substantially elliptical outer covering line .
【００２８】この結果、 （１）電熱線３５２は、発熱部分の体積が小さいため、
光源外部に逃げる熱量が小さく、大電流も消費する必要
がないため効率的である。熱容量が小さいため、図７従
来例の黒体炉光源６に比べて高い光源温度が実現でき
る。従って、高いＳ／Ｎ比改善による測定分解能の向上
が図れる赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。As a result, (1) The heating wire 352 has a small volume at the heat generating portion.
Since the amount of heat escaping to the outside of the light source is small and a large current does not need to be consumed, it is efficient. Since the heat capacity is small, a higher light source temperature can be realized as compared with the conventional black body furnace light source 6 in FIG. Therefore, an infrared light source of an infrared thickness gauge that can improve the measurement resolution by a high S / N ratio improvement can be obtained.
【００２９】（２）赤外線光源本体３５は、図３に示す
如く、電熱線３５２が、互いに平行に設けられた２本の
光源支持棒３５１に、２本の光源支持棒３５１の軸方向
に平行した平面状の光源Ａを構成するように、２本の光
源支持棒３５１を内包し直線部を有するほぼ楕円形状の
外包括線を形成するように巻回されて構成されているの
で、測定ヘッドの走行によるスキャン誤差が低減し得る
赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。(2) As shown in FIG. 3, the infrared light source main body 35 has the heating wire 352 parallel to the two light source support bars 351 provided in parallel with each other in the axial direction of the two light source support bars 351. A substantially elliptical shape that includes two light source support rods 351 and has a linear portion so as to constitute a planar light source A
Since it is configured to be wound so as to form the outer covering line, an infrared light source of the infrared thickness gauge that can reduce a scanning error due to the running of the measuring head can be obtained.
【００３０】図４は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例において、３５６は巻回された電熱
線３５２の外表面に塗布されたコーティング剤である。FIG. 4 is an explanatory view of a main part configuration of another embodiment of the present invention. In the present embodiment, reference numeral 356 denotes a coating agent applied to the outer surface of the wound heating wire 352.
【００３１】この場合は、セラミックコート剤が使用さ
れている。なお、セラミックコート剤は、常温では液状
であるが、高温乾燥することによりセラミックの被膜を
形成する。In this case, a ceramic coating agent is used. The ceramic coating agent is liquid at room temperature, but forms a ceramic film by drying at high temperature.
【００３２】この結果、 １）電熱線３５２に巻きむらがあり、表面から放射され
る赤外線光量が不均一であっても、コート剤３５６の効
果により光量分布がブロードになり、表面からは、均一
な面発光を得ることができる赤外線厚さ計の赤外線光源
が得られる。As a result, 1) even if the heating wire 352 has uneven winding and the amount of infrared rays radiated from the surface is not uniform, the distribution of the amount of light becomes broad due to the effect of the coating agent 356, and Thus, an infrared light source of an infrared thickness gauge that can obtain an excellent surface emission can be obtained.
【００３３】２）赤外線の放射率が高いコート剤３５６
を選択することにより、効率良い赤外線放射が行える赤
外線厚さ計の赤外線光源が得られる。 ３）電熱線３５２の表面に、被膜が形成されるので、電
熱線３５２自体の酸化による断線が少なくなり、光源寿
命が延長できる赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。2) Coating agent 356 having high emissivity of infrared rays
By selecting the above, an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of efficiently emitting infrared light can be obtained. 3) Since a film is formed on the surface of the heating wire 352, disconnection due to oxidation of the heating wire 352 itself is reduced, and an infrared light source of an infrared thickness gauge that can extend the life of the light source can be obtained.
【００３４】４）セラミックコート剤の場合は、セラミ
ックの被膜が形成されるので、電熱線３５２同志を固定
することができる。振動や、取り付け姿勢により、電熱
線３５２の位置が移動することがなくなる赤外線厚さ計
の赤外線光源が得られる。4) In the case of a ceramic coating agent, since a ceramic coating is formed, the heating wires 352 can be fixed. An infrared light source of an infrared thickness gauge is obtained in which the position of the heating wire 352 does not move due to vibration or mounting posture.
【００３５】なお、コート剤３５６を塗布すると、塗布
しない状態よりも光量が減衰してしまうが、図８従来例
の黒体炉光源６と比較して光源温度が高いため、得られ
る光量は十分に大きく、問題になるレベルとはならな
い。When the coating agent 356 is applied, the light amount is attenuated as compared with the case where the coating agent 356 is not applied. However, since the light source temperature is higher than that of the conventional black body furnace light source 6 in FIG. It is not big enough to be a problem.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、 （１）電熱線は、発熱部分の体積が小さいため、光源外
部に逃げる熱量が小さく、大電流も消費する必要がない
ため効率的である。熱容量が小さいため、黒体炉光源に
比べて高い光源温度が実現できる。従って、高いＳ／Ｎ
比改善による測定分解能の向上が図れる赤外線厚さ計の
赤外線光源が得られる。As described in detail above, according to the first aspect of the present invention, (1) the heating wire has a small heat generating portion, so that the amount of heat escaping to the outside of the light source is small and a large current is consumed. It is efficient because there is no need to do it. Since the heat capacity is small, a light source temperature higher than that of the black body furnace light source can be realized. Therefore, high S / N
An infrared light source of an infrared thickness gauge that can improve the measurement resolution by improving the ratio can be obtained.
【００３７】（２）赤外線光源本体は、電熱線が、互い
に平行に設けられた２本の光源支持棒に、２本の光源支
持棒の軸方向に平行した平面状の光源を構成するよう
に、２本の光源支持棒を内包し直線部を有するほぼ楕円
形状の外包括線を形成するように巻回されて構成されて
いるので、測定ヘッドの走行によるスキャン誤差が低減
し得る赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。(2) The infrared light source main body is configured such that the heating wire forms a planar light source parallel to the axial direction of the two light source support bars on two light source support bars provided in parallel with each other. Approximately elliptical with two light source support rods and straight section
The infrared light source of the infrared thickness gage which can reduce the scanning error due to the running of the measuring head can be obtained because it is wound so as to form the outer covering line of the shape .
【００３８】本発明の請求項２によれば、更に、 １）電熱線に巻きむらがあり、表面から放射される赤外
線光量が不均一であっても、コート剤の効果により光量
分布がブロードになり、表面からは、均一な面発光を得
ることができる赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。According to the second aspect of the present invention, further: 1) even if the heating wire has uneven winding and the amount of infrared rays radiated from the surface is uneven, the light amount distribution is broad due to the effect of the coating agent. From the surface, an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of obtaining uniform surface emission can be obtained.
【００３９】２）赤外線の放射率が高いコート剤を選択
することにより、効率良い赤外線放射が行える赤外線厚
さ計の赤外線光源が得られる。 ３）電熱線の表面に、被膜が形成されるので、電熱線自
体の酸化による断線が少なくなり、光源寿命が延長でき
る赤外線厚さ計の赤外線光源が得られる。2) By selecting a coating agent having a high infrared emissivity, an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of efficiently emitting infrared light can be obtained. 3) Since a coating is formed on the surface of the heating wire, disconnection due to oxidation of the heating wire itself is reduced, and an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of extending the life of the light source can be obtained.
【００４０】４）セラミックコート剤の場合は、セラミ
ックの被膜が形成されるので、電熱線同志を固定するこ
とができる。振動や、取り付け姿勢により、電熱線の位
置が移動することがなくなる赤外線厚さ計の赤外線光源
が得られる。4) In the case of the ceramic coating agent, since a ceramic coating is formed, the heating wires can be fixed. An infrared light source of an infrared thickness gauge is obtained in which the position of the heating wire does not move due to vibration or mounting posture.
【００４１】本発明の請求項３によれば、更に、赤外線
厚さ計の赤外線光源の温度制御により、安定した、精度
の良い測定が可能となる赤外線厚さ計の赤外線光源が得
られる。According to the third aspect of the present invention, furthermore, by controlling the temperature of the infrared light source of the infrared thickness gauge, an infrared light source of the infrared thickness gauge capable of performing stable and accurate measurement can be obtained.
【００４２】従って、本発明によれば、Ｓ／Ｎ比の改善
による測定分解能の向上と、測定ヘッド走行によるスキ
ャン誤差が低減し得る赤外線厚さ計の赤外線光源を実現
することが出来る。Therefore, according to the present invention, it is possible to realize an infrared light source of an infrared thickness gauge capable of improving the measurement resolution by improving the S / N ratio and reducing the scanning error due to the running of the measuring head.
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】図１の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.
【図３】図２の要部詳細説明図である。FIG. 3 is a detailed explanatory view of a main part of FIG. 2;
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of a main part configuration of another embodiment of the present invention.
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional example generally used in the related art.
【図６】図５の動作説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory diagram of FIG. 5;
【図７】従来より一般に使用されている他の従来例の構
成説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of the configuration of another conventional example generally used in the related art.
【図８】図７の動作説明図である。FIG. 8 is an operation explanatory diagram of FIG. 7;
３１ 取付プレート ３２ ケース ３３ 断熱材 ３４ 断熱材 ３５ 赤外線光源本体 ３５１ 光源支持棒 ３５２ 電熱線 ３５３ 支持プレート ３５４ ベースプレート ３５５ 温度センサ ３５６ コーティング剤 ３６ スタッド ３７ レンズ 31 mounting plate 32 case 33 heat insulating material 34 heat insulating material 35 infrared light source main body 351 light source support rod 352 heating wire 353 support plate 354 base plate 355 temperature sensor 356 coating agent 36 stud 37 lens
Claims (3)
いて、 互いに平行に設けられた２本の光源支持棒と、 該２本の光源支持棒の軸方向に平行した平面状の光源を
構成するように前記２本の光源支持棒を内包し直線部を
有するほぼ楕円形状の外包括線を形成するように巻回さ
れた電熱線とを具備したことを特徴とする赤外線厚さ計
の赤外線光源。1. An infrared light source used in an infrared thickness gauge, comprising: two light source support bars provided in parallel with each other; and a planar light source parallel to the axial direction of the two light source support bars. So that the two light source support rods are included
And a heating wire wound so as to form a substantially elliptical outer covering line .
たコーティング剤を具備したことを特徴とする請求項１
記載の赤外線厚さ計の赤外線光源。2. The apparatus according to claim 1, further comprising a coating agent applied to an outer surface of the wound heating wire.
An infrared light source for the infrared thickness gauge described.
なく設けられ該電熱線の光源温度制御のための温度セン
サを具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記
載の赤外線厚さ計の赤外線光源。3. The infrared ray according to claim 1, further comprising a temperature sensor provided without being in contact with the wound heating wire so as to control the temperature of a light source of the heating wire. Thickness gauge infrared light source.
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